JP2006281102A - 液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法及び電子機器 - Google Patents
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Abstract
【課題】 各ノズル間の液滴吐出特性のばらつきを減少することのできる液滴吐出装置及び該液滴吐出装置によって製造された各機能層の特性ばらつきが減少した電気光学装置の製造方法、該電気光学装置の製造方法によって製造された電子機器を提供する。
【解決手段】 液滴吐出装置30に、描画データに基づいた第1の駆動信号S1を生成する第1の回路部32と、各ノズル間の液滴吐出特性のばらつきに基づいた制御信号S3に応じて第1の駆動信号S1を変化させて圧電素子45を駆動制御させる第2の回路部50を備えた。そして、第2の回路部50では、1回の吐出駆動にてノズルから吐出される液滴の量が、全てのノズルで均一になるような制御信号S3が生成されるようにした。
【選択図】 図5
【解決手段】 液滴吐出装置30に、描画データに基づいた第1の駆動信号S1を生成する第1の回路部32と、各ノズル間の液滴吐出特性のばらつきに基づいた制御信号S3に応じて第1の駆動信号S1を変化させて圧電素子45を駆動制御させる第2の回路部50を備えた。そして、第2の回路部50では、1回の吐出駆動にてノズルから吐出される液滴の量が、全てのノズルで均一になるような制御信号S3が生成されるようにした。
【選択図】 図5
Description
本発明は、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法及び電子機器に関するものである。
近年、液晶ディスプレイに替わるフラットパネルディスプレイとして有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ(以下、有機ELディスプレイ)が注目されている。有機ELディスプレイは、有機エレクトロルミネッセンス素子(以下、有機EL素子)を発光素子として使用した自発発光型ディスプレイであるので、液晶ディスプレイのようにバックライトを使用しない。このため低消費電力化が図れる等の利点が挙げられる。
この種の有機ELディスプレイにおける発光材料(以下、「有機EL材料」という)としては、一般に高分子系有機材料と低分子系有機材料とに分類されており、その中でも高分子系材料については、所定の溶媒に溶解または分散させて液状化し、それを液滴吐出ヘッドのノズルから吐出して基板上に塗布させる液滴吐出法がある。この方法では、基板上に液滴を塗布した後、真空乾燥処理を施すことで液滴中の溶媒を蒸発させて前記有機材料から成る機能層(発光層や正孔輸送層等)を成膜化するようにしている。この液滴吐出法によると、液滴の直径をμmオーダーにまでにすることができるので、機能層の高精細パターニングが可能となる。
ところで、液滴吐出法は、複数のノズルを有し、該各ノズルに圧電素子(ピエゾ素子)を備えた液滴吐出ヘッドを具備した液滴吐出装置を使用して行われる。この液滴吐出装置において、1装置に複数個の液滴吐出ヘッドを使用する場合はヘッドの個体差(製造ばらつき)によりヘッド毎に液滴吐出特性(液滴吐出量)に差が生じる。又、ヘッド内に列状に複数のノズルが形成されているヘッドにおいては、異なったノズル列間や同一列内であってもノズル位置(中央、端)によりノズルの液滴吐出特性(液滴吐出量)が異なりノズルの液滴吐出量を均一にすることが困難である。その結果、機能膜の膜厚といった機能層の特性ばらつきがない表示品位の低下に繋がっていた。
そこで、1個の画素に行う描画を、それぞれ異なったノズルを使用して複数回に分けて行う。このようにすることで、塗布される液滴の量を均一化することで、各ノズルの吐出量のばらつきを抑制して膜の特性ばらつきを無くしている。
また、他には、描画データに応じて圧電素子を駆動させる駆動信号を生成する駆動回路をノズルの数だけ設け、各駆動回路から、ノズルの液滴吐出量のばらつきに応じた駆動信号を出力することで機能層の特性ばらつきを無くすることが提案されている(例えば、特許文献1)。
特開平11−221921号公報
しかしながら、駆動回路をノズルの数だけ設けると、その分、回路の規模が大きくなるとともにコスト高となってしまうという問題がある。一方、1個の画素に行う描画を、それぞれ異なったノズルを使用して複数回に分けて行うようにしても、本質的にはノズルの吐出量のばらつきは解消されていない。
そこで、本発明の目的とするところは、各ノズル間の液滴吐出特性のばらつきを減少することのできる液滴吐出装置及び該液滴吐出装置によって製造された各機能層の特性ばら
つきが減少した電気光学装置の製造方法、該電気光学装置の製造方法によって製造された電子機器を提供することにある。
つきが減少した電気光学装置の製造方法、該電気光学装置の製造方法によって製造された電子機器を提供することにある。
本発明の液滴吐出装置は、複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドを具備し、アクチュエータを駆動させることによって前記各ノズルから液状組成物を吐出する液滴吐出装置において、描画データに基づいた第1の駆動信号を生成する第1の駆動信号生成回路と、前記各ノズル間の液滴吐出特性のばらつきに応じた制御信号を生成する制御信号生成回路と、前記第1の駆動信号を前記制御信号に基づいて変化させて前記各ノズル間での液滴吐出特性のばらつきを補正した第2の駆動信号を生成する第2の駆動信号生成回路とを備えている。
これによれば、第2の駆動信号生成回路によって生成される第2の駆動信号は、各ノズル間で液滴吐出特性にばらつきが補正された駆動信号であるので、例えば、同一の第1の駆動信号が入力された場合、各ノズルから吐出される液状組成物の吐出量の均一性が高くなる。また、第1の駆動信号生成回路は一つあればよく、例えば、第2の駆動信号生成回路を可変抵抗素子といった簡単な素子で構成することで、低コストで、且つ、回路規模を大きくせずに各ノズルの液滴吐出特性のばらつきを補正することができる液滴吐出装置を提供することができる。また、各ノズルは均一性の高い量の液滴を吐出することができるので、1個の画素に行う描画を、それぞれ異なったノズルを使用して複数回に分けて行う、所謂「ノズルずらし」をする必要はない。この結果、短時間で多くの描画を行うことができる。
この液滴吐出装置において、前記第2の駆動信号生成回路は、可変抵抗素子であってもよい。
これによれば、第2の駆動信号生成回路は簡単な構成になる。従って、回路規模を大きくせずに各ノズルの液滴吐出特性のばらつきを減少させることができる液滴吐出装置を提供することができる。尚、ノズルの液滴吐出特性のばらつきとは、例えば、ノズルの液滴吐出量のばらつきのことである。
