TW202310932A

TW202310932A - 塗布裝置、液滴噴出檢查方法

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Publication number: TW202310932A
Application number: TW111133982A
Authority: TW
Inventors: 山崎貴弘; 黒澤雅彦; 岡部由孝; 林俊宏
Original assignee: 日商芝浦機械電子裝置股份有限公司
Priority date: 2021-09-13
Filing date: 2022-09-08
Publication date: 2023-03-16
Also published as: JP7526150B2; CN115780171A; KR20230039525A; JP2023041085A; TWI834283B

Abstract

抑制被噴出至檢查用介質的液滴的乾燥，而適當地進行液滴檢查。實施方式的塗布裝置利用從噴墨式的塗布頭噴出的塗布液在基板上形成塗布膜，所述塗布裝置包括：塗布頭，對檢查用介質噴出塗布液；液滴拍攝部，對從塗布頭噴出的、檢查用介質上的塗布液的液滴進行拍攝；以及控制裝置，基於由液滴拍攝部獲得的拍攝圖像來求出液滴的面積，並基於所述液滴的面積來進行對噴嘴施加的噴出電壓的控制，液滴拍攝部包括：罩，覆蓋由從塗布頭的各噴嘴噴出至檢查用介質上的塗布液所形成的液滴噴出區域；以及攝影機，設在罩的上方，能夠經由罩來拍攝檢查用介質上的液滴，罩與攝影機設置為，能夠作為一體而升降且能夠與檢查用介質相對地移動。

Description

塗布裝置、液滴噴出檢查方法

本發明是有關於一種塗布裝置、液滴噴出檢查方法。

以往，作為使用功能液來對基板塗布功能性薄膜的裝置，已知有使功能液成為液滴而噴出至基板的噴墨方式的液滴噴出裝置。液滴噴出裝置例如在製造有機電致發光（Electroluminescence，EL）裝置、彩色濾光片、液晶顯示裝置、等離子體顯示器、電子放出裝置等的電光學裝置等時得到廣泛使用。

液滴噴出裝置中，有時噴出液滴的噴墨方式的塗布頭的每個噴嘴噴出的液滴量會存在偏差，或者存在完全不噴出液滴的噴嘴。因此，在從塗布頭對基板噴出功能液的液滴之前，檢查液滴噴出的良否。具體而言，從塗布頭對檢查用的介質噴出液滴，對其進行拍攝，並對拍攝圖像進行圖像處理，由此來測量液滴的面積，以檢查塗布頭的噴出噴嘴的噴出良否。基於如此得到的噴出噴嘴的檢查數據來控制塗布頭的噴嘴的噴出量，抑制了液滴量的偏差後，進行向作為最終製品的基板的功能液的噴出。 [先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1] 日本專利特開2010-131562號公報

[發明所欲解決之課題]

但是，在噴嘴的噴出檢查中，由於攝影機的數量有限，因此在從塗布頭噴出檢查用的液滴後，攝影機無法拍攝所有的液滴，而是將應拍攝的區域劃分為多個區域，使攝影機對所述多個區域進行掃描而依次拍攝。在像如此依次拍攝液滴的情況下，在對其中一個區域進行拍攝的期間，在另一個區域中，液滴的乾燥正在推進。當乾燥推進時，液滴的面積將變小。即，越往後拍攝的區域，著落之後的液滴面積與進行拍攝的時間點的液滴面積之差便越大。

本發明的實施方式是有鑒於如上所述的情況而完成，目的在於抑制被噴出至檢查用介質的液滴的乾燥，而適當地進行液滴檢查。 [解決課題之手段]

實施方式的塗布裝置利用從包括多個噴嘴的噴墨式的塗布頭噴出的塗布液在基板上形成塗布膜，所述塗布裝置的特徵在於包括：所述塗布頭，對檢查用介質噴出所述塗布液；液滴拍攝部，對從所述塗布頭噴出的、所述檢查用介質上的所述塗布液的液滴進行拍攝；以及控制裝置，基於由所述液滴拍攝部獲得的拍攝圖像來求出液滴的面積，並基於所述液滴的面積來進行對所述噴嘴施加的噴出電壓的控制，所述液滴拍攝部包括：罩，覆蓋由從所述塗布頭的各噴嘴噴出至所述檢查用介質上的所述塗布液所形成的液滴噴出區域；以及攝影機，設在所述罩的上方，能夠經由所述罩來拍攝所述檢查用介質上的所述液滴，所述罩與所述攝影機設置為，能夠作為一體而升降且能夠與所述檢查用介質相對地移動。

