JP2005172927A - 電気光学装置の製造方法、電気光学装置用基板の製造方法および電気光学装置用基板の製造装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 吐出する色素機能液の吐出量を均一に保つことによって、装置毎の表示特性の変動が少なく、同一表示画面内の表示特性の均一性を保つことができる電気光学装置の製造方法、電気光学装置用基板の製造方法および電気光学装置用基板の製造装置を実現する。
【解決手段】 カラーフィルタ基板を備えた液晶表示装置のカラーフィルタ１のフィルタエレメント３にフィルタエレメント材料を吐出する液滴吐出装置６０において、液滴を吐出する吐出ノズル１０１は、液体導入部１０７と、液体導入部１０７に連通する流路１０８と、流路１０８の吐出ノズル１０１の先端付近に形成されたオリフィス１０９と、オリフィス１０９によって流路１０８と分離して形成された計量室１１０とを有している電気光学装置用基板の製造方法である。
【選択図】 図８

Description

本発明は、液晶表示装置などの電気光学装置の製造方法に係り、特にその電気光学装置用基板の製造方法および電気光学装置用基板の製造装置に関する。

近年、携帯電話機などの電子機器の表示部に、液晶などの電気光学物質の電気光学的な変化を利用して表示を行う電気光学装置（例えば液晶表示装置）が広く用いられている。また、これらの電気光学装置は、フルカラー表示を行えるようになっているものが多くなっている。フルカラー表示は、液晶表示装置におけるカラーフィルターのフィルター層や、ＥＬ装置における蛍光層のような着色層を有する電気光学装置用基板を用いて着色光を発生することで実現されている。

電気光学装置用基板は、ガラスやプラスチックなどの透明材料で形成された基材（基板）上にドット状の複数種の着色層を配列して形成されている。この着色層のドットを形成する場合に、フォトリソグラフィー法を用いることは知られている。しかしながらこのフォトリソグラフィー法を用いる場合には、工程が複雑であることや、各着色層の材料やフォトレジストなどを多量に消費するためコストが高くなるなどといった問題があった。

この問題を解決するために、乾燥させることによって着色層を形成できる色素機能液の液滴をドット状に吐出することによって、ドット状配列の着色層を形成する方法が提案されている。

この種の吐出ヘッドとして、吐出ヘッドを急激に微小移動退避させ、そのときの吐出ヘッド内の液体に働く慣性力を利用して吐出口から液滴を吐出する慣性吐出ヘッドが知られている（特許文献１及び２参照）。
特開２００１−２２８１６２号公報 特開２００２−１８１８３９号公報

しかしながら、慣性吐出ヘッドの吐出量は、吐出口径や流路形状や微小移動特性などで決まるが、ヘッドによって機械的に定まる吐出口径や流路形状とは異なり、微小移動特性は駆動電圧波形などによって決まるため吐出１回の吐出量がばらつきやすいという問題があった。電気光学装置用基板においては、着色層の厚さによって発光する光の特性が変化するため、各電気光学装置用基板毎の着色層の厚さがばらつくと、各電気光学装置用基板毎に特性がばらつき目標とする表示特性が得られない可能性がある。また、同一電気光学装置用基板内の各着色層の厚さがばらつくと、同一表示画面内の表示特性の均一性が損なわれる可能性がある。着色層の厚さは基板上に吐出された色素機能液の量によって定まる。従って、着色層の厚さを決める色素機能液の吐出量の精度は、電気光学装置用基板や電気光学装置用基板を備えた電気光学装置の表示特性に影響を与える重要な要素である。

そこで、本発明は、吐出する色素機能液の吐出量を均一に保つことによって、装置毎の表示特性の変動が少なく、同一表示画面内の表示特性の均一性を保つことができる電気光学装置の製造方法、電気光学装置用基板の製造方法および電気光学装置用基板の製造装置を実現することを目的とする。

本発明の電気光学装置用基板の製造方法は、基板に色素機能液を吐出して複数の着色層を配列して成る電気光学装置用基板の製造方法であって、色素機能液を基板の上に吐出する吐出装置の吐出ノズルの先端に設けられた計量室に、色素機能液を充填する工程と、計量室に充填された色素機能液を基板の所定領域に吐出する工程とを有することを特徴とする。

また、本発明の電気光学装置用基板の製造装置は、基板に色素機能液を吐出して複数の着色層を配列して成る電気光学装置用基板の製造装置であって、色素機能液を電気光学装置用基板の基材上に吐出する吐出装置を備え、吐出装置は、色素機能液を吐出する吐出ノズルと、吐出ノズルの先端に形成された計量室と、計量室に充填された色素機能液を電気光学装置用基板の所定領域に吐出する吐出手段とを有することを特徴とする。

本発明の構成および方法によれば、色素機能液が計量室に充填され、充填された色素機能液が吐出されるため、精度良く計量された色素機能液が吐出され、吐出量が精度良く再現される。つまり、吐出ノズル先端に設けられた計量室に充填された量に見合った吐出量で色素機能液が吐出される。従って、吐出量のばらつきが抑制でき、均一な吐出量が実現できる。

本発明の電気光学装置用基板の製造方法は、基板に色素機能液を吐出して複数の着色層を配列して成る電気光学装置用基板の製造方法であって、色素機能液を基板の上に吐出する吐出装置に設けられた液粒形成部材の吐出口に色素機能液の液粒を形成する工程と、液粒形成部材から液粒を切離して、基板の所定領域に吐出する工程とを有することを特徴とする。

また、本発明の電気光学装置用基板の製造装置は、基板に色素機能液を吐出して複数の着色層を配列して成る電気光学装置用基板の製造装置であって、色素機能液を電気光学装置用基板の基材上に吐出する吐出装置を備え、吐出装置は、色素機能液の液粒を形成する液粒形成部材と、液粒形成部材に液粒を形成するために吐出装置内の色素機能液収容室内の色素機能液を加圧する加圧手段と、液粒形成部材に形成された色素機能液の液粒を切離して電気光学装置用基板の所定領域に吐出する吐出手段とを有することを特徴とする。

本発明の構成および方法によれば、一定量の液粒が形成されるため、吐出量が精度良く再現される。液粒は分離されやすい状態であるため、液粒が切り離されて吐出した際の液滴の容積は精度良く再現される。従って、吐出量のばらつきが抑制でき、均一な吐出量が実現できる。

この場合、電気光学装置用基板の製造方法であって、一回の吐出量を測定する工程と、測定した一回の吐出量から一つの所定領域に必要な吐出回数を計算する工程とを有するとともに、計算された必要な吐出回数に基づいて、請求項１または２に記載の各工程を繰返し、繰返し数によって一つの所定領域に必要な吐出量を制御することが好ましい。

この構成によれば、所定領域に色素機能液塗布するに当り、複数回に分けて吐出を行うこととし、１回の吐出量に応じてその吐出回数を決めることにより、吐出回数で所定吐出量（塗布量）を制御する。このため、所定吐出量の誤差は１回の吐出量の１／２以下になり、吐出回数を増やすことによって所定吐出量の精度を上げることができる。

この場合、電気光学装置用基板の製造方法であって、計量室は、吐出ノズルの吐出側端部に設けられてなり、計量室と色素機能液の流路との間にオリフィスが設けられてなることが好ましい。

この構成によれば、計量室に充填された色素機能液を分離させる際に、オリフィスが計量室に流入しようとする色素機能液の抵抗となるため、計量室内の色素機能液のみが吐出され、精度良く計量された色素機能液が吐出される。従って、吐出量の変動が抑制でき、均一な吐出量が実現できる。

この場合、電気光学装置用基板の製造方法であって、吐出装置は、複数の吐出ノズルまたは液粒形成部材を備え、複数の吐出ノズルまたは液粒形成部材から色素機能液を一度に吐出することが好ましい。

この構成によれば、多数の吐出ノズルまたは液粒形成部材を一時に使用できるため、広範囲に効率よく色素機能液を吐出することができる。

この場合、電気光学装置用基板の製造方法であって、吐出ノズルは交換可能であって、必要な吐出量に応じた容量の計量室を有する吐出ノズルを使用することが好ましい。

この構成によれば、吐出ノズルを交換するだけで計量室の容積を変更することができ、吐出される液滴の体積を容易に変更することができる。また、液粒形成部材を交換するだけで液粒形成能力を変更することができ、形成できる液粒の体積を容易に変更することができる。よって、電気光学装置用基板の着色層の面積に応じた適切な吐出量に容易に対応することができる。

本発明による電気光学装置の製造方法は、上記した電気光学装置用基板の製造方法を含むことを特徴とする。

この方法によれば、吐出する色素機能液の吐出量を均一に保つことによって、基板毎の表示特性の変動が少なく、同一表示画面内の表示特性の均一性を保つことができる電気光学装置用基板の製造方法を含むため、装置毎の表示特性の変動が少なく、同一表示画面内の表示特性の均一性を保つことができる電気光学装置が実現できる。

この場合、電気光学装置用基板の製造装置であって、吐出手段は、吐出ノズルまたは液粒形成部材に液粒を分離可能な加速度を付与する加速手段を備えたことが好ましい。

この構成によれば、計量された機能液を保持している吐出ノズルまたは液粒を形成し保持している液粒形成部材を急激に微小移動することによって、計量された機能液または液粒に作用する慣性力を利用して、吐出ノズルから計量された機能液を、液粒形成部材から液粒を、切り離して、液滴として吐出することができる。

この場合、電気光学装置用基板の製造装置であって、吐出ノズルが電気光学装置用基板の所定領域に対向するように、吐出ノズルまたは液粒形成部材と電気光学装置用基板の少なくとも一方を移動させる位置決め機構を備えたことが好ましい。

この構成によれば、吐出ノズルが電気光学装置用基板の所定領域に対向するように、吐出ノズルまたは液粒形成部材と電気光学装置用基板の少なくとも一方を移動させて、吐出ノズルまたは液粒形成部材が電気光学装置用基板の所定領域に対向する。従って、吐出ノズルまたは液粒形成部材から吐出される色素機能液滴を電気光学装置用基板の所定領域に確実に滴下することができる。

以下に、添付図面を参照して本発明に係る電気光学装置の製造方法、電気光学装置用基板の製造方法および電気光学装置用基板の製造装置の実施形態について詳細に説明する。以下に説明する実施形態は、電気光学装置の一種である液晶表示装置に関するものであるが、本発明は、液晶表示装置に限らず、エレクトロルミネッセンス装置、プラズマディスプレイ装置、フィールドエミッション表示装置などの各種の電気光学装置の製造装置及び製造方法に用いることができるものである。

（第１の実施形態）
最初に、本発明の製造装置及び製造方法を説明するのに先立って、それらの製造方法等によって製造される電気光学装置の一例である液晶表示装置の電気光学装置用基板であるカラーフィルタ基板の構成について説明する。図１（ａ）はカラーフィルタの一実施形態の平面構造を模式的に示している。また、図３（ｄ）は図１（ａ）のＡ−Ａ線に従った断面構造を示している。図２は、フィルタエレメントの配列パターンを示している。

本実施形態のカラーフィルタ１は、ガラス、プラスチック等によって形成された方形状の基板２の表面に複数のフィルタエレメント３をドットパターン状、本実施形態ではドットマトリクス状に形成し、さらに図３（ｄ）に示すように、その上に保護膜４を積層することによって形成されている。なお、図１（ａ）は保護膜４を取り除いた状態のカラーフィルタ１を平面的に示している。

フィルタエレメント３は、透光性のない樹脂材料によって格子状のパターンに形成された隔壁６によって区画されてドットマトリクス状に並んだ複数の方形状の領域を色材で埋めることによって形成される。また、これらのフィルタエレメント３は、それぞれが、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のうちのいずれか１色の色材によって形成され、それらの各色フィルタエレメント３が所定の配列に並べられている。この配列としては、例えば、図２（ａ）に示すストライプ配列、図２（ｂ）に示すモザイク配列、図２（ｃ）に示すデルタ配列等が知られている。

ストライプ配列は、マトリクスの縦列が全て同色になる配色である。モザイク配列は、縦横の直線上に並んだ任意の３つのフィルタエレメント３がＲ，Ｇ，Ｂの３色となる配色である。そして、デルタ配列は、フィルタエレメント３の配置を段違いにし、任意の隣接する３つのフィルタエレメント３がＲ，Ｇ，Ｂの３色となる配色である。

カラーフィルタ１の大きさは、例えば、１．８インチである。また、１個のフィルタエレメント３の大きさは、例えば、３０μｍ×１００μｍである。また、各フィルタエレメント３の間の間隔、いわゆるエレメント間ピッチは、例えば、７５μｍである。

