TWI484228B

TWI484228B - Liquid material distribution method, manufacturing method of color filter, manufacturing method of organic EL display device

Info

Publication number: TWI484228B
Application number: TW101109390A
Authority: TW
Inventors: Yoshihiko Ushiyama; Tsuyoshi Kitahara; Yoichi Miyasaka
Original assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2006-10-05
Filing date: 2007-10-02
Publication date: 2015-05-11
Also published as: US8389046B2; JP2008091296A; CN101712233A; US20080084405A1; TW201229575A; CN101157297A; TWI564596B; CN101712233B; TW200903043A; KR20080031783A; US20120171357A1; KR100928672B1; CN100584613C; JP4605134B2; TW201527804A; US8668951B2; TWI374294B

Description

液狀體配置方法、彩色濾光片之製造方法、有機EL顯示裝置之製造方法

本發明係關於利用液滴噴出法之液狀體配置方法、利用該方法之彩色濾光片之製造方法、有機EL顯示裝置之製造方法。

近年來，利用液滴噴出法之成膜技術備受注目，例如，在專利文獻1中，曾揭示利用液滴噴出法之液晶顯示裝置之彩色濾光片之製造方法。在此製造方法中，由對基板掃描之液滴噴出頭(以下稱噴頭)之微細噴嘴噴出含色材之液滴(液狀體)而在該基板上之劃分區域內配置(描繪)液狀體，再藉乾燥等使配置之液狀體固化而形成對應於畫素之著色膜。

[專利文獻1]日本特開2003-159787號公報

而，對基板之液滴之配置圖案可以所謂點圖案(點矩陣圖案)表示，將此點圖案變換成對應於對基板之各噴嘴之相對位置(以下稱掃描位置)之噴出之開/關資料(噴出資料)而施行噴出控制。此種點圖案係依照欲形成於基板上之液狀體之圖案(彩色濾光片之製造之情形係依據對應之畫素構造)及噴嘴之配置構成等硬體條件預先產生。

但，噴嘴特性每1個體均有些為之誤差，此種誤差係導致液狀體之配置精度降低之要因。例如，而有因液滴之飛行方向不良，使液滴落在劃分區域外，或因噴出量之誤差而在劃分區域間使液狀體之配置量發生不均之問題。

本發明係為解決上述問題而設計者，其目的在於提供可高精度地配置液狀體之液狀體配置方法、及利用該液狀體配置方法之彩色濾光片之製造方法、有機EL顯示裝置之製造方法。

本發明之特徵在於其係一面使複數噴嘴與基板相對地掃描，一面由前述噴嘴噴出液狀體，藉以對前述基板上之特定區域配置前述液狀體之液狀體配置方法，而包含：A步驟，其係對應於前述特定區域產生設定有特定數a之點之第1點圖案；C步驟，其係由前述特定數a之點消除特定數b之點而產生第2點圖案；及D步驟，其係依據前述第2點圖案噴出前述液狀體；在前述C步驟中，至少依據對應之前述噴嘴之噴出資訊判定有關前述特定數a之點之指標，依據前述指標決定欲消除之前述特定數b之點者。

在本發明之液狀體配置方法中，由具有對應於特定區域產生設定有特定數a之點之第1點圖案，消除特定數b之點而產生第2點圖案，依據該第2點圖案配置液狀體。此時，依據噴嘴之噴出資訊判定有關上述特定數a之各點之噴出指標，消除依據該指標決定之點，故可在對特定區域之噴出中限制降低配置精度之影響性較大之噴出，提高配置精度。

本發明之特徵在於其係一面使複數噴嘴與基板相對地掃描，一面由前述噴嘴噴出液狀體，藉以對前述基板上之特定區域配置前述液狀體之液狀體配置方法，而包含：A步驟，其係對應於前述特定區域產生設定有特定數a之點之第1點圖案；C步驟，其係由前述特定數a之點消除特定數b之點而產生第2點圖案；及D步驟，其係依據前述第2點圖案噴出前述液狀體；在前述C步驟中，至少依據對應之前述噴嘴之噴出資訊判定有關前述特定數a之點之指標，並優先地消除被判定為前述指標相對較高之點者。

在本發明之液狀體配置方法中，由具有對應於特定區域產生設定有特定數a之點之第1點圖案，消除特定數b之點而產生第2點圖案，依據該第2點圖案配置液狀體。此時，依據噴嘴之噴出資訊判定有關上述特定數a之各點之噴出指標，優先地消除被判定為該指標相對較高之點，故可在對特定區域之噴出中限制降低配置精度之影響性較大之噴出，提高配置精度。

