CN1939095B - 涂敷装置、有机材料薄膜的形成方法、有机el面板制造装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种不需要加热室和冷却室的涂敷装置。在沿X轴方向移动的涂敷对象物(14)上配置可在Y轴方向往复移动的喷出器(31)和激光照射装置(32a、32b)，对从喷出器(31)喷出到涂敷对象物(14)的局部表面的有机材料照射激光，进行加热使其干燥或聚合，实现薄膜化。反复进行喷出器(31)和激光照射装置(32a、32b)的Y轴方向的移动，和涂敷对象物(14)的X轴方向的移动，在涂敷对象物(14)的规定区域形成有机材料的薄膜。由于并行进行涂敷和激光照射，所以，作业效率高。而且，由于涂敷对象物(14)不处于高温，所以不需要冷却工序。

Description

涂敷装置、有机材料薄膜的形成方法、有机EL面板制造装置 
技术领域
本发明涉及形成有机薄膜的技术，特别涉及一种通过喷墨方式成膜的涂敷装置。 
背景技术
为了形成有机EL面板所使用的有机薄膜，开发了使用如喷墨打印机那样的涂敷装置的技术。 
图8的附图标记100是现有技术的有机EL面板制造装置，附图标记O1～O4是通过喷墨法在基板表面形成有机薄膜的涂敷装置。这里，在第一～第四涂敷装置O1～O4内，分别配置有用于形成空穴输送层、红色层、绿色层、蓝色层的有机材料。 
附图标记T1～T5是输送基板的第一～第五输送室，在各输送室T1～T5的内部配置有基板输送机械手。 
附图标记H1～H4是加热基板的第一～第四加热室，在内部配置有加热装置。附图标记C1～C4是对加热后的基板进行冷却的第一～第四冷却室，内部配置有冷却装置。 
在该有机EL面板制造装置100中，配置在基板输入室Lin的基板被输入到第一涂敷装置O1，内，通过喷墨法涂敷空穴输送层的有机材料。 
接着，配置到第一加热室H1内的加热板上，被加热。通过该加热使溶剂蒸发，形成了空穴输送层。 
接着，从第一加热室H1移动到第一冷却室C1内，冷却后，被输入到第二涂敷装置O2内。 
在第二涂敷装置O2内，在空穴输送层上涂敷红色显色用的有机材料，并移动到第二加热室H2内，进行加热，由此，溶剂蒸发，在空穴输送层上形成红色发光层。接着，移动到第二冷却室C2，冷却后输入到第三涂敷装置O3内。 
在第三涂敷装置O3内，在空穴输送层上涂敷绿色显色用的有机材料，然后顺次移动到第三加热室H3以及第三冷却室C3，进行加热、 冷却，形成绿色发光层。 
然后，移动到第四涂敷装置O4内，在空穴输送层上涂敷蓝色显色用的有机材料，然后顺次移动到第四加热室H4以及第四冷却室C4，通过进行加热、冷却形成蓝色发光层。 
最后，通过中间室E并经由输出室Lout，取出到外部。 
如上所述的使用喷墨打印机形成有机薄膜的装置，记载于下述文献中，但下述那样的有机EL面板制造装置需要加热室和冷却室二者，不仅违背了节省空间的原则，而且，成本高。 
专利文献1：特表2003-515909号公报 
专利文献2：特表2004-531859号公报 
发明内容
本发明的目的在于，提供一种即使不加热涂敷对象物的整体也能够使有机材料升温的涂敷装置。 
为了解决上述课题，本发明的涂敷装置包括：在涂敷对象物上喷出有机材料的喷出器；和对从前述喷出器喷出、弹落到前述涂敷对象物的前述有机材料照射激光的激光照射装置。 
而且，本发明的涂敷装置，对每个前述涂敷对象物表面的局部区域照射前述激光，对前述涂敷对象物表面局部加热。 
并且，本发明的涂敷装置，其特征在于，前述涂敷对象物和前述喷出器、前述涂敷对象物和前述激光照射装置可在第一方向相对移动；前述涂敷对象物和前述喷出器可在与前述第一方向近似垂直的第二方向相对往复移动。 
