JP2010151856A - 機能液塗布装置及び機能液塗布方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】安価な機構でヨーイング量を測定でき、着弾位置を補正できる機能液塗布装置及び機能液塗布方法を提供することである。
【解決手段】本発明は、処理基板に対し機能液を塗布する複数のノズルを有するヘッド部と前記ヘッド部を回転するヘッド部回転部を有する機能液供給ヘッドブロックを具備する機能液供給ブロックを支持する支持体に沿って、前記機能液供給ブロックを一定方向に移動させ、前記機能液供給ブロックに搭載された複数のカメラで前記処理基板を撮像する撮像し、前記撮像ステップの結果から前記支持体のヨーイング量を求め、前記ヨーイング量測定ステップの結果に基づいて前記機能液を塗布する位置を補正することを有すること特徴とする。
【選択図】図6
【解決手段】本発明は、処理基板に対し機能液を塗布する複数のノズルを有するヘッド部と前記ヘッド部を回転するヘッド部回転部を有する機能液供給ヘッドブロックを具備する機能液供給ブロックを支持する支持体に沿って、前記機能液供給ブロックを一定方向に移動させ、前記機能液供給ブロックに搭載された複数のカメラで前記処理基板を撮像する撮像し、前記撮像ステップの結果から前記支持体のヨーイング量を求め、前記ヨーイング量測定ステップの結果に基づいて前記機能液を塗布する位置を補正することを有すること特徴とする。
【選択図】図6
Description
本発明は、機能液塗布装置及び機能液塗布方法に関わり、特に高精度の着弾精度が求められる機能液塗布装置及び機能液塗布方法に関するものである。
液晶製造装置において、インクジェット技術を応用した液晶製造技術が近年脚光を浴びている。TV用液晶パネルは大型化・高精細化がさらに高まり1画素のサイズは約150μm程度である。
液晶製造装置のインクジェット技術を応用した製造プロセスの一つにスペーサ粒子分散液塗布工程がある。このプロセスは液晶画素を仕切るブラックマトリクス上に機能液であるスペーサ粒子分散液を塗布するものである。
ブラックマトリクスの線幅は約100μmであり機能液吐出ノズルから吐出されたスペーサ分散液はブラックマトリクス上に正確に塗布されなければ発光する画素内に塗布される事になり、輝度の低下につながる為、絶対にブラックマトリクス上に塗布されなければならない。
この為、機能液塗布装置に搭載するステージは精密でなければならない。しかしながら、いくら機械的に調整してインクヘッドを移動させても、機械のもつ固有のくせによって、移動方向と垂直方向にインクヘッドが左右に振れるヨーイングが発生し、その量を完全に除去することはできない。ステージ調整時にはヨーイングを何らかの方法で測定し、稼動時にその量を補正する必要がある。
従来は、このヨーイング量を機能液塗布装置外に設けたレーザ測長器により絶対的なスケールで測定していた。
しかしながら、上記従来技術のレーザ測長器は高価で取扱いが困難であり、測定者による測定バラつきが問題となっていた。
従って、本発明の第1の目的は、安価な機構でヨーイング量を測定でき、着弾位置を補正できる機能液塗布装置及び機能液塗布方法を提供することである。
本発明の第2の目的は、測定者によらず安定してヨーイング量を測定でき、着弾位置を補正ができる機能液塗布装置及び機能液塗布方法を提供することである。
本発明の上記目的を達成するために、処理基板に対し機能液を塗布する複数のノズルを有するヘッド部と前記ヘッド部を回転するヘッド部回転部を有する機能液供給ヘッドブロックを具備する機能液供給ブロックを支持する支持体に沿って、前記機能液供給ブロックを一定方向に移動させ、前記機能液供給ブロックに搭載された複数のカメラで前記処理基板を撮像し、前記撮像ステップの結果から前記支持体のヨーイング量を求め、前記ヨーイング量測定ステップの結果に基づいて前記機能液を塗布する位置を補正することを有することを第1の特徴とする。
