CN108568383A - 液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质 - Google Patents

Abstract

本发明涉及液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质。在向工件排出功能液的液滴来进行描绘的液滴排出装置中，提高从液滴排出头向工件的液滴的着液精度。控制部(150)在使由液滴排出头(34)排出的液滴着液在形成于基准工件(Wf)的上表面的基准标记后，由第二拍摄部(42)获取基准工件(W)的拍摄图像，根据拍摄图像，检测基准标记的位置与液滴的着液位置的位置偏离量，根据位置偏离量，计算工作台(20)与液滴排出头(34)的相对位置的修正量。

Description

液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质

技术领域

本发明涉对工件排出功能液的液滴并进行描绘的液滴排出装置、使用该液滴排出装置的液滴排出方法、程序和计算机存储介质。

背景技术

在现有技术中，作为使用功能液对工件进行描绘的装置，已知将该功能液以液滴来排出的喷射方式的液滴排出装置。液滴排出装置广泛应用在制造例如有机EL装置、滤色器、液晶显示装置、等离子显示器(PDP装置)、电子发射装置(FED装置、SED装置)等的电光装置(平板显示器：FPD)时等。

例如专利文献1中记载的液滴排出装置包括：排出功能液的液滴的功能液滴排出头(液滴排出头)；搭载有工件的工作站(工作台)；和沿导向用的一对支承座延伸的方向(主扫描方向)使工作台移动的移动机构(直线电动机)。然后，利用工作台相对液滴排出头使工件相对地移动，并且从液滴排出头对在工件上预先形成的隔堤排出功能液，由此进行对工件的描绘。

在这样的液滴排出装置中，为了在工件上的期望的位置正确地排出功能液，预先进行工件的校准。工作台构成为包含旋转动作并在水平方向上可移动，通过设置于工作台上方的校准用的照相机对工件的校准标记进行拍摄。然后，根据拍摄的图像来修正工作台的水平方向的位置，由此进行工件的校准。之后，使经校准的工件移动到预先指定的位置，从液滴排出头向工件的隔堤内排出功能液。

另外，在液滴排出装置的描绘动作中，使工件在主扫描方向(Y轴正方向)移动，并进行第一描绘动作(往复路径)。之后，使工作台在与主扫描方向正交的副扫描方向(X轴方向)上移动，而且使工件在主扫描方向(Y轴负方向)上移动，并且进行第二描绘动作(回程路径)。然后，再次使工作台在副扫描方向(X轴方向)上移动，而且使工件在主扫描方向(Y轴正方向)上移动，并且进行第三描绘动作(往复路径)。通过这样的描绘动作，对工件的整个面进行描绘。

此外，在以下的说明中，在如上所述进行第一描绘动作～第三描绘动作的时候，有时将使工作台在副扫描方向(X轴方向)上移动的动作称为“改行”。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010－198028号公报

发明内容

发明想要解决的技术问题

但是，在进行了工件的校准之后，在使工作站向功能液滴排出头移动的过程中，由于工件的姿态偏离或者工作站的移动机构的机械的精度或者直行性变化、温度变化、随时间变化等要因，存在功能液滴排出头与工件上的隔堤的位置关系发生变化的情况。

另外，将工作台进行了改行时，由于该工作台的姿态、重心、直行性发生变化等要因，存在液滴排出头与隔堤的位置关系发生变化的情况。这样的工作台的姿态变化、重心的变化、直行性的变化，可以是由于例如改行时的移动机构的机械的精度或者移动工作台的台的非平坦性等而产生。

然而，近年来，通过液滴排出装置制造的电视等的产品，大型、高清晰(例如4K、8K)的成为主流，与工件的大型化对应的液滴排出装置也大型化。因此，成为不能无视由上述的要因导致的液滴排出头与隔堤的位置偏离，即从液滴排出头排出的液滴着液在工件上的隔堤时的位置偏离的情况。但是，由于像素尺寸的影响，该位置偏离的允许范围也能够缩小在例如±2μm以下。

因此，在如液滴排出装置那样有必要进行精密控制的台中，要求能够稳健地对应环境变化，并修正工作台与液滴排出头的相对位置的技术。但是，在现有技术中，在这样的精密台中，不能适当地修正上述的相对位置。

本发明是鉴于上述问题而作成的，其目的在于在向工件排出功能液的液滴并进行描绘的液滴排出装置中，适当地修正工作台与液滴排出头的相对位置，使从该液滴排出头向工件去的液滴的着液精度提高。

用于解决技术问题的技术方案

为了达到所述的目的，本发明是一种向工件排出功能液的液滴来进行描绘的液滴排出装置，其特征在于，包括：载置所述工件的工作台；向载置于所述工作台的所述工件排出液滴的液滴排出头；移动机构，其使所述工作台和所述液滴排出头在主扫描方向、与主扫描方向正交的副扫描方向和旋转方向上相对地移动；拍摄部，其设置于主扫描方向的所述液滴排出头的下游侧，并获取所述工件的拍摄图像；和控制部，其计算所述工作台和所述液滴排出头的相对位置的修正量，根据该修正量来控制所述移动机构，所述工件在计算所述修正量使用，并且包含在上表面形成有多个基准标记的基准工件，所述控制部使由所述液滴排出头排出的液滴着液在所述基准标记后，由所述拍摄部获取所述基准工件的拍摄图像，根据所述拍摄图像，来检测所述基准标记的位置与所述液滴的着液位置的位置偏离量，根据所述位置偏离量来计算所述修正量。

根据本发明，首先，在使从液滴排出头排出的液滴着液在基准标记之后，由拍摄部获取基准工件的拍摄图像。然后，基于拍摄图像，检测基准标记的位置与液滴的着液位置的位置偏离量，接着基于该位置偏离量，计算工作台与液滴排出头的相对位置的修正量。然后，基于如上所述计算出的修正量对移动机构进行控制。

在上述情形中，即使由于液滴排出装置的各部件的温度变化或随时间变化等要因而产生工件的位置偏离，或者在将工作台改行时产生工件的位置偏离，基于计算出的修正量，也能够适当地修正工作台与液滴排出头的相对位置。因此，能够使液滴排出头与工件高精度地位置匹配，提高从该液滴排出头向工件去的液滴的排出精度(着液精度)。

