TW200903043A - Liquid body arrangement method, color filter manufacturing method, and manufacturing method of organic el display device - Google Patents

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200903043 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發月係關於利用液滴嘴出法之液狀體配置方法、利用 該方法之彩色濾光片之製造方法、有機el顯示裝置之製造 方法。 【先前技術】 ^年來利用液滴喷出法之成膜技術備受注目，例如， 在專利文獻1中，曾揭示利用液滴喷出法之液晶顯示裝置 之彩色遽光片之製造方法。在此製造方法中，由對基板掃 、田出頭⑽下稱噴頭）之微細喷嘴喷出含色材之液 (夜狀體）而在邊基板上之劃分區域内配置（描緣）液狀 再藉乾燥等使配置之液狀體固化而形成對應於書辛之 著色膜。 一 [專利文獻1]日本特開2⑼3_159787號公報 【發明内容】 (發明所欲解決之問題） 而’對基板之液滴之配晋 圖宏^ _ 置圖案可以所謂點圖案（點矩陣 圓粟）表不’將此點圖 換成對應於對基板之各噴嘴之 相對位置（以下稱掃描位 之贺出之開/關資料（喷出資料） 也仃嘴出控制。此種 、 狀體之欲形成於基板上之液 構造）及噴H 製造之情形係依據對應之畫素 構〇及噴嘴之配置構成等硬體條件預先產生。 但，喷嘴特性每i個體均 致液妝另一馬之铁差，此種誤差係導 配置精度降低之要 M 例如，而有因液滴之飛 124710.doc 200903043 行方向不良，使液滴落在劃分區域外 一刀匕埤汁，或因噴出量之誤差 而在劃分區域間使液狀體之配置量發生不均之問題。 本發明係為解決上述問題而 高精度地配置液狀體之液狀體 配置方法之彩色濾光片之製造 造方法。 设計者，其目的在於提供可 配置方法、及利用該液狀體 方法、有機EL顯示裝置之製 (解決問題之技術手段） 本發明之特徵在於其係1使複數切與基板相對地掃 描，-面由前述喷嘴喷出液狀體，藉以對前述基板上之特 定區域配置前述液狀體之液狀體配置方法，而包含：八步 驟，其係對應於前述特定區域產 X座生δ又疋有特定數a之點之 苐1點圖案；C步驟，其係由前述特定數a之點消除特定. 產生第2點圖案；及0步驟，其係依據前述第 案喷出前述液狀體；在前述C舟驟击 u⑯a 步驟中，至少依據對應之前 述噴嘴之噴出資訊判 關…述特疋數a之點之指桿，依 據前述指標決定欲消除之前述特定數匕之點者。 在本發明之液狀體配置 ^ , 忐中，由具有對應於特定區域 產生設定有特定數a之點之第丨點 而產生第2點圖案，依”第2點案’ 4除特定Μ之點 w… 圖案配置液狀體。此時， 依據喷嘴之喷出資訊判定有 地符疋數a之各點之嗜屮 指標，消除依據該指標決定 ' 忏六疋之點，故可在對特定區域之喷 出中限制降低配置精度之影… 度。 千乂八夂贺出，提咼配置精 本發明之特徵在於其係一 面使複數喷嘴與基板相對地掃 I24710.doc 200903043 描，-面由前述噴嘴噴出液狀體，藉以對前述基板上之特 定區域配置前述液狀體之液狀體配置方法，而包含：A步 驟，其係對應於前述特定區域產生設定有特定數a之點^ 第！點圖案；C步驟，其係由前述特定數a之點消除特定❹ 之點而產生第2點圖案；及D步驟，其係依據前述第2點圖 案喷出前述液狀體；在前述C步驟中，至少依據對應之前 述喷嘴之贺出資訊判定有關前述特定數a之點之指標，並 優先地消除被判定為前述指標相對較高之點者。 =體配置方法中’由具有對應於特定區域 有n之點之第1點圖案’消除特定數b之點