而且，本发明的涂敷装置，其特征在于，前述激光照射装置沿着前述第二方向配置在前述喷出器的两侧，可与前述喷出器一同在前述第二方向相对往复移动。 
并且，本发明的涂敷装置，其特征在于，前述激光照射装置配置在前述喷出器相对前述涂敷对象物移动的方向的、比前述喷出器靠向后方处。 
而且，本发明的涂敷装置，其特征在于，前述激光照射装置沿着前述第二方向可往复移动。 
并且，本发明的涂敷装置，其特征在于，前述涂敷对象物和前述 喷出器、前述涂敷对象物和前述激光照射装置可在第一方向相对移动；前述涂敷对象物和前述激光照射装置可在与前述第一方向近似垂直的第二方向相对往复移动。 
而且，本发明的涂敷装置，其特征在于，前述激光照射装置配置在前述喷出器相对前述涂敷对象物移动的方向的、比前述喷出器靠向后方处。 
另外，本发明的有机EL面板制造装置，其特征在于，至少具有三台上述任意一种的涂敷装置，各涂敷装置中分别配置有红色显色用、绿色显色用、蓝色显色用的有机材料，前述涂敷对象物可以不暴露于大气地在前述各涂敷装置之间移动。 
而且，本发明的有机材料薄膜的形成方法，其特征在于，对喷出、弹落到涂敷对象物的有机材料照射激光，形成前述有机材料的薄膜。 
并且，本发明的有机材料薄膜的形成方法，其特征在于，对每个前述涂敷对象物表面的局部区域照射前述激光，对前述涂敷对象物表面局部加热。 
本发明构成如上，若涂敷对象物和喷出器可相对移动，其移动方向定义为第一方向，则涂敷对象物和激光照射装置也可在第一方向相对移动；若分多次对每个涂敷对象物的局部范围喷出有机材料，则在对全部范围喷出有机材料之前，对所弹落的有机材料照射激光，使其升温，由此形成了薄膜。 
涂敷对象物和喷出器的相对移动包括：涂敷对象物静止、喷出器移动的情况；喷出器静止、涂敷对象物移动的情况；和涂敷对象物和喷出器二者都移动的情况。 
涂敷对象物和激光照射装置的相对移动也相同。 
激光照射器可以与喷出器同步、与喷出器一同在第二方向移动，还可以与喷出器非同步地在第二方向移动。 
由于通过激光照射对有机材料局部加热，所以，可不加热基板整体地对有机材料直接加热，由此，基板整体不会成为高温。因此，不需要冷却装置。 
特别是如果对每个涂敷对象物的局部区域照射激光，则由于激光照射结束后的部分会自然冷却，所以，基板温度的上升较少。 
而且，若并行进行有机材料的涂敷和激光的照射，则尤其能够缩 短激光照射所需要的作业时间。 
附图说明
图1是用于说明本发明第一实例的涂敷装置的动作的图。 
图2是本发明第一实例的涂敷装置的概略俯视图。 
图3是用于说明本发明第一实例的涂敷装置的有机材料涂敷和激光照射的图。 
图4是本发明第二实例的涂敷装置的概略俯视图。 
图5是本发明第三实例的涂敷装置的概略俯视图。     
图6是用于说明涂敷对象物的图。 
图7是本发明的有机EL面板制造装置。 
图8是现有技术的有机EL面板制造装置。 
图9是本发明第四实例的涂敷装置的概略俯视图。 
图10是本发明第五实例的涂敷装置的概略俯视图。 
附图标记说明 
1～3涂敷装置，10有机EL面板制造装置，14涂敷对象物，31、42喷出器，32a、32b、43、46激光照射装置，34有机材料。 
具体实施方式
图1的附图标记1表示本发明第一实例的涂敷装置。 
该涂敷装置1具有涂敷台12。在涂敷台12上设置有基板输送机构13，通过该基板输送机构13的动作，可以将载置于涂敷台12上的涂敷对象物14沿着涂敷台12的纵长方向，从涂敷台12的移动源A侧朝向移动目的地B移动。即，涂敷对象物14的移动中，移动源A为上游侧，移动目的地B为下游侧。 
