KR100928672B1

KR100928672B1 - 액상체 배치 방법, 컬러 필터의 제조 방법, 유기 ｅｌ 표시장치의 제조 방법

Info

Publication number: KR100928672B1
Application number: KR1020070099317A
Authority: KR
Inventors: 요시히코 우시야마; 츠요시 기타하라; 요이치 미야사카
Original assignee: 세이코 엡슨 가부시키가이샤
Priority date: 2006-10-05
Filing date: 2007-10-02
Publication date: 2009-11-27
Also published as: US20080084405A1; TW201527804A; TWI564596B; CN100584613C; CN101712233B; CN101712233A; CN101157297A; TW200903043A; US20120171357A1; TWI484228B; US8389046B2; JP4605134B2; JP2008091296A; TWI374294B; KR20080031783A; TW201229575A; US8668951B2

Abstract

본 발명은 고정밀도로 액상체를 배치할 수 있는 액상체 배치 방법, 및 당해 액상체 배치 방법을 이용한 컬러 필터의 제조 방법, 유기 EL 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것을 과제로 한다.

기판 위의 각 구획 영역에 대응하여 소정수(a)(24개)의 도트를 설정한 제 1 도트 패턴으로부터, 소정수(b)(6개)의 도트를 소거하여 제 2 도트 패턴을 생성한다. 이 때, 각 도트의 대응 노즐의 토출 정보(배치 위치 정밀도)에 기초해서, 그 도트에 의거하여 토출이 이루어졌다고 가정했을 때의 액적(液滴)의 착탄(着彈) 위치를 연산하고, 당해 착탄 위치가 구획 영역의 경계에 보다 가까운 도트를 우선적으로 소거한다.

컬러 필터, 뱅크, 유기 EL 표시 장치, 정공 수송층

Description

액상체 배치 방법, 컬러 필터의 제조 방법, 유기 ＥＬ 표시 장치의 제조 방법{LIQUID MATERIAL DISPOSING METHOD, MANUFACTURING METHOD OF COLOR FILTER AND MANUFACTURING METHOD OF ORGANIC EL DISPLAY DEVICE}

본 발명은 액적 토출법을 이용한 액상체 배치 방법과, 그것을 이용한 컬러 필터의 제조 방법, 유기 EL 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.

최근, 액적 토출법을 이용한 성막 기술이 주목받고 있으며, 예를 들면, 특허문헌 1에는, 액적 토출법을 이용한 액정 표시 장치의 컬러 필터의 제조 방법이 개시되어 있다.

이 제조 방법에서는, 기판에 대해서 주사(走査)하는 액적 토출 헤드(이하, 헤드라고 함)의 미세 노즐로부터 색재(色材)를 포함하는 액적(액상체)을 토출시켜서, 당해 기판 위의 구획 영역 내에 액상체를 배치(묘화)하고, 또한 배치된 액상체를 건조 등에 의해 고화시켜서 화소에 대응한 착색막을 형성하게 되어 있다.

[특허문헌 1] 일본국 특허공개 2003-159787호 공보

그런데, 기판에 대한 액적의 배치 패턴은, 이른바 도트 패턴(도트 매트릭스 패턴)으로서 나타낼 수 있고, 이 도트 패턴을 기판에 대한 각 노즐의 상대 위치(이하, 주사 위치라고 함)에 대응한 토출의 ON/OFF 데이터(토출 데이터)로 변환하여, 토출 제어를 행하고 있다. 이러한 도트 패턴은, 기판 위에 형성하고자 하는 액상체의 패턴(컬러 필터 제조의 경우는 대응하는 화소 구조에 따름)이나, 노즐의 배열 구성 등의 하드웨어 조건에 따라 미리 생성된다.

그러나, 노즐의 특성은 개체마다 경미하지만 차이를 갖고 있으며, 이러한 차이가 액상체의 배치 정밀도를 저하시키는 요인이 된다. 예를 들면, 액적의 비행 방향이 안좋기 때문에 구획 영역으로부터 액적이 밀려나와서 착탄(着彈)되거나, 토출량의 차이에 의해 구획 영역간에서 액상체의 배치량에 불균일이 생기거나 하는 문제가 있다.

본 발명은 상술한 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로서, 고정밀도로 액상체를 배치할 수 있는 액상체 배치 방법, 및 당해 액상체 배치 방법을 이용한 컬러 필터의 제조 방법, 유기 EL 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

본 발명은 복수의 노즐과 기판을 상대적으로 주사시키면서 상기 노즐로부터 액상체를 토출함으로써, 상기 기판 위의 소정 영역에 대해서 상기 액상체를 배치하 는 액상체 배치 방법으로서, 상기 소정 영역에 대응하여 소정수(a)의 도트가 설정된 제 1 도트 패턴을 생성하는 A스텝과, 상기 소정수(a)의 도트로부터 소정수(b)의 도트를 소거하여, 제 2 도트 패턴을 생성하는 C스텝과, 상기 제 2 도트 패턴에 의거하여 상기 액상체를 토출하는 D스텝을 가지며, 상기 C스텝에서, 상기 소정수(a)의 도트에 관한 지표를, 적어도 대응하는 상기 노즐의 토출 정보에 의거하여 판정하고, 상기 지표에 의거하여 소거할 상기 소정수(b)의 도트를 결정하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 액상체 배치 방법에서는, 소정 영역에 대응하여 설정된 소정수(a)의 도트를 갖는 제 1 도트 패턴으로부터, 소정수(b)의 도트를 소거하여 제 2 도트 패턴을 생성하고, 당해 제 2 도트 패턴에 의거하여 액상체를 배치한다. 이 때, 노즐의 토출 정보에 의거하여 상기 소정수(a)의 도트의 각각에 관한 토출의 지표를 판정하고, 당해 지표에 의거하여 결정된 도트를 소거하므로, 소정 영역에 대한 토출 중 배치 정밀도 저하의 기여가 큰 것을 제한할 수 있어, 배치 정밀도가 향상된다.

본 발명은, 복수의 노즐과 기판을 상대적으로 주사시키면서 상기 노즐로부터 액상체를 토출함으로써, 상기 기판 위의 소정 영역에 대해서 상기 액상체를 배치하는 액상체 배치 방법으로서, 상기 소정 영역에 대응하여 소정수(a)의 도트가 설정된 제 1 도트 패턴을 생성하는 A스텝과, 상기 소정수(a)의 도트로부터 소정수(b)의 도트를 소거하여, 제 2 도트 패턴을 생성하는 C스텝과, 상기 제 2 도트 패턴에 의거하여 상기 액상체를 토출하는 D스텝을 가지며, 상기 C스텝에서, 상기 소정수(a) 의 도트에 관한 지표를 적어도 대응하는 상기 노즐의 토출 정보에 의거하여 판정하고, 상기 지표가 상대적으로 높다고 판정되는 도트를 우선적으로 소거하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 액상체 배치 방법에서는, 소정 영역에 대응하여 설정된 소정수(a)의 도트를 갖는 제 1 도트 패턴으로부터, 소정수(b)의 도트를 소거하여 제 2 도트 패턴을 생성하고, 당해 제 2 도트 패턴에 의거하여 액상체를 배치한다. 이 때, 노즐의 토출 정보에 의거하여 상기 소정수(a)의 도트의 각각에 관한 토출의 지표를 판정하고, 당해 지표가 상대적으로 높다고 판정되는 도트를 우선적으로 소거하므로, 소정 영역에 대한 토출 중 배치 정밀도 저하의 기여가 큰 것이 제한되게 되어, 배치 정밀도가 향상된다.

