JP4788340B2 - カラーフィルタの製造方法 - Google Patents
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Description
本発明における製造条件決定工程は、検査用基板形成工程と、着色層形成用塗工液塗布工程と、検査工程と、調整工程とを有し、実際のカラーフィルタを製造するための着色層形成用塗工液の吐出条件を決定する工程である。本発明においては、製造条件決定工程として、上記各工程が1回のみ行われるものであってもよいが、通常、上記各工程を、例えば上記順序で繰り返し行うことにより、着色層形成用塗工液の吐出条件が決定される。なお本工程は、上記各工程以外にも必要に応じた工程を有していてもよく、例えばプリベイク工程やポストベイク工程等を有していてもよい。また、製造条件決定工程に用いられる検査用基板としては、一種類である必要はなく、例えば円形状や矩形状等、任意のパターン状に形成された着色層形成用領域を有する第1の検査用基板を用いて、着色層形成用塗工液の吐出条件を大まかに設定した後、実際に製造するカラーフィルタの着色層パターンと同様の着色層形成用領域を有する第2の検査用基板を用いて、より厳密に着色層形成用塗工液の吐出条件を設定してもよい。また、さらに複数の検査用基板を用いて上記着色層形成用塗工液の吐出条件を設定してもよい。以下、上記製造条件決定工程における各工程について詳しく説明する。
まず、製造条件決定工程における検査用基板形成工程について説明する。本発明における検査用基板形成工程は、着色層を形成するための着色層形成用領域を有する検査用基板を形成する工程である。上述したように、本工程において形成される検査用基板は、1種類である必要はなく、本工程は、適宜着色層形成用領域のパターンを変更して検査用基板を形成する工程であってもよい。
次に、上記製造条件決定工程における着色層形成用塗工液塗布工程について説明する。本工程は、上記検査用基板の上記着色層形成用領域上に、インクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布する工程であり、その吐出パターンは、上記検査用基板の着色層形成用領域の形状等により適宜選択される。
次に、本発明の製造条件決定工程における検査工程について説明する。本工程は、上記着色層形成用塗工液のムラを検査する工程であり、上記着色層形成用塗工液のムラを検査することが可能な方法であれば、その方法は特に限定されるものではない。
次に、本発明の製造条件決定工程における調整工程について説明する。本工程は、上述した検査工程により得られた検査データを利用して、着色層形成用塗工液塗布工程における着色層形成用塗工液の吐出条件を調整する工程である。本工程においては、上記検査工程により得られた検査データから、例えば塗布された着色層形成用塗工液の量が多い領域、少ない領域を割り出し、その領域の着色層形成用塗工液の塗布に用いられたインクジェットノズルを特定し、そのインクジェットノズルの吐出条件を調整する方法等とすることができる。
本発明の製造条件決定工程には、上述したように、プリベイク工程や、ポストベイク工程を有していてもよい。プリベイク工程は、上述した着色層形成用塗工液塗布工程により塗布された着色層形成用塗工液をプリベイクする工程である。プリベイク工程により着色層形成用塗工液をプリベイクし、着色層形成用塗工液をある程度固化させることによって、上記検査工程において、輝度を測定する場合や色度を測定する場合、着色層形成用塗工液の膜厚を測定する場合、着色層形成用塗工液の体積を測定する場合等に、着色層形成用塗工液どうしが混色してしまうことや、各着色層形成用領域に塗布された着色層形成用塗工液の状態が変化してしまうこと等を防ぐことができ、より正確に検査を行うことが可能となる。
本発明のカラーフィルタの製造方法においては、上記製造条件決定工程により決定された上記着色層形成用塗工液の吐出条件に基づいて、上記着色層形成用塗工液を塗布し、カラーフィルタが製造される。本発明におけるカラーフィルタの製造方法として具体的には、上述した検査用基板形成用工程と同様の工程により、着色層を形成するための着色層形成用領域を有するカラーフィルタ形成用基板を形成するカラーフィルタ形成用基板形成工程と、上記カラーフィルタ形成用基板の着色層形成用領域上に着色層形成用塗工液を塗布するカラーフィルタ着色層形成用塗工液塗布工程と、上記着色層形成用塗工液をプリベイクするカラーフィルタ着色層プリベイク工程と、プリベイクされた着色層形成用塗工液をポストベイクするカラーフィルタ着色層ポストベイク工程とを有する方法等とすることができる。