本実施形態のカラーフィルタ１をフルカラー表示のための光学要素として用いる場合には、Ｒ，Ｇ，Ｂ３個のフィルタエレメント３を１つのユニットとして１つの画素を形成し、１画素内のＲ，Ｇ，Ｂのいずれか１つ又はそれらの組み合わせに光を選択的に通過させることにより、フルカラー表示を行う。このとき、透光性のない樹脂材料によって形成された隔壁６はブラックマトリクスとして作用する。

上記のカラーフィルタ１は、例えば、図１（ｂ）に示すような大面積のマザー基板１２から切り出される。具体的には、まず、マザー基板１２内に設定された複数のカラーフィルタ形成領域１１のそれぞれの表面にカラーフィルタ１の１個分のパターンを形成し、さらにそれらのカラーフィルタ形成領域１１の周りに切断用の溝を形成する。さらに、それらの溝に沿ってマザー基板１２を切断することにより、個々のカラーフィルタ１が形成される。

以下、図１（ａ）に示すカラーフィルタ１を製造する製造方法について説明する。図３はカラーフィルタ１の製造方法を工程順に模式的に示している。まず、マザー基板１２の表面に透光性のない樹脂材料によって隔壁６を矢印Ｂ方向から見て格子状パターンに形成する。格子状パターンの格子穴の部分はフィルタエレメント３が形成される領域、すなわちフィルタエレメント領域である。この隔壁６によって形成される個々のフィルタエレメント領域７の矢印Ｂ方向から見た場合の平面寸法は、例えば３０μｍ×１００μｍ程度に形成される。このフィルタエレメント領域７に、フィルタエレメント材料を溶媒で溶いた色素機能液であるフィルタエレメント材料液９を充填し、フィルタエレメント材料液９の溶媒を蒸発させて、フィルタエレメント３を形成する。

隔壁６は、フィルタエレメント領域７に供給されるフィルタエレメント材料液９の流動を阻止する機能及びブラックマトリクスの機能を併せて有する。また、隔壁６は任意のパターニング手法、例えばフォトリソグラフィー法によって形成され、さらに必要に応じてヒータによって加熱されて焼成される。

隔壁６の形成後、図３（ｂ）に示すように、フィルタエレメント材料液９の液滴８を各フィルタエレメント領域７に供給することにより、各フィルタエレメント領域７にフィルタエレメント材料液９を充填する。図３（ｂ）において、符号９ＲはＲ（赤）の色を有するフィルタエレメント材料液９を示し、符号９ＧはＧ（緑）の色を有するフィルタエレメント材料液９を示し、そして符号９ＢはＢ（青）の色を有するフィルタエレメント材料液９を示している。

各フィルタエレメント領域７に所定量のフィルタエレメント材料液９が充填されると、ヒータによってマザー基板１２を例えば７０℃程度に加熱して、フィルタエレメント材料液９の溶媒を蒸発させる。この蒸発により、図３（ｃ）に示すようにフィルタエレメント材料液９の体積が減少し、平坦化する。体積の減少が激しい場合には、カラーフィルタとして十分な膜厚が得られるまで、フィルタエレメント材料液９の液滴８の供給とその液滴の加熱とを繰り返して実行する。以上の処理により、最終的にフィルタエレメント材料の固形分のみが残留して膜化し、これにより、希望する各色フィルタエレメント３が形成される。

以上によりフィルタエレメント３が形成された後、それらのフィルタエレメント３を完全に乾燥させるために、所定の温度で所定時間の加熱処理を実行する。その後、例えば、スピンコート法、ロールコート法、ディッピング法、又はインクジェット法等といった適宜の手法を用いて保護膜４を形成する。この保護膜４は、フィルタエレメント３等の保護及びカラーフィルタ１の表面の平坦化のために形成される。

次に、電気光学装置用基板である上記したカラーフィルタ基板を備えた電気光学装置である液晶表示装置の構成及び製造方法について説明する。図４は、本発明に係る液晶表示装置の製造方法によって製造される液晶表示装置の一実施形態の分解斜視図であり、図５は、図４におけるＡ−Ａ線に従った液晶表示装置の断面の断面図である。また、図６は、本発明に係る液晶表示装置の製造方法の一実施形態のフローチャートである。

液晶表示装置の製造方法の説明に先立って、まず、その製造方法によって製造される液晶表示装置をその一例を挙げて説明する。なお、本実施形態の液晶表示装置は、単純マトリクス方式でフルカラー表示を行う半透過反射方式の液晶表示装置である。図４において、液晶表示装置２１は、液晶パネル２２に半導体チップとしての液晶駆動用ＩＣ２３ａ及び２３ｂを実装し、配線接続要素としてのＦＰＣ（Fleｘible Printed Circuit）２４を液晶パネル２２に接続し、さらに液晶パネル２２の裏面側に照明装置２６をバックライトとして設けることによって形成される。

液晶パネル２２は、第１基板２７ａと第２基板２７ｂとをシール材２８を介して貼り合わせることによって形成される。シール材２８は、例えば、スクリーン印刷等によってエポキシ系樹脂を第１基板２７ａ又は第２基板２７ｂの内側表面に環状に付着させることによって形成される。また、シール材２８の内部には、導電性材料によって球状又は円筒状に形成された導通材２９（図５参照）が分散状態で含まれる。

図４において、第１基板２７ａは透明なガラスや、透明なプラスチック等によって形成された板状の基材３１ａを有する。この基材３１ａの内側表面（図５の上側表面）には反射膜３２が形成され、その上に絶縁膜３３が積層され、その上に第１電極３４ａが矢印Ｄ方向から見てストライプ状（図４参照）に形成され、さらにその上に配向膜３６ａが形成される。また、基材３１ａの外側表面（図５の下側表面）には偏光板３７ａが貼着等によって装着される。

図４では第１電極３４ａの配列を分かり易く示すために、それらのストライプ間隔を実際よりも大幅に広く描いており、よって、第１電極３４ａの本数が少なく描かれているが、実際には、第１電極３４ａはより多数本が基材３１ａ上に形成される。

図５において、第２基板２７ｂは透明なガラスや、透明なプラスチック等によって形成された板状の基材３１ｂを有する。この基材３１ｂの内側表面（図５の下側表面）にはカラーフィルタ３８が形成され、その上に第２電極３４ｂが上記第１電極３４ａと直交する方向へ矢印Ｄ方向から見てストライプ状（図４参照）に形成され、さらにその上に配向膜３６ｂが形成される。また、基材３１ｂの外側表面（図５の上側表面）には偏光板３７ｂが貼着等によって装着される。

図４では、第２電極３４ｂの配列を分かりやすく示すために、第１電極３４ａの場合と同様に、それらのストライプ間隔を実際よりも大幅に広く描いており、よって、第２電極３４ｂの本数が少なく描かれているが、実際には、第２電極３４ｂはより多数本が基材３１ｂ上に形成される。

図５において、第１基板２７ａ、第２基板２７ｂ及びシール材２８によって囲まれる間隙、いわゆるセルギャップ内には液晶、例えばＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶Ｌが封入されている。第１基板２７ａ又は第２基板２７ｂの内側表面には微小で球形のスペーサ３９が多数分散され、これらのスペーサ３９がセルギャップ内に存在することによりそのセルギャップの厚さが均一に維持される。

第１電極３４ａと第２電極３４ｂとは互いに直交関係に配置され、それらの交差点は図５の矢印Ｄ方向から見てドット・マトリクス状に配列する。そして、そのドット・マトリクス状の各交差点が１つの絵素ピクセルを構成する。カラーフィルタ３８は、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各色要素を矢印Ｄ方向から見て所定のパターン、例えば、ストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列等のパターン（図２参照）で配列させることによって形成されている。上記の１つの絵素ピクセルはそれらＲ，Ｇ，Ｂの各１つずつに対応しており、そしてＲ，Ｇ，Ｂ３色の各１絵素ピクセルから成る３絵素ピクセルが１つのユニットになって１画素が構成される。

ドット・マトリクス状に配列される複数の絵素ピクセル、従って画素、を選択的に発光させることにより、液晶パネル２２の第２基板２７ｂの外側に文字、数字等といった像が表示される。このようにして像が表示される領域が有効画素領域であり、図４及び図５において矢印Ｖによって示される平面的な矩形領域が有効表示領域となっている。

図５において、反射膜３２はＡＰＣ合金、Ａｌ（アルミニウム）等といった光反射性材料によって形成され、第１電極３４ａと第２電極３４ｂとの交差点である各絵素ピクセルに対応する位置に開口４１が形成されている。結果的に、開口４１は図５の矢印Ｄ方向から見て、絵素ピクセルと同じドット・マトリクス状に配列されている。

第１電極３４ａ及び第２電極３４ｂは、例えば、透明導電材であるＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）によって形成される。また、配向膜３６ａ及び３６ｂは、ポリイミド系樹脂を一様な厚さの膜状に付着させることによって形成される。これらの配向膜３６ａ及び３６ｂがラビング処理を受けることにより、第１基板２７ａ及び第２基板２７ｂの表面上における液晶分子の初期配向が決定される。

図４において、第１基板２７ａは第２基板２７ｂよりも広い面積に形成されており、これらの基板をシール材２８によって貼り合わせたとき、第１基板２７ａは第２基板２７ｂの外側へ張り出す基板張出し部２７ｃを有する。そして、この基板張出し部２７ｃには、第１電極３４ａから延び出る引出し配線３４ｃ、シール材２８の内部に存在する導通材２９（図５参照）を介して第２基板２７ｂ上の第２電極３４ｂと導通する引出し配線３４ｄ、液晶駆動用ＩＣ２３ａの入力用バンプ、すなわち入力用端子に接続される金属配線３４ｅ、そして液晶駆動用ＩＣ２３ｂの入力用バンプに接続される金属配線３４ｆ等といった各種の配線が適切なパターンで形成される。

本実施形態では、第１電極３４ａから延びる引出し配線３４ｃ及び第２電極３４ｂに導通する引出し配線３４ｄはそれらの電極と同じ材料であるＩＴＯ、すなわち導電性酸化物によって形成される。また、液晶駆動用ＩＣ２３ａ及び２３ｂの入力側の配線である金属配線３４ｅ及び３４ｆは電気抵抗値の低い金属材料、例えばＡＰＣ合金によって形成される。ＡＰＣ合金は、主としてＡｇを含み、付随してＰｄ及びＣｕを含む合金、例えば、Ａｇ９８％、Ｐｄ１％、Ｃｕ１％から成る合金である。

液晶駆動用ＩＣ２３ａ及び液晶駆動用ＩＣ２３ｂは、ＡＣＦ（Anisotropic Conductive Film：異方性導電膜）４２によって基板張出し部２７ｃの表面に接着されて実装されている。すなわち、本実施形態では基板上に半導体チップが直接に実装される構造の、いわゆるＣＯＧ（Chip On Glass）方式の液晶パネルとして形成されている。このＣＯＧ方式の実装構造においては、ＡＣＦ４２の内部に含まれる導電粒子によって、液晶駆動用ＩＣ２３ａ及び２３ｂの入力側バンプと金属配線３４ｅ及び３４ｆとが導電接続され、液晶駆動用ＩＣ２３ａ及び２３ｂの出力側バンプと引出し配線３４ｃ及び３４ｄとが導電接続される。

図４において、ＦＰＣ２４は、可撓性の樹脂フィルム４３と、チップ部品４４を含んで構成された回路４６と、金属配線端子４７とを有する。回路４６は樹脂フィルム４３の表面に半田付けその他の導電接続手法によって直接に搭載される。また、金属配線端子４７はＡＰＣ合金、Ｃｒ、Ｃｕその他の導電材料によって形成される。ＦＰＣ２４のうち金属配線端子４７が形成された部分は、第１基板２７ａのうち金属配線３４ｅ及び金属配線３４ｆが形成された部分にＡＣＦ４２によって接続される。そして、ＡＣＦ４２の内部に含まれる導電粒子の働きにより、基板側の金属配線３４ｅ及び３４ｆとＦＰＣ側の金属配線端子４７とが導通する。

ＦＰＣ２４の反対側の辺端部には外部接続端子５１が形成され、この外部接続端子５１が図示しない外部回路に接続される。そして、この外部回路から伝送される信号に基づいて液晶駆動用ＩＣ２３ａ及び２３ｂが駆動され、第１電極３４ａ及び第２電極３４ｂの一方に走査信号が供給され、他方にデータ信号が供給される。これにより、有効表示領域Ｖ内に配列されたドット・マトリクス状の絵素ピクセルが個々のピクセルごとに電圧制御され、その結果、液晶Ｌの配向が個々の絵素ピクセルごとに制御される。

