TWI757440B - 液滴吐出裝置、液滴吐出方法及電腦記憶媒體 - Google Patents

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Abstract

[課題]在對工件吐出機能液的液滴並進行描繪的液滴吐出裝置中，使從液滴吐出頭向工件的液滴的彈著精度提升。 　　[解決手段]控制部(150)，在使從液滴吐出頭(34)向在基準工件(Wf)的上面形成的基準標記吐出的液滴彈著後，於第2攝像部(42)取得基準工件(W)的攝像影像，基於攝像影像，檢出基準標記的位置與液滴的彈著位置的位置偏移量，基於位置偏移量，算出工件載台(20)與液滴吐出頭(34)的相對位置的補正量。

Description

液滴吐出裝置、液滴吐出方法及電腦記憶媒體
本發明係關於對工件吐出機能液的液滴並進行描繪的液滴吐出裝置、利用該液滴吐出裝置的液滴吐出方法、程式及電腦記憶媒體。
從前，作為使用機能液對工件進行描繪的裝置，已知將該機能液作為液滴吐出的噴墨式液滴吐出裝置。液滴吐出裝置，在製造例如有機EL裝置、彩色濾光器、液晶顯示裝置、電漿顯示器(PDP裝置)、電子放出裝置(FED裝置、SED裝置)等電光學裝置(平面顯示器：FPD)時等被廣泛地利用。
例如專利文獻1中記載的液滴吐出裝置，具備：吐出機能液的液滴的機能液滴吐出頭(液滴吐出頭)、搭載工件的工件載台(工件載台)、沿著導引用的一對支持基底延伸的方向(主掃描方向)使工件載台移動的移動機構(線性馬達)。接著，藉由工件載台相對於液滴吐出頭使工件相對移動，同時從液滴吐出頭對在工件上預先形成的區塊吐出機能液，來對工件進行描繪。
在這種液滴吐出裝置中，為了對工件上所期 望的位置正確地吐出機能液，預先進行工件的對準。工件載台包含旋轉動作在水平方向以移動自如的方式構成，藉由設於工件載台上方的對準用攝影機來攝像工件的對準標記。接著，基於該攝像到的影像，藉由補正工件載台的水平方向的位置，進行工件的對準。之後，使經對準的工件移動至預先設定的位置，從液滴吐出頭對工件的間隔內吐出機能液。
又，在液滴吐出裝置的描繪動作中，使工件在主掃描方向(Y軸正方向)移動，同時進行第1描繪動作(往道通過)。之後，使工件載台在垂直於主掃描方向的副掃描方向(X軸方向)移動，再使工件在主掃描方向(Y軸負方向)移動，同時進行第2描繪動作(復道通過)。接著，再度使工件載台在副掃描方向(X軸方向)移動，再使工件在主掃描方向(Y軸正方向)移動，同時進行第3描繪動作(往道通過)。藉由這種描繪動作，對工件全面進行描繪。
此外，在以下的說明中，以這樣進行第1描繪動作~第3描繪動作時，有將使工件載台在副掃描方向(X軸方向)移動的動作稱為「改行」的情形。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2010-198028號公報
不過，在進行工件的對準後，使工件載台向機能液滴吐出頭移動的過程中因為工件的姿勢偏差、或工件載台的移動機構的機械精度或直進性變化、溫度變化、經時變化這些要因，而有機能液滴吐出頭與工件上的區塊之間的位置關係發生變化的情形。
又，在將工件載台改行時，因為該工件載台的姿勢、重心、直進性改變的這些要因，會有液滴吐出頭與間隔之間的位置關係發生變化的情形。這樣的工件載台的姿勢變化、重心的變化、直進性的變化，會因例如改行時的移動機構的機械精度、或工件載台移動的載台的非平坦性等而產生。
接著近年，以液滴吐出裝置來製造的電視等製品，大型且高精細(例如4K、8K)成為主流，為了對應工件的大型化而液滴吐出裝置也跟著大型化。因此，因為上述要因造成的液滴吐出頭與區塊之間的位置偏移，亦即，從液滴吐出頭吐出的液滴在工件上的區塊彈著時的位置偏移已經到達無法無視的狀況。而且，因畫素大小的影響，該位置偏移的容許範圍也例如小到成為±2μm以下。
在這裡，在如液滴吐出裝置這種需要精密控制的載台中，要求能夠穩健地對應環境變化，而補正工件載台與液滴吐出頭的相對位置的技術。不過在現狀中，在這樣的精密載台中，無法適切地補正相對位置。
本發明為鑑於相關點而完成者，目的為在對 工件吐出機能液的液滴並進行描繪的液滴吐出裝置中，適切地補正工件載台與液滴吐出頭的相對位置，使從液滴吐出頭向工件的液滴的彈著精度提升。
為了達成前述目的，本發明為一種液滴吐出裝置，係對工件吐出機能液的液滴並進行描繪，具有：載置前述工件的工件載台；對載置於前述工件載台的前述工件吐出液滴的液滴吐出頭；使前述工件載台與前述液滴吐出頭，在主掃描方向、垂直於主掃描方向的副掃描方向、及旋轉方向相對移動的移動機構；設於主掃描方向的前述液滴吐出頭的下游側，取得前述工件的攝像影像的攝像部；算出前述工件載台與前述液滴吐出頭的相對位置的補正量，並基於該補正量控制前述移動機構的控制部；前述工件包含：用於算出前述補正量時，在上面形成複數基準標記的基準工件；前述控制部，在使從前述液滴吐出頭向前述基準標記吐出的液滴彈著後，於前述攝像部取得前述基準工件的攝像影像，基於前述攝像影像，檢出前述基準標記的位置與前述液滴的彈著位置的位置偏移量，基於前述位置偏移量算出前述補正量。
根據本發明，首先，在使從液滴吐出頭向基準標記吐出的液滴彈著後，於攝像部取得基準工件的攝像影像，接著，基於攝像影像，檢出基準標記的位置與液滴的彈著位置的位置偏移量，再基於位置偏移量，算出工件 載台與液滴吐出頭的相對位置的補正量。接著，基於以此方式算出的補正量控制移動機構。
相關的情形，即便在因液滴吐出裝置中的各構件的溫度變化或經時變化這種要因造成工件的位置偏移、或將工件載台改行時產生工件的位置偏移，也能夠基於算出的補正量，適切地補正工件載台與液滴吐出頭的相對位置。因此，能夠將液滴吐出頭與工件高精度地對位，使從液滴吐出頭向工件的液滴的吐出精度(彈著精度)提升。