在涂敷台12的上方配置有头移动机构23，在头移动机构23上安装有可移动的头15。通过该头移动机构23的动作，头15可以在与基于基板输送机构1 进行的涂敷对象物14的移动方向近似垂直的方向往复移动。 
图2是涂敷装置1的概略俯视图，若将涂敷对象物14的移动方向定义为X轴，则头15构成为沿着与X轴近似垂直的Y轴往复移动。 若将沿着X轴的方向定义为第一方向，沿着Y轴的方向定义为第二方向，则第一、第二方向位于和板状涂敷对象物14的表面平行的平面内，且相互垂直。 
头15，在其下部具有喷出器31，若头15往复移动，则喷出器31构成为在涂敷对象物14的上方，与涂敷对象物14离开一定距离地沿着Y轴往复移动。 
在该涂敷对象物14中以行列状配置有显示区域21，若将涂敷对象物14相对X轴、Y轴进行对位，则能够使显示区域21的排列顺沿于X轴方向和Y轴方向。 
从涂敷台12的移动源A或移动目的地B的位置观察，在喷出器31的两侧分别配置有第一、第二激光照射装置32a、32b。换言之，沿着Y轴方向以第一激光照射装置32a、喷出器31、第二激光照射装置32b的顺序进行排列(这里，以从Y轴的负方向朝向正方向的朝向进行排列)。 
喷出器31构成为，可通过喷墨方式将一定量的供给到头15内的液状有机材料，喷出到涂敷对象物14表面的一定区域内。 
图6是用于说明涂敷对象物14的附图，表示了涂敷对象物14的局部表面。该涂敷对象物14是用于制造有机EL显示面板的基板，其表面划分成：涂敷有机材料的多个显示区域21、和分离显示区域21之间的分离区域22。分离区域22由比显示区域21的表面更高的绝缘材料构成。 
图3是用于说明向涂敷对象物14涂敷有机材料的附图，表示了喷出器31对每个显示区域21喷出了一定量的有机材料34的状态。 
喷出器31可以一边相对涂敷对象物14移动，一边喷出有机材料；也可以以涂敷对象物14和喷出器31相对静止的状态进行喷出。 
喷出器31在面对涂敷对象物14的位置，具有沿着X轴的方向为n个(1≤n)、沿着Y轴的方向为m个(1≤m)的n×m个以行列状排列的一个乃至多个喷出孔。 
在喷出器31和涂敷对象物14相对静止的状态下，从一台喷出器31的各喷出孔对位于各喷出孔正下方的多个显示区域21，同时单独喷出有机材料34。 
在喷出有机材料34时，喷出器31和涂敷对象物14相对静止， 在静止的状态下，从一台喷出器31对沿着Y轴排列成一列乃至多列的显示区域21，同时单独喷出有机材料34。 
喷出孔和显示区域21一一对应，若从一个喷出孔喷出的喷出液弹落于一个显示区域21，则通过该喷出器31，在一次喷出过程中可以将有机材料34弹落到n×m个显示区域21。这里，每隔两列地对n×m个显示区域21进行喷出。 
在喷出器31对位于一定范围的显示区域21喷出了有机材料34之后，头15相对涂敷对象物14在沿着Y轴方向的方向相对步进移动规定量，在未涂敷的显示区域21上静止，来对未涂敷的一定范围的区域喷出有机材料34。 
即，在喷出液弹落之后，头15和涂敷对象物14相对地在Y轴正方向或负方向移动m个显示区域21，由此头15在未涂敷的显示区域21上静止，对未涂敷的n×m个显示区域21喷出有机材料34。 
可以在涂敷对象物14相对涂敷台12静止的状态下，使头15在沿着Y轴的方向移动，也可以在头15相对涂敷台15静止的状态下，使涂敷对象物14在沿着Y轴的方向移动。还可以通过使二者移动来进行相对移动。 
头15构成为，能够在与涂敷对象物14的配置有显示区域21的Y轴方向的范围相同(下述第二、第三实施例的情况)的范围内移动，或者能够在比其长的范围(第一实施例的情况)内移动。 
