JP2004111074A

JP2004111074A - 有機ｅｌ表示装置の製造装置と、その製造方法

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Publication number: JP2004111074A
Application number: JP2002268274A
Authority: JP
Inventors: Yasuhiko Sawada; 澤田　安彦
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 2002-09-13
Filing date: 2002-09-13
Publication date: 2004-04-08

Abstract

【課題】本発明は、手間がかからず容易にインクジェットヘッドの位置調整を可能として作業性の向上を得られる有機ＥＬ表示装置の製造装置と、その製造方法を提供する。
【解決手段】有機ＥＬ表示装置の製造装置は、Ｒ，Ｇ，Ｂインクを収容し基板画素Ｓのピッチよりも大ピッチで複数のノズルＮを備えたインクジェットヘッド７を画素の配列方向に沿って並行し、かつノズルを画素の配列方向に対して傾いて支持するインクジェット機構６を備え、ＸＹθステージの駆動にともなって移動する基板の位置信号を入力しインクジェットヘッドに対応する基板の画素が位置したときにインクジェットヘッドのそれぞれに対してインク吐出信号を出力し画素に対してインクを塗布するよう制御する制御部Ｍを具備する。
【選択図】　　図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェット方式によりインクを微細な液滴にして、ガラス基板上に形成される画素の所定のドットに塗布する有機ＥＬ表示装置の製造装置と、有機ＥＬ表示装置の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、パーソナルコンピュータ（ＰＣ）や携帯電話などの発達に伴い、表示装置の需要が増加している。現在、主流になっている液晶表示装置に変わる次世代表示装置（ディスプレイ）の有力候補として、有機ＥＬ表示装置が注目されている。
その理由は、液晶装置と比較して、有機ＥＬ表示装置には、以下に示す多くの有利条件を備えていることによる。
【０００３】
すなわち、有機ＥＬは自発光素子なので、液晶装置に必要なバックライトが不要である。液晶装置のように２枚のガラスの間に液晶を注入する必要がなく、そのための材料費の削減や手間の軽減を図れる。
有機ＥＬ表示装置は、基本的には１枚のガラス板から構成されるので、薄型化を得られ軽量化に寄与する。そして、電子過程で応答する素子のため、液晶装置における懸案課題である視野角と応答速度に関する特性が優れている。
【０００４】
なお、有機ＥＬを構成する発光材料として、低分子型と、高分子型に大別されていて、それぞれ発光層形成技術が異なっている。
上記低分子型における発光層はマスク蒸着技術により形成されており、数十ミクロンの薄い金属製のマスクを使わなければならない。このようなマスクの製作精度を高く保持するには、大型テレビ向けなどの大型化には不適である。
一方、上記高分子型では発光高分子材料を有機溶媒に溶解させ、インクジェット方式を用いて基板上の画素を構成するドットに塗布するようになっている。インクジェットヘッドと基板との相対位置を変える機構が容易に実現でき、基板の大型化を制限する要因は事実上見当たらず、表示装置の大型化に最適である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、高分子型を採用した従来のインクジェット方式は、基板上の画素間ピッチに対してインクジェットヘッドに備えた複数のノズル間ピッチを一致させ、同一ヘッド内の各ノズルの液滴量を合せ込む。