また、本発明の上記目的を達成するために、上記第1の特徴に加え、前記ヨーイング量測定ステップは、前記ヨーイング量を前記処理基板設けられた規則的に設けられた線あるいは領域に基づいても求めることを第2の特徴とする。
さらに、本発明の上記目的を達成するために、上記第1または第2の特徴に加え、前記複数は2台であることを第3の特徴とする。
また、本発明の上記目的を達成するために、上記第3の特徴に加え、前記2台のカメラ間隔は前記規則的に設けられた線あるいは領域の整数倍であること第4の特徴とする。
また、本発明の上記目的を達成するために、上記第3または第4の特徴に加え、前記2台のカメラの設置位置は前記ヘッド部の回転中心に対して左右に等距離に設けたことを第5の特徴とする。
さらに、本発明の上記目的を達成するために、上記第3または第5の特徴に加え、前記2台のカメラを前記機能液供給ヘッドブロックあるいは前記機能液供給ヘッドブロックのうち前記ヘッド部の両サイドに、前記一定方向に沿って設けたことを第6の特徴とする。
また、本発明の上記目的を達成するために、上記第4乃至第6の特徴に加え、前記処理基板は液晶基板であり、前記線はブラックマトリクスであり、前記領域はブラックマトリクス領域あるいはカラーフィルタ領域であることを第7の特徴とする。
また、本発明の上記目的を達成するために、上記第7の特徴に加え、前記機能液はブラックマトリクス上に塗布する機能液であることを第8の特徴とする。
さらに、本発明の上記目的を達成するために、上記第1乃至第8の特徴に加え、前記ヨーイング量は、前記一定方向、前記一定方向に垂直方向及び前記ヘッド部回転中心における回転角であることを第9の特徴とする。
また、本発明の上記目的を達成するために、上記第1の特徴に加え、複数のカメラのうち少なくとも1台が前記処理基板と前記基板を載置する載置台のアライメントのためのアライメントマークを撮像することを第10の特徴とする。
上記本発明によれば、安価な機構でヨーイング量を測定でき、着弾位置を補正できる機能液塗布装置及び機能液塗布方法を提供することができる。
また、上記本発明によれば、測定者によらず安定してヨーイング量を測定でき、着弾位置を補正できる機能液塗布装置及び機能液塗布方法を提供することである。
図1は、液晶基板の遮光領域であるブラックマトリクスに機能液の一例であるスペーサ粒子分散液を塗布する塗布装置100としての本発明の実施形態を示す概略図である。
塗布装置100には、大別してステージ20と、ステージ20を跨ぐように設けたガントリ30と、これらの制御する画像モニター61を有する制御装置6とがある。ステージ20の上面には、液晶基板などの処理基板3を載置する載置台40をX軸方向に移動させるX軸テーブル21があり、載置台40はエンコーダ付きX軸リニアモータ(図示せず)によってX軸レール22上を走行制御される。
塗布装置100には、大別してステージ20と、ステージ20を跨ぐように設けたガントリ30と、これらの制御する画像モニター61を有する制御装置6とがある。ステージ20の上面には、液晶基板などの処理基板3を載置する載置台40をX軸方向に移動させるX軸テーブル21があり、載置台40はエンコーダ付きX軸リニアモータ(図示せず)によってX軸レール22上を走行制御される。
一方、ガントリ30には、複数、例えば4台の機能液供給ブロック10(同一機能ため一台を図示、以下ブロックと略す)をY軸方向に移動させるY軸テーブル31がある。Y軸テーブル31は保護ケースで覆われており、その内部上部にY軸レール(図示せず)、その下部にブロック10の位置を検出するY軸用リニアエンコーダ(図示せず)が設けられている。
