JP2004337727A - 液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器および基板 - Google Patents
液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器および基板 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004337727A JP2004337727A JP2003136481A JP2003136481A JP2004337727A JP 2004337727 A JP2004337727 A JP 2004337727A JP 2003136481 A JP2003136481 A JP 2003136481A JP 2003136481 A JP2003136481 A JP 2003136481A JP 2004337727 A JP2004337727 A JP 2004337727A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mark
- linear
- functional liquid
- nozzle
- work
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
- Ink Jet (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
【解決手段】機能液滴吐出ヘッド5とワークWとの相対的な移動位置を検出するリニアエンコーダと、リニアエンコーダの検出結果に基づき、ノズル列6からの機能液の吐出を駆動制御する駆動制御手段と、を備え、リニアエンコーダは、ワークの一方の側端部と平行する方向またはこれと直交する方向のいずれかにおいて、平行してマーキングされた複数のマーク列52aから成るリニアスケール52と、当該複数のマーク列に臨む複数のリニアセンサ51と、によって構成され、駆動制御手段は、複数のリニアセンサの出力のずれに基づいて、各ノズル5aの吐出タイミングを補正するものである。
【選択図】 図20
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、機能液滴吐出ヘッドに配列されたノズル列から機能液を選択的に吐出することによりワーク上に描画を行う液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器および基板に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、インクジェット方式の印刷ヘッドを用いたインクジェットプリンタ(液滴吐出装置)は、微小なインク滴(機能液)をドット状に精度良く吐出することができることから、各種部品の製造分野への応用が期待されている。近年では、例えば有機EL表示装置や液晶表示装置等の、いわゆるフラットディスプレイの製造方法にも用いられ、ガラス基板(ワーク)上に発光材料やフィルタ材料等の機能液を吐出して、有機EL(Electro−Luminescence)表示装置における各画素のEL発光層および正孔注入層等の形成や、液晶表示装置におけるR.G.Bのフィルタエレメント等の形成が行われている(例えば、特許文献1参照)。この場合、バンクで仕切られた微小なキャビティ内に機能液を吐出するため、吐出位置や吐出タイミングを含む、より高い精度の吐出制御が要求されている。そこで、この種の表示装置の製造方法においては、一般的に、印刷ヘッドを担持したキャリッジまたはワークが低速で動作していることを前提に制御回路内のクロック数をカウントして吐出制御するのではなく、エンコーダ(ロータリエンコーダやリニアエンコーダ)を用いて、キャリッジまたはワークの位置検出を行い、その検出結果(エンコーダ信号の出力)に基づいて、吐出制御を行っている。
【0003】
【特許文献1】
特開平10−12377号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上記のような有機EL表示装置や液晶表示装置を製造する場合、上記のようにエンコーダ信号に基づいて、インクの吐出タイミングを制御することにより、印刷ヘッド側の吐出精度はある程度補償されるものの、基板としてガラス基板が用いられることが多いため、温度変化による熱膨張により基板サイズが変化してしまい、結果的に機能液が所望する吐出位置からずれた位置に着弾してしまうといった問題があった。
【0005】
このため、例えばリニアエンコーダを用いる場合は、リニアスケールをガラス基板と同材料で構成し、熱膨張による位置ずれを補正するといった対策が講じられているが、ガラスの大きさや厚みの違いなどによって、互いの膨張率に差異が生じてしまう。また、リニアスケールは主にガラス基板を搭載した移動テーブルの側部等に配置されるため、ガラス基板とリニアスケールとの配置位置における温度分布によっても、膨張率が変化してしまう。したがって、ガラスなど温度変化により熱膨張や変形を生じる材質で構成された基板を用いる場合は、リニアエンコーダを用いても、温度変化に基づく吐出位置のずれを解消することが困難であった。
【0006】
また、液滴吐出装置では、印刷ヘッドおよび/または基板(ワーク)を相対的に移動させて描画を行なうが、例えば基板側を搬送させながら描画を行なう場合は、ヨーイングが生じてしまい、これにより吐出位置がずれてしまうことがある。しかしながら、従来の液滴吐出装置では、このような基板の搬送による吐出位置のずれを検出するためには、搬送による基板の位置ずれ、または実際に着弾した機能液滴の吐出位置のずれを検出する検出センサが必要であった。しかも、検出センサの検出結果に応じて、基板を搬送する搬送機構を細かく制御しなければならないため、制御が困難になってしまう。このように、基板の搬送による位置ずれを解消するためには、装置構成が複雑化し、ひいてはコスト高になるといった問題があった。
【0007】
本発明は、上記の問題点に鑑み、温度変化により基板サイズに変化が生じた場合でも機能液の吐出精度を保持し得ると共に、印刷ヘッドおよび/または基板の相対的な移動に伴う吐出位置のずれを容易に解消できる液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器および基板を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の液滴吐出装置は、機能液滴吐出ヘッドに配列されたノズル列から機能液を選択的に吐出することによりワーク上に描画を行う液滴吐出装置において、機能液滴吐出ヘッドをキャリッジに搭載したヘッドユニットと、ヘッドユニットおよび/またはワークを、相対的に移動させる移動機構と、ヘッドユニットとワークとの相対的な移動位置を検出するリニアエンコーダと、リニアエンコーダの検出結果に基づき、ノズル列からの機能液の吐出を駆動制御する駆動制御手段と、を備え、リニアエンコーダは、ワークの一方の側端部と平行する方向またはこれと直交する方向のいずれかにおいて、平行してマーキングされた複数のマーク列から成るリニアスケールと、当該複数のマーク列に臨む複数のリニアセンサと、によって構成され、駆動制御手段は、複数のリニアセンサの出力のずれに基づいて、各ノズルの吐出タイミングを補正することを特徴とする。
【0009】
この構成によれば、リニアスケールが、ワーク上にマーキングされたマーク列から成るため、温度変化によりワークの大きさに変化が生じた場合でも機能液の吐出精度を保持することができる。また、リニアエンコーダは、複数のマーク列から成るリニアスケールと、当該複数のマーク列に臨む複数のリニアセンサとによって構成され、これら複数のリニアセンサの出力のずれに基づいて、各ノズルの吐出タイミングを補正するため、ヘッドユニットおよび/またはワークの相対的な移動に伴う吐出位置のずれが生じた場合でも、これをノズル単位で解消することができる。すなわち、相対移動に伴う吐出位置のずれを、リニアセンサを利用することによって、特別な機構を設けることなく簡易な構成で解消することができる。
【0010】
この場合、複数のマーク列のうち、少なくとも2つのマーク列が、ワークの両側端部の近傍にそれぞれ配置されていることが好ましい。
【0011】
この構成によれば、少なくとも2つのマーク列が、ワークの両側端部の近傍にそれぞれ配置されているため、相対移動に伴う吐出位置のずれをより確実に検出することができる。
【0012】
これらの場合、複数のリニアセンサの出力のずれが所定量を超えたとき、エラー報知を行うエラー報知手段を更に備えたことが好ましい。
【0013】
この構成によれば、複数のリニアセンサの出力のずれが所定量を超えたとき、エラー報知を行うため、ユーザに対し処理を続行するか否かの判断を促すことができる。なお、この場合、エラー報知を行うと共に、描画処理を停止する構成としても良い。この構成によれば、吐出位置のずれによる歩留まりの低下を避けることができる。
【0014】
これらの場合、ワーク上には、少なくとも1以上の描画領域と、これを区画する非描画領域とが配置されており、リニアスケールは、非描画領域に形成されていることが好ましい。
【0015】
この構成によれば、リニアスケールは、非描画領域に形成されているため、後に切り出して製品に利用される描画領域に影響を与えることがない。