前述控制部，算出前述工件載台的旋轉方向的位置與副掃描方向的位置的補正量，之後，算出前述液滴吐出頭的旋轉方向的位置與副掃描方向的位置的補正量，之後，算出前述工件載台的主掃描方向的位置的補正量，之後，算出前述液滴吐出頭的液滴吐出時點的補正量也可以。
在前述基準工件的上面包含複數前述基準標記，形成液滴向該基準標記彈著的彈著區域；前述彈著區域在副掃描方向延伸，並在主掃描方向以複數排列配置也可以。
前述控制部，於每個在主掃描方向延伸，並在副掃描方向以複數排列設定的掃描線，算出前述補正量也可以。
複數前述掃描線，具有：算出前述補正量的第1掃描線、及未算出前述補正量的第2掃描線；前述控制 部，將前述第1掃描線的前述補正量作內插，算出前述第2掃描線的前述補正量也可以。
別的觀點的本發明，為一種液滴吐出方法，係利用液滴吐出裝置，對工件吐出機能液的液滴並進行描繪的液滴吐出方法，其中，前記液滴吐出裝置，具備：載置前述工件的工件載台；對載置於前述工件載台的前述工件吐出液滴的液滴吐出頭；使前述工件載台與前述液滴吐出頭，在主掃描方向、垂直於主掃描方向的副掃描方向、及旋轉方向相對移動的移動機構；設於主掃描方向的前述液滴吐出頭的下游側，取得前述工件的攝像影像的攝像部；前述工件包含：在上面形成複數基準標記的基準工件；前記液滴吐出方法，具備：使從前述液滴吐出頭向前述基準標記吐出的液滴彈著的第1工程；之後，於前述攝像部取得前述基準工件的攝像影像的第2工程；之後，基於前述攝像影像，檢出前述基準標記的位置與前述液滴的彈著位置的位置偏移量的第3工程；之後，基於前述位置偏移量，算出前述工件載台與前述液滴吐出頭的相對位置的補正量，並基於該補正量控制前述移動機構的第4工程。
在前述第4工程中，算出前述工件載台的旋轉方向的位置與副掃描方向的位置的補正量，之後，算出前述液滴吐出頭的旋轉方向的位置與副掃描方向的位置的補正量，之後，算出前述工件載台的主掃描方向的位置的補正量，之後，算出前述液滴吐出頭的液滴吐出時點的補 正量也可以。
在前述基準工件的上面包含複數前述基準標記，形成液滴向該基準標記彈著的彈著區域；前述彈著區域在副掃描方向延伸，並在主掃描方向以複數排列配置也可以。
前述第1工程~前述第4工程，於每個在主掃描方向延伸，並在副掃描方向以複數排列設定的掃描線進行也可以。
複數前述掃描線，具有：算出前述補正量的第1掃描線、及未算出前述補正量的第2掃描線；在前述第4工程中，將前述第1掃描線的前述補正量作內插，算出前述第2掃描線的前述補正量也可以。
又根據別的觀點的本發明，提供一種程式，以藉由液滴吐出裝置來使前述液滴吐出方法執行的方式，而在該液滴吐出裝置的電腦上動作。
又根據別的觀點的本發明，提供一種電腦記憶媒體，可讀取儲存的前述程式。
根據本發明，即便在因液滴吐出裝置中的各構件的溫度變化或經時變化這種要因產生工件的位置偏移、或將工件載台改行時產生工件的位置偏移，也能夠適切地補正工件載台與液滴吐出頭的相對位置，使從該液滴吐出頭向工件的液滴的彈著精度提升。
1:液滴吐出裝置
10:Y軸載台
11:X軸載台
12:Y軸導引軌道
13:Y軸線性馬達
14:X軸導引軌道
15:X軸線性馬達
16:Y軸線性刻度計
20:工件載台
21:載台移動機構
22:Y軸滑動器
23:X軸線性刻度計
24:旋轉式編碼器
30:載架單元
33:載架
34:液滴吐出頭
40:攝像單元
41:第1攝像部
42:第2攝像部
100:基準標記
101:目標
150:控制部
160:補正量算出器
161:補正器
162:第1動作控制器
163:第2動作控制器
164:噴墨控制器
170:編碼逆變換器
D:液滴
E1~E3:彈著區域
L1~L5:掃描線
W:工件
Wf:基準工件
[圖1]表示本實施形態之液滴吐出裝置的構成的概略的側視圖。
[圖2]表示本實施形態之液滴吐出裝置的構成的概略的平面圖。
[圖3]模式地表示控制部的構成的概略的說明圖。
[圖4]表示基準工件的構成的概略的說明圖。
[圖5]表示基準標記、目標、及液滴的位置關係的說明圖。
[圖6]表示於補正器中變換脈衝信號的樣子的說明圖。
[圖7]表示對基準工件進行描繪動作的樣子的平面視中的說明圖，(a)表示第1描繪動作、(b)表示第2描繪動作、(c)表示第3描繪動作。
[圖8]表示對基準工件進行描繪動作的樣子的側面視中的說明圖，(a)表示第1描繪動作、(b)表示第2描繪動作、(c)表示第3描繪動作。
[圖9]表示對工件進行描繪動作的樣子的平面視中的說明圖，(a)表示第1描繪動作、(b)表示第2描繪動作、(c)表示第3描繪動作。
[圖10]模式地表示其他實施形態之控制部的構成的概略的說明圖。
以下，參照附圖說明有關本發明的實施形態。此外，以下所示的實施形態並非用來限定本發明。
<液滴吐出裝置的構成>
首先，參照圖1及圖2說明有關本實施形態的液滴吐出裝置的構成。圖1為表示液滴吐出裝置1的構成的概略的側視圖。圖2為表示液滴吐出裝置1的構成的概略的平面圖。此外，在以下，將工件W的主掃描方向設為Y軸方向、與主掃描方向垂直的副掃描方向設為X軸方向、與Y軸方向及X軸方向垂直的鉛直方向設為Z軸方向、繞Z軸方向旋轉的方向設為θ方向。
液滴吐出裝置1具有：在主掃描方向(Y軸方向)延伸，使工件W在主掃描方向移動的Y軸載台10、以跨越Y軸載台10的方式架設，在副掃描方向(X軸方向)延伸的一對X軸載台11、11。在Y軸載台10的上面，一對Y軸導引軌道12、12在Y軸方向延伸設置，在各Y軸導引軌道12設有Y軸線性馬達13。在X軸載台11的上面，X軸導引軌道14在X軸方向延伸設置，在各X軸導引軌道14設有X軸線性馬達15。此外，在以下的說明中，在Y軸載台10上，將比X軸載台11還靠Y軸負方向側的區域稱為搬入出區域A1，將一對X軸載台11、11間的區域稱為處理區域A2，將比X軸載台11還靠Y軸正方向側的區域稱為待機區域A3。