これによれば、第2の駆動信号生成回路は簡単な構成になる。従って、回路規模を大きくせずに各ノズルの液滴吐出特性のばらつきを減少させることができる液滴吐出装置を提供することができる。尚、ノズルの液滴吐出特性のばらつきとは、例えば、ノズルの液滴吐出量のばらつきのことである。
この液滴吐出装置において、前記可変抵抗素子は、MOSトランジスタで構成されていてもよい。
これによれば、第2の駆動信号生成回路の製造が簡単になる。従って、低コストで、且つ、回路規模を大きくせずに各ノズルの液滴吐出量のばらつきを減少させることができる液滴吐出装置を提供することができる。
これによれば、第2の駆動信号生成回路の製造が簡単になる。従って、低コストで、且つ、回路規模を大きくせずに各ノズルの液滴吐出量のばらつきを減少させることができる液滴吐出装置を提供することができる。
この液滴吐出装置において、前記アクチュエータは、圧電素子であってもよい。
これによれば、各ノズルに圧電素子を備えた液滴吐出ヘッドを具備した液滴吐出装置において、低コストで、且つ、回路規模を大きくせずに各ノズルの液滴吐出量のばらつきを減少させることができる。
これによれば、各ノズルに圧電素子を備えた液滴吐出ヘッドを具備した液滴吐出装置において、低コストで、且つ、回路規模を大きくせずに各ノズルの液滴吐出量のばらつきを減少させることができる。
この液滴吐出装置において、前記第2の駆動信号生成回路は、前記各ノズル間の液滴吐出特性のばらつきを与えるデータを書換え可能に記憶する記憶回路に接続されていてもよい。
これによれば、例えば、データが書き換え可能な記憶回路をフラッシュROM等で構成することにより、次に書き換えるまで第2の駆動信号の大きさを一定に保つことができる。
本発明の電気光学装置の製造方法は、基板上にマトリクス状に配置された複数の画素電
極と、前記各画素電極上にデータ信号に応じてその光学特性が制御される機能層と、を備えた電気光学装置を、液滴吐出ヘッドのノズルから前記画素電極上に、前記機能層を構成する機能材料を溶媒中に分散または溶解した液状組成物を吐出することによって形成する電気光学装置の製造方法において、描画データに基づいた第1の駆動信号を前記各ノズル間の液滴吐出特性のばらつきに応じて変化させて前記各ノズル間での液滴吐出特性のばらつきが無い第2の駆動信号を生成し、該第2の駆動信号を、前記ノズルに対して設けられたアクチュエータに供給して同第2の駆動信号に基づいた量の前記液状組成物を前記画素電極上に吐出する吐出工程と、前記画素電極上に吐出された前記液状組成物から前記溶媒を除去する除去工程とを備えている。
極と、前記各画素電極上にデータ信号に応じてその光学特性が制御される機能層と、を備えた電気光学装置を、液滴吐出ヘッドのノズルから前記画素電極上に、前記機能層を構成する機能材料を溶媒中に分散または溶解した液状組成物を吐出することによって形成する電気光学装置の製造方法において、描画データに基づいた第1の駆動信号を前記各ノズル間の液滴吐出特性のばらつきに応じて変化させて前記各ノズル間での液滴吐出特性のばらつきが無い第2の駆動信号を生成し、該第2の駆動信号を、前記ノズルに対して設けられたアクチュエータに供給して同第2の駆動信号に基づいた量の前記液状組成物を前記画素電極上に吐出する吐出工程と、前記画素電極上に吐出された前記液状組成物から前記溶媒を除去する除去工程とを備えている。
これによれば、第2の駆動信号生成回路によって生成される第2の駆動信号は、各ノズル間で液滴吐出特性にばらつきが補正された駆動信号であるので、例えば、同一の第1の駆動信号が入力された場合、各ノズルから吐出される液状組成物の吐出量のばらつきが抑えられる。また、第1の駆動信号生成回路は一つあればよく、例えば、第2の駆動信号生成回路を可変抵抗素子といった簡単な素子で構成することで、低コストで、且つ、回路規模を大きくせずに各ノズルの液滴吐出特性のばらつきを減少させることができる液滴吐出装置を提供することができる。また、各ノズルは均一の高い量の液滴を吐出することができるので、1個の画素に行う描画を、それぞれ異なったノズルを使用して複数回に分けて行う、所謂「ノズルずらし」をする必要はない。この結果、短時間で多くの描画を行うことができる。
この電気光学装置の製造方法において、前記アクチュエータは、圧電素子であって、前記吐出工程は、前記圧電素子に供給される駆動信号の大きさを前記各ノズル間の液滴吐出特性のばらつきに応じて変化させることで、前記各ノズル間の液滴吐出量のばらつきを減少させるようにしてもよい。
これによれば、各ノズルに圧電素子を備えた液滴吐出ヘッドを具備した液滴吐出装置において、低コストで、且つ、回路規模を大きくせずに各ノズルの液滴吐出特性のばらつきを減少させることができる。
本発明の電子機器は、上記記載の電気光学装置の製造方法によって製造された電気光学装置を具備している。
これによれば、膜の特性ばらつきがない表示品位の優れた電気光学装置を備えた電子機器を提供することができる。
これによれば、膜の特性ばらつきがない表示品位の優れた電気光学装置を備えた電子機器を提供することができる。
以下、本発明の一実施形態を図面に従って説明する。
まず、本発明の液滴吐出装置及び該液滴吐出装置を使用して製造された電気光学装置の一例としての有機ELディスプレイについて各図に従って説明する。
まず、本発明の液滴吐出装置及び該液滴吐出装置を使用して製造された電気光学装置の一例としての有機ELディスプレイについて各図に従って説明する。
図1は、有機ELディスプレイを説明する正面図であり、図2は、有機ELディスプレイの図1中a−a線での断面図である。
図1に示すように、有機ELディスプレイ1は、ディスプレイ部2と、該ディスプレイ部2の下側部(図1中Y矢印方向)に接続されたフレキシブル回路基板3とから構成されている。
図1に示すように、有機ELディスプレイ1は、ディスプレイ部2と、該ディスプレイ部2の下側部(図1中Y矢印方向)に接続されたフレキシブル回路基板3とから構成されている。
ディスプレイ部2は、基板4を備えている。基板4は、本実施形態では、光透過性を有するガラスで構成されている。基板4は、図1に示すように、その中央に略四角形状の塗布領域5を備えている。また、基板4上であって、塗布領域5以外の領域(以下、「非塗布領域」という)6には、一対の走査線駆動回路7が形成されている。
塗布領域5には、行方向(X矢印方向)にm個の画素8が、また列方向(Y矢印方向)にn個の画素8が、それぞれ行方向及び列方向に等ピッチで形成されている。つまり、塗布領域5には、m×n個の画素8がマトリクス状に形成されている。
m×n個の画素8には、赤色用有機EL素子9R、緑色用有機EL素子9G及び青色用有機EL素子9Bが形成されている。そして、X矢印方向に沿っては、赤色用有機EL素子9R、緑色用有機EL素子9G、青色用有機EL素子9B、赤色用有機EL素子9R、緑色用有機EL素子9G、…の順に繰り返して配置されている。また、Y矢印方向(列方向)に沿っては、同色の有機EL素子9R,9G,9Bが配置されている。