又，最好，前述液狀體配置方法之特徵在於包含：B步驟，其係取得前述噴嘴之噴出資訊；對應於前述基板之每1單位乃至每複數單位執行前述B步驟及前述C步驟者。

依據本發明之液狀體配置方法，可迅速對應於噴嘴之噴出資訊之變化，在適切之條件下，進行液狀體之配置。

又，最好，前述特定區域係被岸堤所劃分者。

依據本發明之液狀體配置方法，可藉岸堤妥善地防止液狀體超出特定區域外。

又，最好，前述點之指標係在假定依據該點被噴出時之液狀體之配置位置與前述特定區域之境界之距離愈小時，愈會被判定為相對地較高者。

依據本發明之液狀體配置方法，可優先地消除預料對應之液狀體之命中位置可能接近於特定區域之境界之點，故可妥善地防止液狀體超出特定區域外。

又，最好，前述點之指標係在假定依據該點被噴出時之噴出量誤差愈大時，愈會被判定為相對地較高者。

依據本發明之液狀體配置方法，可優先地消除預料對應之液狀體之噴出量誤差可能較大之點，故可提高在特定區域單位之配置量之精度。

本發明之彩色濾光片之製造方法之特徵在於包含：利用前述液狀體配置方法，在設定於前述基板上之複數前述特定區域分別配置含色材之前述液狀體之步驟；及使所配置之前述液狀體固化而形成分別以前述複數特定區域作為畫素之對應區域之著色部之步驟。

依據本發明之彩色濾光片之製造方法，可利用上述液狀體配置方法形成著色部，故可以簡易之處理製造高品質之彩色濾光片。

本發明之有機EL顯示裝置之製造方法之特徵在於包含：利用前述液狀體配置方法，在設定於前述基板上之複數前述特定區域分別配置含有機EL材料之前述液狀體之步驟；及使所配置之前述液狀體固化而形成分別以前述複數特定區域作為畫素之對應區域之發光元件之步驟。

依據本發明之有機EL顯示裝置之製造方法，可利用上述液狀體配置方法形成發光元件，故可以簡易之處理製造高品質之有機EL顯示裝置。

以下，依據附圖詳細說明本發明之合適之實施型態。

以下所述之實施型態係本發明之合適之具體例，故附有技術上理想之種種限定，但只要在以下之說明中無有關限定本發明之記載，本發明之範圍不受此等型態所限制。又，在以下之說明所參照之圖中，在圖示之方便上，構件乃至於部份之縱橫之縮尺有顯示成異於實際狀況之情形。

(第1實施型態) (彩色濾光片之構成)

首先，參照圖1及圖2，說明有關本發明之彩色濾光片之構成。圖1係表示彩色濾光片之構成之平面圖。圖2係表示彩色濾光片之構造之剖面圖。

圖1、圖2所示之彩色濾光片1係使用於彩色用顯示面板之彩色濾光片，具有對應於顯示面板之R(紅)、G(綠)、B(藍)之各色之畫素而形成之著色部2、與形成於著色部2間之區域之遮光部3。又，本實施型態之著色部2雖具有對應於所謂條紋型之畫素構造之排列及形狀，但也可採用對應於此種畫素構造以外之排列及形狀，例如含R,G,B以外之色要素之畫素構造或三角型構造之構成。

彩色濾光片1包含玻璃之透光性之基板4，在基板4上以鉻等遮光性材料圖案形成遮光部3，另外，在遮光部3上，利用感光性樹脂等圖案形成岸堤5。著色部2形成於岸堤5所劃分之劃分區域6內，又，在著色部2之形成面側，以樹脂等形成使表面平滑化之罩面層7。又，複數之劃分區域6全部以相同之形狀、大小形成。

(液狀體噴出裝置之機械的構成)

其次，參照圖3、圖4，說明有關使用於本發明之液狀體配置方法之液狀體噴出裝置之機械的構成。

圖3係表示液狀體噴出裝置之要部構成之立體圖。圖4係表示噴頭單元之噴頭之配置構成之平面圖。

圖3所示之液狀體噴出裝置200係包含直線地設置之1對導軌201、與藉設於導軌201內部之氣動活塞與線性馬達(未圖示)向主掃描方向移動之主掃描移動台203。又，在導軌201之上方，包含以與導軌201正交方式設成直線狀之1對導軌202、與藉設於導軌202內部之氣動活塞與線性馬達(未圖示)沿著副掃描方向移動之副掃描移動台204。