【0016】
この場合、描画領域は、ワーク上にマトリクス状に配置されており、リニアスケールは、リニアセンサの検出方向に対して垂直方向に配列された各描画領域列の検出開始位置を示す基準マークを有し、当該基準マークは、他のマークとは異なる形態でマーキングされていることが好ましい。
【0017】
この構成によれば、他のマークとは異なる形態でマーキングされた基準マークを描画領域列毎に有しているため、万一読み飛ばしやダブルカウントなどの検出誤差が生じた場合、描画領域列毎にこれを補償することができる。また、基準マークは、各描画領域列の検出開始位置を示すため、検出誤差が生じた後、続く描画領域の吐出開始位置から吐出精度を保持することができる。
【0018】
これらの場合、マーク列の各描画領域に対応するマーク数は、当該描画領域への機能液の吐出回数に等しいことが好ましい。
【0019】
この構成によれば、マーク列の各描画領域列に対応するマーク数は、当該描画領域への機能液の吐出回数に等しいため、描画領域においては、マークを検出したら1回吐出するといった単純な構成で機能液の吐出タイミングを駆動制御することができる。したがって、制御装置(CPU等)の負担を軽くすることができる。
【0020】
これらの場合、描画領域は、機能液が吐出されると共に画素を構成する複数のキャビティ部と、これを区画するバンク部とを有しており、リニアセンサは、複数のマーク列に代えてバンク部を検出することが好ましい。
【0021】
この構成によれば、画素を区画するバンク部をリニアスケールとして用いることができる。このため、温度変化に伴って熱膨張や変形が生じるワークを用いた場合でも、リニアスケールを形成する工程(ワーク上にマーキングを行う工程)を必要とすることなく、吐出精度を保持することができる。
【0022】
これらの場合、非描画領域は、描画領域のバンク部と同材質であって、且つ複数のマーク列として利用可能な複数の検出用バンク部を有しており、複数のリニアセンサは、複数の検出用バンク部を検出することが好ましい。
【0023】
この構成によれば、描画領域のバンク部と同工程で複数の検出用バンク部を形成することができ、これをリニアスケールとして用いることができるため、リニアスケールを形成する工程(ワーク上にマーキングを行う工程)を必要とすることがない。また、複数の検出用バンク部は非描画領域に形成されるため、複数のリニアセンサの位置や機能液の吐出回数等に応じてバンク間隔を自由に設定することができる。なお、この場合、複数の検出用バンク部のうち少なくとも2つの検出用バンク部が、ワークの両側端部の近傍にそれぞれ配置されることが好ましい。この構成によれば、ヘッドユニットおよび/またはワークの相対移動に伴う吐出位置のずれをより確実に検出することができる。
【0024】
これらの場合、描画領域は、複数種類の機能液が吐出されることによって描画が行われ、リニアエンコーダは、少なくとも機能液の種類数分の2倍のスケール数から成るリニアスケールを、各リニアスケールに対応したリニアセンサによって検出することが好ましい。
【0025】
この構成によれば、リニアスケールが少なくとも機能液の種類数分の2倍のスケール数から成るため、例えば機能液の種類毎にリニアスケールを検出しながら、相対移動に伴う吐出位置のずれを解消することができる。すなわち、複数種類の機能液を吐出する場合であっても、マーク位置と、そのマーク検出時に吐出する機能液の種類とを関連づけたテーブルや処理プログラム等を必要とすることなく、各ノズル列を単純に駆動制御することができる。
【0026】
これらの場合、ヘッドユニットには、機能液滴吐出ヘッドを介して複数のノズル列が配列され、当該ノズル列間の距離をlとしたとき、リニアスケールのマーク列は、l/n(nは1以上の整数)のマーク間隔を有しており、マーク列のマーク位置と、そのマーク位置を検出したときの各ノズル列の機能液の吐出/非吐出と、を対応づけた対応テーブルを更に備え、駆動制御手段は、対応テーブルを参照して各ノズル列からの機能液の吐出を駆動制御することが好ましい。
【0027】
この構成によれば、ヘッドユニットに複数のノズル列が配列される場合、当然そのノズル列間の距離lが発生するが、このノズル間の距離lを整数倍とする間隔でマークを配置することにより、マーク位置と、そのマーク位置を検出したときの各ノズル列の機能液の吐出/非吐出と、を対応づけた対応テーブルを用いることができる。すなわち、この対応テーブルを参照することにより、単純に各ノズル列の吐出/非吐出を決定することができ、ノズル列間に生じる距離によって吐出位置がずれることが無い。したがって、複数のノズル列により描画を行う場合でも、処理プログラム等を用いることなく、各ノズル列を容易に駆動制御することができる。
【0028】
これらの場合、ヘッドユニットには、機能液滴吐出ヘッドを介して複数のノズル列が配列され、当該複数のノズル列のうちいずれか1つを基準ノズル列とすると共に、リニアエンコーダが、ノズル列数分のスケール数から成るリニアスケールを、各ノズル列に対応したリニアセンサによって検出する場合、各リニアスケールを構成するマーク列は、リニアセンサの検出方向において、対応するノズル列の基準ノズル列からの距離分だけオフセットした位置に配置されていることが好ましい。
【0029】
この構成によれば、ヘッドユニットに複数のノズル列が配列される場合、ノズル列間の距離が発生するが、ノズル列数に応じたスケール数を有するリニアスケールにおいて、各スケールのマーク位置を、基準となる基準ノズル列からの距離分だけオフセットした位置に配置することにより、ノズル列間に生じる距離によって吐出位置がずれることが無い。また、リニアスケールは、ノズル列数に応じたスケール数を有し、ノズル列毎にリニアスケールを検出するため、マーク位置と、そのマーク検出時に吐出するノズル列とを関連づけたテーブルや処理プログラム等を必要とすることなく、各ノズル列を単純に駆動制御することができる。
【0030】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴吐出ヘッドから吐出させた機能液による成膜部を形成することを特徴とする。
【0031】
また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液滴吐出ヘッドから吐出させた機能液による成膜部を形成したことを特徴とする。
【0032】
これらの構成によれば、温度変化により基板サイズに変化が生じた場合でも機能液の吐出精度を保持し得ると共に、印刷ヘッドおよび/または基板の相対的な移動に伴う吐出位置のずれを容易に解消可能な液滴吐出装置を用いて製造されるため、高品質な電気光学装置を製造することができる。なお、電気光学装置(デバイス)としては、液晶表示装置、有機EL(Electro−Luminescence)装置、電子放出装置、PDP(Plasma Display Panel)装置および電気泳動表示装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるFED(Field Emission Display)装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【0033】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【0034】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品がこれに該当する。
【0035】
本発明の基板は、上気した液滴吐出装置のワークとして用いられることを特徴とする。
【0036】
この場合、基板としては、ガラスや樹脂(フィルム)など、製造する電気光学装置に応じた種々の材質を用いることが可能である。
【0037】
【発明の実施の形態】
以下、添付の図面を参照しながら、本発明の一実施形態に係る液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器および基板について説明する。本実施形態の液滴吐出装置は、いわゆるフラットパネルディスプレイの一種である有機EL装置の製造ラインに組み込まれるものであり、有機EL装置の各画素となる発光素子(成膜部)を形成するものである。
【0038】
ここでは先ず、液滴吐出装置の説明に先立ち、有機EL装置の構造および製造工程について簡単に説明する。図1は、有機EL装置の断面図を示した図である。同図に示すように、有機EL装置701は、基板711、回路素子部721、画素電極731、バンク部741、発光素子751、陰極761(対向電極)、および封止用基板771から構成された有機EL素子702に、フレキシブル基板(図示省略)の配線および駆動IC(図示省略)を接続したものである。
【0039】
同図に示すように、有機EL素子702の基板711上には、回路素子部721が形成され、回路素子部721上には、複数の画素電極731が整列している。そして、各画素電極731間には、バンク部741が格子状に形成されており、バンク部741により生じた凹部開口744(キャビティ部62:図7等参照)に、発光素子751が形成されている。バンク部741および発光素子751の上部全面には、陰極761が形成され、陰極761の上には、封止用基板771が積層されている。
【0040】
