JP4910718B2 - 駆動信号の設定方法及び液滴吐出装置の駆動方法 - Google Patents
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このような特徴を有する駆動信号の設定方法によると、各ノズルの液滴吐出量を適正量に近づけることのできる電圧値を有する駆動信号を、各ノズルの吐出特性に応じて割り当てることができる駆動信号選択データ及び波形データを設定できる。従って、このような駆動信号選択データ及び波形データを使用することにより、液滴吐出ヘッドにおける各ノズルの吐出特性に起因する液滴吐出量のバラツキを抑制し、均一な膜層を形成することが可能である。
このような設定方法を採用することにより、簡単且つ短時間で駆動波形選択データ及び波形データを設定することができる。
このような設定方法を採用することにより、各種類の駆動信号の電流容量を考慮したノズルの割り当てを行うことができ、駆動信号の電圧低下や歪の発生を防止することができる。
各ノズルの吐出特性に起因する液滴吐出量のバラツキは、液滴吐出ヘッド毎に異なるため、駆動信号選択データ及び波形データを液滴吐出ヘッド毎に設定することにより、液滴吐出ヘッド毎に正確に液滴吐出量のバラツキを抑制することができる。
同一の液滴吐出ヘッドであっても、ノズルデューティの変化によって液滴吐出量のバラツキは変化する。よって、駆動信号選択データ及び波形データをノズルデューティに応じて設定することによって、液滴吐出対象物(カラーフィルタ基板など)の吐出パターンに依存して発生するノズルデューティの変化に対応することができる。
駆動信号の種類を増やすとより精度良く液滴吐出量のバラツキを抑制することができる
が、部品点数の増加に伴い、装置コストの上昇や装置サイズの大型化などの問題が生じる。そこで、少なくとも4種類の駆動信号を使用することにより、各ノズルの吐出特性に起因する液滴吐出量のバラツキを目標レベルまで低減することができるので、必要最小限の部品点数及び装置コストに抑えることができる。
上述した駆動信号の設定方法によって設定された前記駆動信号選択データ及び波形データを用い、前記駆動信号選択データに基づいて、各ノズルに対応する駆動素子に供給する駆動信号の種類を選択し、前記選択された種類の駆動信号を前記波形データに基づいて生成することを特徴とする。
このような特徴を有する液滴吐出装置の駆動方法によると、上述した駆動信号の設定方法によって設定された前記駆動信号選択データ及び波形データを用いるので、液滴吐出ヘッドにおける各ノズルの吐出特性に起因する液滴吐出量のバラツキを抑制し、均一な膜層を形成することが可能である。
また、上述した駆動信号の設定方法において、前記適正条件は、対応する前記グループに属する前記ノズルの吐出量分布のレンジの中央値が、前記適正量となるための条件であることが好ましい。
また、上述した駆動信号の設定方法において、前記適正条件は、対応する前記グループに属する前記ノズルの平均の吐出量が、前記適正量となるための条件であることが好ましい。
また、上述した駆動信号の設定方法において、前記B工程において、前記n個のグループのそれぞれに属する前記ノズルの数が許容最大ノズル数を超えないように、分類を行うことが好ましい。
また、上述した駆動信号の設定方法において、前記B工程において、前記n個のグループのそれぞれに係る吐出量分布のレンジが等しくなるように、分類を行うことが好ましい。
また、上述した駆動信号の設定方法において、液滴吐出ヘッドにおける未使用ノズルと使用ノズルとの比率であるノズルデューティに応じて、前記B工程および前記C工程を行うことが好ましい。
また、上述した駆動信号の設定方法において、前記nは4であることが好ましい。
図1は、本実施形態における液滴吐出装置IJの構成概略図である。本液滴吐出装置IJは、例えばインクジェット方式によりカラーフィルタ基板(液滴吐出対象物)上にカラーフィルタ材料の液滴を吐出してカラーフィルタ層を形成する装置である。図1に示すように、本液滴吐出装置IJは、装置架台1、ワークステージ2、ステージ移動装置3、キャリッジ4、液滴吐出ヘッド5、キャリッジ移動装置6、チューブ7、第1タンク8、第2タンク9、第3タンク10及び制御装置11から構成されている。
2(c)に示すように、圧電素子PZ1は、圧電材料25を一対の電極26で挟持したも
