JP5307468B2 - 液滴塗布方法及び装置 - Google Patents

Description

本発明は液滴塗布方法及び装置に関する。

インク等の液滴塗布装置として、特許文献１に記載の如く、基板に対して塗布液を液滴として吐出させて塗布する複数のノズルを備えた塗布ヘッドを有してなるものがある。塗布ヘッドは、各ノズルに対応する圧電素子を備え、各圧電素子に対する駆動電圧の印加に応じて各ノズルから塗布液を吐出する。このとき、配向膜やカラーフィルタ等の薄膜の形成に用いられる塗布ヘッドでは、均一な厚さの膜を形成するために、各ノズルからの塗布液の吐出量が均一に調整されていることが求められる。ところが、各ノズルの個体差、各圧電素子の個体差等により、各圧電素子に同一の駆動電圧を印加しても、各ノズルからの塗布液の吐出量は必ずしも同一にならない。

そこで、従来技術では、各ノズルからの塗布液の吐出量を検出し、この検出結果に基づいて各圧電素子の印加電圧を調整することにより、各ノズルからの塗布液の吐出量が互いに同一になるように調整している。
特開2004-136582号公報

従来技術では、各ノズルからの塗布液の吐出量を、各ノズルから吐出されて検査用基板に着弾した液滴の着弾面積（投影面積）から測定している。液滴の着弾面積と吐出量は比例関係にある。

従来技術では、検査用基板表面全体において塗布液との接触角が均一であるものとして、上述の測定をしている。

しかしながら、検査用基板の表面における塗布液との接触角は基板上の場所（領域）によってばらつきを有している。接触角と着弾した液滴の関係は、簡略化して示すと図４の如くになる。図４に示した４つの液滴の塗布量は、同じである。

このように、検査用基板の各場所で、塗布量が同じであっても接触角が小さい場所に比べて接触角が大きい場所では、着弾した塗布液の投影面積が小さくなる。このような検査用基板を用いた場合、着弾面積の検出結果に接触角のばらつきに起因する誤差が含まれ、ノズル間の吐出量を均一に調整することが困難になる。

本発明の課題は、検査用基板の各領域間で塗布液との接触角にばらつきがあっても、各ノズルから吐出されて基板に着弾する液滴の着弾面積に基づいて、各ノズルの個体差に起因する各ノズルの吐出量を均等化することにある。

請求項１の発明は、塗布ヘッドに設けた複数のノズルから塗布液を液滴として吐出させて基板に塗布するに先立って、前記複数のノズルから吐出されて検査用基板に塗布された各液滴の着弾面積に基づいて前記各ノズルからの液滴の吐出量の調整を行う液滴塗布方法において、
前記検査用基板上において前記各液滴が塗布される各位置間での接触角のばらつきを求め、求めた接触角のばらつきを用いて、前記着弾面積に基づいて調整される前記吐出量を補正するようにしたものである。

請求項２の発明は、請求項１の発明において更に、前記各位置間での接触角のばらつきに基づいて当該位置毎に狙いの着弾面積を求め、
前記位置毎の狙いの着弾面積と前記各位置に塗布された液滴の着弾面積との差に基づいて前記吐出量を調整するようにしたものである。

請求項３の発明は、請求項１又は２の発明において更に、前記複数のノズルのうち基準ノズルとして選択した１つのノズルから前記検査用基板の前記各位置に同等量の液滴を吐出したときの前記各位置間での着弾面積のばらつきを、前記各位置間での接触角のばらつきとして求めるようにしたものである。

請求項４の発明は、塗布ヘッドに設けた複数のノズルから塗布液を液滴として吐出させて基板に塗布するに先立って、前記複数のノズルから吐出されて検査用基板に塗布された各液滴の着弾面積に基づいて前記各ノズルからの液滴の吐出量を調整する制御装置を備えてなる液滴塗布装置において、
前記検査用基板上において前記各液滴が塗布される各位置間での接触角のばらつきを求める手段を備え、
前記制御装置は、前記各位置間での接触角のばらつきを用いて、前記着弾面積に基づいて調整される前記吐出量を補正するようにしたものである。

