TW201842978A - 液滴吐出裝置、液滴吐出方法及電腦記憶媒體 - Google Patents

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Abstract

[課題] 屬於對工件吐出機能液之液滴而進行描繪的液滴吐出裝置，適當地補正工件台對液滴吐出頭的相對位置。 　　[解決手段]液滴吐出裝置具有：工件台(20)，其係載置工件(W)；液滴吐出頭(34)，其係對被載置於工件台(20)之工件(W)吐出液滴；Y軸線性馬達(13)，其係使工件台(20)在主掃描方向移動；控制部(150)，其係一面沿著在主掃描方向延伸，且在副掃描方向排列複數的掃描線，使工件台(20)移動，一面檢測被載置於工件台(20)之工件(W)之位置，使用該檢測結果，作成表示Y軸線性馬達(13)之位置和工件台(20)之位置之補正量之相關的補正表。

Description

液滴吐出裝置、液滴吐出方法及電腦記憶媒體
本發明係關於對工件吐出機能液之液滴而進行描繪的液滴吐出裝置、使用該液滴吐出裝置之液滴吐出方法、程式及電腦記憶媒體。
以往，作為使用機能液而對工件進行描繪之裝置，所知的有使該機能液成為液滴而吐出的噴墨方式之液滴吐出裝置。液滴吐出裝置廣泛使用於製作例如有機EL裝置、彩色濾光器、液晶顯示裝置、電漿顯示器(PDP裝置)、電子發射裝置(FED裝置、SED裝置)等之光電裝置(平板面板顯示器：FPD)之時等。
例如，記載於專利文獻1之液滴吐出裝置具備有吐出機能液之液滴的機能液滴吐出頭(液滴吐出頭)，和搭載工件之工件載台(工件台)，和沿著引導用之一對支持座延伸之方向(主掃描方向)使工件台移動的移動機構(線性馬達)。而且，一面藉由工件台使工件對液滴吐出頭相對性地移動，一面從液滴吐出頭對事先被形成於工件上之堤部，吐出機能液，依此進行對工件的描繪。
再者，在液滴吐出裝置之描繪動作中，一面使工件在主掃描方向(Y軸正方向)移動，一面進行第1描繪動作(往路路徑)。之後，使工件台在與主掃描方向正交之副掃描方向(X軸方向)移動，並且一面使工件在主掃描方向(Y軸負方向)移動，一面進行第2描繪動作(返路路徑)。而且，再度使工件台在副掃描方向(X軸方向)移動，並且一面使工件在主掃描方向(Y軸正方向)移動，一面進行第3描繪動作(往路路徑)。藉由如此之描繪動作，對工件全面進行描繪。
另外，在以下之說明中，有將如此地進行第1描繪動作~第3描繪動作之時，使工件台在副掃描方向(X軸方向)移動之動作稱為「改行」之情況。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1] 日本特開2010-198028號公報
[發明所欲解決之課題]
但是，於工件改行之時，由於該工件台之姿勢、重心、直線性變更這樣的主要原因，有液滴吐出頭和工件上之堤部的位置關係變化之情形。如此之工件台之姿勢的變化、重心的變化、直線性的變化，會依例如改行之時的移動機構之機械性的精度，或工件台移動之載台的非平坦性等而產生。
再者，近年來，以液滴吐出裝置製造的電視等之製品，大型且高精細(例如，4K、8K)成為主流，為了對應於工件之大型化，液滴吐出裝置也大型化。因此，成為無法忽視上述主要原因所致的液滴吐出頭和堤部之位置偏移，即是從液滴吐出頭被吐出之液滴彈著於工件上之堤部之時的位置偏移的狀況。而且，由於畫素尺寸之影響，其位置偏移之容許範圍亦變小為例如±2μm以下。
於是，在如液滴吐出裝置般，需要精密控制之載台中，要求可以穩健地對應於環境變化之工件台之位置補正的技術。但是，在現狀中，在如此之精密載台中，還未達到適當地補正工件台之位置。
本發明係鑒於如此之問題點而創作出，其目的在於在對工件吐出機能液之液滴而進行描繪之液滴吐出裝置中，適當地補正工件台對液滴吐出頭的相對位置，對該液滴吐出頭和工件進行高精度位置對準。 [用以解決課題之手段]
為了達成上述目的，本發明係一種對工件吐出機能液之液滴而進行描繪的液滴吐出裝置，其特徵在於，具有：工件台，其係載置上述工件；液滴吐出頭，其係對被載置於上述工件台之上述工件吐出液滴；移動機構，其係使上述工件台和上述液滴吐出頭，在主掃描方向及與主掃描方向正交之副掃描方向相對性地移動；及控制部，其係一面沿著在主掃描方向延伸，且在副掃描方向排列複數而被設定的掃描線，使上述工件台和上述液滴吐出頭相對性地移動，一面檢測被載置於上述工件台之上述工件之位置，或上述工件台之位置，根據該檢測結果，作成表示上述移動機構之位置，和上述工件台之位置之補正量之相關的補正表。
若根據本發明，首先，於藉由移動機構，沿著掃描線使工件台和液滴吐出頭相對性地移動之時，檢測被載置於工件台之工件的位置，或工件台之位置。而且，根據該工件之位置或工件台之位置的檢測結果，作成補正表。在如此之情況，即使在工件台改行之時，產生工件之位置偏移，亦可使得用補正表，適當地補正工件台之位置。因此，可以對液滴吐出頭和工件進行高精度位置對準，可以提高液滴從液滴吐出頭朝工件之吐出精度(彈著精度)。
上述控制部係即使對每個上述掃描線作成複數上述補正表亦可。
即使複數上述掃描線具有作成上述補正表之第1掃描線，和不作成上述補正表之第2掃描線，上述控制部即使內插上述第1掃描線之上述補正表，作成上述第2掃描線之上述補正表亦可。
上述控制部即使於檢測上述工件之位置或上述工件台之位置之時，使用事先形成在該工件或工件台之基準標記的位置亦可。
即使上述基準標記在主掃描方向排列複數而被形成，並且，在副掃描方向排列至少一個以上而被形成亦可。
上述液滴吐出裝置即使進一步具有取得被載置於上述工件台之上述工件或上述工件台之攝影畫像的攝影部，上述攝影部被構成為在副掃描方向移動自如，上述控制部根據以上述攝影部所取得之攝影畫像，檢測上述工件之位置或上述工件台之位置亦可。