そして、基板の端に並べられる画素から順次、インクジェットヘッドを対向してインクを塗布していく。上記画素は、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）三色に対応する複数のドットから構成されていて、対応する色のインクを上記ドットに塗布する。
【０００６】
表示装置として表示領域全域を均一な明るさで表示する特性が求められており、有機ＥＬ表示装置においても変りがない。そのため、表示領域全域に亘って同色発光層の膜厚を含めた形状が均一であることが要求される。
特に、ガラス基板にインクを塗布するにあたって、塗布手段をなすインクジェットヘッドの位置を正確に測定し、調整する必要がある。
【０００７】
そのため、インクジェットヘッドに設けられるノズルをＣＣＤカメラで検出してヘッドの取り付け位置を調整する方法を採用した技術がある。（たとえば、特許文献１参照。）
【０００８】
【特許文献１】
特開２０００−７９７０３号公報（特許請求の範囲　請求項１参照。）
しかしながら、このようなヘッド位置調整方法によれば、インクジェットヘッドの位置を手動で調整するようになっていて、ヘッドを交換する都度、再度手動による調整が必要となっていて、手間がかかって面倒なものとなる。
本発明は、上記事情に鑑みなされたものであり、その目的とするところは、インクジェットヘッドの交換が必要となっても、手間がかからず、ごく容易にインクジェットヘッドの位置調整を可能として作業性の向上を得られる有機ＥＬ表示装置の製造装置と、その製造方法を提供しようとするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決し目的を達成するために本発明の有機ＥＬ表示装置の製造装置は、Ｘ方向とＹ方向に所定のピッチで配列される複数の画素を備えた基板を支持固定するＸＹθステージと、このＸＹθステージの上方部位に設けられ画素を構成するＲ，Ｇ，Ｂ三色に対応するドットに対してインクジェット方式によりインクを塗布するインク塗布手段を備え、
上記インク塗布手段は、Ｒ，Ｇ，Ｂ三色のうちの少なくともいずれか一つの色のインクを収容しそれぞれが基板の画素のピッチよりも大きいピッチで複数のノズルを備え、これらノズルからＲ，Ｇ，Ｂ三色のうちのいずれかの色のインクを吐出するインクジェットヘッドと、これらインクジェットヘッドを画素の配列方向に沿って並行しそれぞれのノズルが基板の画素のピッチと対応するように画素の配列方向に対して傾いて支持する支持機構と、ＸＹθステージの駆動にともなって移動する基板の位置信号を入力しインクジェットヘッドに対応する基板の画素が位置したときにインクジェットヘッドのそれぞれに対してインク吐出信号を出力し画素に対してインクを塗布するよう制御する制御手段を具備する。
【００１０】
上記課題を解決し目的を達成するために本発明の有機ＥＬ表示装置の製造方法は、Ｘ方向とＹ方向に所定のピッチで配列される複数の画素を備えた基板に対して、それぞれが画素ピッチよりも大きいピッチの複数のノズルを備えＲ，Ｇ，Ｂ三色いずれかの色のインクを収容するインクジェットヘッドを画素の配列に対して斜めに支持し、画素のピッチに合わせたうえでインクを塗布するインクジェットヘッドを備える有機ＥＬ表示装置の製造装置を用い、
