KR20060102595A - 표시장치용 기판의 제조장치 및 이를 이용한 컬러필터기판의 제조방법 - Google Patents

표시장치용 기판의 제조장치 및 이를 이용한 컬러필터기판의 제조방법 Download PDF

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KR20060102595A
KR20060102595A KR1020050024367A KR20050024367A KR20060102595A KR 20060102595 A KR20060102595 A KR 20060102595A KR 1020050024367 A KR1020050024367 A KR 1020050024367A KR 20050024367 A KR20050024367 A KR 20050024367A KR 20060102595 A KR20060102595 A KR 20060102595A
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KR1020050024367A
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강윤호
김병주
김장섭
권성규
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삼성전자주식회사
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    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/6715—Apparatus for applying a liquid, a resin, an ink or the like

Abstract

본 발명은 표시장치용 기판의 제조장치 및 이를 이용한 표시장치용 기판의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 표시장치용 기판의 제조장치는 기판을 지지하는 스테이지부와; 상기 스테이지부와 상대 이동하며 상기 상대 이동 방향의 가로 방향으로 이격 배치되어 있으며 상기 스테이지부 상에 마련되어 있는 상기 기판 상에 유체를 적하시키기 위한 제1 노즐부 및 제 2 노즐부와 상기 제 1 노즐부와 상기 제 2노즐부 사이에 마련되어 적하된 상기 유체를 가열하기 위한 가열부를 포함하는 헤드부를 포함한다. 이로 인해, 기판에 발생하는 얼룩 및 빛샘 현상이 방지되는 표시장치용 기판의 제조장치 및 이를 이용한 표시장치용 기판의 제조방법을 제공하는 것이다.

Description

표시장치용 기판의 제조장치 및 이를 이용한 컬러필터 기판의 제조방법{MANUFACTURING APPARATUS OF SUBSTATE FOR DISPLAY AND MANUFACTURING METHOD OF COLOR FILTER SUBSTRATE USING THE SAME}
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치의 사시도,
도 2는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 노즐의 단면도,
도 3은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치의 배치도,
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 헤드부의 이송을 설명하기 위한 배치도,
도 5a 내지 도 5b는 본 발명에 따른 기판의 제조방법을 설명하기 위한 도면,
도 6은 본 발명에 따른 컬러필터 기판의 제조방법을 설명하기 위한 제어흐름도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
100 : 표시장치용 기판의 제조장치 110 : 스테이지부
120 : 헤드부 121 : 제 1 노즐부
122 : 제 2 노즐부 123 : 가열부
124 : 노즐 125 : 본체부
126 : 니들부 130 : 가이드부
131 : X축 가이드 132 : Y축 가이드
133 : X 축 이송레일 134 : Y축 이송레일
240 : X-Y구동부 250 : 제어부
본 발명은 표시장치용 기판의 제조장치 및 이를 이용한 표시장치용 기판의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 잉크젯 프린터와 같은 프린팅 방식으로 제조되는 표시장치용 기판의 제조장치 및 이를 이용한 표시장치용 기판의 제조방법에 관한 것이다.
표시장치 중 액정표시장치는 박막트랜지스터가 형성되어 있는 박막트랜지스터 기판과 컬러필터층이 형성되어 있는 컬러필터 기판, 그리고 이들 사이에 액정층이 위치하고 있는 액정패널을 포함한다. 액정패널은 비발광소자이기 때문에 박막트랜지스터 기판의 후면에는 빛을 조사하기 위한 백라이트 유닛이 위치할 수 있다.
또한, 최근에는 평판표시장치(plate panel display) 중 저전압 구동, 경략 박형, 광시야각 그리고 고속응답 등의 장점으로 인하여 유기 전계 발광소자를 사용한 OLED(organic light emitting diode)가 각광 받고 있다.
OLED 의 고분자층 및 액정표시장치의 컬러필터는 잉크젯 프린터를 사용하여 기판 상의 각 픽셀에 잉크를 분사하는 잉크젯 프린팅 방식으로 형성될 수 있다. 잉크젯 프린팅 방식에 의하면 기판에 사용되는 재료 및 장비의 투자비가 적게 들고, 공정장비가 차지하는 면적을 줄일 수 있으며, 별도의 마스크 공정이 없기 때문에 공정 수 및 공정비용을 효과적으로 절감할 수 있는 장점을 가진다.