請求項５の発明は、請求項４の発明において更に、前記制御装置は、
前記各位置間での接触角のばらつきに基づいて当該位置毎に狙いの着弾面積を求め、
前記位置毎の狙いの着弾面積と前記各位置に塗布された液滴の着弾面積との差に基づいて前記吐出量を調整するようにしたものである。

請求項６の発明は、請求項４又は５の発明において更に、前記接触角のばらつきを求める手段は、
前記複数のノズルのうち基準ノズルとして選択した１つのノズルから前記検査用基板の前記各位置に同等量の液滴を吐出したときの前記各位置間での着弾面積のばらつきを、各前記各位置間での接触角のばらつきとして求めるようにしたものである。

本発明によれば、検査用基板の各領域間で塗布液との接触角にばらつきがあっても、各ノズルから吐出されて基板に着弾する液滴の着弾面積を各領域間での接触角のばらつきにより補正し、この補正した各ノズルの狙いの着弾面積に基づいて各ノズルの個体差に起因する各ノズルの吐出量を均等化することができる。

図１は液滴塗布装置を示す模式図、図２は検査部による検査状態を示す模式図、図３は基板の接触角分布を示す模式図、図４は基板の接触角と着弾した液滴の関係を示し、（Ａ）は側面図、（Ｂ）は平面図である。

液滴塗布装置１は、図１に示す如く、塗布対象物である基板Ｋが水平状態（図１中、Ｘ軸方向とそれに直交するＹ軸方向に沿う状態）で載置される移動テーブル２と、その移動テーブル２を保持してＹ軸方向に移動させるＹ軸移動機構３と、そのＹ軸移動機構３を介して移動テーブル２をＸ軸方向に移動させるＸ軸移動機構４と、移動テーブル２上の基板Ｋに向けてインク等の塗布液を液滴Ｅとして吐出する複数の塗布ヘッド５と、基板Ｋ上の液滴Ｅを撮像する撮像部６と、その撮像部６により撮像された液滴Ｅの画像に基づく検査を行なう検査部７と、撮像部６により撮像された液滴Ｅの画像を表示する表示部８と、それらのＹ軸移動機構３、Ｘ軸移動機構４、各塗布ヘッド５、撮像部６及び検査部７等を制御する制御部９を備えている。

移動テーブル２は、Ｙ軸移動機構３上に積層され、Ｙ軸方向に移動可能に設けられている。この移動テーブル２はＹ軸移動機構３によりＹ軸方向に移動する。尚、移動テーブル２には、基板Ｋが自重により載置されるが、これに限るものではなく、例えば、その基板Ｋを保持するため、静電チャックや吸着チャック等の機構を設けるようにしても良い。このような移動テーブル２の端部には、各塗布ヘッド５の吐出を安定させるための吐出安定部２ａが設けられている。この吐出安定部２ａは、各塗布ヘッド５のダミー吐出用の受皿、及び各塗布ヘッド５の吐出面をワイプするワイプブレード等を有している。

Ｙ軸移動機構３は、移動テーブル２をＹ軸方向に案内して移動させる機構である。このＹ軸移動機構３は制御部９に電気的に接続されており、その駆動が制御部９により制御される。尚、Ｙ軸移動機構３としては、例えば、リニアモータを駆動源とするリニアモータ移動機構やモータを駆動源とする送りネジ移動機構等を用いる。

Ｘ軸移動機構４は、Ｙ軸移動機構３をＸ軸方向に案内して移動させる機構である。このＸ軸移動機構４は制御部９に電気的に接続されており、その駆動が制御部９により制御される。尚、Ｘ軸移動機構４としては、例えば、リニアモータを駆動源とするリニアモータ移動機構やモータを駆動源とする送りネジ移動機構等を用いる。

塗布ヘッド５は、インク等の塗布液を収容する液体タンク（図示せず）から供給される塗布液を複数のノズルＮ（例えば、ＮＬ、ＮＣ、ＮＲ）からそれぞれ液滴Ｅとして吐出するインクジェットヘッドである。この塗布ヘッド５は、液滴Ｅを吐出する複数のノズルＮにそれぞれ対応する複数の圧電素子（図示せず）を内蔵している。各ノズルＮは、所定のピッチ（間隔）で直線一列状に並べて吐出面に形成されている。例えば、ノズルＮの数は数十個から数百個程度であり、ノズルＮの直径は数μmから数十μm程度であり、更に、ノズルＮのピッチは数十μmから数百μm程度である。