図2は、有機ELディスプレイ1の図1中a−a線での断面図である。
図2に示すように、各色用有機EL素子9R,9G,9Bは、基板4上に形成された回路形成層4a上に形成されている。この回路形成層4aは、各色用有機EL素子9R,9G,9Bに駆動電力を供給する薄膜トランジスタ(TFT)10といった各種回路素子や走査線駆動回路7(図1参照)を構成する回路素子の一部または全部が形成された層である。
図2に示すように、各色用有機EL素子9R,9G,9Bは、基板4上に形成された回路形成層4a上に形成されている。この回路形成層4aは、各色用有機EL素子9R,9G,9Bに駆動電力を供給する薄膜トランジスタ(TFT)10といった各種回路素子や走査線駆動回路7(図1参照)を構成する回路素子の一部または全部が形成された層である。
回路形成層4a上の塗布領域5に対応した領域には、各画素8をマトリクス状に区画するバンク11(隔壁)が形成されている。バンク11は、回路形成層4a上に形成された親液性バンク11aと、該親液性バンク11a上に形成された撥液性バンク11bとから構成されている。親液性バンク11aは、元来、親液性を備えた材料であって、例えば、酸化珪素(SiO2)で構成されたものである。また、親液性を備えていないものであっても、通常用いられる公知の親液化処理を施すことで表面を親液化したものであってもよい。一方、撥液性バンク11bは、元来、撥液性を備えた材料、例えば、フッ素系樹脂で構成されたものであってもよい。また、撥液性を備えていないものであっても、通常用いられるアクリル樹脂やポリイミド樹脂等の有機樹脂をパターン形成し、CF4プラズマ処
理等により表面を撥液化したものであってもよい。
理等により表面を撥液化したものであってもよい。
そして、図2に示すように、バンク11によって区画形成された各凹状領域12の底部には、画素電極13が形成されている。各画素電極13上には、本実施形態においては、正孔輸送層14、発光層15R,15G,15Bの順に積層されてなる機能層16が形成されている。各画素電極13は、対応する薄膜トランジスタ10とコンタクトホールHを介して電気的に接続されている。各発光層15R,15G,15Bは、それぞれ有機発光材料で構成されている。発光層15R,15G,15Bのうち、発光層15Rは、赤色の光を出射する発光層であり、発光層15Gは、緑色の光を出射する発光層であり、発光層15Bは、青色の光を出射する発光層である。
各バンク11及び発光層15R,15G,15B上全面に渡って陰極17が形成されている。この陰極17は、非塗布領域6の一部を覆うように形成されている。また、回路形成層4aの外周縁部には陰極17全面を覆うように封止部材18が形成されている。そして、前記した画素電極13、正孔輸送層14、赤用発光層15R及び陰極17が積層されて図1に示した赤色用有機EL素子9Rが構成される。また、画素電極13、正孔輸送層14、緑用発光層15G及び陰極17が積層されて緑色用有機EL素子9Gが構成される。同様に、画素電極13、正孔輸送層14、青用発光層15R及び陰極17が積層されて青色用有機EL素子9Bが構成される。
このような構成を有する有機ELディスプレイ1は、図2に示すように、所定の画素電極13上に形成される正孔輸送層14の膜厚と、他の画素電極13上に形成される正孔輸送層14の膜厚とが均一になっている。つまり、全ての正孔輸送層14の膜厚は均一であ
る。また、各正孔輸送層14上に形成される発光層15R,15G,15Bも、正孔輸送層14と同様に、同色の発光層15R,15G,15B同士でその膜厚が均一になっている。
る。また、各正孔輸送層14上に形成される発光層15R,15G,15Bも、正孔輸送層14と同様に、同色の発光層15R,15G,15B同士でその膜厚が均一になっている。
尚、説明の便宜上、基板4上に、回路形成層4a、バンク11(凹状領域12)及び画素電極13が形成されたものを電気光学用基板としての素子基板19という。
また、図1に示すように、一対の走査線駆動回路7は、非塗布領域6には塗布領域5を挟むようにして配置されている。各走査線駆動回路7は、前記したマトリクス状に配置された画素8のうちの所望の1行の画素8群を選択する走査信号を出力する。
また、図1に示すように、一対の走査線駆動回路7は、非塗布領域6には塗布領域5を挟むようにして配置されている。各走査線駆動回路7は、前記したマトリクス状に配置された画素8のうちの所望の1行の画素8群を選択する走査信号を出力する。
一方、フレキシブル回路基板3上にはデータ線駆動回路20と制御回路21とが形成されている。データ線駆動回路20は、前記走査線駆動回路7が出力した走査信号によって選択された行の画素5群に対して、その各色用有機EL素子9R,9G,9Bの発光輝度を決定するデータ信号を出力する。制御回路21は、各走査線駆動回路7及びデータ線駆動回路20の駆動を制御するための各種制御信号を生成し、その生成した制御信号を各駆動回路7,20にそれぞれ出力する。
次に、有機ELディスプレイ1の機能層16を形成するために用いられる液滴吐出装置の一例について図3〜図6に従って説明する。
図3(a)は、液滴吐出装置の一部斜視図であり、図3(b)は、液滴吐出装置の全体構成図である。この液滴吐出装置30は、素子基板19の各画素電極13上に、公知の液滴吐出法を用いて、正孔輸送層14を成膜するときに使用するものである。即ち、正孔輸送層14を構成する膜形成成分としての正孔輸送層材料を溶媒に溶解または分散した液状組成物Lを、この液滴吐出装置30によって液滴化して各画素電極13上に塗布した後、その素子基板19を加熱して同液状組成物L中の溶媒を蒸発させて正孔輸送層14を成膜化する。尚、機能層16を構成する正孔輸送層14以外の他の層である発光層15R,15G,15Bも、正孔輸送層14と同様に、発光層15R,15G,15Bを構成する膜形成成分としての各色用発光材料を溶媒に溶解または分散した液状組成物Lr,Lg,Lbを液滴化して、各正孔輸送層14上に塗布する。その後、その素子基板19を加熱して同液状組成物中の溶媒を蒸発させて発光層15R,15G,15Bを成膜化する。そして、発光層15R,15G,15Bを形成するための液滴吐出装置は、正孔輸送層14を成膜するときに使用される液滴吐出装置30と同様な構成をしているので、以下の説明では、正孔輸送層14を形成する液滴吐出装置30のみを説明し、他の液滴吐出装置については、その説明を省略する。
