JP2010217826A - 液滴吐出装置、薄膜形成方法 - Google Patents

Abstract

【課題】簡易な構成でノズル間の液滴の吐出量のバラツキを抑制することのできる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】主走査と副走査を繰り返しながら、副走査方向に一定間隔で配列された複数の区画領域に液滴を吐出する液滴吐出装置において、液滴吐出ヘッドの副走査の移動量を区画領域の配置間隔の整数倍とし、全ての主走査において常に同じ吐出パターンで液滴を吐出する。吐出を行う前にはノズル毎の吐出量のバラツキを測定し、そのバラツキに応じて吐出量の調整を行う。その際、吐出量の測定は、実際に吐出を行う１種類の吐出パターンにおいてのみ行うこととし、ノズル毎の吐出量のバラツキが精密に制御された液滴吐出ヘッドを用いて、均一な膜厚の薄膜を形成する。
【選択図】図１０

Description

本発明は、液滴吐出装置、薄膜形成方法に関するものである。

従来より、液滴吐出装置を用いた薄膜形成技術が知られている。液滴吐出装置で形成される薄膜の代表的な例は、カラーフィルタや有機ＥＬパネルの発光層である。液滴吐出装置を用いた薄膜形成技術では、用いる液滴吐出ヘッドの解像度に応じて微小な液滴を所望の位置に塗布することができる。そのため、凸版印刷等の他の印刷技術に比べて、微細なパターンの形成が可能である。例えば、カラーフィルタ基板に、赤、緑、青のカラーフィルタを形成する場合には、赤、緑、青の着色材料を含む溶液を微小ノズルから基板上に吐出し、これを乾燥、固化することによりカラーフィルタを形成することができる（例えば、特許文献１，２参照）。

ここで、図１７（ｂ）に示すように、基板３０１の表面に設定される複数の画素領域ＰＸに、ドット状に配列された複数のカラーフィルタ３０３を液滴吐出法に基づいて形成する場合を考える。この場合、例えば、複数のノズル３０４を列状に配列してなるノズル列３０５を有する液滴吐出ヘッド３０６を、矢印Ａ_１及び矢印Ａ_２で示すように複数回（図１７（ｂ）では２回）主走査させながら、それらの主走査の間に複数のノズル３０４から選択的にインクすなわちカラーフィルタ材料を吐出することによって所望の位置にカラーフィルタ３０３を形成する。

カラーフィルタ３０３は、Ｒ，Ｇ，Ｂ等の各色をストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列等といった適宜の配列形態で配列することによって形成されるものである。インクの吐出工程では、図に示すように、Ｒ，Ｇ，Ｂの単色を吐出する液滴吐出ヘッド３０６をＲ，Ｇ，Ｂ等の３色分だけ予め設けておいて、それらの液滴吐出ヘッド３０６を順々に用いて１つの基板３０１上にＲ，Ｇ，Ｂ等の３色配列を形成する。

ところで、液滴吐出ヘッド３０６に関しては、ノズル列３０５を構成する各ノズル３０４の間でインクの吐出量にバラツキが生じており、一般に、図１７（ａ）に示すように、ノズル列３０５の両端部に対応する位置の吐出量が多く、その中央部がその次に多く、それらの中間部の吐出量が少ないといった吐出特性（吐出量の分布）Ｑを示す。

このため、液滴吐出ヘッド３０６によってカラーフィルタ３０３を所定の厚みに形成する場合には、ノズル列３０５を構成する各ノズル３０４のインク吐出量のバラツキに起因して、液滴吐出ヘッド３０６の主走査方向と直交する副走査方向に並ぶ複数のカラーフィルタ３０３の間で、インクの配置量（膜厚）にバラツキが生じることになる。この場合、例えばノズル列３０５の端部に対応する位置Ｐ１又は中央部Ｐ２、或いはＰ１及びＰ２の両方に濃度の濃いスジムラ（配置ムラ）が形成されてしまうため、カラーフィルタの平面的な光透過特性が不均一になるといった問題が発生してしまう。また、このようなスジ状の配置ムラは視認されやすく、カラーフィルタ３０３を介して表示される画像の画質を低下させる原因ともなる。

そこで、特許文献１では、ノズル列３０５を複数のグループに分け、各ノズル３０４から吐出されるインクの吐出量をグループ毎に制御する方法が提案されている。この方法によれば、各ノズル３０４の吐出量をノズル３０４毎ではなくグループ毎に調整するので、補正値の選定作業や回路構成を簡略化しつつ、ノズル３０４間でインクの吐出量を均一化することができる。

一方、液滴吐出ヘッド３０６における吐出量のバラツキは、１主走査毎の吐出パターンの変化によっても発生する。吐出パターンとは、１つの液滴吐出ヘッド３０６に設けられる複数のノズル３０４のうち、吐出を行うノズル（吐出ノズル）と吐出を行わないノズル（非吐出ノズル）との組み合わせをいう。

例えば、基板３０１の画素領域ＰＸのみにインクを吐出する場合、画素領域と重なるノズル３０４を使用し、非画素領域と重なるノズル３０４は使用しないため、副走査方向に液滴吐出ヘッド３０６を移動すると、ノズル３０４と画素領域との空間的な配置がずれてしまい、吐出ノズルと非吐出ノズルとの組み合わせ、すなわち吐出パターンが変わってしまう。

副走査を行ったときにノズル３０４と画素領域ＰＸとの空間的な配置がずれてしまうのは、副走査の移動距離が、液滴吐出ヘッド３０６のノズル間の間隔を基準として行われるためである。すなわち、副走査はノズル間の間隔の整数倍の距離で行われるように設計されているが、副走査をノズル間の間隔の整数倍とした場合、一般的には、画素領域ＰＸの配置間隔はノズル間の間隔の整数倍とはならないので、ノズル３０４と画素領域ＰＸとの空間的な配置は１主走査毎に異なったものとなる。そのため、副走査前の主走査では画素領域ＰＸ内に配置されていたノズルが、副走査後の主走査では画素間の領域（非画素領域）に配置される場合が生じ、それにより、吐出パターンが異なったものとなるのである。

吐出パターンが変化すると、各ノズル３０４の吐出特性Ｑも変化する。この吐出特性Ｑの変化は、液滴吐出ヘッド３０６の構造的なクロストークおよび電気的なクロストークに起因している。すなわち、ノズル３０４の駆動による機械的な振動やインクを介した圧力伝達、及びノズル３０４に供給される駆動信号の歪み（オーバーシュートやアンダーシュート）によって、近接するノズル３０４の吐出量が変動するのである。

このような問題を解決するために、特許文献２では、吐出ノズル数の割合（吐出ノズル数／全ノズル数）、すなわちノズルデューティに応じて、各ノズル３０４の駆動素子に供給する駆動波形を補正する方法が提案されている。この方法によれば、ノズル３０４に供給される駆動信号の歪みによって、近接するノズル３０４の吐出量が変動すること（電気的なクロストーク）を防止することができる。

特開２００２−１９６１２７号公報 特開２００６−２８９７６５号公報

しかしながら、特許文献２の方法では、駆動信号の歪みによる吐出量の変動（電気的なクロストーク）は防止できるものの、ノズル３０４の駆動による機械的な振動或いはインクを介した圧力伝達等による吐出量の変動（構造的なクロストーク）は防止することができない。吐出パターン自体の変化を防止できないからである。

そのため、考えうる全ての吐出パターンについて吐出特性Ｑを測定し、１主走査毎にこの吐出特性Ｑに基づいた駆動波形の調整を行うことが考えられるが、この方法では、吐出パターンの組み合わせが膨大になり、測定時間が長くかかると共に、制御が非常に複雑になるという問題がある。

また、代表的な吐出パターン（例えば、全てのノズル３０４からインクを吐出する吐出パターン）を選択し、その吐出パターンにおける吐出特性Ｑに基づいて全ての吐出パターンの吐出量を調節することも考えられるが、この方法では、代表的な吐出パターンの吐出特性と実際の吐出パターンの吐出特性とが大きく異なる場合に、インクの吐出量が均一にならないという問題がある。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、簡易な構成でノズル間の液滴の吐出量のバラツキを抑制することのできる液滴吐出装置及び薄膜形成方法を提供することを目的とする。

上記の課題を解決するため、本発明の液滴吐出装置は、液滴を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルに対応して設けられた複数の駆動素子とを有する液滴吐出ヘッドを備え、前記液滴吐出ヘッドを基板上の第１方向及び該第１方向と直交する第２方向にそれぞれ所定の移動間隔で主走査及び副走査しながら前記複数のノズルから所定のタイミングで液滴を吐出することにより、前記基板上の前記第１方向及び前記第２方向に所定の間隔で配置された複数の区画領域に対してそれぞれ液滴を吐出する液滴吐出装置であって、前記複数のノズルからの液滴の吐出動作を制御すると共に、予め測定された前記複数のノズルからの液滴の吐出量の分布に基づいて、各ノズルから吐出される液滴の吐出量が所定の適正量に近づくように前記複数の駆動素子の駆動波形を制御する制御手段と、を備え、前記液滴吐出ヘッドの前記第２方向への移動間隔は前記第1間隔の整数倍とされ、前記制御手段は、前記複数のノズルのうち１主走査毎に選択されうる特定のノズルについて予め測定された前記液滴の吐出量の分布に基づいて、前記特定のノズルから吐出される液滴の吐出量が前記所定の適正量に近づくように前記特定のノズルに対応する前記駆動素子の駆動波形を制御することを特徴とする。

この構成によれば、ノズルの吐出特性（吐出量の分布）に基づいてノズル毎に吐出量を調節しているので、ノズルの吐出特性に起因する液滴吐出量のバラツキを抑制し、均一な膜層を形成することが可能となる。この場合、1主走査毎に吐出パターンが異なると、吐出パターン毎にノズルの吐出特性を調べなければならないが、本発明の液滴吐出装置では、液滴吐出ヘッドの副走査方向の移動距離が区画領域の副走査方向における配置間隔の整数倍であるため、ノズルと区画領域との空間的な配置が常に等しくなり、吐出パターンが変化することがない。すなわち、液滴吐出ヘッドに備えられる複数のノズルのうち、複数の区画領域と重なる部分のノズルの組み合わせ（すなわち吐出ノズルと非吐出ノズルとの組み合わせ）が常に一定である。そのため、予め測定するノズルの吐出特性は、液滴吐出ヘッド毎に1種類の吐出パターンのみでよく、測定時間の短縮化が図られると共に駆動制御も容易となる。また、実際の吐出に用いる吐出パターンの吐出特性に基づいて吐出量の制御を行うため、吐出量の均一性が非常に高くなる。

本発明においては、前記複数のノズルから液滴が吐出される記録媒体と、前記記録媒体上に吐出された前記液滴の画像を撮像する撮像装置と、を有する吐出量測定装置を備え、前記制御手段は、前記撮像装置によって撮像された液滴の画像を画像処理し、前記液滴の前記記録媒体上の着弾面積を求め、前記着弾面積に基づいて前記複数のノズルから吐出された液滴の吐出量の分布を求めることが望ましい。

この構成によれば、複数のノズルから吐出される液滴の吐出量を同時に測定することができるため、例えば、電子天秤を用いて１ノズル毎に吐出量の測定を行う従来の測定方法に比べて、測定に要する時間を大幅に短縮することができる。

本発明においては、前記記録媒体は、顔料をバインダーで結着させた多孔質のインク受容層を有する可撓性のシート部材であり、前記吐出量測定装置は、前記記録媒体を供給する供給リールと、前記供給リールから供給された前記記録媒体を巻き取る巻き取りリールと、を備えていることが望ましい。

この構成によれば、記録媒体として一般に普及している写真印刷用のロール紙を用いることができるため、低コストで手軽に吐出量の測定を行うことができる。また、記録媒体を供給リールと巻き取りリールによって供給・排出するようにしたため、測定毎に常に新しい記録媒体を用いて高精度な測定を行うことができる。この場合、シート部材は消耗品となるが、本発明の液滴吐出装置では、吐出量の測定は液滴吐出ヘッド毎に定まる単一の吐出パターンに対して行えばよいので、測定に要するシート部材の量を少なくすることができ、コストの増大は最小限に抑えることができる。

本発明においては、前記制御手段は、前記駆動素子毎に複数種類の駆動信号の中から１つを選択して供給する駆動信号選択手段と、前記駆動素子と当該駆動素子に供給する駆動信号の種類との対応関係を示す駆動信号選択データを記憶する第１の記憶手段と、前記複数種類の駆動信号の波形データを記憶する第２の記憶手段と、前記第２の記憶手段から前記複数種類の駆動信号の波形データを取得し、当該波形データに基づいて前記複数種類の駆動信号を生成する駆動信号生成手段と、を備え、前記駆動信号選択手段は、前記第１の記憶手段に記憶されている前記駆動信号選択データに基づいて、各駆動素子に供給する駆動信号の種類を前記駆動信号生成手段が生成した駆動信号の中から選択することが望ましい。

この構成によれば、駆動信号選択データ及び駆動信号の波形データの追加、削除、変更を自由に行うことができ、これらデータの管理が容易となる。また、汎用的な装置構成で液滴吐出ヘッドの個体差に対応することができる。

本発明においては、前記第１の記憶手段は、前記駆動素子と当該駆動素子に駆動信号を供給するか否かを規定する情報との対応関係を示す吐出データを記憶し、前記吐出データに基づいて、前記駆動素子毎に、前記駆動信号選択手段によって選択した駆動信号の供給または非供給を切り替える供給切替手段を備えることが望ましい。

この構成によれば、駆動信号選択データと同様に吐出データの追加、削除、変更を自由に行うことができ、これらデータの管理が容易になる。

本発明においては、前記駆動信号選択手段及び供給切替手段を前記液滴吐出ヘッドに設け、前記第１の記憶手段、前記第２の記憶手段及び前記駆動信号生成手段が設けられた駆動回路基板を備えることが望ましい。

この構成によれば、液滴吐出ヘッドの交換や駆動回路基板の交換、または使用部品の交換などが容易となり、メンテナンス性の向上を図ることができる。

本発明においては、前記駆動信号の種類は４種類であることが望ましい。
このように駆動信号を４種類の中から選択した場合であっても、各ノズルの吐出特性のバラツキに起因する液滴吐出量のバラツキを目標レベルまで低減することができるので、必要最小限の部品点数及びコストに抑えることができる。

本発明においては、前記駆動素子は圧電素子であることが望ましい。
このように圧電素子を使用することにより、駆動信号に応じた量の液滴を高精度に吐出することができる。

本発明の薄膜形成方法は、液滴を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルに対応して設けられた複数の駆動素子とを有する液滴吐出ヘッドを用い、前記液滴吐出ヘッドを基板上の第１方向及び該第１方向と直交する第２方向にそれぞれ所定の移動間隔で主走査及び副走査しながら前記複数のノズルから所定のタイミングで液滴を吐出することにより、前記基板上の前記第１方向及び前記第２方向に所定の間隔で配置された複数の区画領域に対してそれぞれ液滴を吐出する工程を含む薄膜形成方法であって、前記液滴吐出ヘッドの前記第２方向への移動間隔は前記第1間隔の整数倍とされ、前記区画領域に前記液滴を吐出する工程では、前記複数のノズルのうち１主走査毎に選択されうる特定のノズルについて予め測定された前記液滴の吐出量の分布に基づいて、前記特定のノズルから吐出される液滴の吐出量が前記所定の適正量に近づくように前記特定のノズルに対応する前記駆動素子の駆動波形を制御することを特徴とする。

この方法によれば、ノズルの吐出特性（吐出量の分布）に基づいてノズル毎に吐出量を調節しているので、ノズルの吐出特性に起因する液滴吐出量のバラツキを抑制し、均一な膜層を形成することが可能となる。この場合、1主走査毎に吐出パターンが異なると、吐出パターン毎にノズルの吐出特性を調べなければならないが、本発明の液滴吐出装置では、液滴吐出ヘッドの副走査方向の移動距離が区画領域の副走査方向における配置間隔の整数倍であるため、ノズルと区画領域との空間的な配置が常に等しくなり、吐出パターンが変化することがない。すなわち、液滴吐出ヘッドに備えられる複数のノズルのうち、複数の区画領域と重なる部分のノズルの組み合わせ（すなわち吐出ノズルと非吐出ノズルとの組み合わせ）が常に一定である。そのため、予め測定するノズルの吐出特性は、液滴吐出ヘッド毎に1種類の吐出パターンのみでよく、測定時間の短縮化が図られると共に駆動制御も容易となる。また、実際の吐出に用いる吐出パターンの吐出特性に基づいて吐出量の制御を行うため、吐出量の均一性が非常に高くなる。