實施方式的液滴噴出檢查方法的特徵在於，其是對從包括多個噴嘴的噴墨式的塗布頭噴出的液滴的噴出良否進行檢查的方法，所述液滴噴出檢查方法包括下述工序：從所述多個噴嘴對檢查用介質噴出塗布液；拍攝所述檢查用介質上的所述塗布液的液滴；以及基於所拍攝的所述液滴的圖像來求出所述液滴的面積，並基於所述液滴的面積來進行對所述噴嘴施加的噴出電壓的控制，所述液滴的拍攝是利用罩來覆蓋由所述檢查用介質上的液滴所形成的液滴噴出區域，且一邊使跟所述罩經一體化的攝影機與所述檢查用介質相對移動，一邊經由所述罩來拍攝所述檢查用介質上的所述液滴。 [發明的效果]

根據本發明的實施方式，能夠抑制被噴出至檢查用介質的液滴的乾燥，而適當地進行液滴檢查。

＜第一實施方式＞參照圖1至圖5的（D）來說明本發明的第一實施方式。

（整體結構）如圖1至圖3所示，塗布裝置1是具有基座2，且在所述基座2上設置基板載台3、門型的框架4、噴墨方式的塗布頭5以及液滴拍攝部6而構成，所述基板載台3載置基板W，所述門型的框架4是以跨越基板載台3的方式而設，所述噴墨方式的塗布頭5被設於框架4且噴出塗布液（聚醯亞胺溶液）。

基板載台3被載置於沿著Y軸方向設置在基座2上的Y軸移動裝置（未圖示），通過所述Y軸移動裝置而可沿著Y軸方向移動。此處，作為Y軸移動裝置，可使用將伺服馬達作為驅動源的進給螺桿式的移動機構或者將線性馬達作為驅動源的線性馬達式的移動機構。

塗布頭5經由未圖示的X軸移動裝置而安裝至框架4，可沿X軸方向移動。所述移動裝置也與基板載台3的Y軸移動裝置驅動源同樣，可使用進給螺桿式的移動機構、線性馬達式的移動機構。

（塗布頭）塗布頭5為公知的噴墨方式的塗布頭，在其下表面，多個噴嘴沿著長邊方向排列形成為兩列。在塗布頭5內，與各噴嘴對應地設有連通至噴嘴的液室，各液室分別連接於供給塗布液的供液流路。在各液室內，設有用於使液室內的容積產生變化的壓電元件（未圖示），通過對壓電元件施加驅動電壓，液室內的容積發生變化，由此，從與各液室連通的噴嘴噴出塗布液。

