JP4907947B2 - 塗布装置及び塗布装置の調整方法 - Google Patents
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- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims description 58
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims description 52
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 41
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 66
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 27
- 239000011295 pitch Substances 0.000 claims description 19
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 11
- 238000003892 spreading Methods 0.000 claims description 10
- 230000007480 spreading Effects 0.000 claims description 10
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 5
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 claims description 4
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 3
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 31
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 230000008569 process Effects 0.000 description 8
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 5
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 5
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 5
- 239000010408 film Substances 0.000 description 4
- 238000010191 image analysis Methods 0.000 description 4
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
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- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Description
一対の電極間に保持される光活性層を形成するための液滴を塗布する複数のノズルを備えた塗布装置において、
画素サイズが複数レベルで異なる複数の画素を等ピッチで一方向に配列した画素列を複数列備えた調整用基板を用意する工程と、
塗布装置の各ノズルから調整用基板の各画素列の画素に向けてそれぞれ液滴を塗布する工程と、
調整用基板の各画素に塗布された液滴の広がり状態に基づいて各ノズルから吐出される液滴の吐出量を調整する調整工程と、
を備えたことを特徴とする。
一対の電極間に保持される光活性層を形成するための液滴を塗布する複数のノズルを備えた塗布装置において、
画素ピッチが複数レベルで異なる等サイズの複数の画素を一方向に配列した画素列を複数列備えた調整用基板を用意する工程と、
塗布装置の各ノズルから調整用基板の各画素列の画素に向けてそれぞれ液滴を塗布する工程と、
調整用基板の各画素に塗布された液滴の広がり状態に基づいて各ノズルから吐出される液滴の各画素への着弾位置を調整する調整工程と、
を備えたことを特徴とする。
一対の電極間に保持される光活性層を形成するための液滴を塗布する複数のノズルと、
各ノズルから液滴を吐出させるための吐出機構と、
画素面積が複数レベルで異なる複数の画素を等ピッチで一方向に配列した画素列を複数列備えた調整用基板を備え、各ノズルから調整用基板の各画素列の画素に向けてそれぞれ液滴を塗布させ、調整用基板の各画素に塗布された液滴の広がり状態に基づいて前記吐出機構を制御して各ノズルから吐出される液滴の吐出量を調整する調整機構と、
を備えたことを特徴とする。
一対の電極間に保持される光活性層を形成するための液滴を塗布する複数のノズルと、
各ノズルから液滴を吐出させるための吐出機構と、
画素ピッチが複数レベルで異なる等サイズの複数の画素を一方向に配列した画素列を複数列備えた調整用基板を備え、各ノズルから調整用基板の各画素列の画素に向けてそれぞれ液滴を塗布させ、調整用基板の各画素に塗布された液滴の広がり状態に基づいて前記吐出機構を制御して各ノズルから吐出される液滴の各画素への着弾位置を調整する調整機構と、
を備えたことを特徴とする。
第1調整方法においては、ノズル間での液滴の吐出量のばらつきを調整する。まず、図6に示すように、画素サイズが複数レベルで異なる複数の画素PXを等ピッチで一方向すなわちX方向に配列した画素列Aを複数列備えた調整用基板SUBを用意する。ここで示した例では、各画素PXは、四角形状であり、画素サイズとは、各画素PXの開口面積に相当する。各画素列Aについて、図中の最も左側に配置された画素PXの画素サイズをaとしたとき、その右側に並んだ画素PXは、変調率kの画素サイズ(1+k)×a、(1+2k)×a、(1+3k)×a…を有している。例えば、各画素PXの変調率kは0.1〜5%の範囲で増減させる。この増減範囲は必要とする調整精度によって変更する。