根據另外的觀點的本發明係一種液滴吐出方法，其係對被載置於工件台的工件，從液滴吐出頭吐出機能液之液滴而進行描繪的液滴吐出方法，其特徵在於，具有：第1工程，其係藉由移動機構，沿著在主掃描方向延伸，且在與主掃描方向正交之副掃描方向排列複數而被設定之掃描線，使上述工件台和上述液滴吐出頭相對性地移動；第2工程，其係檢測在上述第1工程中，被載置於上述工件台之上述工件的位置，或上述工件台之位置；及第3工程，其係根據在上述第2工程之檢測結果，作成表示上述移動機構之位置，和上述工件台之位置的補正量之相關的補正表。
即使在上述第3工程中，對每個上述掃描線作成複數上述補正表。
即使複數上述掃描線具有作成上述補正表之第1掃描線，和不作成上述補正表之第2掃描線，在上述第3工程中，即使內插上述第1掃描線之上述補正表，作成上述第2掃描線之上述補正表亦可。
即使在上述第2工程中，使用事先被形成在上述工件或上述工件台之基準標記的位置，檢測該工件之位置或工件台之位置亦可。
即使上述基準標記在主掃描方向排列複數而被形成，並且，在副掃描方向排列至少一個以上而被形成亦可。
即使在上述第2工程中，藉由攝影部取得被載置於上述工件台之上述工件或上述工件台之攝影畫像，根據該攝影畫像，檢測上述工件之位置或上述工件台之位置，上述攝影部被構成為在副掃描方向移動自如亦可。
再者，若藉由另外之觀點的本發明時，則提供一種在該液滴吐出裝置之電腦上執行動作的程式，使得藉由液滴吐出裝置實行上述液滴吐出方法。
並且，若藉由依據另外之觀點的本發明，則提供一種儲存有上述程式之電腦可讀取的電腦記憶媒體。 [發明效果]
若根據本發明，即使於工件台改行之時，產生工件對液滴吐出頭之位置偏移，亦可以適當地補正工件台對液滴吐出頭之相對位置，對該液滴吐出頭和工件進行高精度位置對準。
以下，參照附件圖面針對本發明之實施型態進行說明。並且，並不藉由以下所示之實施型態限定該發明。
(液滴吐出裝置之構成) 　　首先，針對與本實施型態有關之液滴吐出裝置之構成，參照圖1及圖2進行說明。圖1為表示液滴吐出裝置1之構成之概略的側面圖。圖2為表示液滴吐出裝置1之構成之概略的俯視圖。另外，在以下中，將工件W之主掃描方向設為Y軸方向，將與主掃描方向正交之副掃描方向設為X軸方向，將與Y軸方向及X軸方向正交之垂直方向設為Z軸方向，將繞Z軸方向旋轉之方向設為θ方向。
再者，在本實施型態中所使用之工件W如圖3所示般形成區劃壁亦即堤部100。堤部100係藉由進行例如光微影處理或蝕刻處理等，被圖案製作成特定圖案。在堤部100，以特定間距在行方向(Y軸方向)和列方向(X軸方向)排列複數而被形成略矩形狀之開口部101。該開口部101之內部成為藉由液滴吐出裝置1被吐出之液滴彈著的彈著區域。另外，堤部100使用例如感光性聚醯亞胺樹脂。
在工件W之端部沿著Y軸方向以與開口部101相同之間距形成複數基準標記102。基準標記102係使用例如噴墨方式之描繪方法等而被描繪在工件W之上面。另外，在圖3中，雖然描繪略十字形之標記作為基準標記102，但是基準標記102之形狀並不限定於本實施型態之內容，即使為例如圓形或三角形亦可，若為能夠辨識者則可以任意地設定。再者，在圖3中，雖然描繪在工件W之X軸負方向側之端部被形成基準標記102之狀態，但是基準標記102即使被形成在工件W之X軸正方向側之端部亦可。
另外，在本實施型態之工件W除了用以量產的製品用工件W之外，也包含用以作成後述補正表之基準工件Wf。而且，雖然在基準工件Wf形成有基準標記102，但是有無形成在製品用之工件W之基準標記102為任意，即使省略亦可。
液滴吐出裝置1具有在主掃描方向(Y軸方向)延伸，使工件W在主掃描方向移動之Y軸載台10，和以跨越Y軸載台10之方式被跨架，在副掃描方向(X軸方向)延伸之一對X軸載台11、11。在Y軸載台10之上面，一對Y軸導軌12、12在Y軸方向延伸而被設置，在各Y軸導軌12，設置有Y軸線性馬達13。在各X軸載台11之上面，X軸導軌14在X軸方向延伸而被設置，在該X軸導軌14設置有X軸線性馬達15。另外，在以下之說明中，在Y軸載台10上，將較X軸載台11靠Y軸負方向側的區域稱為搬入搬出區域A1，將一對X軸載台11、11間之區域稱為處理區域A2，將較X軸載台11靠Y軸正方向側之區域稱為待機區域A3。
在Y軸線性馬達13設置有測量該Y軸線性馬達13之位置的Y軸線性標尺16。從Y軸線性標尺16輸出有表示Y軸線性馬達13之位置的編碼器脈衝(脈衝訊號)。另外，Y軸線性馬達13之位置意味著Y軸線性馬達13之可動件的位置。
在Y軸載台10上設置有工件台20。在一對X軸載台11、11設置有拖架單元30和攝影單元40。
工件台20係例如真空吸附台，吸附並載置工件W。工件台20係藉由被設置在該工件台20之下面側的平台移動機構21，被支持成在X軸方向移動自如同時在θ方向旋轉自如。工件台20和平台移動機構21被支持於被設置在平台移動機構21之下面側的Y軸滑件22。Y軸滑件22被安裝於Y軸導軌12，被構成為藉由Y軸線性馬達13在Y軸方向移動自如。因此，在載置工件W之狀態下，藉由Y軸滑件22使工件台20沿著Y軸導軌12在Y軸方向移動，依此可使得工件W在Y軸方向移動。另外，在本實施型態中，平台移動機構21使工件台20在X軸方向移動，並且在θ方向旋轉，但是即使使工件台20在X軸方向移動之機構和在θ方向旋轉之機構分別不同亦可。再者，在本實施型態中，Y軸線性馬達13和平台移動機構21構成本發明之移動機構。
在平台移動機構21設置有測量該平台移動機構21之X軸方向之位置的X軸線性標尺23，和測量平台移動機構21之θ方向之位置的旋轉編碼器24。從X軸線性標尺23和旋轉編碼器24分別輸出表示平台移動機構21(工件台20)之X軸方向之位置和θ方向之位置的編碼器脈衝(脈衝訊號)。