有機EL素子702の製造プロセスは、バンク部741を形成するバンク部形成工程と、発光素子751を適切に形成するためのプラズマ処理工程と、発光素子751を形成する発光素子形成工程と、陰極761を形成する対向電極形成工程と、封止用基板771を陰極761上に積層して封止する封止工程とを備えている。すなわち、有機EL素子702は、予め回路素子部721および画素電極731が形成された基板711(ワークW:図4等参照)の描画領域W1にバンク部741を形成した後、プラズマ処理、発光素子751および陰極761(対向電極)の形成を順に行い、さらに、封止用基板771を陰極761上に積層して封止することにより製造される。なお、有機EL素子702は、大気中の水分等の影響を受けて劣化しやすいため、有機EL素子702の製造は、ドライエアーまたは不活性ガス(窒素、アルゴン、ヘリウム等)雰囲気で行うことが好ましい。
【0041】
また、各発光素子751は、正孔注入/輸送層752およびR(赤)・G(緑)・B(青)のいずれかの色に着色された発光層753から成る成膜部で構成されており、発光素子形成工程には、正孔注入/輸送層752を形成する正孔注入/輸送層形成工程と、3色の発光層753を形成する発光層形成工程と、が含まれている。この場合、上記バンク部741により区画されたマトリクス状の多数の凹部開口744に対し、3色の発光層753の配列は、例えば図2に示すように、ストライプ配列(同図(a))、モザイク配列(同図(b))およびデルタ配列(同図(c))が知られている。
【0042】
そして、有機EL装置701は、有機EL素子702を製造した後、有機EL素子702の陰極761にフレキシブル基板の配線を接続すると共に、駆動ICに回路素子部721の配線を接続することにより製造される。
【0043】
本実施形態の液滴吐出装置は、注入/輸送層形成工程に用いるものと、発光層形成工程に用いるものとがあるが、装置自体は同一構造のものが用いられるため、ここでは、R・G・B3色の発光層753を形成するための液滴吐出装置を例に挙げて、詳細に説明する。
【0044】
図3の平面模式図に示すように、実施形態の液滴吐出装置1は、機台2と、機台2上の全域に広く載置された描画装置3と、描画装置3に添設するように機台2上に載置したヘッド機能回復装置4とを有し、描画装置3によりワークW上の描画領域W1に対して機能液による描画を行うと共に、ヘッド機能回復装置4により適宜、描画装置3に備える機能液滴吐出ヘッド5の機能回復処理(メンテナンス)を行うようにしている。
【0045】
描画装置3は、X軸テーブル(主走査手段)12およびX軸テーブル12に直交するY軸テーブル13からなるX・Y移動機構11と、Y軸テーブル13に移動自在に取り付けたメインキャリッジ14と、メインキャリッジ14に垂設したヘッドユニット15とを備えている。ヘッドユニット15には、サブキャリッジ16を介して、R色、G色およびB色の3つのノズル列6が配列された機能液滴吐出ヘッド5が搭載されると共に、ワークW上に形成されたリニアスケール52の位置に対応して、リニアセンサ51が搭載されている。
【0046】
この場合、基板であるワークWは、透光性(透明)のガラス基板で構成されており、X軸テーブル12に搬入した段階で、これに臨む一対のワーク認識カメラ18,18で一対のワーク基準マーク54,54を認識することにより、X軸テーブル12に位置決めされた状態でセットされる。また、ワークWには、マトリクス状に配置されると共に機能液が吐出される(描画が行われる)描画領域W1と、当該描画領域W1を区画すると共にリニアスケール52が形成される非描画領域W2とが配置されている。なお、図示のサブキャリッジ16には、3つのノズル列6が配列された機能液滴吐出ヘッド5が1つ搭載されているが、これら3つのノズル列6を異なる機能液滴吐出ヘッド5に配列したものを搭載しても良い。また、各色に対応するノズル列6が複数列で構成されていても良い。
【0047】
リニアセンサ51は、ワークWを隔てて上下に配置された発光部および受光部(いずれも図示省略)から成る光学式受光センサであり、ワークW上に形成されたリニアスケール52の検出を行なう。そして、これらリニアセンサ51とリニアスケール52により、リニアエンコーダ50が構成されている。
【0048】
図4に示すように、リニアスケール52は、複数のマークMから成るマーク列52aにより構成され、リニアセンサ51による検出方向(X軸方向)に延在している。また、マーク列52aは、ワークW上にマトリクス状に配列された描画領域W1の、図示最上段(リニアセンサ51による検出開始側)に位置する描画領域列W1―aの検出開始位置から、図示最下段(リニアセンサ51による検出終了側)に位置する描画領域列W1−dの検出終了位置まで、連続してマーキングされており、各描画領域列W1―a〜W1―dの検出開始位置には、基準マークM1が形成されている。この基準マークM1は、リニアセンサ51によるリニアスケール52のカウントをリセットするためのものであり、万一読み飛ばしやダブルカウントなどの検出誤差が生じた場合、描画領域列W1―a〜W1―d毎にこれを補償できるようになっている。なお、リニアスケール52の検出とその検出結果に基づく、機能液の吐出駆動制御については後に詳述する。
【0049】
このような構成により、リニアエンコーダ50は、発光部から光を照射し、マークM間(透光部)を通過した光を受光部5で受光し、それを電気信号に変換することで、エンコーダ信号を生成する。そして、そのエンコーダ信号に基づいて、メインキャリッジ14(ヘッドユニット15)の移動位置情報が求められ、その移動位置情報に応じて機能液滴吐出ヘッド5による機能液の吐出信号を生成し(吐出タイミングを決定し)、ワークW上の所定位置に描画を行う。
【0050】
なお、本実施形態では光学式リニアエンコーダを用いているが、磁化したマーキングから成るリニアスケールを、磁気センサで検出する磁気式リニアエンコーダを用いても良い。
【0051】
一方、ヘッド機能回復装置4は、機台2上に載置した移動テーブル21と、移動テーブル21上に載置した保管ユニット22、吸引ユニット23およびワイピングユニット24とを備えている。保管ユニット22は、装置の稼動停止時に、機能液滴吐出ヘッド5のノズル5aの乾燥を防止すべくこれを封止する。吸引ユニット23は、機能液滴吐出ヘッド5から機能液を強制的に吸引すると共に、機能液滴吐出ヘッド5の全ノズル5aからの機能液の捨て吐出を受けるフラッシングボックスの機能を有している。ワイピングユニット24は、主に、機能液吸引を行った後の機能液滴吐出ヘッド5のノズル面5bをワイピング(拭き取り)する。
【0052】
保管ユニット22には、例えば機能液滴吐出ヘッド5に対応する封止キャップ26が昇降自在に設けられており、装置の稼動停止にヘッドユニット(の機能液滴吐出ヘッド5)15に臨んで上昇し、機能液滴吐出ヘッド5のノズル面5bに封止キャップ26を密接させて、これを封止する。これにより、機能液滴吐出ヘッド5のノズル面5bにおける機能液の気化が抑制され、いわゆるノズル詰まりが防止される。
【0053】
同様に、吸引ユニット23には、例えば機能液滴吐出ヘッド5に対応する吸引キャップ27が、昇降自在に設けられており、ヘッドユニット(の機能液滴吐出ヘッド5)15に機能液の充填を行う場合や、機能液滴吐出ヘッド5内で増粘した機能液を除去する場合に、吸引キャップ27を機能液滴吐出ヘッド5に密着させて、ポンプ吸引を行う。また、機能液の吐出(描画)を休止するときには、吸引キャップ27を機能液滴吐出ヘッド5から僅かに離間させておいて、フラッシング(捨て吐出)を行う。これにより、ノズル詰まりが防止され或いはノズル詰まりの生じた機能液滴吐出ヘッド5の機能回復が図られる。
【0054】
ワイピングユニット24には、例えば、ワイピングシート28が繰出し且つ巻取り自在に設けられており、繰り出したワイピングシート28を送りながら、且つ移動テーブル21によりワイピングユニット24をX軸方向に移動させながら、機能液滴吐出ヘッド5のノズル面5bを拭き取るようになっている。これにより、機能液滴吐出ヘッド5のノズル面5bに付着した機能液が取り除かれ、機能液吐出時の飛行曲がり等が防止される。
【0055】
なお、ヘッド機能回復装置4として、上記の各ユニットに加え、機能液滴吐出ヘッド5から吐出された機能液の飛行状態を検査する吐出検査ユニットや、機能液滴吐出ヘッド5から吐出された機能液の重量を測定する重量測定ユニット等を、搭載することが好ましい。さらに、同図示では省略したが、この液滴吐出装置1には、各機能液滴吐出ヘッド5に機能液が供給する機能液供給機構や、上記の描画装置3や機能液滴吐出ヘッド5等の構成装置を統括制御する制御装置(制御手段:後述する)などが組み込まれている。
【0056】
X軸テーブル12は、X軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のX軸スライダ31を有し、これに吸着テーブル33およびθテーブル34等から成るセットテーブル32を移動自在に搭載して、構成されている。同様に、Y軸テーブル13は、Y軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のY軸スライダ36を有し、これにθテーブル37を介して上記のメインキャリッジ14を移動自在に搭載して、構成されている。