（液滴拍攝部）液滴拍攝部6經由X軸方向移動裝置7、Z軸移動裝置8而安裝至框架4，且被設在圖3中的、比塗布頭5更靠紙面跟前側的不會與塗布頭5發生干涉的位置。如圖1、圖2所示，液滴拍攝部6具有攝影機61與罩62。攝影機61被固定於罩62，罩62經由X軸移動裝置7、Z軸移動裝置8而設於框架4。即，通過罩62的移動，攝影機61也一體地移動。攝影機61為公知的攝影機，以將被載置於載台3的基板W的一部分包含在視野範圍內的方式而設。罩62是在攝影機61的下方以沿水平方向延伸的方式而形成的矩形狀的板狀構件，例如包含實施有低反射加工（抗反射（Anti-Reflection，AR）塗層等）的透明玻璃。與攝影機61為一體的罩62經由X軸移動裝置7、Z軸移動裝置8而安裝於框架4，由此，攝影機61、罩62可沿X軸方向、Z軸方向移動。另外，攝影機61也可根據需要而包括照明。罩62用於覆蓋從塗布頭5對後述的檢查用介質K噴出液滴的區域（液滴噴出區域E），在其X軸方向上具有液滴噴出區域E的X軸方向的長度的兩倍以上的長度，在Y軸方向上具有液滴噴出區域E的Y軸方向的長度的兩倍以上的長度，從而具有在攝影機61進行檢查用介質K的拍攝的期間成為液滴噴出區域E始終全部被罩62覆蓋的狀態的大小。（控制裝置）塗布裝置1具有控制裝置100，與塗布頭5、各移動裝置、驅動裝置、攝影機61電連接，控制塗布頭5的塗布液的噴出、各移動裝置以及驅動裝置的驅動、攝影機61的拍攝。進而，控制裝置100具有圖像處理部、存儲部等，可讀取由攝影機61所獲得的圖像數據來進行圖像處理，並基於此來檢查塗布頭5對塗布液的噴出的良否（詳細將後述）。另外，在存儲部中，存儲有塗布液相對於基板W的塗布資訊（塗布圖案或基板上的塗布圖案的形成位置等的資訊）、或者繪製塗布圖案時所用的壓電元件的噴出條件（對壓電元件施加的電壓值、電壓的施加時間等的資訊）。

此種塗布裝置1中，當在基板載台3上載置基板W時，基於存儲在控制裝置100中的塗布資訊以及噴出條件來控制塗布頭5、各移動裝置、驅動裝置，以規定的圖案在基板W上塗布塗布液。

並且，在塗布裝置1中，為了良好地進行液滴（塗布液）從塗布頭5的噴出，定期地（例如每當對設定片數的基板W的塗布液的塗布完成時，或者每當經過設定時間時）檢查塗布頭5的液滴噴出的良否。（液滴噴出良否檢查）以下，對所述液滴噴出的良否檢查進行說明。

在正在執行對載置於基板載台3的基板W的塗布液的塗布的期間，控制裝置100對已完成了塗布的基板W的片數進行計算，當其計算值達到預先設定的片數時，在執行對接著供給至基板載台3上的基板W的塗布液的塗布之前，實施液滴噴出的良否檢查。另外，也可取代所述基板片數的計算，而對經過時間進行計算。

首先，作業者確認基板載台3上不存在基板W，並載置檢查用介質K。檢查用介質K例如是具有疏液性的玻璃基板，相對於著落的液滴而具有規定的接觸角（例如60度～85度）。另外，檢查用介質K具有從塗布頭5的所有噴嘴噴出的液滴可著落的尺寸。控制裝置100調整檢查用介質K與塗布頭5的位置，以使檢查用介質K與塗布頭5的相對位置成為適合於液滴噴出良否檢查的規定位置。具體而言，進行調整，以使檢查用介質K位於塗布頭5的噴嘴（未圖示）的下方，且進行調整，以使從檢查用介質K的表面直至塗布頭5的供噴嘴形成的面為止的高度成為與將塗布液塗布至基板W時的高度相同的高度（例如5 mm左右）。

當檢查用介質K與塗布頭5的相對位置被定位至規定位置時，以預先設定的次數從塗布頭5的噴嘴向檢查用介質K噴出液滴（圖4）。例如逐次地對各噴嘴的壓電元件施加驅動電壓而從各噴嘴逐次地噴出液滴。噴嘴在各塗布頭5設有數百個，對檢查用介質K噴出數百個液滴（圖4中，為了方便而表示了噴出十滴的圖）。當預先設定的次數的噴出完成時，檢查用介質K通過Y軸移動裝置朝Y方向移動而進行位置調整，以使噴出所有液滴的區域（液滴噴出區域E）的一部分來到液滴拍攝部6的攝影機61的下方（圖5的（A））。此處，所謂“所有液滴”，是指為了檢查噴出量而噴出至檢查用介質K上的所有液滴，不包含除此以外的假噴出等。液滴拍攝部6通過Z軸移動裝置8而下降。即，調整檢查用介質K與液滴拍攝部6的位置，以使檢查用介質K與液滴拍攝部6的相對位置成為適合於液滴良否檢查的規定位置。例如，使罩62下降，以使從檢查用介質K的表面直至罩62的下表面位置的距離成為5 mm以下。