在Y軸線性馬達13，設有測定該Y軸線性馬達13的位置的Y軸線性刻度計16。從Y軸線性刻度計16輸出表示Y軸線性馬達13的位置的編碼脈衝(脈衝信號)。此外，在Y軸線性馬達13的位置，意味著Y軸線性馬達13的可動子的位置。
Y軸載台10上設有工件載台20。在一對X軸載台11、11設有載架單元30及攝像單元40。
工件載台20例如為真空吸附平台，將工件W吸附載置。工件載台20，藉由設於該工件載台20的下面側的載台移動機構21，在X軸方向移動自如的同時也在θ方向以旋轉自如的方式被支持。工件載台20與載台移動機構21，被支持於設於載台移動機構21的下面側的Y軸滑動器22。Y軸滑動器22安裝於Y軸導引軌道12，藉由Y軸線性馬達13在Y軸方向以移動自如的方式構成。因此，藉由以載置工件W的狀態使工件載台20藉由Y軸滑動器22沿著Y軸導引軌道12在Y軸方向移動，能夠使工件W在Y軸方向移動。此外，在本實施形態中，雖載台移動機構21使工件載台20在X軸方向移動，且在θ方向旋轉，但使工件載台20在X軸方向移動的機構與在θ方向旋轉的機構為分別獨立的機構也可以。
在載台移動機構21設有：測定該載台移動機構21的X軸方向的位置的X軸線性刻度計23、及測定載台移動機構21的θ方向的位置的旋轉式編碼器24。從X軸線性刻度計23與旋轉式編碼器24分別輸出表示載台移動機構 21(工件載台20)的X軸方向的位置與θ方向的位置的編碼脈衝(脈衝信號)。
此外，在搬入出區域A1中的工件載台20的上方，設置攝像工件載台20上的工件W的工件對準攝影機(圖未示)。接著，基於工件對準攝影機所攝像到的影像，藉由Y軸滑動器22及載台移動機構21，因應必要補正載置於工件載台20的工件W的Y軸方向、X軸方向及θ方向的位置。藉此，工件W被對準而設定在預定的初始位置。
載架單元30在X軸載台11設置複數個，例如10個。各載架單元30具有：載架平板31、載架保持機構32、載架33、液滴吐出頭34。載架保持機構32設於載架平板31下面的中央部，在該載架保持機構32的下端部將載架33以裝卸自如的方式被安裝。
載架平板31安裝於X軸導引軌道14，藉由X軸線性馬達15在X軸方向呈移動自如。此外，也能將複數載架平板31作為一體而在X軸方向移動。
在載架33安裝有馬達(圖未示)。藉由該馬達，載架33在X軸方向及θ方向以移動自如的方式構成。在本實施形態中，Y軸線性馬達13、載台移動機構21及載架33構成本發明的移動機構。此外，載架33的X軸方向及θ方向的移動，例如藉由載架保持機構32來進行也可以。
在載架33的下面，複數液滴吐出頭34在Y軸方向及X軸方向排列設置。本實施形態中，例如在Y軸方向設置6個、在X軸方向設置2個，亦即合計設置12個液滴 吐出頭34。在液滴吐出頭34的下面，亦即噴嘴面形成複數吐出噴嘴(圖未示)。接著，從該吐出噴嘴，對液滴吐出頭34正下方的液滴吐出位置吐出機能液的液滴。
攝像單元40具有：以包夾載架33(液滴吐出頭34)的方式於Y軸方向對向設置的第1攝像部41及第2攝像部42。作為第1攝像部41及第2攝像部42，使用例如CCD攝影機，在工件載台20的移動中、停止中、工件處理中(液滴吐出中)的任何情況下，都能攝像載置於該工件載台20的工件W。第1攝像部41相對於載架33配置於Y軸負方向側，第2攝像部42相對於載架33設置於Y軸正方向側。此外，攝像單元40在X軸方向以可移動的方式構成也可以。
第1攝像部41，被一對X軸載台11、11之中，設於Y軸負方向側的X軸載台11的側面的基底43所支持。接著，在工件載台20被導引至第1攝像部41的正下方時，第1攝像部41以預定的周期攝像載置於工件載台20上的工件W。
第2攝像部42，被一對X軸載台11、11之中，設於Y軸正方向側的X軸載台11的側面的基底44所支持。接著，在工件載台20被導引至第2攝像部42的正下方時，第2攝像部42藉由攝像載置於工件載台20上的工件W，能夠攝像在工件W的上面彈著的液滴。取得到的攝像影像被輸入至後述的控制部150的補正量算出器160。
<控制部>
以上的液滴吐出裝置1設有控制部150。控制部150例如為電腦，具有資料儲存部(圖未示)。在資料儲存部中，儲存有例如控制對工件W吐出的液滴，而用以對該工件W描繪預定圖案的描繪資料(位元對映資料)等。又，控制部150具有程式儲存部(圖未示)。在程式儲存部中，儲存有控制液滴吐出裝置1中的各種處理的程式等。
此外，前述資料及前述程式，例如為儲存於電腦可讀取硬碟(HD)、可撓性磁碟(FD)、光碟(CD)、磁光碟(MO)、記憶卡等的電腦可讀取的記憶媒體中者，從該記憶媒體安裝至控制部150者也可以。
又，控制部150，如圖3所示具有：處理第2攝像部42取得到的攝像影像並從該攝像影像算出各種補正量的補正量算出器160、補正工件載台20的位置(Y軸線性馬達13及載台移動機構21的位置)的補正器161、控制Y軸線性馬達13及載台移動機構21的移動的第1動作控制器162(動作驅動器)、控制載架33的移動的第2動作控制器163、控制液滴吐出頭34的吐出時點的噴墨控制器164。
(補正量算出器)
補正量算出器160基於第2攝像部42取得到的攝像影像，算出工件載台20與液滴吐出頭34的相對位置的補正量、及液滴吐出頭34的液滴吐出時點的補正量。接著，當算出補正量時，並非使用用於量產的製品用工件W，而是使用圖4所示的基準工件Wf。