上記基板の画素に対するインクジェットヘッドの位置を調整するヘッド位置調整工程と、位置調整したインクジェットヘッドの基板に対する高さ位置を検出し最適位置に合わせるヘッド高さ調整工程と、高さ調整をなした各色のインクジェットヘッドから各画素に対してインクを１点塗布しその塗布位置を検出する塗布位置検出工程と、この塗布位置の検出結果から画素に対するヘッドの位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出工程と、算出した位置ずれ量に応じてインクジェットヘッドをＹ方向に移動して、同方向の位置ずれを矯正するヘッド位置調整工程と、算出した位置ずれ量に応じてインクジェットヘッドの塗布タイミングを補正しインクジェットヘッドのＸ方向の位置ずれを矯正する塗布タイミング補正工程を具備する。
【００１１】
【発明の実施の形態】
図１は有機ＥＬ表示装置の製造装置の概略構成を示す外観図、図２は同装置におけるインクジェット機構の斜視図、図３は完成した製品（有機ＥＬ表示装置）の一部断面図、図４（Ａ）は有機ＥＬ表示装置の製造装置（製造方法）に係る基本システムを説明する図、図４（Ｂ）は一画素の構成図である。
有機ＥＬ表示装置の製造装置として、図中１は基台であり、この基台には制御部（制御手段）Ｍが備えられる。基台１上にはＸ，Ｙ，θ方向に移動自在なステージ２が備えられ、さらにこのＸＹθステージ２上には、図示しない固定手段によってガラス基板３が交換自在に支持固定されている。
【００１２】
上記ガラス基板３上には、複数の画素ＳがＸ方向とＹ方向に所定ピッチを存して分布した状態で形成されている。それぞれの画素Ｓは、Ｒ（赤），Ｇ（緑），Ｂ（青）の三色に対応する複数のドットｄから構成される。
なお、図４（Ｂ）において、画素Ｓを構成するＲＧＢ各ドットｄを、塗布ヘッドを基板に対して相対的に変位させる方向と交わる直線上に配置されるよう横方向に並べたが、これに限定されるものではなく、たとえばＲＧＢの各ドットを正方配列するようにしてもよい。
【００１３】
上記基台１上のＸＹθステージ２に対して架台４が跨設されていて、この架台にヘッド機構部５が取付けられている。上記ヘッド機構部５は、３組のインクジェット機構（支持機構）６を備えている。
これらのインクジェット機構６は、その下端部に、Ｒ，Ｇ，Ｂ三色のいずれかのインクを吐出する３組のインク用インクジェットヘッド７を備えている。これらインクジェット機構６とインクジェットヘッド７および上記制御部Ｍとでインク塗布機構（インク塗布手段）１００が構成される。
【００１４】
各組のインクジェット機構６は、上記インクジェットヘッド７をθ回転させる機構９と、Ｙ方向に微調整可能とする機構１０および、Ｚ方向に微調整可能とする機構１１を備えている。それぞれのインクジェットヘッド７は、後述するように直列状に配置された複数のノズルＮを備えている。
ここでは、上記ヘッド機構部５が固定され、ＸＹθステージ２を移動制御することで、インクジェットヘッド７とガラス基板３の相対位置を変化できるようになっている。
【００１５】
完成した有機ＥＬ表示装置は、ガラス基板３上に所定ピッチを存して陽極（ＩＴＯ）１５が設けられ、これら陽極上に塗布対象となるバンク１６が形成されている。これらバンク１６は、赤色（Ｒ）用、緑色（Ｇ）用、青色（Ｂ）用の３種類がある。
それぞれのバンク１６内において、陽極１５上に陽極バッファ（ＰＥＤＯＴ）１７と、後述するようにＲＧＢ三色のインクが適量塗布された発光層１８を介して陰極１９で覆われることにより製品として完成する。
【００１６】
つぎに、有機ＥＬ表示装置の製造装置（製造方法）に係る基本システムについて説明する。
上述したように、ガラス基板３にＸ方向とＹ方向に所定のピッチで複数の画素Ｓが並べられるのに対して、ヘッド機構部５を構成する３組のインクジェット機構６のそれぞれにはインクジェットヘッド７が備えられる。
ここでは、図の左側のインクジェットヘッド７にはＲ（赤色）、真中のインクジェットヘッドにはＧ（緑色）、右側のインクジェットヘッドにはＢ（青色）のインクが備えられる。