另外，在搬入搬出區域A1之工件20之上方，設置有攝影工件台20上之工件W的工件對準攝影機(無圖示)。而且，根據以工件對準攝影機攝影到的畫像，藉由Y軸滑件22及平台移動機構21，因應所需補正被載置於工件台20之工件W之Y軸方向、X軸方向及θ方向之位置。依此，工件W被對準而被設定成特定的初期位置。
拖架單元30係在X軸載台11中設置複數例如10個。各拖架單元30具有拖架板31，和拖架保持機構32，和拖架33，和液滴吐出頭34。拖架保持機構32被設置在拖架板31之下面的中央部，在該拖架保持機構32之下端部拆卸自如地被安裝有拖架33。
拖架板31被安裝於X軸導軌14，藉由X軸線性馬達15在X軸方向移動自如。另外，也能夠將複數拖架板31設為一體在X軸方向移動。
在拖架33安裝有馬達(無圖示)。藉由該馬達，拖架33被構成為在X軸方向及θ方向移動自如。另外，拖架33之X軸方向及θ方向之移動即使藉由例如拖架保持機構32進行亦可。
在拖架33之下面，於Y軸方向及X軸方向排列設置有複數液滴吐出頭34。在本實施型態中，在例如Y軸方向設置有6個，在X軸方向設置有2個，即是合計12個的液滴吐出頭34。在液滴吐出頭34之下面，即是噴嘴面形成有複數吐出噴嘴(無圖示)。而且，成為從該吐出噴嘴對液滴吐出頭34之正下方之液滴吐出位置，吐出機能液之液滴。
攝影單元40被配置在與藉由Y軸線性馬達13使工件台20在Y軸方向移動之時的工件W上之基準標記102之軌跡，在俯視觀看下大概重疊的位置。具體而言，例如圖2所示般，從X軸方向之負方向側之下方算起第2個的拖架板31a之配置，與使工件W在Y軸方向移動之時的基準標記102之軌跡大概重疊之情況，攝影單元40被設置在拖架板31a。另外，即使攝影單元40被構成為能夠在X軸方向移動亦可。
攝影單元40具有夾著拖架33(液滴吐出頭34)與Y軸方向相向而被設置的第1攝影部41和第2攝影部42。作為第1攝影部41及第2攝影部42，使用例如CCD攝影機，即使在工件台20之移動中、停止中、工件處理中(液滴吐出中)之任一者，亦可以攝影被載置於該工件台20之工件W。第1攝影部41相對於拖架33被配置於Y軸負方向側，第2攝影部42相對於拖架33被設置於Y軸正方向側。
第1攝影部41攝影被形成在工件W之基準標記102。第1攝影部41被支持於一對X軸載台11、11中，被設置在Y軸負方向側之X軸載台11之側面的基座43。而且，工件W從搬入搬出區域A1朝向處理區域A2移動，工件台20被引導至第1攝影部41之正下方之時，第1攝影部41以特定週期攝影被載置於工件台20上之工件W。所取得的攝影畫像被輸入至後述控制部150之檢測器160。另外，第1攝影部41所致之攝影時序，即使根據從例如後述補正器161被輸出的轉換後之脈衝訊號而被決定亦可，或是即使於工件處理前事先被設定亦可。
第2攝影部42被支持於一對X軸載台11、11中，被設置在Y軸正方向側之X軸載台11之側面的基座44。而且，於工件台20被引導至第2攝影部42之正下方之時，藉由第2攝影部42攝影被載置於工件台20上之工件W，可以攝影彈著於工件W之上面的液滴。
另外，在工件台20之往路路徑(Y軸正方向)中，雖然在第1攝影部41和第2攝影部42的工件W之攝影畫像成為如上述般，但是在工件台20之返路路徑(Y軸負方向)中，在第1攝影部41和第2攝影部42的攝影畫像成為相反。
(控制部) 　　在以上之液滴吐出裝置1設置有控制部150。控制部150係例如電腦，具有程式儲存部(無圖示)。在資料儲存部中，儲存有例如控制被吐出至工件W之液滴，用以在該工件W描繪特定圖案之描繪資料(位元對映資料)等。再者，控制部150具有程式儲存部(無圖示)。在程式儲存部儲存有控制在液滴吐出裝置1之各種處理的程式等。
並且，上述資料或上述程式即使為被記錄於例如電腦可讀取之硬碟(HD)、軟碟(FD)、光碟(CD)、光磁碟(MO)、記憶卡等之於電腦可讀取之記憶媒體者，即使為自該記憶媒體被安裝於控制部150者亦可。
控制部150如圖4所示般具有：檢測器160，其係對以第1攝影部41(或是第2攝影部42)所取得之攝影畫像進行處理而從該攝影畫像檢測基準標記102之位置；補正器161，其係補正工件台20之位置(Y軸線性馬達13及平台移動機構21之位置)；移動控制器162(移動驅動器)，其係控制Y軸線性馬達13及平台移動機構21之移動；及噴墨控制器163，其係控制液滴吐出頭34之吐出時序。
(檢測器) 　　在檢測器160之基準標記102之位置(中心位置)之檢測方法雖然為任意，但是可使得用例如日本特開2017-13011號公報所記載之方法。而且，檢測器係藉由檢測複數基準標記102之位置，檢測工件W之位置。再者，由於第1攝影部41被設置在安裝液滴吐出頭34之X軸載台11，故在檢測器160中，檢測工件W對液滴吐出頭34的位置。另外，以第1攝影部41所取得的攝影畫像包含Y軸成分、X軸成分及θ成分，以檢測器160所檢測的工件W之位置也包含Y軸方向位置、X軸方向位置及θ方向位置。
另外，在檢測器160中，即使根據被檢測的工件W之位置，進一步算出工件W之從目標位置的偏移量亦可。雖然該工件W之位置偏移量之算出方法為任意，但是可使得用例如日本特開2017-13011號公報所記載之方法。即是，使用該方法，根據以Y軸線性標尺16所測量到之Y軸線性馬達13之位置，推定工件W之目標位置。而且，比較所算出的工件W之目標位置，和以檢測器160所檢測之工件W之位置，算出位置偏移量。另外，工件W之位置偏移量包含Y軸方向位置、Y軸方向間距、Y軸方向Yaw、Y軸方向位置基準之X軸方向位置、Y軸方向位置基準之θ方向位置。
