JP2009049023A - 表示装置の製造装置及び表示装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】表示画素の形成領域に材料溶液を吐出して塗布するノズルが設けられた溶液吐出部と、溶液吐出部の近傍に配置され、溶液吐出部によって材料溶液が塗布された後の表示画素の形成領域を加熱するとともに、隔壁を表示画素の形成領域より高温に加熱する溶液加熱部と、表示画素の形成領域に材料溶液を吐出して塗布するノズルが設けられた溶液吐出部と、溶液吐出部の近傍に配置され、溶液吐出部によって材料溶液が塗布される前の表示画素の形成領域を加熱する第一溶液加熱部、及び溶液吐出部の近傍に配置され、溶液吐出部によって材料溶液が塗布された後の表示画素の形成領域の材料溶液を加熱する第二溶液加熱部を有する溶液加熱部と、を備える。
【選択図】 図3
Description
図13は、有機EL素子の基本構造を示す概略断面図である。
図13に示すように、有機EL素子は、概略、ガラス基板等の絶縁性基板111の一面側(図面上方側)に、アノード(陽極)電極112、有機化合物等(有機材料)からなる有機EL層(発光機能層)113、及び、カソード(陰極)電極114を順次積層した構成を有している。有機EL層113は、例えば、正孔輸送材料(正孔注入層形成材料)からなる正孔輸送層(正孔注入層)113aと、電子輸送性発光材料からなる電子輸送性発光層(発光層)113bとを積層して構成されている。
ここで、低分子系の有機材料の場合、一般に、有機EL層における発光効率は比較的高いものの、製造プロセスにおいて蒸着法を適用する必要があるため、画素形成領域のアノード電極上にのみ当該低分子系の有機膜を選択的に薄膜形成する際に、上記アノード電極以外の領域への低分子材料の蒸着を防止するためのマスクを用いる必要があり、当該マスクの表面にも低分子材料が付着することになるため、製造時の材料ロスが大きいうえ、高精細なパターニングが難しいという問題を有している。
そして、特許文献2には、ノズルの両側にヒータをそれぞれ設け、ノズルの移動方向に対して後方のヒータのみを選択的に加熱して吐出直後のインキを加熱乾燥することが説明されている。
隔壁によって画定された表示画素が複数配列された表示パネルを備えた表示装置の製造装置において、
前記表示画素の形成領域に材料溶液を吐出して塗布するノズルが設けられた溶液吐出部と、
前記溶液吐出部の近傍に配置され、前記溶液吐出部によって前記材料溶液が塗布された後の前記表示画素の形成領域を加熱するとともに、前記隔壁を前記表示画素の形成領域より高温に加熱する溶液加熱部と、
を備えたプリンタヘッドを有することを特徴とする。
前記溶液吐出部は、前記表示パネルに前記材料溶液を塗布する際の前記プリンタヘッドの走査移動方向に対して垂直方向に複数の前記ノズルが設けられていてもよい。
前記溶液加熱部は、前記表示画素の形成領域に塗布された前記材料溶液に対して、赤外光を照射して当該材料溶液を加熱して乾燥させる光源を備えていてもよい。
隔壁によって画定された表示画素が複数配列された表示パネルを備えた表示装置の製造方法において、
溶液吐出部が前記表示画素の形成領域に材料溶液を吐出して塗布し、
前記溶液吐出部の近傍に配置された溶液加熱部が、前記溶液吐出部によって前記材料溶液が塗布された後の前記表示画素の形成領域を加熱するとともに、前記隔壁を前記表示画素の形成領域より高温に加熱することを特徴とする。
前記溶液加熱部は、赤外光を照射してもよい。
[第1の実施形態]
<表示装置の製造装置>
まず、本発明に係る表示装置の製造装置について説明する。
図1は、本発明に係る表示装置の製造装置の第1の実施形態を示す概略構成図である。
インク吐出機構部は、図1に示すように、少なくとも、上記水系インク又は有機溶剤系インクを吐出するとともに、塗布された水系インク又は有機溶剤系インクを加熱して乾燥させるための赤外光を出射するプリンタヘッド11と、当該プリンタヘッド11に対して上記水系インク又は有機溶剤系インクを供給するポンプ部12と、当該ポンプ部12におけるプリンタヘッド11への水系インク又は有機溶剤系インクの供給量や供給タイミング等の供給状態を制御するポンプ制御部13と、水系インク又は有機溶剤系インクを貯蔵するインクタンク14と、プリンタヘッド11からの赤外光の出射タイミング等の出射状態を制御する光源制御部15と、を備えている。図1(a)は、プリンタヘッド11及び基板ステージ21を上方から俯瞰した構造図であり、基板ステージ21は、X−Y2軸ロボット22によってX−Y平面(Xm方向及びYm方向)の任意の位置に移動自在である。図1(b)は、プリンタヘッド11及び基板ステージ21を側方から俯瞰した制御系構成図であり、プリンタヘッド11は、Zm方向(上下方向)の任意の位置に昇降自在である。
図2は、本実施形態に係る表示装置の製造装置に適用されるプリンタヘッドの一例を示す概略構成図である。ここで、図2(a)は、プリンタヘッドの平面図(上面図)であり、図2(b)は、プリンタヘッドの正面図であり、図2(c)は、プリンタヘッドの側面図であり、図2(d)は、プリンタヘッドの下面図(ノズル面図)である。
ポンプ部12は、ポンプ制御部13から出力される駆動信号に基づいて、インクタンク14に貯蔵された水系インク又は有機溶剤系インクを取り込んで上記プリンタヘッド11(インク吐出部INJ)に送出し、インク貯留部ISVは水系インク又は有機溶剤系インクで満たされた状態になっている。
吐出制御部16は、画像処理部24が画像情報データを解析した解析結果に基づいて、プリンタヘッド11が吐出する吐出量を制御する制御信号を制御配線CBLに出力するとともに、吐出量データをポンプ制御部13に出力する。