第2調整方法においては、ノズル間での液滴の画素への着弾位置のばらつきを調整する。まず、図8に示すように、画素ピッチが複数レベルで異なる等サイズの複数の画素PXを一方向すなわちX方向に配列した画素列Aを複数列備えた調整用基板SUBを用意する。ここで示した例では、各画素PXは、四角形状であり、画素サイズは、全て同一サイズaとした。図8に示した例では、画素PXの形状は正方形で示したが、画素の形状に関しては特にこの例に限定するものではないが、正多角形もしくは円形とすることで中心対称性を確保することが望ましい。
次に、上述した塗布装置に適用可能な調整機構について説明する。
次に、上述したような構成の表示装置の製造方法について説明する。なお、ここでは、光活性層64は高分子系材料を用いてインクジェットによる選択塗布法により形成されるものとする。
Claims (3)
- 一対の電極間に保持される光活性層を形成するための液滴を塗布する複数のノズルを備えた塗布装置において、
画素ピッチが複数レベルで異なる等サイズの複数の画素を一方向に配列した画素列を複数列備えた調整用基板を用意する工程と、
塗布装置の各ノズルから調整用基板の各画素列の画素に向けてそれぞれ液滴を塗布する工程と、
調整用基板の各画素に塗布された液滴の広がり状態に基づいて各ノズルから吐出される液滴の各画素への着弾位置を調整する調整工程と、
を備えたことを特徴とする塗布装置の調整方法。 - 前記調整工程は、液滴を塗布した調整用基板を撮像する工程と、撮像した画像に基づいて画素の一部が液滴から露出する液滴の広がり不良を生じ始める画素サイズを検出する工程と、所望する画素サイズの画素が液滴で満たされるように各ノズルから液滴を吐出させるための吐出機構に印加する電圧を制御する工程と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の塗布装置の調整方法。
- 一対の電極間に保持される光活性層を形成するための液滴を塗布する複数のノズルと、
各ノズルから液滴を吐出させるための吐出機構と、
画素ピッチが複数レベルで異なる等サイズの複数の画素を一方向に配列した画素列を複数列備えた調整用基板を備え、各ノズルから調整用基板の各画素列の画素に向けてそれぞれ液滴を塗布させ、調整用基板の各画素に塗布された液滴の広がり状態に基づいて前記吐出機構を制御して各ノズルから吐出される液滴の各画素への着弾位置を調整する調整機構と、
を備えたことを特徴とする塗布装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005308558A JP4907947B2 (ja) | 2005-10-24 | 2005-10-24 | 塗布装置及び塗布装置の調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007111679A JP2007111679A (ja) | 2007-05-10 |
JP4907947B2 true JP4907947B2 (ja) | 2012-04-04 |
Family
ID=38094338
Family Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2005308558A Active JP4907947B2 (ja) | 2005-10-24 | 2005-10-24 | 塗布装置及び塗布装置の調整方法 |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4907947B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4427605B1 (ja) * | 2009-06-29 | 2010-03-10 | 信越エンジニアリング株式会社 | 接着剤の滴下制御方法 |
JP6485951B2 (ja) * | 2015-03-20 | 2019-03-20 | アネスト岩田株式会社 | 静電噴霧装置の流量調整方法、及び、その流量調整のできる静電噴霧装置 |
KR102611285B1 (ko) * | 2016-07-28 | 2023-12-06 | 엘지디스플레이 주식회사 | 잉크젯 인쇄 장비 및 방법 및 그를 이용한 표시 장치 제조 방법 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3111905B2 (ja) * | 1996-07-22 | 2000-11-27 | 東レ株式会社 | カラーフィルタの製造装置及び製造方法 |
JP2004253332A (ja) * | 2003-02-21 | 2004-09-09 | Toshiba Corp | 塗布用基板、インク塗布システム及びその塗布方法並びにそれを用いたデバイス製造装置 |
JP4466115B2 (ja) * | 2004-02-24 | 2010-05-26 | セイコーエプソン株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス装置、有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法、及び電子機器 |
-
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---|---|
JP2007111679A (ja) | 2007-05-10 |
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