再者，在檢測器160中，即使根據如上述般被算出之工件W之位置偏移量，進一步作成圖5所示之補正表亦可。該補正表係在Y軸線性馬達13之1行程，例如每100mm間距，對該Y軸線性馬達13之位置，描繪工件W之Y軸方向之位置偏移量而作成。該工件W之位置偏移量表示工件W之位置之補正量，即是工件台20之位置的補正量。因此，補正表係其橫軸為Y軸線性馬達13之位置，縱軸為工件台20之位置的補正量，表示在以Y軸線性標尺16所測量到之Y軸線性馬達13之位置中，要使該工件台20之位置移動多少才可。另外，圖5所示之補正表雖然表示工件台20之Y軸方向位置之補正量之一例，但是其他也對Y軸方向間距、Y軸方向Yaw、Y軸方向位置基準之X軸方向位置、Y軸方向位置基準之θ方向位置，分別作成補正表。因此，在Y軸方向補正Y軸線性馬達13之位置，在X軸方向及θ方向補正平台移動機構21之位置，依此可以補正工件台20之姿勢。並且，圖5所示之補正表雖然為2次內插描繪者，但是即使進行多次元內插亦可。
如上述般，在檢測器160中，算出工件W之位置、工件W之位置偏移量或補正表中之任一者。而且，在檢測器160之檢測結果之訊號被輸出至補正器161。另外，從檢測器160對補正器161，輸出工件W之位置或工件W之位置偏移量之情況，在補正器161作成補正表。
另外，在上述說明中，檢測器160使用第1攝影部41之攝影畫像而檢測工件W之位置，但此係工件台20(Y軸線性馬達13)從搬入搬出區域A1移動至處理區域A2之情況(往路路徑)。另外，在工件台20從待機區域A3移動至處理區域A2之情況(返路路徑)，檢測器160使用第2攝影部42之攝影畫像而檢測工件W之位置。
再者，在檢測器160中，雖然根據以CCD攝影機亦即第1攝影部41所取得之攝影畫像而檢測工件W之位置，但是即使使用例如雷射干涉計(無圖示)或雷射位移計(無圖示)檢測工件W之位置亦可。於使用雷射干涉計或雷射位移計之情況，對液滴吐出頭34、工件台20或工件W照射雷射，檢測工件W對液滴吐出頭34之位置。在如此之情況。於以例如1列之測長器(雷射干涉計或雷射位移計)測量工件W之位置之情況，檢測Y軸方向位置作為該工件W之位置，於使用例如2列之測長器之情況，檢測Y軸方向位置及θ方向位置。
(補正器) 　　補正器161根據來自Y軸線性標尺16之脈衝訊號，和來自檢測器160之訊號，使用補正表算出工件台20之位置的補正量。而且，將該補正量反饋於移動控制器162。具體而言，進行以下的步驟S1~S3。
首先，在補正器161中，接收來自Y軸線性標尺16之脈衝訊號而計數，掌握Y軸線性馬達13之現在位置。再者，為了在後述步驟S3中轉換脈衝訊號，先解析來自Y軸線性標尺16之脈衝訊號的形狀(脈衝形狀)(步驟S1)。在步驟S1中，在補正器161中，也接收來自X軸線性標尺23之脈衝訊號和來自旋轉編碼器24之脈衝訊號。
接著，在補正器161中，接收來自檢測器160之檢測結果的訊號。來自檢測器160之訊號如上述般係工件W之位置、工件W之位置偏移量或是補正表中之任一者。再者，來自檢測器160之訊號為工件W之位置或工件W之位置偏移量之情況，在補正器161中作成補正表。而且，根據在步驟S1掌握到的Y軸線性馬達13之位置，使用補正表，算出工件台20之位置的補正量。具體而言，2次元內插或多次元內插補正表。另外，圖5所示之補正表為2次元內插者。該補正量之算出係於Y軸線性馬達13(工件台20)之移動中進行，對應於時時刻刻變化之Y軸線性馬達13之位置而算出補正量。因此，在補正器161中，即時地算出於現在位置的工件台20之位置的補正量(步驟S2)。
接著，在補正器161中，根據在步驟S1解析的脈衝形狀，和在步驟S2算出的工件台20之Y軸方向之補正量，轉換從Y軸線性標尺16接受到的脈衝訊號。圖6表示轉換脈衝訊號之樣子，左圖表示來自Y軸線性標尺16之脈衝訊號，右圖表示轉換後，輸出至移動控制器162之脈衝訊號。例如，在複數基準標記102之位置對脈衝訊號全體性地偏移之情況，如圖6(a)所示般，插入脈衝，或如圖6(b)所示般刪除脈衝。再者，例如於在工件W從複數基準標記102之位置伸縮之情況中，對脈衝訊號賦予傾斜之情況，如圖6(c)所示般，伸長脈衝間距，或如圖6(d)所示般縮小脈衝間距。而且，如此被轉換的脈衝訊號被輸出至移動控制器162(步驟S3)。
如此在步驟S3被轉換的脈衝訊號也被輸出至噴墨控制器163。噴墨控制器163係控制在液滴吐出頭34之液滴之吐出時序者，根據Y軸線性馬達13之位置，設定液滴之吐出時序。在本實施型態中，藉由從補正器161被輸出之脈衝訊號被輸出至噴墨控制器163，可以從液滴吐出頭34在適當的時序吐出液滴。
另外，在步驟S3中，在補正器161中，根據在步驟S2算出的工件台20之X軸方向及θ方向之補正量，分別轉換來自X軸線性標尺23之脈衝訊號和來自旋轉編碼器24之脈衝訊號。被轉換的脈衝訊號被輸出至移動控制器162。
再者，於Y軸線性馬達13以高速移動之情況，即時算出補正量的補正器161需要高速訊號處理。因此，補正器161以ASIC(特殊應用積體電路)或現場可程式邏輯閘陣列(FPGA)進行機能安裝為佳。
(移動控制器) 　　移動控制器162係根據自補正器161接收到的Y軸方向之脈衝訊號(轉換後之脈衝訊號)，對Y軸線性馬達13輸出指令訊號(脈衝列)，控制Y軸線性馬達13(工件台20)之移動。再者，移動控制器162係根據自補正器161所接收到的X軸方向及θ方向之脈衝訊號(轉換後之脈衝訊號)，對平台移動機構21輸出指令訊號(脈衝列)，控制平台移動機構21之移動。另外，移動控制器162係接收與Y軸、X軸、θ等有關之脈衝訊號，構成全封閉控制。
(噴墨控制器) 　　噴墨控制器163係根據自補正器161接收到的Y軸方向之脈衝訊號(轉換後之脈衝訊號)，對液滴吐出頭34輸出指令訊號(脈衝列)，控制在液滴吐出頭34之液滴之吐出時序。