即，头15能够沿着Y轴方向相对移动的范围，是至少与在涂敷对象物14上配置有显示区域21的范围的Y轴方向长度相同的长度距离，即，是至少与配置有显示区域21的范围的Y轴方向长度(宽度)相同的长度距离，或者，能够在比配置有显示区域21的范围的Y轴方向长度(宽度)长的距离中(第一实施例的情况)相对移动。 
反复进行喷出和向Y轴方向的步进移动，对在Y轴方向延伸的排列成一列或多列的显示区域21全部进行喷出后，涂敷对象物14和头15相对地向X轴的一个方向移动相当于涂敷的列宽的量。 
即，通过喷出器31向Y轴方向的移动，以沿着X轴方向的n个宽度对沿着Y轴方向排列的全部显示区域21弹落有机材料34后，喷出器31和涂敷对象物14相对地沿着X轴移动相当于n个显示区域21的量，未弹落的显示区域21被送到喷出器31的Y轴方向的移动范围的下方。 
接着，喷出器31沿着Y轴方向向相反方向移动，对n个宽度的显示区域21弹落有机材料。 
当喷出器31在未涂敷的显示区域21上喷出有机材料时、或者喷出器31与头15一同在沿着Y轴的方向移动时，未涂敷的显示区域21位于头15的移动方向的移动方向前端侧的激光照射装置32b或32a之下，移动方向尾端侧的激光照射装置32a或32b在涂敷有有机材料的显示区域21上移动。 
因此，如果从位于喷出器31的移动方向尾端侧的激光照射装置32a或32b射出激光，则该激光会照射到显示区域21上的有机材料，使得该有机材料被加热。 
有机材料溶解于溶剂成为液状，通过加热溶剂会蒸发，因此，照射了激光的有机材料会干燥、实现薄膜化。图3的附图标记35表示通过干燥形成的有机材料薄膜。 
若向沿着Y轴排列成一列或多列的显示区域21涂敷有机材料、和基于激光照射实现的薄膜化结束，则如上所述，涂敷对象物14在X轴方向移动相当于涂敷的列宽的量，使得未涂敷的显示区域21配置在喷出器31的移动范围正下方位置。 
另外，在该实施例以及后述的各实施例中，激光除了在头15和涂敷对象物14相对静止的状态下照射之外，也可以在相对移动过程中进行照射。 
涂敷装置1是形成RGB(红色、绿色、蓝色)中一种颜色的有机薄膜的装置，当显示区域21的在Y轴方向延伸的一列与RGB各一种颜色对应时，涂敷对象物14通过喷出器21的一次Y轴方向的移动，每隔一列或两列地对排列成多列的显示区域21涂敷有机材料。这里，通过该涂敷装置1，每隔两列地对多列进行涂敷。 
另一方面，在如空穴输送层那样、在所有的显示区域21形成相同的有机薄膜时，可以对n×m个显示区域21的整体进行喷出。 
在向X轴方向相对移动之后，反复进行从喷出器31的有机材料的喷出和沿着Y轴方向的移动、以及激光照射，在涂敷对象物14上的应成膜的显示区域21上形成薄膜。 
另外，在喷出器31沿着Y轴前行移动时和返回移动时都喷出有机材料的情况下，如果一列乃至多列的涂敷结束，涂敷对象物14在X轴方向相对移动，则喷出器31的移动方向变为反方向。因此，在前行移动方向切换为返回移动方向、以及返回移动方向切换成前行移动方向时，激光照射装置32a、32b的前端侧和尾端侧的位置改变。 
即，由于前行移动时位于前端侧的激光照射装置，在返回移动时成为尾端侧，所以，在前行移动和返回移动进行切换之际，激光照射所使用的激光照射装置32a、32b也切换。 
如上所述，通过涂敷对象物14和头15在X轴方向或Y轴方向的一个方向或者往复方向上的移动，向规定部位的显示区域21形成有机材料薄膜35，之后，从涂敷装置1取出该涂敷对象物14，输送到后续工序。 
以上，对涂敷装置1的动作进行了说明，可以将本发明的涂敷装置1多台进行连接，作为有机EL面板制造装置而使用。 
图7的附图标记10是本发明的有机EL面板制造装置，配置有基板输送机械手的输送室T1～T5串连连接。 
