JP2017161269A - 液滴測定方法と液滴測定装置 - Google Patents
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Abstract
Description
(実施の形態1)
図1は、本発明の液滴測定方法を実施する液滴測定装置を備えたパネル製造装置を示す。パネル製造装置は、図1に示す液滴吐出装置1と、液滴測定装置2と、減圧チャンバー3と、液滴形状測定装置4とから構成されている。
液晶ディスプレイのカラーフィルタや、有機ELディスプレイ等のデバイスを製造する液滴吐出装置1は、ヘッドユニット5のラインヘッド6から機能性材料を含む液状体をインクジェット法により印刷対象物7に向けて液滴として吐出してパネルを製造する。
ラインヘッド6は、インクを吐出させる複数のノズル(図示省略)と各ノズルに対応した圧電アクチュエータ(図示省略)を含む液滴吐出モジュールヘッド15を複数備えている。
この液滴測定装置2によって測定する基板19は、液滴吐出装置1にセットしてラインヘッド6によって機能性材料が塗布されたものである。
なお、液滴測定装置2における基板19の搬送方法は、ロボットによる自動搬送であることが望ましいが、手動搬送としても良い。測定テーブル21の搬送方法は、手動搬送でも良いが、ロボットによる自動搬送であることが望ましい。
<液滴測定システム>
次に、液滴測定装置2による液滴測定システムを、図2に基づいて説明する。
まず、図3を参照しながら、基板作成工程S10を説明する。
基板19は支持基板28と、高分子膜29から構成されている。
ここで、表面にフッ素膜が形成された状態では撥水性が高すぎる場合がある。このような場合には、インクを塗布/乾燥後に所望の接触角が得られないため、基板19の高分子膜29に対してUV光(紫外線光)を照射することによってフッ素の結合を部分的に切ることで、基板19の撥水性を制御することができる。
次に、吐出・塗布工程S20における、評価対象となる複数のノズルから吐出され液滴が形成された基板19の作成を中心に説明する。
基板19上には、液滴30と、体積測定用液滴サンプルの乾燥時の雰囲気を一定に保つためのダミー液滴31とがある。
なお、ダミー液滴31の個数は使用するインクの溶媒によって変わるが、例えばインクの溶媒がアニソールの場合は、1〜10周程度のダミー液滴で液滴30の外周を取り囲むのが望ましく、本実施の形態では液滴30の周りに、2周のダミー液滴31を配置した。
乾燥工程S30では、使用するインクの溶媒の物性によるが、例えば溶媒がアニソールの場合には、インクの乾燥は、23℃以上60℃以下の温度範囲で、減圧雰囲気で行う。なお、使用するインクの溶媒の物性にあわせて、大気雰囲気で自然乾燥させた後に、しかるべきタイミングにて減圧雰囲気で行うのが良い。この構成によれば、液滴30を所望の形状にコントロールすることが可能となる。
撮像工程S40では乾燥工程S30を経て作成された液滴30を撮像部20によって撮像する。
液滴30の表面で反射する光40は液滴30の傾きと相関を有するため、この光量をもとに液滴30の形状を算出することができる。
図7(a)は、液滴30の表面で反射する光40の分布を示している。なお簡略化するために、原点を通る平面での断面分布を示している。後述するように、この輝度分布から液滴30の形状を導出することができる。図7(b)は光43の分布の例を示している。
図7(c)は、液滴30の表面で反射する光40と、基板19と測定テーブル21の境界面から反射する光43が合成されてレンズ34に集光される光の分布の例を示している。基板19と測定テーブル21の境界面から反射する光43の模様が写り込むことで、図7(a)のような、液滴30の表面傾きに応じた光量にならない。
< 測定テーブル21 >
図8と図9は、液滴30が塗布された基板19がセットされた測定テーブル21を示す。
空間部44の深さ50は、レンズ34の被写界深度を超える値である必要がある。この構成によれば、空間部44の下面51の模様がレンズ34に写り込まず、測定対象の液滴30で反射する光のみを抽出することが可能となる。なお、深さ50を深くし過ぎた場合には、測定テーブル21の剛性が弱まるため、レンズ34の被写界深度を超える必要最小限の深さとすることが望ましい。
図10は測定テーブル21の別の実施例を示す。
次に、撮像工程S40(図2参照)で得られた液滴の画像データを用いて各液滴の体積あるいは表面形状を算出する液滴評価工程S70と、形状測定工程S50と、対応テーブル作成工程S60について、図11〜図14を参照しながら説明する。
形状測定工程S50は、撮像工程S40で撮像対象(評価対象)となった複数の液滴の中から抽出された所定の位置の液滴の形状を測定する工程である。液滴の表面の三次元座標系(X−Y−Z座標系)上の位置座標データ(x,y,z)を、前記の液滴形状測定装置4により測定する。
次に、形状測定工程S50での処理結果と、撮像工程S40で得られた液滴30の輝度情報とに基づいて作成した対応テーブルを、液滴評価工程S70に入力する対応テーブル作成工程S60について説明する。
次に、図11の液滴評価工程S70について説明する。
まず、液滴評価工程S70のステップS71では、撮像工程S40で撮像した、評価対象となる全てのノズルから吐出された全ての液滴についての画像から、各液滴の位置を特定し、それぞれの液滴ごとに切り取った「液滴毎画像」を作成する。