本発明においては、前記液滴の吐出量の分布は、前記液滴吐出ヘッドから記録媒体上に液滴を吐出し、前記記録媒体上に着弾した液滴の画像を撮像装置によって撮像し、前記撮像装置によって撮像された前記液滴の画像から前記記録媒体上の前記液滴の着弾面積を測定し、前記着弾面積に基づいて前記液滴の吐出量を算出することにより求められることが望ましい。

この方法によれば、複数のノズルから吐出される液滴の吐出量を同時に測定することができるため、例えば、電子天秤を用いて１ノズル毎に吐出量の測定を行う従来の測定方法に比べて、測定に要する時間を大幅に短縮することができる。

液滴吐出装置の概略構成図である。 液滴吐出装置に備えられる液滴吐出ヘッドの詳細説明図である。 複数の液滴吐出ヘッドの配置例及び動作例を説明する平面図である。 液滴吐出ヘッドの吐出動作を説明する平面図である。 パネル領域の全域に液滴吐出ヘッドを走査する場合の走査方法の説明図である。 ノズルデューティが異なる場合の駆動電圧の調整方法の説明図である。 液滴吐出装置の電気的な構成を示すブロック図である。 液滴吐出ヘッドとその駆動回路基板の回路構成図である。 ノズルの吐出特性を示すグラフである。 各ノズルの駆動波形の設定方法を説明するフローチャートである。 各ノズルに設定される駆動波形の一例を示す説明図である。 各ノズルの駆動波形の設定方法を説明するフローチャートである。 ＣＯＭ選択回路４０の詳細説明図である。 スイッチング回路５０の詳細説明図である。 液滴吐出装置ＩＪの動作を示す第１のタイミングチャートである。 液滴吐出装置ＩＪの動作を示す第２のタイミングチャートである。 従来の液滴吐出工程を説明する説明図である。

以下、図面を参照して本発明の一実施形態を説明する。以下の説明においては、図１中に示されたＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材について説明する。ＸＹＺ直交座標系は、Ｘ軸及びＹ軸がワークステージ２に対して平行となるよう設定され、Ｚ軸がワークステージ２に対して直交する方向に設定されている。図１中のＸＹＺ座標系は、実際にはＸＹ平面が水平面に平行な面に設定され、Ｚ軸が鉛直上方向に設定される。

図１は本発明の一実施形態における液滴吐出装置ＩＪの概略構成図である。本実施形態の液滴吐出装置ＩＪは、インクジェット方式によりカラーフィルタ基板（吐出対象物）上にカラーフィルタ材料の液滴を吐出してカラーフィルタ層を形成する装置である。

液滴吐出装置ＩＪは、装置架台１、ワークステージ２、ステージ移動装置（移動手段）３、キャリッジ４、液滴吐出ヘッド５、キャリッジ移動装置（移動手段）６、チューブ７、第１タンク８、第２タンク９、第３タンク１０、保守装置１２、吐出量測定装置１３、及び制御装置（制御手段）１１を備えている。

装置架台１は、ワークステージ２、保守装置１２、測定ステージ１７及びステージ移動装置３の支持台である。ワークステージ２は、装置架台１上においてステージ移動装置３によってＸ軸方向に移動可能に設置されており、上流側の基板供給装置３６（図７参照）から搬送されるカラーフィルタ基板Ｐを、真空吸着機構によりＸＹ平面上に保持する。ステージ移動装置３は、ボールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構を備え、制御装置１１から入力される、ワークステージ２のＸ座標を示すステージ位置制御信号に基づいて、ワークステージ２をＸ軸方向に移動させる。

キャリッジ４は、複数の液滴吐出ヘッド５を一体に保持する保持具である。キャリッジ４は、キャリッジ移動装置６によってＹ軸方向及びＺ軸方向に移動可能に設けられている。

液滴吐出ヘッド５は、図示略の複数のノズルを備えており、制御装置１１から入力される描画データや駆動制御信号に基づいて、カラーフィルタ材料の液滴を吐出する。この液滴吐出ヘッド５は、カラーフィルタ材料のＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）に対応して設けられており、それぞれの液滴吐出ヘッド５はキャリッジ４を介してチューブ７と連結されている。そして、Ｒ（赤）に対応する液滴吐出ヘッド５はチューブ７を介して第１タンク８からＲ（赤）用のカラーフィルタ材料の供給を受け、Ｇ（緑）に対応する液滴吐出ヘッド５はチューブ７を介して第２タンク９からＧ（緑）用のカラーフィルタ材料の供給を受け、また、Ｂ（青）に対応する液滴吐出ヘッド５はチューブ７を介して第３タンク１０からＢ（青）用のカラーフィルタ材料の供給を受けるようになっている。

キャリッジ移動装置６は、装置架台１を跨ぐ橋梁構造をしており、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に対してボールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構を備え、制御装置１１から入力される、キャリッジ４のＹ座標及びＺ座標を示すキャリッジ位置制御信号に基づいて、キャリッジ４をＹ軸方向及びＺ軸方向に移動させる。

チューブ７は、第１タンク８、第２タンク９及び第３タンク１０とキャリッジ４（液滴吐出ヘッド５）とを連結するカラーフィルタ材料の供給用チューブである。第１タンク８は、Ｒ（赤）用のカラーフィルタ材料を貯蔵すると共に、チューブ７を介してＲ（赤）に対応する液滴吐出ヘッド５にカラーフィルタ材料を供給する。第２タンク９は、Ｇ（緑）用のカラーフィルタ材料を貯蔵すると共に、チューブ７を介してＧ（緑）に対応する液滴吐出ヘッド５にカラーフィルタ材料を供給する。第３タンク１０は、Ｂ（青）用のカラーフィルタ材料を貯蔵すると共に、チューブ７を介してＢ（青）に対応する液滴吐出ヘッド５にカラーフィルタ材料を供給する。

保守装置１２は、図示略のステージ移動装置によってＸ軸方向に移動可能な保守ステージと、該保守ステージ上に配置された、クリーニング装置、キャッピング装置、フラッシング装置などを備えている。

吐出量測定装置１３は、測定ステージ１４と、該測定ステージ１４上に設けられた帯状のシート部材１６を収容するハウジング部材１５と、ハウジング部材１５から露出したシート部材１６の記録面１６ａを撮像する撮像装置１７と、を備えている。

測定ステージ１４は、装置架台１上においてステージ移動装置３によってＸ軸方向に移動可能に設置されている。ステージ移動装置３は、制御装置１１から入力される、測定ステージ１４のＸ座標を示すステージ位置制御信号に基づいて、測定ステージ１４をＸ軸方向に移動させる。

シート部材１６は、液滴吐出ヘッド５と対向した状態で、液滴吐出ヘッド５のノズル面に対してＹ方向（液滴吐出ヘッド５の副走査方向）に相対的に移動可能な記録面１６ａを有する。ハウジング部材１５には、シート部材１６と共に、シート部材１６の記録面１６ａを送るための送り機構（図示略）が収容されている。シート部材１６の少なくとも一部は、液滴吐出ヘッド５と対向するハウジング部材１５の上面に形成された開口部（図示略）より露出しており、液滴吐出ヘッド５のノズル面と対向可能に配置されている。

シート部材１６は、液滴吐出ヘッド５の各ノズルから吐出された液滴の吐出量及び着弾位置が記録可能な記録媒体（測定部材）である。シート部材５としては、例えばロール紙等の記録紙を用いることができる。

本実施形態では、シート部材１５として、プラスチックフィルムにインク受容層を設けたシートを用いる。インク受容層は、顔料とバインダーとを複数含んで構成される。顔料はバインダーに包含されている。また、インク受容層は、複数のバインダー５２の間に、多数の空隙を有する多孔質構造となっている。

インク受容層に使用可能な顔料としては、例えば、軽質炭酸カルシウム、重質炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、カオリン、タルク、硫酸カルシウム、硫酸バリウム、二酸化チタン、酸化亜鉛、硫化亜鉛、炭酸亜鉛、サチンホワイト、珪酸アルミニウム、ケイソウ土、珪酸カルシウム、珪酸マグネシウム、合成非晶質シリカ、コロイダルシリカ、アルミナ、アルミナ水和物、水酸化アルミニウム、リトポン、ゼオライト、加水ハロサイト、水酸化マグネシウム等の白色無機顔料、スチレン系プラスチックピグメント、アクリル系プラスチックピグメント、ポリエチレン、マイクロカプセル、尿素樹脂、メラミン樹脂等の有機顔料が挙げられる。インク受容層中には、これらのうち１種を単独で含有させてもよく、２種以上を併用してもよい。

顔料の結着材としてインク受容層に含有されるバインダーとしては、インクと親和性を有する水溶性あるいは非水溶性の高分子化合物を含有させることができる。水溶性高分子化合物としては、例えば、メチルセルロース、メチルヒドロキシエチルセルロース、メチルヒドロキシプロピルセルロース、及びヒドロキシエチルセルロース等のセルロース系接着剤、澱粉及びその変性物、ゼラチン及びその変性物、カゼイン、プルラン、アラビアゴム、及びアルブミン等の天然高分子樹脂またはこれらの誘導体、ポリビニルアルコール及びその変性物、スチレン−ブタジエン共重合体、スチレン−アクリル共重合体、メチルメタクリレート−ブタジエン共重合体、エチレン−酢酸ビニル共重合体等のラテックスやエマルジョン類、ポリアクリルアミド、ポリビニルピロリドン等のビニルポリマー、ポリエチレンイミン、ポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコール、及び無水マレイン酸またはその共重合体が挙げられる。

非水溶性高分子化合物としては、例えば、エタノール、２−プロパノール等のアルコール類やこれらのアルコール類と水との混合溶媒に溶解する非水溶性接着剤が挙げられる。このような非水溶性接着剤としては、ビニルピロリドン／酢酸ビニル共重合体、ポリビニルブチラール、ポリビニルホルマール等のアセタール樹脂が挙げられる。

送り機構は、例えば、シート部材１６を供給する供給リールと、供給リールから供給されたシート部材１６を巻き取る巻き取りリールと、これら供給リール及び巻き取りリールを回転させる回転モータ等のアクチュエータとを有し、制御装置１１が該アクチュエータを制御することにより、シート部材１６を供給リールから巻き取りリールへと送るように構成されている。

撮像装置１７は、記録面１６ａ上に着弾した液滴の膜を撮像するものである。撮像装置７０は、撮像装置移動装置１８（図７参照）により測定ステージ１４の上方においてＹ軸方向に移動可能に設けられている。撮像装置１７としては、記録面１６ａ上に着弾した液滴の膜を所定の解像度で撮像可能なＣＣＤカメラなどを用いることができる。

制御装置１１は、ステージ移動装置３にステージ位置制御信号を出力し、キャリッジ移動装置６にキャリッジ位置制御信号を出力すると共に、液滴吐出ヘッド５の駆動回路基板３０（図８参照）に描画データ及び駆動制御信号を出力して、液滴吐出ヘッド５による液滴吐出動作、ワークステージ２の移動によるカラーフィルタ基板Ｐの位置決め動作、キャリッジ４の移動による液滴吐出ヘッド５の位置決め動作の同期制御を行うことにより、カラーフィルタ基板Ｐ上の所定の位置にカラーフィルタ材料の液滴を吐出する。

吐出量測定装置１３で液滴吐出ヘッド５の各ノズルから吐出される液滴の吐出量及び着弾精度を測定する場合には、制御装置１１は、ステージ移動装置３にステージ位置制御信号を出力し、キャリッジ移動装置６にキャリッジ位置制御信号を出力すると共に、液滴吐出ヘッド５の駆動回路基板３０（図８参照）に測定用の描画データ及び駆動制御信号を出力して、液滴吐出ヘッド５による液滴吐出動作、測定ステージ１４の移動によるシート部材１６の記録面１６ａの位置決め動作、キャリッジ４の移動による液滴吐出ヘッド５の位置決め動作の同期制御を行うことにより、シート部材１６の記録面１６ａ上の所定の位置にカラーフィルタ材料の液滴を吐出する。

また、制御装置１１は、撮像装置移動装置１８（図７参照）に撮像装置位置制御信号を出力し、撮像装置１７を液滴が着弾されたシート部材１６の記録面１６ａの上方に移動する。また、撮像装置駆動装置１９（図７参照）に撮像装置駆動制御信号を出力し、撮像装置１７による撮像動作を制御することにより、記録面１６ａ上に着弾し乾燥処理により膜化した液滴の膜を撮像し、その画像データを吐出量測定演算部４１（図７参照）及びディスプレイ３８（図７参照）に出力する。そして、吐出量測定演算部４１で画像処理を行うことにより、液滴の着弾精度を測定すると共に、液滴の膜の面積から１滴当たりの液滴の吐出量を測定する。

なお、測定が終了したら、液滴が着弾した部分の記録面１６ａは送り機構によりハウジング部材１５の内部に送られ、新しい記録面がハウジング部材１５の外部に露出される。

図２は液滴吐出ヘッド５の概略構成図である。図２（ａ）は液滴吐出ヘッド５をワークステージ２側から見た平面図、図２（ｂ）は液滴吐出ヘッド５の部分斜視図、図２（ｃ）は液滴吐出ヘッド５の１ノズル分の部分断面図である。

図２（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド５は、Ｙ軸方向に配列された複数（例えば１８０個）のノズルＮ_１〜Ｎ_１８０を備えている。図２（ａ）ではＹ軸方向（副走査方向）に配列した１列分のノズルをＸ方向（主走査方向）に２列設け、この２列のノズルを半ノズル間隔だけＹ軸方向にずらして配置した例を示したが、液滴吐出ヘッド５に設けるノズル数は任意に変更可能であり、Ｙ軸方向に配列した１列分のノズルをＸ軸方向に１列若しくは３列以上設けても良い。ノズルを複数列設ける場合には、各ノズル列を副走査方向にずらして配置し、互いの吐出可能範囲を補完するように構成することが望ましい。また、キャリッジ４内に配置する液滴吐出ヘッド５の数も任意に変更可能である。さらに、キャリッジ４をサブキャリッジ単位で複数設ける構成としても良い。

図２（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド５は、チューブ７と連結される材料供給孔２０aが設けられた振動板２０と、ノズルＮ_１〜Ｎ_１８０が設けられたノズルプレート２１と、振動板２０とノズルプレート２１との間に設けられた液溜まり２２と、複数の隔壁２３と、複数のキャビティ（液室）２４とを備えている。振動板２０上には、各ノズルＮ_１〜Ｎ_１８０に対応して圧電素子（駆動素子）ＰＺ_１〜ＰＺ_１８０が配置されている。圧電素子ＰＺ_１〜ＰＺ_１８０は、例えばピエゾ素子である。

液溜まり２２には、材料供給孔２０aを介して供給される液状のカラーフィルタ材料が充填されるようになっている。キャビティ２４は、振動板２０と、ノズルプレート２１と、１対の隔壁２３とによって囲まれるようにして形成されおり、各ノズルＮ_１〜Ｎ_１８０に１対１に対応して設けられている。また、各キャビティ２４には、一対の隔壁２３の間に設けられた供給口２４aを介して、液溜まり２２からカラーフィルタ材料が導入されるようになっている。

図２（ｃ）に示すように、圧電素子ＰＺ_１は、圧電材料２５を一対の電極２６で挟持したものであり、一対の電極２６に駆動信号を印加すると圧電材料２５が収縮するよう構成されたものである。そして、このような圧電素子ＰＺ_１が配置されている振動板２０は、圧電素子ＰＺ_１と一体になって同時に外側（キャビティ２４の反対側）へ撓曲するようになっており、これによってキャビティ２４の容積が増大するようになっている。従って、キャビティ２４内に増大した容積分に相当するカラーフィルタ材料が、液溜まり２２から供給口２４aを介して流入する。また、このような状態から圧電素子ＰＺ_１への駆動信号の印加を停止すると、圧電素子ＰＺ_１と振動板２０はともに元の形状に戻り、キャビティ２４も元の容積に戻ることから、キャビティ２４内のカラーフィルタ材料の圧力が上昇し、ノズルＮ_１からカラーフィルタ基板Ｐに向けてカラーフィルタ材料の液滴Ｌが吐出される。