在主掃描移動台203上，設有載置作為噴出對象物之基板P之台205。台205形成可吸附固定基板P之構成，且可藉旋轉機構207使基板P內之基準軸正確地對正於主掃描方向、副掃描方向。

副掃描移動台204係包含經由旋轉機構208被安裝成吊掛式之支架209。又，支架209係包含設置有複數噴頭11、12(參照圖4)之噴頭單元10、對噴頭11、12供應液狀體之液狀體供應機構(未圖示)、及施行噴頭11、12之電性的驅動控制之控制電路基板211(參照圖5)。

如圖4所示，噴頭單元10包含由噴嘴20噴出對應於R,G,B之液狀體之噴頭11、12，噴頭11、12之複數噴嘴20構成噴嘴群21A,21B。噴嘴群21A,21B分別形成特定間距(例如180DPI)之線排列，且進一步合併形成交錯狀排列之關係。又，噴嘴群21A,21B之排列方向與副掃描方向一致。

連通於噴頭11、12內之噴嘴20之液室(空腔)係構成可藉壓電元件16(參照圖5)之驅動而可改變其容量。又，由壓電元件16供應電氣信號(驅動信號)而控制空腔內之液壓時，可由噴嘴20噴出液滴(液狀體)。

如此，藉主掃描移動台203之移動，可使噴嘴群21A,21B對基板P掃描於主掃描方向，且藉施行各噴嘴20之噴出之開/關控制(以下稱噴出控制)，可將液滴(液狀體)配置於沿著基板P上之噴嘴20之掃描軌跡之位置。又，噴頭11與噴頭12係互相錯開位置被配置於副掃描方向，各噴嘴群21A,21B係構成可互相補足可噴出範圍而描繪出連續之定間距之掃描軌跡。又，鑑於其特性之特異性，噴嘴群21A,21B之端部之數個份之噴嘴20不予以使用。

再者，液狀體噴出裝置之構成並不限定於上述之態樣。例如，也可構成使噴嘴群21A,21B之排列方向由副掃描方向傾斜而相對於在噴嘴群21A,21B內之噴嘴20間之間距使噴嘴20之掃描軌跡之間距變窄。又，也可適宜地變更噴頭單元10之噴頭11、12之數及其配置構成。又，作為噴頭11、12之驅動方式，例如也可採用空腔設有加熱元件之所謂加熱方式等。

(噴出控制方法)

其次，參照圖5、圖6說明有關液狀體噴出裝置之噴出控制方法。圖5係表示液狀體噴出裝置之電氣的構成之圖。圖6係表示點圖案與噴嘴之位置之關係之圖。

在圖5中，液狀體噴出裝置200係包含施行裝置全體之總括控制之控制電腦210、及施行噴頭11、12之電性的驅動控制之控制電路基板211。控制電路基板211係經由軟性電纜212電性連接各噴頭11、12。又，噴頭11、12係對應於設在各噴嘴20(參照圖2)之壓電元件16而具備有移位暫存器(SL)50、閂鎖電路(LA)51、位準移動器(LS)52、開關(SW)53。

液狀體噴出裝置200之噴出控制係利用如下方式進行。即，首先，控制電腦210係將基板P(參照圖1)之液滴(液狀體)之配置圖案被資料化之點圖案資料(詳見後述)傳送至控制電路基板211。而，控制電路基板211係將點圖案資料解碼而產生各噴嘴20之開/關(噴出/非噴出)資訊之噴嘴資料。噴嘴資料被串聯信號(SI)化而與時鐘信號(CK)同步地被傳送至各移位暫存器50。

被傳送至移位暫存器50之噴嘴資料係在閂鎖信號(LAT)被輸入至閂鎖電路51之時間被閂鎖，再被位準移動器52變換成開關53用之選通信號。即，在噴嘴資料為「開」之情形，開關53打開，驅動信號(COM)被供應至壓電元件16，在噴嘴資料為「關」之情形，開關53關閉，驅動信號(COM)不被供應至壓電元件16。而，由對應於「開」之噴嘴20，使液狀體液滴化而加以噴出，所噴出之液滴(液狀體)被配置於基板P。