또한, 바람직하게는, 상기 액상체 배치 방법은, 상기 노즐의 토출 정보를 취득하는 B스텝을 가지며, 상기 B스텝 및 상기 C스텝을, 상기 기판의 1 내지 복수 단위마다 대응하여 행하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 액상체 배치 방법에 의하면, 노즐의 토출 정보의 변화에 신속히 대응하여, 적절한 조건 하에서 액상체의 배치를 행할 수 있다.

또한, 바람직하게는, 상기 소정 영역은, 뱅크에 의해 구획되어 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 액상체 배치 방법에 의하면, 뱅크에 의해 소정 영역 외로 액상체가 밀려나오는 것을 적합하게 방지할 수 있다.

또한, 바람직하게는, 상기 도트의 지표는, 당해 도트에 의거하여 토출이 이 루어진다고 했을 때의 액상체의 배치 위치와 상기 소정 영역의 경계의 거리가 작아질수록, 상대적으로 높게 판정되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 액상체 배치 방법에 의하면, 대응하는 액상체의 착탄 위치가 소정 영역의 경계에 가깝다고 예상되는 도트가 우선적으로 소거되므로, 소정 영역 외로 액상체가 밀려나오는 것을 적합하게 방지할 수 있다.

또한, 바람직하게는, 상기 도트의 지표는, 당해 도트에 의거하여 토출이 이루어진다고 했을 때의 토출량 오차가 커질수록, 상대적으로 높게 판정되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 액상체 배치 방법에 의하면, 대응하는 액상체의 토출량 오차가 크다고 예상되는 도트가 우선적으로 소거되므로, 소정 영역 단위에서의 배치량의 정밀도를 향상시킬 수 있다.

본 발명의 컬러 필터의 제조 방법은, 상기 액상체 배치 방법을 이용하여, 상기 기판 위에 설정된 복수의 상기 소정 영역의 각각에, 색재를 포함하는 상기 액상체를 배치하는 스텝과, 배치된 상기 액상체를 고화(固化)시켜서, 상기 복수의 소정 영역을 각각 화소의 대응 영역으로 하는 착색부를 형성하는 스텝을 갖는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 컬러 필터의 제조 방법에 의하면, 상기의 액상체 배치 방법을 이용하여 착색부를 형성하고 있으므로, 고품질의 컬러 필터를 간이한 처리로 제조할 수 있다.

본 발명의 유기 EL 표시 장치의 제조 방법은, 상기 액상체 배치 방법을 이용 하여, 상기 기판 위에 설정된 복수의 상기 소정 영역의 각각에, 유기 EL 재료를 포함하는 상기 액상체를 배치하는 스텝과, 배치된 상기 액상체를 고화시켜서 상기 복수의 소정 영역을 각각 화소의 대응 영역으로 하는 발광 소자를 형성하는 스텝을 갖는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 유기 EL 표시 장치의 제조 방법에 의하면, 상기의 액상체 배치 방법을 이용하여 발광 소자를 형성하고 있으므로, 고품질의 유기 EL 표시 장치를 간이한 처리로 제조할 수 있다.

이하, 본 발명의 적합한 실시예를 첨부 도면에 의거하여 상세하게 설명한다.

또한, 이하에 기술하는 실시예는, 본 발명의 적합한 구체예이므로, 기술적으로 바람직한 여러가지 한정이 부여되어 있지만, 본 발명의 범위는 이하의 설명에서 특별히 본 발명을 한정하는 취지의 기재가 없는 한, 이들 형태에 한정되는 것은 아니다. 또한, 이하의 설명에서 참조하는 도면에서는, 도시의 편의상, 부재 내지 부분의 종횡의 축척을 실제의 것과는 다르게 나타내는 경우가 있다.

(제 1 실시예)

(컬러 필터의 구성)

우선은, 도 1 및 도 2를 참조하여, 본 발명에 따른 컬러 필터의 구성에 관하여 설명한다. 도 1은 컬러 필터의 구성을 나타낸 평면도이다. 도 2는 컬러 필터의 구조를 나타낸 단면도이다.

도 1, 도 2에 나타낸 컬러 필터(1)는 컬러용 표시 패널에 사용되는 것으로, 표시 패널에서의 R(적), G(녹), B(청) 각 색의 화소에 대응하여 형성된 착색부(2)와, 착색부(2) 사이의 영역에 형성된 차광부(3)를 갖고 있다. 또한, 본 실시예의 착색부(2)는, 소위 스트라이프형의 화소 구조에 대응하는 배열 내지 형상을 갖고 있지만, 이러한 화소 구조 이외의 것, 예를 들면, R, G, B 이외의 색 요소를 포함하는 것이나 델타형 구조의 것에 대응한 구성으로 할 수도 있다.

컬러 필터(1)는 유리의 투광성 기판(4)을 구비하고 있으며, 기판(4) 위에는 크롬 등의 차광성 재료로 차광부(3)가 패턴 형성되고, 또한, 차광부(3) 위에는 감광성 수지 등을 이용하여 뱅크(5)가 패턴 형성되어 있다. 착색부(2)는 뱅크(5)로 구획된 구획 영역(6) 내에 형성되어 있고, 또한, 착색부(2)의 형성면측에는, 표면을 평활화하기 위한 오버 코팅층(7)이 수지 등으로 형성되어 있다. 또한, 복수의 구획 영역(6)은 모두 동일한 형상, 크기로 형성되어 있다.

(액상체 토출 장치의 기계적 구성)

다음에, 도 3, 도 4를 참조하여, 본 발명의 액상체 배치 방법에 이용하는 액상체 토출 장치의 기계적 구성에 관하여 설명한다.

도 3은 액상체 토출 장치의 요부 구성을 나타낸 사시도이다. 도 4는 헤드 유닛에서의 헤드의 배치 구성을 나타낸 평면도이다.

도 3에 나타낸 액상체 토출 장치(200)는 직선적으로 설치된 1쌍의 가이드 레일(201)과, 가이드 레일(201)의 내부에 설치된 에어 슬라이더와 리니어 모터(도시 생략)에 의해 주(主)주사 방향으로 이동하는 주주사 이동대(203)를 구비하고 있다. 또한, 가이드 레일(201)의 상방에서 가이드 레일(201)에 직교하도록 직선적으로 설 치된 1쌍의 가이드 레일(202)과, 가이드 레일(202)의 내부에 설치된 에어 슬라이더와 리니어 모터(도시 생략)에 의해 부(副)주사 방향을 따라 이동하는 부주사 이동대(204)를 구비하고 있다.