地消除被判定為該指標相對較高之點，故可I 出喷出中限制降低配置精度之影響性較大之喷 «，知尚配置精度。 认八· 又，最好，前述液狀體配置方法 驟，其係取得前述喷嘴之噴出 ' 政在於包含·· Β步 !單位乃至每複數單位執行前d於前述基板之每 依據本發明之液狀體配置方法…引㈣驟者。 出資訊之變化，在適切之條件下，進迅二對應於嘴嘴之噴 又’最好，前述特定區域係被岸堤配置。 依據本發明之液狀體配置方法 -刀。 狀體超出特定區域外。 ，可藉岸堤妥善地防止液 又’最前述點之指標係在 1247I0.doc 疋依據該點被噴出時之 200903043 液狀體之配置位置與前述料宏 人人 a将疋£域之境界之距離僉，】、砗 愈會被判定為相對地較高者。 〜夺 依據本發明之液狀體配置方法，可優先地消除預料對庫 二液：：之命中位置可能接近於特定區域之境界之點，： 可t„地防止液狀體超出特定區域外。 又」最好，前述點之指標係、在假定依據該點被喷出時之 I誤差愈大時，愈會被判定為相對地較高者。 依據本發明之液狀體配置方法 之洛#+ 置方法，可優先地消除預料對應 之，夜狀體之喷出量誤矣可# h 里為差T*bk大之點，故可提高在特定區 域早位之配置量之精度。 ，本發明之彩色遽光片之製造方法之特徵在於包含：利用 =狀體配置方法’在設定於前述基板上之複數前述特 疋々刀別配置含色材之前述液狀體之步驟；及使所配置 之前述液狀體固化而形成分別以前述複數特定區域作為晝 素之對應區域之著色部之步驟。 據本發明之衫色慮光片之製造方法，可利用上述液狀 體配置方法形成著色部，故可以簡易之處理製造高品質之 彩色濾光片。 本=明之有機EL顯示裝置之製造方法之特徵在於包含： 利用：述液狀體配置方法’在設定於前述基板上之複數前 述特定區域分別配置含有機E L材料之前述液狀體之步驟； 。、斤配置之如述液狀體固化而形成分別以前述複數特定 區域作為晝素之對應區域之發光元件之步驟。 依據本發明之有機EL顯示裝置之製造方法，可利用上述 124710.doc 200903043 液狀體配置方法形成發光元件，故可以簡易之處理製造高 品質之有機EL顯示裝置。 【實施方式】 以下’依據附圖詳細說明本發明之合適之實施型態。 以下所述之實施型態係本發明之合適之具體例，故附有 技術上理想之種種限定，但只要在以下之說明中無有關限 定本發明之記載，本發明之範圍不受此等型態所限制。

又’在以下之說明所參照之圖中，在圖示之方便上，構件 乃至於邛伤之縱橫之縮尺有顯示成異於實際狀況之情形。 (第1實施型態） (彩色濾光片之構成） 首先’參照圖1及圖2,說明有關本發明之彩色濾光片之 構成。圖1係表示彩色濾光片之構成之平面圖。圖2俜表干 彩色遽光片之構造之剖面圖。 #表不 圖广圖2所示之彩色濾光片1係使用於彩色用顯示面板 之心色慮光片’具有對應於顯示面板之R(紅）、G(綠）、 B(藍)之各色之畫素而形成之著色部2、與形成於著色部2 間之區域之遮光部3。又，本實施型態之著色心雖具有對 應於所謂條紋型之畫素構造之排列及形狀，但也可採用對 應於此種晝素構造以外之排列及形狀，Μ 之声要狀’例如含R，G，B以外 ’、—素構造或三角型構造之構成。 彩色濾光片i包含玻璃之透光性之基板 鉻等遮光性材料圖案形成遮光部3,另外，在== 利用感先㈣脂等圖案形成岸堤5。著色部2形成於岸堤$ 124710.doc 10 200903043 所劃分之劃分區域6内，5 如一 4 ^ ^ ^ 者色部2之形成面側，以樹 月曰等形成使表面平滑化之1而β 八却μ〜 罩面層7°又，複數之劃分區域6 王4以相同之形狀、大小形成。 (液狀體喷出裝置之機械的構成） 其次’參照圖3、圖4，說 配置方法之液狀體喷出裂置 明有關使用於本發明 之機械的構成。 之液狀體 表 圖3係表示液狀體噴 示噴頭單元之噴頭之 出裝置之要部構成之立體圖。圖4係 配置構成之平面圖。 圖3所示之液狀體噴出裝置係包含直線地設置之丄對 導軌2(H '與藉設於導軌2〇1内部之氣動活塞與線性馬達 (未圖示）向主掃描方向移動之主掃描移動台2〇3。又，在導 執2(H之上方’包含以與導軌2()1正交方式設成直線狀之^ 對導軌202、與藉设於導軌2〇2内部之氣動活塞與線性馬達 (未圖不）沿著副掃描方向移動之副掃描移動台。 在主掃描移動台2〇3上，設有載置作為喷出對象物之基 板P之台205。台205形成可吸附固定基板p之構成，且可藉 旋轉機構207使基板p内之基準軸正確地對正於主掃描方 向、副掃描方向。 刻掃描移動台204係包含經由旋轉機構208被安裝成吊掛 式之支架209。又，支架209係包含設置有複數喷頭u、 12(參照圖4)之噴頭單元1〇、對喷頭u、12供應液狀體之液 狀體供應機構（未圖示）、及施行喷頭11 ' 12之電性的驅動 控制之控制電路基板2〗1 (參照圖5)。 