図４において、いわゆるバックライトとして機能する照明装置２６は、図５に示すように、アクリル樹脂等によって構成された導光体５２と、その導光体５２の光出射面５２ｂに設けられた拡散シート５３と、導光体５２の光出射面５２ｂの反対面に設けられた反射シート５４と、発光源としてのＬＥＤ（Light Emitting Diode）５６とを有する。

ＬＥＤ５６はＬＥＤ基板５７に支持され、そのＬＥＤ基板５７は、例えば導光体５２と一体に形成された支持部（図示せず）に装着される。ＬＥＤ基板５７が支持部の所定位置に装着されることにより、ＬＥＤ５６が導光体５２の側辺端面である光取込み面５２ａに対向する位置に置かれる。なお、符号５８は液晶パネル２２に加わる衝撃を緩衝するための緩衝材を示している。

ＬＥＤ５６が発光すると、その光は光取込み面５２ａから取り込まれて導光体５２の内部へ導かれ、反射シート５４や導光体５２の壁面で反射しながら伝播する間に光出射面５２ｂから拡散シート５３を通して外部へ平面光として出射する。

本実施形態の液晶表示装置２１は以上のように構成されているので、太陽光、室内光等といった外部光が十分に明るい場合には、図５において、第２基板２７ｂ側から外部光が液晶パネル２２の内部へ取り込まれ、その光が液晶Ｌを通過した後に反射膜３２で反射して再び液晶Ｌへ供給される。液晶Ｌはこれを挟持する第１電極３４ａ及び第２電極３４ｂによってＲ，Ｇ，Ｂの絵素ピクセルごとに配向制御されており、よって、液晶Ｌへ供給された光は絵素ピクセルごとに変調され、その変調によって偏光板３７ｂを通過する光と、通過できない光とによって液晶パネル２２の外部に文字、数字等といった像が表示される。これにより、反射型の表示が行われる。

他方、外部光の光量が十分に得られない場合には、ＬＥＤ５６が発光して導光体５２の光出射面５２ｂから平面光が出射され、その光が反射膜３２に形成された開口４１を通して液晶Ｌへ供給される。このとき、反射型の表示と同様にして、供給された光が配向制御される液晶Ｌによって絵素ピクセルごとに変調され、これにより、外部へ像が表示される。これにより、透過型の表示が行われる。

上記構成の液晶表示装置２１は、例えば、図６に示す製造方法によって製造される。この製造方法において、工程Ｐ１〜工程Ｐ６の一連の工程が第１基板２７ａを形成する工程であり、工程Ｐ１１〜工程Ｐ１４の一連の工程が第２基板２７ｂを形成する工程である。第１基板形成工程と第２基板形成工程は、通常、それぞれが独自に行われる。

まず、第１基板形成工程について説明する。透光性ガラス、透光性プラスチック等によって形成された大面積のマザー原料基材の表面に液晶パネル２２の複数個分の反射膜３２をフォトリソグラフィー法等を用いて形成し、さらにその上に絶縁膜３３を周知の成膜法を用いて形成する（工程Ｐ１）。次に、フォトリソグラフィー法等を用いて第１電極３４ａ及び引出し配線３４ｃ，３４ｄ，金属配線３４ｅ，３４ｆを形成する（工程Ｐ２）。

次に、第１電極３４ａの上に塗布、印刷等によって配向膜３６ａを形成し（工程Ｐ３）、さらにその配向膜３６ａに対してラビング処理を施すことにより液晶の初期配向を決定する（工程Ｐ４）。次に、例えばスクリーン印刷等によってシール材２８を環状に形成し（工程Ｐ５）、さらにその上に球状のスペーサ３９を分散する（工程Ｐ６）。以上により、液晶パネル２２の第１基板２７ａ上のパネルパターンを複数個分有する大面積のマザー第１基板が形成される。

以上の第１基板形成工程とは別に、第２基板形成工程（図６の工程Ｐ１１〜工程Ｐ１４）を実施する。まず、透光性ガラス、透光性プラスチック等によって形成された大面積のマザー原料基材を用意し、その表面に液晶パネル２２の複数個分のカラーフィルタ３８を形成する（工程Ｐ１１）。このカラーフィルタの形成工程は図３に示した製造方法を用いて行われ、その製造方法中のＲ，Ｇ，Ｂの各色フィルタエレメント３の形成は、後述するように図７に示した液滴吐出装置を用いて図１２に示した制御方法に従って実行される。

図３（ｄ）に示すようにマザー基板１２すなわちマザー原料基材の上にカラーフィルタ１すなわちカラーフィルタ３８が形成されると、次に、フォトリソグラフィー法によって第２電極３４ｂが形成される（工程Ｐ１２）。さらに塗布、印刷等によって配向膜３６ｂが形成され（工程Ｐ１３）、さらにその配向膜３６ｂに対してラビング処理が施されて液晶の初期配向が決められる（工程Ｐ１４）。以上により、液晶パネル２２の第２基板２７ｂ上のパネルパターンを複数個分有する大面積のマザー第２基板が形成される。

以上により大面積のマザー第１基板及びマザー第２基板が形成された後、それらのマザー基板をシール材２８を間に挟んでアライメント、すなわち位置合わせした上で互いに貼り合わせる（工程Ｐ２１）。これにより、液晶パネル複数個分のパネル部分を含んでいて未だ液晶が封入されていない状態の空のパネル構造体が形成される。

次に、完成した空のパネル構造体の所定位置にスクライブ溝、すなわち切断用溝を形成し、さらにそのスクライブ溝を基準にしてパネル構造体をブレイク、すなわち切断する（工程Ｐ２２）。これにより、各液晶パネル部分のシール材２８の液晶注入用開口３０（図４参照）が外部へ露出する状態の、いわゆる短冊状の空のパネル構造体が形成される。

その後、露出した液晶注入用開口３０を通して各液晶パネル部分の内部に液晶Ｌを注入し、さらに各液晶注入用開口３０を樹脂等によって封止する（工程Ｐ２３）。通常の液晶注入処理は、例えば、貯留容器の中に液晶を貯留し、その液晶が貯留された貯留容器と短冊状の空パネルをチャンバー等に入れ、そのチャンバー等を真空状態にしてからそのチャンバーの内部において液晶の中に短冊状の空パネルを浸漬し、その後、チャンバーを大気圧に開放することによって行われる。このとき、空パネルの内部は真空状態であるため、大気圧によって加圧される液晶が液晶注入用開口３０を通してパネルの内部へ導入される。液晶注入後の液晶パネル構造体のまわりには液晶が付着するので、液晶注入処理後の短冊状パネルは工程Ｐ２４において洗浄処理を受ける。

その後、液晶注入及び洗浄が終わった後の短冊状のマザーパネルに対して再び所定位置にスクライブ溝を形成し、さらにそのスクライブ溝を基準にして短冊状パネルを切断することにより、複数個の液晶パネルが個々に切り出される（工程Ｐ２５）。こうして作製された個々の液晶パネル２２に対して図４に示すように、液晶駆動用ＩＣ２３ａ，２３ｂを実装し、照明装置２６をバックライトとして装着し、さらにＦＰＣ２４を接続することにより、目標とする液晶表示装置２１が完成する（工程Ｐ２６）。

図７は、フィルタエレメント材料液の供給処理を行う液滴吐出装置の一実施形態の斜視図である。この液滴吐出装置６０はＲ，Ｇ，Ｂのうちの１色、例えばＲ色のフィルタエレメント材料液９Ｒを液滴８として、マザー基板１２（図１（ｂ）参照）内の各カラーフィルタ形成領域１１内の所定位置に吐出して付着させるための装置である。Ｇ色のフィルタエレメント材料液９Ｇ及びＢ色のフィルタエレメント材料液９Ｂのための液滴吐出装置もそれぞれに用意されるが、それらの構造は図７のものと同じにすることができるので、それらについての説明は省略する。

図７において、液滴吐出装置６０は、液滴吐出ヘッド６２を備えたヘッドユニット６６と、液滴吐出ヘッド６２の高さを制御するヘッド高さ制御装置６７と、マザー基板１２を載せるテーブル７９の位置を制御する基板位置制御装置６８と、液滴吐出ヘッド６２を主走査方向（Ｘ方向）に移動させる主走査駆動装置６９と、テーブル７９を副走査方向（Ｙ方向）に移動させる副走査駆動装置７１と、マザー基板１２を液滴吐出装置６０内の所定の作業位置へ供給する基板供給装置７３と、色素機能液を液滴吐出ヘッド６２に供給する機能液供給装置９９と、そして液滴吐出装置６０の全般の制御を司るコントロール装置７４とを有する。

ヘッド高さ制御装置６７、基板位置制御装置６８、主走査駆動装置６９、機能液供給装置９９、そして副走査駆動装置７１の各装置はベース６３の上に設置される。また、それらの各装置は必要に応じてカバー６４によって覆われる。

ヘッド高さ制御装置６７は、液滴吐出ヘッド６２を上下方向へ平行移動させるＺモータ６７ａを有する。基板位置制御装置６８は、マザー基板１２を載せるテーブル７９と、そのテーブル７９を矢印θのように面内回転させるθモータ８１とを有する。また、主走査駆動装置６９は、主走査方向へ延びるガイドレール８２と、パルス駆動されるリニアモータを内蔵したスライダ８３とを有する。スライダ８３は内蔵するリニアモータである主走査駆動用パルスモータ６９ａが作動するときにガイドレール８２に沿って主走査方向へ平行移動する。

また、副走査駆動装置７１は、副走査方向Ｙへ延びるガイドレール８４と、パルス駆動されるリニアモータを内蔵したスライダ８６とを有する。スライダ８６は内蔵するリニアモータである副走査駆動用パルスモータ７１ａが作動するときにガイドレール８４に沿って副走査方向Ｙへ平行移動する。

スライダ８３やスライダ８６内においてパルス駆動されるリニアモータである主走査駆動用パルスモータ６９ａ及び副走査駆動用パルスモータ７１ａは、該モータに供給するパルス信号によって出力軸の回転角度制御を精細に行うことができ、従って、スライダ８３に支持された液滴吐出ヘッド６２の主走査方向Ｘ上の位置やテーブル７９の副走査方向Ｙ上の位置等を高精細に制御できる。なお、液滴吐出ヘッド６２やテーブル７９の位置制御はパルスモータを用いた位置制御に限られず、サーボモータを用いたフィードバック制御や、その他任意の制御方法によって実現することもできる。

基板供給装置７３は、マザー基板１２を収容する基板収容部８７と、マザー基板１２を搬送するロボット８８とを有する。ロボット８８は、床、地面等といった設置面に置かれる基台８９と、基台８９に対して昇降移動する昇降軸９１と、昇降軸９１を中心として回転する第１アーム９２と、第１アーム９２に対して回転する第２アーム９３と、第２アーム９３の先端下面に設けられた吸着パッド９４とを有する。吸着パッド９４は空気吸引等によってマザー基板１２を吸着できる。

図７において、主走査駆動装置６９によって駆動されて主走査移動する液滴吐出ヘッド６２の軌跡下であって副走査駆動装置７１の一方の脇位置に、キャッピング装置９６及びクリーニング装置９７が配設される。また、他方の脇位置に電子天秤９８が配設される。さらに、電子天秤９８横のベース６３上に機能液供給装置９９が設置されている。クリーニング装置９７は液滴吐出ヘッド６２を洗浄するための装置である。電子天秤９８は液滴吐出ヘッド６２の後述する個々の液滴吐出ヘッド６２から吐出される色素機能液であるフィルタエレメント材料液９の液滴８の重量を吐出ノズル１０１（液滴吐出ヘッド６２）ごとに測定する機器である。そして、キャッピング装置９６は液滴吐出ヘッド６２が待機状態にあるときに吐出ノズル１０１の乾燥を防止するための装置である。さらに、機能液供給装置９９は、色素機能液を液滴吐出ヘッド６２に供給するための装置である。

液滴吐出ヘッド６２の近傍には、ヘッド用カメラ１１８が配設されており、そのヘッド用カメラ１１８と液滴吐出ヘッド６２とは一体に移動するようになっている。また、ベース６３上に設けた支持装置（図示せず）に支持された基板用カメラ１１９がマザー基板１２を撮影できる位置に配置される。

図８は、液滴吐出ヘッドの断面図であり、図９は機能液供給装置の構成と機能液供給装置と液滴吐出ヘッドの位置関係を示す模式図である。図８に示すように、ヘッドユニット６６はユニットプレート１０２に液滴吐出ヘッド６２が固定されている。図８では１本の液滴吐出ヘッド６２のみ示しているが、実際には、複数の液滴吐出ヘッド６２が並列して、ユニットプレート１０２に固定されてヘッドユニット６６を形成している。