上述控制部可以计算上述工作台的旋转方向的位置和副扫描方向的位置的修正量，之后，计算上述液滴排出头的旋转方向的位置和副扫描方向的位置的修正量，之后，计算上述工作台的主扫描方向的位置的修正量，之后，计算上述液滴排出头的液滴排出时机的修正量。

可以在上述基准工件的上表面形成有包含多上述基准标记并且将液滴着液在该基准标记的着液区域，上述着液区域配置成在副扫描方向上延伸，并且在主扫描方向上排列多个。

上述控制部可以对每一条扫描线计算修正量，上述扫描线设定为在主扫描方向上延伸，并在副扫描方向上排列多个。

多个上述扫描线可以具有计算出上述修正量的第一扫描线和不计算上述修正量的第二扫描线，上述控制部可以对上述第一扫描线的所述修正量进行插值，来计算上述第二扫描线的上述修正量。

根据本发明的另一方面，提供一种使用液滴排出装置以向工件排出功能液的液滴来进行描绘的液滴排出方法，其特征在于：所述液滴排出装置包括：载置所述工件的工作台；向载置于所述工作台的所述工件排出液滴的液滴排出头；移动机构，其使所述工作台和所述液滴排出头在主扫描方向、与主扫描方向正交的副扫描方向和旋转方向上相对地移动；和拍摄部，其设置于主扫描方向的所述液滴排出头的下游侧，并获取所述工件的拍摄图像，所述工件包含在上表面形成有多个基准标记的基准工件，所述液滴排出方法包括：使由所述液滴排出头排出的液滴着液在所述基准标记的第一步骤；之后，由所述拍摄部获取所述基准工件的拍摄图像的第二步骤；之后，根据所述拍摄图像，检测所述基准标记的位置和所述液滴的着液位置的位置偏离量的第三步骤；和之后，根据所述位置偏离量，计算所述工作台与所述液滴排出头的相对位置的修正量，根据该修正量以控制所述移动机构的第四步骤。

在上述第四步骤中，可以计算上述工作台的旋转方向的位置和副扫描方向的位置的修正量，之后，上述液滴排出头的旋转方向的位置和副扫描方向的位置的修正量，之后，计算上述工作台的主扫描方向的位置的修正量，之后，计算上述液滴排出头的液滴排出时机的修正量。

在上述基准工件的上表面可以形成有包含多个上述基准标记并且将液滴着液在该基准标记的着液区域，上述着液区域可以配置成在副扫描方向上延伸，并在主扫描方向上排列多个。

可以对每一条扫描线进行上述第一步骤～上述第四步骤，上述扫描线设定为在主扫描方向上延伸，并在副扫描方向上排列多个。

多个上述扫描线可以具有计算出上述修正量的第一扫描线和不计算上述修正量的第二扫描线，可以在上述第四步骤中，对上述第一扫描线的上述修正量进行插值，来计算上述第二扫描线的上述修正量。

另外，根据本发明的另一方面，提供一种在液滴排出装置的计算机中运行的程序，该程序使得该液滴排出装置执行上述液滴排出方法。

而且，根据本发明的另一方面，提供一种存储有上述程序的可读取的计算机存储介质。

发明效果

根据本发明，即使由于液滴排出装置的各部件的温度变化或随时间变化等要因而产生工件的位置偏离，或者在将工作台改行时产生工件的位置偏离，也能够适当地修正工作台与液滴排出头的相对位置，提高从该液滴排出头向工件去的液滴的着液精度。

附图说明

图1是表示本实施的方式的液滴排出装置的构成的概要的侧面图。

图2是表示本实施的方式的液滴排出装置的构成的概要的平面图。

图3是示意地表示控制部的构成的概要的说明图。

图4是表示基准工件的构成的概要的说明图。

图5是表示基准标记、目标和液滴的位置关系的说明图。

图6是表示修正器中对脉冲信号进行变换的情形的说明图。

图7是表示对基准工件进行描绘动作的情形的俯视看时的说明图，(a)表示第一描绘动作，(b)表示第二描绘动作，(c)表示第三描绘动作。

图8是表示进行对基准工件的描绘动作的情形的侧视看时的说明图，(a)表示第一描绘动作，(b)表示第二描绘动作，(c)表示第三描绘动作。

图9是表示对工件进行描绘动作的情形的俯视看时的说明图，(a)表示第一描绘动作，(b)表示第二描绘动作，(c)表示第三描绘动作。

图10是表示对基准数据进行插值的情形的表格的一个例子。

图11是示意地表示另一实施的方式的控制部的构成的概要的说明图。

附图标记说明

1 液滴排出装置

10 Y轴台

11 X轴台

12 Y轴导轨

13 Y轴直线电动机

14 X轴导轨

15 X轴直线电动机

16 Y轴线性标尺

20 工作台

21 台移动机构

22 Y轴滑块

23 X轴线性标尺

24 旋转编码器

30 托架组件

33 托架

34 液滴排出头

40 拍摄组件

41 第一拍摄部

42 第二拍摄部

100 基准标记

101 目标

150 控制部

160 修正量计算器

161 修正器

162 第一运动控制器

163 第二运动控制器

164 喷射控制器

170 编码器逆变换器

D 液滴

E1～E3 着液区域

L1～L5 扫描线

W 工件

Wf 基准工件。

具体实施方式

以下，参照附图，对本发明的实施的方式进行说明。此外，根据以下所示的实施方式，不是本发明所限定的内容。

＜液滴排出装置的构成＞

首先，参照图1和图2，对本实施的方式的液滴排出装置的构成进行说明。图1是表示液滴排出装置1的构成的概要的侧面图。图2是表示液滴排出装置1的构成的概要的平面图。此外，以下，将工件W的主扫描方向设为Y轴方向，将与主扫描方向正交的副扫描方向设为X轴方向，将与Y轴方向和X轴方向正交的垂直方向设为Z轴方向，将绕Z轴方向的旋转方向设为θ方向。

液滴排出装置1包括：在主扫描方向(Y轴方向)上延伸，使工件W在主扫描方向上移动的Y轴台10；和以跨越Y轴台10的方式架设并在副扫描方向(X轴方向)上延伸的一对X轴台11、11。在Y轴台10的上表面，在Y轴方向上延伸地设置有一对Y轴导轨12、12，在各Y轴导轨12设置有Y轴直线电动机13。在各X轴台11的上表面，在X轴方向上延伸地设置有X轴导轨14，在该X轴导轨14设置有X轴直线电动机15。此外，在以下的说明中，在Y轴台10上，将比X轴台11靠Y轴负方向侧的区域称为搬入搬出区域A1，将一对X轴台11、11间的区域称为处理区域A2，将比X轴台11靠近Y轴正方向侧的区域称为待机区域A3。