【0057】
この場合、X軸テーブル12は、機台2上に直接支持される一方、Y軸テーブル13は、機台2上に立設した左右の支柱38,38に支持されている。X軸テーブル12とヘッド機能回復装置4とは、X軸方向に相互に平行に配設されており、Y軸テーブル13は、X軸テーブル12とヘッド機能回復装置4の移動テーブル21とを跨ぐように延在している。
【0058】
そして、Y軸テーブル13は、これに搭載したヘッドユニット(機能液滴吐出ヘッド5)15を、ヘッド機能回復装置4の直上部に位置する機能回復エリア41と、X軸テーブル12の直上部に位置する描画エリア42との相互間で、適宜移動させる。すなわち、Y軸テーブル13は、機能液滴吐出ヘッド5の機能回復を行う場合には、ヘッドユニット15を機能回復エリア41に臨ませ、またX軸テーブル12に導入したワークWに描画を行う場合には、ヘッドユニット15を描画エリア42に臨ませる。
【0059】
一方、X軸テーブル12の一方の端部は、ワークWをX軸テーブル12にセット(載せ代える)するための移載エリア43となっており、移載エリア43には、上記一対のワーク認識カメラ18,18が配設されている。そして、この一対のワーク認識カメラ18,18により、吸着テーブル33上に供給されたワークWの2箇所のワーク基準マーク54,54が同時に認識され、この認識結果に基づいて、ワークWのアライメントが為される。
【0060】
実施形態の液滴吐出装置(描画装置3)1では、X軸方向へのワークWの移動を主走査とし、Y軸方向への機能液滴吐出ヘッド(ヘッドユニット15)5の移動を副走査として、上記の制御手段に記憶する吐出パターンデータと、上記のリニアエンコーダ50の検出結果(エンコーダ信号)とに基づいて描画が行われる。
【0061】
描画エリア42に導入したワークWに描画を行う場合には、機能液滴吐出ヘッド(ヘッドユニット15)5を描画エリア42に臨ませておいて、X軸テーブル12による主走査(ワークWの往復移動)に同期して、リニアエンコーダ50の検出結果に基づき、機能液滴吐出ヘッド5を吐出駆動(機能液の選択的吐出)させる。また、Y軸テーブル13により適宜、副走査(ヘッドユニット15の移動)が行われる。この一連の動作により、ワークWの描画領域Waに所望の機能液の選択的吐出、すなわち描画が行われる。
【0062】
また、機能液滴吐出ヘッド5の機能回復を行う場合には、移動テーブル21により吸引ユニット23を機能回復エリア41に移動させると共に、Y軸テーブル13によりヘッドユニット15を機能回復エリア41に移動させ、機能液滴吐出ヘッド5のフラッシング或いはポンプ吸引を行う。また、ポンプ吸引を行った場合には、続いて移動テーブル21によりワイピングユニット24を機能回復エリア41に移動させ、機能液滴吐出ヘッド5のワイピングを行う。同様に、作業が終了して装置の稼動を停止する時には、保管ユニット22により、機能液滴吐出ヘッド5にキャッピングが行われる。
【0063】
ここで、液滴吐出装置1の制御構成について、図5の制御ブロック図を参照して説明する。液滴吐出装置1は、インタフェース111を有し、ホストコンピュータ300から送信された吐出パターンデータ(各ノズル5aの機能液の吐出/非吐出を決定するためのデータ)、駆動波形データ(各ノズル5aの圧電素子(ピエゾ素子など)を駆動するために印加される波形データ)および各種制御データを取得すると共に、液滴吐出装置1内部における処理状況等に関するデータをホストコンピュータ300に対して出力するデータ入出力部110と、電源スイッチ121を有し、電源の供給および切断を行なう電源部120と、リニアセンサ51およびリニアスケール52を有し、ワークWの移動位置を検出するリニアエンコーダ50と、機能液滴吐出ヘッド5を有し、ワークW上に描画を行なう描画部140と、キャリッジモータ151および送りモータ152を有し、機能液滴吐出ヘッド5が搭載されたメインキャリッジ14(ヘッドユニット15)およびワークWを移動・搬送する搬送部150(移動機構)と、ヘッドドライバ161、キャリッジモータドライバ162および送りモータドライバ163を有し、各部を駆動する駆動部160と、各部と接続され、液滴吐出装置10全体を制御する制御部200と、によって構成されている。
【0064】
制御部200は、CPU210、ROM220、RAM230および入出力制御装置(以下、「IOC:Input Output Controller」という)250を備え、互いに内部バス260により接続されている。ROM220は、各ノズル5a(ノズル列6)の吐出を駆動制御するためのプログラムの他、CPU210で処理する各種プログラムを記憶する制御プログラムブロック221と、各種テーブルを含む制御データを記憶する制御データブロック222とを有している。
【0065】
RAM230は、フラグ等として使用されるワークエリアブロック231の他、ホストコンピュータ300より送信された吐出パターンデータを記憶する吐出パターンデータブロック232を有し、制御処理のための作業領域として使用される。また、RAM230は電源が切断されても記憶したデータを保持しておくように常にバックアップされている。
【0066】
IOC250には、CPU210の機能を補うと共に各種周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が、ゲートアレイやカスタムLSIなどにより構成されて組み込まれている。これにより、IOC250は、ホストコンピュータ300からの吐出パターンデータや制御データをそのまま或いは加工して内部バス260に取り込むと共に、CPU210と連動して、CPU210から内部バス260に出力されたデータや制御信号を、そのまま或いは加工して駆動部160に出力する。
【0067】
そして、CPU210は、上記の構成により、ROM220内の制御プログラムにしたがって、IOC250を介してホストコンピュータ300および液滴吐出装置10内の各部から各種信号・データを入力して、RAM230内の各種データを処理し、IOC250を介して液滴吐出装置1内の各部に、各種信号・データを出力することにより、各ノズル5aからの機能液の吐出タイミングを駆動制御し、ワークW上に描画を行う。なお、本実施形態では、ノズル列6方向におけるノズル間隔を画素ピッチに合わせることで、ノズル列6毎に吐出タイミングの駆動制御を行うようにしているが、詳細については後述する。
【0068】
一方、ホストコンピュータ300は、吐出パターンデータ、駆動波形データおよび各種制御データを出力すると共に、液滴吐出装置1から送信された装置内部における処理状況等に関するデータを入力するインタフェース310と、CPU、ROMおよびRAM等のメモリを有し、パソコン全体を制御する中央制御部320と、ウィンドウズ(登録商標)等のOS330と、液滴吐出装置1を制御するためのドライバ340とを備えている。また、中央制御部320内(RAM等)には、リニアスケール52のマーク位置と当該マーク位置に対応する吐出/非吐出を決定するための対応テーブル350(図8参照)を有しており、当該対応テーブル350を参照して、各ノズル列6からの機能液の吐出タイミングを決定するための吐出パターンデータを生成する。
【0069】
なお、ホストコンピュータ300から送信された吐出パターンデータに基づいて機能液の吐出を駆動制御するのではなく、液滴吐出装置1内に上記の対応テーブル350を記憶しておき、これに基づいて、各ノズル列6の機能液の吐出/非吐出を決定する構成としても良い。
【0070】
次に、吐出パターンデータ(吐出信号)と、リニアスケール52の検出結果とに基づく、機能液の吐出駆動制御について説明する。図6は、描画領域W1上における画素の配列を示す平面図であり、図7は、その斜視図である。ここでは、説明を容易にするため、1列のノズル列6が配列された機能液滴吐出ヘッド5で描画を行なう場合について説明する。なお、図6において、リニアスケール52(マーキング)の下に付された数字はマーク位置並びにカウント値を示すものであり、実際にワークW上に記載されるものではない。
【0071】
両図に示すように、描画領域W1は機能液が吐出されると共に画素を構成するキャビティ部61と、これを区画するバンク部62とを有し、バンク部62は撥液処理(フッ素基の導入)が施されている。このため、吐出位置に多少の誤差が生じた場合でも、これを許容できるようになっている。また、キャビティ部61は、X軸方向に300〔μm〕、Y軸方向に100〔μm〕の大きさを有し、X軸方向およびY軸方向において、それぞれ100〔μm〕間隔で配置されている。
【0072】
また、非描画領域W2には、X軸方向に延在する1本のマーク列52aから成るリニアスケール52が形成され、各描画領域W1の検出開始位置(図示では、各描画領域W1の左側側端部の延長線上にあたる位置)には、基準マークM1が設けられている。また、各画素(キャビティ部61)には機能液が3回ずつ吐出されることにより描画が行われるが、その吐出回数に応じて、各画素にはそれぞれ3つのマーク(例えば、マーク1,マーク2,マーク3)が対応している。また、これら3つのマークは、リニアセンサ51の検出タイミングと、当該検出に基づく各ノズル5aからの機能液の吐出タイミングとのずれ(ワークWの搬送によるずれ)を考慮して、機能液の着弾位置(図示丸印)よりも、幾分搬送方向(X軸方向)手前側にマーキングされている。