附图标记O1～O4分别是上述涂敷装置1或下面所记载的涂敷装置2～5中任意一种的涂敷装置，分别与输送室T1～T4连接。各输送室T1～T5和各涂敷装置O1～O4与高纯度氮循环系统连接，由该系统以规定的水分、氧浓度进行气氛管理。因此，如下所述，能够使得从基板输入室Lin输入到有机EL面板制造装置10内的成膜对象物不暴露于大气地，在涂敷装置O1～O4之间移动。 
在各涂敷装置O1～O4内，分别配置有用于形成空穴输送层、红色发光层、绿色发光层、蓝色发光层的有机材料。 
第一输送室T1与基板输入室Lin连接，配置在基板输入室Lin内的涂敷对象物14通过第一输送室T1，由第一涂敷装置O1将空穴输送层的有机材料，不隔开间隔地喷出到邻接的显示区域21上，并通过激光照射进行干燥。 
形成了空穴输送层的涂敷对象物14被输入到第二～第四涂敷装置O2～O4内，分别每隔两列形成与红色显色、绿色显色和蓝色显色对应的有机材料薄膜，之后，从输出室Lout取出到有机EL面板制造装置10的外部。 
图6的附图标记R、G、B，分别表示形成有显色为红色、绿色、 蓝色的有机材料薄膜的显示区域21的列。 
这样，在本发明的有机EL面板制造装置10中，由于通过激光的照射使涂敷后的有机材料干燥、实现薄膜化，所以，不需要加热室，并且，由于成膜对象物整体没有被升温至高温，所以，也不需要冷却室。 
另外，上述第一涂敷装置1是在喷出器31的两侧，即沿着Y轴的往复移动方向的前端侧和尾端侧的两方，配置有激光照射装置32a、32b的实例，但是，本发明并不限定于此。 
图4的附图标记2表示本发明第二实例的涂敷装置，图5的附图标记3表示本发明第三实例的涂敷装置。 
在第二、第三实例的涂敷装置2、3中，对与第一实例的涂敷装置1相同的部件赋予相同的附图标记，并省略其说明。该涂敷装置2、3也构成为，通过基板输送机构13能够使涂敷对象物14在台12上移动。 
首先，参照图4，对第二实例的涂敷装置进行说明。该图的附图标记17是涂敷用头，在其下部设置有用于喷出液状有机材料的喷出器42。 
在比喷出器42的位置靠近涂敷对象物14移动方向的移动目的地B的位置，配置有激光用头18。在该激光用头18的下部设置有激光照射装置43，通过涂敷对象物14的移动，涂敷对象物14和喷出器42在沿着X轴的方向(第一方向)相对移动，并且，涂敷对象物14和激光照射装置43也在沿着X轴的方向(第一方向)相对移动。 
涂敷用头17和激光用头18分别安装在头移动机构24、25上，以喷出器42和激光照射装置43以在X轴方向静止的状态，在沿着Y轴的方向(第二方向)往复移动。 
涂敷对象物14构成为，通过基板输送机构13从涂敷台12的移动源A侧朝向移动目的地B侧，沿着X轴移动；如果涂敷对象物14移动，则喷出器42和激光照射装置43从涂敷对象物14的靠近移动目的地B的端部，朝向靠近移动源A的端部相对移动。 
在相对涂敷对象物14的X轴方向的相对移动中，喷出器42成为前端侧，激光照射装置43成为尾端侧，若在通过涂敷用头17对排列成一列或多列的显示区域21涂敷有机材料之后，涂敷对象物14在X 轴方向相对移动，则涂敷后的区域来到激光用头18的移动范围的正下方。 
激光用头18在沿着Y轴的方向移动，从激光照射装置43对弹落到显示区域21上的有机材料照射激光。通过激光的照射，有机材料被加热，在干燥之后形成了有机材料薄膜。 
激光照射装置43可以照射多束激光，也可以按顺序对多个显示区域21照射激光。 
涂敷用头17和激光用头18可以一同移动，也可以独立移动。激光用照射装置43可以通过Y轴方向的单程移动对未照射的有机材料照射激光，如果除了Y轴方向、在X轴方向也可以往复移动，则可以组合X轴方向和Y轴方向的移动，通过往复或其以上的反复移动，对未照射的部分照射激光。 