在此說明關於基準工件Wf的構成。在基準工件Wf的上面，形成來自液滴吐出頭34的液滴所彈著的彈著區域E1~E3。第1彈著區域E1形成於Y軸負方向側，第2彈著區域E2形成於Y軸方向中央，第3彈著區域E3形成於Y軸正方向側。
此外，彈著區域E之數在本實施形態沒有限定，但需要2個以上。如同後述，補正量算出器160利用彈著區域E中的液滴的位置偏移量，算出工件載台20與液滴吐出頭34的相對位置的補正量、及液滴吐出頭34的液滴吐出時點的補正量。亦即，因為需要基準工件Wf的至少Y軸方向、X軸方向及θ方向的位置資訊，故彈著區域E也需要2個以上。在這裡，在本實施形態的基準工件Wf的上面，形成3個彈著區域E1~E3。此外，彈著區域E可以是2個，當然在基準工件Wf的全面使液滴彈著也可以。
在各彈著區域E1~E3，形成複數基準標記100。基準標記100，在X軸方向以預定間距排列配置，且在Y軸方向配置複數列。又，如圖5所示在各基準標記100的附近，設定來自液滴吐出頭34的液滴D的彈著目標位置即目標101。其中，從液滴吐出頭34向基準標記100吐出液滴D後，以第2攝像部42攝像工件W時，基準標記100與液滴D重疊而判別困難。在這裡，液滴D的目標101，以微遠離基準標記100而設定。此外，在本實施形態中，基準標記100與目標101間的距離微小，在本發明中基準標記100的位置與目標101的位置大致相同。
基準標記100例如利用噴墨方式的描圖方法等來在工件W的上面被描圖。此外，在圖4及圖5中，作為基準標記100雖被描圖成略十字形的標記，但基準標記100的形狀並非限定於本實施形態的內容，例如是圓形或三角形也可以，只要能夠識別即可任意設定。
補正量算出器160基於圖5所示的攝像影像，檢出基準工件Wf的目標101的位置、與在基準工件Wf彈著的液滴D的位置之間的位置偏移量。位置偏移量，作為Y軸成分檢出△Y、作為X軸成分檢出△X。
補正量算出器160基於該等位置偏移量△Y、△X，算出工件載台20與液滴吐出頭34的相對位置的補正量、及液滴吐出頭34的液滴吐出時點的補正量。具體來說，以接著的步驟Q1~Q4之4階段算出補正量。
首先，基於位置偏移量△Y、△X，算出工件載台20的θ方向的位置的補正量與X軸方向的位置的補正量(步驟Q1)。算出的補正量被輸出至補正器161。此外，在以下的說明中，將在步驟Q1算出的補正量稱為載台姿勢補正量。
接著，以步驟Q1的載台姿勢補正量反映至工件載台20的狀態，基於位置偏移量△Y、△X，算出液滴吐出頭34的θ方向的位置的補正量與X軸方向的位置的補正量(步驟Q2)。算出的補正量被輸出至第2動作控制器163。此外，在以下的說明中，將在步驟Q2算出的補正量稱為頭位置補正量。
接著，以步驟Q2的頭位置補正量反映至液滴吐出頭34的狀態，基於位置偏移量△Y、△X，算出工件載台20的Y軸方向的位置的補正量(步驟Q3)。算出的補正量被輸出至補正器161。此外，在以下的說明中，將在步驟Q3算出的補正量稱為載台Y軸位置補正量。
最後，以步驟Q3的載台Y軸位置補正量反映至工件載台20的狀態，基於位置偏移量△Y、△X，補正液滴吐出頭34的液滴D的吐出時點(步驟Q4)。算出的補正量被輸出至噴墨控制器164。此外，在以下的說明中，將在步驟Q4算出的補正量稱為吐出時點補正量。
(補正器)
補正器161基於來自補正量算出器160的補正量，將來自Y軸線性刻度計16的脈衝信號，變換成Y軸線性馬達13的實位置。又，補正器161基於來自補正量算出器160的補正量，將來自X軸線性刻度計23的脈衝信號與來自旋轉式編碼器24的脈衝信號，分別變換成工件載台20的實姿勢。具體來說，進行以下的步驟S1~S3。
首先，補正器161接收來自Y軸線性刻度計16的脈衝信號並計數，掌握Y軸線性馬達13的現在位置。又，在後述的步驟S3中為了變換將脈衝信號，預先解析來自Y軸線性刻度計16的脈衝信號的形狀(脈衝形狀)(步驟S1)。在步驟S1中，補正器161也接收來自X軸線性刻度計23的脈衝信號與來自旋轉式編碼器24的脈衝信號。
接著，補正器161接收來自補正量算出器160的載台姿勢補正量(工件載台20的θ方向及X軸方向的位置的補正量)與載台Y軸位置補正量(工件載台20的Y軸方向的位置的補正量)(步驟S2)。
接著，補正器161基於在步驟S1解析的脈衝形狀、及在步驟S2接收到的載台Y軸位置補正量，將從Y軸線性刻度計16接收到的脈衝信號，變換成Y軸線性馬達13的實位置。圖6表示變換脈衝信號的樣子，左圖表示來自Y軸線性刻度計16的脈衝信號，右圖表示變換後，向第1動作控制器162輸出的脈衝信號。例如如圖6(a)所示將脈衝插入、如圖6(b)所示將脈衝刪除，變更脈衝之數、或如圖6(c)所示將脈衝間距延伸、如圖6(d)所示將脈衝間距減縮，變更脈衝間距。接著，以此方式經變更脈衝之數與脈衝間距的脈衝信號，被輸出至第1動作控制器162(步驟S3)。
以此方式在步驟S3中經變換的脈衝信號，也被輸出至噴墨控制器164。噴墨控制器164為控制液滴吐出頭34的液滴的吐出時點者，基於Y軸線性馬達13的位置來設定液滴的吐出時點。在本實施形態中，藉由將從補正器161輸出的脈衝信號輸出至噴墨控制器164，能夠在適切的時點從液滴吐出頭34將液滴吐出。
又，在步驟S3中，補正器161基於在步驟S2接收到的載台姿勢補正量，將來自X軸線性刻度計23的脈衝信號與來自旋轉式編碼器24的脈衝信號，分別變換成工 件載台20的實姿勢。經變換的脈衝信號被輸出至第1動作控制器162。
此外，當Y軸線性馬達13以高速移動時，即時地算出補正量的補正器161，需要高速信號處理。因此，補正器161以ASIC(特定應用程式專用積體電路)或現場可程式邏輯門陣列(FPGA)機能實裝較佳。
(第1動作控制器)