如上所述，液狀體噴出裝置200之噴出控制係依據點圖案(資料)進行。此點圖案如圖6所示，可在具有主掃描方向、副掃描方向之成分之矩陣MT中，表示成在成為液滴(液狀體)之噴出(配置)位置之劃分配置點D之圖案。點D並非僅表示噴出之有無，且也可具有灰階性，例如，可依照灰階性改變液滴之量(噴出量)及噴出時間。

在此，矩陣MT之主掃描方向之間距：p1可由液滴(液狀體)之噴出控制週期(閂鎖週期)與掃描速度加以決定。又，矩陣MT之副掃描方向之間距：p2可設定於1次掃描之噴嘴20之掃描軌跡之間距：p0之自然數分之1倍。在本實施型態中，p2可設定於p0之3分之1，在分成3次之各掃描間，將噴嘴20之副掃描方向之位置互相錯開時，可使矩陣MT之所有之點D對應於噴嘴20而噴出液滴(液狀體)。

又，在圖中，互相鄰接之點d1,d2,d3係分別與第1掃描、第2掃描、第3掃描有關之點。此等也可互相對應於相同之噴嘴，但因噴嘴間之特性(例如噴出量)之誤差會在空間上分散，故最好在掃描間使點大幅向副掃描方向移動而使其對應於互異之噴嘴20。在複數之掃描間之噴嘴20(噴頭)位置之錯開方法(掃描方法)有多樣之方法，可配合噴嘴及噴頭間之特性誤差之分散及循環時間等而採用適切之方法。又，在本實施型態中，雖未採用，但採用在複數之掃描間使噴嘴20之副掃描方向之位置互相重疊之掃描方法時，也可使在一行(主掃描方向之排列)內之點D分別對應於複數之噴嘴20。

(彩色濾光片之製造方法(液狀體配置方法))

其次，參照圖7~圖9說明有關本發明之彩色濾光片之製造方法(液狀體配置方法)。

圖7係表示彩色濾光片之著色部之形成製程之流程圖。圖8係表示施行液狀體配置之際之基板之狀態之平面圖。圖9係表示第1點圖案與噴嘴之關係之圖。

彩色濾光片1(參照圖1、圖2)之著色部2(參照圖1、圖2)之形成係藉由準備含有分別對應於R,G,B之色材之液狀體，利用液狀體噴出裝置200(參照圖3)在基板上配置該液狀體所執行。如圖8所示，在配置液狀體之基板P上，設定有分別對應於彩色濾光片1之個體之區域之4個個體區域8，藉岸堤5在每1個體區域8形成劃分區域6之群。在本實施型態中，以劃分區域6之長邊方向為副掃描方向，短邊方向為主掃描方向而將基板P載置於台205(參照圖3)上。

在此，液狀體係被配置於作為岸堤5所劃分之特定區域之劃分區域6，但為了配合劃分區域6正確地將液狀體圖案化，最好預先在劃分區域6內之基板P之露出面，施行親液化處理，在岸堤5之表面施行撥液化處理。此種處理例如可利用氧或氟化碳之電漿處理施行。又，岸堤5之形成係為了高精度施行液狀體之圖案化之理想之實施型態，為設定特定區域，未必需要此種物理的劃分。

在液狀體之配置之前，首先，產生第1點圖案(圖7之步驟S1)。即，步驟S1係構成本發明之A步驟。第1點圖案係產生噴出控制之點圖案(第2點圖案)之基礎，呈現如圖9所示之構成。在圖中，白底之圓表示每1個點，假想線所示之假想劃分區域A1,A2,A3...表示將矩陣MT重疊於基板P上之情形之劃分區域6之對應區域。

本實施型態之第1點圖案係在同色之各假想劃分區域A1,A2,A3...之大致中央，具有以4列×6行之排列所設定之24個(特定數a)點。此等各點係依據與噴嘴之掃描軌跡之關係位置分別對應於噴嘴n11,n12...。即，依據各點之液滴(液狀體)之噴出係由其對應噴嘴所噴出，噴出之液滴(液狀體)係處於被配置於在基板P(參照圖8)之該點之對應位置之關係。

在第1點圖案中，設定於每1假想劃分區域之點數比液滴(液狀體)之適當配置量之相當數之18個還多，故就此狀態依據第1點圖案施行液滴(液狀體)之噴出時，會導致由劃分區域6之溢流。因此，有必要施行由24個(特定數a)點中消除多餘數之6個(特定數b)點之處理，而產生噴出控制之第2點圖案。