如圖4所示，噴頭單元1〇包含由喷嘴2〇喷出對應於R，G，b 124710.doc 200903043 之液狀體之噴頭丨丨、12，喷頭u、12之複數噴嘴2〇構成噴 嘴群21A，21B。喷嘴群21A，21B分別形成特定間距（例如 1 8 0DPI)之線排列，且進一步合併形成交錯狀排列之關 係。又’噴嘴群21A，21B之排列方向與副掃描方向一致。 連通於噴頭11、；12内之噴嘴20之液室（空腔）係構成可藉 壓電元件16(參照圖5)之驅動而可改變其容量。又，由壓電 元件16供應電氣信號（驅動信號）而控制空腔内之液壓時， 可由喷嘴20噴出液滴（液狀體）。 如此，藉主掃描移動台2 03之移動，可使喷嘴群2iA 21B對基板p知描於主掃描方向，且藉施行各噴嘴之噴出 之開/關控制（以下稱喷出控制），可將液滴（液狀體）配置於 沿著基板P上之嘴嘴20之掃描軌跡之位置。又，喷頭丨丨與 喷頭12係互相錯開位置被配置於副掃描方向，各噴嘴群 21A，21B係構成可互相補足可喷出範圍而描繪出連續之定 間距之掃描執跡。又，鑑於其特性之特異性，喷嘴群21八， 21B之端部之數個份之噴嘴2〇不予以使用。 再者，液狀體噴出裝置之構成並不限定於上述之態樣。 例如，也可構成使喷嘴群21A，21B之排列方向由副掃描方 向傾斜而相對於在噴嘴群2 1A，2 1B内之噴嘴2 0間之間距使 噴嘴20之掃描執跡之間距變窄。又，也可適宜地變更喷頭 早几10之喷頭11、12之數及其配置構成。又，作為噴頭 U 12之驅動方式，例如也可採用空腔設有加熱元件之所 謂加熱方式等。 (喷出控制方法） 124710.doc -12- 200903043 其次，參照圖5、圖6說明有關液狀體嘴出裝置之喷出控 方法。圖5係表示液狀體噴出裝置之電氣的構成之圖： 圖6係表示點圖案與喷嘴之位置之關係之圖。 在圖5中，液狀體噴出裝置2〇〇係包含施行裝置 ::制之控制電腦21。、及施行喷頭1…2之電性的驅： 控制電路基板211 °控制電路基板2U係經由軟性電 繞212電性連接各噴頭1m，喷頭"、12係對庫於 設在各喷嘴2〇(參照圖2)之壓電元件16而具備有移位暫存器 (SL)5〇、閃鎖電路（LA)51、位準移動器5 。 Ί 關 液狀體喷出裝置200之喷出控制係利用如下方式進行。 即，首先，控制電腦21〇係將基板ρ(參照叫之二商(：狀 體）之配置圖案被資料化之點圖案資料（詳見後述）傳送至控 制電路基板2U。而，控制電路基板211係將點圖案資㈣ 碼而產生各喷嘴20之開/關（喷出/非喷出）資訊之噴嘴資 料。喷嘴資料被串聯信號⑼化而與時鐘信號（ck)同步地 被傳送至各移位暫存器5 〇。 、被傳送至移位暫存㈣之㈣請係在㈣信號（lat) 被輸入至問鎖電路51之時間被問鎖，再被位準移動器52變 換成開關53用之選通信號。g卩，在㈣請為「開」之情 開關53打開，驅動/^號（c〇M)被供應至麗電元件1 6， Μ嘴資料為「關」之情形’開關53關閉’驅動信號 (⑶⑷不被供應至塵電元件16。而，由對應於「開」之喷 嘴20 ’使液狀體液滴化而加以噴出，所噴出之液滴(液狀 124710.doc -13- 200903043 體）被配置於基板p。 如欠上所述’液狀體噴出裝置2〇〇之噴出控制係依據點圖 案（資料）進行。此點圖案如圖6所示，可在具有主掃描方 向、副掃描方向之成分之矩陣MTf，表示成在成為液滴 (液狀體）之噴出（配置）位置之劃分配置點D之圖案。點D並 非僅表示喷出之有無，且也可具有灰階性，例如，可依照 灰階性改變液滴之量（喷出量）及喷出時間。 1此矩陣町之主掃描方向之間距：^可由液滴（液狀 體）之贺出控制週期⑺鎖週期）與掃描速度加以決定。又， 矩陣MT之田丨j掃描方向之間距·仍設定於1次掃描之嘴嘴 :二掃描執跡之間距：p0之自然數分之1倍。在本實施型 …P2可設定於心分之i，在分成; 之副掃描方向之位置互相錯開時，可使矩陣MT 之所有之點D對應於喷嘴2〇而喷出液滴（液狀體卜 描又第S’夕相鄰接之點A们，⑽係分別與第1掃 第知為、苐3掃描有關之點。此等也可互相對應於相 =噴嘴，但因喷嘴間之特性(例如喷出量)之喝 間上…故最好在掃描間使點大幅向副掃描方向移動； :其對應於互異之噴嘴2〇。在複數之:移： 法)有多樣之方法，可 ΓΓ 誤差之分散及循環時間等而採用適切之： 法。