この塗布ヘッド５は制御部９に電気的に接続されており、その駆動が制御部９により制御される。塗布ヘッド５は、各圧電素子に対する駆動電圧の印加に応じて各ノズルＮから液滴（インク滴）Ｅを吐出する。ここで、塗布液は揮発性を有している。この塗布液は、基板Ｋ上に残留物として残留する溶質と、その溶質を溶解（分散）させる溶媒とにより構成されている。例えば、塗布液であるインクは、顔料、溶剤（インク溶剤）、分散剤及び添加剤等の各種の成分により構成されている。

更に、塗布ヘッド５は、回転機構（図示せず）によりθ方向（図１中、ＸＹ平面に沿う回転方向）に回転可能に支持されている。この塗布ヘッド５は、回転機構により、相対移動する基板Ｋの相対移動方向に対して所定の傾斜角度だけ傾けられ、その状態で塗布を行なう。尚、Ｙ軸方向に相対移動する基板Ｋに対して塗布を行なう場合には、塗布ヘッド５の傾斜角度を変更することによって、Ｘ軸方向の液滴Ｅの塗布ピッチを調整することができる。また、液滴Ｅの吐出周波数（吐出タイミング）を変更することによって、Ｙ軸方向の塗布ピッチを調整することができる。

撮像部６は、図２に示すように、基板Ｋ上に着弾した各液滴Ｅを撮像する撮像カメラであり、各液滴Ｅを検出する検出部として機能する。この撮像部６は検査部７及び制御部９に電気的に接続されており、その駆動は制御部９により制御され、撮像した各液滴Ｅの画像を検査部７に送信する。尚、撮像部６としては、例えばＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラ等を用いる。

検査部７は、撮像部６から送信された各液滴Ｅの画像（検出結果）に基づいて、基板Ｋ上に着弾した各液滴Ｅの各々の着弾面積（投影面積）を求める。更に、検査部７は、求めた各液滴Ｅの各々の着弾面積に基づいて各液滴Ｅの塗布量を求め、それらの液滴Ｅの塗布量が所定の許容範囲内にあるか否かを判断し、その検査結果を制御部９に送信する。ここで、その塗布量は、液滴Ｅの着弾面積と塗布量（滴下量）との関係式から算出される。例えば、液滴Ｅの着弾面積と塗布量とは比例関係にある。その関係式は検査部７が備える記憶部に格納されている。尚、検査部７としては、例えばコンピュータ等を用いる。

表示部８は、撮像した各液滴Ｅの画像等の各種画像を表示する表示装置である。この表示部８は電気的に検査部７に接続されている。尚、表示部８としては、例えば、液晶ディスプレイやＣＲＴディスプレイ等を用いる。

制御部９は、各部を集中的に制御するマイクロコンピュータと、塗布に関する塗布情報や各種のプログラム等を記憶する記憶部と（いずれも図示せず）を備えている。塗布情報は、ドットパターン等の所定の塗布パターン、塗布ヘッド５の傾斜角度、塗布ヘッド５の吐出周波数及び基板Ｋの移動速度に関する情報等を含んでいる。この塗布情報としては、製造塗布用の塗布情報及び検査塗布用の塗布情報（検査用のパターン及び溶媒雰囲気形成用のパターンを含む）が記憶部に格納されている。

しかるに、液滴塗布装置１の制御部９は、本発明の制御装置として機能し、各ノズルＮや圧電素子の個体差に起因する各ノズルＮからの塗布液の吐出量を正しく検査し、各ノズルＮからの塗布液の吐出量を正しく調整し、各ノズルＮからの塗布液の吐出量を互いに均等にするように制御するため、以下の如くに動作する。尚、本実施例では、図２に示すように、塗布ヘッド５が３つのノズルＮ、具体的には左ノズルＮＬ、中央ノズルＮＣ、右ノズルＮＲを備え、各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲのそれぞれが検査用基板Ｋ０上に各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲに対応して定めた３個の着弾目標領域ＭＬ、ＭＣ、ＭＲ内の着弾目標位置のそれぞれに対して塗布液を吐出して着弾させるものとする。