그러나, 잉크젯 프린팅 방식은 사진식각 방식에 비하여 각 픽셀 개구부에 각각 독립적으로 잉크를 채워야 하기 때문에 각 픽셀 개구부 마다 잉크의 두께를 일정하게 유지시키는 것이 어렵고 잉크층을 구현한 후 색특성을 측정하는데 어려움이 있다. 또한, 잉크젯 프린팅 방식을 적용하는 경우 픽셀 개구부 각 단위마다 형성된 잉크층 표면의 증발속도의 차이로 인해 용매가 휘발된 후 잉크층 간의 단차 및 격벽과의 단차가 심하여 패널 구동 시 얼룩 또는 빛샘 현상이 발생한다.
따라서, 본 발명의 목적은 기판에 발생하는 얼룩 및 빛샘 현상이 방지되는 표시장치용 기판의 제조장치 및 이를 이용한 표시장치용 기판의 제조방법을 제공하는 것이다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 기판을 지지하는 스테이지부와; 상기 스테이지부와 상대 이동하며 상기 상대 이동 방향의 가로 방향으로 이격 배치되어 있으며 상기 스테이지부 상에 마련되어 있는 상기 기판 상에 유체를 적하시키기 위한 제1 노즐부 및 제 2 노즐부와 상기 제 1 노즐부와 상기 제 2노즐부 사이에 마련되어 적하된 상기 유체를 가열하기 위한 가열부를 포함하는 헤드부에 의해 달성된다.
여기서, 상기 제 1 노즐부 및 제 2 노즐부는 일렬로 배열되어 있는 복수의 노즐을 포함하는 것이 신속한 유체 적하를 위하여 바람직하다.
상기 노즐은 상기 유체를 적재한 본체부와 상기 유체를 상기 기판 상에 토출하는 니들부를 포함할 수 있다.
상기 가열부는 레이저, 적외선, 마이크로 웨이브 중 적어도 하나를 이용하는 것이 가능하다.
상기 유체는 컬러필터 용액인 것을 특징으로 한다.
한편, 상기 목적은, 본 발명에 따라, 기판 상에 격자상의 블랙 매트릭스를 형성하는 단계와; 상기 블랙 매트릭스 사이의 화소영역에 제 1 용량의 컬러필터 용액을 적하시키는 단계와; 적하된 상기 컬러필터 용액에 열을 가하여 솔벤트를 제거하는 단계와; 솔벤트가 제거된 상기 컬러필터 용액 상에 제 2 용량의 컬러필터 용액을 적하시키는 단계에 의해서도 달성될 수 있다.
여기서, 상기 제 1 용량은 제 2 용량보다 큰 것을 특징으로 한다.
이하에서는 첨부도면을 참조하여 본 발명에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치의 사시도이다.
도시된 바와 같이 표시장치용 기판의 제조장치(100)는 기판(1) 및 각 구성부를 지지하는 스테이지부(110)와, 기판(1)의 상부에 위치하여 유체를 적하시키는 헤드부(120)와 헤드부(120)를 스테이지부(110)와 상대 이동시키는 구동부(미도시)와 구동부에 의해 이동하는 헤드부(120)를 지지하고 스테이지부(110) 상에서 슬라 이드 되도록 하는 가이드부(130) 및 구동부와 헤드부(120)의 동작을 제어하는 제어부(미도시)를 포함한다.
도시된 표시장치용 기판의 제조장치(1)는 액정표시장치에 사용되는 컬러필터 기판 또는 OLED 기판이 가능하며, 잉크젯 프린터 방식으로 제조될 수 있는 기판이라면 상기 기판에 한정되지 않는다. 스테이지부(110) 상에 지지되는 기판(1)이 컬러필터 기판인 경우 적하되는 유체는 솔벤트를 포함하는 컬러필터 용액이고, OLED 기판인 경우 정공수송층 또는 발광층 물질 등을 포함하는 용액일 수 있다.
스테이지부(110)는 기판(1) 및 각 구성부를 지지하며, X축 방향의 양 변에는 X축 가이드(131)를 스테이지부(110)의X 축으로 이동시키기 위한 X축 이송레일(133)이 마련되어 있다.