當檢查用介質K與液滴拍攝部6的相對位置被定位至規定位置時，攝影機61通過X軸移動裝置7而以預先設定的順序來依次拍攝液滴噴出區域E的液滴。液滴拍攝部6的罩62在X軸方向上具有液滴噴出區域E的X軸方向的長度的兩倍以上的長度，在Y軸方向上具有液滴噴出區域E的Y軸方向的長度的兩倍以上的長度。如前所述，罩62與攝影機61受到一體保持，因此罩62追隨於攝影機61的移動而移動。如前所述，罩62的尺寸在X軸方向、Y軸方向上均為液滴噴出區域的兩倍以上的長度，因此在攝影機61進行檢查用介質K的拍攝的期間，成為液滴噴出區域E始終全部被罩62覆蓋的狀態。

此處，參照圖5的（A）至圖5的（D）來說明液滴拍攝部6依次進行液滴噴出區域E的拍攝的工序。

首先，液滴拍攝部6從液滴噴出區域E的液滴E1側開始攝影機61所進行的拍攝。此處，設為攝影機61的拍攝視野與圖5的（A）至圖5的（D）所示的攝影機61的形狀相同的情況來進行說明。如圖5的（A）所示，通過X軸移動裝置7來使罩62以及攝影機61移動，以使位於液滴噴出區域E的上右端部的液滴E1包含在攝影機61的視野內。攝影機61的視野為納入三滴液滴的大小，因此通過攝影機61，在本例中，拍攝包含液滴E1的、從上方計起的三個液滴，將此圖像輸出至控制裝置100。

接著，如圖5的（B）所示，液滴拍攝部6通過X軸移動機構7來沿X軸方向移動，以將接著的三個液滴收斂到攝影機61的視野內。由此，將一部分與移動前所拍攝的液滴不同的液滴收斂到攝影機61的視野內。攝影機61在移動到將位於液滴噴出區域E的下右端部的液滴E2包含在此視野範圍內的位置後，拍攝液滴，並將所拍攝的圖像輸出至控制裝置100。另外，一部分液滴將被重複拍攝，但也可將攝影機61的位置設定成不重複。另外，被重複拍攝的部分將從控制裝置100中計算面積的對象中排除（關於面積的計算將後述）。

接著，使基板載台3沿搬送方向A1移動，以使檢查用介質K移動。由此，如圖5的（C）所示，成為位於液滴噴出區域E的下左端部的液滴E3包含在攝影機61的視野內的位置關係。此時，液滴拍攝部6與圖5的（B）為同一位置。攝影機61在檢查用介質K移動後拍攝液滴，並將所拍攝的圖像輸出至控制裝置100。

接著，如圖5的（D）所示，液滴拍攝部6通過X軸移動機構7而沿X軸方向移動。由此成為位於液滴噴出區域E的上左端部的液滴E4包含在攝影機61的視野內的位置關係。此時，基板載台3未移動，而與圖5的（C）為同一位置。攝影機61在移動到將液滴E4包含在此視野範圍內的位置後，拍攝液滴，並將所拍攝的圖像輸出至控制裝置100。

如此，一邊變更液滴拍攝部6與檢查用介質K的相對位置，液滴拍攝部6一邊從液滴E1依次拍攝液滴噴出區域E的所有液滴直至液滴E4為止，並將它們的拍攝圖像輸出至控制裝置100。此時，例如在圖5的（A）所示的位置進行液滴噴出區域E的拍攝時，位於距液滴E1最遠的位置處的液滴E3或者將在最後被拍攝的液滴E4儘管脫離攝影機61的視野但被罩62覆蓋。因此，從被噴出至檢查用介質K上的液滴蒸發的溶劑蒸氣不會擴散而滯留在液滴周邊，因此能夠防止因液滴E3乾燥導致液滴的面積發生變化。因此，能夠防止位於液滴噴出區域E的所有液滴的乾燥並進行拍攝。