【００１７】
各インクジェットヘッド７は、複数（たとえば５個）のノズルＮが設けられていて、各ノズルＮは一列の直列状に所定ピッチを存して並べられる。上記画素ＳがＸ−Ｙ方向に整列されているのに対して、各インクジェットヘッド７は斜めに傾いて取付けられる。
各インクジェットヘッド７が並行に並べられる方向は、インク塗布動作時にＸＹθテーブル２が移動する方向でもあって、すなわち画素Ｓが配列されるＸ方向と一致する。
【００１８】
図５は、ガラス基板３の画素Ｓに対するインクの塗布動作を概略的に説明する図である。
制御部（制御手段）Ｍは、ガラス基板３を支持したＸＹθテーブル２をＸ方向に移動制御する。したがって、ＲＧＢ３色のインクジェットヘッド７のうち、画素Ｓにおける指定された色のドットｄと対応する色のインクジェットヘッド７が、そのドットと対向する位置に到達する。
制御部Ｍは、ＸＹθテーブル２の移動を継続しながらインクジェットヘッド７に対してインクを吐出するよう指示する信号（以下、吐出トリガ信号と言う）を送る。
【００１９】
すなわち、制御部Ｍは、ＸＹθテーブル２からの位置信号（たとえば、モーターエンコーダ信号）を入力し、Ｒ，Ｇ，Ｂ各インクジェットヘッド７が塗布目標バンク１６の上方に到達した状態で、各ヘッドに独立した吐出トリガ信号を出力する。
なお、ＸＹθテーブル２からの位置信号を入力するのに、モーターエンコーダ信号の代りに、リニアスケールを用いたエンコーダ信号を入力するようにしてもよい。
【００２０】
上記吐出トリガ信号を出力することにより、ガラス基板３を載せたＸＹθテーブル２を所定方向（Ｘ方向）に移動させながら指定のインクジェットヘッド７から指定された色のインクが吐出される。したがって、ガラス基板３上に形成された全てのバンク１６内に精度よくインクを塗布することができる。
このようにして、インクジェットヘッド７を画素Ｓの配列方向に沿って並行して、かつそれぞれのノズルＮが画素のピッチと対応するように、画素の配列方向に対して傾いて支持するようにしたから、インクジェットヘッド７に対する調整軸数を少なくして調整手間の低減を図れる。
【００２１】
なお、各インクジェットヘッド７は定期的に清掃、交換する必要があり、その都度、インクジェットヘッド７の取付け位置が変化してしまう。
そのため、インクを高精度に塗布するには、インクジェットヘッド７の交換後にヘッドの取付け高さ位置を検出するとともに、ヘッドの位置ずれ量を検出しなければならない。
【００２２】
図６はインクジェットヘッド７の取付け高さを検出する高さ検出機構２０の概略の構成図、図７はインクジェットヘッド７のインク塗布位置を検出するヘッド位置検出機構３０の構成図である。
上記高さ検出機構２０は、たとえばインクジェットヘッド７の下方に取付けられた渦電流センサ２１と、この渦電流センサの検出値を距離に変換する測定器２２とから構成されていて、上記測定器の測定信号は上記制御部Ｍへ送られるようになっている。
【００２３】
すなわち、インクジェットヘッド７の直下方部位に渦電流センサ２１を対向位置し渦電流を生じさせることで、測定器２２が渦電流センサ２１からインクジェットヘッド７下面までの距離を測定する。
上記制御部Ｍでは、インクジェットヘッド７の取付け高さの検知をなすヘッド高さ検出工程が行われる。そのあと、インクジェット機構６に駆動信号を送ってＺ方向に微調整する機構１１を駆動し、ガラス基板３の上方約３００μｍの高さにインクジェットヘッド７を移動させる。
【００２４】
つぎに、制御部Ｍは、ＲＧＢインクジェットヘッド７毎に駆動信号を送って、均一な表面処理をしたガラス基板３上にインクを１点塗布するよう制御する１点塗布工程をなす。