詳見後述，在第2點圖案之產生中，需要依據噴嘴之噴出資訊之指標之判定。因此，在第2點圖案之產生之前，需施行取得噴嘴之噴出資訊之噴嘴檢查(圖7之步驟S2)。即，此步驟S2係構成本發明之B步驟。又，所謂噴嘴之噴出資訊係指表示各噴嘴之噴出特性之資訊，例如可以噴出量及命中位置之精度(配置位置精度)等加以表示。

本實施型態之噴嘴檢查係由噴嘴對用紙噴出液滴(液狀體)，藉對形成於用紙上之命中痕跡施行攝像、圖像分析所執行。藉此，可取得由命中痕跡之理想位置之偏移量作為配置位置精度之資訊。

噴嘴檢查(步驟S2)完畢後，依據取得之噴嘴之噴出資訊，對第1點圖案施行處理，產生第2點圖案(圖7之步驟S3)。此處理係依照設定於各假想劃分區域A1,A2,A3...內之24個點單位進行，藉此，由24個(特定數a)點中消除6個(特定數b)點，而產生每一假想劃分區域具有18個點之第2點圖案(參照圖12)。即，此步驟S3係構成本發明之C步驟。

其次，依據第2點圖案對劃分區域6噴出液滴(液狀體)(圖7之步驟S4)。藉此，可將相當於18個點之量之液滴(液狀體)分別配置至各劃分區域6。即，此步驟S4係構成本發明之D步驟。

其次，使配置至劃分區域6內之液狀體乾燥，以形成著色部2(參照圖1、2)(圖7之步驟S5)。詳見後述，第2點圖案係呈現依據噴嘴之噴出資訊被適性化之構成，故可高精度地形成對應於各劃分區域6之著色部2。

又，噴嘴檢查(步驟S2)與依據其結果之第2點圖案之產生(步驟S3)最好在更換基板P之個體之時間等定期地施行。噴嘴之噴出資訊也可因後天的情況，例如對流路內之氣泡之混入及噴嘴維護之執行歷程等而變化，可供迅速應付此種變化。

(關於第2點圖案之產生)

其次，參照圖9~圖12，施行關於第2點圖案之產生之詳細說明。

圖10係表示第2點圖案產生之處理之流程圖。圖11係表示第2點圖案之產生過程之圖。表1係表示各點之評分之圖。圖12係表示第2點圖案之點之排列之圖。又，在圖11中，附註於點內之數字係為識別各點而權宜地附註之記號。

第2點圖案產生之處理係以圖9所示之第1點圖案為基礎而以設定於各假想劃分區域A1,A2,A3...內之24個點群單位依照圖10所示之流程圖所執行。此處理實際上係利用電腦自動地執行，電腦係讀出由步驟S1所產生之第1點圖案(資料)與由步驟S2所得之噴嘴之噴出資訊而執行圖10所示之處理。

在最初之步驟S11中，就各點運算對應之假想液滴之命中位置之座標。在此，所謂假想液滴，係假想地反映假定依據該點施行噴出時之液滴之狀態之液滴。圖11(a)~(c)係表示分別對應於第1、第14、第24點之假想液滴。又，所謂假想液滴之命中位置，係指命中於基板上之際之假想液滴之中心位置(在圖中以十字圖示)。

假想液滴之命中位置在理想上應該與各點之中心位置一致，但實際上會受到對應噴嘴之配置位置精度之影響而發生些微之偏移。即，假想液滴之命中位置係以點之中心位置之座標為基準而施行依據對應噴嘴之配置位置精度之座標修正所取得。

在其次之步驟S12中，依據步驟S11所取得之座標資訊，運算對應於各點之假想液滴與假想劃分區域A1,A2,A3...之境界之最接近距離。例如，著眼於假想劃分區域A2之情形，假想液滴與境界B1~B4之最接近距離如表1所示，成為最接近之境界及距離因點之設定位置及對應噴嘴之配置位置精度而變化。

在其次之步驟S13中，依據步驟S12所取得之最接近距離，施行有關各點之評分之判定。在此，所謂評分，係將假定依據該點施行噴出時之配置精度上之缺失(錯誤)之程度予以數值化所得之分數，對應於本發明之指標。最接近距離小表示所噴出之液滴超出而落在劃分區域外之危險性較高，最接近距離愈小時，判定有關該點之評分愈小(指標愈高)(參照表1)。