第1動作控制器162基於從補正器161接收到的載台Y軸位置補正量、及將來自Y軸線性刻度計16的脈衝信號變換的脈衝信號，對Y軸線性馬達13輸出指令信號(脈衝列)，控制Y軸線性馬達13(工件載台20)的移動。又，第1動作控制器162基於從補正器161接收到的載台姿勢補正量、及將來自X軸線性刻度計23的脈衝信號與來自旋轉式編碼器24的脈衝信號分別變換的脈衝信號，對載台移動機構21輸出指令信號(脈衝列)，控制載台移動機構21的移動。接著，補正工件載台20的Y軸方向、X軸方向、θ方向的位置。此外，第1動作控制器162，接收與Y軸、X軸、θ等有關的脈衝信號，構成完全關閉控制。
(第2動作控制器)
第2動作控制器163基於來自補正量算出器160的頭位置補正量，控制載架33的X軸方向及θ方向的移動。接著，補正液滴吐出頭34的θ方向及X軸方向的位置。
(噴墨控制器)
噴墨控制器164基於從補正器161接收到的Y軸方向的脈衝信號(變換後的脈衝信號)，對液滴吐出頭34輸出指令信號(脈衝列)，控制液滴吐出頭34的液滴的吐出時點。又，噴墨控制器164基於來自補正量算出器160的吐出時點補正量，控制液滴吐出頭34的液滴的吐出時點。
<液滴吐出裝置中的工件處理>
接著，說明有關利用如以上的方式構成的液滴吐出裝置1進行的工件處理。在本實施形態中，在對製品工件W進行通常的處理之前，為了算出載台姿勢補正量、頭位置補正量、載台Y軸位置補正量及吐出時點補正量，對基準工件Wf進行預定的處理。
(對基準工件的處理)
首先，對基準工件Wf進行預定的處理。在搬入出區域A1配置工件載台20，藉由搬送機構(圖未示)而搬入至液滴吐出裝置1的基準工件Wf被載置於該工件載台20。接著，藉由工件對準攝影機攝像工件載台20上的基準工件Wf。接著，基於該攝像到的影像，藉由載台移動機構21，補正載置於工件載台20的基準工件Wf的X軸方向及θ方向的位置，進行基準工件Wf的對準(步驟T1)。
之後，藉由Y軸線性馬達13，在使工件載台 20在Y軸方向往復移動的同時，適宜地使其在X軸方向移動(改行)，描繪基準工件Wf的彈著區域E1~E3。在本實施形態中，說明有關在X軸方向進行2次改行的情形，亦即工件載台20在Y軸方向(主掃描方向)延伸的3條掃描線移動的情形。又，在本實施形態中，說明有關如圖7所示複數液滴吐出頭34之中，使用2個液滴吐出頭34的情形。此外，此時的液滴吐出頭34，預先登錄從該液滴吐出頭34吐出的液滴的彈著位置、工件載台20的改行、往復軌跡等資訊，依照該等進行描繪動作。
首先，如圖7(a)及圖8(a)所示藉由Y軸線性馬達13，沿著第1掃描線L1，使工件載台20從搬入出區域A1移動至待機區域A3(Y軸正方向)，同時進行第1描繪動作(往道通過)。第1掃描線L1為通過工件載台20的X軸方向中心線C的線。此時，在處理區域A2，對移動至液滴吐出頭34下方的基準工件Wf，從該液滴吐出頭34吐出液滴。這樣的話，在基準工件Wf，對應液滴吐出頭34的位置被描繪(步驟T2)。具體來說，在各彈著區域E1~E3中，從液滴吐出頭34將液滴朝向位於基準標記100附近的目標101吐出。接著，在第1掃描線L1描繪彈著區域E1~E3。
接著，如圖7(b)及圖8(b)所示藉由載台移動機構21，使工件載台20在X軸正方向移動(改行)1載架分的量。接著，藉由Y軸線性馬達13，沿著第2掃描線L2，使工件載台20從待機區域A3移動至搬入出區域A1(Y軸負方向)，同時進行第2描繪動作(復道通過)。亦即，第2掃描線 L1為從工件載台20的X軸方向中心線C通過X軸正方向的線。此時，在處理區域A2，對移動至液滴吐出頭34下方的基準工件Wf，從該液滴吐出頭34吐出液滴。這樣的話，在基準工件Wf，對應液滴吐出頭34的位置被描繪(步驟T3)。具體來說，在各彈著區域E1~E3中，從液滴吐出頭34將液滴朝向位於基準標記100附近的目標101吐出。接著，在第2掃描線L2描繪彈著區域E1~E3。
接著，如圖7(c)及圖8(c)所示藉由載台移動機構21，使工件載台20在X軸負方向移動(改行)2載架分的量。接著，藉由Y軸線性馬達13，沿著第3掃描線L3，使工件載台20從搬入出區域A1移動至待機區域A3(Y軸正方向)，同時進行第3描繪動作(往道通過)。亦即，第3掃描線L3為從工件載台20的X軸方向中心線C通過X軸負方向的線。此時，在處理區域A2，對移動至液滴吐出頭34下方的基準工件Wf，從該液滴吐出頭34吐出液滴。這樣的話，在基準工件Wf，對應液滴吐出頭34的位置被描繪(步驟T4)。具體來說，在各彈著區域E1~E3中，從液滴吐出頭34將液滴朝向位於基準標記100附近的目標101吐出。接著，在第3掃描線L3描繪彈著區域E1~E3。
在步驟T4中，於第2攝像部42，攝像基準工件Wf的全面，攝像彈著在該基準工件Wf上面的液滴。取得到的攝像影像被輸入至補正量算出器160。補正量算出器160進行上述步驟Q1~Q4，分別對第1掃描線L1~第3掃描線L3，算出載台姿勢補正量、頭位置補正量、載台Y軸 位置補正量及吐出時點補正量。以下，將對第1掃描線L1的該等4個補正量稱為第1補正量、將對第2掃描線L2的該等4個補正量稱為第2補正量、將對第3掃描線L3的該等4個補正量稱為第3補正量。
這樣的話，藉由步驟T2~T4的描繪動作，對彈著區域E1~E3進行描繪，同時分別對第1掃描線L1~第3掃描線L3算出第1補正量~第3補正量。
接著，第3描繪動作後，使位於待機區域A3的工件載台20移動至搬入出區域A1，基準工件Wf被從液滴吐出裝置1搬出。此時，在處理區域A2，不從液滴吐出頭34對基準工件Wf吐出液滴。
(對製品用工件的處理)
接著，對製品用工件W進行預定的處理。在該工件W的處理中，首先，在搬入出區域A1中，補正載置於工件載台20的工件W的X軸方向及θ方向的位置，進行工件W的對準(步驟T5)。該步驟T5與上述的步驟T1一樣。