ブロック10は、両サイドにCCDカメラ5L、5Rを搭載し、複数の機能液吐出ノズル(以下、ノズルと略す)を有する機能液供給ヘッドブロック(以下、ヘッドブロックと略す)11と、前記ヘッドブロック11に機能液を供給する機能液供給タンク12とに大別される。
図2は、前記ヘッドブロック11を詳細に示した図である。ヘッドブロック11は、4つのノズルヘッド111〜4を有するヘッド部11Hと、ヘッド部11Hをその中心11Cから回転させるノズル部回転部11Kを有する。各ノズルヘッド111〜4には128個の吐出ノズルがY軸方向に列状に設けてあり、各吐出ノズルからブラックマトリクスに向けてスペーサ粒子分散液を吐出する
そこで、4台のブロック10をY軸方向に配置し移動させ、載置台40をX軸方向に移動させることによって、前記ノズルから、ブラックマトリクスにスペーサ粒子分散液の機能液を塗布することにより、スペーサ粒子分散液を所望の位置に着弾する。
そこで、4台のブロック10をY軸方向に配置し移動させ、載置台40をX軸方向に移動させることによって、前記ノズルから、ブラックマトリクスにスペーサ粒子分散液の機能液を塗布することにより、スペーサ粒子分散液を所望の位置に着弾する。
前記ブロック10をY軸、即ちガントリ30に沿って移動させると、ガントリ30の持つ固有のくせによってそのときヨーイングが発生する。図3はその模様を概念的に示したものである。実線7は、図2に示すヘッド部11Hの回転中心位置11Cの奇跡を示したもので、ここでは、仮にヨーイング曲線と呼ぶ。ヨーイングには、各測定地点nにおける回転中心位置11Cの基準位置からのX、Y軸方向ずれ(dxn、dyn)と、ノズル部11のY軸方向に対する傾斜θnの3成分(dxn、dyn、θn)がある。以下、ヨーイングとは回転中心位置11Cでのヨーイングを意味し、後述するカメラによる測定位置におけるX、Y軸方向ずれは、単にズレと表す。
図2は本発明の一実施形態を示す図で、ヘッドブロック11のうちヘッド部11Hの両端にCCDカメラ5L、5R(以下CCDを略す)を搭載し、処理対象とする実基板を撮像し、ヨーイング3成分(dxn、dyn、θn)を求める例である。図4に本実施形態における処理フローを示した図である。図4のStep7に示すように、実際の処理時には求めたこれらの値によりスペーサ粒子の着弾位置を補正し、ブラックマトリクス上にスペーサ粒子分散液が吐出する。
前述した基準位置は、アライメントマークによってアライメント(図4:Step1)された実際の処理基板3のブラックマトリクスやカラーフィルタ領域等を用いる。本実施形態では、図5(b)示すように、カラーフィルタ領域の中心位置を基準とする。一つの四角で示すカラーフィルタ領域、即ちパネル画素は規則的に配置されているので、ヘッド部11Hの両端に設けたカメラ5L、5R間の距離L及び図3に示す各測定位置のピッチΔPをパネル画素ピッチの整数倍とする。その結果、ガントリ30にヨーイングがなく、カラーフィルタ領域と平行であるならば、図3に示すヨーイング曲線における各測定位置で両カメラの画像中心をともにカラーフィルタ領域の中心位置に設定することができる。そこで、ヨーイングが存在すれば、両カメラ画像のターゲットとするカラーフィルタ領域の中心位置(図5、図6に示す細い一点鎖線)は、画像中心(図5、図6に示す太い一点鎖線)からずれる。そのズレ量(dx1n、dy1n) (dx2n、dy2n)を求める。カラーフィルタ領域は、R(赤)、G(緑)、B(青)からなり、ターゲットとしては、その一つを用いその大きさは横150μm×縦450μmである。前記ヨーイング量の大きさは高々50μm程度と考えるが、万が一隣の領域にずれたとしても前回の測定位置からの連続性を考慮することにより隣の領域かを判定できる。