(検査用基板形成工程)
カラーフィルタ用ガラス材として用いられている厚み0.7mm、横370mm、縦470mmのCorning社製EAGLE2000を用意し、このガラス基材上にフォトリソグラフィー法にて樹脂製のブラックマトリクスを形成した。ブラックマトリクスは開口部が100μm×300μm、遮光部分の線幅が20μmとなるように形成し、横方向に120μmピッチ、縦方向に320μmピッチにて縦横ともそれぞれ1000画素ずつ配置されるものとした。またこの際、遮光部分の膜厚は平均1.5μmとした。
上記ブラックマトリクス付ガラス基材に対し、フッ素化合物を導入ガスとしたプラズマ処理を加えることにより、ブラックマトリクスの表面を撥液性に、それ以外の領域(着色層形成用領域)を親液性とした。このとき表面張力40mN/mの液体との接触角は、ブラックマトリクス上で65°、着色層形成用領域で10°であった。
次に、上記親疎液性を有する検査用基板に対し、インクジェットヘッドを用いて着色層形成用塗工液を塗布した。着色層形成用塗工液は、カラーフィルタ用顔料と熱硬化型樹脂等からなるRGB各色の顔料分散型インクを用い、1つの開口部(着色層形成用領域)あたり130滴にて所望のカラーフィルタの色が表現できるように濃度を設計したものを用いた。またこのときのインクジェットヘッドへの印加電圧は75V、パルス幅は6μsであった。またさらに、インクジェットヘッドは1ヘッドにつき100ノズルを有するものを用い、1色につき1ヘッド、すなわちRGB3色にて3ヘッドを用いた。塗布は、各着色層形成用領域(1画素)あたり1ノズルが配置されるように位置決めして行い、ノズルから吐出された着色層形成用塗工液の各液滴が、上記着色層形成用領域内に着弾するように行った。また着色層形成用塗工液は横方向にRGBの順に繰り返し配置し、縦方向には同色が並ぶように配置した。各色の着色層形成用塗工液は開口部全域に塗れ広がり、かつ異なる色同士が混色することは無かった。
上記着色層形成用塗工液を各着色層形成用領域にそれぞれ130滴ずつ着弾させた検査用基板を120℃のホットプレートに設置し10分間プリベイクした。プリベイク後の着色層形成用塗工液は、先端の直径が12μmの針で5mgの圧力にて表面を触針しても傷が入らない程度に固化し、混色しない状態であった。
〔検量線作成用基板の作製〕
上述した工程と同様の工程を行うことにより、各着色層形成用領域あたりに、それぞれ100滴ずつ、120滴ずつ、140滴ずつ着色層形成用塗工液の液滴をインクジェットノズルから着弾させた3種類の検量線作成用基板を作製した。
〔検量線の作成〕
上記着色層を形成した3種類の検量線作成用基板の、着色層形成用塗工液が塗布された面とは反対面側より蛍光灯を照射し、この透過光を着色層形成用塗工液が塗布された面側からCCDカメラにて撮像した。撮像に対し、CCDカメラにRGB各色の色分解フィルタを設置し、R補正用画像、G補正用画像、B補正用画像の3種類、計9枚の画像を取得した。またこのときの撮像の分解能は100μm以下となるように設定した。撮像した画像に認められた濃淡を画像処理し、輝度の分布に変換した。その後、各画素の位置と輝度の分布を着弾液滴数の異なる画像より解析し、各画素すなわちインクジェットヘッドの各ノズルから吐出される吐出液滴数と輝度との関係を求め、検量線を作成した。
〔検査用基板の検査および調整〕
上述した検査用基板について、上記検量線の作成にて記載した手法と同手法によって撮像し、輝度分布を算出した。この輝度分布および上記検量線より、各着色層形成用領域の輝度の差を無くすために必要な各ノズルからの液滴量を算出し、着色層形成用塗工液の吐出条件の調整を行った。調整にはまず、各着色層形成用領域の輝度データの平均値を算出し、次に各着色層形成用領域の各輝度データについて、上記平均値からの差を算出した。輝度が低い画素に相当するノズルは吐出液滴数を増やし、輝度が高い画素に相当するノズルは吐出液滴数を減らすように調整した。液滴数の増減は直線近似された検量線を用いて算出した。