図3(a)は、液滴吐出装置の一部斜視図であり、図3(b)は、液滴吐出装置の全体構成図である。この液滴吐出装置30は、素子基板19の各画素電極13上に、公知の液滴吐出法を用いて、正孔輸送層14を成膜するときに使用するものである。即ち、正孔輸送層14を構成する膜形成成分としての正孔輸送層材料を溶媒に溶解または分散した液状組成物Lを、この液滴吐出装置30によって液滴化して各画素電極13上に塗布した後、その素子基板19を加熱して同液状組成物L中の溶媒を蒸発させて正孔輸送層14を成膜化する。尚、機能層16を構成する正孔輸送層14以外の他の層である発光層15R,15G,15Bも、正孔輸送層14と同様に、発光層15R,15G,15Bを構成する膜形成成分としての各色用発光材料を溶媒に溶解または分散した液状組成物Lr,Lg,Lbを液滴化して、各正孔輸送層14上に塗布する。その後、その素子基板19を加熱して同液状組成物中の溶媒を蒸発させて発光層15R,15G,15Bを成膜化する。そして、発光層15R,15G,15Bを形成するための液滴吐出装置は、正孔輸送層14を成膜するときに使用される液滴吐出装置30と同様な構成をしているので、以下の説明では、正孔輸送層14を形成する液滴吐出装置30のみを説明し、他の液滴吐出装置については、その説明を省略する。
図3(a)は、液滴吐出装置30の全体構成を示す斜視図である。図3(a)に示すように、液滴吐出装置30には、直方体形状に形成される基台31が備えられている。本実施形態では、この基台31の長手方向を図1中Y矢印方向に合わせ、同Y矢印方向と直交する同基台31の短手方向を図1中X矢印方向に合わせてある。
基台31には、第1の回路部32が内蔵されている。この第1の回路部32は、液状組成物Lを吐出する位置を与える位置データ及び後記する液滴の吐出量に関するデータである描画データを記憶する第1のメモリM1、及び記憶された描画データに基づいて液滴吐出装置30の全体の駆動を制御するための第1の駆動信号S1(図5参照)を生成して出力する第1の駆動信号生成回路としての第1の駆動信号出力回路33とを備えている。
基台31の上面31aには、Y矢印方向に延びる一対の案内凹溝34が同Y矢印方向全
幅に渡って形成されている。その基台31の上側には、案内凹溝34に対応する図示しない直動機構を備えたステージ35が取付けられている。ステージ35の直動機構は、公知の直動機構であって、例えば案内凹溝34に沿ってY矢印方向に延びるネジ軸(駆動軸)
と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構である。そして、そのネジ軸がステップモータよりなるY軸モータに連結され、所定のステップ数に相対する駆動信号がY軸モータに入力されると、Y軸モータが正転又は逆転して、ステージ35が同ステップ数に相当する分だけ、Y矢印方向に沿って所定の速度で往動又は復動する(Y矢印方向に移動する)ようになっている。尚、本実施形態では、ステージ35が案内凹溝34(基台31)の最も手前側に配置する位置(図1における実線位置)を往動位置として、同案内凹溝34(基台31)の最も奥側に配置する位置(図3(a)における2点鎖線位置)を復動位置とする。
幅に渡って形成されている。その基台31の上側には、案内凹溝34に対応する図示しない直動機構を備えたステージ35が取付けられている。ステージ35の直動機構は、公知の直動機構であって、例えば案内凹溝34に沿ってY矢印方向に延びるネジ軸(駆動軸)
と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構である。そして、そのネジ軸がステップモータよりなるY軸モータに連結され、所定のステップ数に相対する駆動信号がY軸モータに入力されると、Y軸モータが正転又は逆転して、ステージ35が同ステップ数に相当する分だけ、Y矢印方向に沿って所定の速度で往動又は復動する(Y矢印方向に移動する)ようになっている。尚、本実施形態では、ステージ35が案内凹溝34(基台31)の最も手前側に配置する位置(図1における実線位置)を往動位置として、同案内凹溝34(基台31)の最も奥側に配置する位置(図3(a)における2点鎖線位置)を復動位置とする。
そのステージ35の上面には、載置面36が形成され、該載置面36には、図示しない吸引式の基板チャック機構が設けられている。そして、載置面36に基板4(素子基板19)を載置すると、前記基板チャックによって、基板4(素子基板19)が載置面36の所定位置に位置決め固定されるようになっている。
基台31のX矢印方向両側には、一対の支持アーム37a,37bが立設され、その支持アーム37a,37bには、X矢印方向に延びる案内部材38が架設されている。案内部材38は、その長手方向の幅がステージ35のX矢印方向よりも長く形成され、その一端が支持アーム37a側に張り出すように配置されている。
案内部材38の上側には、前記した正孔輸送層14を構成するための液状組成物Lを収納する収容タンク39が配設されている。液状組成物Lは、正孔輸送層14を構成する機能材料としての正孔輸送層材料を溶媒に溶解または分散させて液状体化したものである。
一方、その案内部材38の下側には、X矢印方向に延びる上下一対の案内レール40がX矢印方向全幅にわたり設けられている。案内レール40には、キャリッジ41がX矢印方向に沿って移動可能となるように取付けられている。つまり、X矢印方向はキャリッジ41の走査方向に一致する。尚、このキャリッジ41の直動機構は、公知の直動機構であって、例えば案内レール40に沿ってX矢印方向に延びるネジ軸(駆動軸)と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、そのネジ軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するX軸モータに連結されている。そして、所定のステップ数に相当する駆動信号をX軸モータに入力すると、X軸モータが正転又は逆転して、キャリッジ41が同ステップ数に相当する分だけX矢印方向に沿って往動又は復動する。
また、キャリッジ41には、液滴吐出ヘッド42が一体に設けられている。
図3(b)は、液滴吐出ヘッド42の下面(ステージ35側の面)を下側から見た場合の斜視図である。液滴吐出ヘッド42は、その下面42aに複数個のノズルNを構成するノズルプレートPを備えている。各ノズルNは、X矢印方向及びY矢印方向に等ピッチになるように形成されている。また、各ノズルNは、基板4上に形成される各画素電極13と同じピッチになるように形成されている。
図3(b)は、液滴吐出ヘッド42の下面(ステージ35側の面)を下側から見た場合の斜視図である。液滴吐出ヘッド42は、その下面42aに複数個のノズルNを構成するノズルプレートPを備えている。各ノズルNは、X矢印方向及びY矢印方向に等ピッチになるように形成されている。また、各ノズルNは、基板4上に形成される各画素電極13と同じピッチになるように形成されている。
図4〜図6は、それぞれ、液滴吐出装置30の詳細な構成を説明するための図である。図4は、液滴吐出ヘッド42の一部断面斜視図である。