そこで、図6(b)に示すカラーフィルタ領域の中心位置K(Xk、Yk)とし、図7に示すようにカメラ5Lの画像を制御装置6内の画像処理ユニット62に取りこみ、パターンマッチング処理(画面内でパターンと一番合致した時)の画像の画像ズレを検出し、画像中心が中心位置Kにくるように、制御装置6が基板をX軸方向に、ブロック10をY軸方向に移動制御する(図4:Step2)。その後、カメラ5Rによってヘッド部11Hの他端における画像を取り込み画像処理ユニット62でパターンマッチング処理して、カメラ5R位置におけるズレ量(dx21、dy21)を求める(Step3)。このときの、ヘッド部11Hの回転中心位置11Cでのヨーイング3成分(dxc1、dyc1、θ1)は以下のとおりとなる。
dxc1=(dx21 + dx11)/2=dx21/2
dyc1=(dy21 + dy11)/2=dy21/2 (1)
θ1 =Sin-1{(dx21 - dx11)/L}=Sin-1(dx21/L)
その後、ヘッドブロック11を測定ピッチΔP移動させ(Step4)、カメラ5L、5Rの画像を取り込み画像処理ユニット62でパターンマッチング処理して、各カメラにおけるズレ量を求め、式(2)に基づき図6に示す測定位置でのヘッド部11Hの回転中心位置11Cのヨーイング量を求める(Step5)。式(2)において、nは2以上での測定位置を示す。
dyc1=(dy21 + dy11)/2=dy21/2 (1)
θ1 =Sin-1{(dx21 - dx11)/L}=Sin-1(dx21/L)
その後、ヘッドブロック11を測定ピッチΔP移動させ(Step4)、カメラ5L、5Rの画像を取り込み画像処理ユニット62でパターンマッチング処理して、各カメラにおけるズレ量を求め、式(2)に基づき図6に示す測定位置でのヘッド部11Hの回転中心位置11Cのヨーイング量を求める(Step5)。式(2)において、nは2以上での測定位置を示す。
dxcn=(dx2n + dx1n)/2
dyc1=(dy2n + dy1n)/2 (2)
θn =Sin-1{(dx2n - dx1n)/L}
このStep4及びStep5の処理を所定回数のN回を処理する(Step6)。
dyc1=(dy2n + dy1n)/2 (2)
θn =Sin-1{(dx2n - dx1n)/L}
このStep4及びStep5の処理を所定回数のN回を処理する(Step6)。
式(2)の処理を最初の測定位置1を基準とすれば、測定位置nの各成分のヨーイング量は
dxcn1=dxcn - dyc1
dycn1=dyc1 - dyc1 (3)
θn1 ≒θn -θ1
となる。
dxcn1=dxcn - dyc1
dycn1=dyc1 - dyc1 (3)
θn1 ≒θn -θ1
となる。
図8は、本実施形態における測定結果の一例を示したものである。横軸にY軸(ガントリ)の位置を、縦軸左にX,Yヨーイング量を、縦軸右にθヨーイング量を示している。
図8において、大きな傾向として、Yヨーイングは右上がりに、Xヨーイングは右下がりに変化している。前者は、ヘッドブロック11のY軸方向の移動をエンコーダの出力で制御しているが、そのエンコーダの線形蓄積誤差の影響と考える。後者は、載置台上でのアライメントの持つ処理基板3の残留傾斜と考える。
いずれにしても、実補正においては、エンコーダやアライメントの影響による誤差を含めて補正する必要があり、式(2)または式(3)により、着弾位置を補正して、ブラックマトリクス上にスペーサ粒子分散液が吐出する(Step7)。
図8において、大きな傾向として、Yヨーイングは右上がりに、Xヨーイングは右下がりに変化している。前者は、ヘッドブロック11のY軸方向の移動をエンコーダの出力で制御しているが、そのエンコーダの線形蓄積誤差の影響と考える。後者は、載置台上でのアライメントの持つ処理基板3の残留傾斜と考える。
いずれにしても、実補正においては、エンコーダやアライメントの影響による誤差を含めて補正する必要があり、式(2)または式(3)により、着弾位置を補正して、ブラックマトリクス上にスペーサ粒子分散液が吐出する(Step7)。