上述した検査用基板形成工程と同様に、カラーフィルタを作製するためのカラーフィルタ形成用基板を形成した。その後、各インクジェットノズルより、上記調整工程により調整された吐出条件、すなわち上記検査工程により算出された液滴数に基づいて着色層形成用塗工液を塗布する着色層形成用塗工液塗布工程を行い、プリベイクした。
このカラーフィルタ用基板について、上記検査工程と同様に、撮像し、輝度データの算出を行ったところ、輝度の分布が収束した。
その後、ポストベイクを240℃で30分間行うことにより、色ムラや輝度ムラの少ないカラーフィルタを作製することができた。
(検査用基板形成工程および着色層形成用塗工液塗布工程)
実施例1と同様に、検査用基板形成工程と着色層形成用塗工液塗布工程を行った。
〔検量線作成用基板の作成および検量線の作成〕
上述した実施例1と同様の方法により、3種類の検量線作成用基板を作成し、各着色層形成用領域の分光光度を、大塚電子製顕微鏡型分光光度計LCF−seriesにて測定し、測定値より輝度(Y値)を算出した。その後、インクジェットヘッドの各ノズルから吐出される吐出液滴数と輝度との関係を求め、検量線を作成した。
〔検査用基板の検査および調整〕
上述した検査用基板について、上記検量線の作成にて記載した手法と同手法によって測定し、輝度分布を算出した。この輝度分布および上記検量線より、各着色層形成用領域の輝度の差を無くすために必要な各ノズルからの液滴量を算出し、着色層形成用塗工液の吐出条件の調整を行った。
上述した検査用基板形成工程と同様に、カラーフィルタを作製するためのカラーフィルタ形成用基板を形成した。その後、各インクジェットノズルより、上記調整工程により調整された吐出条件、すなわち上記検査工程により算出された液滴数に基づいて着色層形成用塗工液を塗布する着色層形成用塗工液塗布工程を行い、プリベイクした。
このカラーフィルタ用基板について、上記検査工程と同様に測定し、輝度データの算出を行ったところ、輝度の分布が収束した。
その後、ポストベイクを240℃で30分間行うことにより、色ムラや輝度ムラの少ないカラーフィルタを作製することができた。
(検査用基板形成工程および着色層形成用塗工液塗布工程)
実施例1と同様に、検査用基板形成工程と着色層形成用塗工液塗布工程を行った。
〔検量線作成用基板の作成および検量線の作成〕
上述した実施例1と同様の方法により、3種類の検量線作成用基板を作成し、各着色層形成用領域の分光光度を、大塚電子製顕微鏡型分光光度計LCF−seriesにて測定し、測定値より色度Rx、Gy、Byを算出した。その後、インクジェットヘッドの各ノズルから吐出される吐出液滴数と色度の関係を求め、検量線を作成した。
〔検査用基板の検査および調整〕
上述した検査用基板について、上記検量線の作成にて記載した手法と同手法によって測定し、色度分布を算出した。この色度分布および上記検量線より、各着色層形成用領域の色度の差を無くすために必要な各ノズルからの液滴量を算出し、着色層形成用塗工液の吐出条件の調整を行った。
上述した検査用基板形成工程と同様に、カラーフィルタを作製するためのカラーフィルタ形成用基板を形成した。その後、各インクジェットノズルより、上記調整工程により調整された吐出条件、すなわち上記検査工程により算出された液滴数に基づいて着色層形成用塗工液を塗布する着色層形成用塗工液塗布工程を行い、プリベイクした。
このカラーフィルタ用基板について、上記検査工程と同様に測定し、色度データの算出を行ったところ、色度の分布が収束した。
その後、ポストベイクを240℃で30分間行うことにより、色ムラや輝度ムラの少ないカラーフィルタを作製することができた。
(検査用基板形成工程および着色層形成用塗工液塗布工程)
実施例1と同様に、検査用基板形成工程と着色層形成用塗工液塗布工程を行った。
〔検量線作成用基板の作成および検量線の作成〕
上述した実施例1と同様の方法により、3種類の検量線作成用基板を作成し、各着色層形成用領域における着色層形成用塗工液の膜厚を、触針式膜厚計VEECO社製デックタックOSP-1110にて測定した。測定は着色層形成用領域中央部を横断するように触針させ、各着色層形成用領域の最大膜厚を記録した。その後、インクジェットヘッドの各ノズルから吐出される吐出液滴数と上記最大膜厚値との関係を求め、検量線を作成した。
〔検査用基板の検査および調整〕
上述した検査用基板について、上記検量線の作成にて記載した手法と同手法によって各着色層形成用領域の最大膜厚を測定し、膜厚の分布を検査した。この膜厚分布および上記検量線より、各着色層形成用領域の膜厚の差を無くすために必要な各ノズルからの液滴量を算出し、着色層形成用塗工液の吐出条件の調整を行った。