주주사 이동대(203) 위에는, 토출 대상물이 되는 기판(P)을 탑재 배치하기 위한 스테이지(205)가 설치되어 있다. 스테이지(205)는 기판(P)을 흡착 고정할 수 있는 구성으로 되어 있고, 또한, 회전 기구(207)에 의해 기판(P) 내의 기준축을 주주사 방향, 부주사 방향으로 정확하게 맞출 수 있도록 되어 있다.

부주사 이동대(204)는, 회전 기구(208)를 통하여 매달기식으로 부착된 캐리지(209)를 구비하고 있다. 또한, 캐리지(209)는, 복수의 헤드(11, 12)(도 4 참조)를 구비하는 헤드 유닛(10)과, 헤드(11, 12)에 액상체를 공급하기 위한 액상체 공급 기구(도시 생략)와, 헤드(11, 12)의 전기적인 구동 제어를 행하기 위한 제어 회로 기판(211)(도 5 참조)을 구비하고 있다.

도 4에 나타낸 바와 같이, 헤드 유닛(10)은 R, G, B에 대응한 액상체를 노즐(20)로부터 토출하는 헤드(11, 12)를 구비하고 있고, 헤드(11, 12)에서의 복수의 노즐(20)은 노즐군(21A, 21B)을 구성하고 있다. 노즐군(21A, 21B)은 각각 소정의 피치(예를 들면, 180DPI)의 라인 배열을 이루고 있으며, 또한, 합쳐서 지그재그 배열을 이루는 관계로 되어 있다. 또한, 노즐군(21A, 21B)의 배열의 방향은 부주사 방향에 일치하도록 되어 있다.

헤드(11, 12) 내에서의 노즐(20)에 연통하는 액실(캐비티)은, 압전 소자(16)(도 5 참조)의 구동에 의해 용량이 가변하도록 구성되어 있다. 그리고, 압 전 소자(16)로부터 전기 신호(구동 신호)를 공급하여 캐비티 내의 액압(液壓)을 제어함으로써, 노즐(20)로부터 액적(액상체)을 토출시키는 것이 가능해지고 있다.

이렇게 하여, 주주사 이동대(203)의 이동에 의해 노즐군(21A, 21B)을 기판(P)에 대해서 주주사 방향으로 주사시키는 동시에, 노즐(20)마다의 토출의 ON/OFF 제어(이하, 토출 제어라고 함)를 행함으로써, 기판(P) 위에서의 노즐(20)의 주사 궤적에 따른 위치에 액적(액상체)을 배치할 수 있다. 또한, 헤드(11)와 헤드(12)는 서로 부주사 방향으로 위치를 어긋나게 하여 배치되고, 각각의 노즐군(21A, 21B)이 서로 토출 가능 범위를 보완하여 연속한 일정 피치의 주사 궤적을 그리도록 구성되어 있다. 또한, 노즐군(21A, 21B)의 단부(端部)의 수 개분의 노즐(20)은 그 특성의 특이성을 감안하여 사용하지 않도록 되어 있다.

또한, 액상체 토출 장치의 구성은 상술한 형태에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 노즐군(21A, 21B)의 배열 방향을 부주사 방향으로부터 기울여서, 노즐(20)의 주사 궤적의 피치가 노즐군(21A, 21B) 내에서의 노즐(20)간의 피치에 대해서 좁아지도록 구성할 수도 있다. 또한, 헤드 유닛(10)에서의 헤드(11, 12)의 수나 그 배치 구성 등도 적절히 변경할 수 있다. 또한, 헤드(11, 12)의 구동 방식으로서, 예를 들면, 캐비티에 가열 소자를 구비한 소위 서멀 방식 등을 채용할 수도 있다.

(토출 제어 방법)

다음에, 도 5, 도 6을 참조하여 액상체 토출 장치에서의 토출 제어 방법에 관하여 설명한다.

도 5는 액상체 토출 장치의 전기적 구성을 나타낸 도면이다. 도 6은 도트 패턴과 노즐의 위치 관계를 나타낸 도면이다.

도 5에서, 액상체 토출 장치(200)는 장치 전체의 통괄 제어를 행하는 제어 컴퓨터(210)와, 헤드(11, 12)의 전기적인 구동 제어를 행하기 위한 제어 회로 기판(211)을 구비하고 있다. 제어 회로 기판(211)은 플렉시블 케이블(212)을 통하여 각 헤드(11, 12)와 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 헤드(11, 12)는 노즐(20)(도 2 참조)마다 설치된 압전 소자(16)에 대응하여, 시프트 레지스터(SL)(50), 래치 회로(LAT)(51), 레벨 시프터(LS)(52), 스위치(SW)(53)를 구비하고 있다.

액상체 토출 장치(200)에서의 토출 제어는 다음과 같이 행해진다. 즉, 우선 제어 컴퓨터(210)가 기판(P)(도 1 참조)에서의 액적(액상체)의 배치 패턴을 데이터화한 도트 패턴 데이터(상세하게는 후술함)를 제어 회로 기판(211)에 전송한다. 그리고, 제어 회로 기판(211)은 도트 패턴 데이터를 디코드하여 노즐(20)마다의 ON/OFF(토출/비토출) 정보인 노즐 데이터를 생성한다. 노즐 데이터는 시리얼 신호(SI)화되어, 클록 신호(CK)에 동기(同期)하여 각 시프트 레지스터(50)에 전송된다.

시프트 레지스터(50)에 전송된 노즐 데이터는, 래치 신호(LAT)가 래치 회로(51)에 입력되는 타이밍에서 래치되고, 또한, 레벨 시프터(52)에서 스위치(53)용의 게이트 신호로 변환된다. 즉, 노즐 데이터가 「ON」인 경우에는 스위치(53)가 개방되어 압전 소자(16)에 구동 신호(COM)가 공급되고, 노즐 데이터가 「OFF」인 경우에는 스위치(53)가 폐쇄되어 압전 소자(16)에 구동 신호(COM)는 공급되지 않게 된다. 그리고, 「ON」에 대응하는 노즐(20)로부터는 액상체가 액적화되어 토출되고, 토출된 액적(액상체)이 기판(P)에 배치된다.

상술한 바와 같이, 액상체 토출 장치(200)의 토출 제어는 도트 패턴(데이터)에 의거하여 행해진다. 이 도트 패턴은, 도 6에 나타낸 바와 같이, 주주사 방향, 부주사 방향의 성분을 갖는 매트릭스(MT)에서, 액적(액상체)의 토출(배치) 위치가 되는 구획에 도트(D)를 배치한 것으로서 나타낼 수 있다. 도트(D)는, 단지 토출의 유무를 나타낼 뿐만아니라, 계조성(階調性)을 갖는 것으로 하는 것도 가능하며, 예를 들면, 계조성에 따라 액적의 양(토출량)이나 토출 타이밍을 변화시킬 수도 있다.