タイミングをとってＸＹθテーブル２を駆動し、ヘッド位置検出機構３０を構成するインク塗布位置検出カメラ（ＣＣＤカメラ）の撮像エリアにインクが塗布されたドッドｄの画素Ｓが到達するのを待機する。
【００２５】
インク塗布位置検出カメラ３０は、所定の撮像エリア位置に到達した１点塗布されたインクを撮影し、その信号を制御部Ｍへ送る。制御部Ｍでは画像処理により塗布されたインクの塗布位置を検出し、記憶する標準位置と比較する塗布位置検出工程をなす。
そして制御部Ｍは、先に説明したヘッド高さ検出工程と、この塗布位置検出工程での検出結果にもとづいて、各インクジェットヘッド７の標準位置からのずれ量（ΔＸ，ΔＹ）を算出する位置ずれ量算出工程をなす。
【００２６】
算出した位置ずれ量のうちの特にＹ方向の位置ずれ量は、後述するようにＸＹθテーブル２をＹ方向に移動することで補正する。また、Ｘ方向の位置ずれ量は吐出トリガ信号の出力タイミングを変更することで補正する。これにより、塗布位置調整工程を自動で実施可能となる。
上述したインクジェットヘッド７のＸ方向とＹ方向の位置ずれ補正について、図８（Ａ）（Ｂ）の塗布位置補正説明図と、図９の塗布タイミング変更説明図にもとづいて詳細に説明する。なお、図１０は塗布位置調整工程全般を説明するフローチャート図である。
【００２７】
先に説明した塗布位置検出工程により、Ｒ，Ｇ，Ｂ各インクジェットヘッド７の取付け位置を検出し、その検出結果の状態がたとえば図８（Ａ）（Ｂ）の▲１▼もしくは▲２▼に示すようになったものとする。
なお、図８（Ａ）は、実際にＲＧＢ三色のインクジェットヘッド７が取付けられる状態を示していて、各インクジェットヘッドは図のように所定方向（Ｘ方向）に傾いて取付けられる。
【００２８】
図８（Ｂ）は、説明の都合上、位置ずれ状態を明瞭に示すため各インクジェットヘッド７を垂直方向に並べ直している。当然、図８（Ａ）の▲１▼、▲２▼、▲３▼は、図８（Ｂ）の▲１▼、▲２▼、▲３▼のそれぞれに対応する。
図８の▲１▼は、適正なＲ，Ｇ，Ｂ各インクジェットヘッド７の取付け位置を示している。このような適正位置にヘッドが取付けられた場合、バンク１６内に精度良くインクが吐出される。
【００２９】
しかしながら、いずれかのインクジェットヘッド７を交換した場合、ヘッドの取付け位置が適正位置からずれることが多い。
先に説明した塗布位置検出工程による、Ｒ，Ｇ，Ｂ各インクジェットヘッド７の取付け位置の検出結果の状態が、たとえば図８の▲２▼に示すようにＧ色のインクジェットヘッド７のみが適正位置からＸ方向にΔＸだけ位置ずれし、かつＹ方向にΔＹだけ位置ずれしているものとする。これに対してＢ、Ｒ各色のインクジェットヘッド７は適正位置にあるものとする。
【００３０】
このときは、インクジェット機構６に備えられるＹ方向に微調整可能とする機構１０を作動してＧ色のインクジェットヘッド７のみＹ方向に移動し、位置ずれの矯正をなす。
Ｙ方向の位置ずれ量を補正した後のＧ色インクジェットヘッド７の位置関係を図８の▲３▼に示す。したがって、このインクジェットヘッドはＸ方向の位置ずれのみが残ることになる。
【００３１】
図９は、縦軸に吐出トリガ信号の出力をとり、横軸に塗布動作時におけるＸＹθテーブル２の位置を示す。上述したように、ＸＹθテーブル２はインク塗布動作時にＸ方向に移動する。
図９▲１▼は、先に図８▲１▼で説明したように適正位置にＲ、Ｇ、Ｂ三色のインクジェットヘッド７が取付けられているときの吐出トリガ信号の出力タイミングを示している。
【００３２】
この場合、ＸＹθテーブル２がＡの位置にきたときにＲ色インクジェットヘッド７に対して吐出トリガ信号を出力し、ＲヘッドはＲドッドｄに対してＲ色インクを塗布する。