之後，如圖9(a)所示沿著第1掃描線L1，使工件載台20從搬入出區域A1移動至待機區域A3，同時進行第1描繪動作。這樣的話，在工件W，對應液滴吐出頭34的位置被描繪(步驟T6)。
在步驟T6中，在使工件載台20在Y軸方向移動時，藉由Y軸線性刻度計16測定Y軸線性馬達13的位置。Y軸線性刻度計16中的脈衝信號被輸出至補正器161。 又，也藉由從X軸線性刻度計23與旋轉式編碼器24分別測定載台移動機構21的X軸方向的位置與θ方向的位置，該等來自X軸線性刻度計23的脈衝信號與來自旋轉式編碼器24的脈衝信號也被輸出至補正器161。
補正器161利用來自Y軸線性刻度計16的脈衝信號、及在步驟T4算出的第1補正量，進行上述的步驟S1~S3。接著，基於第1補正量(第1載台Y軸位置補正量)而變換的脈衝信號，從補正器161被輸出至第1動作控制器162及噴墨控制器164。又，基於第1補正量(第1載台姿勢補正量)而變換的脈衝信號，也從補正器161被輸出至第1動作控制器162。
第1動作控制器162基於從補正器161接收到的Y軸方向的脈衝信號(變換後的脈衝信號)，對Y軸線性馬達13輸出指令信號(脈衝列)，補正該Y軸線性馬達13的位置。例如目標位置在1000mm偏差+1μm(延伸側)時，當接收999.999mm分的脈衝時，向第1動作控制器162輸出1000mm位置的脈衝。
又，第1動作控制器162基於從補正器161接收到X軸方向及θ方向的脈衝信號(變換後的脈衝信號)，對載台移動機構21輸出指令信號(脈衝列)，控制載台移動機構21的移動。接著，補正工件載台20的姿勢。
又，在步驟T6中，第2動作控制器163基於在步驟T4算出的第1補正量(第1頭位置補正量)，控制載架33的移動。接著，補正液滴吐出頭34的θ方向及X軸方向的位 置。
再來，在步驟T6中，噴墨控制器164基於從補正器161接收到的脈衝信號，對液滴吐出頭34輸出指令信號(脈衝列)，控制液滴吐出頭34的液滴的吐出時點。又，噴墨控制器164基於在步驟T4算出的第1補正量(第1吐出時點補正量)，控制液滴吐出頭34的液滴的吐出時點。接著，補正液滴吐出頭34的液滴的吐出時點。
接著，如圖9(b)所示使工作載台20在X軸正方向移動(改行)1載架分的量，接著沿著第2掃描線L2，使工件載台20從待機區域A3移動至搬入出區域A1，同時進行第2描繪動作。接著，在工件W，對應液滴吐出頭34的位置被描繪(步驟T7)。
在步驟T7中也與步驟T6一樣，利用在步驟T4算出的第2補正量，補正工件載台20的Y軸方向、X軸方向以及θ方向的位置、液滴吐出頭34的X軸方向和θ方向的位置、及液滴吐出頭34的液滴的吐出時點。
接著，如圖9(c)所示使工作載台20在X軸負方向移動(改行)2載架分的量，接著沿著第3掃描線L3，使工件載台20從搬入出區域A1移動至待機區域A3，同時進行第3描繪動作。接著，在工件W，對應液滴吐出頭34的位置被描繪(步驟T8)。
在步驟T8中也與步驟T6一樣，利用在步驟T4算出的第3補正量，補正工件載台20的Y軸方向、X軸方向以及θ方向的位置、液滴吐出頭34的X軸方向和θ方向的 位置、及液滴吐出頭34的液滴的吐出時點。
這樣藉由步驟T6~T8的描繪動作，對工件全面進行描繪。
接著，工件載台20移動至搬入出區域A1後，結束描繪處理的工件W被從液滴吐出裝置1搬出。接著，下個工件W被搬入至液滴吐出裝置1。接著，進行上述步驟T5的工件W的對準，接著進行步驟T6~T8。
如同以上對各工件W進行步驟T5~T8，結束一連的工件處理。
根據以上的實施形態，即便因液滴吐出裝置1之各構件的溫度變化或經時變化這種要因而產生工件W的位置偏移，也能夠基於算出的第1補正量~第3補正量，來適切地補正工件載台20與液滴吐出頭34的相對位置。因此，能將液滴吐出頭與工件高精度地對位。又，基於第1補正量~第3補正量，能夠適切地補正液滴吐出頭34的液滴的吐出時點。因此，能使從液滴吐出頭34向工件W的液滴的吐出精度(彈著精度)提升。
又，分別對第1掃描線L1~第3掃描線L3作成第1補正量~第3補正量，亦即對工件W的全面算出補正量。因此，即便在將工件載台20改行時產生工件W的位置偏移，利用該等第1補正量~第3補正量，能夠適切地補正工件載台20與液滴吐出頭34的相對位置，又也能夠適切地補正液滴吐出頭34的液滴的吐出時點。因此，能使從液滴吐出頭34向工件W的液滴的吐出精度(彈著精度)又更提 升。
在這裡，例如僅算出第1補正量，對其他的第2掃描線L2與第3掃描線L3使用第1補正量也可以。但是，相關的情形，在經改行的第2掃描線L2與第3掃描線L3中，有第1補正量不適切的情況，會有從液滴吐出頭34向工件W的液滴吐出位置發生偏移的疑慮。這點藉由如同本實施形態一樣分別對所有的掃描線L1~L3利用該等第1補正量~第3補正量，能夠更適切地補正工件載台20與液滴吐出頭34的相對位置。
<其他實施形態>
接著，說明有關本發明的其他實施形態。
在以上的實施形態中，進行步驟T2~T4，在第1掃描線L1~第3掃描線L3對彈著區域E1~E3進行描繪後，在步驟T4中，基於第2攝像部42的基準工件Wf的攝像影像，分別對第1掃描線L1~第3掃描線L3算出第1補正量~第3補正量。此點，在各步驟T2~T4中分別算出第1補正量~第3補正量也可以。
相關的情形，在步驟T2中，進行第1描繪動作(往道通過)，在描繪第1掃描線L1的彈著區域E1~E3後，在第2攝像部42中，攝像基準工件Wf，攝像彈著在該基準工件Wf上面的液滴。取得到的攝像影像被輸入至補正量算出器160。補正量算出器160進行上述步驟Q1~Q4，算出載台姿勢補正量、頭位置補正量、載台Y軸位置 補正量及吐出時點補正量，即第1補正量。