(在液滴吐出裝置之工件處理) 　　接著，針對使用如上述般構成之液滴吐出裝置1而進行的工件處理進行說明。在本實施型態中，於進行對製品工件W之通常的處理之前，為了作成補正表，對基準工件Wf進行特定處理。
(對基準工件的處理) 　　首先，對基準工件Wf進行特定的處理。在搬入搬出區域A1配置工件台20，藉由搬運機構(無圖示)被搬入至液滴吐出裝置1之基準工件Wf被載置於該工件台20。接著，藉由工件對準攝影機攝影工件台20上之基準工件Wf。而且，根據該被攝影之畫像，藉由平台移動機構21，補正被載置於工件台20之基準工件Wf之X軸方向及θ方向之位置，進行基準工件Wf之對準(步驟T1)。
之後，藉由Y軸線性馬達13，使工件台20在Y軸方向往返移動，同時使在X軸方向移動(改行)，在基準標記Wf描繪全面。針對在本實施型態中，於在X軸方向2次改行之情況，亦即工件台20移動Y軸方向(主掃描方向)延伸之3條掃描線之情況進行說明。再者，在本實施型態中，如圖7所示般，針對使用複數液滴吐出頭34之中，兩個液滴吐出頭34之情況進行說明。
首先，如圖7(a)及圖8(a)所示般藉由Y軸線性馬達13，沿著第1掃描線L1，一面使工件台20從搬入搬出區域A1移動至待機區域A3(Y軸正方向)，一面進行第1描繪動作(往路路徑)。第1掃描線L1係通過工件台20之X軸方向中心線C之直線。此時，在處理區域A2中，對於移動至液滴吐出頭34之下方的基準工件Wf，從該液滴吐出頭34吐出液滴。如此一來，在基準工件Wf中，被描繪在與液滴吐出頭34對應的位置(步驟T2)。
在此，在步驟T2中，使工件台20從搬入搬出區域A1移動至處理區域A2之時，即是於在處理區域A2，從液滴吐出頭34對基準工件Wf吐出液滴之前，藉由Y軸線性標尺16，即時地測量Y軸線性馬達13之位置。在Y軸線性標尺16之脈衝訊號被輸出至補正器161。再者，也藉由X軸線性標尺23和旋轉編碼器24，分別測量平台移動機構21之X軸方向和θ方向之位置，該些來自X軸線性標尺23之脈衝訊號和來自旋轉編碼器24之脈衝訊號也被輸出至補正器161。
另外，在此時，在第1攝影部41中，以特定週期攝影被載置於工件台20上之基準工件Wf，在檢測器160中檢測基準工件Wf之位置。在檢測器160之檢測結果之訊號被輸出至補正器161。而且，在補正器161中，作成補正表。另外，補正表即使以檢測器160作成亦可。以下，將對第1掃描線L1所作成的補正表稱為第1基準補正表。
接著，如圖7(b)及圖8(b)所示般，藉由平台移動機構21，使工件台20在X軸正方向移動(改行)1拖架份。接著，一面藉由Y軸線性馬達13，沿著第2掃描線L2，使工件台20從待機區域A3移動至搬入搬出區域A1(Y軸負方向)，一面進行第2描繪動作(返路路徑)。即是，第2掃描線L2係通過較工件台20之X軸方向中心線C靠X軸正方向的直線。此時，在處理區域A2中，對於移動至液滴吐出頭34之下方的基準工件Wf，從該液滴吐出頭34吐出液滴。如此一來，在基準工件Wf中，被描繪在與液滴吐出頭34對應的位置(步驟T3)。
即使在該步驟T3中，亦與步驟T2相同地在補正器161或檢測器160中，作成補正表。另外，在該步驟T3中，使工件台20從待機區域A3移動至處理區域A2之時，檢測器160使用第2攝影部42之攝影畫像而檢測工件W之位置。以下，將對第2掃描線L2所作成的補正表稱為第2基準補正表。
接著，如圖7(c)及圖8(c)所示般，藉由平台移動機構21，使工件台20在X軸負方向移動(改行)2拖架份。接著，一面藉由Y軸線性馬達13，沿著第3掃描線L3，使工件台20從搬入搬出區域A1移動至待機區域A3(Y軸正方向)，一面進行第3描繪動作(往路路徑)。即是，第3掃描線L3係通過較工件台20之X軸方向中心線C靠X軸負方向的直線。此時，在處理區域A2中，對於移動至液滴吐出頭34之下方的基準工件Wf，從該液滴吐出頭34吐出液滴。如此一來，在基準工件Wf中，被描繪在與液滴吐出頭34對應的位置(步驟T4)。即使在該步驟T4中，亦與步驟T2相同地在補正器161或檢測器160中，作成補正表。以下，將對第3掃描線L3所作成的補正表稱為第3基準補正表。
如此一來，藉由步驟T2~T4之描繪動作，對工件全面進行描繪，同時對第1掃描線L1~第3掃描線L3，分別作成第1基準補正表~第3基準補正表。
而且，於第3描繪動作後，使位於待機區域A3之工件台20移動至搬入搬出區域A1，基準工件Wf從液滴吐出裝置1被搬出。此時，在處理區域A2中，不從液滴吐出頭34吐出液滴至基準工件Wf。
(對製品用工件的處理) 　　接著，對製品用之工件W進行特定處理。在該工件W之處理中，首先在搬入搬出區域A1中，補正被載置於工件台20之工件W之X軸方向及θ方向之位置，進行工件W之對準(步驟T5)。該步驟T5與上述步驟T1相同。
之後，如圖7(a)及圖8(a)所示般沿著第1掃描線L1，一面使工件台20從搬入搬出區域A1移動至待機區域A3，一面進行第1描繪動作。而且，在工件W中，被描繪在與液滴吐出頭34對應的位置(步驟T6)。該步驟T6與上述步驟T2相同。
即使在步驟T6中，亦與步驟T2相同地藉由Y軸線性標尺16，即時地測量Y軸線性馬達13之位置。在Y軸線性標尺16之脈衝訊號被輸出至補正器161。再者，藉由X軸線性標尺23和旋轉編碼器24，亦分別測量平台移動機構21之X軸方向和θ方向之位置，該些來自X軸線性標尺23之脈衝訊號和來自旋轉編碼器24之脈衝訊號亦被輸出至補正器161。
在補正器161中，進行上述步驟S1~S3。但是，在上述步驟S2中雖然使用來自檢測器160之訊號而作成補正表，但是在此不使用來自檢測器160之訊號，使用在步驟T2算出之第1基準補正表。而且，算出工件台20之位置之補正量，將根據該補正量而轉換之脈衝訊號，從補正器161輸出至移動控制器162。再者，其中，Y軸方向之脈衝訊號也被輸出至噴墨控制器163。