若激光照射装置43与喷出器42并行动作，在喷出器42前行移动、或返回移动，喷出有机材料的期间，对未照射的有机材料照射激光，则能够同时进行涂敷和激光照射，由此，提高了生产率。 
接着，参照图5，该图的附图标记3是本发明第三实例的涂敷装置，具有激光用头19。 
在该激光照射装置19的下部，沿着Y轴方向具有细长的激光照射装置46。该激光照射装置46可以照射激光的Y轴方向的范围，与在涂敷对象物14上配置有显示区域21的Y轴方向的范围相等，或者比其长。 
激光照射装置46在Y轴方向静止的状态下，可以对显示区域21的X轴方向的n个、Y轴方向的全部照射激光，即使激光照射装置19不沿着Y轴方向移动，只要在X轴方向按每n个步进一次地进行移动，就能够对涂敷对象物14上的所有显示区域21照射激光。 
由此，在Y轴方向排列的显示区域21的每n列上形成有机薄膜。此时，也可以如上所述，对分离区域22也照射激光。 
上面对通过激光照射来加热、干燥有机材料的情况进行了说明，对通过加热发生聚合、形成有机薄膜的有机材料而言，可以通过基于激光照射的加热形成有机薄膜。对于因光反应而发生聚合反应、形成有薄膜的有机材料而言，照射激光也可以形成薄膜。 
而且，本发明只要对显示区域21照射激光即可，对分离区域22 可以照射激光，也可以不照射。激光除了一次照射多个显示区域21的情况之外，还包括一次照射一个显示区域21的情况。 
接着，对本发明第四、第五实例的涂敷装置进行说明。 
图9、10的附图标记4、5分别表示第四、第五实例的涂敷装置。在上述第三实例的涂敷装置3中，激光照射装置46细长，其纵长方向沿着Y轴方向配置，在第四、第五实例的涂敷装置4、5中，喷出器47细长，其纵长方向沿着Y轴配置。 
该喷出器47安装在印刷头20上，在涂敷台12的上方位置与涂敷台12隔开间隔地配置着。 
在涂敷对象物14的相对移动方向的、比喷出器47靠近下游侧处，配置有激光照射装置43或46，若涂敷对象物14从移动源A侧朝向移动目的地B侧移动，则首先通过与细长的涂敷装置47面对的位置，接着，通过与激光照射装置43或46面对的位置。 
该喷出器47沿着Y轴方向配置有一列或多列喷出孔，在喷出器47和涂敷对象物14相对静止的状态下，可以对涂敷对象物14的沿着Y轴排列的显示区域21整体弹落有机材料。若喷出孔在X轴方向配置有n个，则可以对n列弹落有机材料。 
弹落之后，涂敷对象物14移动相当于n个量的距离。第四实例的涂敷装置4的激光照射装置43与第二实例的涂敷装置2相同，构成为在Y轴方向往复移动；第五实例的涂敷装置5的激光照射装置46与第三实例的涂敷装置3同样，沿着Y轴方向细长地配置。 
因此，第四实例的涂敷装置4，可以沿着Y轴方向移动、对显示区域21上的有机材料照射激光；第五实例的涂敷装置5，即使在涂敷对象物14和激光照射装置46在Y轴方向静止的状态下，也能够在X轴方向以一个乃至多个的宽度，对沿着Y轴方向排列的所有显示区域21照射激光。 
这样，通过第四、第五实例的涂敷装置4、5也能够形成有机薄膜。 
以上，对每个显示区域21弹落有机材料，形成了相互分离的多个有机薄膜，但在形成液晶取向膜等、连续地覆盖涂敷对象物14表面的有机薄膜的用途中，也可以使用本发明的涂敷装置1～5。 
而且，在喷出分散有液晶显示装置的间隔件的分散液、并由激光 使分散溶剂蒸发，在涂敷对象物表面配置间隔件的用途中，也可以采用本发明的涂敷装置1～5。 

Claims (11)

1.一种涂敷装置，其特征在于，包括：