図３は、１つのキャリッジに設けられた複数の液滴吐出ヘッド５の配置例及び動作例を示す平面図である。図３では、図を簡略化するために、キャリッジに保持された複数の液滴吐出ヘッドのうち２つの液滴吐出ヘッド５Ａ，５Ｂのみを拡大して、その配置例及び動作例を示している。

液滴吐出ヘッド５Ａ，５Ｂは、互いに副走査方向（Ｙ軸方向）に位置をずらして配置されており、互いに吐出可能範囲を補完する関係にある。複数の液滴吐出ヘッド５Ａ，５Ｂは互いに吐出可能範囲を補完することにより、一つのヘッドユニットを構成する。ヘッドユニットを構成する複数の液滴吐出ヘッド５Ａ，５Ｂは、一体となって、副走査方向に配列された複数の区画領域ＰＸに対して複数の液滴を吐出する。

液滴吐出ヘッド５Ａ，５Ｂにおける複数のノズルＮは、所定のピッチ（例えば９０ｄｐｉ）でライン状に配設されており、ノズル列５０１，５０２を構成している。ノズル列５０１，５０２におけるノズルＮの並びの方向は副走査方向に一致するようにされており、また、ノズル列５０１，５０２のノズルＮは互いに千鳥配列をなす関係にある。

液滴吐出ヘッド５Ａ，５Ｂをカラーフィルタ基板Ｐに対して主走査方向に走査させると、ノズルＮは、カラーフィルタ基板Ｐに対して連続した所定ピッチ（例えば１８０ｄｐｉ）の走査軌跡を描く。この際、ノズル列５０１，５０２の端部の数個分（本実施形態では５個）のノズルＮは、その特性の特異性に鑑みて使用しないダミーノズル（塗り潰して図示）とされており、液滴吐出ヘッド５Ａのダミーノズルに掛かる走査領域は液滴吐出ヘッド５ＢのノズルＮで補完され、液滴吐出ヘッド５Ｂのダミーノズルに掛かる走査領域は液滴吐出ヘッド５ＡのノズルＮで補完される関係となっている。

カラーフィルタ基板Ｐには、各画素領域に対応する区画領域ＰＸを規定するバンクＢＫが、感光性樹脂等を用いてあらかじめ形成されている。バンクＢＫは、区画領域ＰＸの周囲を囲むようにカラーフィルタ基板Ｐ上に立設されており、バンクＢＫに囲まれた領域にインクすなわちカラーフィルタ材料を吐出することにより、区画領域ＰＸにカラーフィルタが形成される。この場合、走査軌跡に関して、区画領域ＰＸに掛かり得るノズルＮと掛かり得ないノズルＮとが存在するが、区画領域ＰＸへのインクの配置は、区画領域ＰＸに掛かり得るノズルＮからのインクの吐出によって行われることになる。

各ノズルＮに付されているＡ１〜Ａ５、Ｂ１〜Ｂ５、Ｃ７５〜Ｃ８０、Ｄ７５〜Ｄ８０は、それぞれ、液滴吐出ヘッド５Ａのノズル列５０１、液滴吐出ヘッド５Ａのノズル列５０２、液滴吐出ヘッド５Ｂのノズル列５０１、液滴吐出ヘッド５Ｂのノズル列５０２のノズル番号を示している。ここで、ノズル番号とは、各ノズル列５０１，５０２の並び方向におけるノズルＮの配列順を示した通し番号のことであり、本実施形態では、１ノズル列につき、ダミーノズルを除いたノズル番号で示すことができる。

ノズル番号Ｄ７９，Ｃ８０，Ｄ８０，Ａ１，Ｂ１のノズルＮは、当該走査中のそれぞれ適切な期間において、同一の区画領域ＰＸに対してインクを吐出することができる。また、ノズル番号Ｃ７６，Ｃ７９，Ａ２，Ａ５のノズルＮは、走査軌跡がバンクＢＫに掛かっているため、当該走査中の全期間においてインクの吐出を行わない。このようなノズルＮごとの吐出／非吐出の制御は、対応する圧電素子への駆動信号の供給のスイッチングによって行われるものである。

図４は液滴吐出ヘッドの走査方法を説明するための平面図である。図４（ａ）は副走査方向に配列した一列分の区画領域ＰＸの平面図であり、図４（ｂ）〜図４（ｄ）は第１〜第４の主走査における吐出ノズル（区画領域ＰＸに液滴を吐出するノズル）の配置を示す平面図である。なお、図４（ｂ）〜図４（ｄ）では、図を簡略化するために、１つの液滴吐出ヘッドのノズル数を１２個とし、さらに、ダミーノズルを省略して複数の液滴吐出ヘッドを一直線状に表示している。一直線状に配置された複数の液滴吐出ヘッドは、一つのノズルユニットＨＵを構成する。また、吐出ノズルは塗り潰して図示し、非吐出ノズルは白丸で図示している。

図４（ｂ）〜図４（ｄ）に示すように、ノズルユニットＨＵは、４つの液滴吐出ヘッド５Ａ，５Ｂ，５Ｃ，５Ｄを備えている。４つの液滴吐出ヘッド５Ａ，５Ｂ，５Ｃ，５Ｄには合計４８個のノズルＮが設けられており、これら４８個のノズルＮが一体となって副走査方向に延びる１つのノズル列を形成している。区画領域ＰＸ１〜ＰＸ８は、Ｙ軸方向（副走査方向）に一定の間隔ＧＰで配列されており、１つの区画領域ＰＸには４回の主走査が実施され、合計９滴の液滴が吐出される。

図４（ｂ）に示すように、１回目の主走査（第１主走査）では、液滴吐出ヘッド５ＢのノズルＮ１Ｂ，Ｎ２Ｂ，Ｎ３Ｂ，Ｎ５Ｂ，Ｎ６Ｂ，Ｎ８Ｂ，Ｎ９Ｂ，Ｎ１２Ｂと、液滴吐出ヘッド５ＣのノズルＮ１Ｃ，Ｎ３Ｃ，Ｎ４Ｃ，Ｎ５Ｃ，Ｎ７Ｃ，Ｎ８Ｃ，Ｎ１０Ｃ，Ｎ１１Ｃと、液滴吐出ヘッド５ＤのノズルＮ２Ｄ，Ｎ３Ｄとから液滴が吐出される。そして、液滴吐出ヘッド５ＢのノズルＮ１Ｂ，Ｎ２Ｂ，Ｎ３Ｂから吐出された液滴が区画領域ＰＸ１に着弾し、液滴吐出ヘッド５ＢのノズルＮ５Ｂ，Ｎ６Ｂから吐出された液滴が区画領域ＰＸ２に着弾し、液滴吐出ヘッド５ＢのノズルＮ８Ｂ，Ｎ９Ｂから吐出された液滴が区画領域ＰＸ３に着弾し、液滴吐出ヘッド５ＢのノズルＮ１２Ｂと液滴吐出ヘッド５ＣのノズルＮ１Ｃから吐出された液滴が区画領域ＰＸ４に着弾し、液滴吐出ヘッド５ＣのノズルＮ３Ｃ，Ｎ４Ｃ，Ｎ５Ｃから吐出された液滴が区画領域ＰＸ５に着弾し、液滴吐出ヘッド５ＣのノズルＮ７Ｃ，Ｎ８Ｃから吐出された液滴が区画領域ＰＸ６に着弾し、液滴吐出ヘッド５ＣのノズルＮ１０Ｃ，Ｎ１１Ｃから吐出された液滴が区画領域ＰＸ７に着弾し、液滴吐出ヘッド５ＤのノズルＮ２Ｄ，Ｎ３Ｄから吐出された液滴が区画領域ＰＸ８に着弾する。

１回目の主走査が終了したら、図４（ｃ）に示すように、副走査を実施して、２回目の主走査（第２主走査）を実施する。副走査は、１回目の主走査の位置からヘッドユニットＨＵをＹ軸方向に、区画領域ＰＸのＹ軸方向の配置間隔ＧＰと同一の距離だけ移動することにより行われる。

副走査の移動距離は、通常は、液滴吐出ヘッド５のノズル間の間隔の整数倍に設計されるが、この場合、一般的には区画領域ＰＸの配置間隔ＧＰはノズル間の間隔の整数倍にはならないので、ノズルＮと区画領域ＰＸとの空間的な配置は１主走査毎に異なったものとなる。そうすると、吐出パターンが１主走査毎に異なったものとなり、各ノズルＮの吐出特性も変化することとなる。

これに対して、本実施形態の液滴吐出装置では、副走査の移動距離を区画領域ＰＸの配置間隔の整数倍としているため、液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮと区画領域ＰＸとの空間的な配置が、全ての主走査において等しくなる。すなわち、液滴吐出ヘッドに備えられる複数のノズルのうち、複数の区画領域ＰＸからなるパネル領域と重なる部分の吐出ノズルと非吐出ノズルの配置が常に一定である。そうすると、各液滴吐出ヘッド５において吐出を行うノズルＮの配置（吐出パターン）が固定され、常に安定した吐出動作を行うことが可能となる。

２回目の主走査では、液滴吐出ヘッド５ＡのノズルＮ１０Ａ，Ｎ１１Ａと、液滴吐出ヘッド５ＢのノズルＮ１Ｂ，Ｎ２Ｂ，Ｎ３Ｂ，Ｎ５Ｂ，Ｎ６Ｂ，Ｎ８Ｂ，Ｎ９Ｂ，Ｎ１２Ｂと、液滴吐出ヘッド５ＣのノズルＮ１Ｃ，Ｎ３Ｃ，Ｎ４Ｃ，Ｎ５Ｃ，Ｎ７Ｃ，Ｎ８Ｃ，Ｎ１０Ｃ，Ｎ１１Ｃとから液滴が吐出される。そして、液滴吐出ヘッド５ＡのノズルＮ１０Ａ，Ｎ１１Ａから吐出された液滴が区画領域ＰＸ１に着弾し、液滴吐出ヘッド５ＢのノズルＮ１Ｂ，Ｎ２Ｂ，Ｎ３Ｂから吐出された液滴が区画領域ＰＸ２に着弾し、液滴吐出ヘッド５ＢのノズルＮ５Ｂ，Ｎ６Ｂから吐出された液滴が区画領域ＰＸ３に着弾し、液滴吐出ヘッド５ＢのノズルＮ８Ｂ，Ｎ９Ｂから吐出された液滴が区画領域ＰＸ４に着弾し、液滴吐出ヘッド５ＢのノズルＮ１２Ｂと液滴吐出ヘッド５ＣのノズルＮ１Ｃから吐出された液滴が区画領域ＰＸ５に着弾し、液滴吐出ヘッド５ＣのノズルＮ３Ｃ，Ｎ４Ｃ，Ｎ５Ｃから吐出された液滴が区画領域ＰＸ６に着弾し、液滴吐出ヘッド５ＣのノズルＮ７Ｃ，Ｎ８Ｃから吐出された液滴が区画領域ＰＸ７に着弾し、液滴吐出ヘッド５ＣのノズルＮ１０Ｃ，Ｎ１１Ｃから吐出された液滴が区画領域ＰＸ８に着弾する。

２回目の主走査が終了したら、図４（ｄ）に示すように、副走査を実施して、３回目の主走査（第３主走査）を実施する。副走査は、２回目の主走査の位置からヘッドユニットＨＵをＹ軸方向に、区画領域ＰＸのＹ軸方向の配置間隔ＧＰと同一の距離だけ移動することにより行われる。

３回目の主走査では、液滴吐出ヘッド５ＡのノズルＮ７Ａ，Ｎ８Ａ，Ｎ１０Ａ，Ｎ１１Ａと、液滴吐出ヘッド５ＢのノズルＮ１Ｂ，Ｎ２Ｂ，Ｎ３Ｂ，Ｎ５Ｂ，Ｎ６Ｂ，Ｎ８Ｂ，Ｎ９Ｂ，Ｎ１２Ｂと、液滴吐出ヘッド５ＣのノズルＮ１Ｃ，Ｎ３Ｃ，Ｎ４Ｃ，Ｎ５Ｃ，Ｎ７Ｃ，Ｎ８Ｃとから液滴が吐出される。そして、液滴吐出ヘッド５ＡのノズルＮ７Ａ，Ｎ８Ａから吐出された液滴が区画領域ＰＸ１に着弾し、液滴吐出ヘッド５ＡのノズルＮ１０Ａ，Ｎ１１Ａから吐出された液滴が区画領域ＰＸ２に着弾し、液滴吐出ヘッド５ＢのノズルＮ１Ｂ，Ｎ２Ｂ，Ｎ３Ｂから吐出された液滴が区画領域ＰＸ３に着弾し、液滴吐出ヘッド５ＢのノズルＮ５Ｂ，Ｎ６Ｂから吐出された液滴が区画領域ＰＸ４に着弾し、液滴吐出ヘッド５ＢのノズルＮ８Ｂ，Ｎ９Ｂから吐出された液滴が区画領域ＰＸ５に着弾し、液滴吐出ヘッド５ＢのノズルＮ１２Ｂと液滴吐出ヘッド５ＣのノズルＮ１Ｃから吐出された液滴が区画領域ＰＸ６に着弾し、液滴吐出ヘッド５ＣのノズルＮ３Ｃ，Ｎ４Ｃ，Ｎ５Ｃから吐出された液滴が区画領域ＰＸ７に着弾し、液滴吐出ヘッド５ＣのノズルＮ７Ｃ，Ｎ８Ｃから吐出された液滴が区画領域ＰＸ８に着弾する。

３回目の主走査が終了したら、図４（ｅ）に示すように、副走査を実施して、４回目の主走査（第４主走査）を実施する。副走査は、３回目の主走査の位置からヘッドユニットＨＵをＹ軸方向に、区画領域ＰＸのＹ軸方向の配置間隔ＧＰと同一の距離だけ移動することにより行われる。

４回目の主走査では、液滴吐出ヘッド５ＡのノズルＮ３Ａ，Ｎ４Ａ，Ｎ７Ａ，Ｎ８Ａ，Ｎ１０Ａ，Ｎ１１Ａと、液滴吐出ヘッド５ＢのノズルＮ１Ｂ，Ｎ２Ｂ，Ｎ３Ｂ，Ｎ５Ｂ，Ｎ６Ｂ，Ｎ８Ｂ，Ｎ９Ｂ，Ｎ１２Ｂと、液滴吐出ヘッド５ＣのノズルＮ１Ｃ，Ｎ３Ｃ，Ｎ４Ｃ，Ｎ５Ｃとから液滴が吐出される。そして、液滴吐出ヘッド５ＡのノズルＮ３Ａ，Ｎ４Ａから吐出された液滴が区画領域ＰＸ１に着弾し、液滴吐出ヘッド５ＡのノズルＮ７Ａ，Ｎ８Ａから吐出された液滴が区画領域ＰＸ２に着弾し、液滴吐出ヘッド５ＡのノズルＮ１０Ａ，Ｎ１１Ａから吐出された液滴が区画領域ＰＸ３に着弾し、液滴吐出ヘッド５ＢのノズルＮ１Ｂ，Ｎ２Ｂ，Ｎ３Ｂから吐出された液滴が区画領域ＰＸ４に着弾し、液滴吐出ヘッド５ＢのノズルＮ５Ｂ，Ｎ６Ｂから吐出された液滴が区画領域ＰＸ５に着弾し、液滴吐出ヘッド５ＢのノズルＮ８Ｂ，Ｎ９Ｂから吐出された液滴が区画領域ＰＸ６に着弾し、液滴吐出ヘッド５ＢのノズルＮ１２Ｂと液滴吐出ヘッド５ＣのノズルＮ１Ｃから吐出された液滴が区画領域ＰＸ７に着弾し、液滴吐出ヘッド５ＣのノズルＮ３Ｃ，Ｎ４Ｃ，Ｎ５Ｃから吐出された液滴が区画領域ＰＸ８に着弾する。

このように４回の主走査においては、液滴吐出ヘッド５Ａ〜５Ｄ内で吐出を行うノズルＮ（吐出ノズル）は固定されている。１つの液滴吐出ヘッドにおいて吐出を行うノズル（吐出ノズル）と吐出を行わないノズル（非吐出ノズル）との組み合わせを「吐出パターン」とすると、吐出パターンは、液滴吐出ヘッドが連続した複数の区画領域ＰＸの両端側に配置される場合を除いて常に一定である。

