JP2015130315A - 薄膜形成装置及び薄膜形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の一実施形態による薄膜形成装置は、第1有機材料が貯蔵される第1貯蔵部と、第1貯蔵部と連結され、第1貯蔵部に貯蔵される第1有機材料を噴射する第1ノズル部と、第1ノズル部に隣接するように配置され、噴射された第1有機材料を硬化させる波長を有する光を照射する第1光照射部と、第2有機材料が貯蔵される第2貯蔵部と、第1ノズル部に隣接するように配置され、第2貯蔵部と連結され、第2貯蔵部に貯蔵される第2有機材料を噴射する第2ノズル部と、第2ノズル部に隣接するように配置され、噴射された第2有機材料を硬化させる波長を有する光を照射する第2光照射部と、を含む。
【選択図】図1
Description
110,111 第1光照射部
100,101,102 第1ノズル部
120,121 第1貯蔵部
200,201,202 第2ノズル部
210,211 第2光照射部
220,221 第2貯蔵部
130 第1気化部
230 第2気化部
Claims (10)
- 第1有機材料が貯蔵される第1貯蔵部と、
前記第1貯蔵部と連結された第1ノズル部であって、前記第1貯蔵部に貯蔵される前記第1有機材料を噴射する第1ノズル部と、
前記第1ノズル部に隣接するように配置された第1光照射部であって、前記第1有機材料を硬化させる波長を有する光を照射する第1光照射部と、
第2有機材料が貯蔵される第2貯蔵部と、
前記第1ノズル部に隣接するように配置された第2ノズル部であって、前記第2貯蔵部と連結されており、前記第2貯蔵部に貯蔵される前記第2有機材料を噴射する第2ノズル部と、
前記第2ノズル部に隣接するように配置された第2光照射部であって、前記第2有機材料を硬化させる波長を有する光を照射する第2光照射部と、
を含む薄膜形成装置。 - 前記第1貯蔵部及び前記第2貯蔵部は、液状形態の前記第1有機材料及び前記第2有機材料を貯蔵し、前記第1有機材料及び前記第2有機材料を気化させる第1気化部及び第2気化部をさらに含む、請求項1に記載の薄膜形成装置。
- 前記第1光照射部は、前記第1有機材料を硬化させる波長を有する光を照射し、前記第2光照射部は前記第2有機材料を硬化させる波長を有する光を照射する、請求項1に記載の薄膜形成装置。
- 長さ方向に延在し、並列に配置される第1ノズル部及び第2ノズル部と、
前記第1ノズル部と接続された第1貯蔵部であって、第1有機材料を貯蔵する第1貯蔵部と、
前記第2ノズル部と接続された第2貯蔵部であって、第2有機材料を貯蔵する第2貯蔵部と、
前記第1ノズル部の一側に隣接するように配置された第1光照射部、前記第1ノズル部と並列に延在される第1光照射部と、
前記第2ノズル部の他側に隣接するように配置された第2光照射部、前記第2ノズル部と並列に延在される第2光照射部と、
を含む薄膜形成装置。 - 前記第1ノズル部及び前記第2ノズル部の上に、前記第1ノズル部及び前記第2ノズル部と対向するように基板が配置され、
前記基板の幅は、前記薄膜形成装置の延在方向の長さと対応する、請求項4に記載の薄膜形成装置。 - 前記基板は、前記長さ方向に対して垂直な第1方向または前記第1方向と異なる第2方向に水平移動する、請求項5に記載の薄膜形成装置。
- 前記基板が前記第1方向に移動することにより、前記基板上に薄膜が形成される第1スキャン、及び、前記基板が前記第2方向に移動することにより、前記基板上に薄膜が形成される第2スキャンが定義される、請求項6に記載の薄膜形成装置。
- 前記第1スキャンの際、前記第1ノズル部は前記第1有機材料を前記基板に提供し、前記第1光照射部は、前記基板に向かって前記第1有機材料を硬化させる波長を有する第1紫外線を照射し、
前記第2スキャンの際、前記第2ノズル部は前記第2有機材料を前記基板に提供し、前記第2光照射部は、前記基板に向かって前記第2有機材料を硬化させる波長を有する第2紫外線を照射する、請求項7に記載の薄膜形成装置。 - 前記第1スキャンの際、前記第1ノズル部及び前記第2ノズル部は、前記第1有機材料及び前記第2有機材料を前記基板に提供し、前記第1光照射部及び前記第2光照射部は、前記第1有機材料を硬化させる第1紫外線及び前記第2有機材料を硬化させる第2紫外線を前記基板に照射する、請求項7に記載の薄膜形成装置。
- 前記第1スキャンが行われた後、前記基板は前記長さ方向に沿って一定間隔シフトする、請求項7に記載の薄膜形成装置。
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