另外，在步驟T6中，即使以第1攝影部41攝影工件W，在檢測器160中檢測工件W之位置，在檢測器160或補正器161中作成補正表亦可。在如此之情況，即使將第1基準補正表設為基礎表，重疊以該檢測器160或補正器161所作成的補正表亦可。
移動控制器162係根據自補正器161接收到的Y軸方向之脈衝訊號(轉換後之脈衝訊號)，對Y軸線性馬達13輸出指令訊號(脈衝列)，補正該Y軸線性馬達13之位置。例如，在目標位置在1000mm偏移+1μm(伸長側)之情況，即便接收到999.999mm份之脈衝，也朝移動控制器162輸出1000mm位置的脈衝。
再者，移動控制器162係根據自補正器161所接收到的X軸方向及θ方向之脈衝訊號(轉換後之脈衝訊號)，對平台移動機構21輸出指令訊號(脈衝列)，控制平台移動機構21之移動。
另外，噴墨控制器163也對液滴吐出頭34輸出指令訊號，控制在該液滴吐出頭34之液滴的吐出時序。如此一來，相對於液滴吐出頭34，被載置於工件台20之工件W被配置在適當的位置。
接著，如圖7(b)及圖8(b)所示般，使工件台20在X軸正方向移動(改行)1拖架份，接著一面沿著第2掃描線L2，使工件台20從待機區域A3移動至搬入搬出區域A1，一面進行第2描繪動作。而且，在工件W中，被描繪在與液滴吐出頭34對應的位置(步驟T7)。另外，該步驟T7與上述步驟T3相同。再者，此時，以與步驟T6相同之方法，使用第2基準補正表，補正工件台20之位置，控制在液滴吐出頭34之液滴的吐出時序。
接著，如圖7(c)及圖8(c)所示般，使工件台20在X軸負方向移動(改行)2拖架份，接著沿著第3掃描線L3，一面使工件台20從搬入搬出區域A1移動至待機區域A3移，一面進行第3描繪動作。而且，在工件W中，被描繪在與液滴吐出頭34對應的位置(步驟T8)。另外，該步驟T8與上述步驟T4相同。再者，此時，以與步驟T6相同之方法，使用第3基準補正表，補正工件台20之位置，控制在液滴吐出頭34之液滴的吐出時序。
如此一來，藉由步驟T6~T8之描繪動作，對工件全面進行描繪。
而且，當工件台20移動至搬入搬出區域A1時，描繪處理結束後的工件W從液滴吐出裝置1被搬出。接著，下一個工件W被搬入至液滴吐出裝置1。接著，進行上述步驟T5之工件W的對準，接著進行步驟T6~T8。
如此一來，對各工件W，進行步驟T5~T8，一連串的工件處理結束。
若根據上述實施型態時，對第1掃描線L1~第3掃描線L3，分別作成第1基準補正表~第3基準補正表，即是對工件W之全面，作成基準補正表。因此，即使於改行工件台20之時，產生工件W之位置偏移，亦可使得用該些第1基準補正表~第3基準補正表，適當地補正工件台20之位置。因此，可以使液滴吐出頭34和工件W高精度地對位，可以提高液滴從液滴吐出頭34朝工件W之吐出精度(彈著精度)。
在此，亦能夠僅取得例如第1基準補正表，對其他第2掃描線L2和第3掃描線L3，適用第1基準補正表。但是，在如此之情況，在改行的第2掃描線L2和第3掃描線L3中，有在第1基準補正表中無法算出適當的補正量之情況，有液滴從液滴吐出頭34朝工件W之吐出位置偏移之虞。此問題點，可以如本實施型態般，藉由分別對所有的第1掃描線L1~第3掃描線L3，使用第1基準補正表~第3基準補正表，更適當地補正工件台20之位置。
(其他實施型態) 　　接著，針對本發明之其他實施型態進行說明。
在以上之實施型態中，雖然針對工件台20沿著3條掃描線L1~L3移動，在工件W(基準工件Wf)之全面進行描繪之情況進行說明，但是掃描線之條數並不限定於此。
再者，在以上之實施型態中，雖然對所有的掃描線L1~L3分別作成基準補正表，但是即使對複數掃描線中之一部分的掃描線，作成基準補正表，內插該基準補正表，依此對其他的掃描線作成基準補正表亦可。
例如，如圖9所示般，使工件台20沿著5條掃描線L1~L5移動，對基準工件Wf之全面進行描繪之情況，例如，以對第1掃描線L1~第3掃描線L3，作成第1基準補正表~第3基準補正表，對第4掃描線L4~第5掃描線L5，不作成補正表之情況為例進行說明。另外，第1基準補正表~第3基準補正表係進行上述步驟T2~T4而被作成。再者，在以下之說明中，有將第1基準補正表~第3基準補正表總稱為基準資料之情況。
在圖9中，第1掃描線L1(改行0mm)係工件台20之X軸方向中心線C，第2掃描線L2和第4掃描線L4(改行正mm)為較中心線C靠X軸正方向的掃描線，第3掃描線L3和第5掃描線L5(改行負mm)係較中心線C靠X軸正方向的掃描線。再者，圖9所示之補正表雖然表示工件台20之Y軸方向位置之補正量之一例，但是其他亦對Y軸方向間距、Y軸方向Yaw、Y軸方向位置基準之X軸方向位置、Y軸方向位置基準之θ方向位置，分別作成補正表。
而且，相對於第4掃描線L4的第4基準補正表，係2次元內插第1基準補正表和第2基準補正表而被作成。再者，相對於第5掃描線L5的第5基準補正表，係2次元內插第1基準補正表和第3基準補正表而被作成。另外，作成第4基準補正表和第5基準補正表的時候的內插方法並不限定於2次元內插。例如，即使進行多次元內插亦可。
在此，改行的圖案為複數，對所有的掃描線進行步驟T2~T4為複雜且繁複的作業。在本實施型態中，對一部分的掃描線L1~L3進行步驟T2~T4，取得基準資料，對其他的掃描線L4~L5，內插基準資料，依此可以取得基準補正表。因此，不用進行繁複的作業，對工件W之全面，作成基準補正表。
在以上之實施型態中，雖然使用圖3所示之基準工件Wf而作成基準補正表，但是用以作成基準補正表的測量對象並不限定於此。即使使用例如圖3所示之構成的製品用之工件W亦可。在如此之情況，於進行步驟T6~T8之時，進行步驟S1~S3而作成基準補正表。