在Y轴直线电动机13，设置有测定该Y轴直线电动机13的位置的Y轴线性标尺16。由Y轴线性标尺16，输出表示Y轴直线电动机13的位置的编码器脉冲(脉冲信号)。此外，Y轴直线电动机13的位置代表Y轴直线电动机13的转子的位置。

在Y轴台10上，设置有工作台20。在一对X轴台11、11，设置有托架组件30和拍摄组件40。

工作台20例如为真空吸附台，吸附并载置工件W。工作台20由设置于该工作台20的下表面侧的台移动机构21，在X轴方向上可移动地并且在θ方向上可旋转地支承。工作台20与台移动机构21由设置于台移动机构21的下表面侧的Y轴滑块22所支承。Y轴滑块22安装在Y轴导轨12上，通过Y轴直线电动机13在Y轴方向上可移动。因此，在载置有工件W的状态下，通过Y轴滑块22使工作台20沿Y轴导轨12在Y轴方向上移动，由此能够使工件W在Y轴方向上移动。此外，在本实施的方式中，台移动机构21使工作台20在X轴方向上移动并在θ方向上旋转，但是使工作台20在X轴方向上移动的机构与使之在θ方向上旋转的机构也可以是独立的。

在台移动机构21，设置有：测定该台移动机构21的X轴方向的位置的X轴线性标尺23；和测定台移动机构21的θ方向的位置的旋转编码器24。从X轴线性标尺23和旋转编码器24分别输出表示台移动机构21(工作台20)的X轴方向的位置和θ方向的位置的编码器脉冲(脉冲信号)。

此外，在搬入搬出区域A1的工作台20的上方，设置有对工作台20上的工件W进行拍摄的工件校准照相机(未图示)。然后，基于由工件校准照相机拍摄的图像，通过Y轴滑块22和台移动机构21，根据需要，对载置于工作台20的工件W的Y轴方向、X轴方向和θ方向的位置进行修正。由此，将工件W校准并设定在规定的初始位置。

托架组件30在X轴台11设置有多个，例如10个。各托架组件30具有托架板31、托架保持机构32、托架33和液滴排出头34。托架保持机构32设置于托架板31的下表面的中央部，在该托架保持机构32的下端部可拆装地安装有托架33。

托架板31安装于X轴导轨14，通过X轴直线电动机15在X轴方向上可移动。此外，也可以将多个托架板31作为一体，使其在X轴方向上移动。

在托架33安装有电机(未图示)。通过该电机，托架33在X轴方向和θ方向上可移动。在本实施的方式中，Y轴直线电动机13、台移动机构21和托架33构成本发明的移动机构。此外，托架33在X轴方向和θ方向的移动也可以由例如托架保持机构32来进行。

在托架33的下表面，在Y轴方向和X轴方向上排列地设置有多个液滴排出头34。在本实施的方式中，设置有例如Y轴方向为6列，在X轴方向为2个即合计12个液滴排出头34。在液滴排出头34的下表面，即喷嘴面形成有多个排出喷嘴(未图示)。然后，从该排出喷嘴对液滴排出头34正下方的液滴排出位置排出功能液的液滴。

拍摄组件40具有隔着托架33(液滴排出头34)相对地设置于Y轴方向上的第一拍摄部41和第二拍摄部42。作为第一拍摄部41和第二拍摄部42，使用例如CCD照相机，在工作台20的移动中、停止中、工件处理中(液滴排出中)的任一者中，能够对载置于该工作台20的工件W进行拍摄。第一拍摄部41相对托架33配置在Y轴负方向侧，第二拍摄部42相对托架33配置在Y轴正方向侧。此外，拍摄组件40也可以在X轴方向上可移动。

第一拍摄部41由在一对X轴台11、11中、设置于Y轴负方向侧的X轴台11的侧面的基座43支承。然后，工作台20被引导到第一拍摄部41的正下方时，第一拍摄部41以规定的周期对载置于工作台20上的工件W进行拍摄。

第二拍摄部42由在一对X轴台11、11中、设置于Y轴正方向侧的X轴台11的基座44支承。然后，在工作台20被引导到第二拍摄部42的正下方时，第二拍摄部42对载置于工作台20上的工件W进行拍摄，由此能够对着液于工件W的上表面的液滴进行拍摄。将获取的拍摄图像输入后述的控制部150的修正量计算器160。

＜控制部＞

在以上的液滴排出装置1设置有控制部150。控制部150例如为计算机，具有数据存储部(未图示)。在数据存储部，存储有例如用于控制向工件W排出的液滴以在该工件W描绘规定的图案的描绘数据(位图数据)等。另外，控制部150具有程序存储部(未图示)。在程序存储部，存储有控制液滴排出装置1的各种处理的程序等。

此外，所述数据或者所述程序可以记录于例如计算机可读取的硬盘(HD)、软盘(FD)、光盘(CD)、磁盘(MO)、存储卡等的计算机可读取的存储介质，也可以是从这些存储介质安装到控制部150。

另外，如图3所示，控制部150具有：修正量计算器160，其对由第二拍摄部42获取的拍摄图像进行处理，根据该拍摄图像计算各种修正量；对工作台20的位置(Y轴直线电动机13和台移动机构21的位置)进行修正的修正器161；控制Y轴直线电动机13和台移动机构21的移动的第一运动控制器162(运动驱动器)；控制托架33的移动的第二运动控制器163；和控制液滴排出头34的排出时机的喷射控制器164。

(修正量计算器)

修正量计算器160基于由第二拍摄部42获取的拍摄图像，计算工作台20与液滴排出头34的相对位置的修正量和液滴排出头34的液滴排出时机的修正量。然后，当计算修正量时，不使用用于产量的产品用的工件W，而使用图4所示的基准工件Wf。

在此，对基准工件Wf的构成进行说明。在基准工件Wf的上表面，形成有来自液滴排出头34的液滴着液的着液区域E1～E3。第一着液区域E1形成于Y轴负方向侧，第二着液区域E2形成于Y轴方向中央，第三着液区域E3形成于Y轴正方向侧。