여기서, 매트릭스(MT)의 주주사 방향의 피치 : p1은, 액적(액상체)의 토출 제어 주기(래치 주기)와 주사 속도에 따라 결정되도록 되어 있다. 또한, 매트릭스(MT)의 부주사 방향의 피치 : p2는, 1주사에서의 노즐(20)의 주사 궤적의 피치 : p0의 자연수분의 1배로 설정하는 것이 가능하다. 본 실시예에서는, p2가 p0의 3분의 1로 설정되어 있고, 3회로 나누어진 각 주사간에서, 노즐(20)의 부주사 방향에서의 위치를 서로 시프트함으로써, 매트릭스(MT)의 모든 도트(D)를 노즐(20)에 대응시켜서 액적(액상체)을 토출하도록 되어 있다.

또한, 도면 중에서 서로 인접하는 도트(d1, d2, d3)는 각각 제 1 주사, 제 2 주사, 제 3 주사에 관한 것이다. 이들은 서로 동일한 노즐에 대응시키는 것도 가능하지만, 노즐간에서의 특성(예를 들면, 토출량)의 차이를 공간적으로 분산시키기 위해서, 주사간에서 헤드를 크게 부주사 방향으로 이동시켜서, 서로 다른 노즐(20) 에 대응시키도록 하는 것이 바람직하다. 복수의 주사간에서의 노즐(20)(헤드)의 위치의 시프트 방법(주사 방법)에는 다양한 방법이 있어, 노즐간이나 헤드간의 특성 차이의 분산이나 사이클 타임 등을 감안하여 적절한 것을 채용할 수 있다. 또한, 본 실시예에서는 채용하고 있지 않지만, 복수의 주사간에서 노즐(20)의 부주사 방향에서의 위치를 서로 겹치는 주사 방법으로 함으로써, 하나의 열(주주사 방향의 배열) 내에서의 도트(D)를 복수의 노즐(20)로 나누어 대응시키는 것도 가능하다.

(컬러 필터의 제조 방법(액상체 배치 방법))

다음에, 도 7∼도 9를 참조하여, 본 발명에 따른 컬러 필터의 제조 방법(액상체의 배치 방법)에 관하여 설명한다.

도 7은 컬러 필터에서의 착색부의 형성 공정을 나타낸 플로차트이다. 도 8은 액상체 배치를 행할 때의 기판의 상태를 나타낸 평면도이다. 도 9는 제 1 도트 패턴과 노즐의 관계를 나타낸 도면이다.

컬러 필터(1)(도 1, 2 참조)의 착색부(2)(도 1, 2 참조)의 형성은, R, G, B에 각각 대응하는 색재를 포함하는 액상체를 준비하여, 액상체 토출 장치(200)(도 3 참조)를 사용하여 당해 액상체를 기판 위에 배치함으로써 행해진다. 도 8에 나타낸 바와 같이, 액상체를 배치하기 위한 기판(P)에는, 각각 컬러 필터(1)의 개체에 대응한 영역인 4개의 개체 영역(8)이 설정되어 있고, 뱅크(5)에 의해 개체 영역(8)마다 구획 영역(6)의 군(群)이 형성되어 있다. 본 실시예에서는, 구획 영역(6)의 긴 변 방향을 부주사 방향, 짧은 변 방향을 주주사 방향으로 하여 기판(P)을 스테이지(205)(도 3 참조) 위에 탑재 배치한다.

여기서, 액상체는 뱅크(5)로 구획된 소정 영역으로서의 구획 영역(6)에 대해서 배치되지만, 액상체가 구획 영역(6)에 맞추어 정확하게 패터닝되도록, 구획 영역(6) 내에서의 기판(P)의 노출면에 친액화 처리를, 뱅크(5)의 표면에 발액화 처리를 미리 실시해 두는 것이 바람직하다. 이러한 처리는, 예를 들면, 산소나 불화 탄소의 플라스마 처리에 의해 행할 수 있다. 또한, 뱅크(5)의 형성은, 액상체의 패터닝을 고정밀도로 행하기 위한 바람직한 실시예이며, 소정 영역을 설정하기 위해서 이러한 물리적인 구획이 반드시 필요하다는 것은 아니다.

액상체의 배치에 앞서, 우선은 제 1 도트 패턴을 생성한다(도 7의 스텝 S1). 즉, 스텝 S1은 본 발명의 A스텝을 구성하고 있다. 제 1 도트 패턴은 토출 제어를 위한 도트 패턴(제 2 도트 패턴)을 생성하기 위한 기초가 되는 것이며, 도 9에 나타낸 구성으로 되어 있다. 도면에서, 흰 동그라미는 하나 하나의 도트를 나타내고 있고, 가상선으로 나타낸 가상 구획 영역(A1, A2, A3···)은 매트릭스(MT)를 기판(P) 위에 겹친 경우에서의 구획 영역(6)의 대응 영역을 나타내고 있다.

본 실시예에서의 제 1 도트 패턴은, 동일색에 따른 각 가상 구획 영역(A1, A2, A3···)의 거의 중앙에, 4행×6열의 배열로 설정된 24개(소정수(a))의 도트를 갖고 있다. 이들 각 도트는 노즐의 주사 궤적과의 위치 관계에 의거하여 노즐(n11, n12···)에 각각 대응된다. 즉, 각 도트에 의거한 액적(액상체)의 토출은 그 대응 노즐에 의해 이루어지고, 토출된 액적(액상체)은 기판(P)(도 8 참조)에서의 당해 도트의 대응 위치에 배치되는 관계에 있다.

제 1 도트 패턴에서는, 1 가상 구획 영역당 설정되는 도트의 수가 액적(액상 체)의 적정 배치량의 상당수인 18개보다도 많아져 있기 때문에, 이대로 제 1 도트 패턴에 의거하여 액적(액상체)의 토출을 행하면, 구획 영역(6)으로부터의 오버플로를 초래하게 된다. 이 때문에, 24개(소정수(a))의 도트 중에서 여분수인 6개(소정수(b))의 도트를 소거하는 처리를 행하여, 토출 제어를 위한 제 2 도트 패턴을 생성하는 것이 필요하게 된다.

상세하게는 후술하지만, 제 2 도트 패턴의 생성에는, 노즐의 토출 정보에 의거한 지표의 판정이 필요하게 된다. 이 때문에, 제 2 도트 패턴의 생성에 앞서, 노즐의 토출 정보를 취득하기 위한 노즐 검사가 행해진다(도 7의 스텝 S2). 즉, 이 스텝 S2는 본 발명의 B스텝을 구성하고 있다. 또한, 노즐의 토출 정보란 노즐마다의 토출 특성을 나타내는 정보를 말하며, 예를 들면, 토출량이나 착탄 위치의 정밀도(배치 위치 정밀도) 등으로 나타낼 수 있다.