【0073】
一方、非描画領域W2においては、描画領域W1に対応するマーキング(例えば、マーク1〜4)と同配列となるようにマーキングが為されている。すなわちこの場合は、描画領域W1と非描画領域W2とが同じ配列でマーキング可能となるように、ワークWが形成されている。このように、非描画領域W2に対応するマーキングを、描画領域W1に対応するマーキングと同配列としたことにより、検出タイミングを測定することで、読み飛ばしやダブルカウント(同じマークを続けてカウントすること)などの検出誤差が生じた場合にそれを検出することができる。つまり、同配列のマーキングが連続するということは、マーク間距離を所定範囲に設定することができ(図示の場合、マーク1―2間距離(最小)〜マーク3−4間距離(最大)の範囲)、検出タイミングの間隔が、前記最小マーク間距離分の搬送時間よりも短い場合や、逆に前記最大マーク間距離分の搬送時間よりも長い場合、これを検出誤差とみなすことができる。
【0074】
なお、これに限らず、非描画領域W2においては、描画領域W1に対応するマークの最大間隔(マーク3−4間距離)以下の一定間隔でマーキングしておき、その検出タイミングを測定することで検出誤差を検出可能に構成しても良い。
【0075】
ところで、上記の基準マークM1は、図示の通り他のマークよりも幾分幅広のマークから成り、この基準マークM1検出によって、リニアセンサ51によるリニアスケール52のカウントをリセットする(図8の対応テーブル350参照)。したがって、図示した例の場合、マーク1〜57まで検出した後、基準マークM1の検出によりカウントが0に戻り、再度描画領域W1からその隣に位置する非描画領域W2まで、対応するマーク1〜57を検出する。このように、基準マークM1を描画領域W1列毎に備えたことにより、万一検出誤差が生じた場合、描画領域列毎に(マーク0〜1検出の間で)これを補償することができる。また、基準マークM1は、X軸方向に配列された各描画領域列W1−a〜W1−d(図4参照)の検出開始位置を示しているため、検出誤差が生じた後、続く描画領域列の吐出開始位置から吐出精度を保持することができる。
【0076】
なお、基準マークM1の形態は、幅広のマークに限らず、『+』や『×』など他の形状であっても良いし、色や濃度を他のマークと異ならせることにより、光照射による反射率の違いを検出するようにしても良い。また、リニアセンサ51と隣接して基準マーク用センサを配設し、基準マークM1のサイズを他のマークよりも大きくすることにより(線分を長くすることにより)、基準マーク用センサで基準マークM1を検出するようにしても良い。
【0077】
ところで、機能液滴吐出ヘッド5には、複数のノズル5aから成るノズル列6が配置されているが、このノズルピッチは画素ピッチに対応している。また、ノズル列6の長さは、全ての描画領域W1に対応する長さ(1回の主走査で、全描画領域を描画可能な長さ)となっている。このため、機能液の吐出/非吐出は、ノズル列6毎に駆動制御することができる。但し、この場合、Y軸方向において非描画領域W2(描画領域W1間隔)に相当するノズルは、常時非駆動に設定されているか、例示したワークW専用の機能液滴吐出ヘッド5を使用し、非描画領域W2に相当するノズル5aが存在しないことが好ましい。
【0078】
ここで、上記のように構成されたリニアスケール52を検出する場合に用いられる対応テーブル350について、図8を参照して説明する。同図に示すように、描画領域W1に対応するマーク群(マーク1〜36)については、吐出信号が生成され、各ノズル5a(ノズル列6)から機能液が吐出される(ONとなる)。また、非描画領域W2に対応するマーク群(マーク37〜57)については、各ノズル5aから機能液は吐出されない(OFFとなる)。このように、対応テーブル350にしたがって、各ノズル列6の吐出パターンデータが生成され、当該吐出パターンデータと、リニアスケール52の検出タイミングとに基づいて、各ノズル列6からの機能液の吐出が駆動制御される。
【0079】
なお、対応テーブル350は、ワークW全体の描画に相当するものを用いても良いが、上記の通りマーク0〜57の周期を繰り返すため、マーク0〜57の部分のみのテーブルを用意しておき、対応テーブル350を記憶するためのメモリ量を減らすようにしても良い。
【0080】
以上の通り、本実施形態の液滴吐出装置1によれば、リニアスケール52が、ワークW上にマーキングされたマーク列52aから成るため、温度変化によりワークWの大きさに変化が生じた場合でも機能液の吐出精度を保持することができる。また、他のマークとは異なる形態でマーキングされた基準マークM1を描画領域列W1−a〜W1−d毎に有しており、基準マークM1の検出に基づいてリニアセンサ51によるリニアスケール52のカウントをリセットするため、万一読み飛ばしやダブルカウントなどの検出誤差が生じた場合、描画領域列W1−a〜W1−d毎にこれを補償することができる。また、基準マークM1は、各描画領域列の検出開始位置を示すため、検出誤差が生じた後、続く描画領域列の吐出開始位置から吐出精度を保持することができる。
【0081】
また、リニアスケール52は、非描画領域W2に形成されているため、後に切り出して製品に利用される描画領域W1に影響を与えることがない。さらに、リニアスケール52の各描画領域列W1−a〜W1−dに対応するマーク数は、各描画領域W1への機能液の吐出回数に等しいため、描画領域W1においては、マークを検出したら1回吐出するといった単純な構成で機能液の吐出タイミングを駆動制御することができる。したがって、CPU210の負担を軽くすることができる。
【0082】
なお、上記の実施形態では、各画素への機能液の吐出回数と、各画素に対応するマークの数は等しいものとしたが、マーク数を2倍に増やして、1回おきのマーク検出毎に機能液を吐出する(吐出信号を生成する)など、マーク数は適宜変更可能である。
【0083】
また、リニアスケール52は主走査方向(X軸方向)に延在するものとしたが、副走査方向(Y軸方向)にも形成し、ヘッドユニット15の副走査方向における移動量を正確に検出できるように構成しても良い。
【0084】
また、上記の実施形態では、非描画領域W2に相当するマークM(マーク37〜57)検出によっては、機能液滴を吐出しないものとしたが、非描画領域W2でも、描画領域W1と同様に機能液滴を吐出し、これを着弾位置ずれの検出のためのテストパターンとして用いても良い。すなわち、非描画領域W2に吐出された機能液滴の着弾位置とマーク位置とを比較することにより、着弾位置のずれ量を測定し、これに基づいて吐出タイミングの調整を行なっても良い。この構成によれば、より吐出精度を向上させることができる。なお、テストパターンのために吐出するノズル5aは、機能液の無駄な消費を無くすため、1つのノズル列6に対して1〜2つ程度にとどめることが好ましい。
【0085】
また、上記の実施形態では、ノズル列6の長さは、全ての描画領域W1に対応する長さ(1回の主走査で、全描画領域を描画可能な長さ)を有し、1回の主走査で全描画領域の描画を行い得るものとしたが、ノズル列6の長さが全描画領域に対応する長さを有しない場合は、複数回の走査(ワークWの主走査方向の移動)により描画を行う必要がある。したがってその場合は、その走査回数に応じてマーク列52aが形成されていることが好ましい。例えば、図9に示すように、Y軸方向に離間して2つの描画領域列W1−e,W1−fが形成され、各描画領域列W1−e,W1−fをそれぞれ1回の走査により描画可能なノズル列6を用いる場合、合計2回の走査により描画を行う必要がある。ここで、例えばリニアスケール52として図示右側の1本のマーク列52aしかマーキングされていない場合、機能液滴吐出ヘッド5とリニアセンサ51の位置とは固定されているため(図3参照)、図示左側の描画領域列W1−eを描画する際にはマーク列52aの検出ができなくなってしまう。しかしながら、図9の例では、図示左側の描画領域列W1−eに対応した位置にもマーク列52aが形成されているため、図示右側の描画領域列と同様に、リニアセンサ51(リニアエンコーダ50)の検出結果に基づいて描画を行うことができる。すなわち、ワークWの機能液滴吐出ヘッド5(ヘッドユニット15)に対する相対的な走査回数分のスケール数(マーク列数)を有することにより、複数回の走査に分割して描画する場合であっても、吐出精度を保持することができる。
【0086】
次に、本発明の第2実施形態について、図10および図11を参照して説明する。上記の実施形態では、リニアスケール52を非描画領域W2にマーキングされたマーク列52aにより構成するものとしたが、本実施形態では、バンク部62により、リニアスケール52に相当するリニアセンサ51の検出対象を構成するものである。そこで、以下第1実施形態と異なる点を中心に説明する。
【0087】
図10(a)は、描画領域W1上にマトリクス状に配置された画素(キャビティ部61)と、それを区画するバンク部62とを示した斜視図である。なお、キャビティ部61は、上記の通り、X軸方向に300〔μm〕、Y軸方向に100〔μm〕の大きさを有するが、これに対し、バンク部62の高さは、1〜2〔μm〕程度である。ここでは、分かりやすくするため、バンク部62を強調して図示している。
【0088】