のであり、一対の電極26に駆動信号を印加すると圧電材料25が収縮するよう構成され
たものである。そして、このような圧電素子PZ1が配置されている振動板20は、圧電
素子PZ1と一体になって同時に外側(キャビティ24の反対側)へ撓曲するようになっ
ており、これによってキャビティ24の容積が増大するようになっている。従って、キャ
ビティ24内に増大した容積分に相当するカラーフィルタ材料が、液溜まり22から供給
口24aを介して流入する。また、このような状態から圧電素子PZ1への駆動信号の印
加を停止すると、圧電素子PZ1と振動板20はともに元の形状に戻り、キャビティ24
も元の容積に戻ることから、キャビティ24内のカラーフィルタ材料の圧力が上昇し、ノ
ズルN1からカラーフィルタ基板Pに向けてカラーフィルタ材料の液滴Lが吐出される。
に対して平行に一列だけでなく複数列設けても良い。また、キャリッジ4内に配置する液
滴吐出ヘッド5の数も任意に変更可能である。さらに、キャリッジ4をサブキャリッジ単位で複数設けるような構成としても良い。
最初に、COM選択データSIBの設定方法の具体例1について図5のフローチャートを用いて説明する。まず、事前に、各圧電素子PZ10〜PZ170に所定の基準駆動電圧V0(仮条件の駆動信号)を印加し、図6に示すようなノズルN10〜N170の液滴吐出量のバラツキ分布を測定する(本発明のA工程としてのステップS1)。そして、バラツキ分布における最小重量から最大重量までのレンジを均等に4分割してレンジ1、レンジ2、レンジ3、レンジ4を設定し、レンジ1〜4にそれぞれ含まれるノズルをグループ化する(本発明のB工程としてのステップS2)。次に、下記(1)式に基づいて、各レンジ1〜4に係るグループ毎にCOM設定電圧を算出し、レンジ1のグループについて算出したCOM設定電圧をCOM1、レンジ2のグループについて算出したCOM設定電圧をCOM2、レンジ3のグループについて算出したCOM設定電圧をCOM3、レンジ4のグループについて算出したCOM設定電圧をCOM4と設定する(本発明のC工程としてのステップS3)。なお、下記(1)式において、Kは液滴重量を電圧値に変換するための定数である。また、下記(1)式において、「レンジの中心重量(グループ内の全ノズルにおける吐出量の中央値)」を「各レンジ内における全ノズルの平均重量(グループ内の全ノズルにおける吐出量の平均値)」に替えても良い。
COM設定電圧=V0−K・(レンジの中心重量−適正重量) ・・・・(1)
次に、COM選択データSIBの設定方法の具体例2について図8のフローチャートを用いて説明する。まず、事前に、各圧電素子PZ10〜PZ170に所定の基準駆動電圧V0を印加し、具体例1と同様にノズルN10〜N170の液滴吐出量のバラツキ分布を測定する(本発明のA工程としてのステップS10)。そして、バラツキ分布の最小重量を許容バラツキレンジの最小値に合わせ、この許容バラツキレンジ内に含まれるノズルの内、液滴重量の小さい方から順にピックアップ(グループ化)し、ピックアップしたノズル数をカウントする(本発明のB工程を構成するステップS11)。ここで、許容バラツキレンジとは、品質管理上許容することができるノズル間の吐出量バラツキの許容レンジを指すものであって予めユーザが設定することができる値である。
COM設定電圧=V0−K・(中心重量−適正重量) ・・・・(2)
なお、上述したように、第1の駆動波形メモリ34及び第2の駆動波形メモリ35によって64種類の駆動波形データを記憶することができるが、これらの駆動波形データはCOM選択データSIBの数(つまりノズルデューティの数)に対応して記憶すれば良い。
まず、カラーフィルタ基板Pの画素パターンに応じて事前に設定した吐出データSIAと、ノズルデューティ毎に設定したCOM選択データSIBとを駆動回路基板30の描画データメモリ32に記憶し、また、COM選択データSIBに対応するCOM1〜COM4の駆動波形データを第1の駆動波形メモリ34及び第2の駆動波形メモリ35に予め記憶する。
制御装置11は、ワークステージ2にカラーフィルタ基板Pが搬送され、上位の制御装置からカラーフィルタ基板Pに関する情報(画素パターンや基板サイズなどの情報)を取得すると、搬送されたカラーフィルタ基板Pに対応する吐出データSIAを決定する。