본 실시예에서의 노즐 검사는 노즐로부터 용지에 대해서 액적(액상체)을 토출시켜서, 용지 위에 형성된 착탄 흔적을 촬상, 화상 해석함으로써 행해진다. 이에 따라, 착탄 흔적의 이상 위치로부터의 시프트량이 배치 위치 정밀도의 정보로서 취득된다.

노즐 검사(스텝 S2)가 종료되면, 취득된 노즐의 토출 정보에 의거하여 제 1 도트 패턴에 대해서 처리를 행하여, 제 2 도트 패턴을 생성한다(도 7의 스텝 S3). 이 처리는 각 가상 구획 영역(A1, A2, A3···) 내에 설정된 24개의 도트 단위마다 행해지는 것이며, 이에 따라, 24개(소정수(a))의 도트로부터 6개(소정수(b))의 도트가 소거되고, 1 가상 구획 영역당 18개의 도트를 갖는 제 2 도트 패턴이 생성 된다(도 13 참조). 즉, 이 스텝 S3은 본 발명의 C스텝을 구성하고 있다.

다음에, 제 2 도트 패턴에 의거하여 구획 영역(6)에 대해서 액적(액상체)을 토출한다(도 7의 스텝 S4). 이에 따라, 각 구획 영역(6)에는 18개의 도트에 상당하는 양의 액적(액상체)이 각각 배치되게 된다. 즉, 이 스텝 S4는 본 발명의 D스텝을 구성하고 있다.

다음에, 구획 영역(6) 내에 배치된 액상체를 건조시킴으로써, 착색부(2)(도 1, 2 참조)를 형성한다(도 7의 스텝 S5). 상세하게는 후술하지만, 제 2 도트 패턴은 노즐의 토출 정보에 의거하여 적정화된 구성으로 되어 있기 때문에, 각 구획 영역(6)에 대응하는 착색부(2)는 정밀도 좋게 형성된다.

또한, 노즐 검사(스텝 S2)와 그 결과에 의거하는 제 2 도트 패턴의 생성(스텝 S3)은, 기판(P)의 개체를 교체하는 타이밍 등에서, 정기적으로 행하도록 하는 것이 바람직하다. 노즐의 토출 정보는 후천적인 사정, 예를 들면, 유로 내에의 기포의 혼입이나 노즐 관리 유지의 실행 이력 등에 의해서도 변화될 수 있는 것이며, 이러한 변화에 신속히 대응하기 위함이다.

(제 2 도트 패턴의 생성에 관하여)

다음에, 도 9∼도 13을 참조하여, 제 2 도트 패턴의 생성에 관한 상세한 설명을 행한다.

도 10은 제 2 도트 패턴 생성에 관한 처리를 나타낸 플로차트이다. 도 11은 제 2 도트 패턴의 생성 과정을 나타낸 도면이다. 도 12는 각 도트에 관한 평점을 나타낸 도면이다. 도 13은 제 2 도트 패턴에서의 도트의 배열을 나타낸 도면이다. 또한, 도 11에서 도트 내에 부기된 숫자는, 각 도트를 식별하기 위해서 편의적으로 부여된 기호이다.

제 2 도트 패턴의 생성 처리는 도 9에 나타낸 제 1 도트 패턴을 기초로 하여, 각 가상 구획 영역(A1, A2, A3···) 내에 설정된 24개의 도트군 단위로, 도 10에 나타낸 플로차트를 따라 행해진다. 이 처리는 실제로는 컴퓨터를 이용하여 자동적으로 행해지는 것으로, 컴퓨터는 스텝 S1에서 생성된 제 1 도트 패턴(데이터)과 스텝 S2에서 얻어진 노즐의 토출 정보를 판독하여, 도 10에 나타낸 처리를 실행한다.

최초의 스텝 S11에서는, 각 도트에 대해서, 대응하는 가상 액적의 착탄 위치의 좌표가 연산된다. 여기서, 가상 액적이란, 그 도트에 의거하여 토출이 행해졌다고 가정했을 때의 액적의 상태를 가상적으로 이미지한 것으로, 도 11의 (a)∼(c)에는, 제 1, 제 14, 제 24 도트에 대응하는 가상 액적이 각각 도시되어 있다. 또한, 가상 액적의 착탄 위치란, 기판 위에 착탄할 때의 가상 액적의 중심 위치(도면 중에서 십자로 도시)를 가리키고 있다.

가상 액적의 착탄 위치는 이상적으로는 각 도트의 중심 위치에 일치할 것이지만, 실제로는 대응 노즐의 배치 위치 정밀도의 영향을 받아, 얼마간의 차이가 생기게 된다. 즉, 가상 액적의 착탄 위치는 도트의 중심 위치의 좌표를 기준으로 하여 대응 노즐의 배치 위치 정밀도에 의거한 좌표 수정을 행함으로써 취득된다.

다음 스텝 S12에서는, 스텝 S11에서 취득된 좌표 정보에 의거하여, 각 도트에 대응한 가상 액적과 가상 구획 영역(A1, A2, A3···)의 경계의 최근접 거리를 연산한다. 예를 들면, 가상 구획 영역(A2)에 착안한 경우, 가상 액적과 경계(B1∼B4)의 최근접 거리는 도 12에 나타낸 바와 같이 되어 있고, 도트의 설정 위치나 대응 노즐의 배치 위치 정밀도에 의해 최근접이 되는 경계나 거리는 변화된다.

다음 스텝 S13에서는, 스텝 S12에서 취득된 최근접 거리에 의거하여, 각 도트에 관한 평점의 판정이 행해진다. 여기서, 평점이란, 그 도트에 의거하여 토출이 이루어진다고 가정했을 때의 배치 정밀도상의 결함(에러)의 정도를 수치화한 것이며, 본 발명에서의 지표에 대응하는 것이다. 최근접 거리가 작다는 것은, 토출된 액적이 구획 영역 외로 밀려나와 착탄될 위험성이 높다는 것이며, 최근접 거리가 작을수록 그 도트에 관한 평점은 작게(지표는 높게) 판정되게 된다(도 12 참조).

다음 스텝 S14에서는, 가상 구획 영역(A1, A2, A3···) 내에서의 24개(소정수(a))의 도트 중, 평점이 상대적으로 작다고 판정된 6개(소정수(b))의 도트가 소거되어, 제 2 도트 패턴이 생성된다. 이렇게 하여, 제 2 도트 패턴에 의거하여 액적(액상체)의 배치를 행하는 경우에, 착탄 위치가 소정 영역의 경계에 가깝다고 예상되는 액적의 토출이 우선적으로 제한되게 되므로, 액적이 구획 영역 외로 밀려나오는 것을 적합하게 방지할 수 있다.

가상 구획 영역(A2)에 착안한 경우, 도 12를 참조하여 평점이 작은(지표가 높은) 순으로 6개의 도트를 선정하면, 제 1, 제 12, 제 21∼제 24 도트가 이것에 상당한다. 이들의 도트가 소거되어 생성된 제 2 도트 패턴은 도 13에 나타낸 바와 같은 배열을 나타낸다.