本明細書では、「吐出パターンが一定である」ということを、液滴吐出ヘッドに備えられる複数のノズルのうち複数の区画領域ＰＸからなるパネル領域（吐出領域）と重なる部分の吐出ノズルと非吐出ノズルの配置が一定であるという意味で用いることがあるが、図４の例では、この意味で各液滴吐出ヘッド５Ａ〜５Ｄの吐出パターンは常に一定となっている。

このように吐出パターンを一定とすると、それぞれのノズルＮが近傍のノズルＮの駆動状態によって互いに及ぼされあう影響も一定となる。そのため、近傍のノズルＮの駆動状態が変動することによる吐出量の変動は殆ど生じなくなり、ノズルＮの駆動条件の調整も１主走査毎に行う必要がなくなる。よって、駆動条件は、全ての主走査で一定とすることができ、駆動制御が非常に簡単になる。例えば、本実施形態の液滴吐出装置では、各ノズルの吐出量を均一化するために、ノズルの吐出特性（吐出量の分布）に基づいてノズル毎に吐出量を調節しているが、この場合、1主走査毎に吐出パターンが異なると、吐出パターン毎にノズルの吐出特性を調べなければならない。しかし、上述のように吐出パターンが常に一定である場合には、予め測定すべきノズルの吐出特性は、1種類の吐出パターンのみでよく、測定時間の短縮化が図られると共に駆動制御も容易となる。

図５は、複数の主走査によって一つのパネル領域ＰＡの全域を走査する場合の説明図である。図５において、符号Ｐはカラーフィルタ基板複数分を含む大型カラーフィルタ基板である。大型カラーフィルタ基板Ｐは、カラーフィルタ層を形成した後、複数の小型カラーフィルタ基板に分割される。大型カラーフィルタ基板Ｐ上には、分割後の小型カラーフィルタ基板に対応した複数のパネル領域ＰＡが設けられている。なお、図５では、理解を容易にするために、液滴吐出ヘッド５の大きさや、区画領域ＰＸの大きさ、パネル領域ＰＡのサイズを実際のものと異ならせている。

図５において、液滴吐出ヘッド５は初期位置（ａ）から終端位置（ｋ）に至るまで、主走査方向（Ｘ軸方向）への走査移動、初期位置への復帰移動及び副走査方向（Ｙ軸方向）への副走査移動を繰り返しながら、主走査移動の期間中に複数のノズルＮから選択的にインクすなわちカラーフィルタ材料を吐出し、これにより、大型カラーフィルタ基板Ｐのパネル領域ＰＡ内の各区画領域ＰＸにカラーフィルタ材料を付着させる。

副走査の移動距離δは、区画領域ＰＸの副走査方向の配置間隔の整数倍である。例えば、移動距離δを液滴吐出ヘッド５のノズル列の幅Ｗの１／４とすると、液滴吐出ヘッド５のノズル列全体がパネル領域ＰＡと重なる第４主走査（ｄ）から第８主走査（ｈ）までの吐出パターンは常に一定となる。しかし、液滴吐出ヘッド５のノズル列がパネル領域ＰＡの一部としか重ならない第１主走査（ａ）から第３主走査（ｃ）及び第９主走査（ｉ）から第１１主走査（ｋ）では、ノズル列の端部が非吐出となり、その端部の吐出パターンが第４主走査（ｄ）から第８主走査（ｈ）までの吐出パターンとは異なったものとなる。

この場合、液滴吐出ヘッド５内で吐出するノズル数の割合（吐出ノズル数／ダミーノズルを除く全ノズル数）、すなわちノズルデューティが、第４主走査（ｄ）から第８主走査（ｈ）と、第１主走査（ａ）から第３主走査（ｃ）及び第９主走査（ｉ）から第１１主走査（ｋ）とで異なったものとなる。その結果、電気的なクロストークの影響により、ノズルデューティが小さいものほど吐出量が少なくなることがある。

すなわち、ノズルに供給される駆動信号としては通常は矩形波又は台形波が使用されるが、ノズルデューティが大きくなり駆動電圧が増大すると、駆動電圧の立ち上がり部分又は立ち下がり部分にオーバーシュートやアンダーシュートが発生し、駆動電圧の実効値が変化してしまう。このような駆動電圧の実効値の変化は液状体の吐出量に影響し、膜厚ムラを発生させる。

そこで、本実施形態では、図６（ａ）に示すように、ノズルデューティに応じて駆動波形の電圧値を異ならせることとしている。ノズルデューティと吐出量との間には概ね比例関係があるので、第１主走査（ａ）と第１１主走査（ｋ）の駆動電圧をＶ１（ノズルデューティは２５％）、第２主走査（ｂ）と第１０主走査（ｊ）の駆動電圧をＶ２（ノズルデューティは５０％）、第３主走査（ｃ）と第９主走査（ｉ）の駆動電圧をＶ３（ノズルデューティは７５％）、第４主走査（ｄ）から第８主走査（ｈ）までの駆動電圧をＶ４（ノズルデューティは１００％）とした場合、Ｖ１＞Ｖ２＞Ｖ３＞Ｖ４の関係となるように駆動電圧を調整する。

一般に、ノズルデューティが小さくなると、図６（ｂ）に示すように、駆動素子に同じ駆動電圧を供給しても、吐出量は小さくなる傾向がある。ただし、非吐出ノズルは常に吐出を行わないので、吐出ノズルが近傍の非吐出ノズルから受ける構造的なクロストークの影響は一定である。そのため、ノズルと該ノズルから吐出される液滴の吐出量との対応関係である吐出特性Ｑ１〜Ｑ４のカーブは、各主走査において概ね相似の形状を有する。第４主走査（ｄ）から第８主走査（ｈ）以外の吐出工程では、吐出を行うべきノズル列端部のノズル（吐出ノズル）が吐出を行わないので（非吐出ノズルの部分は２点鎖線で示している）、その近傍の吐出ノズルの吐出量は、その構造的なクロストークの影響によって、吐出量が若干変化する場合があるが、その影響の及ぶ範囲は非常に狭いので無視することができる。

吐出特性Ｑ１〜Ｑ４は概ね相似形状を有するので、駆動素子に供給する駆動波形の電圧値を増減することで、これらの吐出特性を概ね一致させることができる。従来のように、吐出パターンが１主走査毎に異なる場合には、吐出特性も１主走査毎に異なったものとなり、その結果、駆動電圧を調節しても、各主走査の吐出量を十分に均一化することができなかったが、本実施形態のように吐出パターンが全ての主走査において常に同じである場合には、各ノズルからの吐出特性も近似したものとなり、駆動電圧の調整による吐出量の均一性もより高いものとなる。

図７は、液滴吐出装置ＩＪの電気的構成を示すブロック図である。液滴吐出装置ＩＪは、プロセッサとしての各種の演算を行うＣＰＵ（演算処理装置）８０と、各種情報を記憶するメモリ（記憶装置）９０とを有する。

液滴吐出ヘッド５の位置を制御するヘッド位置制御装置７１、カラーフィルタ基板の位置を制御する基板位置制御装置７２、ステージ移動装置３（図１参照）を制御して液滴吐出ヘッド５をカラーフィルタ基板に対して主走査移動させる主走査駆動装置７３、キャリッジ移動装置６（図１参照）を制御してキャリッジ（液滴吐出ヘッド５）をカラーフィルタ基板に対して副走査移動させる副走査駆動装置７４、液滴吐出ヘッド５内の駆動素子を駆動するヘッド駆動回路７５、カラーフィルタ基板を液滴吐出装置ＩＪ内の所定の作業位置へ供給する基板供給装置７６は、入出力インターフェース９５及びデータバス９６を介してＣＰＵ８０に接続されている。さらに、入力装置７７、ディスプレイ７８、吐出量測定装置１３、撮像装置移動装置１８、及び撮像装置駆動装置１９も入出力インターフェース９５及びデータバス９６を介してＣＰＵ８０に接続されている。

ヘッド位置制御装置７１は、液滴吐出ヘッド５を面内回転させるαモータと、液滴吐出ヘッド５を副走査方向と平行な軸線回りに揺動回転させるβモータと、液滴吐出ヘッド５を主走査方向と平行な軸線回りに揺動回転させるγモータと、液滴吐出ヘッド５を上下方向へ平行移動させるＺモータとを有する。

基板位置制御装置７２は、ワークステージ２（図１参照）を面内回転させるθモータを有する。

主走査駆動装置７３は、主走査方向へ延びるガイドレールと、パルス駆動されるリニアモータを内蔵したスライダとを有するステージ移動装置３（図１参照）を有する。スライダは内蔵するリニアモータが作動するときにガイドレールに沿って主走査方向へ平行移動する。

副走査駆動装置７４は、副走査方向へ延びるガイドレールと、パルス駆動されるリニアモータを内蔵したスライダとを有するキャリッジ移動装置６（図１参照）を有する。スライダは内蔵するリニアモータが作動するときにガイドレールに沿って副走査方向へ平行移動する。

撮像装置移動装置１８は、副走査方向へ延びるガイドレールと、パルス駆動されるリニアモータを内蔵したスライダとを有する。スライダは内蔵するリニアモータが作動するときにガイドレールに沿って副走査方向へ平行移動する。

スライダやスライダ内においてパルス駆動されるリニアモータは、該モータに供給するパルス信号によって出力軸の回転角度制御を精細に行うことができ、従って、液滴吐出ヘッド５を搭載するキャリッジ４（図１参照）、測定ステージ１４上に設置されたシート部材１６（図１参照）、及び撮像装置移動装置１８によって移動される撮像装置１７（図１参照）の主走査方向上の位置や副走査方向上の位置等を高精細に制御することができる。

なお、液滴吐出ヘッド５、撮像装置１７（図１参照）、及びワークステージ２（図１参照）の位置制御はパルスモータを用いた位置制御に限られず、サーボモータを用いたフィードバック制御や、その他任意の制御方法によって実現することもできる。

メモリ９０は、ＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory）等といった半導体メモリや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭ読取り装置、ディスク型記憶媒体等といった外部記憶装置等を含む概念であり、機能的には、液滴吐出装置ＩＪの動作の制御手順が記述されたプログラムソフトを記憶する記憶領域９１や、ストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列等の各種のＲ，Ｇ，Ｂ配列を実現するためのカラーフィルタ基板（図１参照）内における吐出位置を座標データとして記憶するための記憶領域９２や、副走査方向へのカラーフィルタ基板の副走査移動量を記憶するための記憶領域９３や、撮像装置で撮像した液滴の画像から吐出量を演算する際の補正データを記憶するための記憶領域９４や、ＣＰＵ８０のためのワークエリアやテンポラリファイル等として機能する領域や、その他各種の記憶領域が設定される。

ＣＰＵ８０は、メモリ９０内に記憶されたプログラムソフトに従って、カラーフィルタ基板の表面の所定位置にインク、すなわちカラーフィルタ材料を吐出するための制御を行うものであり、具体的な機能実現部として、吐出量測定装置１３を用いた吐出量の測定を実現するための演算を行う吐出量測定演算部８１と、撮像装置移動装置１８を用いて撮像装置を副走査方向に走査するための演算を行う撮像装置走査演算部８２と、撮像装置駆動装置１９を用いてシート部材１６の記録面１６ａ（図１参照）に着弾した液滴（乾燥膜）を撮像するための演算を行う撮像装置駆動演算部８３と、液滴吐出ヘッド５によってカラーフィルタ材料を描画するための演算を行う描画演算部８４とを有する。

また、描画演算部８４を詳しく分割すると、液滴吐出ヘッド５を描画のための初期位置へセットするための描画開始位置演算部８５と、液滴吐出ヘッド５を主走査方向へ所定の速度で走査移動させるための制御を演算する主走査制御演算部８６と、カラーフィルタ基板を副走査方向へ所定の副走査量だけずらせるための制御を演算する副走査制御演算部８７と、液滴吐出ヘッド５内の複数のノズルのうちのいずれを作動させてインク、すなわちカラーフィルタ材料を吐出するか否かを制御するための演算を行うノズル吐出制御演算部８８等といった各種の機能演算部を有する。

ＣＰＵ８０やメモリ９０は、図１に示した制御装置１１に含まれている。本実施形態では、上記の各機能をＣＰＵ８０を用いてソフト的に実現することにしたが、上記の各機能がＣＰＵを用いない単独の電子回路によって実現できる場合には、そのような電子回路を用いることも可能である。

図８は、液滴吐出ヘッド５と、液滴吐出ヘッド５に駆動信号を供給するための駆動回路基板３０の回路構成図である。駆動回路基板３０は、図７に示したヘッド駆動回路７５やメモリ９０の一部を含むものであり、図１に示した制御装置１１と共に本発明の制御手段の一部を構成するものである。

駆動回路基板３０は、インターフェース３１、描画データメモリ３２、アドレス変換回路３３、第１の駆動波形メモリ３４、第２の駆動波形メモリ３５、第１のＤ／Ａコンバータ３６、第２のＤ／Ａコンバータ３７、第３のＤ／Ａコンバータ３８及び第４のＤ／Ａコンバータ３９を備えている。また、液滴吐出ヘッド５は、ＣＯＭ選択回路４０、スイッチング回路５０及び圧電素子ＰＺ_１〜ＰＺ_１８０からなる圧電素子群６０を備えている。なお、圧電素子ＰＺ_１〜ＰＺ_１８０は、図３に示すようにコンデンサとして標記することができる。

上記の描画データメモリ３２は、本発明における第１の記憶手段に相当し、第１の駆動波形メモリ３４及び第２の駆動波形メモリ３５は、本発明における第２の記憶手段に相当し、第１のＤ／Ａコンバータ３６、第２のＤ／Ａコンバータ３７、第３のＤ／Ａコンバータ３８及び第４のＤ／Ａコンバータ３９は、本発明における駆動信号生成手段に相当する。また、ＣＯＭ選択回路４０は、本発明における駆動信号選択手段に相当し、スイッチング回路５０は本発明における供給切替手段に相当する。

制御装置１１（図１参照）と駆動回路基板３０のインターフェース３１とは図示しないＰＣＩバスで接続されており、制御装置１１からＰＣＩバスを介して、描画データＳＩと、駆動制御信号としてクロック信号ＣＬＫ、ラッチ信号ＬＴ、ＤＡＣクロック信号ＣＬＫ１及びＣＬＫ２、描画データアドレス信号ＡＤ１、描画データライトイネーブル信号ＷＥ１、駆動波形データ信号ＷＤ、波形データアドレス信号ＡＤ２、波形データライトイネーブル信号ＷＥ２、チップセレクタ信号ＣＳ１及びＣＳ２、アウトプットイネーブル信号ＯＥ１及びＯＥ２がインターフェース３１に出力される。

インターフェース３１は、描画データＳＩ、描画データライトイネーブル信号ＷＥ１、描画データアドレス信号ＡＤ１、チップセレクタ信号ＣＳ１及びアウトプットイネーブル信号ＯＥ１を描画データメモリ３２に出力する。また、インターフェース３１は、クロック信号ＣＬＫ及びラッチ信号ＬＴを液滴吐出ヘッド５のＣＯＭ選択回路４０及びスイッチング回路５０に出力する。また、インターフェース３１は、ＤＡＣクロック信号ＣＬＫ１を第１のＤ／Ａコンバータ３６及び第３のＤ／Ａコンバータ３８に出力し、ＤＡＣクロック信号ＣＬＫ２を第２のＤ／Ａコンバータ３７及び第４のＤ／Ａコンバータ３９に出力する。また、インターフェース３１は、波形データライトイネーブル信号ＷＥ２、波形データアドレス信号ＡＤ２、駆動波形データ信号ＷＤ、チップセレクタ信号ＣＳ２及びアウトプットイネーブル信号ＯＥ２を第１の駆動波形メモリ３４及び第２の駆動波形メモリ３５に出力する。

描画データメモリ３２は、例えば３２ビットのＳＲＡＭであり、描画データライトイネーブル信号ＷＥ１、チップセレクタ信号ＣＳ１及びアウトプットイネーブル信号ＯＥ１によってデータ書き込みが要求されている場合、描画データアドレス信号ＡＤ１が指定するアドレスに描画データＳＩを記憶する。ここで、描画データＳＩは、吐出データＳＩＡ及びＣＯＭ選択データＳＩＢ（駆動信号選択データ）から構成される。吐出データＳＩＡとは、カラーフィルタ基板Ｐ上に形成された画素パターンをマトリクス状に区分し、このマトリクスを構成する各ドット毎に、液滴を吐出するか否かを規定する２値データをマッピングしたビットマップデータである。このマトリクスのＹ軸方向のドットピッチは、液滴吐出ヘッド５のノズルピッチと対応しており、つまり上記の吐出データＳＩＡは、液滴吐出ヘッド５を所定の位置に移動させた場合に、各ノズルＮ_１〜Ｎ_１８０に対応する圧電素子ＰＺ_１〜ＰＺ_１８０に駆動信号を供給するか否かを規定するデータである。