図4に示すように、液滴吐出ヘッド42は、枠体43Aと、収容ケース43Bと、枠体43Aと収容ケース43Bとで挟まれて固定された振動板44を備えている。また、液滴吐出ヘッド42は、枠体43Aの下面(図3(b)に示す液滴吐出ヘッド42の下面42aに相当する)に固着された前記ノズルプレートPと、収容ケース43Bに収容支持された圧電素子(ピエゾ素子)45とを備えている。
図4に示すように、液滴吐出ヘッド42は、枠体43Aと、収容ケース43Bと、枠体43Aと収容ケース43Bとで挟まれて固定された振動板44を備えている。また、液滴吐出ヘッド42は、枠体43Aの下面(図3(b)に示す液滴吐出ヘッド42の下面42aに相当する)に固着された前記ノズルプレートPと、収容ケース43Bに収容支持された圧電素子(ピエゾ素子)45とを備えている。
振動板44は、可撓性を有するフィルムであって、例えば本実施形態では有機物で構成
されている。
枠体43Aは、前記収容タンク39(図3(a)参照)と図示しないチューブを介して連結され、該収容タンク39内の液状組成物LをノズルNに導く流路46と、該液状組成物Lを一時的に保持する保持室47が形成されている。そして、収容タンク39から供給された液状組成物Lは流路46を介して保持室47に一時的に保持されるようになっている。各ノズルNは、一つの保持室47に対応して形成されている。各ノズルNは、テーパ状の第1孔部48と、該孔部48に連結した円柱状の第2孔部49とから構成されている。
されている。
枠体43Aは、前記収容タンク39(図3(a)参照)と図示しないチューブを介して連結され、該収容タンク39内の液状組成物LをノズルNに導く流路46と、該液状組成物Lを一時的に保持する保持室47が形成されている。そして、収容タンク39から供給された液状組成物Lは流路46を介して保持室47に一時的に保持されるようになっている。各ノズルNは、一つの保持室47に対応して形成されている。各ノズルNは、テーパ状の第1孔部48と、該孔部48に連結した円柱状の第2孔部49とから構成されている。
一方、収容ケース43Bには、圧電素子45を駆動制御するための第2の駆動信号S2(図5参照)を生成する第2の回路部50を内蔵した支持体Cが支持固定されている。支持体Cは、ノズルNに対応した位置に同ノズルNの数だけ設けられている。
そして、第2の回路部50から圧電素子45に第2の駆動信号S2が供給されると、それまで伸びていた圧電素子45が縮んでもとの状態に戻るように歪み、それに伴って、振動板44が変形する。すると、流路46内の液状組成物Lが保持室47に吸引される。続いて、圧電素子45が伸びるように歪むと、振動板44が圧電素子45によって押されて変形する。このときに、保持室47内の液状組成物Lのうち、例えば、数10ピコリットルの液状組成物Lが、ノズルNを通ることで粒状に形成された液滴Qとして吐出される。
図5は、液滴吐出装置30の電気的構成を説明するためのブロック図であり、図6は、その回路図である。
図5に示すように、液滴吐出装置30は、前記したように、第1及び第2の回路部32,50及び圧電素子45を備えている。
図5に示すように、液滴吐出装置30は、前記したように、第1及び第2の回路部32,50及び圧電素子45を備えている。
第1の回路部32の第1の駆動信号出力回路33は、第1のメモリM1に記憶された描画データに基づいて、電圧信号である第1の駆動信号S1を生成する。この描画データは、ステージ35上の所定の位置に基板4が載置された場合に、主走査方向(図3中X矢印方向)に沿って配置された画素電極13上に対向する位置にキャリッジ41を順次走査させるとともに、画素電極13上に対向する位置に至る毎に圧電素子45を駆動させるためのデータである。この描画データは、各圧電素子45間の吐出特性のばらつきを考慮していないデータである。そして、この第1の駆動信号S1は、第2の回路部50に供給される。
各第2の回路部50は、第2のメモリM2、第2の駆動信号生成回路としての第2の駆動信号出力回路50a及び制御信号生成回路としての信号生成回路50bを備えている。
第2のメモリM2は、フラッシュROMで構成されている。第2のメモリM2は、各ノズルNの吐出特性のばらつきを補正する補正データを記憶する。ここで、ノズルNの吐出特性のばらつきとは、本実施形態においては、同一の駆動信号を供給して圧電素子(ピエゾ素子)45を駆動制御させて対応するノズルNから液状組成物Lを吐出させた場合の吐出量(液滴Qの量)のノズルN間のばらつきである。
第2のメモリM2は、フラッシュROMで構成されている。第2のメモリM2は、各ノズルNの吐出特性のばらつきを補正する補正データを記憶する。ここで、ノズルNの吐出特性のばらつきとは、本実施形態においては、同一の駆動信号を供給して圧電素子(ピエゾ素子)45を駆動制御させて対応するノズルNから液状組成物Lを吐出させた場合の吐出量(液滴Qの量)のノズルN間のばらつきである。
補正データは、例えば、第2のメモリM2に如何なるデータを記憶させていない状態で、各第1の駆動信号出力回路33から同一の大きさの第1の駆動信号S1を第2の駆動信号出力回路50aを介して第2の駆動信号S2として対応する全ての圧電素子45に出力させる。その結果、圧電素子45が駆動制御されて各ノズルNから液滴Qが吐出されるが、このとき、吐出された後の飛翔中の液滴Qを図示しないカメラで撮影し、その撮影された図から1回の吐出駆動にて吐出される液滴Qの大きさを測定する。そして、この測定結果に基づいて、1回の吐出駆動にて吐出される液滴Qの量が、全てのノズルNで吐出量にばらつきが少なくなるような駆動信号の大きさを設定する。そして、この1回の吐出駆動
にて吐出される液滴Qのばらつきが全てのノズルNで減少するような駆動信号が第2の駆動信号S2となるように、第1の駆動信号S1を補正するための補正データを第2のメモリM2に書き込む。このとき、この第2のメモリM2は、フラッシュROMで構成されているため、常時、一旦記憶された補正データは、次に書き換えるまで記憶保持される。このような吐出量の測定には、他にも一定の撥液性を有する基板上に吐出して、着弾した液滴の径を測定する様な方法を用いることもできる。 信号生成回路50bは、第2のメモリM2からの補正データに従った大きさの制御信号S3を生成する回路であり、例えば、公知の昇圧回路で構成されている。本実施形態では、制御信号S3は、電圧信号である。
にて吐出される液滴Qのばらつきが全てのノズルNで減少するような駆動信号が第2の駆動信号S2となるように、第1の駆動信号S1を補正するための補正データを第2のメモリM2に書き込む。このとき、この第2のメモリM2は、フラッシュROMで構成されているため、常時、一旦記憶された補正データは、次に書き換えるまで記憶保持される。このような吐出量の測定には、他にも一定の撥液性を有する基板上に吐出して、着弾した液滴の径を測定する様な方法を用いることもできる。 信号生成回路50bは、第2のメモリM2からの補正データに従った大きさの制御信号S3を生成する回路であり、例えば、公知の昇圧回路で構成されている。本実施形態では、制御信号S3は、電圧信号である。