液滴吐出ヘッド６２は、ユニットプレート１０２に液滴吐出ヘッド６２を固定するためのねじを有するヘッド基部１０３と、ヘッド基部１０３に固定されており、色素機能液を吐出する吐出手段である積層圧電素子１０４と、積層圧電素子１０４に対してヘッド基部１０３と反対から積層圧電素子１０４に固定されているノズル受け１０６と、ノズル受け１０６に着脱自在に取付けられた吐出ノズル１０１とで構成されている。本実施形態では、吐出ノズル１０１の上端（吐出口の反対側端）に雌ねじが形成されており、この雌ねじとノズル受け１０６に形成された雄ねじとで、吐出ノズル１０１はノズル受け１０６に着脱自在に取付けられている。

吐出ノズル１０１は、後述する給液管１１１に連結された液体導入部１０７と、液体導入部１０７に連通する流路（液室）１０８と、流路１０８の吐出ノズル１０１の先端付近に形成されたオリフィス１０９と、オリフィス１０９によって流路１０８と分離して形成された計量室１１０とを有している。計量室１１０の内側及び吐出ノズル１０１の先端には、色素機能液に対して撥液性を有する撥液層を設けてある。積層圧電素子１０４と吐出ノズル１０１との間に介在するノズル受け１０６は剛体として形成されているため、積層圧電素子１０４の変位により流路１０８の容積が変化することはなく、また積層圧電素子１０４の一端は、剛体として形成されているヘッド基部１０３を介してユニットプレート１０２に固定されているため、吐出ノズル１０１全体が積層圧電素子１０４の伸縮変位に伴い図８の上下方向に微小変位する。ユニットプレート１０２はヘッド高さ制御装置６７に取付けられており、さらにヘッド高さ制御装置６７が主走査駆動装置６９のスライダ８３に固定されていることで、液滴吐出ヘッド６２は主走査方向に移動することができる。

上述したように、機能液供給装置９９は、ベース６３上に設置されている（図７参照）。図９に示すように、機能液供給装置９９は、基部をベース６３（図９中図示省略）に固定したタンク昇降機構１１２と、タンク昇降機構１１２の昇降部の上面に固定されており、色素機能液を貯液する機能液タンク１１４と、タンク昇降機構１１２の昇降部を昇降移動させる液タンクモータ１１５と、機能液タンク１１４に貯液された色素機能液の液位を検出する液位センサ１１６，１１６と、機能液タンク１１４と液滴吐出ヘッド６２の液体導入部１０７とを接続する給液管１１１と、給液管１１１の中間に設けられており、給液管１１１内の色素機能液の流れを断続する電磁弁１１７とを有している。機能液タンク１１４には透明な素材で構成された液位窓１１４ａが形成されており、液位センサ１１６，１１６は、液位窓１１４ａを介して、機能液タンク１１４内に貯液された色素機能液の液位を検出する。

機能液タンク１１４内の色素機能液の表面の高さである液位と、吐出ノズル１０１の先端すなわち計量室１１０の開放端の高さとの高低差ａが水頭差である。知られているように、水頭差ａに対応する色素機能液の重量が、計量室１１０の開放端から色素機能液を放出するように作用する圧力（液体が水であれば水圧）となる。一方、計量室１１０の開放端の径は微小であり、色素機能液の表面張力が色素機能液を計量室１１０に保持するように作用する。色素機能液の表面張力に対して水頭差ａを適当な値に設定することによって、計量室１１０全体がちょうど色素機能液で満たされるようにすることができる。

水頭差を所定の値ａに保つために、液位センサ１１６が検出した液位が常に一定の位置に保たれるように、液位センサ１１６の検出値に基づいて液タンクモータ１１５を駆動させて、タンク昇降機構１１２を介して機能液タンク１１４を昇降させる。

次に、上記したような構成を有する液滴吐出装置６０を駆動するための電気的構成について説明する。図１０は、液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図である。図７に示したコントロール装置７４は、マイクロコンピュータ１２１を収容したコントローラ１２２と、入力装置としてのキーボード１２３と、表示装置としてのＣＲＴ（Cathode Ray Tube）ディスプレイ１２４とを有する。上記マイクロコンピュータ１２１は、図１０に示すように、演算処理を行うＣＰＵ（Central Processing Unit）１２５と、各種情報を記憶するメモリすなわち情報記憶媒体であるＲＡＭ１２６ａとＲＯＭ１２６ｂとを有している。

図７に示したヘッド高さ制御装置６７のＺモータ６７ａ、基板位置制御装置６８のθモータ８１、主走査駆動装置６９の主走査駆動用パルスモータ６９ａ、副走査駆動装置７１の副走査駆動用パルスモータ７１ａ、液滴吐出ヘッド６２内の積層圧電素子１０４（図８参照）、液タンクモータ１１５、そして、電磁弁１１７の各機器は、それぞれ、Ｚモータドライバ（ヘッド高さ制御装置モータドライバ）６７ｄ、θモータドライバ８１ｄ、主走査駆動用パルスモータドライバ６９ｄ、副走査駆動用パルスモータドライバ７１ｄ、ヘッドドライバ１０４ｄ、液タンクモータドライバ１１５ｄ、そして、励消磁駆動回路１１７ｄを介してＣＰＵ１２５に接続されている。また、液位センサ１１６、ヘッド用カメラ１１８、基板用カメラ１１９、基板供給装置７３、入力装置（キーボード１２３）、ＣＲＴ１２４、電子天秤９８、クリーニング装置９７及びキャッピング装置９６の各機器も入出力インターフェース（図示省略）を介してＣＰＵ１２５に接続されている。

メモリは、本実施例のＲＡＭ（Random Access Memory）、ＲＯＭ（Read Only Memory
）等といった半導体メモリや、ハードディスク、ＣＤ−ＲＯＭ読取り装置、ディスク型記憶媒体等といった外部記憶装置等を含む概念であり、機能的には、液滴吐出装置６０の動作の制御手順が記述されたプログラムソフトを記憶する記憶領域や、図２に示す各種のＲ，Ｇ，Ｂ配列を実現するためのＲ，Ｇ，Ｂのうちの１色のマザー基板１２（図１参照）内における吐出位置を座標データとして記憶するための記憶領域や、図７における副走査方向Ｙへのマザー基板１２の副走査移動量を記憶するための記憶領域や、ＣＰＵ１２５のためのワークエリアやテンポラリファイル等として機能する領域や、その他各種の記憶領域が設定される。

ＣＰＵ１２５は、ＲＯＭ１２６ｂ内に記憶されたプログラムソフトに従って、マザー基板１２に表面の所定位置に色素機能液、すなわちフィルタエレメント材料液９を吐出するための制御を行うものであり、具体的な機能実現部として、クリーニング処理を実現するための演算を行うクリーニング演算部と、キャッピング処理を実現するためのキャッピング演算部と、電子天秤７８（図７参照）を用いた重量測定を実現するための演算を行う重量測定演算部と、吐出ヘッドによってフィルタエレメント材料液９を吐出するための演算を行う吐出演算部とを有する。

吐出演算部を詳しく分割すれば、基板用カメラ１１９からの情報に基づき、マザー基板１２を姿勢制御する基材位置決め演算部と、ヘッド用カメラ１１８からの情報に基づき、液滴吐出ヘッド６２を吐出のための初期位置へセットするための吐出開始位置演算部と、液滴吐出ヘッド６２を主走査方向Ｘへ所定の速度で走査移動させるための制御を演算する主走査制御演算部と、マザー基板１２を副走査方向Ｙへ所定の副走査量だけずらせるための制御を演算する副走査制御演算部と、液位センサ１１６からの検出情報とＲＯＭ１２６ｂまたはＲＡＭ１２６ａに記憶された水頭差情報とを比較して液タンクモータ１１５を制御するための水頭差演算部と、そして、複数の液滴吐出ヘッド６２のうちのいずれを作動させて色素機能液すなわちフィルタエレメント材料液９を吐出するかを制御するための演算を行うノズル吐出制御演算部等といった各種の機能演算部を有する。

なお、本実施形態では、上記の各機能をＣＰＵ１２５を用いてソフト的に実現することにしたが、上記の各機能がＣＰＵを用いない単独の電子回路によって実現できる場合には、そのような電子回路を用いることも可能である。

以下、上記構成から成る液滴吐出装置６０の動作を説明する。最初に本実施形態の主要部である液滴吐出ヘッド６２の吐出動作について説明する。図１１は、積層圧電素子駆動電圧波形を示す図であり、図１２は液滴吐出ヘッドの吐出動作における状態の変化を示した断面図である。

図１１に示すように、積層圧電素子１０４に印加される電圧Ｅは、ｔ＜ｔ１のときにはＥ＝Ｅ０であり、ｔがｔ＝ｔ１からｔ＝ｔ２の間はＥ＝Ｅ０からＥ＝Ｅ１に除除に上昇し、ｔ＝ｔ２において電圧Ｅは瞬時にＥ１からＥ０に降下する。

図１２（ａ）のｔ＜ｔ１、電圧Ｅ＝Ｅ０のときの吐出ノズル１０１の先端の位置をＡとする。機能液タンク１１４の液位と吐出ノズル１０１の先端の位置Ａとの水頭差は所定のａになっており、計量室１１０全体がちょうど色素機能液で満たされている。図１２（ａ）と（ｂ）との中間のｔ１＜ｔ＜ｔ２において電圧Ｅの緩やかな上昇に伴い、液体吐出手段２０は図中下方向にゆっくりと変位し、図１２（ｂ）のｔ＝ｔ２直前では、積層圧電素子１０４は電圧Ｅ１に対応する変位が生じ、吐出ノズル１０１先端はＢの位置まで降下する。この後、ｔ＝ｔ２において電圧Ｅは瞬時にＥ１からＥ０に減少し、吐出ノズル１０１も電圧Ｅの減少に伴い急激に図中上方向に変位する。このとき、計量室１１０内のフィルタエレメント材料液９には、吐出ノズル１０１の移動方向と反対方向の見かけ上、図１２の下方向の慣性力が作用し、図１２（ｃ）のように、フィルタエレメント材料液９は計量室１１０から切離されて液滴となって吐出される。一方、流路１０８内のフィルタエレメント材料液９は、同様に見かけ上、図１２の下方向の慣性力が作用し図中下方向の流れが発生し、オリフィス１０９部で抵抗を受けながら計量室１１０に流れ込む。

この後、図１２（ｄ）のｔ＝ｔ３＞ｔ２において吐出ノズル１０１は初期の位置に戻る。吐出ノズル１０１の先端の位置がＡに戻り、機能液タンク１１４の液位と吐出ノズル１０１の先端との水頭差は所定のａになっており、計量室１１０全体がちょうど色素機能液で満たされる。

上述したように、液位センサ１１６が検出した液位が常に一定の位置に保たれるように、液位センサ１１６の検出値に基づいて液タンクモータ１１５を駆動させて、タンク昇降機構１１２を介して機能液タンク１１４を昇降させて、水頭差を所定の値ａに保つことができる。

一回の吐出動作で吐出される吐出量は、計量室１１０に満たされた色素機能液の量である。従って、吐出ノズル１０１の急激な変位によって、吐出量を規定する必要はなく、吐出ノズル１０１の急激な変位は、計量室１１０に満たされた色素機能液の切離しに必要な変位（加速）でよく、厳密な制御は必要としない。即ち、吐出ノズル１０１の変位（加速）は、オリフィス径と液体粘性、液体重量などを考慮して計量室１１０にほぼ一杯となる流量が得られる加速度にすればよい。もちろん、加速によって計量室１１０がほぼ一杯に満たなくても、水頭差ａに基づく圧力によりやがてほぼ一杯となる。

次に、液滴吐出装置６０の動作を説明する。図１３は、液滴吐出装置の動作を説明するフローチャートである。オペレータによる電源投入によって液滴吐出装置６０が作動すると、まず、ステップＳ１において初期設定が実行される。具体的には、ヘッドユニット６６や基板供給装置７３やコントロール装置７４等が予め決められた初期状態にセットされる。

次に、重量測定タイミングが到来すれば（ステップＳ２でＹＥＳ）、図７のヘッドユニット６６を主走査駆動装置６９によって図７の電子天秤９８の所まで移動させて（ステップＳ３）、吐出ノズル１０１から吐出される色素機能液滴の量を電子天秤９８を用いて測定する（ステップＳ４）。

重量測定タイミングが到来しない場合（ステップＳ２でＮＯ）、あるいはそれらの処理が終了した場合には、ステップＳ５において、図７の基板供給装置７３を作動させてマザー基板１２をテーブル７９へ供給する。具体的には、基板収容部８７内のマザー基板１２を吸着パッド９４によって吸引保持し、次に、昇降軸９１、第１アーム９２及び第２アーム９３を移動させてマザー基板１２をテーブル７９まで搬送し、さらにテーブル７９の適所に予め設けてある位置決めピン８０に押し付ける。なお、テーブル７９上におけるマザー基板１２の位置ズレを防止するため、空気吸引等の手段によってマザー基板１２をテーブル７９に固定することが望ましい。