同様に、ＸＹθテーブル２がＢの位置にきたときＧ色インクジェットヘッド７に吐出トリガ信号を出力し、かつＸＹθテーブル２がＣの位置にきたときにＢ色インクジェットヘッド７に吐出トリガ信号を出力する。
【００３３】
したがって、Ｒヘッド７はＲドッドｄに対してＲ色インクを塗布し、Ｂヘッド７はＢドッドｄに対してＢ色インクを塗布する。このことで、各バンク１６の位置に対して適正な位置で、かつ適正な量のインクを塗布できる。
たとえば、図８▲３▼で説明したように、Ｇ色インクジェットヘッド７の取付け位置がΔＸだけ位置ずれ量があることを算出したら、図９▲３▼で示すように、ＸＹθテーブル２がＢ’（Ｂ位置からΔＸだけずれた）位置で上記ヘッド７に対して吐出トリガ信号を出力する。
【００３４】
したがって、Ｇヘッド７はＧドッドｄに対してＧ色インクを塗布する。このことで、Ｘ方向の補正を行ったうえで対応するバンク１６の位置に対して適正な位置で、かつ適正な量のインクを塗布できる。
以上説明したように、インクジェットヘッド７を画素Ｓの配列方向に沿って並行して、かつそれぞれのノズルＮが画素のピッチと対応するように、画素の配列方向に対して傾いて支持するようにしたから、インクジェットヘッド７に対する調整軸数を少なくして調整手間の低減を図れる。
【００３５】
また、画素Ｓの配列ピッチが異なるガラス基板３に対してもインクジェットヘッド７の傾き角度を変更調整することにより容易に対応でき、提供範囲の拡大を得られる。
インクジェットヘッド７の塗布位置調整にあたって、はじめにインクジェットヘッドの取付け高さを検出して適正位置に合わせるようにしたから、適正位置に適正量のインクを塗布できる。
【００３６】
すなわち、インクジェットヘッド７の高さが低過ぎると、ＸＹθテーブル２やガラス基板３のうねり等でインクジェットヘッド７先端がこれらに接触する危険があり、インクジェットヘッド７の高さが高過ぎるとインクの着弾位置のバラツキが大きくなってバンク１６からはみ出ることがあり、このような不具合の発生を防止できる。
【００３７】
そして、Ｙ方向の位置ずれをＸＹθテーブル２のＹ方向の位置調整で矯正し、Ｘ方向の位置ずれをインクの塗布タイミングの調整で矯正するようにしたから、同時の動作で行うことができ必要な時間の短縮化を得られるとともに、高精度で高品質の有機ＥＬ表示装置が得られる。
また、Ｒ，Ｇ，Ｂ三色のインクを同時に塗布するよう制御することで、製作時間の短縮化を得られ、生産性の向上に寄与する。
【００３８】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、インクジェットヘッドを交換した後のヘッドの塗布位置調整を自動で行うこととなり、常に高精度でインク塗布ができ、高品質化を得るという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態に係る、有機ＥＬ表示装置の製造装置の外観図。
【図２】同実施の形態に係る、インクジェット機構の斜視図。
【図３】同実施の形態に係る、製造された有機ＥＬ表示装置の一部断面図。
【図４】同実施の形態に係る、有機ＥＬ材料の塗布システムを説明する図と、画素の構成を示す図。
【図５】同実施の形態に係る、インク塗布動作を説明する図。
【図６】同実施の形態に係る、ヘッド高さ検出機構の説明図。
【図７】同実施の形態に係る、インク塗布位置検出機構の説明図。
【図８】同実施の形態に係る、インクジェットヘッドの位置ずれ状態を説明する図。
【図９】同実施の形態に係る、インクジェットヘッドのＸ方向での位置補正を説明する図。
【図１０】同実施の形態に係る、塗布位置調整のフローチャート図。
【符号の説明】
Ｓ…画素、
３…ガラス基板、
２…ＸＹθステージ、
１００…インク塗布機構（インク塗布手段）
Ｎ…ノズル、
７…インクジェットヘッド、