以上の説明において、複数のCCDカメラを使用しθ軸のヨーイングを求める場合、カメラ1とCカメラ2の画像取得タイミングは同時取り込みが望ましい。
また、測定開始位置はどこでもよいが、実際の運用で基準となる位置、例えばステージ座標の中心位置を選ぶことが望ましい。
また、上記実施形態では、測定開始位置においてカメラ5Lの初期ズレをゼロに調整したが必ずしもゼロに調整する必要はない。
さらに、上記実施形態の説明においては、ヨーイング測定用に設けたカメラをアライメント用途と兼用して用いることができる。例えば、(1)一つのブロック10に設けられた2台のカメラの間隔と略同じ距離に設けられた処理基板3及び載置台40にアライメントマークを設ける、あるいは、(2)処理基板3の両端部分及びそれに対応した載置台40にアライメントマークを設けて、例えば4台あるブロック10の両端に設けたカメラで当該マークを撮像することで、アライメントを行なうことができる。
従って、上記実施形態によれば、CCDカメラを2台と簡単なデータ処理装置を設けることによって、安価な機構でヨーイング量を測定でき、測定者によらず、着弾位置を補正できる機能液塗布装置及び機能液塗布方法を提供することができる。
上記実施形態では、ヘッドブロック11のY軸方向に2台のカメラを配置したが、ヘッドブロック11のX軸方向に2台のカメラを配置しても同様な効果を得ることができる。
上記実施形態では、ヘッドブロック11のY軸方向に2台のカメラを配置したが、ヘッドブロック11のX軸方向に2台のカメラを配置しても同様な効果を得ることができる。
以上の説明では、液晶基板にブラックマトリクスに機能液を塗布することを重点に説明してきたが、インクなどもその他のものを塗布する装置においても適用可能である。
3:処理基板 5L、5R:CCDカメラ
6:制御装置 10:ブロック(機能液供給ブロック)
11:ヘッドブロック(機能液供給ヘッドブロック)
11H:ヘッド部 111〜4:ヘッド部の各ヘッド
11C:ヘッド部の回転中心位置 11K:ヘッド部回転部
12:機能液供給タンク 20:ステージ
30:ガントリ 40:載置台
61:画像モニター 62:画像処理ユニット
100:塗布装置。
6:制御装置 10:ブロック(機能液供給ブロック)
11:ヘッドブロック(機能液供給ヘッドブロック)
11H:ヘッド部 111〜4:ヘッド部の各ヘッド
11C:ヘッド部の回転中心位置 11K:ヘッド部回転部
12:機能液供給タンク 20:ステージ
30:ガントリ 40:載置台
61:画像モニター 62:画像処理ユニット
100:塗布装置。
Claims (19)
- 処理基板に対し機能液を塗布する複数のノズルを有するヘッド部と前記ヘッド部を回転するヘッド部回転部を有する機能液供給ヘッドブロックを少なくとも具備する機能液供給ブロックと、前記機能液供給ブロックを支持する支持体と、前記支持体に沿って一定方向に前記機能液供給ブロックを移動させる移動機構を有する機能液塗布装置において、
前記機能液供給ブロックに搭載され、前記処理基板を撮像する複数のカメラと、前記撮像結果から前記支持体のヨーイング量を求めるヨーイング量測定手段と、前記ヨーイング量から前記機能液を塗布する位置を補正する補正手段とを有することを特徴とする機能液塗布装置。 - 前記ヨーイング量測定手段は、前記ヨーイング量を前記処理基板に規則的に設けられた線あるいは領域に基づいても求めることを特徴とする請求項1に記載の機能液塗布装置。
- 前記複数は2台であることを特徴とする請求項1または2に記載の機能液塗布装置。
- 前記2台のカメラ間隔は前記規則的に設けられた線あるいは領域の整数倍であること特徴とする請求項3に記載の機能液塗布装置。
- 前記2台のカメラの設置位置は前記ヘッド部の回転中心に対して左右に等距離に設けたことを特徴とする請求項3または4に記載の機能液塗布装置。