被導入至控制裝置100的拍攝圖像由圖像處理部進行處理。在控制裝置100中，基於所拍攝的圖像來檢查塗布頭5的各噴嘴的噴出量。具體而言，通過圖像處理部來對拍攝圖像進行圖像處理，由此，掌握液滴的輪廓而測量所述液滴的面積，進而，根據所測量出的液滴的面積來換算液滴量，以求出噴嘴的噴出量。另外，例如在圖5的（A）與圖5的（B）、圖5的（C）與圖5的（D）中，存在被重複拍攝的液滴，因此在控制裝置100所進行的面積計算時，後來拍攝的圖像中所含的重複部分將從計算對象中予以排除。

隨後，基於檢查結果來調整塗布頭5中的噴嘴的噴出量。例如，對預先存儲在存儲部中的所求出的噴出量與實際的各噴嘴的噴出量進行比較，並基於此來對施加至各噴嘴的驅動電壓進行反饋控制。

如此，在進行液滴噴出的良否檢查的期間，進行將接著成為塗布膜的對象的基板W載置於基板載台3的準備。當進行液滴噴出的良否檢查，且施加至各噴嘴的驅動電壓的反饋控制結束時，作業者（也可為機器人等）從基板載台3移除檢查用介質K，取而代之載置基板W。當載置有基板W的基板載台3與塗布頭5的相對位置通過X軸移動裝置、Y軸移動裝置、Z軸移動裝置而調整至規定位置時，再次開始塗布頭5對基板W的功能膜塗布。

如此，根據第一實施方式，在通過塗布頭來對檢查用介質K噴出液滴後，配置覆蓋液滴噴出區域E的罩62。如此，通過罩62，能夠防止噴出後的液滴接觸到空氣而乾燥。儘管罩62是與攝影機61一體地移動，但由於罩62的大小具有即便移動也能夠始終覆蓋液滴噴出區域E的大小，因此能夠始終防止液滴乾燥。攝影機61經由罩62來拍攝檢查用介質K上的液滴，因此能夠抑制拍攝圖像中的液滴的面積變化。因此，在最初拍攝的液滴E1與最後拍攝的液滴E4中，不再有因乾燥造成的面積差，從而能夠準確地換算液滴量，因此能夠較佳地進行液滴噴出良否的檢查。另外，由於攝影機61與罩62成為一體，因此不需要僅在檢查液滴噴出的良否時安裝罩62並反復定位的作業，從而能夠有效率地進行檢查。另外，由於罩62為低反射玻璃，因此反射光難以到達攝影機61，從而能夠較佳地進行液滴的拍攝，因此能夠較佳地進行液滴噴出良否的檢查。另外，由於攝影機61始終與罩62一體地移動，因此將始終拍攝罩62的相同位置。由於罩62不會整體上同樣地髒汙，因此跟攝影機61與罩62獨立地進行掃描而在每次拍攝時拍攝罩62的不同的部分時相比，能夠定點地進行髒汙檢測，從而能夠進行適當的異常檢測。＜第二實施方式＞接著，參照圖6來說明本發明的第二實施方式。第二實施方式的塗布裝置1還包括塗布頭5的維護單元9。（維護單元）維護單元9進行塗布頭5的維護，消除塗布頭5的噴出不良。維護單元9被配置在基板載台3的Y軸方向端部，可與基板載台3一體地沿Y軸方向移動。

維護單元9是伴隨塗布頭5的維護來擦拭塗布頭5的噴嘴的單元。維護單元9具有擦拭部（wiper）91。擦拭部91包含具有吸收性的布狀的原材料，以比塗布頭5的噴嘴形成區域的長邊方向的長度長，從而可擦拭全部噴嘴的方式而設。擦拭部91經由軸S可旋轉地設置，且能夠通過未圖示的擋塊來限制旋轉動作。在進行擦拭部91的擦拭動作時，通過擋塊來固定以使其不旋轉，當想要變更用於擦拭的面時，能夠解除擋塊而使其旋轉。