가이드부(130)는 빔형상의 Y축 가이드(132)와 Y축 가이드(132) 양 끝단 하부에 고정 결합된 2개의 X축 가이드(131)로 이루어져 있다. Y축 가이드(132)에는 헤드부(120)가 슬라이드 될 수 있는 Y축 이송레일(134)이 형성되어 있으며, 스테이지부(110)에는 X축 가이드(131)가 스테이지부(110)의 X축 방향으로 슬라이드 될 수 있도록 하는 X축 이송레일(133)이 형성되어 있다. 면적이 넓은 기판(1)의 상에 유체를 적하시키기 위하여 헤드부(120)는 가이드부(130)를 통해Y축과 X축 이동을 반복하면서 기판(1)에 유체를 적하시킨다.
도시하지는 않았지만, 구동부는 헤드부(120)가 가이드부(130)의 이송레일(133, 134)을 따라 스테이지부(110)와 상대 이동할 수 있도록 한다. 본 실시예에 따른 기판의 제조장치(100)는 기판(1)이 고정되어 있고, 헤드부(120)가 이 동하는 형태지만, 구동부가 스테이지부(110)에 마련되어 기판(1)을 이동시키는 것도 가능하다. 즉, 헤드부(120)와 스테이지부(110)는 상대적으로 이송되는 형태로 설계된다.
헤드부(120)는 기판에 유체를 적하시키기 위한 제 1 노즐부(121)와 제 2 노즐부(122) 및 이들 사이에 마련되어 적하된 유체를 가열하기 위한 가열부(123)로 구성되고, 스테이지부(110)와 상대 이송된다. 헤드부(120)는 Y축 이송레일(134)에 따라 스테이지부(110)의 Y축으로 이동하면서 기판(1)에 유체를 적하시키고, X축 이송레일(133)에 따라 유체를 적하시킬 기판(1)의 다음 위치로 이동한다.
제 1 노즐부(121) 및 제 2 노즐부(122)는 일렬로 배열되어 있는 복수의 노즐을 포함하고, 제 1 노즐부(121) 및 제 2 노즐부(122)는 동일한 개수의 노즐(124)을 갖는다. 제 1 노즐부(121) 및 제 2 노즐부(122)는 상기 상대 이송방향에 대해 가로방향으로 마련되며, 서로 이격적으로 배치된다. 본 발명에 따른 노즐부(121, 123)는 하나의 화소영역에 적하되어야 할 유체를 나누어 토출한다. 제 1노즐부(121)에 의해 제 1 용량의 유체가 토출되고 가열부(123)에 의해 적하된 유체의 솔벤트가 증발된다. 그런 다음 제 2 노즐부(122)에 의해 제 2 용량의 유체가 토출되어 하나의 화소영역에 적정 유체가 적하된다. 본 실시예에 따르면 토출되는 유체의 양은 제 1 용량이 제 2 용량 보다 크며 이는 제어부에 의해 조절된다. 제 1 용량을 제 2 용량보다 크게 함으로써 가열부(122)를 이용한 솔벤트 증발효율을 높이고, 이차적으로 적하되는 유체의 제 2 용량을 적게 하여 화소영역을 보다 쉽게 형성할 수 있다.
도 2에 도시된 바와 같이 노즐(124)은 유체(10)를 적재한 본체부(125)와 유 체(10)를 적하하고자 하는 기판(1)으로 토출하는 니즐부(126)로 구성되어 있다. 유체를 적하시킬 노즐(124)의 개수 및 적하되는 유체(10)의 양은 제어부(미도시)에 의해 조절된다. 도 2의 노즐(124)은 하나의 예시를 나타낸 것으로 노즐부(121, 123) 각각은 하나의 본체부와 복수의 니들부(126)를 가진 형태로 마련될 수도 있다. 이러한 경우 각 본체부(125)에 저장된 유체의 양을 개별적으로 조절할 필요 없이 노즐부(121, 123) 단위로 저장된 유체(10)의 양을 조절할 수 있는 장점이 있다.
한편, 제 1 노즐부(121) 및 제 2 노즐부(122) 사이에 마련되어 있는 가열부(123)는 노즐(124)의 니들부(126)에 마련될 수도 있다. 니들부(126)에 마련된 가열부(123)는 기판(1)에 적하된 유체에 열을 가하는 것이 아니라 기판(1)에 적하될 유체를 일정한 온도로 상승시킨 후 기판(1)으로 토출시킨다.