上述した検査用基板形成工程と同様に、カラーフィルタを作製するためのカラーフィルタ形成用基板を形成した。その後、各インクジェットノズルより、上記調整工程により調整された吐出条件、すなわち上記検査工程により算出された液滴数に基づいて着色層形成用塗工液を塗布する着色層形成用塗工液塗布工程を行い、プリベイクした。
このカラーフィルタ用基板について、上記検査工程と同様に、着色層形成用塗工液の最大膜厚分布を検査したところ、最大膜厚の分布が収束した。
その後、ポストベイクを240℃で30分間行うことにより、色ムラや輝度ムラの少ないカラーフィルタを作製することができた。
(検査用基板形成工程および着色層形成用塗工液塗布工程)
実施例1と同様に、検査用基板形成工程と着色層形成用塗工液塗布工程を行った。
〔検量線作成用基板の作成および検量線の作成〕
上述した実施例1と同様の方法により、3種類の検量線作成用基板を作成し、各着色層形成用領域における着色層形成用塗工液の膜厚を、Micromap社三次元非接触表面形状計測装置micromap557を用い測定した。測定は各着色層形成用領域(1画素)毎、すなわち100μm×300μmの範囲における表面形状を計測し、そのエリアにおける平均膜厚を算出した。その後、インクジェットヘッドの各ノズルから吐出される吐出液滴数と平均膜厚値との関係を求め、検量線を作成した。
〔検査用基板の検査および調整〕
上述した検査用基板について、上記検量線の作成にて記載した手法と同手法によって各着色層形成用領域の平均膜厚を測定し、膜厚の分布を検査した。この膜厚分布および上記検量線より、各着色層形成用領域の膜厚の差を無くすために必要な各ノズルからの液滴量を算出し、着色層形成用塗工液の吐出条件の調整を行った。
上述した検査用基板形成工程と同様に、カラーフィルタを作製するためのカラーフィルタ形成用基板を形成した。その後、各インクジェットノズルより、上記調整工程により調整された吐出条件、すなわち上記検査工程により算出された液滴数に基づいて着色層形成用塗工液を塗布する着色層形成用塗工液塗布工程を行い、プリベイクした。
このカラーフィルタ用基板について、上記検査工程と同様に、着色層形成用塗工液の平均膜厚分布を検査したところ、膜厚の分布が収束した。
その後、ポストベイクを240℃で30分間行うことにより、色ムラや輝度ムラの少ないカラーフィルタを作製することができた。
(検査用基板形成工程および着色層形成用塗工液塗布工程)
実施例1と同様に、検査用基板形成工程と着色層形成用塗工液塗布工程を行った。
〔検量線作成用基板の作成および検量線の作成〕
上述した実施例1と同様の方法により、3種類の検量線作成用基板を作成し、各着色層形成用領域における着色層形成用塗工液の膜厚を、Micromap社三次元非接触表面形状計測装置micromap557を用い測定した。測定は各着色層形成用領域(1画素)毎、すなわち100μm×300μmの範囲における表面形状を計測し、そのエリアにおける着色層形成用塗工液の体積を算出した。その後、インクジェットヘッドの各ノズルから吐出される吐出液滴数と体積との関係を求め、検量線を作成した。
〔検査用基板の検査および調整〕
上述した検査用基板について、上記検量線の作成にて記載した手法と同手法によって各着色層形成用領域の着色層形成用塗工液の体積を測定し、体積の分布を検査した。この体積分布および上記検量線より、各着色層形成用領域の体積の差を無くすために必要な各ノズルからの液滴量を算出し、着色層形成用塗工液の吐出条件の調整を行った。
上述した検査用基板形成工程と同様に、カラーフィルタを作製するためのカラーフィルタ形成用基板を形成した。その後、各インクジェットノズルより、上記調整工程により調整された吐出条件、すなわち上記検査工程により算出された液滴数に基づいて着色層形成用塗工液を塗布する着色層形成用塗工液塗布工程を行い、プリベイクした。
このカラーフィルタ用基板について、上記検査工程と同様に、着色層形成用塗工液の体積分布を検査したところ、体積の分布が収束した。
その後、ポストベイクを240℃で30分間行うことにより、色ムラや輝度ムラの少ないカラーフィルタを作製することができた。
(検査用基板形成工程)
実施例1と同様に、検査用基板形成工程を行い、検査用基板を作製した。