再者，即使使用圖10所示之基準工件Wf，作成基準補正表亦可。在基準工件Wf，例如基準標記102沿著主掃描方向(Y軸方向)排列複數而被形成，並且在副掃描方向(X軸方向)排列成3行而被形成。該基準標記102之X軸方向之數量與掃描線L1~L3之數量相同。在如此之情況，由於基準標記102總是位於第1攝影部41或第2攝影部42之正下方，故在檢測器160中，可以更適當地檢測基準工件Wf之位置。
另外，在基準工件Wf，即使基準標記102沿著主掃描方向(Y軸方向)排列複數而被形成，並且在副掃描方向(X軸方向)形成為1行而被形成亦可。而且，第1攝影部41和第2攝影部42即使分別被構成為在X軸方向移動自如亦可。雖然使第1攝影部41和第2攝影部42移動之機構並不特別限定，但是使用例如在X軸方向具有掃描軸之致動器。即使在如此之情況，亦可使第1攝影部41或第2攝影部42在X軸方向移動，依此使基準標記102總是位於第1攝影部41或第2攝影部42之正下方。
再者，在如上述般基準標記102沿著主掃描方向(Y軸方向)排列複數而被形成，並且在副掃描方向(X軸方向)形成為1行之情況，第1攝影部41和第2攝影部42即使分別在X軸方向排列並配置複數例如3個亦可。即使在如此之情況，亦可使得基準標記102總是位於第1攝影部41或第2攝影部42之正下方。
再者，即使使用形成有基準標記102之工件台20，以取代上述基準標記Wf或工件W，作成基準補正表亦可。在如此之情況，於例如液滴吐出裝置1之維修時，可使得用不搭載工件W之狀態的工件台20而作成基準補正表，效率佳。即使在使用該工件台20之情況，在該工件台20之上面，如圖10所示般基準標記102沿著主掃描方向(Y軸方向)排列複數而被形成，並且在副掃描方向(X軸方向)排列成複數而被形成亦可。
在以上之實施型態中，控制部150雖然如圖4所示般，具有使用補正器161之構成，但是並不限定此。例如圖11所示般控制部150除了檢測器160、移動控制器162、噴墨控制器163之外，還具有對來自移動控制器162之脈衝訊號進行逆轉換的編碼逆轉換器170。另外，本實施型態之控制部150中，省略補正器161。
如此之情況，根據以檢測器160所檢測的工件W之位置，在該檢測器160或移動控制器162中，作成補正表(基準補正表)。而且，在移動控制器162中，進行上述步驟S1~S3。即是，根據來自Y軸線性標尺16之脈衝訊號，和來自檢測器160之訊號，使用補正表(基準補正表)，算出工件台20之Y軸方向之補正量，並且轉換從Y軸線性標尺16接收到的脈衝訊號。再者，算出工件台20之X軸方向及θ方向之補正量，並且分別轉換來自X軸線性標尺23之脈衝訊號和來自旋轉編碼器24之脈衝訊號。
移動控制器162係根據上述Y軸方向之脈衝訊號(轉換後之脈衝訊號)，對Y軸線性馬達13輸出指令訊號(脈衝列)，補正該Y軸線性馬達13之位置。例如，目標位置在1000mm偏移+1μm(伸長側)之情況，對Y軸線性馬達13下指令，使得移動至999.999mm，補正成實際位置成為1000mm。
再者，移動控制器162係上述X軸方向及θ方向之脈衝訊號(轉換後之脈衝訊號)，對平台移動機構21輸出指令訊號(脈衝列)，控制平台移動機構21之移動。
另外，以移動控制器162所轉換的Y軸方向之脈衝訊號也被輸出至編碼逆轉換器170。在編碼逆轉換器170中，使用逆轉換表，將來自移動控制器162之脈衝訊號進行逆轉換，輸出至噴墨控制器163。即是，來自移動控制器162之脈衝訊號，雖然補正Y軸線性馬達13之位置，但是將脈衝訊號逆轉換成來自Y軸線性標尺16之脈衝訊號。
在此，即使Y軸線性馬達13之位置被補正成999.999mm，液滴吐出頭34之吐出時序仍舊為目標位置1000mm。於是，在編碼逆轉換器170中，將來自移動控制器162之表示999.999mm的脈衝訊號逆轉換成表示1000mm之脈衝訊號。而且，表示1000mm之脈衝訊號從編碼逆轉換器170被輸出至噴墨控制器163，在液滴吐出頭34中的液滴之吐出時序被控制。
如此一來，相對於液滴吐出頭34，被載置於工件台20之工件W被配置在適當的位置。而且，即使在本實施型態中，亦可以享有與上述實施型態相同之效果。
在以上之實施型態中，雖然使工件台20在Y軸方向移動，但是即使使液滴吐出頭34在Y軸方向移動亦可。在如此之情況，補正器161補正使液滴吐出頭34移動的Y軸線性馬達(無圖示)之位置。
再者，即使使工件台20和液滴吐出頭34之雙方在Y軸方向移動亦可。如此之情況，補正器161補正使工件台20移動的Y軸線性馬達13之位置，和使液滴吐出頭34移動之Y軸線性馬達(無圖示)的位置。
並且，雖然使工件台20在X軸方向移動而改行，但是即使使液滴吐出頭34在X軸方向移動亦可。於使液滴吐出頭34在X軸方向移動之情況即使使用X軸線性馬達15亦可。
(液滴吐出裝置之適用例) 　　如上述般被構成的液滴吐出裝置1適用於例如日本特開2017-13011號公報所記載的形成有機發光二極體之有機EL層之基板處理系統。具體而言，液滴吐出裝置1適用於塗佈用以在作為工件W之玻璃基板上形成電洞注入層之有機材料的塗佈裝置、塗佈用以在玻璃基板(電洞注入層)上形成電洞輸送層之有機材料的塗佈裝置、塗佈用以在玻璃基板(電洞輸送層)上形成發光層之有機材料的塗佈裝置。另外，在基板處理系統中，於除形成有機發光二極體之電洞注入層、電洞輸送層及發光層之外，也形成電子輸送層和電子注入層之情況，液滴吐出裝置1亦可以適用於該些電子輸送層和電子注入層之塗佈處理。
再者，液滴吐出裝置1除如上述般適用於形成有機發光二極體之有機EL層之時，即使亦適用於製造例如彩色濾光器、液晶顯示裝置、電漿顯示器(PDP裝置)、電子放射裝置(FED裝置、SED裝置)等之光電裝置(平板面板顯示器：FPD)之時亦可，或是即使適用於製造金屬配線形成、透鏡形成、光阻形成及光擴散體形成等之時亦可。