가열부(123)는 제 1 노즐부(121) 및 제 2 노즐부(122) 사이에 마련되어 있으며, 제 1 노즐부(121) 또는 제 2 노즐부(122)를 통해 적하된 유체에 열을 가한다. 가열부(123)는 유체(10)의 온도를 높여 유체(10)에 포함되어 있는 솔벤트를 빠르게 증발시키는 역할을 한다. 가열부(123)는 레이저, 적외선 또는 마이크로 웨이브와 같이 빛을 유체에 조사할 수 있는 장치나 고온의 열풍을 유체에 방출할 있는 장치 등을 포함한다. 솔벤트를 증발시킬 정도의 열을 발생시킬 수 있는 것이라면 어떠한 종류의 열원도 가능하다. 상기에 언급하였듯이, 니들부(126)에 가열장치가 마련될 수도 있고, 본체부(125)를 가열함으로써 본체부(125)에 적재된 유체(10)의 온도를 상승시키는 것도 가능하다. 또한, 가열부(123)는 유체가 적하되는 헤드부(120)가 아닌 기판(1)을 지지하는 스테이지부(110)에 마련되어 기판(1)의 아래에서 열을 가하는 것도 가능하다. 도 3은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 표시장치용 기판의 제조장치의 배치도이다.
표시장치용 기판의 제조장치(200)는 기판(1)을 안착시키는 스테이지부(210)와, 기판(1) 상에 유체를 적하시키기 위한 헤드부(220)와, 상기 스테이지부(210)를X-Y구동시키는 X-Y구동부(240)와, 헤드부(220) 및 X-Y구동부(240)의 동작을 제어하는 제어부(250)를 포함한다. 제 1 실시예와 유사한 구성인 헤드부(220) 및 제어부(250)에 대한 설명은 생략한다.
스테이지부(210)는 기판(1)을 지지하며 X-Y 구동부(240)에 의해 X-Y 방향으로 이동할 수 있다. 제어부(250)는 X-Y구동부(240)를 제어하여 스테이지부(210)를 X-Y이동시키고, 기판(1)으로 토출되는 유체의 양을 조절한다. 즉, 제 1 실시예에서는 헤드부(120)가 기판(1)을 지지하는 스테이지부(210)에 대해 상대 이송되는 반면 본 실시예에서는 기판(1)을 지지하고 있는 스테이지부(210)가 고정된 헤드부(220)에 대해 상대 적으로 움직인다.
도 4는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 헤드부의 이송을 설명하기 위한 배치도이다. 설명의 편의를 위하여 헤드부(120)는 단면을 도시하였다. 헤드부(120)의 단면은 도시된 바와 같이 제 1 노즐부(121), 가열부(123), 제 2 노즐부(122)가 나란히 배열되어 있으며, 노즐부(121, 122)가 포함하고 있는 복수의 노즐은 일렬로 배치되어 있다. 헤드부(120)는 기판(1)을 지지하는 스테이부(110)와 상대 이송되고, 도시된 이송 방향은 도 1의 Y축 이송 방향이다.
기판(1)은 유체가 적하되어야 하는 화소영역(3) 및 화소영역(3)의 경계를 형성하는 격벽(5) 부분으로 이루어진다. 기판(1)이 컬러필터 기판인 경우 격벽(5)은 블랙 매트릭스에 해당한다.
제 1 노즐부(121)의 노즐(124)이 유체가 적하되어야 할 화소영역(3)으로 소정의 유체를 토출하면, 구동부는 헤드부(120)를 이동시켜 유체가 적하된 화소영역(3) 상에 가열부(123)가 위치하도록 한다. 가열부(123)에서 방출되는 광선 또는 열풍으로 인해 적하된 유체의 솔벤트가 증발된다. 도시된 바와 같이 가열부(123)는 레이저 혹은 적외선 다이오드(diode) 방출장치를 이용하며 각 노늘(124)의 위치와 나란하게 배열된다. 솔벤트가 증발된 후속적으로 제 2 노즐(123)에 의해 같은 화소영역(3)에 유체가 적하된다. 상술한 바와 같이 제 1 노즐(121) 및 제 2 노즐(123)로부터 토출되는 유체의 양은 다르게 조정될 수 있으며, 두 번의 토출을 통해 하나의 화소영역(3)이 완성된다.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명에 따른 기판의 제조방법을 설명하기 위한 도면이다. 도 5a는 화소영역(3)에 제 1 용량의 유체를 토출하는 것을 설명하기 위한 도면이고, 도 5b는 적하된 유체에 열을 가하는 단계를 설명하기 위한 도면이며, 도 5c는 화소영역(3)에 제 2 용량의 유체를 토출하는 것을 설명하기 위한 도면이고, 도 5d는 솔벤드가 모두 증발될 화소영역(3)을 설명하기 위한 도면이다.