基板可動機構部は、図1に示すように、例えば、パネル基板PSBが載置、固定される基板ステージ21と、当該基板ステージ21をX、Y方向の直交する2軸方向に移動させるX−Y2軸ロボット22と、基板ステージ21(又は、基板ステージ21に対して所定の基準位置に固定された上記プリンタヘッド11)に対するパネル基板PSBの載置位置(アライメントマークの整合状態)を検出して調整するためのアライメント(位置合わせ)用カメラ23と、該アライメント用カメラ23により撮像された画像を解析する画像処理部24と、該解析結果に基づいて、基板ステージ21がプリンタヘッド11に対して所定の位置関係に設定されるように、X−Y2軸ロボット22の移動量を制御するロボット制御部25と、を備えている。
上述したような表示装置の製造装置においては、第1のタイミングでプリンタヘッド11のインク吐出部INJによりパネル基板PSB上の画素形成領域に水系インク又は有機溶剤系インクを塗布し、第2のタイミングでインク吐出部INJに隣接して設けられた赤外光源部IRSA又はIRSBにより上記画素形成領域に塗布された水系インク又は有機溶剤系インクに対して赤外光を照射して加熱し、当該水系インク又は有機溶剤系インクの溶媒を蒸発、乾燥させて正孔輸送材料又は電子輸送材料等の電荷輸送材料をパネル基板PSB上に定着させる。
次に、上述したような製造装置を適用した表示装置(表示パネル)の製造方法について説明する。
まず、本実施形態に係る製造装置を適用して製造される表示パネルについて説明する。
図10は、第2の実施形態に係る表示装置の製造装置に適用されるプリンタヘッドの一例を示す概略構成図である。ここで、表示装置の製造装置の全体構成については上述した第1の実施形態(図1参照)と同等であるので、具体的な説明を省略する。ここで、図2、図8に示したプリンタヘッドと同等の構成については、同一の符号を付して説明する。また、図11は、本構成例に係るプリンタヘッドを備えた製造装置におけるパネル基板(基板ステージ)に対するプリンタヘッドの走査移動経路の一例を説明するための概念図であり、図12は、本構成例に係るプリンタヘッドを備えた製造装置におけるパネル基板(基板ステージ)に対するプリンタヘッドの走査移動経路の他の例を説明するための概念図である。
プリンタヘッド11の走査移動方向線(図中、一点鎖線で表示)上に、インク吐出部INJの各吐出口NZLと、赤外光源部IRS(IRSA、IRSB)の各出射部APLが対応して配列された構造を示したが、本実施形態においては、図10、図11に示すように、インク吐出部INJと赤外光源部IRSが隣接して一体的に形成されたプリンタヘッド11において、当該プリンタヘッド11の走査移動方向(図10では一点鎖線、図11では白抜き矢印で表記)に対して垂直方向にインク吐出部INJの吐出口NZLと、赤外光源部IRSの出射部APLが配列されている。
また、上記各実施形態では、有機EL層33が正孔輸送層33a及び電子輸送性発光層33bであったが、これに限らず正孔輸送兼電子輸送性発光層のみでもよく、正孔輸送性発光層及び電子輸送層でもよく、また間に適宜電荷輸送層が介在してもよい。
21 基板ステージ
30 表示パネル
31 隔壁
32 画素電極
33a 正孔輸送層
33b 電子輸送性発光層
34 対向電極
INJ インク吐出部
IRS、IRSA、IRSB 赤外光源部
NZL 吐出口
APL 出射部
PSB パネル基板
PIX 表示画素
Apx 画素形成領域
HMC、EMC 有機溶液
Rir 赤外光
Claims (7)
- 隔壁によって画定された表示画素が複数配列された表示パネルを備えた表示装置の製造装置において、
前記表示画素の形成領域に材料溶液を吐出して塗布するノズルが設けられた溶液吐出部と、
前記溶液吐出部の近傍に配置され、前記溶液吐出部によって前記材料溶液が塗布された後の前記表示画素の形成領域を加熱するとともに、前記隔壁を前記表示画素の形成領域より高温に加熱する溶液加熱部と、
を備えたプリンタヘッドを有することを特徴とする表示装置の製造装置。 - 前記プリンタヘッドは、前記溶液吐出部と前記溶液加熱部とが一体的に形成されていることを特徴とする請求項1記載の表示装置の製造装置。
- 前記溶液吐出部は、前記表示パネルに前記材料溶液を塗布する際の前記プリンタヘッドの走査移動方向に対して垂直方向に複数の前記ノズルが設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の表示装置の製造装置。
- 前記溶液加熱部は、前記表示画素の形成領域に塗布された前記材料溶液に対して、赤外光を照射して当該材料溶液を加熱して乾燥させる光源を備えていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の表示装置の製造装置。
- 隔壁によって画定された表示画素が複数配列された表示パネルを備えた表示装置の製造方法において、
溶液吐出部が前記表示画素の形成領域に材料溶液を吐出して塗布し、
前記溶液吐出部の近傍に配置された溶液加熱部が、前記溶液吐出部によって前記材料溶液が塗布された後の前記表示画素の形成領域を加熱するとともに、前記隔壁を前記表示画素の形成領域より高温に加熱することを特徴とする表示装置の製造方法。 - 前記溶液加熱部は、前記材料溶液が前記表示画素の各形成領域に塗布された直後に前記表示画素の形成領域及び前記隔壁を加熱することを特徴とする請求項5記載の表示装置の製造方法。
- 前記溶液加熱部は、赤外光を照射することを特徴とする請求項5又は6に記載の表示装置の製造方法。
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