また、制御装置11は、カラーフィルタ基板Pに関する情報に基づいてノズルデューティを求め、そのノズルデューティに対応するCOM選択データSIBを決定する。そして、制御装置11は、ステージ移動装置3及びキャリッジ移動装置6を制御して、液滴吐出ヘッド5をカラーフィルタ基板P上の所定のXYZ座標に移動させる。
Claims (15)
- 複数のノズル及び各ノズルに対応して設けられた駆動素子を有する液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置の前記駆動素子に供給する駆動信号の設定方法であって、
各駆動素子に所定の基準駆動電圧を印加し、前記各駆動素子に対応するノズルから液滴を吐出させる第1の工程と、
前記各ノズルの液滴吐出量を測定する第2の工程と、
前記各ノズルに複数種類の駆動信号の中のいずれかを割り当てる第3の工程と、
同一種類の駆動信号が割り当てられたノズルの液滴吐出量が所定の適正量に近づくように、前記駆動信号の電圧値を決定する第4の工程と、
前記各ノズルと当該ノズルに割り当てられた駆動信号の種類との対応関係を示す駆動信号選択データを設定する第5の工程と、
前記第4の工程で決定された電圧値を有する各種類の駆動信号の波形データを設定する第6の工程と、
を有し、
前記駆動信号を第1駆動信号〜第n駆動信号のn種類(nは2以上の整数)使用する場合において、
前記第3の工程では、前記第2の工程で測定した前記各ノズルの液滴吐出量の最小値から最大値までの範囲を、各第1駆動信号〜第n駆動信号のそれぞれに1対1に対応付けられた第1分割範囲〜第n分割範囲に均等にn分割し、各第1分割範囲〜第n分割範囲に含まれるノズルに、それぞれの分割範囲に対応する駆動信号を割り当て、
前記第4の工程では、各第1分割範囲〜第n分割範囲の中心値が前記適正量になるように、各分割範囲に対応する駆動信号の電圧値を決定する、
ことを特徴とする駆動信号の設定方法。 - 複数のノズル及び各ノズルに対応して設けられた駆動素子を有する液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置の前記駆動素子に供給する駆動信号の設定方法であって、
各駆動素子に所定の基準駆動電圧を印加し、各駆動素子に対応するノズルから液滴を吐出させる第1の工程と、
前記各ノズルの液滴吐出量を測定する第2の工程と、
前記各ノズルに複数種類の駆動信号の中のいずれかを割り当てる第3の工程と、
同一種類の駆動信号が割り当てられたノズルの液滴吐出量が所定の適正量に近づくように、前記駆動信号の電圧値を決定する第4の工程と、
前記各ノズルと当該ノズルに割り当てられた駆動信号の種類との対応関係を示す駆動信号選択データを設定する第5の工程と、
前記第4の工程で決定された電圧値を有する各種類の駆動信号の波形データを設定する第6の工程と、
を有し、
前記駆動信号を第1駆動信号〜第n駆動信号のn種類(nは2以上の整数)使用する場合において、
前記第3の工程は、
前記第2の工程で測定した前記各ノズルの液滴吐出量の最小値を、前記第1駆動信号の許容バラツキ電圧値に応じて予め設定されている第1バラツキ範囲の最小値に合わせ、当該第1バラツキ範囲内に含まれるノズルを液滴吐出量の小さい順に抽出してノズル数をカウントする工程と、
前記ノズル数が、前記第1駆動信号の電流容量に応じて予め設定されている許容最大ノズル数より大きいと判定された場合、前記第1バラツキ範囲内に含まれる前記許容最大ノズル数分のノズルに前記第1駆動信号を割り当てる一方、前記ノズル数が前記許容最大ノズル数以下と判定された場合、前記第1バラツキ範囲内に含まれる前記ノズル数分のノズルに前記第1駆動信号を割り当てる工程とを有し、
残ったノズルの液滴吐出量の最小値を、第i駆動信号(iは2からnまでの整数)の許容バラツキ電圧値に応じて予め設定されている第iバラツキ範囲の最小値に合わせ、当該第iバラツキ範囲内に含まれるノズルを液滴吐出量の小さい順に抽出してノズル数をカウントする工程と、
前記ノズル数が、前記第i駆動信号の電流容量に応じて予め設定されている許容最大ノズル数より大きいと判定された場合、前記第iバラツキ範囲内に含まれる前記許容最大ノズル数分のノズルに前記第i駆動信号を割り当てる一方、前記ノズル数が前記許容最大ノズル数以下と判定された場合、前記第iバラツキ範囲内に含まれる前記ノズル数分のノズルに前記第i駆動信号を割り当てる工程とをi=2〜nまで繰り返し、