현재 잉크젯 프린팅 방식을 적용하여 기판을 제조할 때 야기되는 문제점 중의 하나가 화소영역 개구부의 비평탄화에 의해 얼룩 및 빛샘이 발생하는 것이다. 이는 각 화소영역에 화소영역의 개구부가 갖고 있는 체적 이상의 유체가 채워지기 때문이다. 유체가 지정된 화소영역에 모두 채워지면 유체는 일반적으로 표면장력에 의해 격벽층과 비교하였을 때 볼록한 형상을 갖게 된다. 이러한 볼록하게 만들어진 유체는 시간이 경과함에 따라 유체 내의 용매가 휘발되는 동안 화소영역의 유체층의 두께가 감소하며 화소영역 개구부와 격벽 사이에 단차를 형성하고, 이는 기판 전체적인 패턴의 변경을 유발한다.
따라서, 본 발명은 노즐(124)의 배열을 중복으로 만들어 원하는 양의 유체를 토출함으로써 화소영역(3) 내에 발생하는 유체층의 단차 현상을 최소화 하고 기판(1)을 평탄하게 한다.
도 5a는 기판(1)에 미리 형성되어 있는 격벽(5) 사이의 화소영역(3)으로 제 1 용량의 유체(20)를 토출하는 것을 나타낸다. 제 1 용량의 유체는 격벽(5) 사이의 화소영역(3)을 가득 채우는 것이 아니라 대략 격벽의 2/3 정도의 두께를 형성할 만큼 토출된다. 제 1 용량은 다양하게 변경될 수 있으며, 후속적으로 이루어지는 가열 및 제 2 용량의 유체의 적하를 고려하여 정해진다. 제 1 용량의 유체는 화소영역(3) 내부를 균일하게 채우기 위하여 적절한 간격을 두고 토출된다.
도 5b는 적하된 제 1 용량의 유체에 열을 가하여 솔벤드를 증발시키는 단계를 나타낸다. 유체가 적하되는 즉시 순간적으로 솔벤트의 증발 속도를 높임으로써 표면 장력에 의한 유체 표면의 변화를 줄일 수 있다. 가열부(123)를 통하여 열이 가해지면 화소영역(3)에는 평탄한 유체층(21)이 형성된다. 이러한 순간적인 가열은 화소영역(3)의 제조 공정 시간을 줄이는 효과도 있다.
도 5c는 솔벤트가 증발된 후 제 2 노즐부(122)를 통해 화소영역(30)에 제 2 용량의 유체를 적하시키는 것을 나타낸다. 제 1 용량의 유체보다 적은 양의 유체를 평평한 유체층(21) 상으로 토출한다. 토출되는 유체의 양은 제 1 용량의 약 1/2정도이며, 화소영역(3)의 나머지 영역을 채운다. 적은 양이 토출되기 때문에 표면장력에 의한 표면의 굴곡은 거의 발생하지 않는다. 제 2 용량의 유체를 적하한 후에 솔벤트를 증발시키는 가열 과정이 더 포함될 수도 있다. 빠른 속도로 솔벤트가 증발되면 표면장력에 의한 영향도 덜 받아 평탄한 화소영역층을 형성할 수 있다.
도 5d는 도 5c에 적하된 제 2 용량 유체(30)의 솔벤트까지 증발한 후 최종적으로 형성된 화소영역층(40)을 나타낸다. 격벽(5)의 두께(d1)에 비해 최종적으로 형성된 화소영역 층(40)의 두께(d2)는 조금 적으며, 그 표면은 평탄하게 형성되어 있다. 컬러필터 기판의 경우 블랙 매트릭스의 두께(d1)는 약 1.5 μm 정도이다. 이 때 토출된 제 1 용량의 컬러필터 용액에 의해 약 1 μm가 채워지며, 제 2 노즐부(122)를 통해 토출된 제 2 용량의 컬러필터 용액에 의해 약 1.3 μm 까지 화소영역(3)이 채워진다. 블랙 매트릭스(5)와의 단차가 약 0.2 μm 정도로 거의 평탄한 컬러필터 기판을 형성할 수 있다.