此外，着液区域E的数量不限于本实施的方式，但是必须在2个以上。如后面所述，在修正量计算器160中，使用着液区域E的液滴的位置偏离量，来计算工作台20与液滴排出头34的相对位置的修正量和液滴排出头34的液滴排出时机的修正量。即，基准工件Wf的至少Y轴方向、X轴方向和θ方向的位置信息是必须的，因此着液区域E也必须在2个以上。因此，在本实施的方式的基准工件Wf的上表面，形成有3个着液区域E1～E3。此外，着液区域E可以为2个，在基准工件Wf的整面使液滴着液即可。

在各着液区域E1～E3形成有多个基准标记100。基准00在X轴方向上以规定间距排列地配置，并且在Y轴方向上配置有多列。另外，如图5所示，在各基准标记100的附近设定有来自液滴排出头34的液滴D的着液目标位置即目标101。在此，从液滴排出头34向基准标记100排出液滴D时，在由第二拍摄部42对工件W进行拍摄时，基准标记100与液滴D重叠，而难以进行判断。因此，将液滴D的目标101设定为稍稍离开基准标记100。此外，在本实施的方式中，基准标记100与目标101的距离极小，在本发明中基准标记100的位置与目标101的位置大致相同。

基准标记100使用例如喷射方式的描图方法等在工件W的上表面进行了描绘。此外，在图4和图5中，作为基准标记100描绘有大致十字形的标记，但是基准标记100的形状不限于本实施的方式的内容，可以为例如圆形或者三角形，只要是能够识别的形状即可任意地设定。

修正量计算器160基于图5所示的拍摄图像，检测基准工件Wf的目标101的位置与着液在基准工件Wf的液滴D的位置的位置偏离量。位置偏离量检测ΔY作为Y轴成分，检测ΔX作为X轴成分。

在修正量计算器160中，基于上述的位置偏离量ΔY、ΔX，计算工作台20与液滴排出头34的相对位置的修正量和液滴排出头34的液滴排出时机的修正量。具体而言，通过下面的步骤Q1～Q4这4个阶段来计算修正量。

首先，基于位置偏离量ΔY、ΔX，计算工作台20的θ方向的位置的修正量和X轴方向的位置的修正量(步骤Q1)。计算出的修正量被输出到修正器161。此外，在以下的说明中，通过步骤Q1计算的修正量被称为台姿态修正量。

接着，在步骤Q1的台姿态修正量反映到了工作台20的状态下，基于位置偏离量ΔY、ΔX，计算液滴排出头34的θ方向的位置的修正量和X轴方向的位置的修正量(步骤Q2)。计算出的修正量被输出到第二运动控制器163。此外，在以下的说明中，通过步骤Q2计算的修正量被称为喷头位置修正量。

接着，在步骤Q2的喷头位置修正量反映到液滴排出头34的状态下，基于位置偏离量ΔY、ΔX，计算工作台20的Y轴方向的位置的修正量(步骤Q3)。计算出的修正量被输出到修正器161。此外，在以下的说明中，将在步骤Q3中算计算的修正量称作台Y轴位置修正量。

最后，在步骤Q3的台Y轴位置修正量反映到工作台20的状态下，基于位置偏离量ΔY、ΔX，对液滴排出头34的液滴D的排出时机进行修正(步骤Q4)。计算出的修正量被输出到喷射控制器164。此外，在以下的说明中，将在步骤Q4中计算的修正量称为排出时机修正量。

(修正器)

修正器161基于来自修正量计算器160的修正量，将来自Y轴线性标尺16的脉冲信号变换为Y轴直线电动机13的实际位置。另外，修正器161基于来自修正量计算器160的修正量，分别将来自X轴线性标尺23的脉冲信号和来自旋转编码器24的脉冲信号变换为工作台20的实际姿态。具体而言，进行以下的步骤S1～S3。

首先，在修正器161中，接收来自Y轴线性标尺16的脉冲信号并计数，来掌握Y轴直线电动机13的现在位置。另外，在后述的步骤S3中为了对脉冲信号进行变换，对来自Y轴线性标尺16的脉冲信号的形状(脉冲形状)进行解析(步骤S1)。在步骤S1中，在修正器161中，还接收来自X轴线性标尺23的脉冲信号和来自旋转编码器24的脉冲信号。

接着，在修正器161中，接收来自修正量计算器160的台姿态修正量(工作台20的θ方向和X轴方向的位置的修正量)和台Y轴位置修正量(工作台20的Y轴方向的位置的修正量)(步骤S2)。

接着，在修正器161，基于在步骤S1中解析的脉冲形状和在步骤S2中接收的台Y轴位置修正量，将从Y轴线性标尺16接收的脉冲信号变换为Y轴直线电动机13的实际位置。图6表示对脉冲信号进行变换的情形，左图表示来自Y轴线性标尺16的脉冲信号，右图表示变换后向第一运动控制器162输出的脉冲信号。例如如图6的(a)所示插入脉冲，如图6的(b)所示删除脉冲，脉冲的数量发生变化，或者如图6的(c)所示脉冲宽度伸长，如图6的(d)所示脉冲宽度缩短，脉冲宽度发生变化。然后，将如此脉冲的数量和脉冲宽度被改变的脉冲信号向第一运动控制器162输出(步骤S3)。

将如此在步骤S3中变换的脉冲信号也被输出到喷射控制器164。喷射控制器164是控制液滴排出头34的液滴的排出时机的组件，并根据Y轴直线电动机13的位置对液滴的排出时机进行了设定。在本实施的方式中，将从修正器161输出的脉冲信号向喷射控制器164输出，由此能够在适当的时机从液滴排出头34排出液滴。

另外，在步骤S3中，在修正器161中，基于在步骤S2中接收的台姿态修正量，分别将来自X轴线性标尺23的脉冲信号和来自旋转编码器2的脉冲信号变换为工作台20的实际姿态。变换后的脉冲信号被输出到第一运动控制器162。

此外，在Y轴直线电动机13以高速移动时，实时地计算修正量的修正器161是高速信号处理所必须的。因此，修正器161优选通过ASIC(Application Specific IntegratedCircuit：特定用途集成电路)或者现场可编程门阵列(FPGA：Field－Programmable GateArray))来功能地安装。

(第一运动控制器)