擦拭部91與基板載台3一同沿Y軸方向移動，當移動到塗布頭5被定位至其上方的位置時，擦拭部91與塗布頭5的噴嘴接觸。此時，擦拭部91一邊接觸至塗布頭5的噴嘴一邊沿Y軸方向移動，由此來擦拭噴嘴面。罩62的Z軸方向位置通過Z軸移動機構8來進行調整，以成為與供噴嘴形成的面相同的高度。由此，維護單元9的擦拭部91在擦拭了塗布頭5的噴嘴形成面後，能夠擦拭罩62的下表面。塗布頭5的噴嘴附著有塗布液，在擦拭後的擦拭部91上會附著有大量的塗布液。因此優選的是，擦拭部91在擦拭了噴嘴形成面後，解除擋塊並且通過未圖示的驅動部來使自身旋轉，以使不同的面接觸至罩62的下表面。擦拭部91一邊接觸至罩62的下表面一邊沿Y軸方向移動，由此來擦拭罩62下表面。

此處，罩62在覆蓋液滴噴出區域E的期間，阻擋從液滴噴出區域E蒸發的塗布液。隨著反復進行液滴噴出的良否檢查，罩62的下表面側會附著蒸發的塗布液而逐漸變髒或變模糊。因此，在進行塗布頭5的維護的時機，一起實施借助擦拭部91的維護。塗布頭5的維護時機是預先通過實驗等求出不會引起因噴嘴的乾燥造成的噴出不良等的範圍而設定。

或者，借助擦拭部91的維護也可並非與塗布頭5的維護為同時，而是作為僅罩62的維護來進行。此時，通過攝影機61來拍攝罩62，以探測罩62的髒汙情況，由此來進行罩62的維護。例如，攝影機61定期地拍攝罩62並輸出至控制裝置100。控制裝置100也可對所述圖像進行圖像處理而二值化，以檢測髒汙。當檢測到髒汙時，使罩62下降，並使擦拭部91沿Y軸方向移動，由此來進行罩62的維護。此時，也可通過未圖示的避讓部件來使塗布頭5避讓。另外，對於罩62的拍攝，也可使用在進行液滴噴出的良否檢查時所拍攝的圖像。另外，此時，被噴出至檢查用介質K的液滴也包含在圖像中，但也可僅使用不存在液滴的部位來檢測罩62的髒汙情況。

或者，也可在檢查用介質K的除了液滴噴出區域E以外的位置設置髒汙探測用的標記，通過拍攝標記來判定罩62的髒汙。例如設置越朝向外側則以越淡的顏色繪製的圓形圖案。通過定期地利用攝影機61來拍攝所述標記，從而檢測髒汙情況。由攝影機61所拍攝的拍攝圖像中的標記的面積將因罩62模糊而變小。當低於預先規定的面積時，判斷為需要維護，進行罩62的擦拭等的維護。

如此，根據第二實施方式，具有與第一實施方式同樣的效果，而且能夠將罩62保持為潔淨，因此攝影機61的拍攝圖像變得清晰，從而能夠更準確地檢查液滴噴出的良否。＜第二實施方式的變形例＞第二實施方式中，例示了下述情況，即，對攝影機61的拍攝圖像進行圖像處理而探測髒汙，由此來進行罩62的維護，但並不限於此，也可根據在檢查液滴噴出的良否時由液滴拍攝部6所拍攝的多個圖像的對比度的變化來探測罩62的模糊。具體而言，使用輸出至控制裝置100的、由液滴拍攝部6的攝影機61獲得的拍攝圖像，對所述拍攝圖像中所含的液滴外緣部與液滴範圍外的邊界部分的對比度值進行測定。若所述對比度值低於預先設定的閾值，則判定為罩62產生了模糊，而實施罩62的維護。罩62的維護是進行前文所述的借助維護單元9的擦拭部91的擦拭。

如此，根據本變形例，具有與第一實施方式以及第二實施方式同樣的效果，而且能夠使用液滴噴出的良否檢查中所用的拍攝圖像來判斷罩62的模糊，因此能夠將通過攝影機61所進行的拍攝或者拍攝圖像的圖像處理的次數抑制為最低限度，從而能夠有效率地檢查液滴噴出的良否。＜其他實施方式＞另外，所述實施方式中，例示了罩62為板狀的情況，但並不限於此，例如也可為覆蓋攝影機61的箱狀。此時，可將箱的下表面設為實施了低反射加工的透明玻璃，而將除此以外的面（壁面部分）設為黑色的板狀物。通過將壁面部分設為黑色，能夠防止反射光入射至攝影機61，從而能夠更準確地進行液滴噴出的良否檢查。