在其次之步驟S14中，在假想劃分區域A1,A2,A3...內之24個(特定數a)點中，消除被判定評分相對較小之6個(特定數b)點，產生第2點圖案。如此，依據第2點圖案施行液滴(液狀體)之配置之情形，可優先地限制預料命中位置可能接近於特定區域之境界之液滴之噴出，故可妥善地防止液滴超出劃分區域外。

著眼於假想劃分區域A2之情形，參照表1而依照評分較小(指標較高)之順序選定6個點時，第1、第12、第21~第24點相當於此。消除此等之點而產生之第2點圖案顯示如圖12所示之排列。

此種處理實質上係利用由複數(特定數a)點中選擇作為消除對象之點所執行，故即使噴嘴之噴出資訊較為複雜，其處理也相當簡單。又，在對特定區域之配置量之管理方面，也可藉規定作為消除對象之點之總數(特定數b)而容易地執行。

上述步驟S11~S14之處理實際上係分別對具有複數個之假想劃分區域所執行，藉此，可高精度地將液狀體配置於各劃分區域。在此，有關消除對象之點數(特定數b)，也可使液狀體之配置量在劃分區域間相異，以作為依照各假想劃分區域獨立設定之態樣。

如上所述，作為消除對象之點雖依據有關該點之評分(指標)被選定，但在選定中，並無絕對的之評分之基準值存在，而係藉由在依照各假想劃分區域A1,A2,A3...所設定之24個點間之相對的比較而施行選定。因此，在液狀體之配置精度之提高方面，可在限定之條件下儘可能地獲得理想之效果。

又，在上述實施型態中，雖以第1~第24點之全部為對象而施行步驟S11~S13之處理但對於一部分之點，也可加以省略。例如，對於設定於靠近中央之位置之8個點(第6,7,10,11,14,15,18,19點)，假設依據此而被噴出也不會發生超界時，也可省略最接近距離之運算。

又，在上述實施型態中，雖採用由24個(特定數a)之點中消除6個(特定數b)之點之態樣，但特定數a及特定數b之值可依照劃分區域6之大小、矩陣MT之間距(解像度)、目標之配置量、每1點之液滴量等適宜地予以變更。

(第2實施型態)

其次，參照圖9、圖13、表2、圖14，以與第1實施型態之相異點為中心，說明本發明之第2實施型態。

圖13係表示第2點圖案產生之處理之流程圖。表2係表示各點之評分之圖。圖14係表示第2點圖案之點之排列之圖。

在此第2實施型態中，沿著圖13之流程圖施行第2點圖案之產生。即，在最初之步驟S21中，就設定於假想劃分區域A1,A2,A3...內之各點，運算假定依據該點被噴出時之噴出量之誤差(噴出量誤差)。此噴出量誤差係被求出作為對應噴嘴之噴出量與基準量(將噴出量之設計上之理想值、或複數噴嘴之噴出量平均化之值)之差。

各噴嘴之噴出量係在先前之噴嘴檢查(圖7之步驟S2)中被計測。具體上，例如，藉由利用白色干涉法3維測定配置於基板上之液滴之體積，或藉由測定被噴出至用紙之液滴之命中痕跡之大小(面積)而加以計測。

在其次之步驟S22中，依據步驟S21所取得之噴出量誤差，施行有關各點之評分之判定。噴出量誤差較大表示與基準量大異之量之液滴被配置於劃分區域內，故其評分被判定為相對較小(指標較高)(參照表2)。

在其次之步驟S23中，在假想劃分區域A1,A2,A3...內之24個(特定數a)點中，消除被判定評分相對較小之6個(特定數b)點，產生第2點圖案。藉此，依據第2點圖案施行液滴(液狀體)之配置之情形，可優先地限制噴出量誤差相對較大之點，故可提高配置量精度。

在本實施型態中，著眼於假想劃分區域A2之情形，評分較小(指標較高)之順序消除6個點，即第17~第20點、第5~第8點中之2個點。有關第5~第8點之評分雖為互相相同之值，但在此種情形，例如可由等效之點中隨機地選定消除之對象。如此產生之第2點圖案之排列例如成為如圖14所示之狀態。

(變形例)

其次，參照表3、圖15，以與先前之實施型態之相異點為中心，說明有關第2實施型態之變形例。

表3係表示各點之評分之圖。圖15係表示第2點圖案之點之排列之圖。

在此變形例中，在評分(指標)之判定中考慮噴出量誤差之極性(正負)。即，在噴出量誤差之極性(正負)互相相同之點間，雖在噴出量誤差之絕對值愈大時，判定指標相對地愈高(評分愈小)，但在不同極性之點間，則未必如此。