相關的情形，在步驟T3中，進行第2描繪動作(復道通過)，在描繪第2掃描線L2的彈著區域E1~E3後，在第1攝像部41中，攝像基準工件Wf，攝像彈著在該基準工件Wf上面的液滴。取得到的攝像影像被輸入至補正量算出器160。補正量算出器160進行上述步驟Q1~Q4，算出載台姿勢補正量、頭位置補正量、載台Y軸位置補正量及吐出時點補正量，即第2補正量。
又，在步驟T4中，進行第3描繪動作(往道通過)，在描繪第3掃描線L3的彈著區域E1~E3後，在第2攝像部42中，攝像基準工件Wf，攝像彈著在該基準工件Wf上面的液滴。取得到的攝像影像被輸入至補正量算出器160。補正量算出器160進行上述步驟Q1~Q4，算出載台姿勢補正量、頭位置補正量、載台Y軸位置補正量及吐出時點補正量，即第3補正量。
在本實施形態中也可以享有與上述實施形態一樣的效果。亦即，基於第1補正量~第3補正量，能夠適切地補正工件載台20與液滴吐出頭34的相對位置，使從液滴吐出頭34向工件W的液滴的吐出精度(彈著精度)提升。
在以上的實施形態中，雖說明有關工件載台20沿著3條掃描線L1~L3移動，在工件W(基準工件Wf)的全面進行描繪的情形，但掃描線的條數並不限定於此。
又，在以上的實施形態中，分別對所有的掃描線L1~L3算出第1補正量~第3補正量，但在複數掃描線 之中，對一部分的掃描線作成補正量，藉由將該補正量作內插，對其他掃描線算出補正量也可以。
表1表示將基準資料作內插的樣子的表的一例。例如如表1所示使工件載台20沿著5條掃描線L1~L5移動，而對基準工件Wf的全面進行描繪的情形中，例如以對第1掃描線L1~第3掃描線L3算出第1補正量~第3補正量，而不對第4掃描線L4~第5掃描線L5算出補正量之例進行說明。此外，第1補正量~第3補正量進行上述步驟T2~T4而作成。又，在以下的說明中，有將1補正量~第3補正量稱為基準資料的情形。
Figure 107106925-A0305-02-0030-1
在表1中，第1掃描線L1(改行0mm)為工件載台20的X軸方向中心線C，第2掃描線L2與第4掃描線L4(改 行正mm)為比中心線C還靠X軸正方向的掃描線，第3掃描線L3與第5掃描線L5(改行負mm)為比中心線C還靠X軸負方向的掃描線。又，表1所示的例子雖示出工件載台20的Y軸方向位置的補正量的一例，但除此之外也算出載台姿勢補正量、頭位置補正量、吐出時點補正量。
接著，相對於第4掃描線L4的第4補正量，將第1補正量與第2補正量作2維內插而算出。又，相對於第5掃描線L5的第5補正量，將第1補正量與第3補正量作2維內插而算出。此外，當作成第4補正量與第5補正量時的內插方法不限於2維內插。例如作多維內插也可以。
在這裡，改行的圖案為複數個，對所有的掃描線進行步驟T2~T4是煩雜的作業。在本實施形態中，對一部分的掃描線L1~L3進行步驟T2~T4而取得基準資料，對其他掃描線L4~L5則藉由將基準資料作內插而算出補正量。因此，不進行煩雜的作業，而能夠對工件W的全面算出補正量。
在以上的實施形態中，控制部150如圖3所示雖具有利用補正器161的構成，但不限於此。例如如圖10所示控制部150除了補正量算出器160、第1動作控制器162、第2動作控制器163、噴墨控制器164以外，還具有將來自第2動作控制器163的脈衝信號進行逆變換的編碼逆變換器170。此外，在本實施形態的控制部150中，省略補正器161。
相關的情形，在第1動作控制器162中，進行 上述步驟S1~S3。亦即，基於來自Y軸線性刻度計16的脈衝信號、及來自補正量算出器160的載台Y軸位置補正量，變換從Y軸線性刻度計16接收到的脈衝信號。又，基於來自X軸線性刻度計23的脈衝信號及來自旋轉式編碼器24的脈衝信號，及來自補正量算出器160的載台姿勢補正量，分別變換從X軸線性刻度計23接收到的脈衝信號與從旋轉式編碼器24接收到的脈衝信號。
第1動作控制器162基於上述的Y軸方向的脈衝信號(變換後的脈衝信號)，對Y軸線性馬達13輸出指令信號(脈衝列)，補正該Y軸線性馬達13的位置。例如目標位置在1000mm偏差+1μm(延伸側)時，以移動999.999mm的方式對Y軸線性馬達13下指令，以實位置成為1000mm的方式進行補正。
又，第1動作控制器162基於上述X軸方向及θ方向的脈衝信號(變換後的脈衝信號)，對載台移動機構21輸出指令信號(脈衝列)，也控制載台移動機構21的移動。
另一方面，在第1動作控制器162經變換的Y軸方向的脈衝信號也被輸出至編碼逆變換器170。編碼逆變換器170利用逆變換載台，將來自第1動作控制器162的脈衝信號進行逆變換，輸出至噴墨控制器164。亦即，來自第1動作控制器162的脈衝信號雖補正Y軸線性馬達13的位置，但將該脈衝信號逆變換成來自Y軸線性刻度計16的脈衝信號。
其中，即便Y軸線性馬達13的位置被補正成 999.999mm，液滴吐出頭34的吐出時點也維持目標位置1000mm。其中，在編碼逆變換器170中，將表示來自第1動作控制器162的999.999mm的脈衝信號逆變換成表示1000mm的脈衝信號。接著，從編碼逆變換器170對噴墨控制器164輸出表示1000mm的脈衝信號，控制液滴吐出頭34的液滴的吐出時點。
此外，噴墨控制器164基於來自補正量算出器160的吐出時點補正量，控制液滴吐出頭34的液滴的吐出時點。
又，第2動作控制器163基於來自補正量算出器160的頭位置補正量，控制載架33的的移動。
這樣，適切地補正工件載台20與液滴吐出頭34的相對位置，也能夠適切補正液滴吐出頭34的液滴的吐出時點。接著，在本實施形態中也可以享有與上述實施形態一樣的效果。