第2の駆動信号出力回路50aは、第1の駆動信号出力回路33から出力される第1の駆動信号S1の大きさ(電圧値)を、信号生成回路50bから出力される制御信号S3の大きさ(電圧値)に応じて変化させることで第2の駆動信号S2を生成する。そして、第2の駆動信号出力回路50aは、生成した第2の駆動信号S2を圧電素子45に供給する。
図6に示すように、本実施形態の第2の駆動信号出力回路50aは、NチャネルMOSトランジスタで構成されている。MOSトランジスタのドレインは第1の駆動信号出力回路33に電気的に接続されており、ソースは圧電素子45に電気的に接続されている。また、MOSトランジスタのゲートは、第2の駆動信号出力回路50aに電気的に接続されている。このため、MOSトランジスタのドレイン/ソースの導電率は、ゲートに供給される制御信号S3の大きさによって変化するので、圧電素子45には、第1の駆動信号S1が制御信号S3に応じて変化した第2の駆動信号S2が供給される。つまり、MOSトランジスタで構成することで、第2の駆動信号出力回路50aを可変抵抗素子として使用する。
この結果、例えば、第1の回路部32から同一の大きさの第1の駆動信号S1を、第2の駆動信号出力回路50aを介して第2の駆動信号S2として対応する全ての圧電素子45に供給させた場合、各ノズルNからは、1回の吐出駆動にて吐出される液滴Qの量が全てのノズルNで同一となる。つまり、同一の第1の駆動信号S1が入力された場合、各ノズルNから吐出される液滴Qの吐出量は均一となる。
次に、図7〜図9に従って有機ELディスプレイ1の製造方法を説明する。有機ELディスプレイ1は、機能層16が液滴吐出装置30によって成膜されるものであり、同機能層16以外の各層は、公知の方法によって成膜されるものである。従って、機能層16以外の各種層の成膜方法は、その説明を省略する。
図7(a)に示すように、正孔輸送層材料が溶媒中に溶解または分散した液状組成物Lを吐出するキャリッジ41を選択する。このキャリッジ41の液滴吐出ヘッド42は、前記したように、図7(a)中X矢印方向に沿って延設された案内レール40に支持されてX矢印方向または反X矢印方向(走査方向)に移動可能である。
先ず、キャリッジ41の位置を案内レール40に沿って調整して、液滴吐出ヘッド42のノズルNが、素子基板19の所定の画素電極13(例えば1行目の画素電極13群)と対向する位置に合わせる。この状態で、図7(a)に示すように、ノズルNから液滴化した液状組成物Lを吐出して対向する画素電極13上に塗布する。すると、バンク11の親液性バンク11aに接触することによって画素電極13上全面に液状組成物Lが濡れ広がる。また、このとき、撥液性バンク11bによって隣接した他の画素電極13上には液状組成物Lが濡れ広がることはない。このとき、各ノズルNから吐出される液状組成物Lの吐出量は均一となる。
続いて、図7(b)に示すように、キャリッジ41をX矢印方向に沿って各画素ピッチずつ移動させながら、ノズルNから液滴化した液滴Qを吐出して、1行分のm個の画素電極13上に液状組成物Lを塗布する(吐出工程)。
その後、他の行の画素電極13上にも前記と同様にして、液状組成物Lを順次塗布することで素子基板19上にある全ての画素電極13上に液状組成物Lを塗布する(図7(c)参照)。
その後、液状組成物Lが塗布された素子基板19を、例えば、図示しないホットプレート上に載置して素子基板19を加熱して塗布された液状組成物L中の溶媒を蒸発して除去する(除去工程)。
この結果、図8に示すように、全ての画素電極13上に正孔輸送層14が形成される。このとき、各ノズルNから吐出される液滴Qの吐出量は均一であるので、形成される正孔輸送層14の膜厚は、各凹状領域12内において等しくなる。
その後、膜形成成分である赤用発光層材料が溶媒中に溶解または分散した液状組成物Lrを吐出する液滴吐出ヘッド、緑用発光層材料が溶媒中に溶解または分散した液状組成物Lgを吐出する液滴吐出ヘッド、青用発光層材料が溶媒中に溶解または分散した液状組成物Lbを吐出する液滴吐出ヘッドを順次選択する。そして、図9(a)に示すように、各液滴吐出ヘッドのノズルから液滴化した液状組成物Lr,Lg,Lbを吐出して先に成膜した各正孔輸送層14上に塗布する(吐出工程)。
その後、再び、液状組成物Lr,Lg,Lbが塗布された素子基板19を、例えば、図示しないホットプレート上に載置して素子基板19を加熱して塗布された液状組成物Lr,Lg,Lb中の溶媒を蒸発して除去する(除去工程)。
この結果、図9(b)に示すように、全ての画素電極13上に各赤、緑及び青用発光層15R,15G,15Bが形成される。このとき、各ノズルNから吐出される液状組成物Lr,Lg,Lbの吐出量は均一であるので、形成される赤用発光層15R同士、緑用発光層15G同士、及び青用発光層15B同士の各膜厚は、各凹状領域12間で等しくなる。
その後、バンク11と各発光層15R,15G,15Bとの上に、LiF層、Ca層、Al層等を蒸着方法等により積層し、陰極17を形成する。その後、封止部材18によりディスプレイ部2を封止する。さらに、ディスプレイ部2と、別途製造されたフレキシブル回路基板3とを接続して、有機ELディスプレイ1が製造される。
上記したように、本実施形態によれば、以下の効果を奏する。
(1)本実施形態によれば、液滴吐出装置30に、描画データに基づいた第1の駆動信号S1を生成する第1の回路部32と、各ノズル間の液滴吐出特性のばらつきに基づいた制御信号S3に応じて第1の駆動信号S1を変化させて圧電素子45を駆動制御させる第2の回路部50を備えた。そして、第2の回路部50では、1回の吐出駆動にてノズルNから吐出される液滴の量が、全てのノズルで均一になるような制御信号S3が生成されるようにした。従って、例えば、同一の第1の駆動信号S1が入力された場合、各ノズルNから吐出される液滴Qの吐出量は全て均一になる。この結果、全ての正孔輸送層14の膜厚を均一にすることができる。
(2)しかも、本実施形態によれば、第1の回路部32は一つあればよく、且つ、第2の駆動信号出力回路50aをMOSトランジスタで構成したので、回路規模を大きくせずに低コストで、且つ、各ノズルNの液滴Qの吐出量のばらつきを減少させることができる液
滴吐出装置30を提供することができる。
(3)本実施形態によれば、正孔輸送層14以外の各発光層15R,15G,15Bも、上記と同様な液滴吐出装置を使用して形成した。従って、例えば、同一の第1の駆動信号S1が入力された場合、各ノズルNから吐出される液滴の吐出量は全て均一になる。この結果、同色の発光層15R,15G,15B同士でその膜厚を均一にすることができる。(4)本実施形態によれば、同一の第1の駆動信号S1が入力された場合、各ノズルNは均一な量の液滴Qを吐出することができるので、1個の画素に行う描画を、それぞれ異なったノズルを使用して複数回に分けて行う、所謂「ノズルずらし」をする必要はない。この結果、短時間で多くの描画を行うことができる。