이러한 처리는, 실질적으로는 복수(소정수(a))의 도트 중에서 소거의 대상이 되는 도트를 선택함으로써 이루어지기 때문에, 노즐의 토출 정보가 복잡해도 취급이 간단하다. 또한, 소정 영역에 대한 배치량의 관리에 대해서도, 소거의 대상이 되는 도트의 총 수(소정수(b))를 규정함으로써 용이하게 행할 수 있다.

상술한 스텝 S11∼S14의 처리는, 실제로는 복수의 가상 구획 영역의 각각에 대해서 행해지고 있고, 이에 따라, 각 구획 영역에 대해서 액상체가 고정밀도로 배치되게 된다. 여기서, 소거 대상의 도트 수(소정수(b))에 대해서는, 가상 구획 영역마다 이것을 독립시켜 설정하는 형태로서, 액상체의 배치량을 구획 영역간에서 다르게 하는 것도 가능하다.

상술한 바와 같이, 소거 대상이 되는 도트는 그 도트에 관한 평점(지표)에 의거하여 선정되도록 되어 있지만, 선정에 관하여 절대적인 평점의 기준치가 존재하고 있는 것은 아니고, 가상 구획 영역(A1, A2, A3···)마다 설정된 24개의 도트간에서의 상대적인 비교에 의해 선정이 행해지도록 되어 있다. 이 때문에, 액상체의 배치 정밀도 향상에 관해서는, 한정된 조건 하에서 가능한 적합한 효과를 얻을 수 있다.

또한, 상술한 실시예에서는 제 1∼제 24 도트 전부를 대상으로 하여 스텝 S11∼S13의 처리가 행해지고 있었지만, 일부의 도트에 관해서 이것을 생략할 수도 있다. 예를 들면, 중앙 부근의 위치에 설정되어 있는 8개의 도트(제 6, 7, 10, 11, 14, 15, 18, 19 도트)에 관해서는, 이것에 의거하여 토출되었다고 해도 밀려나옴이 생기는 경우는 없는 것으로 의제(擬制)하여, 최근접 거리의 연산을 생략하는 것도 가능하다.

또한, 상술한 실시예에서는, 24개(소정수(a))의 도트로부터 6개(소정수(b))의 도트를 소거하는 형태였지만, 소정수(a)나 소정수(b)의 값은 구획 영역(6)의 크기, 매트릭스(MT)의 피치(해상도), 목표로 하는 배치량, 1도트당 액적량 등에 따라서 적절히 변경할 수 있다.

(제 2 실시예)

다음에, 도 9, 도 14, 도 15, 도 16을 참조하여, 본 발명의 제 2 실시예에 대해서, 제 1 실시예와의 차이점을 중심으로 설명한다.

도 14는 제 2 도트 패턴 생성에 관한 처리를 나타낸 플로차트이다. 도 15는 각 도트에 관한 평점을 나타낸 도면이다. 도 16은 제 2 도트 패턴에서의 도트의 배열을 나타낸 도면이다.

이 제 2 실시예에서는, 도 14의 플로차트를 따라 제 2 도트 패턴의 생성이 행해진다. 즉, 최초의 스텝 S21에서는, 가상 구획 영역(A1, A2, A3···) 내에 설정된 각 도트에 대해서, 그 도트에 의거하여 토출이 이루어졌다고 가정했을 때의 토출량의 오차(토출량 오차)가 연산된다. 이 토출량 오차는 대응 노즐의 토출량과 기준량(토출량의 설계상의 이상값, 또는 복수의 노즐의 토출량을 평균화한 값)의 차로서 구해진다.

노즐마다의 토출량은, 이전의 노즐 검사(도 7의 스텝 S2)에서 계측된다. 구체적으로는, 예를 들면, 기판 위에 배치한 액적의 체적을 백색 간섭법을 이용하여 3차원 측정함으로써, 또는, 용지에 대해서 토출시킨 액적의 착탄 흔적의 크기(면 적)를 측정함으로써, 계측할 수 있다.

다음 스텝 S22에서는, 스텝 S21에서 취득된 토출량 오차에 의거하여, 각 도트에 관한 평점의 판정이 행해진다. 토출량 오차가 크다는 것은, 기준량과 크게 다른 양의 액적이 구획 영역 내에 배치된다는 것이기 때문에, 그 평점은 상대적으로 작게(지표는 높게) 판정되게 된다(도 15 참조).

다음 스텝 S23에서는, 가상 구획 영역(A1, A2, A3···) 내에서의 24개(소정수(a))의 도트 중, 평점이 상대적으로 작다고 판정된 6개(소정수(b))의 도트가 소거되어, 제 2 도트 패턴이 생성된다. 이에 따라, 제 2 도트 패턴에 의거하여 액적(액상체)의 배치를 행하는 경우에, 토출량 오차가 상대적으로 큰 도트가 우선적으로 제한되게 되므로, 배치량 정밀도를 향상시킬 수 있다.

본 실시예에서 가상 구획 영역(A2)에 착안하면, 평점이 작은(지표가 높은) 순으로 6개의 도트, 즉, 제 17∼제 20 도트와, 제 5∼제 8 도트 중 2개의 도트가 소거된다. 제 5∼제 8 도트에 관한 평점은 서로 같은 값이지만, 이러한 경우에는, 예를 들면, 등가인 도트 중에서 랜덤으로 소거의 대상이 선정된다. 이렇게 하여, 생성된 제 2 도트 패턴의 배열은, 예를 들면, 도 16에 나타낸 바와 같이 된다.

(변형예)

다음에, 도 17, 도 18을 참조하여, 제 2 실시예의 변형예에 관해서, 이전의 실시예와의 차이점을 중심으로 설명한다.

도 17은 각 도트에 관한 평점을 나타낸 도면이다. 도 18은 제 2 도트 패턴에서의 도트의 배열을 나타낸 도면이다.

이 변형예에서는, 토출량 오차의 극성(플러스 마이너스)이 평점(지표)의 판정에서 고려된다. 즉, 토출량 오차의 극성(플러스 마이너스)이 서로 동일한 도트간에서는, 토출량 오차의 절대값이 클수록 지표가 상대적으로 높게(평점이 작게) 판정되게 되지만, 다른 극성에 관한 도트간에서는, 반드시 그렇게 되는 것은 아니다.

예를 들면, 가상 구획 영역(A2)에 착안한 경우(도 17 참조), 토출량 오차 : +0.22인 제 17∼제 20 도트의 평점이 1로 판정되는 점은 이전의 실시예와 동일하지만, 토출량 오차 : -0.14인 제 1∼제 4 도트의 평점이 2, 토출량 오차 : +0.15인 제 5∼제 8 도트의 평점이 3으로 판정된다. 이렇게 하여, 제 5∼제 8 도트, 및 제 1∼제 4 도트 중 2개의 도트가 소거되어, 제 2 도트 패턴에서의 도트의 배열은, 예를 들면, 도 18에 나타낸 바와 같이 된다.