在以上的實施形態中，雖使工件載台20在Y軸方向移動，但使液滴吐出頭34在Y軸方向移動也可以。又，使工件載台20與液滴吐出頭34兩者在Y軸方向移動也可以。在任何情形中，補正量算出器160進行上述步驟Q1~Q4，算出載台姿勢補正量、頭位置補正量、載台Y軸位置補正量及吐出時點補正量。
又，在以上的實施形態中，雖使工件載台20在X軸方向移動並改行，但使液滴吐出頭34在X軸方向移動也可以。使液滴吐出頭34在X軸方向移動時，使用X軸 線性馬達15也可以。
<液滴吐出裝置的適用例>
如以上構成的液滴吐出裝置1，適用例如日本特開2017-13011號公報記載的形成有機發光二極體的有機EL層的基板處理系統。具體來說，液滴吐出裝置1適用於：在作為工件W的玻璃基板上塗佈用以形成電洞注入層的有機材料的塗佈裝置、在玻璃基板(電洞注入層)上塗佈用以形成電洞輸送層的有機材料的塗佈裝置、在玻璃基板(電洞輸送層)上塗佈用以形成發光層的有機材料的塗佈裝置。此外，在基板處理系統中，除了形成有機發光二極體的電洞注入層、電洞輸送層及發光層以外，也形成電子輸送層與電子注入層時，液滴吐出裝置1也能夠適用於該等電子輸送層與電子注入層的塗佈處理。
又，液滴吐出裝置1除了適用於形成上述的有機發光二極體的有機EL層時以外，例如也適用於製造彩色濾光器、液晶顯示裝置、電漿顯示器(PDP裝置)、電子放出裝置(FED裝置、SED裝置)等電光學裝置(平面顯示器：FPD)時、或也適用於製造金屬配線形成、透鏡形成、光阻形成、及光擴散體形成等。
以上，雖參照附加的圖式詳細說明有關本發明適合的實施形態，但與本發明相關的例子並不以此為限。若是該技術領域中的知識者，在申請專利範圍所記載的技術思想範圍內，能夠想到各種變更例或修正例，有關 於該等情形，當然也屬於本揭示的技術範圍。
13‧‧‧Y軸線性馬達
16‧‧‧Y軸線性刻度計
20‧‧‧工件載台
21‧‧‧載台移動機構
23‧‧‧X軸線性刻度計
24‧‧‧旋轉式編碼器
33‧‧‧載架
34‧‧‧液滴吐出頭
42‧‧‧第2攝像部
150‧‧‧控制部
160‧‧‧補正量算出器
161‧‧‧補正器
162‧‧‧第1動作控制器
163‧‧‧第2動作控制器
164‧‧‧噴墨控制器
W‧‧‧工件
Wf‧‧‧基準工件

Claims (5)

  1. 一種液滴吐出裝置，係對工件吐出機能液的液滴並進行描繪，具有：載置前述工件的工件載台；對載置於前述工件載台的前述工件吐出液滴的液滴吐出頭；使前述工件載台與前述液滴吐出頭，在主掃描方向、垂直於主掃描方向的副掃描方向、及旋轉方向相對移動的移動機構；設於主掃描方向的前述液滴吐出頭的下游側，取得前述工件的攝像影像的攝像部；算出前述工件載台與前述液滴吐出頭的相對位置的補正量，並基於該補正量控制前述移動機構的控制部；前述工件包含：用於算出前述補正量時，在上面形成複數基準標記的基準工件；在前述基準工件的上面包含複數前述基準標記，形成液滴向該基準標記彈著的彈著區域；前述彈著區域在副掃描方向延伸，並在主掃描方向以複數排列配置；前述控制部，在前述補正量的算出時，於每個在主掃描方向延伸，並在副掃描方向以複數排列設定的掃描線，分別進行：在使從前述液滴吐出頭向前述基準標記吐出的液滴彈 著後，於前述攝像部取得前述基準工件的攝像影像，基於前述攝像影像，檢出前述基準標記的位置與前述液滴的彈著位置的位置偏移量，基於前述位置偏移量算出前述補正量；在複數前述掃描線間的改行動作，藉由前述移動機構使前述工件載台在副掃描方向移動進行。
  2. 如請求項1所記載的液滴吐出裝置，其中，前述控制部，算出前述工件載台的旋轉方向的位置與副掃描方向的位置的補正量，之後，算出前述液滴吐出頭的旋轉方向的位置與副掃描方向的位置的補正量，之後，算出前述工件載台的主掃描方向的位置的補正量，之後，算出前述液滴吐出頭的液滴吐出時點的補正量。
  3. 一種液滴吐出方法，係利用液滴吐出裝置，對工件吐出機能液的液滴並進行描繪的液滴吐出方法，其中，前記液滴吐出裝置，具備：載置前述工件的工件載台；對載置於前述工件載台的前述工件吐出液滴的液滴吐出頭； 使前述工件載台與前述液滴吐出頭，在主掃描方向、垂直於主掃描方向的副掃描方向、及旋轉方向相對移動的移動機構；設於主掃描方向的前述液滴吐出頭的下游側，取得前述工件的攝像影像的攝像部；前述工件包含：在上面形成複數基準標記的基準工件；在前述基準工件的上面包含複數前述基準標記，形成液滴向該基準標記彈著的彈著區域；前述彈著區域在副掃描方向延伸，並在主掃描方向以複數排列配置；前記液滴吐出方法，於每個在主掃描方向延伸，並在副掃描方向以複數排列設定的掃描線，分別進行：使從前述液滴吐出頭向前述基準標記吐出的液滴彈著的第1工程；之後，於前述攝像部取得前述基準工件的攝像影像的第2工程；之後，基於前述攝像影像，檢出前述基準標記的位置與前述液滴的彈著位置的位置偏移量的第3工程；之後，基於前述位置偏移量，算出前述工件載台與前述液滴吐出頭的相對位置的補正量，並基於該補正量控制前述移動機構的第4工程；在複數前述掃描線間的改行動作，藉由前述移動機構 使前述工件載台在副掃描方向移動進行。
  4. 如請求項3所記載的液滴吐出方法，其中，在前述第4工程中，算出前述工件載台的旋轉方向的位置與副掃描方向的位置的補正量，之後，算出前述液滴吐出頭的旋轉方向的位置與副掃描方向的位置的補正量，之後，算出前述工件載台的主掃描方向的位置的補正量，之後，算出前述液滴吐出頭的液滴吐出時點的補正量。
  5. 一種電腦記憶媒體，以藉由液滴吐出裝置來使如請求項3或4所記載的液滴吐出方法執行的方式，而可讀取儲存在該液滴吐出裝置的電腦上動作的程式。
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