以上，雖然一面參照附件圖面一面針對本發明之較佳實施形態進行說明，但是本發明並不限定於如此之例。若為發明所屬技術領域中具有通常知識者在記載於申請專利範圍之思想範疇內能夠思及各種變更例或是修正例係不言自明，即使針對該些變更例或修正例亦當然地屬於本發明之技術範圍。
1‧‧‧液滴吐出裝置
10‧‧‧Y軸載台
11‧‧‧X軸載台
12‧‧‧Y軸導軌
13‧‧‧Y軸線性馬達
14‧‧‧X軸導軌
15‧‧‧X軸線性馬達
16‧‧‧Y軸線性標尺
20‧‧‧工件台
21‧‧‧平台移動機構
22‧‧‧Y軸滑件
23‧‧‧X軸線性標尺
24‧‧‧旋轉編碼器
30‧‧‧拖架單元
33‧‧‧拖架
34‧‧‧液滴吐出頭
40‧‧‧攝影單元
41‧‧‧第1攝影部
42‧‧‧第2攝影部
100‧‧‧堤部
101‧‧‧開口部
102‧‧‧基準標記
150‧‧‧控制部
160‧‧‧檢測器
161‧‧‧補正器
162‧‧‧移動控制器
163‧‧‧噴墨控制器
170‧‧‧編碼逆轉換器
L1~L5‧‧‧掃描線
W‧‧‧工件
Wf‧‧‧基準工件
圖1為表示與本實施形態有關之液滴吐出裝置之構成之概略的側面圖。 　　圖2為表示與本實施形態有關之液滴吐出裝置之構成之概略的俯視圖。 　　圖3為表示在工件上形成堤部和基準標記之狀態的俯視圖。 　　圖4為示意性地表示控制部之構成之概略的說明圖。 　　圖5為表示補正表之一例的圖。 　　圖6為表示在補正器中轉換脈衝訊號之樣子的說明圖。 　　圖7為表示對工件進行描繪動作之樣子的在俯視觀看的說明圖，(a)表示第1描繪動作，(b)表示第2描繪動作，(c)表示第3描繪動作。 　　圖8為表示對工件進行描繪動作之樣子的在側視觀看的說明圖，(a)表示第1描繪動作，(b)表示第2描繪動作，(c)表示第3描繪動作。 　　圖9為表示內插基準補正表之樣子之表格的一例。 　　圖10為表示在其他實施型態中在基準標記上形成基準標記之狀態的俯視圖。 　　圖11為示意性地表示與其他實施形態有關之控制部之構成之概略的說明圖。

Claims (13)

  1. 一種液滴吐出裝置，其係對工件吐出機能液之液滴而進行描繪的液滴吐出裝置，其特徵在於，具有： 　　工件台，其係載置上述工件； 　　液滴吐出頭，其係對被載置於上述工件台之上述工件吐出液滴； 　　移動機構，其係使上述工件台和上述液滴吐出頭，在主掃描方向及與主掃描方向正交之副掃描方向相對性地移動；及 　　控制部，其係一面沿著在主掃描方向延伸，且在副掃描方向排列複數而被設定的掃描線，使上述工件台和上述液滴吐出頭相對性地移動，一面檢測被載置於上述工件台之上述工件之位置，或上述工件台之位置，根據該檢測結果，作成表示上述移動機構之位置，和上述工件台之位置之補正量之相關的補正表。
  2. 如請求項1所記載之液滴吐出裝置，其中 　　上述控制部係對每個上述掃描線作成複數上述補正表。
  3. 如請求項2所記載之液滴吐出裝置，其中 　　複數上述掃描線具有作成上述補正表之第1掃描線，和不作成上述補正表的第2掃描線， 　　上述控制部內插上述第1掃描線之上述補正表，作成上述第2掃描線之上述補正表。
  4. 如請求項1至3中之任一者所記載之液滴吐出裝置，其中 　　上述控制部於檢測上述標記之位置或上述工件台之位置之時，使用事先形成在該工件或工件台之基準標記的位置。
  5. 如請求項4所記載之液滴吐出裝置，其中 　　上述基準標記在主掃描方向排列複數而被形成，並且，在副掃描方向排列至少一個以上而被形成。
  6. 如請求項1至3中之任一項所記載之液滴吐出裝置，其中 　　進一步具有攝影部，其係取得被載置於上述工件台之上述工件或上述工件台之攝影畫像， 　　上述攝影部被構成為在副掃描方向移動自如， 　　上述控制部係根據以上述攝影部所取得的攝影畫像，檢測上述工件之位置或上述工件台之位置。
  7. 一種液滴吐出方法，其係對被載置於工件台的工件，從液滴吐出頭吐出機能液之液滴而進行描繪的液滴吐出方法，其特徵在於，具有： 　　第1工程，其係藉由移動機構，沿著在主掃描方向延伸，且在與主掃描方向正交之副掃描方向排列複數而被設定之掃描線，使上述工件台和上述液滴吐出頭相對性地移動； 　　第2工程，其係檢測在上述第1工程中，被載置於上述工件台之上述工件的位置，或上述工件台之位置；及 　　第3工程，其係根據在上述第2工程之檢測結果，作成表示上述移動機構之位置，和上述工件台之位置的補正量之相關的補正表。
  8. 如請求項7所記載之液滴吐出方法，其中 　　在上述第3工程中，對每個上述掃描線作成複數上述補正表。
  9. 如請求項8所記載之液滴吐出方法，其中 　　複數上述掃描線具有作成上述補正表之第1掃描線，和不作成上述補正表的第2掃描線， 　　在上述第3工程中，內插上述第1掃描線之上述補正表，作成上述第2掃描線之上述補正表。
  10. 如請求項7至9中之任一項所記載之液滴吐出方法，其中 　　在上述第2工程中，使用事先被形成在上述工件或上述工件台之基準標記的位置，檢測該工件之位置或工件台之位置。
  11. 如請求項10所記載之液滴吐出方法，其中 　　上述基準標記在主掃描方向排列複數而被形成，並且，在副掃描方向排列至少一個以上而被形成。
  12. 如請求項7至9中之任一項所記載之液滴吐出方法，其中 　　在上述第2工程中，藉由攝影部取得被載置於上述工件台之上述工件或上述工件台之攝影畫像，根據該攝影畫像，檢測上述工件之位置或上述工件台之位置， 　　上述攝影部被構成為在副掃描方向移動自如。
  13. 一種電腦可讀取的記憶媒體， 　　儲存有在該液滴吐出裝置之電腦上動作的程式，使得藉由液滴吐出裝置實行如請求項7~9中之任一項所記載之液滴吐出方法。
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