이전의 실시예에서는, 토출량 오차의 절대값에만 착안하여 평점(지표)의 판정을 행하고 있었기 때문에, 기준량에 비해서 토출량이 많아지는 도트만이 소거되어, 제 2 도트 패턴에 의거하여 액상체 배치가 행해진 경우에, 구획 영역 내에서의 배치량이 좀 적게 편향되어 버리는 문제가 있었다. 이 변형예에서는, 평점(에러 지표)의 서열이 토출량 오차의 극성에 관해서 교대로 되는 판정 기준으로 되어 있어, 상술한 바와 같은 문제의 회피가 도모되고 있다.

(제 3 실시예)

다음에, 도 19, 도 20을 참조하여, 본 발명의 제 3 실시예에 대해서, 제 2 실시예와의 차이점을 중심으로 설명한다.

도 19는 각 도트에 관한 평점을 나타낸 도면이다. 도 20은 제 2 도트 패턴에서의 도트의 배열을 나타낸 도면이다.

이 제 3 실시예에서는, 제 2 실시예에서 설명한 토출량 오차와, 부주사 방향에 대한 도트의 상대 위치에 의거하여 평점(에러 지표)의 판정이 행해진다. 즉, 토출량 오차에 의거하여 표 1을 따라서 평점 B의 판정이, 부주사 방향에 대한 도트의 상대 위치에 의거하여 표 2를 따라서 평점 C의 판정이 이루어지고, 평점 B와 평점 C의 총합으로서의 총 평점이 판정된다(도 19 참조).

[표 1]

토출량 오차(절대값)	평점 B
0.20이상	1
0.10이상 0.20미만	2
0.10미만	3

[표 2]

부주사 방향에 대한 도트의 상대 위치	평점 C
중앙열(제 9~16)	1
준외곽열(제 5~8, 제 17~20)	1.5
외곽열(제 1~4, 제 21~24)	2

양호한 패터닝을 위해서는, 액상체가 구획 영역의 구석구석에까지 결함을 발생하지 않고 젖어 퍼지는 것이 바람직하지만, 이러한 관점에서는, 중앙열의 도트에 의거하는 액적(액상체)의 토출은, 외곽열의 도트에 의거하는 액적(액상체)의 토출에 비해서 상대적으로 결함을 발생하기 쉽다고 할 수 있다. 구획 영역 내에서의 젖음성이나 액상체의 표면 장력에 따라서도 다르지만, 일반적으로는 구획 영역의 단부 부근의 개소는 중앙 부근의 개소보다도 액상체의 결함을 발생하기 쉬워, 환언하면, 중앙 부근의 개소에 우선적으로 액적을 배치하는 것은 이러한 결함을 초래하 기 쉬운 것이 되기 때문이다. 부주사 방향에 대한 도트의 상대 위치에 의거하여 평점(에러 지표)의 판정이 행해지는 것은, 이러한 사정을 감안한 것으로, 부주사 방향에 대한 상대 위치가 중앙 부근일수록, 그 도트에 관한 평점은 작게(에러 지표는 높게) 판정되게 되어 있다.

이렇게 하여, 가상 구획 영역(A2)에 착안한 경우(도 19 참조), 제 17∼제 20 도트, 및 제 13∼제 16 도트 중 2개의 도트가 소거되게 되고, 제 2 도트 패턴에서의 도트의 배열은, 예를 들면, 도 20에 나타낸 바와 같이 된다.

(제 4 실시예)

다음에, 도 21, 도 22를 참조하여, 본 발명의 제 4 실시예에 대해서, 제 1, 3 실시예와의 차이점을 중심으로 설명한다.

도 21은 각 도트에 관한 평점을 나타낸 도면이다. 도 22는 제 2 도트 패턴에서의 도트의 배열을 나타낸 도면이다.

이 제 4 실시예에서는, 제 3 실시예에서 설명한 평점 B, 평점 C에 추가하여, 제 1 실시예에서 설명한 가상 액적의 착탄 위치 좌표와 가상 구획 영역의 경계의 최근접 거리에 의거하여 표 3을 따라서 평점 A의 판정이 이루어지고, 평점 A, B, C의 총합으로서의 총 평점이 판정된다(도 21 참조).

[표 3]

최근접거리	평점 A
18미만	1
18이상	3

이렇게 하여, 가상 구획 영역(A2)에 착안한 경우(도 21 참조), 제 1, 제 12, 제 17∼제 20 도트가 소거되게 되어, 제 2 도트 패턴에서의 도트의 배열은 도 22에 나타낸 바와 같이 된다.

또한, 제 3, 제 4 실시예와 같이 복수의 파라미터에 의거한 평점(총 평점)의 판정을 행하는 경우에는, 파라미터간에서의 가중치를 적절히 변경하는 것이 가능하다. 예를 들면, 평점 B의 판정을 표 4를 따라서 행하는 형태로 하면, 토출량 오차에 의거하는 총 평점 판정의 비중이 상대적으로 작아지기 때문에, 토출량 오차가 큰 도트보다도 최근접 거리가 작은 도트가 우선적으로 소거되게 된다.

[표 4]

토출량 오차(절대값)	평점 B
0.20이상	1
0.10이상 0.20미만	1.5
0.10미만	2

(제 5 실시예)

다음에, 도 23을 참조하여, 본 발명의 제 5 실시예에 대해서, 제 1 실시예와의 차이점을 중심으로 설명한다.

도 23은 유기 EL 표시 장치의 요부 구성을 나타낸 단면도이다.

도 23에 나타낸 바와 같이, 유기 EL 표시 장치(100)는 소자 기판(111)과, 소자 기판(111) 위에 형성된 구동 회로부(112)와, 구동 회로부(112) 위에 형성된 발광 소자부(113)와, 구동 회로부(112) 및 발광 소자부(113)를 밀봉하기 위한 밀봉 기판(114)을 구비하고 있다. 밀봉 기판(114)에 의해 밀봉된 밀봉 공간(115)에는, 불활성 가스가 충전되어 있다.

발광 소자부(113)는 뱅크(120)로 구획된 복수의 구획 영역(119)을 갖고 있으 며, 이 구획 영역(119) 내에는 발광 소자(125)가 형성되어 있다. 발광 소자(125)는 구동 회로부(112)의 출력 단자인 세그먼트 전극(양극)(121)과, 공통 전극(음극)(124) 사이에, 정공(正孔) 수송층(122), 유기 EL 재료층(123)이 적층되어 구성되어 있다. 또한, 뱅크(120)와 구동 회로부(112) 사이에는, 계조 요소간의 간섭을 방지하기 위한 차광막(126)이 크롬이나 그 산화물 등으로 형성되어 있다.