(A)検査用基板Ｋ０の各領域間での接触角のばらつきを求める工程
(1)基準ノズルＮ０（本実施例では、塗布ヘッド５の３つのノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲから選択した１つのノズル、例えば左ノズルＮＬを基準ノズルＮ０とする）から、検査用基板Ｋ０の各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲのそれぞれに対応する着弾目標領域ＭＬ、ＭＣ、ＭＲ内の所定の着弾目標位置に、同等量の液滴を吐出（基準ノズルＮ０の圧電素子に印加する電圧を同じ電圧Ｖａとして各領域ＭＬ、ＭＣ、ＭＲのそれぞれに吐出する）して着弾させる。

ここで、各着弾目標領域ＭＬ、ＭＣ、ＭＲは、検査用基板Ｋ０上における接触角の変化は緩慢であるから、近い範囲内であれば接触角はほぼ同じであるという考えに基づき、接触角が着弾目標領域内でほぼ同じとなるようにその大きさが設定されている。例えば数100μm〜数mm程度の範囲であれば、接触角はほぼ同一（着断面積の誤差が許容範囲内）になるが、数十mm以上離れると、接触角に差が生じる。

(2)上述(1)により、検査用基板Ｋ０の各着弾目標領域ＭＬ、ＭＣ、ＭＲ内に基準ノズルＮ０が塗布した液滴の着弾面積を検査部７において求める。検査用基板Ｋ０の着弾目標領域ＭＬに基準ノズルＮ０が塗布した液滴の着弾面積をＳｍｌとし、着弾目標領域ＭＣに基準ノズルＮ０が塗布した液滴の着弾面積をＳｍｃとし、着弾目標領域ＭＲに基準ノズルＮ０が塗布した液滴の着弾面積をＳｍｒとする。全て（３つ）の着弾目標領域ＭＬ、ＭＣ、ＭＲ内における着弾面積Ｓｍｌ、Ｓｍｃ、Ｓｍｒの平均値（着弾平均面積）を求める。
着弾平均面積Ｓａ＝（Ｓｍｌ＋Ｓｍｃ＋Ｓｍｒ）／３

(3)上述(2)で求めた検査用基板Ｋ０の着弾目標領域ＭＬ、ＭＣ、ＭＲの間での同等量の液滴の着弾面積Ｓｍｌ、Ｓｍｃ、Ｓｍｒのばらつきを、各領域のＭＬ、ＭＣ、ＭＲの間での接触角のばらつきとする。検査用基板Ｋ０の各領域ＭＬ、ＭＣ、ＭＲ毎の接触角のばらつきの補正値Ｋｍｌ、Ｋｍｃ、Ｋｍｒを求める。
着弾目標領域ＭＬの補正値Ｋｍｌ＝Ｓｍｌ／Ｓａ
着弾目標領域ＭＣの補正値Ｋｍｃ＝Ｓｍｃ／Ｓａ
着弾目標領域ＭＲの補正値Ｋｍｒ＝Ｓｍｒ／Ｓａ

(B)３つの各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲからの液滴の吐出量が均等化されたとするときに、各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲから吐出されて検査用基板Ｋ０の各着弾目標領域ＭＬ、ＭＣ、ＭＲに着弾するはずの液滴の狙いの着弾面積Ｔｍｌ、Ｔｍｃ、Ｔｍｒを、上述(A)で求めた各領域ＭＬ、ＭＣ、ＭＲの間での接触角のばらつき（各領域ＭＬ、ＭＣ、ＭＲ毎の接触角のばらつきの補正値Ｋｍｌ、Ｋｍｃ、Ｋｍｒ）により補正して求める工程