〔検量線の作成〕
以下の方法により、インクジェットヘッドからの吐出平均速度および吐出平均重量との関連を示す検量線を作成した。
インクジェットヘッドの吐出周波数2kHzと同じ周波数にてストロボを発光させ、そのストロボ発光を照射したインク液滴の画像をCCDにて撮像した。またストロボ発光をずらすことにより、インクジェットヘッドから吐出されてから10μs後の着色層形成用塗工液の液滴の画像も取得した。これら2種類の画像の吐出液滴の位置と時間より、各ノズルからの吐出液滴の速度を導出、その平均値を算出した。平均吐出重量の測定方法としては、受け皿に吐出周波数2kHzにて30秒間、全ノズルからインクを吐出させ、総重量を計測し、これを総液滴数で除算することにより算出した。
またインクジェットヘッドに60V、70V、80Vの3種類の電圧を印加し、それぞれ平均吐出速度と平均吐出重量を算出し、検量線を作成した。平均吐出速度と平均吐出重量は比例関係にあった。
〔着色層形成用塗工液の塗布および検査〕
上述した検査用基板の各着色層形成用領域に、インクジェットヘッドに75Vの電圧を印加して、着色層形成用塗工液を130滴ずつ塗布した。この際、インクジェットヘッドのノズルからの吐出液滴の速度を計測、速度分布を算出した。これを上記にて算出した検量線に基づき、各着色層形成用領域に塗布された着色層形成用塗工液の重量の分布を得た。この塗布重量分布および上記検量線より、各着色層形成用領域の体積の差を無くすために必要な各ノズルからの吐出速度を算出し、着色層形成用塗工液の吐出条件の調整を行った。
上述した検査用基板形成工程と同様に、カラーフィルタを作製するためのカラーフィルタ形成用基板を形成した。その後、各インクジェットノズルより、上記調整工程により調整された吐出条件、すなわち上記検査工程により算出された吐出速度に基づいて着色層形成用塗工液を塗布する着色層形成用塗工液塗布工程を行い、プリベイクした。
その後、ポストベイクを240℃で30分間行うことにより、色ムラや輝度ムラの少ないカラーフィルタを作製することができた。
(検査用基板形成工程)
実施例1と同様に、検査用基板形成工程を行い、検査用基板を作製した。
〔インクジェットノズルからの吐出重量分布の把握〕
インクジェットの特定の1つのノズルのみから、着色層形成用塗工液を吐出させず、他の99個のノズルから着色層形成用塗工液を、吐出周波数2kHzにて30秒間受け皿に吐出させ、総重量を計測した。その後、全ノズルから上記の条件で着色層形成用塗工液を受け皿に吐出させ、総重量を計測した。続いて、上記総重量の差を算出し、これを液滴数で除算することにより、各インクジェットノズルから吐出される各液滴の重量を算出した。
上述した実施例1と同様の方法により、検査用基板に着色層形成用塗工液を着弾させた。検査用基板の各着色層形成用領域には、各ノズルあたり平均130滴の着色層形成用塗工液を塗布した。このとき各ノズルから吐出される液滴数は上述した検査工程および調整工程にて算出した各液滴の重量に基づき算出した。具体的には、上記各インクジェットノズルから吐出される各液滴の平均重量を算出し、平均重量を吐出しているノズルの吐出液滴数を130滴とし、そのほかのノズルに対しては吐出重量の平均値に対する比率に基づき、重量の多いノズルは液滴数を減らし、重量の少ないノズルは液滴数を増やした。
この検査用基板について、実施例3の検量線の作製にて記載した手法と同手法によって、色度を計測し、色度分布を算出した。色度の分布はカラーフィルタとして実用上問題の無い範囲であった。
上述した検査用基板形成工程と同様に、カラーフィルタを作製するためのカラーフィルタ形成用基板を形成した。その後、各インクジェットノズルより、上記調整工程により調整された吐出条件、すなわち上記検査工程により算出された液滴数に基づいて着色層形成用塗工液を塗布する着色層形成用塗工液塗布工程を行い、プリベイクした。
その後、ポストベイクを240℃で30分間行うことにより、色ムラや輝度ムラの少ないカラーフィルタを作製することができた。
(検査用基板形成工程)
実施例1と同様に、検査用基板形成工程を行い、検査用基板を作製した。
〔検量線作成用基板の作成および検量線の作成〕
上記検査用基板と同様の検量線作成用基板を作製した。その後、インクジェットヘッドに印加する電圧のパルス幅と吐出平均重量との関連を示す検量線を作成した。実施例7と同様の速度測定手法と同様の手法を用い、パルス幅4μs、6μs、8μsにて電圧を印加したときの各ノズルからの吐出速度を測定し、各ノズルに対する検量線を作成した。