(5)本実施形態によれば、各ノズルNの吐出特性のばらつきを補正する補正データを記憶する第2のメモリM2をフラッシュROMで構成した。従って、一旦、補正データを記憶させると、次に新たな補正データに書き換えるまでは、その補正データを記憶させる必要がない。この結果、液滴吐出装置30を使用する毎に補正データを記憶させるという煩わしさを解消することができる。
(6)本実施形態によれば、第1及び第2の駆動信号S1,S2は、それぞれ電圧信号である。従って、液滴Qを吐出するアクチュエータとして電圧駆動素子である圧電素子を使用した液滴吐出装置30の各ノズルに圧電素子を備えた液滴吐出ヘッドを具備した液滴吐出装置において、低コストで、且つ、回路規模を大きくせずに各ノズルNの液滴Qの吐出量のばらつきを減少させることができる。
(7)本実施形態によれば、各第1の駆動信号出力回路33から同一の大きさの第1の駆動信号S1を第2の駆動信号出力回路50aを介して第2の駆動信号S2として対応する全ての圧電素子45に出力した。そして、各ノズルNから液滴Qを吐出させ飛翔中の液滴Qをカメラで撮影し、その撮影された図から1回の吐出駆動にて吐出される液滴Qの大きさを測定し、その測定結果に基づいて、1回の吐出駆動にて吐出される液滴Qの量が、全てのノズルNで偏差が無くなるような駆動信号の大きさを設定するようにした。そして、この1回の吐出駆動にて吐出される液滴Qの量が全てのノズルNで偏差が無くなるような駆動信号を、第2の駆動信号S2とし、その第2の駆動信号S2と第1の駆動信号S1との差を与えるデータを補正データとして第2のメモリM2に書き込むようにした。従って、簡単に、補正データを得ることが得きる。
(第2実施形態)
次に、第1実施形態で説明した電気光学装置としての有機ELディスプレイ1の電子機器の適用について図10に従って説明する。有機ELディスプレイ1は、モバイル型のパーソナルコンピュータ、携帯電話、デジタルカメラ等種々の電子機器に適用できる。
(1)本実施形態によれば、液滴吐出装置30に、描画データに基づいた第1の駆動信号S1を生成する第1の回路部32と、各ノズル間の液滴吐出特性のばらつきに基づいた制御信号S3に応じて第1の駆動信号S1を変化させて圧電素子45を駆動制御させる第2の回路部50を備えた。そして、第2の回路部50では、1回の吐出駆動にてノズルNから吐出される液滴の量が、全てのノズルで均一になるような制御信号S3が生成されるようにした。従って、例えば、同一の第1の駆動信号S1が入力された場合、各ノズルNから吐出される液滴Qの吐出量は全て均一になる。この結果、全ての正孔輸送層14の膜厚を均一にすることができる。
(2)しかも、本実施形態によれば、第1の回路部32は一つあればよく、且つ、第2の駆動信号出力回路50aをMOSトランジスタで構成したので、回路規模を大きくせずに低コストで、且つ、各ノズルNの液滴Qの吐出量のばらつきを減少させることができる液
滴吐出装置30を提供することができる。
(3)本実施形態によれば、正孔輸送層14以外の各発光層15R,15G,15Bも、上記と同様な液滴吐出装置を使用して形成した。従って、例えば、同一の第1の駆動信号S1が入力された場合、各ノズルNから吐出される液滴の吐出量は全て均一になる。この結果、同色の発光層15R,15G,15B同士でその膜厚を均一にすることができる。(4)本実施形態によれば、同一の第1の駆動信号S1が入力された場合、各ノズルNは均一な量の液滴Qを吐出することができるので、1個の画素に行う描画を、それぞれ異なったノズルを使用して複数回に分けて行う、所謂「ノズルずらし」をする必要はない。この結果、短時間で多くの描画を行うことができる。
(5)本実施形態によれば、各ノズルNの吐出特性のばらつきを補正する補正データを記憶する第2のメモリM2をフラッシュROMで構成した。従って、一旦、補正データを記憶させると、次に新たな補正データに書き換えるまでは、その補正データを記憶させる必要がない。この結果、液滴吐出装置30を使用する毎に補正データを記憶させるという煩わしさを解消することができる。
(6)本実施形態によれば、第1及び第2の駆動信号S1,S2は、それぞれ電圧信号である。従って、液滴Qを吐出するアクチュエータとして電圧駆動素子である圧電素子を使用した液滴吐出装置30の各ノズルに圧電素子を備えた液滴吐出ヘッドを具備した液滴吐出装置において、低コストで、且つ、回路規模を大きくせずに各ノズルNの液滴Qの吐出量のばらつきを減少させることができる。
(7)本実施形態によれば、各第1の駆動信号出力回路33から同一の大きさの第1の駆動信号S1を第2の駆動信号出力回路50aを介して第2の駆動信号S2として対応する全ての圧電素子45に出力した。そして、各ノズルNから液滴Qを吐出させ飛翔中の液滴Qをカメラで撮影し、その撮影された図から1回の吐出駆動にて吐出される液滴Qの大きさを測定し、その測定結果に基づいて、1回の吐出駆動にて吐出される液滴Qの量が、全てのノズルNで偏差が無くなるような駆動信号の大きさを設定するようにした。そして、この1回の吐出駆動にて吐出される液滴Qの量が全てのノズルNで偏差が無くなるような駆動信号を、第2の駆動信号S2とし、その第2の駆動信号S2と第1の駆動信号S1との差を与えるデータを補正データとして第2のメモリM2に書き込むようにした。従って、簡単に、補正データを得ることが得きる。
(第2実施形態)
次に、第1実施形態で説明した電気光学装置としての有機ELディスプレイ1の電子機器の適用について図10に従って説明する。有機ELディスプレイ1は、モバイル型のパーソナルコンピュータ、携帯電話、デジタルカメラ等種々の電子機器に適用できる。
図10は、大型テレビ60の斜視図である。この大型テレビ60は、有機ELディスプレイ1を搭載した大型テレビ用の表示ユニット61と、スピーカー62と、複数の操作ボタン63とを備えている。この場合、表示ユニット61は、その有機EL素子を構成する機能層の膜厚が均一に形成されるので、表示品位の良好な大型テレビ60を提供することができる。
尚、発明の実施形態は、上記実施形態に限定されるものではなく、以下のように実施してもよい。
○上記第1実施形態では、各第1の駆動信号出力回路33から同一の大きさの第1の駆動信号S1を、第2の駆動信号出力回路50aを介して第2の駆動信号S2として対応する全ての圧電素子45に出力した。そして、各ノズルNから液滴Qを吐出させ飛翔中の液滴Qをカメラで撮影し、その撮影された図から1回の吐出駆動にて吐出される液滴Qの大きさを測定し、補正データを取得するようにした。これを、そうではなく、例えば、各第1の駆動信号出力回路33から同一の大きさの第1の駆動信号S1を第2の駆動信号出力回路50aを介して第2の駆動信号S2として対応する全ての圧電素子45に出力し、所定のターゲット上に塗布させる。そして、その塗布した液滴Qの大きさを測定し、その結