次に、図７の基板用カメラ１１９によってマザー基板１２を観察しながら、図７のθモータ８１の出力軸を微小角度単位で回転させることによりテーブル７９を微小角度単位で面内回転させてマザー基板１２を位置決めする（ステップＳ６）。次に、図７のヘッド用カメラ１１８によってマザー基板１２を観察しながら液滴吐出ヘッド６２によって液滴吐出を開始する位置を演算によって決定し（ステップＳ７）、そして、主走査駆動装置６９及び副走査駆動装置７１を適宜に作動させて液滴吐出ヘッド６２を液滴吐出開始位置へ移動する（ステップＳ８）。

図１３のステップＳ８で液滴吐出ヘッド６２が液滴吐出開始位置に置かれると、図１３のステップＳ９で主走査方向Ｘへの主走査が開始され、同時に色素機能液の吐出が開始される。具体的には、図７の主走査駆動装置６９が作動し液滴吐出ヘッド６２が図１の主走査方向Ｘへ一定の速度で直線的に走査移動し、その移動中、インクを供給すべきフィルタエレメント領域７に対応する吐出ノズル１０１が到達したときにその吐出ノズル１０１から色素機能液すなわちフィルタエレメント材料液９が吐出される。

なお、このときのフィルタエレメント材料液９の吐出量は、フィルタエレメント領域７の容積全部を埋める量であってもよいし、その全量の数分の１であってもよい。本実施形態では、１回の吐出量は全量の１／４の量であり、ひとつのフィルタエレメント領域７に対して４回吐出して容積全部を埋めるようになっている。

液滴吐出ヘッド６２は、マザー基板１２に対する１ライン分の主走査が終了すると（ステップＳ１０でＹＥＳ）、反転移動して初期位置へ復帰する（ステップＳ１１）。そしてマザー基板１２を載置したテーブル７９が、副走査駆動装置７１によって駆動されて副走査方向Ｙへ予め決められた１副走査ピッチ分だけ移動する（ステップＳ１２）。１副走査ピッチは、吐出ノズル１０１が１本の場合は、フィルタエレメント領域７の１ピッチ分である。本実施形態では、ヘッドユニット６６は液滴吐出ヘッド６２（吐出ノズル１０１）を６４本備えており、１副走査ピッチは、フィルタエレメント領域７の６４ピッチ分である。なお、ヘッドユニット６６の液滴吐出ヘッド６２のピッチとフィルタエレメント領域７のピッチとが合致しないときは、ヘッドユニット６６を走査方向に対して傾けることによって、液滴吐出ヘッド６２の副走査方向のピッチを変えて、液滴吐出ヘッド６２のピッチとフィルタエレメント領域７のピッチとを合致させることができる。

初期位置へ復帰した液滴吐出ヘッド６２は、ステップＳ９で主走査移動及び色素機能液吐出を繰り返して実行する。これ以降、液滴吐出装置６０は、マザー基板１２の副走査移動を繰り返しながらヘッドユニット６６の液滴吐出ヘッド６２の主走査移動及び色素機能液吐出を繰り返し（ステップＳ９〜ステップＳ１２）、これにより、マザー基板１２のカラーフィルタ１列分の色素機能液吐出及び付着処理が完了する。

こうしてカラーフィルタ１列分の色素機能液吐出が完了すると、マザー基板１２は副走査駆動装置７１によって駆動されて、次列のカラーフィルタ列の初期位置が液滴吐出ヘッド６２の初期位置に合致するように搬送される（ステップＳ１５）。そして、当該列のカラーフィルタ列に対して主走査、副走査及び色素機能液吐出を繰り返してフィルタエレメント領域７内にフィルタエレメント３を形成する（ステップＳ９〜Ｓ１２）。

その後、マザー基板１２内の全てのカラーフィルタ列に関してＲ，Ｇ，Ｂの１色、例えばＲ１色のフィルタエレメント３が形成されると（ステップＳ１４でＹＥＳ）、ステップＳ１６でマザー基板１２を基板供給装置７３によって、又は別の搬送機器によって、処理後のマザー基板１２が外部へ排出される。その後、オペレータによって処理終了の指示がなされない限り（ステップＳ１７でＮＯ）、ステップＳ２へ戻って別のマザー基板１２に対するＲ１色に関する色素機能液吐着作業を繰り返して行う。

オペレータから作業終了の指示があると（ステップＳ１７でＹＥＳ）、ＣＰＵ１２５は作業を停止し、ヘッドユニット６６を待機位置に移動させる。本実施例では、図７においてヘッドユニット６６をキャッピング装置９６の所まで搬送して、そのキャッピング装置９６によってヘッドユニット６６に対してキャッピング処理を施す。

以上により、カラーフィルタを構成するＲ，Ｇ，Ｂ３色のうちの第１色、例えばＲ色についてのパターニングが終了した。その後、マザー基板１２をＲ，Ｇ，Ｂの第２色、例えばＧ色をフィルタエレメント材料とする液滴吐出装置６０へ搬送してＧ色のパターニングを行い、さらに最終的にＲ，Ｇ，Ｂの第３色、例えばＢ色をフィルタエレメント材料とする液滴吐出装置６０へ搬送してＢ色のパターニングを行う。これにより、ストライプ配列等といった希望のＲ，Ｇ，Ｂのドット配列を有するカラーフィルタ１（図１（ａ））が複数個形成されたマザー基板１２が製造される。このマザー基板１２をカラーフィルタ領域ごとに切断することにより、１個のカラーフィルタ１が複数個切り出される。

なお、本カラーフィルタ１を液晶装置のカラー表示のために用いるものとすれば、本カラーフィルタ１の表面にはさらに電極や配向膜等が積層されることになる。そのような場合、電極や配向膜等を積層する前にマザー基板１２を切断して個々のカラーフィルタ１を切り出してしまうと、その後の電極等の形成工程が非常に面倒になる。よって、そのような場合には、マザー基板１２上でカラーフィルタ１が完成した後に、直ぐにマザー基板１２を切断してしまうのではなく、電極形成や配向膜形成等といった必要な付加工程が終了した後にマザー基板１２を切断することが望ましい。

この第１の実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）色素機能液が計量室１１０に充填されるため、吐出量が精度良く再現される。
（２）計量室１１０は吐出ノズル１０１の先端に設けられており、計量室１１０に充填された色素機能液が吐出されやすい状態となるため、精度良く計量された色素機能液が吐出される。従って、吐出量の変動が抑制でき、均一な吐出量が実現できる。
（３）オリフィス１０９を設けて計量室１１０を形成したため、オリフィス１０９が流路から計量室１１０に流入しようとする色素機能液の抵抗として作用し、計量室内１１０の色素機能液のみが分離されて吐出され、精度良く計量された色素機能液が吐出される。従って、吐出量の変動が抑制でき、均一な吐出量が実現できる。
（４）ヘッドユニット６６は多数の液滴吐出ヘッド６２を備えているため、多数の吐出ノズル１０１を一時に使用でき、広範囲に効率よく色素機能液を吐出することができる。
（５）吐出ノズル１０１はノズル受け１０６にねじで着脱自在に固定されているため、吐出ノズル１０１を交換するだけで異なる容量の計量室１０１を有する液滴吐出ヘッド６２にすることができ、容易に設定吐出量を変更することができ、カラーフィルタの種類等ごとに異なる多種類の吐出量に容易に対応することができる。

（第２の実施形態）
次に、本発明の電気光学装置の製造方法、電気光学装置用基板の製造方法および電気光学装置用基板の製造装置に関る第２の実施形態について説明する。本実施形態の液滴吐出装置６０は、第１の実施形態の液滴吐出装置６０と同様であり、本実施形態において製造される電気光学装置の一例である液晶表示装置の電気光学装置用基板であるカラーフィルタ基板も第１の実施形態と同様である。第１の実施形態とは異なる、装置の動作について説明する。

図１４は、液滴吐出装置６０の動作を説明するフローチャートである。オペレータによる電源投入によって液滴吐出装置６０が作動すると、まず、ステップＳ２１において初期設定が実行される。具体的には、ヘッドユニット６６や基板供給装置７３、コントロール装置７４等が予め決められた初期状態にセットされる。

次に、重量測定タイミングが到来すれば（ステップＳ２２でＹＥＳ）、図７のヘッドユニット６６を主走査駆動装置６９によって図７の電子天秤９８の所まで移動させて（ステップＳ２３）、吐出ノズル１０１から吐出される色素機能液滴の量を電子天秤９８を用いて測定する（ステップＳ２４）。測定結果による１回の吐出量と、フィルタエレメント３一箇所当りに必要なフィルタエレメント材料液９とを比較し、フィルタエレメント３一箇所（フィルタエレメント領域７一箇所）当りの最も適当な吐出回数を計算する（ステップＳ２５）。

重量測定タイミングが到来しない場合（ステップＳ２２でＮＯ）、あるいはそれらの処理が終了した場合には、ステップＳ２６において、図７の基板供給装置７３を作動させてマザー基板１２をテーブル７９へ供給する。具体的には、基板収容部８７内のマザー基板１２を吸着パッド９４によって吸引保持し、次に、昇降軸９１、第１アーム９２及び第２アーム９３を移動させてマザー基板１２をテーブル７９まで搬送し、さらにテーブル７９の適所に予め設けてある位置決めピン（図示省略）に押し付ける。なお、テーブル７９上におけるマザー基板１２の位置ズレを防止するため、空気吸引等の手段によってマザー基板１２をテーブル７９に固定することが望ましい。

次に、図７の基板用カメラ１１９によってマザー基板１２を観察しながら、図７のθモータ８１の出力軸を微小角度単位で回転させることによりテーブル７９を微小角度単位で面内回転させてマザー基板１２を位置決めする（ステップＳ２７）。次に、図７のヘッド用カメラ１１８によってマザー基板１２を観察しながら液滴吐出ヘッド６２によって液滴吐出を開始する位置を演算によって決定し（ステップＳ２８）、そして、主走査駆動装置６９及び副走査駆動装置７１を適宜に作動させて液滴吐出ヘッド６２を液滴吐出開始位置へ移動する（ステップＳ２９）。

図１４のステップＳ２９で液滴吐出ヘッド６２が液滴吐出開始位置に置かれると、図１４のステップＳ３０で主走査方向Ｘへの主走査が開始され、同時に色素機能液の吐出が開始される。具体的には、図７の主走査駆動装置６９が作動し液滴吐出ヘッド６２が図１の主走査方向Ｘへ一定の速度で直線的に走査移動し、その移動中、インクを供給すべきフィルタエレメント領域７に対応する吐出ノズル１０１が到達したときにその吐出ノズル１０１から色素機能液すなわちフィルタエレメント材料液９が吐出される。

本実施形態におけるフィルタエレメント材料液９の１回の吐出量は、フィルタエレメント領域７の容積全部を複数回の吐出で埋める量である。本実施形態では、１回の吐出量は全量の１／５０に設定してあり、計量室１１０の形状精度誤差やその他の環境変動や経時変化などの誤差がない場合は、ひとつのフィルタエレメント領域７に対して５０回吐出して容積全部を埋めるようになっている。ステップＳ２４の１回の吐出重量測定結果に基づいて、ステップ２５で計算した吐出回数を吐出することによってより精度の高い吐出量を実現している。より具体的には、例えば１回の吐出量誤差が１回の所定吐出量に対して１／５０の１／２すなわち１／１００より若干大きい場合には、例えば吐出回数を４９回又は５１回にする。吐出回数の増減によって吐出量誤差を緩和し、フィルタエレメント領域７の全必要吐出量に対する誤差を１回の所定吐出量の１／２以下、本実施形態の場合ではフィルタエレメント領域７の全必要吐出量の１／１００以下にすることができる。

１回の主走査で全必要吐出量を吐出する場合は、１箇所のフィルタエレメント領域７ごとにステップＳ２５で計算された吐出回数を吐出する。１ヵ所の所定吐出回数の吐出が完了すると（ステップＳ３１でＹＥＳ）、主走査方向の次のフィルタエレメント領域７に移動して、ステップＳ３０を繰返す。

液滴吐出ヘッド６２は、マザー基板１２に対する１ライン分の主走査が終了すると（ステップＳ３２でＹＥＳ）、反転移動して初期位置へ復帰する（ステップＳ３３）。１回の主走査で全必要吐出量を吐出せず、複数回の主走査を行う場合は、１回の主走査での吐出回数と主走査回数から吐出回数を求め、所定吐出回数に満たない場合には（ステップＳ３４でＮＯ）ステップＳ３０，Ｓ３２，Ｓ３３を繰返す。所定吐出回数を満たした場合には（ステップＳ３４でＹＥＳ）ステップＳ３５に進む。