又’在本實施型態中，雖未採用，—採 描間使嘴嘴2。之副掃描方向之位置互相：掃 時，也可使在一行（主 且之知撝方法 田向之排列）内之點D分別對應 124710.doc -14· 200903043 於複數之喷嘴2 〇。 (彩色遽光片之製造方法（液狀體配置方法）） 人，參照圖7〜圖9說明有關本發明之彩色濾光片之製 造方法（液狀體配置方法）。 圖7係表示彩色濾光片之著色部之形成製程之流程圖。 圖8係表示施行液狀體配置之際之基板之狀態之平面圖。 圖9係表示第1點圖案與喷嘴之關係之圖。 彩色濾光片1 (參照圖1、圖2)之著色部2(參照圖丨、圖2) 之形成係藉由準備含有分別對應於R，G，Β之色材之液狀 體，利用液狀體喷出裝置200(參照圖3)在基板上配置該液 狀體所執行。如圖8所示，在配置液狀體之基板]?上，設定 有刀別對應於彩色遽光片1之個體之區域之4個個體區域 8 ’藉岸堤5在每1個體區域8形成劃分區域6之群。在本實 施型恶中，以劃分區域6之長邊方向為副掃描方向，短邊 方向為主掃描方向而將基板p載置於台2〇5(參照圖3)上。 在此，液狀體係被配置於作為岸堤5所劃分之特定區域 之劃分區域6，但為了配合劃分區域6正確地將液狀體圖案 化’最好預先在劃分區域6内之基板p之露出面，施行親液 化處理’在岸堤5之表面施行撥液化處理。此種處理例如 可利用氧或氟化碳之電漿處理施行。又，岸堤5之形成係 為了高精度施行液狀體之圖案化之理想之實施型態，為設 定特定區域’未必需要此種物理的劃分。 在液狀體之配置之前，首先，產生第1點圖案（圖7之步 驟S1)。即，步驟S 1係構成本發明之a步驟。第1點圖案係 124710.doc -15- 200903043 產生喷出控制之點圖案（第2點圖案）之基礎，呈現如圖9所 示之構成。在圖中，白底之圓表示每i個點，假想線所示 之假想劃分區域A1, A2, A3··.表示將矩陣MT重疊於基板p 上之情形之劃分區域6之對應區域。 本實苑型態之第1點圖案係在同色之各假想劃分區域A i， ，A3 .·.之大致中央，具有以4列χ6行之排列所設定之μ 個（特定數a)點。此等各點係依據與喷嘴之掃描執跡之關係 位置分別對應於喷嘴nU，nl2..·。即，依據各點之液滴（液 狀體)之噴出係由其對應噴嘴所噴出’喷出之液滴(液狀體) 係處於被配置於在基板p(參照圖8)之該點之對應位置之關 係。 、 ^ ，「八心里彳刀扭埤及點歡比液滴 (液狀體）之適當配置量之相當數之18個還多，故就此狀態 依據第1點圖案施行液滴（液狀體）之喷出時，會導致由劃分 £域6之溢流。因此，右y並^ , 有乂要細仃由24個（特定數a)點中消 除多餘數之6個（特定數b)點$ _ τ田 ^ ^ I行疋動之處理，而產生喷出控 點圖案。 詳見後述’在第2點圖案之產生中，需要依據噴嘴之噴 =資訊之，標之判定。因此，在第2點圖案之產生之前， 需施行取得噴嘴之喷出資訊 <噴嘴檢查（圖7之步驟S2)。 即，此步驟S2係構成本發明 ； < 乂驟。又，所謂喷嘴 ^訊係指表示Μ嘴之^特 罝及命中位置之精度(配置位置精度)等加以表示。嘴出 本實施型遠之噴嘴檢查係由喷嘴對用紙噴出液滴（液狀 124710.doc 200903043 體），精對形成於用紙上之命中痕跡施行攝像、圖像分析 所執行。藉此，可取得由命中痕跡之理想位置之偏移量作 為配置位置精度之資訊。 噴嘴檢查（步驟S2)完畢後，依據取得之噴嘴之噴出資 訊，對第1點圖案施行處理，產生第2點圖案(圖7之步驟 S3)。此處理係依照設定於各假想劃分區域八丨，μ…内 之2物點單位進行，藉此，由川固（特定數^點中消除6個 (特定數b)點，而產生每—假想劃分區域具有以個點之第2 點圖案（參照圖13)。即，此步驟S3係構成本發明之c步 驟。 其次，依據第2點圖案對劃分區域6喷出液滴（液狀體）（圖 7之步驟S4)。藉此，可將相當於18個點之量之液滴（液狀 體）分別配置至各劃分區域6。#，此步驟S4係構成本發明 之D步驟。 其次，使配置至劃分區域6内之液狀體乾燥，以形成著 色部2(參照圖i、2)(圖7之步驟S5)。詳見後述，第2點圖案 係呈現依據喷嘴之喷出資訊被適性化之構成，故可高精度 地形成對應於各劃分區域6之著色部2。 