〔着色層形成用塗工液の塗布、検査、および調整〕
上述した検査用基板の各着色層形成用領域に、パルス幅6μsを印加して、着色層形成用塗工液を130滴ずつ塗布した。この際、インクジェットヘッドのノズルからの吐出液滴の速度を計測、速度分布を算出した。これを上記にて算出した検量線に基づき、各着色層形成用領域に塗布された着色層形成用塗工液の重量の分布を得た。この塗布重量分布および上記検量線より、各着色層形成用領域の体積の差を無くすために必要な各ノズルへのパルス幅を算出し、着色層形成用塗工液の吐出条件の調整を行った。
上述した検査用基板形成工程と同様に、カラーフィルタを作製するためのカラーフィルタ形成用基板を形成した。その後、各インクジェットノズルより、上記調整工程により調整された吐出条件、すなわち上記検査工程により算出されたパルス幅に基づいて着色層形成用塗工液を塗布する着色層形成用塗工液塗布工程を行い、プリベイクした。
その後、ポストベイクを240℃で30分間行うことにより、色ムラや輝度ムラの少ないカラーフィルタを作製することができた。
2…着色層形成用塗工液
a…着色層形成用領域
Claims (8)
- 着色層を形成するための着色層形成用領域を有する検査用基板を形成する検査用基板形成工程と、
前記検査用基板の前記着色層形成用領域上に、インクジェット法により着色層形成用塗工液を塗布する着色層形成用塗工液塗布工程と、
前記着色層形成用塗工液のムラを検査する検査工程と、
前記検査工程による検査データを利用して、前記着色層形成用塗工液の吐出条件を調整する調整工程と
を行って前記着色層形成用塗工液の吐出条件を決定する製造条件決定工程を有し、
前記製造条件決定工程により決定された前記吐出条件に基づいて、前記着色層形成用塗工液を塗布し、カラーフィルタを製造するカラーフィルタの製造方法であって、
前記製造条件決定工程では、前記カラーフィルタの着色層形成用領域とは異なる形状のテストパターンを有する第1の検査用基板を前記検査用基板形成工程で形成し、前記第1の検査用基板を用いて前記着色層形成用塗工液塗布工程、前記検査工程、および前記調整工程を行い、
次いで、前記カラーフィルタの着色層形成用領域と同一形状の第2の検査用基板を前記検査用基板形成工程で形成し、前記第2の検査用基板を用いて前記着色層形成用塗工液塗布工程、前記検査工程、および前記調整工程を行うことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。 - 前記検査工程が、前記各着色層形成用領域に塗布された前記着色層形成用塗工液の輝度を検査する工程を有することを特徴とする請求項1に記載のカラーフィルタの製造方法。
- 前記検査工程が、前記各着色層形成用領域に塗布された前記着色層形成用塗工液の色度を検査する工程を有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のカラーフィルタの製造方法。
- 前記検査工程が、前記各着色層形成用領域に塗布された前記着色層形成用塗工液の膜厚を検査する工程を有することを特徴とする請求項1から請求項3までのいずれかの請求項に記載のカラーフィルタの製造方法。
- 前記検査工程が、前記各着色層形成用領域に塗布された前記着色層形成用塗工液の体積を検査する工程を有することを特徴とする請求項1から請求項4までのいずれかの請求項に記載のカラーフィルタの製造方法。
- 前記検査工程が、インクジェットノズルからの前記着色層形成用塗工液の吐出速度を検査する工程を有することを特徴とする請求項1から請求項5までのいずれかの請求項に記載のカラーフィルタの製造方法。
- 前記検査工程が、インクジェットノズルからの前記着色層形成用塗工液の吐出重量を検査する工程を有することを特徴とする請求項1から請求項6までのいずれかの請求項に記載のカラーフィルタの製造方法。
- 前記検査用基板形成工程が、前記着色層形成用領域が親液性であり、かつ前記着色層形成用領域以外の領域が撥液性である検査用基板を形成する工程であることを特徴とする請求項1から請求項7までのいずれかの請求項に記載のカラーフィルタの製造方法。
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