そしてマザー基板１２を載置したテーブル７９が、副走査駆動装置７１によって駆動されて副走査方向Ｙへ予め決められた１副走査ピッチ分だけ移動する（ステップＳ３５）。以降のステップＳ３６，Ｓ３７，Ｓ３８，Ｓ３９，Ｓ４０は、第１の実施形態におけるステップＳ１３，Ｓ１４，Ｓ１５，Ｓ１６，Ｓ１７（図１３参照）と同様であり、説明を省略する。

この第２の実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）多数回の吐出でフィルタエレメント領域７に必要な所定の吐出量を確保するように構成し、１回の吐出量を測定してその結果に基づいて、吐出回数で全吐出量を制御しているため、所定の吐出量の誤差を１回の吐出量の１／２以下にすることができ、所定吐出量の精度を上げることができる。
（２）吐出回数で全吐出量を制御しているため、吐出回数を増やすことによって、所定吐出量の精度をさらに高めることが容易に実現できる。

（第３の実施形態）
次に、本発明の製造方法及び製造装置の第３の実施形態について説明する。本実施形態は、第１及び第２の実施形態と同様の液滴吐出装置１６０を用いるが、液滴吐出ヘッド及びその周辺の構成が異なる。図１５は、フィルタエレメント材料液の液粒を形成する液滴吐出ヘッドを示す図である。図１５（ａ）は液滴吐出ヘッドを斜め下方からみた斜視図であり、図１５（ｂ）は液滴吐出ヘッドの内部構造図を示した図である。

液滴吐出ヘッド１５２は、ユニットプレート１６２に液滴吐出ヘッド１５２を固定するためのねじを有するヘッド基部１６３と、ヘッド基部１６３に固定されており、色素機能液を吐出する吐出手段である積層圧電素子１６４と、積層圧電素子１６４に対してヘッド基部１６３と反対から積層圧電素子１６４に固定されているヘッド体受け１６６と、ヘッド体受け１６６に取付けられたヘッド体１６７と、ヘッド体１６７に着脱可能に取付けられた液粒形成部材１５３とで構成されている。本実施形態では、ヘッド体１６７の上端（吐出口の反対側端）に雌ねじが形成されており、この雌ねじとヘッド体受け１６６に形成された雄ねじとで、ヘッド体１６７はヘッド体受け１６６に着脱自在に取付けられている。液粒形成部材１５３はねじでヘッド体１６７に着脱可能に取付けられている。ヘッド体１６７は、後述する給液管１７１に連結された液体導入部１５７と、液体導入部１５７に連通する流路（液室）１５９とを有している。

液滴吐出ヘッド１５２は、例えば４つの微少量の液粒１５８を同時に形成するように４つの液粒形成部材１５３が副走査方向（Ｙ）に１列に配列されている。４つの液粒形成部材１５３は、例えば、無痛針のような微小円筒形状をしており、円筒内部は共通の流路１５９に連通している。本実施形態では、図示の便宜上、逆三角錐の形状で説明する。液粒形成部材１５３の先端部１５４には色素機能液であるフィルタエレメント材料液９の液粒１５８を排出する微小な孔１５５を有している。液粒形成部材１５３の少なくとも先端部１５４は、フィルタエレメント材料液９に対して撥液性の高い材質で形成され、基板へ吐出する際に液粒１５８を分離しやすくしている。

積層圧電素子１６４とヘッド体１６７との間に介在するヘッド体受け１６６は剛体として形成されているため、積層圧電素子１６４の変位により流路１５９の容積が変化することはなく、また積層圧電素子１６４の一端は、剛体として形成されているヘッド基部１６３を介してユニットプレート１６２に固定されているため、液粒形成部材１５３及びヘッド体１６７全体が積層圧電素子１６４の伸縮変位に伴い図１５の上下方向に微小変位する。ユニットプレート１６２はヘッド高さ制御装置６７に取付けられており、さらにヘッド高さ制御装置６７が主走査駆動装置６９のスライダ８６に固定されていることで、液滴吐出ヘッド１５２は主走査方向に移動することができる。

図１６は機能液供給装置の構成と機能液供給装置と液滴吐出ヘッドの位置関係を示す模式図である。機能液供給装置１６９は、上述した機能液供給装置９９と同様にベース６３上に設置されている（図７参照）。図１６に示すように、機能液供給装置１６９は、基部をベース６３（図１６中図示省略）に固定したタンク台（図１６中図示省略）と、タンク台上面に固定されており、色素機能液を貯液するタンクシリンダ１７４と、タンクシリンダ１７４の内部に摺動自在に設けられ、タンクシリンダ１７４内部の色素機能液に圧力を加えるピストン１７２と、ピストン１７２が固定されたピストンロッド１７３と、ピストンロッド１７３を介してピストン１７２を昇降移動させてタンクシリンダ１７４内部の色素機能液に圧力を加える加圧アクチュエータ１７５と、タンクシリンダ１７４内部の色素機能液の圧力を測定する圧力センサ１７６とを有している。さらに、機能液供給装置１６９は、タンクシリンダ１７４とヘッド体受け１６６の液体導入部１５７とを接続する給液管１７１と、給液管１７１の中間に設けられており、給液管１７１内の色素機能液の流れを断続する電磁弁１７７とを有している。

タンクシリンダ１７４の側壁下端には、センサ孔１７８が設けられており、センサ孔１７８からセンサ管１７９を介して、タンクシリンダ１７４内の色素機能液にかかっている圧力が圧力センサ１７６に伝えられるようになっている。色素機能液にかかっている圧力圧力は圧力センサ１７６によって検出され、その検出値に基づいて色素機能液に印加する圧力を制御している。

加圧アクチュエータ１７５によって、ピストンロッド１７３を介してピストン１７２が押し下げられ、タンクシリンダ１７４内の色素機能液が加圧される。加えられた圧力は、給液管１７１と液体導入部１５７と流路１５９との内部の色素機能液を介して、液粒形成部材１５３内の色素機能液に伝わり、液粒形成部材１５３の先端部１５４の微小な孔１５５から色素機能液を押出し、先端部１５４にぶら下がるように色素機能液の液粒を形成する（図１５参照）。

液粒の体積は、加えられた圧力によって色素機能液が孔１５５から押出される力と、色素機能液の表面張力とがバランスする大きさになる。色素機能液の表面張力に対して加える圧力を適当な値に設定することによって、形成される液粒の体積が１回に吐出する液滴の体積となるようにすることができる。また、孔１５５の口径を変えることによって、粘度などが異なる様様な色素機能液に対応することができる。さらに、液粒を形成するのに要する時間は、加える圧力と扱われる色素機能液が同一であれば、孔１５５の口径によって定まる。

先端部１５４にぶら下がるように形成された色素機能液の液粒は、積層圧電素子１６４によって液滴吐出ヘッド１５２を急激に上方に微小変位させることによって、先端部１５４から切り離され、液滴となって被滴下対象物に滴下される。

次に、上記したような構成を有する液滴吐出装置１６０を駆動するための電気的構成について説明する。図１７は、液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図である。図１７に示したコントロール装置１８１は、図７に示したコントロール装置７４とは、機能液供給装置の制御に係る部分のみが異なる。

図１６に示した加圧アクチュエータ１７５は、加圧アクチュエータドライバ１７５ｄを介してＣＰＵ１２５に接続されている。また、圧力センサ１７６は、入出力インターフェース（図示省略）を介してＣＰＵ１２５に接続されている。その他の電気的構成は、図１７に示したように、図１０に示した液滴吐出装置６０を駆動するための電気的構成と同様である。

以下、上記構成から成る液滴吐出装置１６０の動作を説明する。最初に本実施形態の主要部である液滴吐出ヘッド１５２の吐出動作について説明する。図１８は、吐出動作を示したタイムチャート図である。図１８（ａ）は、フィルタエレメント材料液９を加圧する加圧力と加圧時間との関係を示した図であり、図１８（ｂ）は液粒形成部材１５３の先端の高さと主走査方向の位置との関係を示した図であり、（ａ）、（ｂ）それぞれを対応させたタイムチャート図である。

最初に、タンクシリンダ１７４内に収納されたフィルタエレメント材料液９は、ピストン１７２を介して所定時間（加圧時間）（ｔ０）加圧され、液粒形成部材１５３内に収納されたフィルタエレメント材料液９も同様に加圧される。液粒形成部材１５３の孔１５５からフィルタエレメント材料液９が押出されて、先端部１５４にはフィルタエレメント材料液９の所定量の液粒１５８が形成され、保持される。この間に、液滴吐出ヘッド１５２は液滴吐出位置まで主走査方向に移動する。加圧時間の制御は、加圧アクチュエータ１７５の作動時間で制御してもよいし、加圧アクチュエータ１７５の加圧は常時行い、電磁弁１７７を開閉することによって、液粒形成部材１５３内のフィルタエレメント材料液９に伝わる圧力を断続してもよい。

所定時間（加圧時間）（ｔ０）の間に、積層圧電素子１６４に印加される電圧Ｅは、Ｅ＝Ｅ０からＥ＝Ｅ１に徐々に上昇し、所定時間（加圧時間）（ｔ０）後、電圧Ｅは瞬時にＥ１からＥ０に降下する。（図１１参照）

液滴吐出ヘッド１５２（液粒形成部材１５３）も、電圧の上昇に伴い高さ位置Ａから除除に下降して高さＢに至り、電圧の瞬時の減少に伴い急激に図１５（ｂ）の上方向に変位する。このとき、先端部１５４に形成された液粒１５８には、液滴吐出ヘッド１５２の移動方向と反対方向の見かけ上、図１５の下方向の慣性力が作用し、液粒１５８は液粒形成部材１５３から切離されて液滴となって吐出（滴下）される。液滴吐出ヘッド１５２（液粒形成部材１５３）は元の高さ位置Ａに復帰する。以降、同様の吐出（切離し）動作を繰り返して行う。

次に、液滴吐出装置１６０の動作を説明する。図１９は、液滴吐出装置の動作を説明するフローチャートである。オペレータによる電源投入によって液滴吐出装置１６０が作動すると、まず、ステップＳ５１において初期設定が実行される。具体的には、ヘッドユニット１５１や基板供給装置７３、コントロール装置１８１等が予め決められた初期状態にセットされる。

次に、重量測定タイミングが到来すれば（ステップＳ５２でＹＥＳ）、ヘッドユニット１５１を主走査駆動装置６９によって図７の電子天秤９８の所まで移動させて（ステップＳ５３）、液粒形成部材１５３から吐出されるフィルタエレメント材料液９の量を電子天秤９８を用いて測定する（ステップＳ５４）。測定結果による１回の吐出量と、フィルタエレメント３一箇所当りに必要なフィルタエレメント材料液９の液量とを比較し、フィルタエレメント材料液９に印加すべき最も適当な加圧量（加圧力と加圧時間との積）を計算する（ステップＳ５５）。本実施例では、加圧時間は一定に定めておき、加圧圧力の最適値を計算する方法としている。この場合、加圧圧力を一定に定めておき、加圧時間の最適値を計算する方法としてもよい。

重量測定タイミングが到来しない場合（ステップＳ５２でＮＯ）、あるいはそれらの処理が終了した場合には、ステップＳ５６において、図７の基板供給装置７３を作動させてマザー基板１２をテーブル７９へ供給する。以降のステップＳ５６，Ｓ５７，Ｓ５８，Ｓ５９は、第１の実施形態におけるステップＳ５，Ｓ６，Ｓ７，Ｓ８（図１３参照）と同様であり、説明を省略する。

ステップＳ６０では、微少量の液粒１５８を形成するために、ステップＳ５５で決定した加圧圧力でフィルタエレメント材料液９をｔ０時間加圧する。そして液粒形成部材１５３の先端部１５４に微少量の液粒１５８を形成し保持する（図１５参照）。同時に、主走査駆動装置６９によってヘッドユニット１５１を主走査方向に移動し、液滴吐出ヘッド１５２を液滴吐出位置まで移動する。

ステップＳ６１では、積層圧電素子１６４によって液滴吐出ヘッド１５２を急激に微小移動させ、先端部１５４に形成された液粒１５８を切離して、液滴として吐出（滴下）させる。以降のステップＳ６２，Ｓ６３，Ｓ６４，Ｓ６５，Ｓ６６，Ｓ６７，Ｓ６８，Ｓ６９は、第１の実施形態におけるステップＳ１０，Ｓ１１，Ｓ１２，Ｓ１３，Ｓ１４，Ｓ１５，Ｓ１６，Ｓ１７（図１３参照）と同様であり、説明を省略する。