又，嘴嘴檢查（步驟S2)與依據其結果之第2點圖案之產 生（步驟S3)最好在更換基板p之個體之時間等定期地施 行。嘴嘴之噴出資訊也可因後天的情況，例如對流路内之 氣泡之混入及喷嘴維護之執行歷程等而變化，可供迅速應 付此種變化。 (關於第2點圖案之產生） 124710.doc 17 200903043 其次，參照圖9〜圖13，施行關於第2點圖案之產生之詳 細說明。 圖10係表示第2點圖案產生之處理之流程圖。圖u係表 示第2點圖案之產生過程之圖。圖12係表示各點之評分之 圖。圖13係表示第2點圖案之點之排列之圖。又，在圖u 中，附注於點内之數字係為識別各點而權宜地附註之記 號。 第2點圖案產生之處理係以圖9所示之第1點圖案為基礎 而以設定於各假想劃分區域Al，A2, A3...内之24個點群單 位依照圖1G所示之流程圖所執行。此處理實際上係利用電 腦自動地執行’電腦係讀出由步驟S1所產生之第i點圖案 (資料）與由步驟S2所得之嗔嘴 于心贾賈之噴出貝汛而執行圖10所示 之處理。 在最初之步驟SU中，就各點運算對應之假想液滴之命 中位置之座標。在此，所謂假想液滴，係假想地反映假定 依據該點施行噴出時之液滴之肤離夕y 表示分別對應於第"" 液滴。圖u(a)〜(c)係 m ，、、、第第第24點之假想液滴。又，所 I…夜滴之命中位置’係指命中 狀中心位置（在圖中以十字圖示）。之際之假心液 假想液滴之合φ 乂 致，但實際上會^丨 應該與各點之中心位置- 生此微之噴嘴之配置位置精度之影響而發 置:座:=，假想液滴之命中位置係以點之中心位 標修正所2準依據對應喷嘴之配置位置精度之座 I24710.doc -18- 200903043 在其次之步驟S12中，依據步驟S11所取得之座標資訊， 運算對應於各點之假想液滴與假想劃分區域A丨，A2，A3 .. 之境界之最接近距離。例如，著眼於假想劃分區域A?之情 形，假想液滴與境界B 1〜B4之最接近距離如圖丨2所示，成 為最接近之境界及距離因點之設定位置及對應噴嘴之配置 位置精度而變化。 在其次之步驟S13中，依據步驟S12所取得之最接近距 離，施行有關各點之評分之判定。在此，所謂評分，係將 假定依據該點施行喷出時之配置精度上之缺失（錯誤）之程 度予以數值化所得之分數，對應於本發明之指標。最接近 距離小表示所喷出之液滴超出而落在劃分區域外之危險性 較高，最接近距離愈小時，判定有關該點之評分愈小（指 標愈高）（參照圖12)。 在其次之步驟S14中，在假想劃分區域Al, A2, A3…内之 24個（特定數幻點中，消除被判定評分相對較小之6個（特定 數b)點’產生第2點圖帛。如此，㈣第2點圖案施行液滴 (液狀體)之配置之情开)’可#先地限制預料命中位置可能 接近於特定區域之境界之㈣之噴出，故可妥善地防止液 滴超出劃分區域外。 參照圖12而依照評分較 ’第1、第12、第21〜第 著眼於假想劃分區域A2之情形， 小（指標較尚）之順序選定6個點時 2 4點相當於此。消除，卜卜望+科二+ 冉示此#之點而產生之第2點圖案顯示如 圖1 3所示之排列。 此種處理實f上係利用由複數（特定數a)點中選擇作為消 124710.doc -19· 200903043 除對象之點所執行，故即使㈣4 處理也相當簡單。又，在對、、5' 為複雜，其 面，也可藉規定作為、、肖除對奐之配置量之管理方 地執行。⑷除對象之點之總數(特定數b)而容易 上述步驟S11〜S14之處理實γ μ总 相刮八F θ & π上係/刀別對具有複數個之 假心SJ刀&域所執行，藉此， 久到八π μ如 回精度地將液狀體配置於 各剑刀&域。在此，有關消除 ,關月除對象之點數（特定數b)，也可 使液狀體之配置量在劃分區域 j相共以作為依照各假相 劃分區域獨立設定之態樣。 …谷假心 如上所述，作為消除對象 π丹丨示耵豕之點雖依據有關該點之評分 (指標）被選定，但在選定中，並 Τ亚無絕對的之評分之基準值 存在’而係藉由在依照各假想劃分區域Α1, Α2, Μ...所設 定之24個點間之相對的比較而施行選定1此，在液狀體 之配置精度之提高方面，可在限定之條件下儘可能地獲得 理想之效果。 又’在上述實施型態中’雖以m24點之全部為對象 而施行步驟SU〜S13之處理但對於一部分之點，也可加以 省略。