液滴頂点(図14の原点に対応)を含む画素位置A以外の、X軸上の任意の画素位置Bの高さは、画素位置Bに対してX方向負の方向に隣接する画素位置の高さから、画素位置BのX成分傾きに、または画素位置Bに対してX方向負の方向に隣接する画素位置のX成分傾きに、若しくはそれらの平均値に、画素位置Bと画素位置Bに対してX方向負の方向に隣接する画素位置間の距離を掛けた値を加算することで算出できる。
液滴評価工程S70のステップS74では、画像の輝度情報を用いて液滴直径を算出する。
次に、ステップS74で求めた液滴直径と、ステップS73で求めた各画素位置での高さ(仮値)を用いて、外周部での高さHe(仮値)を算出する。外周部での高さHeは、液滴中心からの距離が、液滴直径より求められる液滴半径から一定距離eの範囲以内の画素位置での高さの平均で求めるのが良い。
(実施の形態2)
実施の形態1では液滴測定装置2が液滴吐出装置1とは別に設けられていたが、液滴吐出装置1に撮像部20を設け、生産テーブル8の上に液滴測定装置2の測定テーブル21の場合と同様の位置に空間部44を形成し、撮像部20が撮影した基板19の輝度情報を図2のように処理することによっても実施できる。
上記の実施の形態1では、液滴吐出装置1で作成した印刷対象物7をそのまま基板19とする場合、または印刷対象物7を割断して基板19する場合、つまり液滴を印刷済みの基板19を液滴測定装置2の測定テーブル21にセットして対応テーブルを作成する場合を説明したが、液滴吐出装置1で使用する予定のラインヘッド6を液滴測定装置2の側にセットし、液滴30とダミー液滴31が形成されていない基板19を、液滴測定装置2の測定テーブル21にセットし、液滴測定装置2において液滴吐出装置1で使用する予定のラインヘッド6を使用して、測定テーブル21の空間部44の位置に対応して基板19に液滴30とダミー液滴31を印刷し、形成された液滴30を撮像部20によって撮像することによって、それ以降は実施の形態1と同様に対応テーブルを作成して、これを液滴吐出装置1の印刷制御部16に伝達することによって、ラインヘッド6の各ヘッドの吐出量を正確に目標値に近付けることができる。
2 液滴測定装置
3 減圧チャンバー
4 液滴形状測定装置
5 ヘッドユニット
6 ラインヘッド
7 印刷対象物
8 生産テーブル
9 ステージ
10 脚部
11 支持部
12 ガントリー
13 支持台
14 分配タンク
15 液滴吐出モジュールヘッド
16 印刷制御部
17 対応テーブル作成部
18 体積算出部
19 基板
20 撮像部
21 測定テーブル
22 ステージ
23 ガントリー
24 架台
25 測定制御部
26 対応テーブル作成部
27 体積算出部
28 支持基板
29 高分子膜
30 液滴
31 ダミー液滴
32 光源
33 カメラ
34 レンズ
35 治具
36 走査軸
37 駆動機構
38 Z方向駆動機構
39,40,41,42,43 光
44 空間部
45 空間部44の幅
46 空間部44の長さ
47 基板19の幅
48 基板19の長さ
49 吸引路
50 空間部44の深さ
51 空間部44の下面
Claims (7)
- 液滴が表面に配置された透明な基板を保持する測定テーブルと、
前記測定テーブルの上にセットされた前記基板の前記液滴を撮像して前記液滴の表面からの反射光量を測定する撮像部と、
前記撮像部が測定した反射光量の輝度情報に基づいて前記液滴の体積あるいは表面形状を求める測定制御部と
を設け、
前記測定テーブルの表面に、前記基板の裏面に接しない空間部を有する、
液滴測定装置。 - 前記空間部の深さは、前記撮像部で用いるレンズの被写界深度を超える値である、
請求項1記載の液滴測定装置。 - 前記空間部の短尺方向幅は、
前記撮像部で用いるレンズの視野よりも広く、前記基板の自重による撓みで前記反射光量が変化する幅よりも狭い、
請求項1または2記載の液滴測定装置。 - 前記空間部の短尺方向幅は、
前記撮像部で用いるレンズの視野よりも広く、前記レンズの被写界深度の幅よりも狭い、
請求項1または2記載の液滴測定装置。 - 前記空間部の長尺方向幅は、
前記撮像部で用いるレンズの視野よりも広く、前記撮像部で撮像する液滴が吐出されている範囲の長尺方向幅よりも長く、前記基板の自重による撓みで前記反射光量が変化する幅よりも狭い、
請求項1〜3の何れか1項に記載の液滴測定装置。 - 測定対象の液滴が表面に形成された透明の基板を、凹部で形成された空間部が表面に形成された測定テーブルに、前記基板の前記液滴の裏面側の位置が前記空間部に一致するようにセットし、
前記測定テーブルの上にセットされた前記基板の前記液滴を撮像部で撮像して前記液滴の表面からの反射光量を測定し、
前記撮像部が測定した反射光量に基づいて前記液滴の体積あるいは表面形状を求める、
液滴測定方法。 - 凹部で形成された空間部が表面に形成された測定テーブルに、透明の基板をセットし、
評価対象のノズルを有するヘッドから前記測定テーブルの前記空間部の位置に向かって機能性材料を吐出して液滴を前記基板の表面に形成し、
前記基板の前記液滴を撮像部で撮像して前記液滴の表面からの反射光量を測定し、
前記撮像部が測定した反射光量に基づいて前記液滴の体積あるいは表面形状を求める、
液滴測定方法。
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