以上により、カラーフィルタを構成するＲ，Ｇ，Ｂ３色のうちの第１色、例えばＲ色についてのパターニングが終了する。その後の各工程は、第１の実施形態と同様である。

この第３の実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）色素機能液であるフィルタエレメント材料液９が液粒１５８として一定量に計量されるため、吐出量が精度良く再現される。
（２）液粒１５８は液粒形成部材１５３の先端形成されており、切離されやすい状態となるため、精度良く計量されたフィルタエレメント材料液９が吐出される。従って、吐出量の変動が抑制でき、均一な吐出量が実現できる。
（３）ヘッドユニット１５１は多数の液粒形成部材１５３を備えているため、多数の液粒形成部材１５３を一時に使用でき、広範囲に効率よくフィルタエレメント材料液９を吐出することができる。
（４）多数の液粒形成部材１５３は、単一のヘッド体１６７に取付けられており、多数の液粒形成部材１５３内のフィルタエレメント材料液９に同一の圧力を印加することができるため、各液粒形成部材１５３間の液粒の大きさ即ち吐出量のばらつきを抑制することができ、広範囲に均一にフィルタエレメント材料液９を吐出することができる。
（５）液粒形成部材１５３はヘッド体１６７にねじで着脱自在に固定されているため、液粒形成部材１５３を交換するだけで異なる穴径の孔１５５を有する液滴吐出ヘッド１５２にすることができ、カラーフィルタの種類等ごとに異なる多種類の吐出量に容易に対応することができる。粘性などの特性が異なる多種類の色素機能液にも対応できる。
（６）液粒１５８の大きさは、加圧量（加圧力と加圧時間との積）を制御することで制御できるため、液粒形成部材１５３を交換することなく、同一の液粒形成部材１５３を使用して、異なる多種類の吐出量に容易に対応することができる。

（第４の実施形態）
次に、本発明の電気光学装置の製造方法の第４の実施形態について説明する。本実施形態は、第１，第２，第３の実施形態の製造対象であった液晶表示装置のカラーフィルタと異なる、ＥＬ（Electro Luminescence）装置の製造方法の一実施形態である。

図２０は、本発明に係るＥＬ装置の製造方法の一実施形態を示している。また、図２１はその製造方法の主要工程及び最終的に得られるＥＬ装置の主要断面構造を示している。図２１（ｄ）に示すように、ＥＬ装置２０１は、透明基板２０４上に画素電極２０２を形成し、各画素電極２０２の間にバンク２０５を矢印Ｇ方向から見て格子状に形成し、それらの格子状凹部の中に正孔注入層２２０を形成し、矢印Ｇ方向から見てストライプ配列等といった所定配列となるようにＲ色発光層２０３Ｒ、Ｇ色発光層２０３Ｇ及びＢ色発光層２０３Ｂを各格子状凹部の中に形成し、さらにそれらの上に対向電極２１３を形成することによって形成される。

上記画素電極２０２をＴＦＤ（Thin Film Diode：薄膜ダイオード）素子等といった２端子型のアクティブ素子によって駆動する場合には、上記対向電極２１３は矢印Ｇ方向から見てストライプ状に形成される。また、画素電極２０２をＴＦＴ（Thin Film Transistor：薄膜トランジスタ）等といった３端子型のアクティブ素子によって駆動する場合には、上記対向電極２１３は単一な面電極として形成される。

各画素電極２０２と各対向電極２１３とによって挟まれる領域が１つの絵素ピクセルとなり、Ｒ，Ｇ，Ｂ３色の絵素ピクセルが１つのユニットとなって１つの画素を形成する。各絵素ピクセルを流れる電流を制御することにより、複数の絵素ピクセルのうちの希望するものを選択的に発光させ、これにより、矢印Ｈ方向に希望するフルカラー像を表示することができる。

上記ＥＬ装置２０１は、例えば、図２０に示す製造方法によって製造される。すなわち、工程Ｐ５１及び図２１（a）のように、透明基板２０４の表面にＴＦＤ素子やＴＦＴ素子等といった能動素子を形成し、さらに画素電極２０２を形成する。形成方法としては、例えば、フォトリソグラフィー法、真空蒸着法、スパッタリング法、パイロゾル法等を用いることができる。画素電極の材料としてはＩＴＯ（Indium Tin Oｘide）、酸化スズ、酸化インジウムと酸化亜鉛との複合酸化物等を用いることができる。

次に、工程Ｐ５２及び図２１（a）に示すように、隔壁すなわちバンク２０５を周知のパターニング手法、例えばフォトリソグラフィー法を用いて形成し、このバンク２０５によって各透明電極２０２の間を埋める。これにより、コントラストの向上、発光材料の混色の防止、画素と画素との間からの光漏れ等を防止することができる。バンク２０５の材料としては、ＥＬ材料の溶媒に対して耐久性を有するものであれば特に限定されないが、フロロカーボンガスプラズマ処理によりフッ素処理できること、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、感光性ポリイミド等といった有機材料が好ましい。

次に、正孔注入層用インクを塗布する直前に、基板２０４に酸素ガスとフロロカーボンガスプラズマの連続プラズマ処理を行う（工程Ｐ５３）。これにより、ポリイミド表面は撥水化され、ＩＴＯ表面は親水化され、色素機能液滴を微細にパターニングするための基板側の濡れ性の制御ができる。プラズマを発生する装置としては、真空中でプラズマを発生する装置でも、大気中でプラズマを発生する装置でも同様に用いることができる。

次に、工程Ｐ５４及び図２１（ａ）に示すように、正孔注入層用機能液を図７の液滴吐出装置６０の液滴吐出ヘッド６２又は液滴吐出装置１６０の液滴吐出ヘッド１５２から吐出し、各画素電極２０２の上にパターニング塗布を行った。具体的な液滴吐出装置６０又は液滴吐出装置１６０の制御方法は図１３、図１４、又は図１９に示した方法を用いる。その塗布後、真空（１ｔｏｒｒ）中、室温、２０分という条件で溶媒を除去し（工程Ｐ５５）、その後、大気中、２０℃（ホットプレート上）、１０分の熱処理により、発光層用機能液と相溶しない正孔注入層２２０を形成する（工程Ｐ５６）。膜厚は４０ｎｍである。

次に、工程Ｐ５７及び図２１（ｂ）に示すように、各フィルタエレメント領域内の正孔注入層２２０の上に液滴吐出手法を用いてＲ発光層用機能液及びＧ発光層用機能液を塗布する。ここでも、各発光層用機能液は、図７の液滴吐出装置６０，又は液滴吐出装置１６０の液滴吐出ヘッド６２，又は液滴吐出ヘッド１５２から吐出し、さらに液滴吐出装置６０又は液滴吐出装置１６０の制御方法は図１３、図１４、又は図１９に示した方法に従う。液滴吐出方式によれば、微細なパターニングを簡便に且つ短時間に行うことができる。また、色素機能液の組成物の固形分濃度及び吐出量を変えることにより膜厚を変えることが可能である。

発光層用機能液の塗布後、真空（１ｔｏｒｒ）中、室温、２０分等という条件で溶媒を除去し（工程Ｐ５８）、続けて窒素雰囲気中、１５０℃、４時間の熱処理により共役化させてＲ色発光層２０３Ｒ及びＧ色発光層２０３Ｇを形成する（工程Ｐ５９）。膜厚は５０ｎｍである。熱処理により共役化した発光層は溶媒に不溶である。

なお、発光層を形成する前に正孔注入層２２０に酸素ガスとフロロカーボンガスプラズマの連続プラズマ処理を行っても良い。これにより、正孔注入層２２０上にフッ素化物層が形成され、イオン化ポテンシャルが高くなることにより正孔注入効率が増し、発光効率の高い有機ＥＬ装置を提供できる。

次に、工程Ｐ６０及び図２１（ｃ）に示すように、Ｂ色発光層２０３Ｂを各絵素ピクセル内のＲ色発光層２０３Ｒ、Ｇ色発光層２０３Ｇ及び正孔注入層２２０の上に重ねて形成する。これにより、Ｒ，Ｇ，Ｂの３原色を形成するのみならず、Ｒ色発光層２０３Ｒ及びＧ色発光層２０３Ｇとバンク２０５との段差を埋めて平坦化することができる。これにより、上下電極間のショートを確実に防ぐことができる。Ｂ色発光層２０３Ｂの膜厚を調整することで、Ｂ色発光層２０３ＢはＲ色発光層２０３Ｒ及びＧ色発光層２０３Ｇとの積層構造において、電子注入輸送層として作用してＢ色には発光しない。

以上のようなＢ色発光層２０３Ｂの形成方法としては、例えば湿式法として一般的なスピンコート法を採用することもできるし、あるいは、Ｒ色発光層２０３Ｒ及びＧ色発光層２０３Ｇの形成法と同様の液滴吐出法を採用することもできる。

その後、工程Ｐ６１及び図２１（ｄ）に示すように、対向電極２１３を形成することにより、目標とするＥＬ装置２０１を製造した。対向電極２１３はそれが面電極である場合には、例えば、Ｍｇ，Ａｇ，Ａｌ，Ｌｉ等を材料として、蒸着法、スパッタ法等といった成膜法を用いて形成できる。また、対向電極２１３がストライプ状電極である場合には、成膜された電極層をフォトリソグラフィー法等といったパターニング手法を用いて形成できる。

この第４の実施形態によれば、ＥＬ装置の製造にあたって、上記した第１，第２，第３の実施形態と同様の効果が得られる。

本発明の実施形態は、前記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論であり、以下のように実施することもできる。
（変形例１）第１及び第２の実施形態においては、色素機能液を貯液する機能液タンク内の色素機能液の表面の高さである液位と、吐出ノズルの先端すなわち計量室の開放端の高さと水頭差で、計量室への色素機能液の充填を行っているが、加圧装置を設けて色素機能液に圧力をかけ、それによって計量室に色素機能液を充填してもよい。

（変形例２）加圧装置を設けて色素機能液に圧力をかけ、それによって計量室に色素機能液を充填する場合、圧力を計量室が色素機能液で一杯になって均衡する圧力としてもよい。

（変形例３）加圧装置を設けて色素機能液に圧力をかけ、それによって計量室に色素機能液を充填する場合、圧力を色素機能液が計量室から押出されるような圧力として、給液管に設けた電磁弁で流路を断続することによって、計量室が色素機能液で一杯になる時間だけ、吐出ヘッド内の色素機能液に圧力がかかるようようにしてもよい。

（変形例４）加圧装置を設けて色素機能液に圧力をかけ、それによって計量室に色素機能液を充填する場合、圧力を色素機能液が計量室から押出されるような圧力として、加圧装置の作動を制御して、計量室が色素機能液で一杯になる時間だけ加圧するようにしてもよい。

（変形例５）加圧装置を設けて色素機能液に圧力をかけ、それによって計量室に色素機能液を充填する場合、圧力を色素機能液が計量室から押出されるような圧力として、加圧装置による加圧は連続して加圧し、１回の所定吐出量がオリフィスを通過する時間ごとに吐出動作を行って、オリフィスを通過して計量室に充填された色素機能液を吐出することによって、吐出量を制御してもよい。この場合は、吐出動作の時間間隔が１回の所定吐出量がオリフィスを通過する時間で定まるため、吐出動作が行われる時点には、吐出ヘッドが対象の被吐出領域に対向する位置に移動しているように、主（副）走査駆動装置を制御する。

（変形例６）主走査駆動装置による次の被吐出領域への吐出ヘッドの移動は、次の吐出動作までに完了していればよいが、１回の所定吐出量が計量されて吐出可能状態となる時間に、吐出ヘッドが次の被吐出領域移動に移動する時間をあわせて、主走査駆動は連続して行い、吐出タイミングの制御によって、吐出位置を制御してもよい。

（変形例７）１箇所の被吐出領域に対して、複数回の吐出を行って１箇所の被吐出領域に必要な液量を吐出する場合には、それぞれの吐出動作ごとに吐出ヘッドの位置を変えてもよい。このようにすることによって、１箇所の被吐出領域全面により均等に色素機能液を吐出することができる。

（変形例８）第３の実施形態においては、加圧装置を設けて色素機能液に圧力をかけ、液粒形成部材での色素機能液粒の形成を行っているが、色素機能液を貯液する機能液タンク内の色素機能液の表面の高さである液位と、液粒形成部材の先端すなわち液粒形成位置の高さとの水頭差を一定に保ち、それによって色素機能液粒の形成を行ってもよい。