第一运动控制器162基于从修正器161接收的台Y轴位置修正量，并且基于将来自Y轴线性标尺16的脉冲信号变换而得的脉冲信号，向Y轴直线电动机13输出指令信号(脉冲列)，来控制Y轴直线电动机13(工作台20)的移动。另外，第一运动控制器162基于从修正器161接收的台姿态修正量，并且基于将来自X轴线性标尺23的脉冲信号和来自旋转编码器2的脉冲信号分别变换而得的脉冲信号，向台移动机构21输出指令信号(脉冲列)，来控制台移动机构21的移动。然后，对工作台20的Y轴方向、X轴方向、θ方向的位置进行修正。此外，第一运动控制器162接收Y轴、X轴、θ等相关的脉冲信号，以构成全闭环控制。

(第二运动控制器)

第二运动控制器163基于来自修正量计算器160的喷头位置修正量，来控制托架33的X轴方向和θ方向的移动。然后，对液滴排出头34的θ方向和X轴方向的位置进行修正。

(喷射控制器)

喷射控制器164基于从修正器161接收的Y轴方向的脉冲信号(变换後的脉冲信号)，向液滴排出头34输出指令信号(脉冲列)，来控制液滴排出头34的液滴的排出时机。另外，喷射控制器164基于来自修正量计算器160的排出时机修正量，以控制液滴排出头34的液滴的排出时机。

＜液滴排出装置的工件处理＞

接着，对使用如以上那样构成的液滴排出装置1来进行的工件处理进行说明。在本实施的方式中，在进行对产品工件W的通常的处理之间，对基准工件Wf进行规定的处理，来计算台姿态修正量、喷头位置修正量、台Y轴位置修正量和排出时机修正量。

(对基准工件的处理)

首先，对基准工件Wf进行规定的处理。在搬入搬出区域A1配置工作台20，将通过搬送机构(未图示)搬入液滴排出装置1的基准工件Wf载置在该工作台20。接着，通过工件校准照相机对工作台20上的基准工件Wf进行拍摄。然后，根据该拍摄的图像，通过台移动机构21，对载置于工作台20的基准工件Wf的X轴方向和θ方向的位置进行修正，来进行基准工件Wf的校准(步骤T1)。

之后，通过Y轴直线电动机13，使工作台20在Y轴方向上往复运动并在X轴方向上移动(改行)，来描绘基准工件Wf的着液区域E1～E3。在本实施的方式中，对以下情况进行说明：在X轴方向上进行2次改行的情况，即工作台20沿在Y轴方向(主扫描方向)上延伸的3本的扫描线移动的情况。另外，在本实施的方式中，对如图7所示多个液滴排出头34中使用2个液滴排出头34的情况进行说明。此外，此时的液滴排出头34、从从该液滴排出头34排出的液滴的着液位置、工作台20的改行、往复轨迹等信息被预先记录，根据它们来进行描绘动作。

首先，如图7的(a)和图8的(a)所示通过Y轴直线电动机13，沿第一扫描线L1，使工作台20从搬入搬出区域A1向待机区域A3移动(Y轴正方向)，并进行第一描绘动作(往复路径)。第一扫描线L1是通过工作台20的X轴方向中心线C的线。此时，在处理区域A2，向在液滴排出头34的下方移动的基准工件Wf，从该液滴排出头34排出液滴。如此，能够在基准工件Wf中与液滴排出头34对应的位置进行描绘(步骤T2)。具体而言，在着液区域E1～E3的各自中，向在基准标记100附近的目标101，从液滴排出头34排出液滴。然后，在第一扫描线L1，描绘着液区域E1～E3。

接着，如图7的(b)和图8的(b)所示，通过台移动机构21，使工作台20在X轴正方向上移动(改行)一个托架的量。接着，通过Y轴直线电动机13，沿第二扫描线L2，使工作台20从待机区域A3向搬入搬出区域A1移动(Y轴负方向)，并且进行第二描绘动作(回程路径)。即，第二扫描线L2是通过比工作台20的X轴方向中心线C靠X轴正方向的线。此时，在处理区域A2，向在液滴排出头34的下方移动的基准工件Wf，从该液滴排出头34排出液滴。如此，在基准工件Wf与液滴排出头34对应的位置进行描绘(步骤T3)。具体而言，在着液区域E1～E3的各自中，向在基准标记100的附近的目标101，从液滴排出头34排出液滴。然后，在第二扫描线L2描绘液区域E1～E3。

接着，如图7的(c)和图8的(c)所示，通过台移动机构21，使工作台20在X轴负方向移动(改行)2个托架的量。接着，通过Y轴直线电动机13，沿第三扫描线L3使工作台20从搬入搬出区域A1向待机区域A3移动(Y轴正方向)，并进行第三描绘动作(往复路径)。即，第三扫描线L3是通过比工作台20的X轴方向中心线C靠X轴负方向的线。此时，在处理区域A2，向在液滴排出头34的下方移动的基准工件Wf，从该液滴排出头34排出液滴。如此，在基准工件Wf与液滴排出头34对应的位置进行描绘(步骤T4)。具体而言，在着液区域E1～E3的各自中，向在基准标记100附近的目标101，从液滴排出头34排出液滴。然后，在第三扫描线L3描绘液区域E1～E3。

在步骤T4中，在第二拍摄部42，对基准工件Wf的整面进行拍摄，拍摄着液在该基准工件Wf的上表面的液滴。获取的拍摄图像被输入到修正量计算器160。修正量计算器160进行上述的步骤Q1～Q4，对第一扫描线L1～第三扫描线L3的各自，计算台姿态修正量、喷头位置修正量、台Y轴位置修正量和排出时机修正量。以下，将与第一扫描线L1对应的上述4个修正量称为第一修正量，将与第二扫描线L2对应的上述4个修正量称为第二修正量，将与第三扫描线L3对应的上述4个修正量称为第三修正量。

如此，通过步骤T2～T4的描绘动作，对着液区域E1～E3进行描绘，并且对第一扫描线L1～第三扫描线L3的各自，计算第一修正量～第三修正量。

然后，在第三描绘动作后，使存在于待机区域A3的工作台20向搬入搬出区域A1移动，将基准工件Wf从液滴排出装置1搬出。此时，在处理区域A2，不从液滴排出头34向基准工件Wf排出液滴。

(对产品用工件的处理)

接着，对产品用的工件W进行规定的处理。在该工件W的处理中，首先，在搬入搬出区域A1，对载置于工作台20的工件W的X轴方向和θ方向的位置进行修正，来进行工件W的校准(步骤T5)。该步骤T5与上述的步骤T1相同。