前記第4の工程では、各第1駆動信号〜第n駆動信号毎に割り当てられたノズルの液滴吐出量の最小値と最大値との中心値が前記適正量になるように、各駆動信号の電圧値を決定する、
ことを特徴とする駆動信号の設定方法。 - 前記駆動信号選択データ及び波形データを液滴吐出ヘッド毎に設定することを特徴とする請求項1または2に記載の駆動信号の設定方法。
- 前記駆動信号選択データ及び波形データを、液滴吐出ヘッドにおける未使用ノズルと使用ノズルとの比率であるノズルデューティに応じて設定することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の駆動信号の設定方法。
- 4種類の駆動信号を用いることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の駆動信号の設定方法。
- 複数のノズル及び各ノズルに対応して設けられた駆動素子を有する液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置の駆動方法であって、
請求項1〜5のいずれか一項に記載の駆動信号の設定方法によって設定された前記駆動信号選択データ及び波形データを用い、
前記駆動信号選択データに基づいて、各ノズルに対応する駆動素子に供給する駆動信号の種類を選択し、
前記選択された種類の駆動信号を前記波形データに基づいて生成する、
ことを特徴とする液滴吐出装置の駆動方法。 - 複数のノズル毎に設けられた駆動素子にそれぞれ駆動信号を供給して前記ノズルから液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの駆動信号の設定方法であって、
前記複数のノズルのそれぞれについて、仮条件の前記駆動信号を供給した際の吐出量を測定するA工程と、
前記A工程で測定した吐出量に基づいて、前記複数のノズルを、吐出量分布のレンジに関するn個のグループに分類するB工程と、
前記n個のグループについて、それぞれ略適正量の吐出量で吐出するための適正条件の前記駆動信号を設定するC工程と、を有することを特徴とする駆動信号の設定方法。 - 前記適正条件の駆動信号は、前記仮条件の駆動信号について電圧成分を補正したものであることを特徴とする請求項7に記載の駆動信号の設定方法。
- 前記適正条件は、対応する前記グループに属する前記ノズルの吐出量分布のレンジの中央値が、前記適正量となるための条件であることを特徴とする請求項7または8に記載の駆動信号の設定方法。
- 前記適正条件は、対応する前記グループに属する前記ノズルの平均の吐出量が、前記適正量となるための条件であることを特徴とする請求項7または8に記載の駆動信号の設定方法。
- 前記B工程において、前記n個のグループのそれぞれに属する前記ノズルの数が許容最大ノズル数を超えないように、分類を行うことを特徴とする請求項7ないし10のいずれか一項に記載の駆動信号の設定方法。
- 前記B工程において、前記n個のグループのそれぞれに係る吐出量分布のレンジが等しくなるように、分類を行うことを特徴とする請求項7ないし10のいずれか一項に記載の駆動信号の設定方法。
- 液滴吐出ヘッドにおける未使用ノズルと使用ノズルとの比率であるノズルデューティに応じて、前記B工程および前記C工程を行うことを特徴とする請求項7ないし12のいずれか一項に記載の駆動信号の設定方法。
- 前記nは4であることを特徴とする請求項7ないし13のいずれか一項に記載の駆動信号の設定方法。
- 複数のノズル毎に設けられた駆動素子にそれぞれ駆動信号を供給して前記ノズルから液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの駆動方法であって、
請求項7ないし14のいずれか一項に記載の駆動信号の設定方法を用いて、前記n個のグループのそれぞれに係る前記駆動信号を設定するD工程と、
前記D工程で設定された条件の前記駆動信号を、対応する前記グループに属する前記ノズルに供給して、前記液滴を吐出するE工程と、を有することを特徴とする液滴吐出ヘッドの駆動方法。
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