例如，著眼於假想劃分區域A2之情形(參照表3)，噴出量誤差：+0.22之第17~第20點之評分被判定為1之點雖與先前之實施型態相同，但噴出量誤差：-0.14之第1~第4點之評分被判定為2，噴出量誤差：+0.15之第5~第8點之評分被判定為3。如此，可消除第5~第8點及第1~第4點中之2個點，使第2點圖案之點之排列例如成為如圖15所示之狀態。

在先前之實施型態中，由於僅著眼於噴出量誤差之絕對值而施行評分(指標)之判定，故在僅消除噴出量多於基準量之點，並依據第2點圖案施行液狀體配置之情形，會因劃分區域內之配置量較少而有發生偏置之問題。在本變形例中，藉由採用評分(錯誤指標)之序列在噴出量誤差之極性中交互存在之判定基準，以謀求避免如上述之問題。

(第3實施型態)

其次，參照表4、圖16，以與第2實施型態之相異點為中心，說明本發明之第3實施型態。

表4係表示各點之評分之圖。圖16係表示第2點圖案之點之排列之圖。

在本第3實施型態中，係依據在第2實施型態所說明之噴出量誤差與對副掃描方向之點之相對位置而施行評分(錯誤指標)之判定。即，依據噴出量誤差而依照表5施行評分B之判定，依據對副掃描方向之點之相對位置而依照表6施行評分C之判定，並判定作為評分B與評分C之總和之總評分(參照表4)。

為施行良好之圖案，最好能使液狀體毫無缺陷地溼潤擴散至劃分區域之各個角落，但在此種觀點下，依據中央列之點之液滴(液狀體)之噴出可以說比依據外廓列之點之液滴(液狀體)之噴出相對地容易發生缺失。雖因劃分區域內之溼潤性及液狀體之表面張力所致，但一般而言，靠近劃分區域之端部之處比靠近中央之處更容易發生液狀體之缺陷，換言之，此係由於優先地將液滴配置於靠近中央之處容易導致此種缺陷之故。依據對副掃描方向之點之相對位置而施行評分(錯誤指標)之判定係鑑於此種情況所採取之應變措施，對副掃描方向之相對位置愈靠近中央，判定該點之評分愈小(錯誤指標愈高)。

如此，著眼於假想劃分區域A2之情形(參照表4)，第17~第20點及第13~第16點中之2個點會被消除，第2點圖案之排列例如會成為如圖16所示之狀態。

(第4實施型態)

其次，參照表7、圖17，以與第1、3實施型態之相異點為中心，說明本發明之第4實施型態。

表7係表示各點之評分之圖。圖17係表示第2點圖案之點之排列之圖。

在本第4實施型態中，除了第3實施型態所說明之評分B、評分C以外，依據第1實施型態所說明之假想液滴之命中位置座標與假想劃分區域之境界之最接近距離而依照表8被施行評分A之判定，並判定作為評分A,B,C之總和之總評分(參照表7)。

如此，著眼於假想劃分區域A2之情形(參照表7)，第1、第12、第17~第20點會被消除，第2點圖案點之排列例如會成為如圖17所示之狀態。

又，如第3、第4實施型態所示，施行依據複數參數之評分(總評分)之判定之情形，可適宜地變更在參數間之加權。例如，採用依照表9施行評分B之判定之態樣時，由於依據噴出量誤差之總評分判定之比重相對變小，故與噴出量誤差較大之點相比，最接近距離較小之點會被優先地消除。

(第5實施型態)

其次，參照圖18，以與第1實施型態之相異點為中心，說明本發明之第5實施型態。

圖18係表示有機EL顯示裝置之要部構成之剖面圖。

如圖18所示，有機EL顯示裝置100係包含元件基板111、形成於元件基板111上之驅動電路部112、形成於驅動電路部112上之發光元件部113、及封閉驅動電路部112及發光元件部113之封閉基板114。在封閉基板114所封閉之封閉空間115填充有惰性氣體。

發光元件部113具有被岸堤120所劃分之複數劃分區域119，在此劃分區域119內形成有發光元件125。發光元件125係在作為驅動電路部112之輸出端子之分段電極(陽極)121與共通電極(陰極)124之間層疊有電洞輸送層122、有機EL材料層123所構成。又，在岸堤120與驅動電路部112之間，以鉻或其氧化物等形成防止灰階要素間之干涉之遮光膜126。