本実施形態では、圧電素子ＰＺ_１〜ＰＺ_１８０に駆動信号を供給するか否かを規定するために２ビットのデータを使用する。この２ビットのデータの内、上位ビットをＳＩＨ、下位ビットをＳＩＬと呼び、（ＳＩＨ、ＳＩＬ）＝（０、０）の場合は、駆動信号の非供給（非吐出）を規定するものとし、（ＳＩＨ、ＳＩＬ）＝（０、１）、（１、０）、（１、１）の場合は、駆動信号の供給（吐出）を規定するものとする。つまり、圧電素子ＰＺ_１〜ＰＺ_１８０の各々に対応するＳＩＨデータ（ＳＩＨ_１〜ＳＩＨ_１８０）と、ＳＩＬデータ（ＳＩＬ_１〜ＳＩＬ_１８０）とが吐出データＳＩＡに含まれている。このような吐出データＳＩＡは、カラーフィルタ基板Ｐの画素パターンに応じて異なるため、画素パターンの数に対応して制御装置１１から送られ、描画データメモリ３２に記憶される。なお、本実施形態では、圧電素子ＰＺ_１〜ＰＺ_１８０に駆動信号を供給するか否かを規定するために２ビットのデータを使用したが、これに限らず、１ビットのデータを用いても勿論良い。

一方、ＣＯＭ選択データＳＩＢとは、各圧電素子ＰＺ_１〜ＰＺ_１８０に供給する駆動信号の種類を規定するデータである。本実施形態では、各圧電素子ＰＺ_１〜ＰＺ_１８０毎に４種類の駆動信号の中から１つの駆動信号を選択して供給する。また、本実施形態では、４種類の駆動信号をそれぞれＣＯＭ１、ＣＯＭ２、ＣＯＭ３、ＣＯＭ４と呼ぶ。つまり、ＣＯＭ選択データＳＩＢは、各圧電素子ＰＺ_１〜ＰＺ_１８０に印加する駆動信号としてＣＯＭ１、ＣＯＭ２、ＣＯＭ３、ＣＯＭ４のいずれかを規定するデータである。さらに、このＣＯＭ選択データＳＩＢには、各駆動信号ＣＯＭ１、ＣＯＭ２、ＣＯＭ３、ＣＯＭ４の波形（駆動波形）を規定するための駆動波形番号データＷＮが含まれている。

本実施形態では、駆動信号を４種類の中から選択するため、駆動信号を規定するには２ビットのデータが必要である。本実施形態では、駆動信号を規定する２ビットのデータの内、上位ビットをＷＳＨ、下位ビットをＷＳＬと呼び、（ＷＳＨ、ＷＳＬ）＝（０、０）の場合はＣＯＭ１を規定するものとし、（ＷＳＨ、ＷＳＬ）＝（０、１）の場合はＣＯＭ２を規定するものとし、（ＷＳＨ、ＷＳＬ）＝（１、０）の場合はＣＯＭ３を規定するものとし、（ＷＳＨ、ＷＳＬ）＝（１、１）の場合はＣＯＭ４を規定するものとする。つまり、圧電素子ＰＺ_１〜ＰＺ_１８０の各々に対応するＷＳＨデータ（ＷＳＨ_１〜ＷＳＨ_１８０）と、ＷＳＬデータ（ＷＳＬ_１〜ＷＳＬ_１８０）とがＣＯＭ選択データＳＩＢに含まれている。また、本実施形態では、駆動信号ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４の駆動波形の組み合わせを６４種類の中から１つ選択できるものとする。つまり、駆動波形を規定するための駆動波形番号データＷＮは６ビットのデータである。

上記のＣＯＭ選択データＳＩＢは、液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮ_１〜Ｎ_１８０の液滴吐出量の分布（吐出特性）に応じて設定される。図９に、液滴吐出量の分布の一例を示す。図９において、横軸はノズル番号、縦軸は液滴吐出量である。なお、液滴吐出ヘッド５の特性上、両端のノズル（ノズルＮ_１〜Ｎ_９及びノズルＮ_１７１〜Ｎ_１８０）では液滴吐出量のバラツキが非常に大きいため、これらのノズルの吐出分布を省略している。実際に液滴吐出ヘッド５を使用する場合でも、１８０個のノズルの内、ノズルＮ_１０〜Ｎ_１７０の１６０個が使用される。

図９に示すような液滴吐出量のバラツキを補正するためには、各ノズルＮ_１０〜Ｎ_１７０の液滴吐出量が適正吐出量に近づくように、各圧電素子ＰＺ_１０〜圧電素子ＰＺ_１７０に供給する駆動信号を変えれば良い。例えば、図９に示すように、液滴の吐出分布において適正吐出量から大きくずれているノズルの液滴吐出量を適正吐出量に補正するには、このノズルに対応する圧電素子に供給する駆動信号の電圧値を大きくすれば良い。

実際には、事前に（例えば本液滴吐出装置ＩＪの出荷検査時などに）、図９に示すような液滴吐出量の分布を測定し、各ノズルＮ_１０〜Ｎ_１７０の液滴吐出量が適正吐出量に近づくような各圧電素子ＰＺ_１０〜ＰＺ_１７０の駆動信号を求める。原理的には、各圧電素子ＰＺ_１０〜ＰＺ_１７０毎に求めた駆動信号を用意して供給すれば良いが、その場合、駆動信号を最大で１６０種類も用意しなければならず、部品点数の増加、装置コストの増大、駆動回路基板３０の大型化及び消費電力の増大などの問題が生じるため、現実的には実現困難である。そこで、本実施形態では、４種類の駆動信号を使用して各ノズルＮ_１０〜Ｎ_１７０の液滴吐出量が適正吐出量に近づくように設定する。これは、少なくとも４種類の駆動電信号を使用することにより、液滴吐出量のバラツキをすじムラとして人に視認されないレベル（バラツキ１．２％以内）まで抑えることができるためである。このように求めた４種類の駆動信号をＣＯＭ１〜ＣＯＭ４としてＣＯＭ選択データＳＩＢに設定する。以下、ＣＯＭ選択データＳＩＢの設定方法の具体例について説明する。

（ＣＯＭ選択データＳＩＢの設定方法の具体例１）
最初に、ＣＯＭ選択データＳＩＢの設定方法の具体例１について図１０のフローチャートを用いて説明する。この説明では、図１及び図７に示したブロック図を適宜参照して説明を行う。

まず、事前に、各圧電素子ＰＺ_１０〜ＰＺ_１７０に所定の基準駆動電圧Ｖ０を印加し、図９に示すようなノズルＮ_１０〜Ｎ_１７０の液滴吐出量の分布を測定する（ステップＳ１）。

液滴吐出量の分布は、図１及び図７に示した吐出量測定装置１３を用いて行う。測定に先立って、まず、図７に示した描画演算部８４が、上位の制御装置から取得したカラーフィルタ基板Ｐに関する情報（画素パターンや基板サイズなどの情報。この情報はメモリ９０の記憶領域９２に記憶される）に基づいて吐出データＳＩＡを作成する。そして、この吐出データＳＩＡに基づいて、液滴吐出ヘッド５毎に、吐出ノズルと非吐出ノズルとの組み合わせ、すなわち吐出パターンを設定する。また、描画演算部８４は、カラーフィルタ基板Ｐに関する情報のうち画素パターンに関する情報に基づいて、副走査方向における区画領域の配置間隔を検出し、メモリ９０の記憶領域９３に記憶する。

本実施形態の液滴吐出装置では、副走査の移動距離は区画領域の配置間隔の整数倍に設定され、それにより、全ての主走査において吐出パターンが固定されるようになっている。そのため、各液滴吐出ヘッドには、それぞれ１種類の吐出パターンのみが設定される（ステップＳＳ１）。

次に、描画演算部８４は、ステージ移動装置３及びキャリッジ移動装置６を制御して、吐出量測定装置１３の測定ステージ１４とキャリッジ４とを互いに対向する位置に移動する。そして、測定ステージ１４上に設置されたシート部材１６の記録面１６ａと液滴吐出ヘッド５のノズル面とが対向配置した状態で、各液滴吐出ヘッド５のノズルから、液滴吐出ヘッド毎に設定された吐出パターンで記録面１６ａ上に液滴を着弾させる（ステップＳＳ２）。

液滴を記録面１６ａ上に着弾したら、撮像装置走査演算部８２は撮像装置移動装置１８を制御して撮像装置１７を液滴が着弾した記録面１６ａの上方に移動させる。そして、撮像装置駆動演算部８３が撮像装置１７を制御して、記録面１６ａ上に着弾した液滴の乾燥膜を撮像し、撮像した画像データを、撮像装置１７から吐出量測定演算部８１に出力する（ステップＳＳ３）。

吐出量測定演算部８１は、画像処理技術を用いて、液滴の乾燥膜のＺ方向から見た面積を測定する。そして、メモリ９０の記憶領域９４に記憶された、乾燥膜の面積と吐出量との関係を規定した補正データを用いて、乾燥膜の面積から液滴の吐出量を演算する。そして、この演算結果に基づいて、各ノズルの吐出量の分布（吐出特性）を検出する（ステップＳＳ４）。

こうして液滴吐出量の分布を測定したら、描画演算部８４は、各ノズルの吐出量のうち最小の吐出量（最小吐出量）と最大の吐出量（最大吐出量）を検出する。そして、最小吐出量から最大吐出量までのレンジを均等に４分割し、レンジ１、レンジ２、レンジ３、レンジ４とする（ステップＳ２）。

次に、描画演算部８４は、下記（１）式に基づいて、各レンジ１〜４毎にＣＯＭ設定電圧を算出し、レンジ１について算出したＣＯＭ設定電圧をＣＯＭ１、レンジ２について算出したＣＯＭ設定電圧をＣＯＭ２、レンジ３について算出したＣＯＭ設定電圧をＣＯＭ３、レンジ４について算出したＣＯＭ設定電圧をＣＯＭ４と設定する（ステップＳ３）。

なお、下記（１）式において、Ｋは液滴吐出量を電圧値に変換するための定数である。また、下記（１）式において、「レンジの中心吐出量」を「各レンジ内における全ノズルの平均吐出量」に替えても良い。
ＣＯＭ設定電圧＝Ｖ０−Ｋ・（レンジの中心吐出量−適正吐出量） …（１）

そして、描画演算部８４は、レンジ１に含まれるノズルにＣＯＭ１を割り当て（ステップＳ４）、レンジ２に含まれるノズルにＣＯＭ２を割り当て（ステップＳ５）、レンジ３に含まれるノズルにＣＯＭ３を割り当て（ステップＳ６）、レンジ４に含まれるノズルにＣＯＭ４を割り当てる（ステップＳ７）。以上のように求めたノズルとＣＯＭ１〜ＣＯＭ４との対応関係に基づきＣＯＭ選択データＳＩＢを設定する（ステップＳ８）。

図１１は、上記のようにして求めた電圧値を有するＣＯＭ１〜ＣＯＭ４の駆動波形の一例である。描画演算部８４は、これらＣＯＭ１〜ＣＯＭ４の駆動波形のデジタルデータ（駆動波形データ）を設定し、これらＣＯＭ１〜ＣＯＭ４の駆動波形データの組み合わせを示す駆動波形番号データＷＮを設定する。

（ＣＯＭ選択データＳＩＢの設定方法の具体例２）
次に、ＣＯＭ選択データＳＩＢの設定方法の具体例２について図１２のフローチャートを用いて説明する。まず、事前に、各圧電素子ＰＺ_１０〜ＰＺ_１７０に所定の基準駆動電圧Ｖ０を印加し、具体例１と同様にノズルＮ_１０〜Ｎ_１７０の液滴吐出量の分布を測定する（ステップＳ１０）。この測定方法は、上述の具体例１で説明したものと同じである。

そして、描画演算部８４は、吐出分布の最小吐出量を許容バラツキレンジの最小値に合わせ、この許容バラツキレンジ内に含まれるノズルの内、液滴吐出量の小さい方から順にピックアップし、ピックアップしたノズル数をカウントする（ステップＳ１１）。

ここで、許容バラツキレンジとは、品質管理上許容することができるノズル間の吐出量バラツキの許容レンジを指すものであって予めユーザが設定することができる値である。

続いて、描画演算部８４は、ステップＳ１１でピックアップしたノズル数が、ＣＯＭ１に割り当て可能な最大許容ノズル数より大きいか否かを判定する（ステップＳ１２）。ここで、この最大許容ノズル数は、第１のＤ／Ａコンバータ３６の電流容量に応じて設定されており、本実施形態では８０個とする。

描画演算部８４は、ステップＳ１２において、ピックアップしたノズル数が最大許容ノズル数（つまり８０個）より大きい場合（「YES」）、８０個目までのノズルにＣＯＭ１を割り当てる（ステップＳ１３）。一方、ステップＳ１２において、ピックアップしたノズル数が８０個以下の場合（「NO」）、ピックアップした全ノズルにＣＯＭ１を割り当てる（ステップＳ１４）。

そして、描画演算部８４は、ＣＯＭ１を割り当てたノズルの最大吐出量と最小吐出量との中心吐出量を算出し、下記（２）式に基づいて、ＣＯＭ１の電圧値（ＣＯＭ設定電圧）を決定する（ステップＳ１５）。

なお、下記（２）式において、Ｋは液滴吐出量を電圧値に変換するための定数である。
ＣＯＭ設定電圧＝Ｖ０−Ｋ・（中心吐出量−適正吐出量） ・・・・（２）

次に、描画演算部８４は、残ったノズルの最小吐出量を許容バラツキレンジの最小値に合わせ、この許容バラツキレンジ内に含まれるノズルの内、液滴吐出量の小さい方から順にピックアップし、ピックアップしたノズル数をカウントする（ステップＳ１６）。

続いて、描画演算部８４は、ステップＳ１６でピックアップしたノズル数が、ＣＯＭ２に割り当て可能な最大許容ノズル数より大きいか否かを判定する（ステップＳ１７）。ここで、この最大許容ノズル数は、第２のＤ／Ａコンバータ３７の電流容量に応じて設定されており、本実施形態では８０個とする。

描画演算部８４は、ステップＳ１７において、ピックアップしたノズル数が最大許容ノズル数（つまり８０個）より大きい場合（「YES」）、８０個目までのノズルにＣＯＭ２を割り当てる（ステップＳ１８）。一方、ステップＳ１７において、ピックアップしたノズル数が８０個以下の場合（「NO」）、ピックアップした全ノズルに対応する圧電素子にＣＯＭ２を割り当てる（ステップＳ１９）。

そして、描画演算部８４は、ＣＯＭ２を割り当てたノズルの最大吐出量と最小吐出量との中心吐出量を算出し、上記（２）式に基づいて、ＣＯＭ２の電圧値（ＣＯＭ設定電圧）を決定する（ステップＳ２０）。

次に、描画演算部８４は、残ったノズルの最小吐出量を許容バラツキレンジの最小値に合わせ、許容バラツキレンジ内に含まれるノズルの内、液滴吐出量の小さい方から順にピックアップし、ピックアップしたノズル数をカウントする（ステップＳ２１）。

続いて、描画演算部８４は、ステップＳ２１でピックアップしたノズル数が、ＣＯＭ３に割り当て可能な最大許容ノズル数より大きいか否かを判定する（ステップＳ２２）。ここで、この最大許容ノズル数は、第３のＤ／Ａコンバータ３８の電流容量に応じて設定されており、本実施形態では８０個とする。

描画演算部８４は、ステップＳ２２において、ピックアップしたノズル数が最大許容ノズル数（つまり８０個）より大きい場合（「YES」）、８０個目までのノズルにＣＯＭ３を割り当てる（ステップＳ２３）。一方、ステップＳ２２において、ピックアップしたノズル数が８０個以下の場合（「NO」）、ピックアップした全ノズルに対応する圧電素子にＣＯＭ３を割り当てる（ステップＳ２４）。