同図に示すように、リニアセンサ51は、図示最前列の画素列におけるバンク部62を検出することによりエンコーダ信号を出力している。ここで、例えば1つのキャビティ部61に対して機能液滴が3回吐出される場合は、1つのバンク部62の検出に対し、3回の吐出信号を生成する。また、非描画領域W2においては、検出対象となる画素列(図示の場合、最前列の画素列)の延長上にバンク部62(検出対象となる1列分のみ)が連続して形成されている(図示省略)。
【0089】
ところで、本実施形態の場合、検出対象となるバンク部62は、描画領域W1内にも形成されるため、第1実施形態のように、各描画領域W1に対応する最初の検出位置(バンク部62)に、基準マークM1(図6等参照)に相当する、例えば幅広のバンク部62を形成することは好ましくない。何故なら、基準マークM1は吐出誤差を補償するものであり、ノズル駆動が「非吐出(OFF)」となるためである。つまり、各描画領域W1に対応する最初のバンク部62に基準マークM1を形成すると、最初の(Y軸方向に配列された)画素列に機能液が吐出されなくなくなってしまうといった不具合が生じてしまう。このため、本実施形態では、各描画領域W1に対応する最後のバンク部62aを幅広に構成し、当該最後のバンク部62aの検出により、カウントをリセットするようにしている。これにより、万一検出誤差が生じた場合でも、これを補償することができる。
【0090】
なお、基準マーク検出時(幅広バンク部の検出時)に吐出信号を生成するように構成すれば、各描画領域W1に対応する最初の検出位置に、基準マークM1を形成することも可能である。また、図10(b)に示すように、検出対象となる1列分の(X軸方向に配列された)画素列のみ、バンク部62間に更にバンク高の低いバンク部62を設け、1画素に対する吐出回数とそのバンク部数とを等しくするように構成しても良い。この構成によれば、バンク部62の検出毎に吐出信号を生成するといった単純な駆動制御を行うことができる。また、検出対象となる1列分の画素列において、追加されたバンク部62のバンク高を低くすることにより、他の画素列と同様の領域(キャビティ部61)に機能液を吐出することが可能となり、画素の大きさが検出対象の画素列だけ小さくなってしまうことがない。
【0091】
次に、本実施形態の変形例について、図11を参照して説明する。同図に示す例では、非描画領域W2にバンク部62と同材質および同工程で、リニアセンサ51による位置検出用に、検出用バンク部63を設けている。この場合、1つのバンク部63に対して、1つの吐出信号が生成される。したがって、同図に示す例では、1画素に対して、機能液滴が3回吐出されることとなる。また、本例においても、各描画領域W1に対応する最後のバンク部63aを幅広に構成し、当該最後のバンク部63aの検出により、カウントをリセットする。
【0092】
なお、検出用バンク部63のバンク間隔は、必ずしも同一間隔に形成される必要はない。また、本例では非描画領域W2に検出用バンク部63を形成しているため、第1実施形態と同様に、各描画領域W1に対応する最初のバンク部を幅広に構成し、これによりカウントをリセットすることも可能である。
【0093】
以上の通り、本実施形態によれば、画素を区画するバンク部62をリニアスケール52として用いるため、温度変化に伴って熱膨張や変形が生じるワークWを用いた場合でも、吐出精度を保持することができる。
【0094】
また、非描画領域W2において、描画領域W1のバンク部62と同工程且つ同材質の検出用バンク部63を形成することにより、これをリニアスケール52として用いることができる。また、検出用バンク部63は非描画領域W2に形成されるため、機能液の吐出回数等に応じてバンク間隔を自由に設定することができる。
【0095】
なお、描画領域W1に形成された検出対象となるバンク部62、または非描画領域に形成された検出用バンク部63のいずれにおいても、Y軸方向に配列された描画領域列W1―a〜W1―dに対応する部分のみ形成するようにしても良い。この構成によれば、非描画領域W2のバンク部62(または非描画領域W2に対応する検出用バンク部63)を形成する必要が無い。また、この場合、幅広バンク部62a,63aは必ずしも必要ではない。なお、このように描画領域W1に対応する部分のみに検出対象(マークM)を設ける構成については、後述の第4実施形態において説明する。
【0096】
次に、本発明の第3実施形態について、図12ないし図16を参照して説明する。本実施形態では、複数種類の機能液(ここでは、R,G,Bの機能液)により描画を行う場合であって、各機能液が異なるノズル列6から吐出される場合について言及する。なお、ここでは、R,G,Bの機能液を、それぞれノズル列R、ノズル列G、ノズル列Bが吐出し、初期位置から当該順序で描画領域W1に到達するように配列されているものとする。
【0097】
図12は、Y軸方向に同色が並んだストライプ配列の描画領域W1に描画を行う場合のリニアスケール52を示したものである。同図に示すように、各マーク列52aは各色に対応し(図示下側からR,G,Bに対応している)、平行してX軸方向に延在している。本実施形態においても、各画素には機能液滴が3回吐出されることにより描画が行われるため、各画素には、それぞれ3つのマークが対応してマーキングされている。また、X軸方向において、画素がR,G,Bの順序で配列されているため、各マーク列52aは、それぞれの色に対応するように位置ずれしてマーキングされている。さらに、各マーク列52aは、描画領域W1の図示左側側端部の延長線上に、それぞれ基準マークM1を有しており、これにより検出誤差を補償できるようになっている。また、基準マークM1を同一延長線上に配置することにより、各リニアセンサ51による検出位置の、X軸方向におけるずれが生じた場合にこれを検出することができる。そして、リニアセンサ51は、各色に対応したマーク列52aをそれぞれ検出可能な位置に並設されている。
【0098】
このように、本実施形態によれば、機能液の色毎に形成されたマーク列52aを検出するため、マーク位置と、そのマーク検出時に吐出する機能液の色とを関連づけたテーブルや処理プログラム等を必要とすることなく、各ノズル列6を単純に駆動制御することができる。
【0099】
ところで、図13に示すように、各ノズル列6から異なる色の機能液を吐出する場合であって、副走査方向(Y軸方向)に異なる色の画素が配列されている場合、いずれのノズル列6も同じタイミングで吐出信号を生成すると、各ノズル列6間の距離lに応じて、吐出位置(着弾位置)のずれが生じてしまう。このため、各ノズル列6間の距離を考慮して、吐出タイミングを決定する必要がある。そこで、各ノズル列6間の距離lを考慮した対応テーブル350(図14参照)を用いて、各ノズル列6の機能液滴の吐出/非吐出を駆動制御する方法について説明する。なお、副走査方向に異なる色の画素が配列されている場合、ノズル列に配列されたノズル5aを同時に駆動することができないため、以下では、ノズル列Rについてはノズル番号1(以下、ノズル番号は括弧書きで示す),(4)・・・のノズル、ノズル列Gについてはノズル番号(2),(5)・・・のノズル、ノズル列Bについてはノズル番号(3),(7)・・・のノズルの駆動について言及する(ノズル番号(4)〜(7)については図示省略)。
【0100】
例えば、図13に示すように、各画素に対して各色3回の機能液が吐出され、ノズル列6間の距離lに等しい間隔で、1の画素に対応するマーキングが為されている場合、Rの機能液滴をマーク1、マーク4、マーク7の位置検出により吐出すると、Gの機能液滴をマーク2、マーク5、マーク8の位置検出により吐出することとなる。すなわち、図14の対応テーブル350に示すように、ノズル列Gはノズル列Rに対し、ノズル列間の距離lずつオフセットした位置のマーク検出により吐出信号が生成されることとなる。また、同様に、ノズル列Bはノズル列Gに対し、ノズル列間の距離lずつオフセットした位置のマーク検出により吐出信号が生成されることとなる。
【0101】
このように、本実施形態によれば、ノズル列6間の距離を考慮し、その距離分だけオフセットした位置のマーク検出により吐出信号が生成されるように、各ノズル列6に対応した対応テーブル350を用いることにより、複数のノズル列6により描画を行う場合でも、処理プログラム等を用いることなく、各ノズル列6を容易に駆動制御することができる。またこれにより、吐出信号(吐出パターンデータ)を生成するための制御プログラムに要するデータ量を少なくすることができ、一般に市販されている携帯可能な記憶媒体(CD−ROMやDVDなど)に制御プログラムを格納することも可能となる。
【0102】
なお、マーク間の距離は、必ずしも各ノズル列間の距離lと同一である必要はなく、ノズル列間の距離の整数分の1となる間隔であれば良い。例えば、図13に示すマーク列52aのマーク数を2倍にした場合のマーク間距離はl/2となるが、その場合、マーク位置2、マーク位置8、マーク位置14の検出により、ノズル列Rの吐出信号を生成すれば良い。すなわち、各マーク位置に対応して、機能液滴の吐出/非吐出を決定可能なテーブルを作成できれば良い。
【0103】
また、ノズル列6毎に異なる種類の機能液を吐出するのではなく、同一の機能液を複数のノズル列6から吐出する場合においても、本実施形態は適用可能である。また、複数の機能液滴吐出ヘッド5を用いる場合は、ヘッド間の距離(すなわち、ノズル間の距離)分をオフセットしたマーク位置の検出により、吐出信号を生成すれば良い。