另外，所述實施方式中，例示了液滴拍攝部6可沿X軸方向以及Z軸方向移動地設置的情況，但並不限於此，例如也可沿Y軸方向、旋轉方向移動。

另外，所述實施方式中，例示了將檢查用介質K載置於基板載台3來進行液滴噴出良否檢查的情況，但並不限於此，也可在維護單元9的一部分設置載置檢查用介質的部分，在塗布頭5以及罩62的維護實施後使檢查用介質K沿Y方向移動而實施液滴噴出的良否檢查。

另外，所述實施方式中，例示了檢查用介質K為疏液玻璃的情況，但並不限於此，也可為薄膜狀的介質或者並非矩形狀的其他形狀（例如圓形狀或多邊形狀）。或者，也可將用於形成塗布膜的基板W的端部等成為最終製品時不需要的部位用作檢查用介質。

另外，所述實施方式中，例示了當對比度值低於閾值時實施罩62的維護的情況，但並不限於此，也可基於所獲得的對比度值，並使用預先通過實驗求出的修正值來換算液滴的面積。

另外，所述實施方式中，例示了在探測到罩62的髒汙或模糊時自動地利用擦拭部91來擦拭罩62的情況，但並不限於此，也可在裝置內的顯示部上顯示警告語，或者使燈點亮，或者鳴響警告聲，以將探測到罩62的髒汙或模糊的情況告知給作業者。也可基於此而將罩62更換為另外的新的罩，或者手動進行罩62的清掃。

另外，所述實施方式中，例示了在維護單元9中設有布狀的滾筒擦拭部即擦拭部91的情況，但並不限於此，也可並用或替換真空擦拭部或者刮片、供給清洗液的噴嘴等公知的噴墨式塗布頭的維護構件。

另外，所述實施方式中，例示了塗布頭5為一個的情況，但並不限於此，也可具有多個。在設有多個塗布頭5的情況下，液滴檢查既可針對每一個頭來進行，也可一次進行多個。無論如何，只要包括具有能夠覆蓋成為一次的檢查對象的液滴噴出區域E的長度的罩62即可。

另外，所述實施方式中，例示了擦拭部91的長度比塗布頭5的噴嘴形成區域的長邊方向的長度長的情況，但並不限於此，只要具有與供噴嘴噴出的範圍的長度、檢查用介質K上的液滴噴出區域E的長度中的最長的長度相同或者比其長的長度即可。

另外，所述實施方式中，例示了基於由攝影機61所拍攝的圖像來測量液滴的面積並根據所述面積來求出各噴嘴的噴出量的情況，但並不限於此，也可將所求出的面積與施加至噴嘴的電壓的修正值的對應表存儲在存儲部中，以施加對應的電壓。

以上，對本發明的若干實施方式進行了說明，但這些實施方式是作為示例而提示，並不意圖限定發明的範圍。這些新穎的實施方式能夠以其他的各種形態來實施，可在不脫離發明的主旨的範圍內進行各種省略、置換、變更。這些實施方式或其變形包含在發明的範圍或主旨中，並且包含在權利要求書所記載的發明及其均等的範圍內。

1:塗布裝置 2:基座 3:基板載台 4:框架 5:塗布頭 6:液滴拍攝部 7:X軸移動裝置 8:Z軸移動裝置 9:維護單元 61:攝影機 62:罩 91:擦拭部 100:控制裝置 E:液滴噴出區域 E1～E4:液滴 K:檢查用介質 S:軸 W:基板

圖1是第一實施方式的塗布裝置的側面概要圖。圖2是第一實施方式的塗布裝置的平面概要圖。圖3是第一實施方式的塗布裝置的正面概要圖。圖4是第一實施方式的塗布裝置的液滴噴出良否檢查時的放大平面圖。圖5的（A）至圖5的（D）是第一實施方式的塗布裝置的液滴噴出良否檢查時的經時說明圖。圖6是第二實施方式的塗布裝置的側面概要圖。