例如，對於設定於靠近中央之位置之8個點（第6,7, 10，11，14，15，18，19點）’假設依據此而被喷出也不會發 生起界時，也可省略最接近距離之運算。 (以個點改為24點會不會更簡單明瞭呢？）又，在上述實 施型態中，雖採用由24個（特定數叻之點中消除6個（特定數 b)之點之態樣，但特定數a及特定數1?之值可依照劃分區域 6之大小、矩陣MT之間距（解像度）、目標之配置量、每^點 124710.doc •20- 200903043 之液滴量等適宜地予以變更。 (第2實施型態） 其次，參照圖9、圖14、圖15、圖16 ’以與約實施型態 之相異點為中心’說明本發明之第2實施型態。 圖14係表示第2點圖案產生之處理之流程圖。圖15係表 示各點之評分之圖。圖16係表示第2點圖案之點之排列之 圖。 在此第2實施型態中，沿著圖14之流程圖施行第2點圖案 之產生gp ’在最初之步驟S2l中，就設定於假想劃分區 域Al，A2, A3.··内之各點，運算假定依據該點被喷出時之 噴出量之誤差（喷出量誤差）。此噴出量誤差係被求出作為 對應噴嘴之噴出量與基準量（將噴出量之設計上之理想 值、或複數噴嘴之喷出量平均化之值）之差。 '各喷嘴之噴出量係在先前之噴嘴檢查(圖7之步驟S2)中 被相。具體上，例如，藉由利用白色干涉法3維測定配 置於基板上之液滴之體積’或藉由測定被噴出至用紙之液 滴之命中痕跡之大小（面積）而加以計測。 在，、人之步驟S22中，依據步驟S2丨所取得之噴出量誤 差，施行有關各點之評分之判定。喷出量誤差較大表示與 基：量大異之量之液滴被配置於劃分區域内，故其評分被 判定為相對較小（指標較高）（參照圖丨5)。 在其次之步驟S23中，在假想劃分區域幻，八2, Α3· .内之 24個(特定數勾點中’消除被判定評分相對較小之6個(特定 數b)點，產生第2點圖案。藉此，依據第⑼圖案施行液滴 124710.doc -21 - 200903043 (液狀體）之配置之产犯 ，可優先地限制噴出量誤差相對較 大之點，故可提高配置量精度。 在本實施型態中，# ^ ^ 者眼於假想劃分區域Α2之情形，評分 ^ ] (♦曰‘較呵）之順序消除6個點，即第口〜第2〇點、第5〜 第8點中之2個點。有關第5〜第8點之評分雖為互相相同之 值在此種If形，例如可由等效之點中隨機地選定消除 之對象。如此產生夕 玍之弟2點圖案之排列例如成為如圖丨6所 示之狀態。

(變形例） 其次’參照圖17、圖18 ’以與先前之實施型態之相異點 為中〜，說明有關第2實施型態之變形例。 圖17係表不各點之評分之圖。圖18係表示第2點圖案之 點之排列之圖。 在此變形例_，在評分（指標）之判定中考慮噴出量誤差 之極性(正負）。#’在喷出量誤差之極性(正負)互相相同 之點間，雖在㈣㈣差之絕對值愈大時，判定指標相對 地愈高（評分愈小），但在不同極性之點間，則未必如此。 例如，著眼於假想劃分區域人2之情形（參照圖17)，噴出 量2差：地22之第17〜第20點之評分被判定為！之點雖與 先刖之實施型態相同，但噴出量誤差· _〇14之第1〜第4點 之评分被判定為2，喷出量誤差：+〇15之第5〜第8點之評 分被判定為3。如此，可消除第5〜第8點及第！〜第4點中之2 個點，使第2點圖案之點之排列例如成為如圖“所示之狀 態。 124710.doc •22- 200903043 在先前之實施型態中’由於僅著眼於 ，而施行評分（指標）之判定，故在僅消除喷出量多於= 董之點’並依據第2點圖案施行液狀體配:舉 劃分區域内之配置量較少而有發生偏置之問匈 例中^由採用評分（錯誤指標）之序列在喷出量誤差^ !生中父互存在之判定基準，以謀求避免如上述之問題。$ (第3實施型態） 其次’參照圖19、圖20,以與第2實施型態之相異 中心，說明本發明之第3實施型態。 ’、、、 圖19係表示各點之評分之圖。圖2〇係表示第2點圖 點之排列之圖。 ' 在本第3實把型態中，係依據在第2實施型態所說明之噴 出里誤差與對田J掃描方向之點之相對位置而施行評分（錯 誤各‘）之判疋。即，依據噴出量誤差而依照表丨施行評分 B之判定，依據對副掃描方向之點之相對位置而依照表2施 行坪分C之判定，並判定作為評分B與評分c之總和之總評 分（參照圖19)。 [表1] 噴出量誤差(絕對值） __M 1— —-η 評分Β ___ 0.20以上 1 0.10以上而不足〇.2〇 2 不足0.10 3 _____ 124710.doc •23· 200903043 [表2] 對副掃描方向之點之相對位置 評分C 中央列(第9〜第16) 1 準外廓列(第5〜8、第17〜20) 1.5 外廓列(第1〜4、第21〜24) 2 為施行良好之圖案，最好能使液狀體毫無缺陷地溼潤擴 散至劃分區域之各個角落，但在此種觀點下，依據中央列 之點之液滴（液狀體）之噴出可以說比依據外廓列之點之液 滴(液狀體)之喷出相對地容易發生缺失。雖因劃分區域内 之溼潤性及液狀體之表面張力所致，一般而言，靠近劃 純域之端部之處比靠近中央之處更容易發生液狀體之缺 陷’換言之’此係由於優先地將液滴配置於靠近中央之處 容易導致此種缺陷之故。依據對副掃描方向之點之相對位 置而施行評分(錯誤指標)之判定係鑑於此種情況所採取之 應變措施，對副掃描方向之相對位置愈靠近中& 點之評分愈小（錯誤指標愈高）。 疋 ，匕著眼於假想劃分區域Α2之情形（參照圖丨 17〜第2G點及第13〜第16點中之2個點會被消除， 之排列例如會成為如圖20所示之狀態。 ‘，圖案 (第4實施型態） 其次’參照圖21、圖22，以與第！、3實施型態之 為中心，說明本發明之第4實施型態。 /、，，、 圖21係表示各點之評分之圖。圖22係表示第 點之排列之圖。 ”圖案之 124710.doc -24- 200903043 在本第4實施型態中，除了第3實施型態所說明之評分 B、評分C以外，依據第丨實施型態所說明之假想液滴之命 中位置座標與假想劃分區域之境界之最接近距離而依照表 3被她行汗分A之判定，並判定作為評分a，b，匚之總和之 總評分（參照圖21)。 [表3] - 最接近距離 ^ --------------- 評分A 不足18 ---~-- 1 18以上 3 如此’著眼於假想劃分區域A2之情形（參照圖21)，第 1、第12、第17〜第20點會被消除，第2點圖案點之排列例 如會成為如圖22所示之狀態。 又’如第3、第4實施型態所示，施行依據複數參數之評 分（總評分）之判定之情形，可適宜地變更在參數間之加 權。例如’採用依照表4施行評分B之判定之態樣時，由於 依據嘴出量誤差之總評分判定之比重相對變小，故與噴出 量誤差較大之點相比，最接近距離較小之點會被優先地消 除。 [表4] 噴出量誤差(絕對值） 評分Β ~ 0.20以上 1 — 0·1〇以上而不足0.20 ---- 1.5 不足0.10 ---- — _ 2 124710.doc -25- 200903043 (第5實施型態） 其次，參照圖23 ’以與第1實施型態之相異點為中心， 說明本發明之第5實施型態。 圖23係表示有機el顯示裝置之要部構成之剖面圖。 如圖23所示’有機EL顯示裝置100係包含元件基板m、 形成於元件基板111上之驅動電路部丨丨2、形成於驅動電路 部112上之發光元件部丨丨3、及封閉驅動電路部1丨2及發光 元件部113之封閉基板114。在封閉基板114所封閉之封閉 空間11 5填充有惰性氣體。 發光元件部113具有被岸堤12〇所劃分之複數劃分區域 119，在此劃分區域119内形成有發光元件125。發光元件 125係在作為驅動電路部112之輸出端子之分段電極（陽 極）121與共通電極（陰極）124之間層疊有電洞輸送層122、 有機EL材料層123所構成。又，在岸堤12〇與驅動電路部 112之間’以路或其氧化物等形成防止灰階要素間之干涉 之遮光膜126。 電洞輸送層U2係將t洞注入有機EL材料層123之功能 層，由聚售吩衍生物之摻雜質（pED〇T)等高分子導電體所 形成。有機EL材料層123係由可發出螢光或燐光之習知之 有機EL材料，例如聚苟衍生物、（聚）對苯乙稀撑衍生物、 聚苯衍生物等所形成。電洞輸送層122、有機EL材料層123 係利用第1實施型態所說明之液狀體配置方法，配置含對 應於作為特定區域之劃分區域119之功能性材料（pE謝/有 機EL材料）之液狀體而製成。 124710.doc •26- 200903043 本發明並不限定於上述之實施型態。 例如’作為使用上述之液壯 κ夜狀體配置方法之別例 列舉電漿顯示，晉 !如可 ‘負丁4置之Η膜之形成、或電路之導 電阻元件之形成等 ，線及 或省 ’實施型態之各構成可將此等構成適宜地組合 略，或與未圖示之其他構成相組合。 