之后，如图9的(a)所示，沿第一扫描线L1，使工作台20从搬入搬出区域A1向待机区域A3移动，来进行第一描绘动作。然后，在工件W与液滴排出头34对应的位置进行描绘(步骤T6)。

在步骤T6中，使工作台20在Y轴方向上移动时，通过Y轴线性标尺16对Y轴直线电动机13的位置进行测定。Y轴线性标尺16的脉冲信号被输出到修正器161。另外，还通过X轴线性标尺23和旋转编码器24，分别测定台移动机构21的X轴方向的位置和θ方向的位置，也将上述来自X轴线性标尺23的脉冲信号和来自旋转编码器24的脉冲信号被输出到修正器161。

在修正器161中，使用来自Y轴线性标尺16的脉冲信号和在步骤T4中计算的第一修正量，来进行上述的步骤S1～S3。然后，将基于第一修正量(第一台Y轴位置修正量)变换后的脉冲信号从修正器161输出到第一运动控制器162和喷射控制器164。另外，还将基于第一修正量(第一台姿态修正量)变换后的脉冲信号从修正器161输出到第一运动控制器162。

第一运动控制器162基于从修正器161接收的Y轴方向的脉冲信号(变换后的脉冲信号)，向Y轴直线电动机13输出指令信号(脉冲列)，来修正该Y轴直线电动机13的位置。例如目标位置为在1000mm以+1μm(伸长侧)偏离的情况下，在接收到999.999mm程度的脉冲时，向第一运动控制器162输出1000mm位置的脉冲。

另外，第一运动控制器162基于从修正器161接收的X轴方向和θ方向的脉冲信号(变换後的脉冲信号)，向台移动机构21输出指令信号(脉冲列)，来控制台移动机构21的移动。然后，对工作台20的姿态进行修正。

另外，在步骤T6中，第二运动控制器163基于在步骤T4中计算出的第一修正量(第一喷头位置修正量)，来控制托架33的移动。然后，对液滴排出头34的θ方向和X轴方向的位置进行修正。

而且，在步骤T6中，喷射控制器164根据来自修正器161而接收的脉冲信号，向液滴排出头34输出指令信号(脉冲列)，以控制液滴排出头34的液滴的排出时机。另外，喷射控制器164根据在步骤T4中计算的第一修正量(第一排出时机修正量)，以控制液滴排出头34的液滴的排出时机。然后，对液滴排出头34的液滴的排出时机进行修正。

接着，如图9的(b)所示，使工作台20在X轴正方向移动(改行)一个托架的量，接着沿第二扫描线L2，使工作台20从待机区域A3向搬入搬出区域A1移动，并且进行第二描绘动作。然后，在工件W与液滴排出头34对应的位置进行描绘(步骤T7)。

在步骤T7中，与步骤T6同样地，使用在步骤T4中计算的第二修正量，以对工作台20的Y轴方向、X轴方向和θ方向的位置、液滴排出头34的X轴方向和θ方向的位置以及液滴排出头34的液滴的排出时机进行修正。

接着，如图9的(c)所示，使工作台20在X轴负方向上移动(改行)2个托架的量，接着沿第三扫描线L3，使工作台20从搬入搬出区域A1向待机区域A3移动，并且进行第三描绘动作。然后，在工件W与液滴排出头34对应的位置进行描绘(步骤T8)。

在步骤T8中，与步骤T6同样地，使用在步骤T4中计算的第三修正量，以对工作台20的Y轴方向、X轴方向和θ方向的位置、液滴排出头34的X轴方向和θ方向的位置以及液滴排出头34的液滴的排出时机进行修正。

如此，通过步骤T6～T8的描绘动作，对工件整面进行描绘。

然后，在工作台20在搬入搬出区域A1移动时，将结束了描绘处理的工件W搬出液滴排出装置1。接着，将下一个工件W搬入液滴排出装置1。接着，进行上述的步骤T5的工件W的校准，继续进行步骤T6～T8。

如以上所述，对各工件W进行步骤T5～T8，结束一系列的工件处理。

根据以上的实施的方式，即使由于液滴排出装置1的各部材的温度变化或者随时间变化之类的要因而产生工件W的位置偏离，基于计算的第一修正量～第三修正量，也能够对工作台20和液滴排出头34的相对位置适当地进行修正。因此，能够高精度地将液滴排出头与工件位置对位。另外，根据第一修正量～第三修正量，也能够对液滴排出头34的液滴的排出时机适当地进行修正。因此，能够提高从液滴排出头34向工件W的液滴的排出精度(着液精度)。

另外，对第一扫描线L1～第三扫描线L3的各自来计算第一修正量～第三修正量，即对工件W的整面来计算修正量。因此，即使在将工作台20改行时，产生工件W的位置偏离，使用上述的第一修正量～第三修正量，也能够对工作台20和液滴排出头34的相对位置适当地进行修正，另外也能够对液滴排出头34的液滴的排出时机适当地进行修正。因此，能够进一步提高从液滴排出头34向工件W的液滴的排出精度(着液精度)。

在此，例如仅计算第一修正量，也能够对其他的第二扫描线L2和第三扫描线L3使用第一修正量。但是，上述情况下，在改行的第二扫描线L2和第三扫描线L3中，有时第一修正量不合适，从液滴排出头34向工件W的液滴的排出位置可能发生偏离。在此，如本实施的方式那样，通过对所有的扫描线L1～L3分别使用第一修正量～第三修正量，能够更适当地对工作台20和液滴排出头34的相对位置进行适当的修正。

＜另一实施的方式＞

接着，对本发明的另一实施的方式进行说明。

在以上的实施的方式中，进行步骤T2～T4，在第一扫描线L1～第三扫描线L3描绘了着液区域E1～E3之后，在步骤T4中，根据第二拍摄部42的基准工件Wf的拍摄图像，对第一扫描线L1～第三扫描线L3的各自，计算第一修正量～第三修正量。在此，在各步骤T2～T4中可以分别计算第一修正量～第三修正量。

在上述情况下，在步骤T2中，进行第一描绘动作(往复路径)，在描绘了第一扫描线L1的着液区域E1～E3之后，在第二拍摄部42，拍摄基准工件Wf，拍摄着液于在该基准工件Wf的上表面的液滴。将获取的拍摄图像输入修正量计算器160。修正量计算器160进行上述的步骤Q1～Q4，来计算台姿态修正量、喷头位置修正量、台Y轴位置修正量和排出时机修正量，即第一修正量。