６…インクジェット機構（支持機構）、
Ｍ…制御部（制御手段）。

Claims

Ｘ方向とＹ方向に所定のピッチで配列される複数の画素を備えた基板を支持固定するＸＹθステージと、
このＸＹθステージの上方部位に設けられ、上記画素を構成するＲ，Ｇ，Ｂ三色に対応するドットに対してインクジェット方式によりインクを塗布するインク塗布手段を備えた有機ＥＬ表示装置の製造装置において、
上記インク塗布手段は、Ｒ，Ｇ，Ｂ三色のうちの少なくともいずれか一つの色のインクを収容し、それぞれが上記基板の画素のピッチよりも大きいピッチの複数のノズルを備え、これらノズルからＲ，Ｇ，Ｂ三色のうちの少なくともいずれか一つの色のインクを吐出するインクジェットヘッドと、
これらインクジェットヘッドを画素の配列方向に沿って並行し、かつそれぞれのノズルが上記基板の画素のピッチと対応するように、画素の配列方向に対してノズルの配列方向を傾けて支持する支持機構と、
上記ＸＹθステージの駆動にともなって移動する基板の位置信号を入力し、上記インクジェットヘッドに対応する基板の画素が位置したときに上記インクジェットヘッドのそれぞれに対してインク吐出信号を出力し、上記画素に対してインクを塗布するよう制御する制御手段と
を具備することを特徴とする有機ＥＬ表示装置の製造装置。
Ｘ方向とＹ方向に所定のピッチで配列される複数の画素を備えた基板を支持固定するＸＹθステージと、
このＸＹθステージの上方部位に設けられ、上記画素を構成するＲ，Ｇ，Ｂ三色に対応するドットに対してインクジェット方式によりインクを塗布するインク塗布手段を備えた有機ＥＬ表示装置の製造装置において、
上記インク塗布手段は、Ｒ，Ｇ，Ｂ三色いずれかの色のインクを収容し、それぞれが上記基板の画素のピッチよりも大きいピッチの複数のノズルを備え、これらノズルからＲ，Ｇ，Ｂ三色の色のインクを同時に吐出するインクジェットヘッドと、
これらインクジェットヘッドを画素の配列方向に沿って並行し、かつそれぞれのノズルが上記基板の画素のピッチと対応するように、画素の配列方向に対してノズルの配列方向を傾けて支持する支持機構と、
上記ＸＹθステージの駆動にともなって移動する基板の位置信号を入力し、上記インクジェットヘッドに対応する基板の画素が位置したときに上記インクジェットヘッドのそれぞれに対してインク吐出信号を出力し、上記画素に対してインクを塗布するよう制御する制御手段と
を具備することを特徴とする有機ＥＬ表示装置の製造装置。
Ｘ方向とＹ方向に所定のピッチで配列される複数の画素を備えた基板に対して、それぞれが画素ピッチよりも大きいピッチの複数のノズルを備え、Ｒ，Ｇ，Ｂ三色いずれかの色のインクを収容するインクジェットヘッドを上記画素の配列に対して斜めに支持し、画素のピッチに合わせたうえでインクを塗布するインクジェットヘッドを備えた有機ＥＬ表示装置の製造装置を用いた有機ＥＬ表示装置の製造方法であって、
上記基板の画素に対するインクジェットヘッドの位置を調整するヘッド位置調整工程と、
位置調整したインクジェットヘッドの基板に対する高さ位置を検出し、最適位置に合わせるヘッド高さ調整工程と、
高さ調整をなした各色のインクジェットヘッドから各画素に対してインクを１点塗布し、その塗布位置を検出する塗布位置検出工程と、
この塗布位置の検出結果から画素に対するヘッドの位置ずれ量を算出する位置ずれ量算出工程と、
算出した位置ずれ量に応じてインクジェットヘッドをＹ方向に移動して、同方向の位置ずれを矯正するヘッド位置調整工程と、
算出した位置ずれ量に応じてインクジェットヘッドの塗布タイミングを補正し、インクジェットヘッドのＸ方向の位置ずれを矯正する塗布タイミング補正工程と
を具備することを特徴とする有機ＥＬ表示装置の製造方法。