ここで、３つの各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲからの液滴の吐出量が均等化されたとするときに、接触角のばらつきのない基板上で得られるべき着弾面積（目標とする着弾面積）をＴ０とする（Ｔ０は任意に設定すれば良い）。狙いの着弾面積Ｔｍｌ、Ｔｍｃ、Ｔｍｒは、３つの各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲからの液滴の吐出量が均等化されたとするときの、検査用基板Ｋ０の各領域ＭＬ、ＭＣ、ＭＲで得られるべき着弾面積であり、以下の如くに求める。
着弾目標領域ＭＬでの狙いの着弾面積Ｔｍｌ＝Ｔ０×Ｋｍｌ
着弾目標領域ＭＣでの狙いの着弾面積Ｔｍｃ＝Ｔ０×Ｋｍｃ
着弾目標領域ＭＲでの狙いの着弾面積Ｔｍｒ＝Ｔ０×Ｋｍｒ

(C)３つの各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲからの吐出量を当該ノズルに対する狙いの着弾面積Ｔｍｌ、Ｔｍｃ、Ｔｍｒが実現されるように制御する工程

(1)３つの各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲから検査用基板Ｋ０の各着弾目標領域ＭＬ、ＭＣ、ＭＲ内の着弾目標位置に塗布液を吐出して着弾させる。このとき、各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲについて２回ずつ塗布液を吐出する。例えば、左ノズルＮＬの例で説明すると、着弾目標領域ＭＬ内の着弾目標位置ＭＬａに対して圧電素子に対する低い印加電圧ＶＬｎｌで塗布液を吐出し、着弾目標領域ＭＬ内の着弾目標位置ＭＬｂに対して圧電素子に対する高い印加電圧ＶＨｎｌで塗布液を吐出する。即ち、着弾目標領域ＭＬ、ＭＣ、ＭＲ内には、基準ノズルＮ０による塗布液の着弾目標位置と上述の２つの着弾目標位置ＭＬａ、ＭＬｂの合計３ヵ所の着弾目標位置が設定される。

(2)上述(1)により検査用基板Ｋ０の各着弾目標領域ＭＬ（着弾目標位置ＭＬａとＭＬｂ）、ＭＣ（着弾目標位置ＭＣａとＭＣｂ）、ＭＲ（着弾目標位置ＭＲａとＭＲｂ）に各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲが、高い電圧値ＶＨｎｌ、ＶＨｎｃ、ＶＨｎｒと低い電圧値ＶＬｎｌ、ＶＬｎｃ、ＶＬｎｒのそれぞれで塗布した液滴の着弾面積ＳＨｍｌ、ＳＨｍｃ、ＳＨｍｒと着弾面積ＳＬｍｌ、ＳＬｍｃ、ＳＬｍｒを検査部７において求める。

(3)上述(2)で各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲの圧電素子に印加した電圧ＶＨｎｌ、ＶＬｎｌ、ＶＨｎｃ、ＶＬｎｃ、ＶＨｎｒ、ＶＬｎｒと、当該電圧で各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲから検査用基板Ｋ０の着弾目標領域ＭＬ、ＭＣ、ＭＲ内に吐出された液滴の実際の着弾面積ＳＨｍｌ、ＳＬｍｌ、ＳＨｍｃ、ＳＬｍｃ、ＳＨｍｒ、ＳＬｍｒとに基づいて、各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲが各領域ＭＬ、ＭＣ、ＭＲに単位の着弾面積を実現するに必要な電圧を表わす各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲの電圧係数ＮＬα、ＮＣα、ＮＲαを求める。
ノズルＮＬの電圧係数ＮＬα＝（ＶＨｎｌ−ＶＬｎｌ）／（ＳＨｍｌ−ＳＬｍｌ）
ノズルＮＣの電圧係数ＮＣα＝（ＶＨｎｃ−ＶＬｎｃ）／（ＳＨｍｃ−ＳＬｍｃ）
ノズルＮＲの電圧係数ＮＲα＝（ＶＨｎｒ−ＶＬｎｒ）／（ＳＨｍｒ−ＳＬｍｒ）