【圖式簡單說明】 圖1係表示彩色濾光片之構成之平面圖。 圖2係表示彩色濾光片之構造之剖面圖。 圖3係表示液狀體喷出裝置之要部構成之立體圖。 圖4係表示噴頭單元之喷頭之配置構成之平面圖。 圖5係表示液狀體噴出裝置之電氣的構成之圖。 圖6係表示點圖案與噴嘴之位置之關係之圖。 圖7係表示彩色遽光片之著色部之形成製程之流程圖。 圖8係表示施行液狀體配置之際之基板之狀態之平面 圖9係表示第1點圖案與喷嘴之關係之圖。 圖10係表示第2點圖案產生之處理之流程圖。 圖11 U)〜(c)係表示第2點圖案之產生過程之圖 圖12係表示各點之評分之圖。 圖13係表示第2點圖案之點之排列之圖。 圖14係表示第2點圖案產生之處理之流程圖。 圖1 5係表示各點之評分之圖。 圖1 6係表示第2點圖案之點之排列之圖。 124710.doc -27· 200903043 圖17係表示各點之評分之圖。 圖1 8係表示第2點圖案之點之排列之圖。 圖19係表示各點之評分之圖。 圖20係表示第2點圖案之點之排列之圖。 圖2 1係表示各點之評分之圖。 圖22係表示第2點圖案之點之排列之圖。 圖23係表示有機EL顯示裝置之要部構成之剖面圖。 【主要元件符號說明】 1 彩色濾光片 2 著色部 4 基板 5 岸堤 6 作為特定區域之劃分區域 20 喷嘴 100 有機EL顯示裝置 119 作為特定區域之劃分區域 120 岸堤 122 電洞輸送層 123 有機EL材料層 125 發光元件 200 液狀體喷出裝置 MT 矩陣 124710.doc -28-

Claims (1)

1. 200903043 十、申請專利範圍·· 1 一種液狀體配置方法，其特徵在於其係一面使複數喷嘴 與基板相對地掃描，-面由前述㈣喷出液狀體，藉以 對前述基板上之特定區域配置前述液狀體者，而包含： A步驟’其係、對應於前述特定區域產生設定有特定數a 之點之第1點圖案； C步驟，其係由前述特定數a之點消除特定數1)之點而 產生第2點圖案；及 D步驟，其係依據前述第2點圖案喷出前述液狀體； 在前述C步驟中，至少依據對應之前述喷嘴之噴出資 訊判定有關前述特定數3之點之指標’依據前述指標決 定欲消除之前述特定數b之點者。 2_ —種液狀體配置方法，其特徵在於其係一面使複數喷嘴 與基板相對地掃描…面由前述噴嘴噴出液狀體，藉以 對前述基板上之特定區域配置前述液狀體者，而包含： A步驟，其係對應於前述特定區域產生設定有特定數& 之點之第1點圖案； c步驟，其係由前述特定數a之點消除特定數15之點而 產生第2點圖案；及 D步驟，其係依據前述第2點圖案喷出前述液狀體； 在前述C步驟中，至少依據對應之前述喷嘴之噴出資 訊=定有關前述特定數a之點之指標，並優线消除被 判定為前述指標相對較高之點者。 3.如請求項1或2之液狀體配置方法，其中包含： 124710.doc 200903043 ^ 其係取得前述喷嘴之喷出資訊； :應於前述基板之每！單位乃至每複數單位執行前述B 步驟及前述C步驟者。 4· 求項1至3中任-項之液狀體配置方法，其中前述特 疋品域係被岸堤（bank)所劃分者。 1::!項1至4中任一項之液狀體配置方法，其中前述點 θ “系在依據該點被喷出時之液狀體之配置位置與前 述特定區域之境界之 赫古 兄界之距離愈小時’愈會被判定為相對地 平乂 者。 6· :;:;ί項1至5中任一項之液狀體配置方法，其中前述點 曰‘係在依據該點被噴出時之噴出量誤差愈大 會被判定為相對地較高者。 ％ 7. -種彩色濾光片之製造方法’其特徵在於包含： 利用如請求項1至6中任一頊夕 項之液狀體配置方法，在設 ;則述基板上之複數前述特定戸只八q丨 义、+、I行疋區域分別配置含色材之 則迷液狀體之步驟；及 使所配置之前述液狀體固化而 ^ F〇 ^ ^ ^ 7珉刀別以刖述複數特 8. 疋&域作為晝素之對應區域之著色部之步驟。 -種有姐顯示裝置之製造方法，其特徵在於包含： 利用如請求項1至6中任—」 〜认兄 項之液狀體配置方法，在設 疋於别述基板上之複數前述特 £域分別配置含有機£1^ 材科之前述液狀體之步驟；及 使所配置之前述液狀體固化 而开少成刀別以前述複數特 疋&域作為畫素之對應區域 〜赞先7L件之步驟。 124710.doc