そして、描画演算部８４は、ＣＯＭ３を割り当てたノズルの最大吐出量と最小吐出量との中心吐出量を算出し、上記（２）式に基づいて、ＣＯＭ３の電圧値（ＣＯＭ設定電圧）を決定する（ステップＳ２５）。

次に、描画演算部８４は、残ったノズルの最小吐出量を許容バラツキレンジの最小値に合わせ、許容バラツキレンジ内に含まれるノズルの内、液滴吐出量の小さい方から順にピックアップし、ピックアップしたノズル数をカウントする（ステップＳ２６）。

続いて、描画演算部８４は、ステップＳ２６でピックアップしたノズル数が、ＣＯＭ４に割り当て可能な最大許容ノズル数より大きいか否かを判定する（ステップＳ２７）。ここで、この最大許容ノズル数は、第４のＤ／Ａコンバータ３９の電流容量に応じて設定されており、本実施形態では８０個とする。

描画演算部８４は、ステップＳ２７において、ピックアップしたノズル数が最大許容ノズル数（つまり８０個）より大きい場合（「YES」）、８０個目までのノズルにＣＯＭ４を割り当てる（ステップＳ２８）。一方、ステップＳ２７において、ピックアップしたノズル数が８０個以下の場合（「NO」）、ピックアップした全ノズルに対応する圧電素子にＣＯＭ４を割り当てる（ステップＳ２９）。

そして、描画演算部８４は、ＣＯＭ４を割り当てたノズルの最大吐出量と最小吐出量との中心吐出量を算出し、上記（２）式に基づいて、ＣＯＭ４の電圧値（ＣＯＭ設定電圧）を決定する（ステップＳ３０）。

そして、描画演算部８４は、ノズルとＣＯＭ１〜ＣＯＭ４との対応関係に基づきＣＯＭ選択データＳＩＢを設定する（ステップＳ３１）。

そして、描画演算部８４は、具体例１と同様に、上記のように決定した電圧値を有するＣＯＭ１〜ＣＯＭ４の駆動波形のデジタルデータ（駆動波形データ）を設定し、これらＣＯＭ１〜ＣＯＭ４の駆動波形データの組み合わせを示す駆動波形番号データＷＮを設定する。なお、ステップＳ３０が終了した時点で、残りノズルがあった場合、警報を発生し、この液滴吐出ヘッド５を不良品とするか、または再組み立てを行うかを判断する。

上述したＣＯＭ選択データＳＩＢの設定方法の具体例１は、具体例２と比較して簡単にノズルに対するＣＯＭ１〜ＣＯＭ４の割り当てを行うことができるが、ＣＯＭ毎に、つまりＤ／Ａコンバータ毎に最大許容ノズル数が設定されている場合、４分割したレンジ１〜４に含まれるノズル数が最大許容ノズル数を越えてしまうと、Ｄ／Ａコンバータの駆動能力が低下し、駆動信号の電圧値が低下したり波形に歪が生じたりするなどの問題が発生するという欠点がある。よって、各レンジ１〜４に含まれるノズル数が最大許容ノズル数を越えた場合は、警報を発生し、液滴吐出ヘッド５を不良品とするか、または再組み立てを行うかを判断する必要がある。

具体例２の方法では、Ｄ／Ａコンバータ毎に最大許容ノズル数が設定されている場合であっても、問題なく各ノズルに対するＣＯＭ１〜ＣＯＭ４の割り当てを行うことができる。また、具体例２では、液滴吐出量のバラツキがほとんどなく均一に近い特性であった場合、ほとんどのノズルがＣＯＭ１及びＣＯＭ２に割り当てられるが、具体例１では各ノズルが必ず均等にＣＯＭ１〜ＣＯＭ４に割り当てられることになる。

また、上述したように、液滴吐出ヘッド５のノズルデューティが変化すると液滴吐出量のバラツキ分布（吐出特性）は変化する。よって、事前に、ノズルデューティ毎に液滴吐出量のバラツキ分布を測定し、各ノズルＮ_１０〜Ｎ_１７０の液滴吐出量が適正吐出量に近づくような各圧電素子ＰＺ_１０〜ＰＺ_１７０の駆動信号ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４を求め、ノズルデューティに対応するＣＯＭ選択データＳＩＢを設定する。例えば、ノズルデューティと吐出量との間に比例関係がある場合には、吐出ノズル数に応じて、一定の補正係数を乗じた電圧値を各吐出ノズルの圧電素子に供給すれば良い。

図８に戻って説明すると、描画データメモリ３２は、描画データライトイネーブル信号ＷＥ１、チップセレクタ信号ＣＳ１及びアウトプットイネーブル信号ＯＥ１によってデータ読み出しが要求されている場合、描画データアドレス信号ＡＤ１が指定するアドレスに記憶されている吐出データＳＩＡをシリアルデータとして液滴吐出ヘッド５のスイッチング回路５０に出力し、また、ＣＯＭ選択データＳＩＢをシリアルデータとして液滴吐出ヘッド５のＣＯＭ選択回路４０に出力する。なお、駆動波形番号データＷＮは、アドレス変換回路３３に出力される。

アドレス変換回路３３は、駆動波形番号データＷＮが指定する駆動波形番号に該当する駆動波形データの記憶先アドレスを示すアドレス信号ＡＤ３を第１の駆動波形メモリ３４及び第２の駆動波形メモリ３５に出力する。第１の駆動波形メモリ３４は、３２Ｋワード×１６ビットのＳＲＡＭであり、ＣＯＭ１及びＣＯＭ２に対応する駆動波形のデジタルデータ（駆動波形データ）を記憶するメモリである。第２の駆動波形メモリ３５も同様に、３２Ｋワード×１６ビットのＳＲＡＭであり、ＣＯＭ３及びＣＯＭ４に対応する駆動波形データを記憶するメモリである。

これら第１の駆動波形メモリ３４及び第２の駆動波形メモリ３５は、波形データライトイネーブル信号ＷＥ２、チップセレクタ信号ＣＳ２及びアウトプットイネーブル信号ＯＥ２によってデータ書き込みが要求されている場合、波形データアドレス信号ＡＤ２で指定されるアドレスに、駆動波形データ信号ＷＤを記憶する。なお、この駆動波形データ信号ＷＤは、上位２バイトがＣＯＭ３及びＣＯＭ４に対応する駆動波形データに割り当てられ、下位２バイトがＣＯＭ１及びＣＯＭ２に対応する駆動波形データに割り当てられた４バイトのデータ信号であり、上位２バイト分の駆動波形データ信号ＷＤは第１の駆動波形メモリ３４に入力され、上位２バイト分の駆動波形データ信号ＷＤは第２の駆動波形メモリ３５に入力される。

また、第１の駆動波形メモリ３４は、波形データライトイネーブル信号ＷＥ２、チップセレクタ信号ＣＳ２及びアウトプットイネーブル信号ＯＥ２によってデータ読み出しが要求されている場合、アドレス信号ＡＤ３で指定されるアドレスに記憶されている駆動波形データを第１のＤ／Ａコンバータ３６及び第２のＤ／Ａコンバータ３７に出力する。第２の駆動波形メモリ３５は、波形データライトイネーブル信号ＷＥ２、チップセレクタ信号ＣＳ２及びアウトプットイネーブル信号ＯＥ２によってデータ読み出しが要求されている場合、アドレス信号ＡＤ３で指定されるアドレスに記憶されている駆動波形データを第３のＤ／Ａコンバータ３８及び第４のＤ／Ａコンバータ３９に出力する。

第１のＤ／Ａコンバータ３６は、ＤＡＣクロック信号ＣＬＫ１の立ち上がりに同期して、第１の駆動波形メモリ３４から入力される駆動波形データをラッチし、当該ラッチした駆動波形データをアナログ変換して駆動信号ＣＯＭ１を生成し、液滴吐出ヘッド５のＣＯＭ選択回路４０に出力する。第２のＤ／Ａコンバータ３７は、ＤＡＣクロック信号ＣＬＫ２の立ち上がりに同期して、第１の駆動波形メモリ３４から入力される駆動波形データをラッチし、当該ラッチした駆動波形データをアナログ変換して駆動信号ＣＯＭ２を生成し、液滴吐出ヘッド５のＣＯＭ選択回路４０に出力する。第３のＤ／Ａコンバータ３８は、ＤＡＣクロック信号ＣＬＫ１の立ち上がりに同期して、第２の駆動波形メモリ３５から入力される駆動波形データをラッチし、当該ラッチした駆動波形データをアナログ変換して駆動信号ＣＯＭ３を生成し、液滴吐出ヘッド５のＣＯＭ選択回路４０に出力する。第４のＤ／Ａコンバータ３９は、ＤＡＣクロック信号ＣＬＫ２の立ち上がりに同期して、第２の駆動波形メモリ３５から入力される駆動波形データをラッチし、当該ラッチした駆動波形データをアナログ変換して駆動信号ＣＯＭ４を生成し、液滴吐出ヘッド５のＣＯＭ選択回路４０に出力する。

図１３に示すように、液滴吐出ヘッド５のＣＯＭ選択回路４０は、シフトレジスタ回路４１、ラッチ回路４２、ＣＯＭ選択スイッチ回路ＣＳＷ_１〜ＣＳＷ_１８０から構成されている。シフトレジスタ回路４１は、クロック信号ＣＬＫ及びＣＯＭ選択データＳＩＢを入力とし、クロック信号ＣＬＫに同期してシリアルデータであるＣＯＭ選択データＳＩＢをパラレル変換してラッチ回路４２に順次出力する。具体的には、シフトレジスタ回路４１は、圧電素子ＰＺ_１〜ＰＺ_１８０に対応するＷＳＨデータ（ＷＳＨ_１〜ＷＳＨ_１８０）及びＷＳＬデータ（ＷＳＬ_１〜ＷＳＬ_１８０）をパラレルに順次出力する。

ラッチ回路４２は、上記のＷＳＨデータ（ＷＳＨ_１〜ＷＳＨ_１８０）及びＷＳＬデータ（ＷＳＬ_１〜ＷＳＬ_１８０）を、ラッチ信号ＬＴに同期してラッチし、各ＷＳＨデータ（ＷＳＨ_１〜ＷＳＨ_１８０）及びＷＳＬデータ（ＷＳＬ_１〜ＷＳＬ_１８０）を一括してＣＯＭ選択スイッチ回路ＣＳＷ_１〜ＣＳＷ_１８０に出力する。具体的には、ラッチ回路４２は、ＷＳＨ_１及びＷＳＬ_１をＣＯＭ選択スイッチ回路ＣＳＷ_１に出力し、ＷＳＨ_２及びＷＳＬ_２をＣＯＭ選択スイッチ回路ＣＳＷ_２に出力し、以下同様に、ＷＳＨ_１８０及びＷＳＬ_１８０をＣＯＭ選択スイッチ回路ＣＳＷ_１８０に出力する。

各ＣＯＭ選択スイッチ回路ＣＳＷ_１〜ＣＳＷ_１８０は、駆動信号ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４を入力とし、ラッチ回路４２から入力されるＷＳＨ及びＷＳＬデータに応じて駆動信号ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４のいずれかを選択し、選択した駆動信号をＶ_１〜Ｖ_１８０として後述するスイッチング回路５０のスイッチング素子ＳＷ_１〜ＳＷ_１８０に出力する。具体的には、ＣＯＭ選択スイッチ回路ＣＳＷ_１は、（ＷＳＨ_１、ＷＳＬ_１）＝（０、０）の場合、駆動信号ＣＯＭ１を選択し、（ＷＳＨ_１、ＷＳＬ_１）＝（０、１）の場合、駆動信号ＣＯＭ２を選択し、（ＷＳＨ_１、ＷＳＬ_１）＝（１、０）の場合、駆動信号ＣＯＭ３を選択し、（ＷＳＨ_１、ＷＳＬ_１）＝（１、１）の場合、駆動信号ＣＯＭ４を選択し、選択した駆動信号をＶ_１としてスイッチング回路５０のスイッチング素子ＳＷ_１に出力する。以下同様に、ＣＯＭ選択スイッチ回路ＣＳＷ_１８０は、（ＷＳＨ_１８０、ＷＳＬ_１８０）＝（０、０）の場合、駆動信号ＣＯＭ１を選択し、（ＷＳＨ_１８０、ＷＳＬ_１８０）＝（０、１）の場合、駆動信号ＣＯＭ２を選択し、（ＷＳＨ_１８０、ＷＳＬ_１８０）＝（１、０）の場合、駆動信号ＣＯＭ３を選択し、（ＷＳＨ_１８０、ＷＳＬ_１８０）＝（１、１）の場合、駆動信号ＣＯＭ４を選択し、選択した駆動信号をＶ_１８０としてスイッチング回路５０のスイッチング素子ＳＷ_１８０に出力する。

続いて、図１４に示すように、スイッチング回路５０は、シフトレジスタ回路５１、ラッチ回路５２、論理和回路ＯＲ_１〜ＯＲ_１８０、レベルシフタ回路５３、スイッチング素子ＳＷ_１〜ＳＷ_１８０から構成されている。シフトレジスタ回路５１は、クロック信号ＣＬＫ及び吐出データＳＩＡを入力とし、クロック信号ＣＬＫに同期してシリアルデータである吐出データＳＩＡをパラレル変換してラッチ回路５２に順次出力する。具体的には、シフトレジスタ回路５１は、圧電素子ＰＺ_１〜ＰＺ_１８０に対応するＳＩＨデータ（ＳＩＨ_１〜ＳＩＨ_１８０）及びＳＩＬデータ（ＳＩＬ_１〜ＳＩＬ_１８０）をパラレルに順次出力する。

ラッチ回路５２は、上記のＳＩＨデータ（ＳＩＨ_１〜ＳＩＨ_１８０）及びＳＩＬデータ（ＳＩＬ_１〜ＳＩＬ_１８０）を、ラッチ信号ＬＴに同期してラッチし、各ＳＩＨデータ（ＳＩＨ_１〜ＳＩＨ_１８０）及びＳＩＬデータ（ＳＩＬ_１〜ＳＩＬ_１８０）を一括して論理和回路ＯＲ_１〜ＯＲ_１８０に出力する。具体的には、ラッチ回路５２は、ＳＩＨ_１及びＳＩＬ_１を論理和回路ＯＲ_１に出力し、ＳＩＨ_２及びＳＩＬ_２を論理和回路ＯＲ_２に出力し，以下同様に、ＳＩＨ_１８０及びＳＩＬ_１８０を論理和回路ＯＲ_１８０に出力する。

論理和回路ＯＲ_１は、ＳＩＨ_１とＳＩＬ_１との論理和であるスイッチング信号Ｓ_１をレベルシフタ回路５３に出力する。つまり、ＳＩＨ_１とＳＩＬ_１との少なくとも一方が「１」であれば駆動信号の供給（吐出）を規定しているので、「１」を示すスイッチング信号Ｓ_１が出力される。論理和回路ＯＲ_２は、ＳＩＨ_２とＳＩＬ_２との論理和であるスイッチング信号Ｓ_２をレベルシフタ回路５３に出力する。以下同様に、論理和回路ＯＲ_１８０は、ＳＩＨ_１８０とＳＩＬ_１８０との論理和であるスイッチング信号Ｓ_１８０をレベルシフタ回路５３に出力する。

レベルシフタ回路５３は、スイッチング信号Ｓ_１〜Ｓ_１８０を各スイッチング素子ＳＷ_１〜ＳＷ_１８０を駆動可能なレベルまで電圧増幅する。具体的には、レベルシフタ回路５３は、スイッチング信号Ｓ_１を電圧増幅してスイッチング素子ＳＷ_１に出力し、スイッチング信号Ｓ_２を電圧増幅してスイッチング素子ＳＷ_２に出力し、以下同様に、スイッチング信号Ｓ_１８０を電圧増幅してスイッチング素子ＳＷ_１８０に出力する。

スイッチング素子ＳＷ_１は、駆動信号Ｖ_１及びスイッチング信号Ｓ_１を入力とし、「１」を示すスイッチング信号Ｓ_１が入力された場合にＯＮ状態となり、駆動信号Ｖ_１を図８に示す圧電素子ＰＺ_１の一方の電極に出力する。スイッチング素子ＳＷ_２は、駆動信号Ｖ_２及びスイッチング信号Ｓ_２を入力とし、「１」を示すスイッチング信号Ｓ_２が入力された場合にＯＮ状態となり、駆動信号Ｖ_２を図８に示す圧電素子ＰＺ_２の一方の電極に出力する。以下同様に、スイッチング素子ＳＷ_１８０は、駆動信号Ｖ_１８０及びスイッチング信号Ｓ_１８０を入力とし、「１」を示すスイッチング信号Ｓ_１８０が入力された場合にＯＮ状態となり、駆動信号Ｖ_１８０を図８に示す圧電素子ＰＺ_１８０の一方の電極に出力する。