정공 수송층(122)은 유기 EL 재료층(123)에 정공을 주입하기 위한 기능층으로, 폴리티오펜 유도체의 도핑체(PEDOT) 등의 고분자 도전체로 형성되어 있다. 유기 EL 재료층(123)은 형광 또는 인광을 발광하는 것이 가능한 공지의 유기 EL 재료, 예를 들면, 폴리플루오렌 유도체, (폴리)파라페닐렌 비닐렌 유도체, 폴리페닐렌 유도체 등으로 형성되어 있다. 정공 수송층(122), 유기 EL 재료층(123)은 제 1 실시예에서 설명한 액상체 배치 방법을 이용하여, 소정 영역으로서의 구획 영역(119)에 대응하는 기능성 재료(PEDOT/유기 EL 재료)를 포함하는 액상체를 배치하여 제조된 것이다.

본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 않는다.

예를 들면, 상술한 액상체 배치 방법을 이용한 다른 예로서, 예를 들면, 플라스마 디스플레이 장치에서의 형광막의 형성, 또는, 전기 회로에서의 도전 배선이나 저항 소자의 형성 등을 들 수 있다.

또한, 실시예의 각 구성은 이들을 적절히 조합시키거나, 생략하거나, 도시하지 않은 다른 구성과 조합시키거나 할 수 있다.

도 1은 컬러 필터의 구성을 나타낸 평면도.

도 2는 컬러 필터의 구조를 나타낸 단면도.

도 3은 액상체 토출 장치의 요부 구성을 나타낸 사시도.

도 4는 헤드 유닛에서의 헤드의 배치 구성을 나타낸 평면도.

도 5는 액상체 토출 장치의 전기적 구성을 나타낸 도면.

도 6은 도트 패턴과 노즐 위치의 관계를 나타낸 도면.

도 7은 컬러 필터에서의 착색부의 형성에 관한 공정을 나타낸 플로차트.

도 8은 액상체 배치를 행할 때의 기판의 상태를 나타낸 평면도.

도 9는 제 1 도트 패턴과 노즐의 관계를 나타낸 도면.

도 10은 제 2 도트 패턴 생성에 관한 처리를 나타낸 플로차트.

도 11의 (a)∼(c)는 제 2 도트 패턴의 생성 과정을 나타낸 도면.

도 12는 각 도트에 관한 평점을 나타낸 도면.

도 13은 제 2 도트 패턴에서의 도트의 배열을 나타낸 도면.

도 14는 제 2 도트 패턴 생성에 관한 처리를 나타낸 플로차트.

도 15는 각 도트에 관한 평점을 나타낸 도면.

도 16은 제 2 도트 패턴에서의 도트의 배열을 나타낸 도면.

도 17은 각 도트에 관한 평점을 나타낸 도면.

도 18은 제 2 도트 패턴에서의 도트의 배열을 나타낸 도면.

도 19는 각 도트에 관한 평점을 나타낸 도면.

도 20은 제 2 도트 패턴에서의 도트의 배열을 나타낸 도면.

도 21은 각 도트에 관한 평점을 나타낸 도면.

도 22는 제 2 도트 패턴에서의 도트의 배열을 나타낸 도면.

도 23은 유기 EL 표시 장치의 요부 구성을 나타낸 단면도.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

1 : 컬러 필터 2 : 착색부

4 : 기판 5 : 뱅크

6 : 소정 영역으로서의 구획 영역 20 : 노즐

100 : 유기 EL 표시 장치

119 : 소정 영역으로서의 구획 영역

120 : 뱅크 122 : 정공 수송층

123 : 유기 EL 재료층 125 : 발광 소자

200 : 액상체 토출 장치 MT : 매트릭스

Claims

삭제
복수의 노즐과 기판을 상대적으로 주사시키면서 상기 노즐로부터 액상체를 토출함으로써, 상기 기판 위의 복수의 소정 영역에 대해서 적정량의 상기 액상체를 배치하는 액상체 배치 방법으로서,

상기 각 소정 영역에 대응하여 상기 적정량의 상기 액상체를 배치하기 위하여 필요한 도트의 수보다도 많은 소정수(a)의 도트가 설정된 제 1 도트 패턴을 생성하는 A스텝과,

상기 소정수(a)의 도트로부터 소정수(b)의 도트를 소거하는 것에 의해, 상기 적정량의 상기 액상체를 배치하기 위하여 필요한 수의 도트가 설정된 제 2 도트 패턴을 생성하는 C스텝과,

상기 제 2 도트 패턴에 의거하여 상기 각 소정 영역에 대하여 상기 액상체를 토출하는 D스텝을 가지며,

상기 C스텝에서, 상기 각 소정 영역마다 상기 소정수(a)의 도트에 관한 지표를 적어도 상기 도트에 대응하는 상기 노즐의 토출 정보 및 상기 도트의 배치 위치에 의거하여 판정하고, 상기 각 소정 영역마다 상기 지표가 상대적으로 높다고 판정되는 도트를 우선적으로 소거하는 것에 의해, 상기 적정량의 상기 액상체를 배치하기 위하여 필요한 수의 도트가 설정된 상기 제 2 도트 패턴을 생성하는 것을 특징으로 하는 액상체 배치 방법.
제 2 항에 있어서,

상기 노즐의 토출 정보를 취득하는 B스텝을 가지며,

상기 B스텝 및 상기 C스텝을, 상기 기판의 1 내지 복수 단위마다 대응하여 행하는 것을 특징으로 하는 액상체 배치 방법.
제 2 항에 있어서,

상기 소정 영역은, 뱅크에 의해 구획되어 있는 것을 특징으로 하는 액상체 배치 방법.
제 2 항에 있어서,

상기 도트에 관한 지표는, 상기 도트에 의거하여 토출이 이루어진다고 했을 때의 액상체의 배치 위치와 상기 소정 영역의 경계의 최근접 거리가 작아질수록, 높게 판정되는 것을 특징으로 하는 액상체 배치 방법.
제 2 항에 있어서,

상기 도트에 관한 지표는, 상기 도트에 의거하여 토출이 이루어진다고 했을 때의 토출량 오차가 커질수록, 상대적으로 높게 판정되는 것을 특징으로 하는 액상체 배치 방법.
제 2 항에 기재된 액상체 배치 방법을 이용하여, 상기 기판 위에 설정된 복수의 상기 소정 영역의 각각에, 색재(色材)를 포함하는 상기 액상체를 배치하는 스텝과,

배치된 상기 액상체를 고화(固化)시켜서, 상기 복수의 소정 영역을 각각 화소의 대응 영역으로 하는 착색부를 형성하는 스텝을 갖는 컬러 필터의 제조 방법.
제 2 항에 기재된 액상체 배치 방법을 이용하여, 상기 기판 위에 설정된 복수의 상기 소정 영역의 각각에, 유기 EL 재료를 포함하는 상기 액상체를 배치하는 스텝과,

배치된 상기 액상체를 고화시켜서 상기 복수의 소정 영역을 각각 화소의 대응 영역으로 하는 발광 소자를 형성하는 스텝을 갖는 유기 EL 표시 장치의 제조 방법.