果から補正データを取得するようにしてもよい。
○上記第1実施形態では、各第1の駆動信号出力回路33から同一の大きさの第1の駆動信号S1を、第2の駆動信号出力回路50aを介して第2の駆動信号S2として対応する全ての圧電素子45に出力した。そして、各ノズルNから液滴Qを吐出させ飛翔中の液滴Qをカメラで撮影し、その撮影された図から1回の吐出駆動にて吐出される液滴Qの大きさを測定し、補正データを取得するようにした。これを、そうではなく、例えば、各第1の駆動信号出力回路33から同一の大きさの第1の駆動信号S1を第2の駆動信号出力回路50aを介して第2の駆動信号S2として対応する全ての圧電素子45に出力し、所定のターゲット上に塗布させる。そして、その塗布した液滴Qの大きさを測定し、その結
果から補正データを取得するようにしてもよい。
○上記第1実施形態では、機能層16は、正孔輸送層14、及び、各赤、緑及び青用発光層15R,15G,15Bで構成されていたが、これに限定されるものではなく正孔輸送層14、及び、各赤、緑及び青用発光層15R,15G,15B以外に、例えば、電子輸送層といった層を含んだものであってもよい。要は、液滴吐出法で形成される膜であれば、どんなものであってもよい。
○上記第1実施形態では、アクチュエータとして圧電素子45に適応したが、これに限定されるものではなく、例えば、抵抗素子であってもよい。この場合、第1及び第2の駆動信号S1,S2は、それぞれ電流信号であって、抵抗素子は、第2の駆動信号S2の電流値によって加熱され、それにより、液状組成物Lを加熱膨張させることで、所定量の液滴Qを吐出させる。このような場合においても、上記実施形態と同様な効果を得ることができる。
○上記実施形態では、電気光学装置として有機ELディスプレイ1に具体化して好適な効果を得たが、有機ELディスプレイ以外の例えばデジタルマイクロミラーデバイス(DMD)を用いたディスプレイ、電子放出素子を用いたディスプレイ(FED)やSED(Surface−Conduction Electron−Emitter Display)に具体化してもよい。また。電子写真装置の光ヘッド(光プリンタのヘッドやデジタルラボのヘッド)に使用してもよい。
N…ノズル、42…液滴吐出ヘッド、45…アクチュエータとしての圧電素子、L…液状組成物、30…液滴吐出装置、S1…第1の駆動信号、33…第1の駆動信号生成回路としての第1の駆動信号生成回路、S3…制御信号、50a…第2の駆動信号生成回路としての第2の駆動信号出力回路、50b…制御信号生成回路としての信号生成回路、S2…第2の駆動信号、50a…第2の駆動信号出力回路、M2…記憶回路としての第2のメモリ、13…画素電極、16…機能層、1…電気光学装置としての有機ELディスプレイ、60…電子機器としての大型テレビ。
Claims (8)
- 複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドを具備し、アクチュエータを駆動させることによって前記各ノズルから液状組成物を吐出する液滴吐出装置において、
描画データに基づいた第1の駆動信号を生成する第1の駆動信号生成回路と、
前記各ノズル間の液滴吐出特性のばらつきに応じた制御信号を生成する制御信号生成回路と、
前記第1の駆動信号を前記制御信号に基づいて変化させて前記各ノズル間での液滴吐出特性を補正する第2の駆動信号を生成する第2の駆動信号生成回路と
を備えていることを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項1に記載の液滴吐出装置において、
前記第2の駆動信号生成回路は、可変抵抗素子であることを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項2に記載の液滴吐出装置において、
前記可変抵抗素子は、MOSトランジスタで構成されていることを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項1乃至3のいずれか一つに記載の液滴吐出装置において、
前記アクチュエータは、圧電素子であることを特徴とする液滴吐出装置。 - 請求項1乃至4のいずれか一つ記載の液滴吐出装置において、
前記第2の駆動信号生成回路は、前記各ノズル間の液滴吐出特性のばらつきを与えるデータを書換え可能に記憶する記憶回路に接続されていることを特徴とする液滴吐出装置。 - 基板上にマトリクス状に配置された複数の画素電極と、前記各画素電極上にデータ信号に応じてその光学特性が制御される機能層と、を備えた電気光学装置を、液滴吐出ヘッドのノズルから前記画素電極上に、前記機能層を構成する機能材料を溶媒中に分散または溶解した液状組成物を吐出することによって形成する電気光学装置の製造方法において、
描画データに基づいた第1の駆動信号を前記各ノズル間の液滴吐出特性のばらつきに応じて変化させて前記各ノズル間での液滴吐出特性を補正する第2の駆動信号を生成し、該第2の駆動信号を、前記ノズルに対して設けられたアクチュエータに供給して同第2の駆動信号に基づいた量の前記液状組成物を前記画素電極上に吐出する吐出工程と、
前記画素電極上に吐出された前記液状組成物から前記溶媒を除去する除去工程と
を備えていることを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 請求項6に記載の電気光学装置の製造方法において、
前記アクチュエータは、圧電素子であって、
前記吐出工程は、前記圧電素子に供給される駆動信号の大きさを前記各ノズル間の液滴吐出特性のばらつきに応じて変化させることで、前記各ノズル間の液滴吐出量のばらつきを減少させるようにしたことを特徴とする電気光学装置の製造方法。 - 請求項6または7に記載の電気光学装置の製造方法によって製造された電気光学装置を具備したことを特徴とする電子機器。
Priority Applications (1)
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JP2005104975A JP2006281102A (ja) | 2005-03-31 | 2005-03-31 | 液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法及び電子機器 |
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JP2009136720A (ja) * | 2007-12-04 | 2009-06-25 | Seiko Epson Corp | 液状体の吐出方法、液滴吐出装置およびカラーフィルタの製造方法 |
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2005
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