- 前記2台のカメラを前記機能液供給ヘッドブロックあるいは前記機能液供給ヘッドブロックのうち前記ヘッド部の両サイドに、前記一定方向に沿って設けたことを特徴とする請求項3乃至5に記載のいずれかの機能液塗布装置。
- 前記2台のカメラを前記機能液供給ヘッドブロックあるいは前記機能液供給ヘッドブロックのうち前記ヘッド部の前記一定方向に垂直方向であって前記処理基板に対し平行面に設けたことを特徴とする請求項3乃至5に記載のいずれかの機能液塗布装置。
- 前記処理基板は液晶基板であり、前記線はブラックマトリクスであり、前記領域はブラックマトリクス領域あるいはカラーフィルタ領域であることを特徴とする請求項4乃至7に記載のいずれかの機能液塗布装置。
- 前記機能液は、ブラックマトリクス上に塗布する機能液であることを特徴とする請求項8に記載の機能液塗布装置。
- 前記ヨーイング量は、前記一定方向、前記一定方向に垂直方向及び前記回転中心における回転角であることを特徴とする請求項1乃至9に記載のいずれかの機能液塗布装置。
- 前記複数のカメラのうち少なくとも1台は、前記処理基板の前記機能液塗布装置への載置時のアライメントに用いることを特徴とする請求項1に記載の機能液塗布装置。
- 処理基板に対し機能液を塗布する複数のノズルを有するヘッド部と前記ヘッド部を回転するヘッド部回転部を有する機能液供給ヘッドブロックを具備する機能液供給ブロックを支持する支持体に沿って、前記機能液供給ブロックを一定方向に移動させる移動機構する移動ステップと、前記機能液供給ブロックに搭載された複数のカメラで前記処理基板を撮像する撮像する撮像ステップと、前記撮像ステップの結果から前記支持体のヨーイング量を求めるヨーイング量測定ステップと及び前記ヨーイング量測定ステップの結果に基づいて前記機能液を塗布する位置を補正する補正ステップとを有することを特徴とする機能液塗布方法。
- 前記ヨーイング量測定ステップは、前記ヨーイング量を前記処理基板設けられた規則的に設けられた線あるいは領域に基づいても求めることを特徴とする請求項12に記載の機能液塗布方法。
- 前記複数は2台であることを特徴とする請求項12または13に記載の機能液塗布方法。
- 前記2台のカメラの設置位置は前記ヘッド部の回転中心に対して左右に等距離に設けたことを特徴とする請求項14に記載の機能液塗布方法。
- 前記処理基板は液晶基板であり、前記機能液はブラックマトリクス上に塗布する機能液であり、前記線はブラックマトリクスであり、前記領域はブラックマトリクス領域あるいはカラーフィルタ領域であることを特徴とする請求項14に記載の機能液塗布方法。
- 前記ヨーイング量は、前記一定方向、前記一定方向に垂直方向及び前記ヘッド部回転中心における回転角であることを特徴とする請求項12乃至16に記載のいずれかの機能液塗布方法。
- 前記処理基板と前記基板を載置する載置台のアライメントマークを撮像し、両者のアライメントを行なうアライメントステップを有することを特徴とする請求項12に記載の機能液塗布方法。
- 複数のカメラのうち少なくとも1台がアライメントマークを撮像することを特徴とする請求項18に記載の機能液塗布方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008326758A JP2010151856A (ja) | 2008-12-24 | 2008-12-24 | 機能液塗布装置及び機能液塗布方法 |
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2008326758A Pending JP2010151856A (ja) | 2008-12-24 | 2008-12-24 | 機能液塗布装置及び機能液塗布方法 |
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