设置涂敷对象物的涂敷台，涂敷对象物沿着涂敷台的纵长方向移动，此方向即为第一方向；
在前述涂敷台上的前述涂敷对象物上喷出有机材料的喷出器；和
对从前述喷出器喷出、弹落到前述涂敷对象物的前述有机材料照射激光的激光照射装置，
前述喷出器构成为能够在前述涂敷台上，与前述涂敷对象物在第一方向上相对移动，
前述涂敷对象物构成为能够在第二方向相对往复移动，
前述激光照射装置构成为能够在前述涂敷台上，沿前述第一方向与前述喷出器独立而相对于前述涂敷对象物相对移动，且上述激光照射装置能够沿第二方向从前述喷出器独立而相对于前述涂敷对象物相对往复移动，所述第二方向和第一方向同位于和涂敷台的表面平行的平面内，且相互垂直，
通过前述喷出器对前述涂敷对象物进行涂敷后，通过前述激光照射装置对相同的前述涂敷对象物照射激光。
2.如权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，前述激光照射装置对每个前述涂敷对象物表面的局部区域照射前述激光，对前述涂敷对象物表面局部加热。
3.如权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，前述涂敷对象物和前述喷出器、前述涂敷对象物和前述激光照射装置可在第一方向相对移动；前述涂敷对象物和前述喷出器可在与前述第一方向垂直的第二方向相对往复移动。
4.如权利要求3所述的涂敷装置，其特征在于，前述激光照射装置沿着前述第二方向配置在前述喷出器的两侧，可与前述喷出器一同在前述第二方向相对往复移动。
5.如权利要求3所述的涂敷装置，其特征在于，前述激光照射装置配置在前述喷出器相对前述涂敷对象物移动的方向的、比前述喷出器靠向后方处。
6.如权利要求5所述的涂敷装置，其特征在于，前述激光照射装置沿着前述第二方向可往复移动。
7.如权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，前述涂敷对象物和前述喷出器、前述涂敷对象物和前述激光照射装置可在第一方向相对移动；前述涂敷对象物和前述激光照射装置可在与前述第一方向垂直的第二方向相对往复移动。
8.如权利要求7所述的涂敷装置，其特征在于，前述激光照射装置配置在前述喷出器相对前述涂敷对象物移动的方向的、比前述喷出器靠向后方处。
9.一种有机EL面板制造装置，其特征在于，至少具有三台权利要求1至权利要求8所述的任意一种涂敷装置，各涂敷装置中分别配置有红色显色用、绿色显色用、蓝色显色用的有机材料，前述涂敷对象物可以不暴露于大气地在前述各涂敷装置之间移动。
10.一种有机材料薄膜的形成方法，其特征在于，具有下述工序：
在涂敷台上设置涂敷对象物，涂敷对象物沿着涂敷台的纵长方向移动，此方向即为第一方向，一边使喷出器在前述涂敷台上，与前述涂敷对象物在第一方向上相对移动，与前述涂敷对象物在第二方向相对往复移动，一边从前述喷出器对前述涂敷对象物喷出有机材料的工序；
使前述激光照射装置在前述涂敷台上，沿前述第一方向与前述喷出器独立而相对于前述涂敷对象物相对移动，且使前述激光照射装置沿第二方向与前述喷出器独立而相对于前述涂敷对象物相对往复移动，所述第二方向和第一方向同位于和涂敷台的表面平行的平面内，且相互垂直，通过前述喷出器对前述涂敷对象物进行涂敷后，通过前述激光照射装置对相同的喷出、弹落到前述涂敷对象物上的有机材料照射激光的工序。
11.如权利要求10所述的有机材料薄膜的形成方法，其特征在于，对每个前述涂敷对象物表面的局部区域照射前述激光，对前述涂敷对象物表面局部加热。
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