図８に戻って説明すると、各圧電素子ＰＺ_１〜ＰＺ_１８０の他方の電極は、液滴吐出ヘッド５内で互いに接続され、且つ駆動回路基板３０側のグランドと共通接地されている。
つまり、圧電素子ＰＺ_１は、駆動信号Ｖ_１とグランド間の電位差によって伸縮し、これにより駆動信号Ｖ_１に応じた吐出量のカラーフィルタ材料の液滴がノズルＮ_１から吐出される。また、圧電素子ＰＺ_２は、駆動信号Ｖ_２とグランド間の電位差によって伸縮し、これにより駆動信号Ｖ_２に応じた吐出量のカラーフィルタ材料の液滴がノズルＮ_２から吐出される。以下同様に、圧電素子ＰＺ_１８０は、駆動信号Ｖ_１８０とグランド間の電位差によって伸縮し、これにより駆動信号Ｖ_１８０に応じた吐出量のカラーフィルタ材料の液滴がノズルＮ_１８０から吐出される。

次に、このように構成された本液滴吐出装置ＩＪの動作について説明する。
まず、カラーフィルタ基板Ｐの画素パターンに応じて事前に設定した吐出データＳＩＡと、ノズルデューティ毎に設定したＣＯＭ選択データＳＩＢとを駆動回路基板３０の描画データメモリ３２に記憶し、また、ＣＯＭ選択データＳＩＢに対応するＣＯＭ１〜ＣＯＭ４の駆動波形データを第１の駆動波形メモリ３４及び第２の駆動波形メモリ３５に予め記憶する。

具体的には、制御装置１１は、インターフェース３１を介して、描画データＳＩ（吐出データＳＩＡ及びＣＯＭ選択データＳＩＢ）と、これら吐出データＳＩＡ及びＣＯＭ選択データＳＩＢの記憶先アドレスを示す描画データアドレス信号ＡＤ１と、データ書き込み要求を示す描画データライトイネーブル信号ＷＥ１、チップセレクタ信号ＣＳ１及びアウトプットイネーブル信号ＯＥ１とを描画データメモリ３２に出力する。これにより、描画データメモリ３２には、描画データアドレス信号ＡＤ１が指定する記憶先アドレスに、吐出データＳＩＡ及びＣＯＭ選択データＳＩＢが順次記憶される。

また、制御装置１１は、インターフェース３１を介して、駆動波形データＷＤと、波形データアドレス信号ＡＤ２と、データ書き込み要求を示す波形データライトイネーブル信号ＷＥ２、チップセレクタ信号ＣＳ２及びアウトプットイネーブル信号ＯＥ２とを第１の駆動波形メモリ３４及び第２の駆動波形メモリ３５に出力する。そして、この処理により、カラーフィルタ基板Ｐの画素パターンに応じて事前に設定した吐出データＳＩＡと、ノズルデューティ毎に設定したＣＯＭ選択データＳＩＢとが描画データメモリ３２に記憶され、また、ＣＯＭ選択データＳＩＢに対応するＣＯＭ１〜ＣＯＭ４の駆動波形データが第１の駆動波形メモリ３４及び第２の駆動波形メモリ３５に記憶される。

次に、実際にカラーフィルタ基板Ｐにカラーフィルタ材料を吐出する動作について図１５のタイミングチャートを用いて説明する。

制御装置１１は、ワークステージ２にカラーフィルタ基板Ｐが搬送され、上位の制御装置からカラーフィルタ基板Ｐに関する情報（画素パターンや基板サイズなどの情報）を取得すると、搬送されたカラーフィルタ基板Ｐに対応する吐出データＳＩＡを決定する。また、制御装置１１は、カラーフィルタ基板Ｐに関する情報に基づいてノズルデューティを求め、そのノズルデューティに対応するＣＯＭ選択データＳＩＢを決定する。そして、制御装置１１は、ステージ移動装置３及びキャリッジ移動装置６を制御して、液滴吐出ヘッド５をカラーフィルタ基板Ｐ上の所定のＸＹＺ座標に移動させる。

続いて、制御装置１１は、上記のように決定した吐出データＳＩＡ及びＣＯＭ選択データＳＩＢの記憶先アドレスを示す描画データアドレス信号ＡＤ１と、データ読み出し要求を示す描画データライトイネーブル信号ＷＥ１、チップセレクタ信号ＣＳ１及びアウトプットイネーブル信号ＯＥ１とを駆動回路基板３０の描画データメモリ３２に出力する。これにより、搬送されたカラーフィルタ基板Ｐに対応する吐出データＳＩＡが液滴吐出ヘッド５のスイッチング回路５０（具体的にはシフトレジスタ回路５１）に出力され、カラーフィルタ基板Ｐのノズルデューティに対応するＣＯＭ選択データＳＩＢが液滴吐出ヘッド５のＣＯＭ選択回路４０（具体的にはシフトレジスタ回路４１）に出力される。また、ＣＯＭ選択データＳＩＢに含まれる駆動波形番号データＷＮは、アドレス変換回路３３に出力される。

図１５に示すように、時刻Ｔ１に、吐出データＳＩＡがスイッチング回路５０のシフトレジスタ回路５１に出力され、ＣＯＭ選択データＳＩＢがＣＯＭ選択回路４０のシフトレジスタ回路４１に出力されたと想定する。シフトレジスタ回路５１は、時刻Ｔ１からＴ２までの期間、クロック信号ＣＬＫに同期してシリアルデータである吐出データＳＩＡをパラレル変換してラッチ回路５２に順次出力する。つまり、圧電素子ＰＺ_１〜ＰＺ_１８０に対応するＳＩＨデータ（ＳＩＨ_１〜ＳＩＨ_１８０）及びＳＩＬデータ（ＳＩＬ_１〜ＳＩＬ_１８０）がパラレルに順次出力される。一方、シフトレジスタ回路４１は、クロック時刻Ｔ１からＴ２までの期間、クロック信号ＣＬＫに同期してシリアルデータであるＣＯＭ選択データＳＩＢをパラレル変換してラッチ回路４２に順次出力する。つまり、圧電素子ＰＺ_１〜ＰＺ_１８０に対応するＷＳＨデータ（ＷＳＨ_１〜ＷＳＨ_１８０）及びＷＳＬデータ（ＷＳＬ_１〜ＷＳＬ_１８０）がパラレルに順次出力される。

ここで、この時刻Ｔ１からＴ２までの期間におけるアドレス変換回路３３、第１の駆動波形メモリ３４及び第２の駆動波形メモリ３５、第１のＤ／Ａコンバータ３６、第２のＤ／Ａコンバータ３７、第３のＤ／Ａコンバータ３８及び第４のＤ／Ａコンバータ３９の動作について図１６のタイミングチャートを用いて説明する。

図１６に示すように、時刻Ｔ１’においてアドレス変換回路３３は、クロック信号ＣＬＫの立ち上がりに同期して、駆動波形番号データＷＮが指定する駆動波形番号に該当する駆動波形データの記憶先アドレスを示すアドレス信号ＡＤ３を第１の駆動波形メモリ３４及び第２の駆動波形メモリ３５に出力する。例えば駆動波形番号「０」が指定されている場合を想定すると、アドレス信号ＡＤ３はアドレス「+00000h」を示す。時刻Ｔ２’において、第１の駆動波形メモリ３４は、アドレス「+00000h」に記憶されているＣＯＭ１の２バイト分の駆動波形データを第１のＤ／Ａコンバータ３６及び第２のＤ／Ａコンバータ３７に出力し、第２の駆動波形メモリ３５は、アドレス「+00000h」に記憶されているＣＯＭ３の２バイト分の駆動波形データを第３のＤ／Ａコンバータ３８及び第４のＤ／Ａコンバータ３９に出力する。

そして、時刻Ｔ３’において、ＤＡＣクロック信号ＣＬＫ１の立ち上がりが発生すると、第１のＤ／Ａコンバータ３６は、ＤＡＣクロック信号ＣＬＫ１の立ち上がりに同期してＣＯＭ１の２バイト分の駆動波形データをラッチして取り込み、同様に第３のＤ／Ａコンバータ３８も、ＤＡＣクロック信号ＣＬＫ１の立ち上がりに同期してＣＯＭ３の２バイト分の駆動波形データをラッチして取り込む。

また、この時刻Ｔ３’において、アドレス変換回路３３は、クロック信号ＣＬＫの立ち上りに同期して、アドレス「+08000h」を示すアドレス信号ＡＤ３を第１の駆動波形メモリ３４及び第２の駆動波形メモリ３５に出力する。そして、時刻Ｔ４’において、第１の駆動波形メモリ３４は、アドレス「+08000h」に記憶されているＣＯＭ２の２バイト分の駆動波形データを第１のＤ／Ａコンバータ３６及び第２のＤ／Ａコンバータ３７に出力し、第２の駆動波形メモリ３５は、アドレス「+08000h」に記憶されているＣＯＭ４の２バイト分の駆動波形データを第３のＤ／Ａコンバータ３８及び第４のＤ／Ａコンバータ３９に出力する。

そして、時刻Ｔ５’において、ＤＡＣクロック信号ＣＬＫ２の立ち上がりが発生すると、第２のＤ／Ａコンバータ３７は、ＤＡＣクロック信号ＣＬＫ２の立ち上がりに同期してＣＯＭ２の２バイト分の駆動波形データをラッチして取り込み、同様に第４のＤ／Ａコンバータ３９も、ＤＡＣクロック信号ＣＬＫ２の立ち上がりに同期してＣＯＭ４の２バイト分の駆動波形データをラッチして取り込む。

このように、第１のＤ／Ａコンバータ３６はＣＯＭ１の駆動波形データだけ取り込み、第２のＤ／Ａコンバータ３７はＣＯＭ２の駆動波形データだけ取り込み、第３のＤ／Ａコンバータ３８はＣＯＭ３の駆動波形データだけ取り込み、第４のＤ／Ａコンバータ３９はＣＯＭ４の駆動波形データだけ取り込むことになる。以降、アドレス変換回路３３は、クロック信号ＣＬＫの立ち上りに同期してアドレスをインクリメントしていき、第１の駆動波形メモリ３４及び第２の駆動波形メモリ３５から駆動波形番号「０」に該当する５１２バイト分（１波形分）のＣＯＭ１〜ＣＯＭ４の駆動波形データが出力される。

そして、第１のＤ／Ａコンバータ３６は、１波形分のＣＯＭ１の駆動波形データを取り込み、アナログ変換して駆動信号ＣＯＭ１を生成し、液滴吐出ヘッド５のＣＯＭ選択回路４０に出力する。また、第２のＤ／Ａコンバータ３７は、１波形分のＣＯＭ２の駆動波形データを取り込み、アナログ変換して駆動信号ＣＯＭ２を生成し、液滴吐出ヘッド５のＣＯＭ選択回路４０に出力する。また、第３のＤ／Ａコンバータ３８は、１波形分のＣＯＭ３の駆動波形データを取り込み、アナログ変換して駆動信号ＣＯＭ３を生成し、液滴吐出ヘッド５のＣＯＭ選択回路４０に出力する。また、第４のＤ／Ａコンバータ３９は、１波形分のＣＯＭ４の駆動波形データを取り込み、アナログ変換して駆動信号ＣＯＭ４を生成し、液滴吐出ヘッド５のＣＯＭ選択回路４０に出力する。

このように、図１５の時刻Ｔ１〜Ｔ２の期間において、図１６に示す動作が行われ、液滴吐出ヘッド５のＣＯＭ選択回路４０には、駆動信号ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４が入力される。
なお、図１６に示す動作中において、第１の駆動波形メモリ３４及び第２の駆動波形メモリ３５にはデータ読み出し要求を示す波形データライトイネーブル信号ＷＥ２、チップセレクタ信号ＣＳ２及びアウトプットイネーブル信号ＯＥ２が入力される。

図１５に戻って説明すると、時刻Ｔ３においてラッチ信号ＬＴの立ち上がりが発生した場合、ＣＯＭ選択回路４０のラッチ回路４２は、ラッチ信号ＬＴの立ち上がりに同期して、ＷＳＨデータ（ＷＳＨ_１〜ＷＳＨ_１８０）及びＷＳＬデータ（ＷＳＬ_１〜ＷＳＬ_１８０）をラッチし、ラッチ信号ＬＴの立ち下がりが発生する時刻Ｔ４に各ＷＳＨデータ（ＷＳＨ_１〜ＷＳＨ_１８０）及びＷＳＬデータ（ＷＳＬ_１〜ＷＳＬ_１８０）を一括してＣＯＭ選択スイッチ回路ＣＳＷ_１〜ＣＳＷ_１８０に出力する。ここでは、図１５に示すように、（ＷＳＨ_１、ＷＳＬ_１）＝（０、１）のデータがＣＯＭ選択スイッチ回路ＣＳＷ_１に入力され、（ＷＳＨ_２、ＷＳＬ_２）＝（０、１）のデータがＣＯＭ選択スイッチ回路ＣＳＷ_２に入力され、以下同様に、（ＷＳＨ_１８０、ＷＳＬ_１８０）＝（０、１）のデータがＣＯＭ選択スイッチ回路ＣＳＷ_１８０に入力されたものとする。つまり、ＣＯＭ選択スイッチ回路ＣＳＷ_１〜ＣＳＷ_１８０は、駆動信号ＣＯＭ２を選択し、駆動信号Ｖ_１〜Ｖ_１８０をスイッチング回路４０に出力する。なお、駆動波形番号「０」に該当する駆動波形データから生成されたＣＯＭ１〜ＣＯＭ４は、図１５に示すようにグランドレベルより少し高い電圧値を有するフラットな波形であるものとする。このような駆動波形番号「０」に該当する駆動波形データから生成されたＣＯＭ１〜ＣＯＭ４は、本液滴吐出装置ＩＪの電源投入時などにおいて、各圧電素子ＰＺ_１〜ＰＺ_１８０を待機状態に遷移させるためのものであり、液滴が吐出されないレベルの電圧値に設定されている。

一方、時刻Ｔ３において、スイッチング回路５０のラッチ回路５２は、ラッチ信号ＬＴの立ち上がりに同期して、ＳＩＨデータ（ＳＩＨ_１〜ＳＩＨ_１８０）及びＳＩＬデータ（ＳＩＬ_１〜ＳＩＬ_１８０）をラッチし、ラッチ信号ＬＴの立ち下がりが発生する時刻Ｔ４に、各ＳＩＨデータ（ＳＩＨ_１〜ＳＩＨ_１８０）及びＳＩＬデータ（ＳＩＬ_１〜ＳＩＬ_１８０）を一括して論理和回路ＯＲ_１〜ＯＲ_１８０に出力する。ここでは、図１５に示すように、（ＳＩＨ_１、ＳＩＬ_１）＝（０、１）のデータが論理和回路ＯＲ_１に入力され、（ＳＩＨ_２、ＳＩＬ_２）＝（０、１）のデータが論理和回路ＯＲ_２に入力され、以下同様に、（ＳＩＨ_１８０、ＳＩＬ_１８０）＝（０、１）のデータが論理和回路ＯＲ_１８０に入力されたものとする。つまり、各論理和回路ＯＲ_１〜ＯＲ_１８０は、ハイレベルのスイッチング信号Ｓ_１〜Ｓ_１８０をレベルシフタ回路５３に出力し、レベルシフタ回路５３は各スイッチング信号Ｓ_１〜Ｓ_１８０を増幅して各スイッチング素子ＳＷ_１〜ＳＷ_１８０に出力する。

上述したように、時刻Ｔ４において、各スイッチング素子ＳＷ_１〜ＳＷ_１８０にハイレベルのスイッチング信号Ｓ_１〜Ｓ_１８０が入力されることにより、各スイッチング素子ＳＷ_１〜ＳＷ_１８０はオン状態となり、ＣＯＭ選択回路４０から供給される駆動信号Ｖ_１〜Ｖ_１８０を、それぞれに対応する圧電素子ＰＺ_１〜ＰＺ_１８０に出力する。これにより、各圧電素子ＰＺ_１〜ＰＺ_１８０には待機状態に遷移し、液滴吐出の準備が完了する。