電洞輸送層122係將電洞注入有機EL材料層123之功能層，由聚噻吩衍生物之摻雜質(PEDOT)等高分子導電體所形成。有機EL材料層123係由可發出螢光或燐光之習知之有機EL材料，例如聚芴衍生物、(聚)對苯乙烯撐衍生物、聚苯衍生物等所形成。電洞輸送層122、有機EL材料層123係利用第1實施型態所說明之液狀體配置方法，配置含對應於作為特定區域之劃分區域119之功能性材料(PEDOT/有機EL材料)之液狀體而製成。

本發明並不限定於上述之實施型態。

例如，作為使用上述之液狀體配置方法之別例，例如可列舉電漿顯示裝置之螢光膜之形成、或電路之導電布線及電阻元件之形成等。

又，實施型態之各構成可將此等構成適宜地組合，或省略，或與未圖示之其他構成相組合。

1．．．彩色濾光片

2．．．著色部

4．．．基板

5．．．岸堤

6．．．作為特定區域之劃分區域

20．．．噴嘴

100．．．有機EL顯示裝置

119．．．作為特定區域之劃分區域

120．．．岸堤

122．．．電洞輸送層

123．．．有機EL材料層

125．．．發光元件

200．．．液狀體噴出裝置

MT．．．矩陣

圖1係表示彩色濾光片之構成之平面圖。

圖2係表示彩色濾光片之構造之剖面圖。

圖3係表示液狀體噴出裝置之要部構成之立體圖。

圖4係表示噴頭單元之噴頭之配置構成之平面圖。

圖5係表示液狀體噴出裝置之電氣的構成之圖。

圖6係表示點圖案與噴嘴之位置之關係之圖。

圖7係表示彩色濾光片之著色部之形成製程之流程圖。

圖8係表示施行液狀體配置之際之基板之狀態之平面圖。

圖9係表示第1點圖案與噴嘴之關係之圖。

圖10係表示第2點圖案產生之處理之流程圖。

圖11(a)~(c)係表示第2點圖案之產生過程之圖。

圖12係表示第2點圖案之點之排列之圖。

圖13係表示第2點圖案產生之處理之流程圖。

圖14係表示第2點圖案之點之排列之圖。

圖15係表示第2點圖案之點之排列之圖。

圖16係表示第2點圖案之點之排列之圖。

圖17係表示第2點圖案之點之排列之圖。

圖18係表示有機EL顯示裝置之要部構成之剖面圖。

A2．．．假想劃分區域

B1~B4．．．境界

MT．．．矩陣

Claims

一種液狀體配置方法，其特徵在於其係自噴嘴噴出液狀體作為液滴，藉以對基板上之複數特定區域配置前述液滴者，且方法包含：噴出資訊取得步驟，其係藉由檢查噴嘴，取得自前述噴嘴噴出之前述液滴之命中位置及噴出量作為噴出資訊；第2點圖案產生步驟，其係基於前述噴出資訊，在比特定數更多的液滴之配置圖案即第1點圖案之中，選定非噴出之液滴，且自所有的前述特定區域之第1點圖案消去前述非噴出之液滴，藉以產生前述特定數的液滴之配置圖案即第2點圖案；及噴出步驟，其係基於前述第2點圖案向前述各特定區域噴出前述液滴；其中各前述特定區域之前述非噴出之液滴之數量為相同。
如請求項1之液狀體配置方法，其中前述第2點圖案產生步驟係相對地判定每個前述特定區域之前述噴出資訊，來選定前述非噴出之液滴。
如請求項1之液狀體配置方法，其中前述複數特定區域係藉由岸堤(bank)劃分。
一種彩色濾光片之製造方法，其特徵在於包含：利用如請求項1之液狀體配置方法，在前述基板上之前述複數特定區域配置含色材之前述液狀體之步驟；及使經配置之前述液狀體固化而形成以前述複數特定區域作為畫素之對應區域之著色部之步驟。
一種有機EL顯示裝置之製造方法，其特徵在於包含：利用如請求項1之液狀體配置方法，在前述基板上之前述複數特定區域配置含有機EL材料之前述液狀體之步驟；及使經配置之前述液狀體固化而形成以前述複數特定區域作為畫素之對應區域之發光元件之步驟。