另外，在步骤T3中，进行第二描绘动作(往复路径)，在描绘了第二扫描线L2的着液区域E1～E3之后，在第一拍摄部41，拍摄基准工件Wf，拍摄着液于在该基准工件Wf的上表面的液滴。获取的拍摄图像被输入修正量计算器160。修正量计算器160进行上述的步骤Q1～Q4，来计算台姿态修正量、喷头位置修正量、台Y轴位置修正量和排出时机修正量，即第二修正量。

另外，在步骤T4中，进行第三描绘动作(往复路径)，在描绘了第三扫描线L3的着液区域E1～E3之后，在第二拍摄部42，拍摄基准工件Wf，拍摄着液于在该基准工件Wf的上表面的液滴。获取的拍摄图像被输入修正量计算器160。修正量计算器160进行上述的步骤Q1～Q4，来计算台姿态修正量、喷头位置修正量、台Y轴位置修正量和排出时机修正量，即第三修正量。

在本实施的方式中，也能够获得与上述实施的方式相同的效果。即，根据第一修正量～第三修正量，对工作台20和液滴排出头34的相对位置适当地进行修正，能够提高从液滴排出头34向工件W的液滴的排出精度(着液精度)。

在以上的实施的方式中，对工作台20沿3条扫描线L1～L3移动以在工件W(基准工件Wf)的整面进行描绘的情况进行了说明，但是扫描线的条数不限于此。

另外，在以上的实施的方式中，对所有的扫描线L1～L3的各自来计算第一修正量～第三修正量，多个扫描线中对一部分的扫描线计算修正量，通过将该修正量插值，可以计算对其他的扫描线的修正量。

例如如图10所示，在使工作台20沿5条扫描线L1～L5移动以在基准工件Wf的整面进行描绘的情况下，以对例如第一扫描线L1～第三扫描线L3来计算第一修正量～第三修正量并不对第四扫描线L4～第五扫描线L5计算修正量的情况为例进行说明。此外，第一修正量～第三修正量是进行上述的步骤T2～T4而计算的。另外，在以下的说明中，有时将第一修正量～第三修正量称为基准数据。

在图10中，第一扫描线L1(改行0mm)是工作台20的X轴方向中心线C，第二扫描线L2和第四扫描线L4(改行加mm)是比中心线C靠X轴正方向的扫描线，第三扫描线L3和第五扫描线L5(改行减mm)是比中心线C靠X轴正方向的扫描线。另外，图10所示的例是表示工作台20的Y轴方向位置的修正量的一个例子，但是还计算台姿态修正量、喷头位置修正量、排出时机修正量。

然后，对第四扫描线L4的第四修正量通过对第一修正量和第二修正量进行二维插值来计算。另外，对第五扫描线L5的第五修正量通过对第一修正量和第三修正量进行二维插值来计算。此外，计算第四修正量和第五修正量中的插值方法不限于二维插值。例如也可以是多维插值。

在此，改行的图案有多个，对所有的扫描线进行步骤T2～T4是复杂并且繁杂的作业。在本实施的方式中，对一部分的扫描线L1～L3进行步骤T2～T4来获取基准数据，对其他的扫描线L4～L5进行基准数据插值，由此能够计算修正量。因此，无需进行繁杂的作业，而能够对工件W的整面来计算修正量。

在以上的实施的方式中，控制部150具有如图3所示使用了修正器161的构成，但是不限于此。例如如图11所示，控制部150除了修正量计算器160、第一运动控制器162、第二运动控制器163、喷射控制器164，还具有对来自第二运动控制器163的脉冲信号进行逆变换的编码器逆变换器170。此外，在本实施的方式的控制部150中，省略修正器161。

在上述情况下，在第一运动控制器162中，进行上述的步骤S1～S3。即，基于来自Y轴线性标尺16的脉冲信号和来自修正量计算器160的台Y轴位置修正量，对来自Y轴线性标尺16而接收的脉冲信号进行变换。另外，基于来自X轴线性标尺23的脉冲信号和来自旋转编码器24的脉冲信号与来自修正量计算器160的台姿态修正量，对从X轴线性标尺23接收的脉冲信号和从旋转编码器24接收的脉冲信号分别进行变换。

第一运动控制器162基于上述的Y轴方向的脉冲信号(变换后的脉冲信号、Y轴向直线电动机13输出指令信号(脉冲列)，对该Y轴直线电动机13的位置进行修正。例如目标位置为在1000mm偏离+1μm(伸长侧)的情况下，对Y轴直线电动机13发出指令以移动到999.999mm，将实际位置修正为1000mm。

另外，第一运动控制器162也基于上述的X轴方向和θ方向的脉冲信号(变换后的脉冲信号)，向台移动机构21输出指令信号(脉冲列)，来控制台移动机构21的移动。

另一方面，由第一运动控制器162变换后的Y轴方向的脉冲信号也被输出到编码器逆变换器170。在编码器逆变换器170中，使用逆变换台，对来自第一运动控制器162的脉冲信号进行逆变换并向喷射控制器164输出。即，来自第一运动控制器162的脉冲信号修正Y轴直线电动机13的位置，将该脉冲信号逆变换为来自Y轴线性标尺16的脉冲信号。

在此，即使将Y轴直线电动机13的位置修正为999.999mm，液滴排出头34的排出时机也仍在目标位置1000mm。因此，在编码器逆变换器170，将来自第一运动控制器162的表示999.999mm的脉冲信号逆变换为表示1000mm的脉冲信号。然后，从编码器逆变换器170向喷射控制器164输出表示1000mm的脉冲信号，对液滴排出头34的液滴的排出时机进行控制。

此外，喷射控制器164根据来自修正量计算器160的排出时机修正量，来控制液滴排出头34的液滴的排出时机。

另外，第二运动控制器163基于来自修正量计算器160的喷头位置修正量，来控制托架33的移动。

如此，对工作台20液滴排出头34的相对位置适当地进行修正，也能够对液滴排出头34的液滴的排出时机适当地进行修正。如此，在本实施的方式中，能够实现与上述实施的方式相同的效果。

在以上的实施的方式中，使工作台20在Y轴方向上移动，但是也可以使液滴排出头34在Y轴方向上移动。另外，也可以使工作台20和液滴排出头34的两者在Y轴方向上移动。在任一情形中，修正量计算器160进行上述的步骤Q1～Q4，来计算台姿态修正量、喷头位置修正量、台Y轴位置修正量和排出时机修正量。