【0104】
また、図13に示す例では、1つのリニアセンサ51によりマーク列52aを検出したが、図15に示すように、色毎にリニアセンサ51を設け、ノズル列間の距離lだけオフセットした位置にマーキングされたマーク検出によって吐出信号を生成するようにしても良い。この構成によれば、ノズル列6毎に対応テーブルを用いることなく、全ノズル列6を同一の対応テーブルを用いて駆動制御することができる。
【0105】
また、図16に示すように、副走査方向に同色の画素が並んだストライプ配列の描画を行う場合は、ノズル列6毎に吐出信号の生成が可能であり、Rの画素に対応するマーク群Mrの配置に対し、Gの画素に対応するマーク群Mgの配置は、ノズル列Rとノズル列Gとのノズル間の距離lだけオフセットしている。また同様に、Rの画素に対応するマーク群Mrの配置に対し、Bの画素に対応するマーク群Mbの配置は、ノズル列Rとノズル列Bとのノズル間の距離lの2倍の距離だけオフセットしている。この構成によれば、図15の例と同様に、ノズル列6毎に対応テーブルを用いることなく、全ノズル列6を同一の対応テーブルを用いて駆動制御することができる。
【0106】
次に、本発明の第4実施形態について、図17および図18を参照して説明する。上記の実施形態では、リニアスケール52が、X軸方向に連続したマーク列52aで構成されているものとしたが、本実施形態のリニアスケール52は、描画領域列毎に離間して配置されたマーク列52aで構成されている。そこで、第1実施形態と異なる点を中心に説明する。なお、説明を容易にするため、1列のノズル列6で描画する場合を想定して説明する。
【0107】
図17に示すように、本実施形態のリニアスケール52を構成するマーク列52aは、X軸方向(リニアセンサ51の検出方向)に対して垂直方向に配列された描画領域列毎に離間して配置されている。したがって、X軸方向に配列された4つの描画領域列W1−a〜W1−dから成るワークW上には、4つのマーク列52aでリニアスケール52が構成されている。各マーク列52aは、全て同じ形態のマークMでマーキングされており、第1実施形態のような基準マークM1は存在しない。
【0108】
また、マーク列52aは、図18に示すように、検出開始位置(マーク1)から描画領域列毎にマーク位置1〜36、37〜72、73〜108(マーク位置40以下は図示省略)がそれぞれ対応しており、各画素(キャビティ部61)に対応するマーク数は、機能液滴の吐出回数に等しく、3つずつ配置されている。また、マーク列52aは、各描画領域列W1−a〜W1−dに対応する位置のみマーキングされているため、これら全てのマーク位置に対応するノズル列6は「吐出(ON)」となる。すなわち、本実施形態においては、マーク検出毎に機能液滴を1回吐出するといった単純な構成で吐出タイミングを駆動制御することができる。したがって、図8に示すような対応テーブル350を用いる必要がない。また、マーク検出毎に吐出信号を生成する(マーク位置をカウントしない)ため、万一、読み飛ばしやダブルカウントが生じた場合でも、その後の機能液吐出に影響を与えることがない。
【0109】
このように、本実施形態によれば、リニアスケール52を構成するマーク列52aが、リニアセンサ51の検出方向に対して垂直方向に配列された描画領域列毎に離間して配置されており、マーク列52aの各描画領域列に対応するマーク数は、各描画領域列への機能液の吐出回数に等しいため、マーク検出毎に機能液を1回吐出するといった単純な構成で各ノズル列6の吐出タイミングを駆動制御することができる。したがって、CPU210の負担を軽くすることができると共に、マーク位置と機能液の吐出/非吐出とを対応付ける対応テーブルを用いなくとも、マーク検出のみで描画を行なうことができる。
【0110】
なお、各画素への機能液の吐出回数とマーク数とが単純に一致しない場合など、本実施形態においても、対応テーブル350を必要とする場合があるが、この場合においても、第1実施形態のように基準マークM1を設ける必要はない。何故なら、本実施形態では、マーク列52a間の離間距離により、各描画領域W1の検出開始を認識できるためである。したがって、万一読み飛ばしやダブルカウントなどの検出誤差が生じた場合、続く描画領域W1の吐出開始位置から検出誤差を補償し、吐出精度を保持することができる。
【0111】
次に、本発明の第5実施形態について、図19ないし図21を参照して説明する。上記の実施形態では、1つのリニアセンサ51(R,G,Bの描画を行う場合は各色に対応した3つのリニアセンサ51)により、位置検出を行うものとしたが、本実施形態では、Y軸方向において離間した2つのリニアセンサ51,51を用いて位置検出を行い、当該2つのリニアセンサ51,51の出力のずれに基づいて、各ノズル5aの吐出タイミングを補正するものである。そして、この構成により、ワークWの搬送ずれ(ヨーイングなど)による機能液の吐出位置のずれを補正することができるといった効果を奏する。そこで、上記の実施形態と異なる点を中心に説明する。
【0112】
図19に示すように、本実施形態におけるリニアスケール52は、Y軸方向に離間して配置された2つのマーク列52aから成り、それぞれワークWのY軸方向側端部近傍に平行して配置されている。また、各マーク列52aは、X軸方向におけるマーク間隔、マーク数および配置位置において、いずれも同一となるように形成されている。また、各マーク列52aは、描画領域W1毎に検出ずれを補償するための基準マークM1が設けられており、当該基準マークM1の配置位置もX軸方向において同一である。
【0113】
一方、リニアセンサ51は、各マーク列52aに対応する位置に配置されており、本実施形態の場合、リニアスケール52が2つのマーク列52aから成るため、2つのリニアセンサ51a,51bによりそれぞれのマーク列52aの検出を行う。また、リニアセンサ51a,51bは、機能液滴吐出ヘッド5上の左右端のノズル5a,5aとY軸方向において同位置、若しくはノズル列6の中心位置65から同一距離ずつ離間した位置に配置されている。
【0114】
ところで、本実施形態の場合、機能液滴吐出ヘッド5に対しワークWが移動することにより主走査方向の描画が行われるが、このとき、図20に示すように、ワークWの移動が機能液滴吐出ヘッド5に対して垂直方向からずれてしまうことが想定される。例えば、リニアセンサ51aによる任意のマークM2の検出時をt1、リニアセンサ51bによる上記任意のマークの延長上(X軸方向において同一位置)にあるマークM3検出時をt2とすると、t2>t1の場合、(t2−t1)の検出タイミングのずれが生じたことになる。
【0115】
この場合、リニアセンサ51aとリニアセンサ51bとの検出タイミングのずれからワークWの搬送ずれ(ワークWが傾いて搬送されていること)が検出でき、さらにどちらのリニアセンサ51が先に検出したかにより、ずれ方向についても検出可能となる。つまり、t2>t1の場合、リニアセンサ51aの配置側(図示左側)が先行して搬送されていることとなるため、その搬送ずれを考慮して、機能液滴吐出ヘッド5に配列された複数のノズルのうち、リニアセンサ51bの配置側(図示右側)吐出タイミングを遅らせるように駆動制御する。すなわち、1つの機能液滴吐出ヘッド5に、n個のノズルが配列されている場合、ノズル番号(n)からノズル番号(1)に向かって、(t2−t1)/nずつ吐出タイミングを遅らせていくことで、ワークW上への機能液滴の吐出位置(着弾位置)を補正することができる。
【0116】
但し、この場合、基準マークM1を除いて、マーク形態は全て同じであるため、リニアセンサ51aによって検出したマークと、リニアセンサ51bによって検出したマークがX軸方向において同一の位置に配置されたものであるのか否かを判別することができない。そこで、ワークWの搬送速度をvとしたとき、検出タイミングのずれ(t2−t1)が、マーク間距離lm(図6に示すように、マーク間距離が均等でない場合は、最小値のマーク間距離(例えばマーク1とマーク2間の距離)であることが好ましい)分の搬送時間lm/vの1/2以上となったとき、エラー報知を行う。つまり、検出タイミングのずれ(t2−t1)が、マーク間距離lm分の搬送時間lm/vの1/2以上となると、リニアセンサ51aのマークM2と隣り合うマークM4の検出時をt3としたとき、X軸方向においてマークM3と同一の位置に配置されたマークがM2であるのか、M4であるのかの判別ができなくなってしまうためである。したがって、(t2−t1)≧lm/v×1/2すなわち、(t2−t1)×v≧lm/2となった場合に、エラー報知を行い、オペレータに対して描画処理の中止、および搬送ずれの修正を行うように注意を促す。
【0117】
ここで、各ノズル5aの吐出タイミングの補正処理について、図21のフローチャートを参照して説明する。リニアセンサ51aをセンサA、リニアセンサ51bをセンサBとすると、センサAまたはセンサBで、時間t1に任意のマークを検出した後(S1)、他方のセンサで、時間t2にマークを検出し(S2)、これらの検出結果から、(t2−t1)×v≧lm/2となった場合(S3:Yes)、すなわちリニアセンサ51a,51bの出力のずれが所定量を超えたとき、エラー報知を行う(S4)。エラー報知は、インジケータにて表示しても良いし、ホストコンピュータ300に接続された表示画面(図示省略)上に表示しても良い。また、ビープ音等で報知するようにしても良い。