1:塗布裝置

2:基座

3:基板載台

4:框架

5:塗布頭

6:液滴拍攝部

8:Z軸移動裝置

61:攝影機

62:罩

100:控制裝置

K:檢查用介質

W:基板

Claims

一種塗布裝置，利用從包括多個噴嘴的噴墨式的塗布頭噴出的塗布液在基板上形成塗布膜，所述塗布裝置的特徵在於包括：所述塗布頭，對檢查用介質噴出所述塗布液；液滴拍攝部，對從所述塗布頭噴出的、所述檢查用介質上的所述塗布液的液滴進行拍攝；以及控制裝置，基於由所述液滴拍攝部獲得的拍攝圖像來求出液滴的面積，並基於所述液滴的面積來進行對所述噴嘴施加的噴出電壓的控制，所述液滴拍攝部具有：罩，覆蓋由從所述塗布頭的各噴嘴噴出至所述檢查用介質上的所述塗布液所形成的液滴噴出區域；以及攝影機，設在所述罩的上方，能夠經由所述罩來拍攝所述檢查用介質上的所述液滴，所述罩與所述攝影機設置為，能夠作為一體而升降且能夠與所述檢查用介質相對地移動。
如請求項1所述的塗布裝置，其中所述罩為矩形狀，其兩邊分別具有所述液滴噴出區域的兩邊的兩倍以上的長度。
如請求項1或請求項2所述的塗布裝置，其中所述控制裝置基於所述攝影機的拍攝圖像來判斷所述罩的髒汙或模糊的有無。
如請求項3所述的塗布裝置，其中所述液滴拍攝部對以規定間隔設在所述檢查用介質的、除了所述液滴噴出區域以外的位置的髒汙探測用的標記進行拍攝，所述髒汙探測用的標記是越從中心朝向外側則顏色變得越淡的圓形圖案，所述控制裝置在由所述液滴拍攝部所拍攝的所述髒汙探測用標記的面積低於預先規定的面積時，判斷為所述罩產生了髒汙或模糊。
如請求項1所述的塗布裝置，其中所述控制裝置在所述攝影機的拍攝圖像中所含的所述液滴的外緣部與所述液滴範圍外的邊界部分的對比度值低於預先規定的閾值時，判斷為所述罩存在髒汙或模糊。
如請求項1或請求項2所述的塗布裝置，其中所述塗布裝置還包括對所述塗布頭進行清掃的維護單元，通過所述維護單元來實施所述罩的清掃。
如請求項3所述的塗布裝置，其中所述塗布裝置還包括對所述塗布頭進行清掃的維護單元，當由所述控制裝置判斷為所述罩存在髒汙或模糊時，實施所述維護單元對所述罩的清掃。
如請求項5所述的塗布裝置，其中所述塗布裝置還包括對所述塗布頭進行清掃的維護單元，當由所述控制裝置判斷為所述罩存在髒汙或模糊時，實施所述維護單元對所述罩的清掃。
如請求項7所述的塗布裝置，其中在通過所述控制裝置而預先設定的時機，通過所述維護單元來實施所述塗布頭的清掃與所述罩的清掃。
如請求項8所述的塗布裝置，其中在通過所述控制裝置而預先設定的時機，通過所述維護單元來實施所述塗布頭的清掃與所述罩的清掃。
一種液滴噴出檢查方法，其特徵在於，其是對從包括多個噴嘴的噴墨式的塗布頭噴出的液滴的噴出良否進行檢查的方法，所述液滴噴出檢查方法具有下述工序：從所述多個噴嘴對檢查用介質噴出塗布液；拍攝所述檢查用介質上的所述塗布液的液滴；以及基於所拍攝的所述液滴的圖像來求出所述液滴的面積，並基於所述液滴的面積來進行對所述噴嘴施加的噴出電壓的控制，所述液滴的拍攝是利用罩來覆蓋由所述檢查用介質上的液滴所形成的液滴噴出區域，且一邊使跟所述罩經一體化的攝影機與所述檢查用介質相對移動，一邊經由所述罩來拍攝所述檢查用介質上的所述液滴。