（変形例９）上記した実施形態における液滴吐出装置は、吐出ヘッドの移動が主走査方向の移動であり、基板の移動が副走査方向の移動であったが、基板の移動が主走査方向の移動であり、吐出ヘッドの移動が副走査方向の移動であってもよい。移動速度が作業速度に及ぼす影響が大きい主走査側に、移動体がより軽い方を選ぶことなどにより、作業の効率化ができる。

（変形例１０）上記した実施形態における液滴吐出装置では、計量されて保持されている色素機能液を吐出（切離す）ための加速手段として積層圧電素子を用いているが、加速手段は積層圧電素子に限らず、色素機能液を切離すことができる加速度を付与できるものであればよい。例えば、回転駆動源とカムとを組合わせた加振機構のようなものであってもよい。

（変形例１１）上記した実施形態において製造される液晶表示装置は、単純マトリクス方式でフルカラー表示を行う半透過反射方式の液晶表示装置であるが、製造される液晶表示装置はスイッチング素子であるＴＦＤやＴＦＴを用いたアクティブマトリクス方式の液晶表示装置であってもよい。また、透過方式や反射方式の液晶表示装置であってもよい。

上記した実施の形態および変形例から把握される技術的思想を以下に記載する。
（技術的思想１） 基板にカラーフィルタ材料溶液を吐出して複数のカラーフィルタ層を配列して成るカラーフィルタの製造方法であって、前記カラーフィルタ材料溶液を前記基板の上に吐出する吐出装置に充填された前記カラーフィルタ材料溶液から１回の吐出量に相当する前記カラーフィルタ材料溶液を計量するとともに計量された前記カラーフィルタ材料溶液を分離可能状態に保持する工程と、前記吐出装置に分離可能状態に保持された前記カラーフィルタ材料溶液を分離して前記基板の所定領域に吐出する工程とを有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。

（技術的思想２） 基板にカラーフィルタ材料溶液を吐出して複数のカラーフィルタ層を配列して成るカラーフィルタの製造方法であって、前記カラーフィルタ材料溶液を前記基板の上に吐出する吐出装置の吐出ノズルの先端に設けられた計量室に、前記カラーフィルタ材料溶液を充填する工程と、前記計量室に充填された前記カラーフィルタ材料溶液を前記基板の所定領域に吐出する工程とを有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。

（技術的思想３） 基板にカラーフィルタ材料溶液を吐出して複数のカラーフィルタ層を配列して成るカラーフィルタの製造方法であって、前記カラーフィルタ材料溶液を前記基板の上に吐出する吐出装置の吐出ノズルの先端に設けられた計量室に、前記カラーフィルタ材料溶液を充填する充填工程と、前記計量室に充填された前記カラーフィルタ材料溶液を前記基板の所定領域に吐出する吐出工程とを有し、一回の吐出量を測定する工程と、測定した一回の吐出量から一つの所定領域に必要な吐出回数を計算する工程とをさらに有するとともに、前記必要な吐出回数に基づいて、前記充填工程と前記吐出工程とを繰返し、当該繰返し数によって一つの所定領域に必要な吐出量を制御することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。

（技術的思想４） 基板にＥＬ（Electro Luminescence）発光材料溶液を吐出して複数のＥＬ発光層を配列して成るＥＬ表示装置の製造方法であって、前記ＥＬ発光材料溶液を前記基板の上に吐出する吐出装置に充填された前記ＥＬ発光材料溶液から１回の吐出量に相当する前記ＥＬ発光材料溶液を計量するとともに計量された前記ＥＬ発光材料溶液を分離可能状態に保持する工程と、前記吐出装置に分離可能状態に保持された前記ＥＬ発光材料溶液を分離して前記基板の所定領域に吐出する工程とを有することを特徴とするＥＬ表示装置の製造方法。

（技術的思想５） 基板にＥＬ（Electro Luminescence）発光材料溶液を吐出して複数のＥＬ発光層を配列して成るＥＬ表示装置の製造方法であって、前記ＥＬ発光材料溶液を前記基板の上に吐出する吐出装置の吐出ノズルの先端に設けられた計量室に、前記ＥＬ発光材料溶液を充填する工程と、前記計量室に充填された前記ＥＬ発光材料溶液を前記基板の所定領域に吐出する工程とを有することを特徴とするＥＬ表示装置の製造方法。

（技術的思想６） 基板にＥＬ（Electro Luminescence）発光材料溶液を吐出して複数のＥＬ発光層を配列して成るＥＬ表示装置の製造方法であって、前記ＥＬ発光材料溶液を前記基板の上に吐出する吐出装置の吐出ノズルの先端に設けられた計量室に、前記ＥＬ発光材料溶液を充填する充填工程と、前記計量室に充填された前記ＥＬ発光材料溶液を前記基板の所定領域に吐出する吐出工程とを有し、一回の吐出量を測定する工程と、測定した一回の吐出量から一つの所定領域に必要な吐出回数を計算する工程とをさらに有するとともに、前記必要な吐出回数に基づいて、前記充填工程と前記吐出工程とを繰返し、当該繰返し数によって一つの所定領域に必要な吐出量を制御することを特徴とするＥＬ表示装置の製造方法。

図１（ａ）カラーフィルタの一実施形態の平面構造を模式的に示す平面図。図１（ｂ）マザー基板の平面図。 カラーフィルタにおけるＲ，Ｇ，Ｂ３色の絵素ピクセルの配列例を示す平面図図。 図１（ａ）のＡ−Ａ線に従った断面部分を用いてカラーフィルタの製造工程を模式的に示す断面図。 発明に係る液晶装置の製造方法によって製造される液晶装置の一例を示す分解斜視図。 図４におけるＡ−Ａ線に従って液晶装置の断面構造を示す断面図。 本発明に係る液晶装置の製造方法の一実施形態を示す工程図。 本発明に係るカラーフィルタの製造装置、本発明に係る液晶装置の製造装置及び本発明に係るＥＬ装置の製造装置といった各製造装置の主要部分である液滴吐出装置の一実施形態を示す斜視図。 第１，第２実施形態に係る液滴吐出ヘッドの断面図。 第１，第２実施形態に係る機能液供給装置の構成と機能液供給装置と液滴吐出ヘッドの位置関係を示す模式図。 第１，第２実施形態に係る液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図。 積層圧電素子の駆動電圧波形を示す図。 液滴吐出ヘッドの吐出動作における状態の変化を示した断面図。 第１実施形態に係る液滴吐出装置の動作を説明するフローチャート。 第２実施形態に係る液滴吐出装置の動作を説明するフローチャート。 図１５（ａ）第３実施形態に係る液滴吐出ヘッドの斜視図。図１５（ｂ）第３実施形態に係る液滴吐出ヘッドの断面図。 第３実施形態に係る機能液供給装置の構成と機能液供給装置と液滴吐出ヘッドの位置関係を示す模式図。 第３実施形態に係る液滴吐出装置の電気的構成を示す電気構成ブロック図。 第３実施形態に係る吐出動作を示したタイムチャート図。 第３実施形態に係る液滴吐出装置の動作を説明するフローチャート。 本発明に係るＥＬ装置の製造方法の一実施形態を示す工程図。 ＥＬ装置の製造工程を模式的に示す断面図。

符号の説明

１・・・電気光学装置用基板としてのカラーフィルタ、２・・・基板、３・・・着色層としてのフィルタエレメント、８・・・液滴、９・・・色素機能液としてのフィルタエレメント材料液、２１・・・電気光学装置としての液晶表示装置、３１ａ，３１ｂ・・・基材、６０，１６０・・・吐出装置としての液滴吐出装置、６８・・・位置決め機構としての基板位置制御装置、６９・・・位置決め機構としての主走査駆動装置、７１・・・位置決め機構としての副走査駆動装置、７９・・・位置決め機構としてのテーブル、８０・・・位置決め機構としてのピン、８２，８４・・・位置決め機構としてのガイドレール、８３，８６・・・位置決め機構としてのスライダ、１０４，１６４・・・加速手段としての積層圧電素子、１０８・・・流路（液室）、１０９・・・オリフィス、１０１・・・吐出ノズル及び計量保液手段としての吐出ノズル、１１０・・・計量室及び計量保液手段としての計量室、１５３・・・液粒形成部材及び計量保液手段としての液粒形成部材、１５８・・・液粒、１７２・・・加圧手段としてのピストン、１７３・・・加圧手段としてのピストンロッド、１７４・・・色素機能液収容室としてのタンクシリンダ、１７５・・・加圧手段としての加圧アクチュエータ、２０１・・・電気光学装置としてのＥＬ装置（Electro Luminescence 装置）、２０３・・・着色層としての発光層。

Claims (11)

1. 基板に色素機能液を吐出して複数の着色層を配列して成る電気光学装置用基板の製造方法であって、
   前記色素機能液を前記基板の上に吐出する吐出装置の吐出ノズルの先端に設けられた計量室に、前記色素機能液を充填する工程と、
   前記計量室に充填された前記色素機能液を前記基板の所定領域に吐出する工程とを有することを特徴とする電気光学装置用基板の製造方法。
2. 基板に色素機能液を吐出して複数の着色層を配列して成る電気光学装置用基板の製造方法であって、
   前記色素機能液を前記基板の上に吐出する吐出装置に設けられた液粒形成部材の吐出口に前記色素機能液の液粒を形成する工程と、
   前記液粒形成部材から前記液粒を切離して、前記基板の所定領域に吐出する工程とを有することを特徴とする電気光学装置用基板の製造方法。
3. 請求項１または２に記載の電気光学装置用基板の製造方法であって、
   一回の吐出量を測定する工程と、
   測定した一回の吐出量から一つの前記所定領域に必要な吐出回数を計算する工程とを有するとともに、
   前記必要な吐出回数に基づいて、請求項１または２に記載の各工程を繰返し、当該繰返し数によって一つの所定領域に必要な吐出量を制御することを特徴とする電気光学装置用基板の製造方法。
4. 請求項１に記載の電気光学装置用基板の製造方法であって、
   前記計量室は、前記吐出ノズルの吐出側端部に設けられてなり、
   前記計量室と前記色素機能液の流路との間にオリフィスが設けられてなることを特徴とする電気光学装置用基板の製造方法。
5. 請求項１乃至４のいずれか一項に記載の電気光学装置用基板の製造方法であって、
   前記吐出装置は、複数の前記吐出ノズルまたは前記液粒形成部材を備え、当該複数の前記吐出ノズルまたは前記液粒形成部材から前記色素機能液を一度に吐出することを特徴とする電気光学装置用基板の製造方法。
6. 請求項１、３乃至５のいずれか一項に記載の電気光学装置用基板の製造方法であって、
   前記吐出ノズルは交換可能であって、必要な吐出量に応じた容量の計量室を有する前記吐出ノズルを使用することを特徴とする電気光学装置用基板の製造方法。
7. 請求項１乃至６のいずれか一項に記載の電気光学装置用基板の製造方法を含むことを特徴とする電気光学装置の製造方法。
8. 基板に色素機能液を吐出して複数の着色層を配列して成る電気光学装置用基板の製造装置であって、
   前記色素機能液を前記電気光学装置用基板の基材上に吐出する吐出装置を備え、
   前記吐出装置は、前記色素機能液を吐出する吐出ノズルと、
   前記吐出ノズルの先端に形成された計量室と、
   前記計量室に充填された前記色素機能液を前記電気光学装置用基板の所定領域に吐出する吐出手段とを有することを特徴とする電気光学装置用基板の製造装置。
9. 基板に色素機能液を吐出して複数の着色層を配列して成る電気光学装置用基板の製造装置であって、
   前記色素機能液を前記電気光学装置用基板の基材上に吐出する吐出装置を備え、
   前記吐出装置は、前記色素機能液の液粒を形成する液粒形成部材と、
   前記液粒形成部材に液粒を形成するために前記吐出装置内の色素機能液収容室内の前記色素機能液を加圧する加圧手段と、
   前記液粒形成部材に形成された前記色素機能液の液粒を切離して前記電気光学装置用基板の所定領域に吐出する吐出手段とを有することを特徴とする電気光学装置用基板の製造装置。
10. 請求項８または９に記載の電気光学装置用基板の製造装置であって、
    前記吐出手段は、前記吐出ノズルまたは前記液粒形成部材に液粒を分離可能な加速度を付与する加速手段を備えたことを特徴とする電気光学装置用基板の製造装置。
11. 請求項８乃至１０のいずれか一項に記載の電気光学装置用基板の製造装置であって、
    前記吐出ノズルが前記電気光学装置用基板の所定領域に対向するように、前記吐出ノズルまたは前記液粒形成部材と前記電気光学装置用基板の少なくとも一方を移動させる位置決め機構を備えたことを特徴とする電気光学装置用基板の製造装置。
    

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