一方、時刻Ｔ５において、制御装置１１は、次の吐出データＳＩＡ及びＣＯＭ選択データＳＩＢの記憶先アドレスを示す描画データアドレス信号ＡＤ１と、データ読み出し要求を示す描画データライトイネーブル信号ＷＥ１、チップセレクタ信号ＣＳ１及びアウトプットイネーブル信号ＯＥ１とを駆動回路基板３０の描画データメモリ３２に出力する。ここで、次の吐出データＳＩＡ及びＣＯＭ選択データＳＩＢとは、液滴吐出ヘッド５の現在位置で液滴を吐出するためのデータである。これにより、液滴吐出ヘッド５の現在位置に対応する吐出データＳＩＡが液滴吐出ヘッド５のスイッチング回路５０（具体的にはシフトレジスタ回路５１）に出力され、ＣＯＭ選択データＳＩＢは液滴吐出ヘッド５のＣＯＭ選択回路４０（具体的にはシフトレジスタ回路４１）に出力される。また、この時のＣＯＭ選択データＳＩＢに含まれる駆動波形番号データＷＮは、アドレス変換回路３３に出力される。ここでは、駆動波形番号「１」が指定されたものとする。

そして、時刻Ｔ５において、吐出データＳＩＡがスイッチング回路５０のシフトレジスタ回路５１に出力され、ＣＯＭ選択データＳＩＢがＣＯＭ選択回路４０のシフトレジスタ回路４１に出力される。シフトレジスタ回路５１は、時刻Ｔ５からＴ６までの期間、クロック信号ＣＬＫに同期してシリアルデータである吐出データＳＩＡをパラレル変換してラッチ回路５２に順次出力する。ここで、時刻Ｔ５からＴ６までの期間において、図１６で説明したような動作により、第１のＤ／Ａコンバータ３６から、駆動波形番号「１」に対応する１波形分の駆動信号ＣＯＭ１が液滴吐出ヘッド５のＣＯＭ選択回路４０に出力され、第２のＤ／Ａコンバータ３７から、駆動波形番号「１」に対応する１波形分の駆動信号ＣＯＭ２が液滴吐出ヘッド５のＣＯＭ選択回路４０に出力され、第３のＤ／Ａコンバータ３８から、駆動波形番号「１」に対応する１波形分の駆動信号ＣＯＭ３が液滴吐出ヘッド５のＣＯＭ選択回路４０に出力され、第４のＤ／Ａコンバータ３９から、駆動波形番号「１」に対応する１波形分の駆動信号ＣＯＭ４が液滴吐出ヘッド５のＣＯＭ選択回路４０に出力される。

そして、時刻Ｔ７においてラッチ信号ＬＴの立ち上がりが発生すると、ＣＯＭ選択回路４０のラッチ回路４２は、ラッチ信号ＬＴの立ち上がりに同期して、ＷＳＨデータ（ＷＳＨ_１〜ＷＳＨ_１８０）及びＷＳＬデータ（ＷＳＬ_１〜ＷＳＬ_１８０）をラッチし、ラッチ信号ＬＴの立ち下がりが発生する時刻Ｔ８に各ＷＳＨデータ（ＷＳＨ_１〜ＷＳＨ_１８０）及びＷＳＬデータ（ＷＳＬ_１〜ＷＳＬ_１８０）を一括してＣＯＭ選択スイッチ回路ＣＳＷ_１〜ＣＳＷ_１８０に出力する。ここでは、図１５に示すように、（ＷＳＨ_１、ＷＳＬ_１）＝（１、０）のデータがＣＯＭ選択スイッチ回路ＣＳＷ_１に入力され、（ＷＳＨ_２、ＷＳＬ_２）＝（１、０）のデータがＣＯＭ選択スイッチ回路ＣＳＷ_２に入力され、（ＷＳＨ_１８０、ＷＳＬ_１８０）＝（０、０）のデータがＣＯＭ選択スイッチ回路ＣＳＷ_１８０に入力されたものとする。つまり、ＣＯＭ選択スイッチ回路ＣＳＷ_１及びＣＳＷ_２は駆動信号ＣＯＭ３を選択し、ＣＯＭ選択スイッチ回路ＣＳＷ_１８０は駆動信号ＣＯＭ１を選択して、それぞれ駆動信号Ｖ_１〜Ｖ_１８０をスイッチング回路４０に出力する。

一方、時刻Ｔ７において、スイッチング回路５０のラッチ回路５２は、ラッチ信号ＬＴの立ち上がりに同期して、ＳＩＨデータ（ＳＩＨ_１〜ＳＩＨ_１８０）及びＳＩＬデータ（ＳＩＬ_１〜ＳＩＬ_１８０）をラッチし、ラッチ信号ＬＴの立ち下がりが発生する時刻Ｔ８に、各ＳＩＨデータ（ＳＩＨ_１〜ＳＩＨ_１８０）及びＳＩＬデータ（ＳＩＬ_１〜ＳＩＬ_１８０）を一括して論理和回路ＯＲ_１〜ＯＲ_１８０に出力する。ここでは、図１５に示すように、（ＳＩＨ_１、ＳＩＬ_１）＝（１、０）のデータが論理和回路ＯＲ_１に入力され、（ＳＩＨ_２、ＳＩＬ_２）＝（１、０）のデータが論理和回路ＯＲ_２に入力され、以下同様に、（ＳＩＨ_１８０、ＳＩＬ_１８０）＝（１、０）のデータが論理和回路ＯＲ_１８０に入力されたものとする。つまり、各論理和回路ＯＲ_１〜ＯＲ_１８０は、ハイレベルのスイッチング信号Ｓ_１〜Ｓ_１８０をレベルシフタ回路５３に出力し、レベルシフタ回路５３は各スイッチング信号Ｓ_１〜Ｓ_１８０を増幅して各スイッチング素子ＳＷ_１〜ＳＷ_１８０に出力する。

上述したように、時刻Ｔ８において、各スイッチング素子ＳＷ_１〜ＳＷ_１８０にハイレベルのスイッチング信号Ｓ_１〜Ｓ_１８０が入力されることにより、各スイッチング素子ＳＷ_１〜ＳＷ_１８０はオン状態となり、ＣＯＭ選択回路４０から供給される駆動信号Ｖ_１〜Ｖ_１８０を、それぞれに対応する圧電素子ＰＺ_１〜ＰＺ_１８０に出力する。これにより、圧電素子ＰＺ_１及びＰＺ_２にはＣＯＭ３の駆動信号が供給され、圧電素子ＰＺ_１８０にはＣＯＭ１の駆動信号が供給され、それぞれの駆動信号に応じた重量の液滴がカラーフィルタ基板Ｐ上に吐出される。以上のような動作をカラーフィルタ基板Ｐ上の全ての位置に対して繰り返すことにより、カラーフィルタ基板Ｐ上の全画素にカラーフィルタ層が形成される。

なお、時刻Ｔ９では、（ＳＩＨ_１、ＳＩＬ_１）＝（０、０）のデータが論理和回路ＯＲ_１に入力され、（ＳＩＨ_２、ＳＩＬ_２）＝（０、０）のデータが論理和回路ＯＲ_２に入力され、以下同様に、（ＳＩＨ_１８０、ＳＩＬ_１８０）＝（０、０）のデータが論理和回路ＯＲ_１８０に入力されるため、スイッチング信号Ｓ_１〜Ｓ_１８０は全てローレベルとなり、各スイッチング素子ＳＷ_１〜ＳＷ_１８０はオフ状態となる。従って、この場合、駆動信号ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４は液滴吐出ヘッド５に供給されるが、各圧電素子ＰＺ_１〜ＰＺ_１８０に対する駆動信号Ｖ_１〜Ｖ_１８０は供給されない。

液滴吐出ヘッド５では、このようにして調整された駆動波形を用いて、１滴ごとに吐出量が調節された液滴をカラーフィルタ基板Ｐ上に吐出する。各ノズルの吐出位置はビットマップデータによって設定されており、液滴吐出ヘッド５はこのビットマップデータに基づいて、予め設定された１種類の吐出パターンで液滴を吐出しながら主走査及び副走査を繰り返す。これにより、カラーフィルタ基板Ｐの全面に、バラツキの少ない均一な膜厚のカラーフィルタが形成される。

以上説明したように、本実施形態の液滴吐出装置ＩＪによれば、液滴吐出ヘッド５におけるノズルの吐出特性に基づいて予め設定されたＣＯＭ選択データＳＩＢに基づいて、圧電素子毎に、駆動信号ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４の中から１つを選択して供給するので、液滴吐出量のバラツキを抑制し、均一な膜層を形成することが可能である。

また、各駆動信号ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４に割り当てる波形データの組み合わせを複数記憶しておくことにより、各駆動信号ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４の波形（電圧値）を、液滴吐出ヘッド５毎の吐出特性に応じて任意に可変することができる。さらに、ノズルデューティに応じた駆動信号を各圧電素子に供給するので、電気的なクロストークの影響による液滴吐出量のバラツキを抑制することができる。

また、液滴吐出ヘッド５の副走査方向の移動距離を区画領域ＰＸの副走査方向における配置間隔ＧＰの整数倍としたため、ノズルＮと区画領域ＰＸとの空間的な配置が常に等しくなり、吐出パターンが変化することがない。そのため、吐出量測定装置１３で測定するノズルＮの吐出特性は、液滴吐出ヘッド５毎に1種類の吐出パターンのみでよく、測定時間の短縮化が図られると共に駆動制御も容易となる。また、実際に吐出走査で用いる吐出パターンの吐出特性に基づいて吐出量の調整を行うため、吐出量の均一性が非常に高くなる。

なお、上記の実施形態では、１つの液滴吐出ヘッド５とそれに対応する１つの駆動回路基板３０を例示して説明したが、これら液滴吐出ヘッド５及び駆動回路基板３０が複数であっても同様な構成、動作を採用することができる。また、駆動素子として圧電素子を例示して説明したが、これに限らず、駆動信号に応じてキャビティ２４の容積を変化させて液滴を吐出することが可能な素子ならば他の駆動素子を使用しても良い。また、上記実施形態では、４種類の駆動信号ＣＯＭ１〜ＣＯＭ４を使用する場合を例示して説明したが、装置コストや駆動回路基板３０のサイズなどの設計条件に応じて、さらに複数種類の駆動信号を使用しても良い。

５…液滴吐出ヘッド、１１…制御装置（制御手段）、１３…吐出量測定装置、１６…シート部材（記録媒体）、１７…撮像装置、３０…駆動回路基板（制御手段）、３２…描画データメモリ（第１の記憶手段）、３４，３５…駆動波形メモリ（第２の記憶手段）、３６〜３９…Ｄ／Ａコンバータ（駆動信号生成手段）、４０…ＣＯＭ選択回路（駆動信号選択手段）、５０…スイッチング回路（供給切替手段）、ＧＰ…区画領域の配置間隔、ＩＪ…液滴吐出装置、Ｌ…液滴、Ｎ_１〜Ｎ_１８０…ノズル、Ｐ…カラーフィルタ基板、ＰＡ…パネル領域（吐出領域）、ＰＸ…区画領域、ＰＺ，ＰＺ_１〜ＰＺ_１８０…圧電素子（駆動素子）、Ｑ１〜Ｑ４…ノズルの吐出特性、ＳＩＡ…吐出データ、ＳＩＢ…ＣＯＭ選択データ（駆動信号選択データ）

Claims (10)

1. 液滴を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルに対応して設けられた複数の駆動素子とを有する液滴吐出ヘッドを備え、前記液滴吐出ヘッドを基板上の第１方向及び該第１方向と直交する第２方向にそれぞれ所定の移動間隔で主走査及び副走査しながら前記複数のノズルから所定のタイミングで液滴を吐出することにより、前記基板上の前記第１方向及び前記第２方向に所定の間隔で配置された複数の区画領域に対してそれぞれ液滴を吐出する液滴吐出装置であって、
   前記複数のノズルからの液滴の吐出動作を制御すると共に、予め測定された前記複数のノズルからの液滴の吐出量の分布に基づいて、各ノズルから吐出される液滴の吐出量が所定の適正量に近づくように前記複数の駆動素子の駆動波形を制御する制御手段と、を備え、
   前記液滴吐出ヘッドの前記第２方向への移動間隔は前記第1間隔の整数倍とされ、
   前記制御手段は、前記複数のノズルのうち１主走査毎に選択されうる特定のノズルについて予め測定された前記液滴の吐出量の分布に基づいて、前記特定のノズルから吐出される液滴の吐出量が前記所定の適正量に近づくように前記特定のノズルに対応する前記駆動素子の駆動波形を制御することを特徴とする液滴吐出装置。
2. 前記複数のノズルから液滴が吐出される記録媒体と、前記記録媒体上に吐出された前記液滴の画像を撮像する撮像装置と、を有する吐出量測定装置を備え、
   前記制御手段は、前記撮像装置によって撮像された液滴の画像を画像処理し、前記液滴の前記記録媒体上の着弾面積を求め、前記着弾面積に基づいて前記複数のノズルから吐出された液滴の吐出量の分布を求めることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
3. 前記記録媒体は、顔料をバインダーで結着させた多孔質のインク受容層を有する可撓性のシート部材であり、
   前記吐出量測定装置は、前記記録媒体を供給する供給リールと、前記供給リールから供給された前記記録媒体を巻き取る巻き取りリールと、を備えていることを特徴とする請求項２に記載の液滴吐出装置。
4. 前記制御手段は、前記駆動素子毎に複数種類の駆動信号の中から１つを選択して供給する駆動信号選択手段と、前記駆動素子と当該駆動素子に供給する駆動信号の種類との対応関係を示す駆動信号選択データを記憶する第１の記憶手段と、前記複数種類の駆動信号の波形データを記憶する第２の記憶手段と、前記第２の記憶手段から前記複数種類の駆動信号の波形データを取得し、当該波形データに基づいて前記複数種類の駆動信号を生成する駆動信号生成手段と、を備え、
   前記駆動信号選択手段は、前記第１の記憶手段に記憶されている前記駆動信号選択データに基づいて、各駆動素子に供給する駆動信号の種類を前記駆動信号生成手段が生成した駆動信号の中から選択することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の液滴吐出装置。
5. 前記第１の記憶手段は、前記駆動素子と当該駆動素子に駆動信号を供給するか否かを規定する情報との対応関係を示す吐出データを記憶し、
   前記吐出データに基づいて、前記駆動素子毎に、前記駆動信号選択手段によって選択した駆動信号の供給または非供給を切り替える供給切替手段を備えることを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出装置。
6. 前記駆動信号選択手段及び供給切替手段を前記液滴吐出ヘッドに設け、
   前記第１の記憶手段、前記第２の記憶手段及び前記駆動信号生成手段が設けられた駆動回路基板を備えることを特徴とする請求項５に記載の液滴吐出装置。
7. 前記駆動信号の種類は４種類であることを特徴とする請求項６に記載の液滴吐出装置。
8. 前記駆動素子は圧電素子であることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の液滴吐出装置。
9. 液滴を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルに対応して設けられた複数の駆動素子とを有する液滴吐出ヘッドを用い、前記液滴吐出ヘッドを基板上の第１方向及び該第１方向と直交する第２方向にそれぞれ所定の移動間隔で主走査及び副走査しながら前記複数のノズルから所定のタイミングで液滴を吐出することにより、前記基板上の前記第１方向及び前記第２方向に所定の間隔で配置された複数の区画領域に対してそれぞれ液滴を吐出する工程を含む薄膜形成方法であって、
   前記液滴吐出ヘッドの前記第２方向への移動間隔は前記第1間隔の整数倍とされ、
   前記区画領域に前記液滴を吐出する工程では、前記複数のノズルのうち１主走査毎に選択されうる特定のノズルについて予め測定された前記液滴の吐出量の分布に基づいて、前記特定のノズルから吐出される液滴の吐出量が前記所定の適正量に近づくように前記特定のノズルに対応する前記駆動素子の駆動波形を制御することを特徴とする薄膜形成方法。
10. 前記液滴の吐出量の分布は、前記液滴吐出ヘッドから記録媒体上に液滴を吐出し、前記記録媒体上に着弾した液滴の画像を撮像装置によって撮像し、前記撮像装置によって撮像された前記液滴の画像から前記記録媒体上の前記液滴の着弾面積を測定し、前記着弾面積に基づいて前記液滴の吐出量を算出することにより求められることを特徴とする請求項９に記載の薄膜形成方法。

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