(4)各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲの狙いの着弾面積Ｔｍｌ、Ｔｍｃ、Ｔｍｒと実際の着弾面積ＳＬｍｌ、ＳＬｍｃ、ＳＬｍｒ（着弾面積ＳＨｍｌ、ＳＨｍｃ、ＳＨｍｒでも良い）の差の値に、各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲの電圧係数ＮＬα、ＮＣα、ＮＲαを乗じて、各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲの圧電素子に印加すべき電圧Ｖ０ｎｌ、Ｖ０ｎｃ、Ｖ０ｎｒを調整する。
ノズルＮＬの圧電素子に印加する電圧値Ｖ０ｎｌ
＝ＶＬｎｌ＋ＮＬα×（Ｔｍｌ−ＳＬｍｌ）
ノズルＮＣの圧電素子に印加する電圧値Ｖ０ｎｃ
＝ＶＬｎｃ＋ＮＣα×（Ｔｍｃ−ＳＬｍｃ）
ノズルＮＲの圧電素子に印加する電圧値Ｖ０ｎｒ
＝ＶＬｎｒ＋ＮＲα×（Ｔｍｒ−ＳＬｍｒ）

制御部９が、このようにして求めた各ノズルの圧電素子毎の印加電圧をそれぞれの圧電素子に印加することによって、各ノズルからの塗布液の吐出量を均等化するものになる。

尚、前述(A)の検査用基板の接触角のばらつきは、予め求めておいても良い。例えば、基板上を接触角がほぼ同じであろう大きさの矩形領域で行列状に区分けし、区分けした領域毎に１箇所ずつ基準ノズルを用いて液滴を着弾させる。各領域に着弾させた液滴の着弾面積から、区分けした領域毎に、前述(A)の(2)、(3)の要領で、接触角のばらつきに対する補正値を求める。前述(B)の如くに、塗布ヘッドの各ノズルが液滴を着弾させた領域に応じて補正値を選択して用いることにより、各ノズルから各領域に対する狙いの着弾面積を求めることができる。

本実施例によれば以下の作用効果を奏する。
(a)検査用基板Ｋ０の各領域ＭＬ、ＭＣ、ＭＲ間での接触角のばらつきを求め、各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲからの液滴の吐出量が均等化されたときの、各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲから検査用基板Ｋ０の各領域ＭＬ、ＭＣ、ＭＲに着弾するはずの液滴の狙いの着弾面積を、各領域ＭＬ、ＭＣ、ＭＲ間での接触角のばらつきにより補正して求め、各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲからの吐出量を検査用基板Ｋ０上で当該ノズルの狙いの着弾面積が実現されるように制御するものになる。従って、検査用基板Ｋ０の各領域ＭＬ、ＭＣ、ＭＲ間で塗布液との接触角にばらつきがあっても、各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲから吐出されて基板に着弾する液滴の着弾面積を各領域ＭＬ、ＭＣ、ＭＲ間での接触角のばらつきにより補正し、この補正した各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲの狙いの着弾面積に基づいて各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲの個体差に起因する各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲの吐出量を均等化することができる。これにより、カラーフィルタ基板等の生産用の基板に対して塗布を行なうときには、各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲからの吐出量が均等に調整されているから、ノズル間での吐出量のばらつきに起因する塗布ムラ等の不具合が防止され、品質の向上を図ることができる。

(b)基準ノズルＮ０から検査用基板Ｋ０の各領域ＭＬ、ＭＣ、ＭＲに、同等量の液滴を吐出したときの、各領域ＭＬ、ＭＣ、ＭＲ間での当該液滴の着弾面積のばらつきを、各領域ＭＬ、ＭＣ、ＭＲ間での接触角のばらつきとする。これにより、検査用基板Ｋ０の各領域ＭＬ、ＭＣ、ＭＲ間での接触角のばらつきを簡易に求めることができる。

(c)各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲの圧電素子に印加する電圧と、当該電圧で各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲから検査用基板Ｋ０の各領域ＭＬ、ＭＣ、ＭＲに吐出された液滴の実際の着弾面積とに基づいて、各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲが各領域ＭＬ、ＭＣ、ＭＲに単位の着弾面積を実現するに必要な電圧を表わす各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲの電圧係数を求める。そして、各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲの狙いの着弾面積と実際の着弾面積の差の値に、各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲの電圧係数を乗じて各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲの圧電素子に印加すべき電圧を調整する。これにより、各ノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲからの吐出量を当該ノズルの狙いの着弾面積が実現するように簡易に制御することができる。