상기 방법을 통하여 잉크젯 프린팅 방식을 적용하는 경우 기존의 방식에서 발생하는 화소영역 간의 단차 및 격벽간의 단차 또는 화소영역층의 굴곡 등이 해소되는 효과가 있다.
도 6은 본 발명에 따른 컬러필터 기판의 제조방법을 설명하기 위한 제어흐름도이다.
우선, 컬러필터 기판 상에 블랙 매트릭스를 형성한다(S1). 블랙 매트릭스는 잉크젯 프린팅 방식으로 제조되는 컬러필터 기판에서 격벽의 역할을 하며 컬러필터 용액이 적하될 화소영역을 구분한다. 그런 다음 화소영역을 형성하는 단계가 이어 진다. 먼저 제 1 용량의 컬러필터 용액을 상기 화소영역에 적하시킨다(S3). 컬러필터 용액은 컬러필터 잉크 및 잉크가 용해되어 있는 솔벤트를 포함한다. 이 때 적하되는 컬러필터 용액의 제 1 용량은 솔벤트가 증발되었을 때 화소영역의 공간을 약 2/3정도 채울 수 있는 정도인 것이 바람직하다. 제 1 용량의 컬러필터 용액이 적하된 직 후, 열을 가하여 솔벤트를 증발시킨다(S5). 제 1 용량의 컬러필터 용액이 짧은 시간 내에 평탄한 표면을 형성하도록 하기 위하여 솔벤트를 증발시키기 위한 가열 과정을 거친다. 솔벤트가 제거된 화소영역에 제 2 용량의 컬러필터 용액을 적하시킨다. 적하된 제 2 용량의 컬러필터 용액의 솔벤트가 증발되면 본 발명의 제조방법에 따른 컬러필터 기판이 완성된다.
비록 본 발명의 몇몇 실시예들이 도시되고 설명되었지만, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 당업자라면 본 발명의 원칙이나 정신에서 벗어나지 않으면서 기판의 평탄화를 실현할 수 있는 본 실시예를 변형할 수 있음을 알 수 있을 것이다. 발명의 범위는 첨부된 청구항과 그 균등물에 의해 정해질 것이다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 기판에 발생하는 얼룩 및 빛샘 현상이 방지되는 표시장치용 기판의 제조장치 및 이를 이용한 표시장치용 기판의 제조방법이 제공된다.

Claims (7)

  1. 기판을 지지하는 스테이지부와;
    상기 스테이지부와 상대 이동하며 상기 상대 이동 방향의 가로 방향으로 이격 배치되어 있으며 상기 스테이지부 상에 마련되어 있는 상기 기판 상에 유체를 적하시키기 위한 제1 노즐부 및 제 2 노즐부와 상기 제 1 노즐부와 상기 제 2노즐부 사이에 마련되어 적하된 상기 유체를 가열하기 위한 가열부를 포함하는 헤드부를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제 1 노즐부 및 제 2 노즐부는 일렬로 배열되어 있는 복수의 노즐을 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 노즐은 상기 유체를 적재한 본체부와 상기 유체를 상기 기판 상에 토출하는 니들부를 포함하는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 가열부는 레이저, 적외선, 마이크로 웨이브 중 적어도 하나를 이용하는 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조장치.
  5. 제1항 또는 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유체는 컬러필터 용액인 것을 특징으로 하는 표시장치용 기판의 제조장치.
  6. 기판 상에 격자상의 블랙 매트릭스를 형성하는 단계와;
    상기 블랙 매트릭스 사이의 화소영역에 제 1 용량의 컬러필터 용액을 적하시키는 단계와;
    적하된 상기 컬러필터 용액에 열을 가하여 솔벤트를 제거하는 단계와;
    솔벤트가 제거된 상기 컬러필터 용액 상에 제 2 용량의 컬러필터 용액을 적하시키는 단계를 포함하는 컬러필터 기판의 제조방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제 1 용량은 제 2 용량보다 큰 것을 특징으로 하는 컬러필터 기판의 제조방법.
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