另外，在以上的实施的方式中，使工作台20在X轴方向上移动以改行，但是也可以使液滴排出头34在X轴方向上移动。在使液滴排出头34在X轴方向上移动的情形中，可以使用X轴直线电动机15。

＜液滴排出装置的应用例＞

如以上那样构成的液滴排出装置1，能够应用在例如在日本特开2017－13011号公报中记载的形成有机发光二极管的有机EL层的基板处理系统中。具体而言，液滴排出装置1能够应用于在作为工件W的玻璃基板上涂敷用于形成空穴注入层的有机材料涂敷装置、在玻璃基板(空穴注入层)上涂敷用于形成空穴输送层的有机材料的涂敷装置、在玻璃基板(空穴输送层)上涂敷用于形成发光层的有机材料的涂敷装置。此外，在基板处理系统中，除了形成有机发光二极管的空穴注入层、空穴输送层和发光层之外，还在形成电子输送层和电子注入层时，液滴排出装置1也能够应用于这些电子输送层和电子注入层的涂敷处理。

另外，液滴排出装置1除了应用在如上所述形成有机发光二极管的有机EL层时，也可以应用在制造例如滤色器、液晶显示装置、等离子显示器(PDP装置)、电子发射装置(FED装置，SED装置)等的电光装置(平板显示器：FPD)时，或者也可以应用在制造金属配线形成、透镜形成，抗蚀剂形成和光分散体形成等。

以上，参照附图，对本发明的优选的实施的方式进行了说明，但是本发明不限于上述的例子。作为本领域技术人员，显然在专利申请的范围所记载的思想的范畴内，能够想到各种的变形例或者修正例，可知这些例子当然属于本发明的技术的范围。

Claims (11)

1.一种液滴排出装置，其向工件排出功能液的液滴来进行描绘，所述液滴排出装置的特征在于，包括：

载置所述工件的工作台；

向载置于所述工作台的所述工件排出液滴的液滴排出头；

移动机构，其使所述工作台和所述液滴排出头在主扫描方向、与主扫描方向正交的副扫描方向和旋转方向上相对地移动；

拍摄部，其设置于主扫描方向的所述液滴排出头的下游侧，用于获取所述工件的拍摄图像；和

控制部，其计算所述工作台和所述液滴排出头的相对位置的修正量，基于该修正量来控制所述移动机构，

所述工件包括在计算所述修正量时使用的、在上表面形成有多个基准标记的基准工件，

所述控制部使从所述液滴排出头排出的液滴着液在所述基准标记后，由所述拍摄部获取所述基准工件的拍摄图像，

基于所述拍摄图像，来检测所述基准标记的位置与所述液滴的着液位置的位置偏离量，

基于所述位置偏离量来计算所述修正量。

2.如权利要求1所述的液滴排出装置，其特征在于：

所述控制部计算所述工作台的旋转方向的位置和副扫描方向的位置的修正量，

之后，计算所述液滴排出头的旋转方向的位置和副扫描方向的位置的修正量，

之后，计算所述工作台的主扫描方向的位置的修正量，

之后，计算所述液滴排出头的液滴排出时机的修正量。

3.如权利要求1或2所述的液滴排出装置，其特征在于：

在所述基准工件的上表面形成有包含多个所述基准标记并且供液滴向该基准标记着液的着液区域，

所述着液区域配置成在副扫描方向上延伸，并在主扫描方向上排列多个。

4.如权利要求1或2所述的液滴排出装置，其特征在于：

所述控制部对每一条扫描线计算所述修正量，所述扫描线设定为在主扫描方向上延伸并在副扫描方向上排列多个。

5.如权利要求4所述的液滴排出装置，其特征在于：

多个所述扫描线包括计算出所述修正量的第一扫描线和未计算所述修正量的第二扫描线，

所述控制部对所述第一扫描线的所述修正量进行插值，来计算所述第二扫描线的所述修正量。

6.一种液滴排出方法，其使用液滴排出装置向工件排出功能液的液滴来进行描绘，所述液滴排出方法的特征在于：

所述液滴排出装置包括：

载置所述工件的工作台；

向载置于所述工作台的所述工件排出液滴的液滴排出头；

移动机构，其使所述工作台和所述液滴排出头在主扫描方向、与主扫描方向正交的副扫描方向和旋转方向上相对地移动；和

拍摄部，其设置于主扫描方向的所述液滴排出头的下游侧，用于获取所述工件的拍摄图像，

所述工件包含在上表面形成有多个基准标记的基准工件，

所述液滴排出方法包括：

使从所述液滴排出头排出的液滴着液在所述基准标记的第一步骤；

之后，由所述拍摄部获取所述基准工件的拍摄图像的第二步骤；

之后，基于所述拍摄图像，检测所述基准标记的位置和所述液滴的着液位置的位置偏离量的第三步骤；和

之后，基于所述位置偏离量，计算所述工作台与所述液滴排出头的相对位置的修正量，基于该修正量来控制所述移动机构的第四步骤。

7.如权利要求6所述的液滴排出方法，其特征在于：

在所述第四步骤中，

计算所述工作台的旋转方向的位置和副扫描方向的位置的修正量，

之后，计算所述液滴排出头的旋转方向的位置和副扫描方向的位置的修正量，

之后，计算所述工作台的主扫描方向的位置的修正量，

之后，计算所述液滴排出头的液滴排出时机的修正量。

8.如权利要求6或7所述的液滴排出方法，其特征在于：

在所述基准工件的上表面形成有包含多个所述基准标记并且供液滴向该基准标记着液的着液区域，

所述着液区域配置成在副扫描方向上延伸，并在主扫描方向上排列多个。

9.如权利要求6或7所述的液滴排出方法，其特征在于：

对每一条扫描线进行所述第一步骤～所述第四步骤，所述扫描线设定为在主扫描方向上延伸并在副扫描方向上排列多个。

10.如权利要求9所述的液滴排出方法，其特征在于：

多个所述扫描线具有计算出所述修正量的第一扫描线和未计算所述修正量的第二扫描线，

在所述第四步骤中，对所述第一扫描线的所述修正量进行插值，来计算所述第二扫描线的所述修正量。

11.一种计算机可读存储介质，其特征在于：

存储有在液滴排出装置的计算机中运行的程序，该程序使得该液滴排出装置执行权利要求6或7所述的液滴排出方法。