(d)塗布ヘッド５の複数のノズルＮＬ、ＮＣ、ＮＲから選択した１つのノズルＮＬを基準ノズルＮ０とすることにより、検査用基板Ｋ０の各領域ＭＬ、ＭＣ、ＭＲ間の接触角のばらつきを求める基準ノズルＮ０として、専用ノズルを用意する必要がなく、簡素化できる。

以上、本発明の実施例を図面により詳述したが、本発明の具体的な構成はこの実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。例えば、塗布ヘッド５が備える複数のノズルＮの中から選択した１つのノズルＮを基準ノズルとする例で説明したが、塗布ヘッド５の１つのノズル、又は塗布ヘッド５とは別に設けた塗布ヘッドの１つのノズルを基準ノズルとして専用に用いるようにしても良い。

図１は液滴塗布装置を示す模式図である。 図２は検査部による検査状態を示す模式図である。 図３は基板の接触角分布を示す模式図である。 図４は基板の接触角と着弾した液滴の関係を示し、（Ａ）は側面図、（Ｂ）は平面図である。

符号の説明

１ 液滴塗布装置
５ 塗布ヘッド
９ 制御部（制御装置）
ＮＬ、ＮＣ、ＮＲ ノズル
Ｋ０ 検査用基板
Ｎ０ 基準ノズル
ＭＬ、ＭＣ、ＭＲ 領域

Claims (6)

1. 塗布ヘッドに設けた複数のノズルから塗布液を液滴として吐出させて基板に塗布するに先立って、前記複数のノズルから吐出されて検査用基板に塗布された各液滴の着弾面積に基づいて前記各ノズルからの液滴の吐出量の調整を行う液滴塗布方法において、
   前記検査用基板上において前記各液滴が塗布される各位置間での接触角のばらつきを求め、求めた接触角のばらつきを用いて、前記着弾面積に基づいて調整される前記吐出量を補正することを特徴とする液滴塗布方法。
2. 前記各位置間での接触角のばらつきに基づいて当該位置毎に狙いの着弾面積を求め、
   前記位置毎の狙いの着弾面積と前記各位置に塗布された液滴の着弾面積との差に基づいて前記吐出量を調整することを特徴とする請求項１に記載の液滴塗布方法。
3. 前記複数のノズルのうち基準ノズルとして選択した１つのノズルから前記検査用基板の前記各位置に同等量の液滴を吐出したときの前記各位置間での着弾面積のばらつきを、前記各位置間での接触角のばらつきとして求めることを特徴とする請求項１又は２に記載の液滴塗布方法。
4. 塗布ヘッドに設けた複数のノズルから塗布液を液滴として吐出させて基板に塗布するに先立って、前記複数のノズルから吐出されて検査用基板に塗布された各液滴の着弾面積に基づいて前記各ノズルからの液滴の吐出量を調整する制御装置を備えてなる液滴塗布装置において、
   前記検査用基板上において前記各液滴が塗布される各位置間での接触角のばらつきを求める手段を備え、
   前記制御装置は、前記各位置間での接触角のばらつきを用いて、前記着弾面積に基づいて調整される前記吐出量を補正することを特徴とする液滴塗布装置。
5. 前記制御装置は、
   前記各位置間での接触角のばらつきに基づいて当該位置毎に狙いの着弾面積を求め、
   前記位置毎の狙いの着弾面積と前記各位置に塗布された液滴の着弾面積との差に基づいて前記吐出量を調整することを特徴とする請求項４に記載の液滴塗布装置。
6. 前記接触角のばらつきを求める手段は、
   前記複数のノズルのうち基準ノズルとして選択した１つのノズルから前記検査用基板の前記各位置に同等量の液滴を吐出したときの前記各位置間での着弾面積のばらつきを、各前記各位置間での接触角のばらつきとして求めることを特徴とする請求項４または５に記載の液滴塗布装置。

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