【0118】
一方、(t2−t1)×v<lm/2となった場合(S3:No)は、各ノズル5aに対し、(t2−t1)/n、すなわちセンサAとセンサBとの検出タイミングのずれを、ノズル数で分割した時間だけ、吐出タイミングを補正する(S5)。このとき、t2>t1の場合はノズル番号(1)側を遅らせ、t2<t1の場合はノズル番号(n)側を遅らせるように駆動制御する。
【0119】
なお、(S3)における判別は、マーク間距離lm分の搬送時間lm/vの1/2以上ではなく、1/3以上など、許容可能な搬送ずれ量に応じて適宜変更可能である。また、リニアスケール52は、2つのマーク列52aではなく複数のマーク列52aで構成しても良いが、その場合においてもいずれか2つのリニアセンサ51はワークWのY軸方向側端部近傍に設けられることが好ましい。
【0120】
以上の通り、本実施形態によれば、リニアエンコーダ50は、複数のマーク列52aから成るリニアスケール52と、当該複数のマーク列52aに臨む複数のリニアセンサ51とによって構成され、これら複数のリニアセンサ51の出力のずれに基づいて、各ノズル5aの吐出タイミングを補正するため、機能液滴吐出ヘッド5(ヘッドユニット15)および/またはワークWの相対的な移動に伴う吐出位置のずれが生じた場合でも、これをノズル単位で解消することができる。すなわち、相対移動に伴う吐出位置のずれを、リニアセンサ51を利用することによって、特別な機構を設けることなく簡易な構成で解消することができる。
【0121】
また、複数のマーク列52aのうち、少なくとも2つのマーク列52aが、ワークWの両側端部の近傍にそれぞれ配置されているため、相対移動に伴う吐出位置のずれをより確実に検出することができる。さらに、複数のリニアセンサ51の出力のずれが所定量を超えたとき、エラー報知を行うため、ユーザに対し処理を続行するか否かの判断を促すことができる。なお、この場合、エラー報知を行うと共に、描画処理を停止する構成としても良い。この構成によれば、吐出位置のずれによる歩留まりの低下を避けることができる。
【0122】
なお、上記の実施形態では、全描画領域を、1回の走査により描画可能なノズル列6を有した機能液滴吐出ヘッド5を用いた場合を例に挙げたが、複数回の走査によって描画を行なう場合は、リニアセンサ51,51の位置と、それぞれの走査時における各ノズル5aの位置とに基づいて、吐出タイミングを補正することが好ましい。すなわち、この場合は、各ノズル5aに対する吐出タイミングの補正が(t2−t1)/nずつとはならず、各リニアセンサ51,51からのY軸方向における相対位置がパラメータとして加わることとなる。
【0123】
また、複数のノズル列6を用いる場合やR,G,Bの機能液で描画を行う場合であって、各ノズル列6に対応するマーク列52aが形成されている場合(例えば、図12に示す例の場合)は、少なくともノズル数の2倍以上のマーク列52aにより、リニアスケール52が構成されることが好ましい。この構成によれば、例えばノズル列6毎にリニアスケール52を検出しながら、相対移動に伴う吐出位置のずれを解消することができる。すなわち、複数のノズル列6を用いたり、複数種類の機能液を吐出したりする場合であっても、マーク位置と、当該マークの検出によって吐出するノズル列6とを関連づけたテーブルや処理プログラム等を必要とすることなく、各ノズル列6を単純に駆動制御することができる。
【0124】
また、非描画領域W2に検出用バンク部63を設ける場合(図11に示す例の場合)も、複数の検出用バンク部63のうち少なくとも2つの検出用バンク部63が、ワークWの両側端部の近傍にそれぞれ配置されることが好ましい。この構成によれば、ヘッドユニット15および/またはワークWの相対移動に伴う吐出位置のずれをより確実に検出することができる
【0125】
なお、図19では、X軸方向にマーク列52aが連続して配置されており、且つ描画領域列毎に基準マークM1を有した第1実施形態に相当する例を示しているが、これに限らず、マーク列52aが離間している形態(第4実施形態)においても、本実施形態は当然適用可能である。
【0126】
以上、第1実施形態ないし第5実施形態において説明したとおり、本発明の液滴吐出装置1によれば、リニアスケール52が、ワークW上にマーキングされたマーク列52aから成るため、温度変化によりワークWの大きさに変化が生じた場合でも機能液の吐出精度を保持することができる。
【0127】
特に、本発明の第1実施形態によれば、リニアスケール52内に基準マークM1を有し、基準マークM1は他のマークとは異なる形態でマーキングされていると共に、描画領域列毎に設けられているため、基準マークM1の検出に基づいてリニアセンサ51によるリニアスケール52のカウントをリセットすることで、万一読み飛ばしやダブルカウントなどの検出誤差が生じた場合、描画領域列毎にこれを補償(修正)することができる。また、基準マークM1は、各描画領域列の検出開始位置を示すため、検出誤差が生じた後、続く描画領域W1の吐出開始位置から吐出精度を保持することができる。
【0128】
また、本発明の第2実施形態における液滴吐出装置1によれば、画素(キャビティ部61)を区画するバンク部62をリニアスケール52として用いるため、温度変化に伴って熱膨張や変形が生じるワークWを用いた場合でも、リニアスケール52を形成する工程(ワークW上にマーキングを行う工程)を必要とすることなく、吐出精度を保持することができる。また、非描画領域W2において、描画領域W1のバンク部62と同工程且つ同材質の検出用バンク部63を形成し、これをリニアスケール52として用いることができるため、上記と同様にリニアスケール52を形成する工程を必要としない。また、検出用バンク部63は非描画領域W2に形成されるため、機能液の吐出回数等に応じてバンク間隔を自由に設定することができる。
【0129】
また、本発明の第3実施形態における液滴吐出装置1によれば、複数のノズル列6により描画を行う場合、ノズル列6間の距離を考慮し、その距離分だけオフセットした位置のマーク検出により吐出信号が生成されるように、各ノズル列6に対応した対応テーブル350を用いるため、処理プログラム等を用いることなく、各ノズル列6を容易に駆動制御することができる。またこれにより、吐出信号(吐出パターンデータ)を生成するための制御プログラムに要するデータ量を少なくすることができる。
【0130】
また、本発明の第4実施形態における液滴吐出装置1によれば、リニアスケール52を構成する複数のマーク列52aが描画領域列毎に離間して配置されており、マーク列52aの各描画領域列に対応するマーク数は、各描画領域W1への機能液の吐出回数に等しいため、マーク検出毎に機能液を吐出するといった単純な構成で各ノズル列6の吐出タイミングを駆動制御することができる。したがって、制御装置(CPU等)の負担を軽くすることができると共に、マーク位置と機能液の吐出/非吐出を対応付ける対応テーブル350を用いなくとも、マーク検出のみで描画を行なうことができる。
【0131】
また、本発明の第5実施形態における液滴吐出装置1によれば、複数のマーク列52aを、それぞれに対応した複数のリニアセンサ51により検出し、これら複数のリニアセンサ51の出力のずれに基づいて、各ノズル5aの吐出タイミングを補正するため、機能液滴吐出ヘッド5(ヘッドユニット15)および/またはワークWの相対的な搬送ずれに伴う吐出位置(着弾位置)のずれが生じた場合でも、これをノズル単位で解消することができる。すなわち、相対移動に伴う吐出位置のずれを、リニアセンサ51を利用することによって、特別な機構を設けることなく簡易な構成で解消することができる。
【0132】
なお、上記の例では、ワークWとしてガラス基板を用いた場合を例に挙げたが、これに限らず、樹脂をフィルム状に構成した基板など、温度変化により熱膨張や変形を生じる基板であれば、本発明を適用可能である。
【0133】
また、本発明は、電気光学装置(デバイス)として、上記の有機EL装置701に限らず、液晶表示装置、電子放出装置、PDP(Plasma Display Panel)装置および電気泳動表示装置等にも適用可能である。なお、電子放出装置は、いわゆるFED(Field Emission Display)装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置も考えられる。
【0134】
また、上記した電気光学装置を搭載した電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータの他、各種の電気製品等が挙げられる。
【0135】
また、その他本発明を逸脱しない範囲で、液滴吐出装置1の装置構成や、リニアスケール52を構成するマークの形態など、適宜変更も可能である。
【0136】
【発明の効果】
以上のように、本発明の液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器および基板によれば、リニアスケールが、ワーク上にマーキングされたマーク列から成るため、温度変化によりワークの大きさに変化が生じた場合でも機能液の吐出精度を保持することができる。また、リニアスケールと、これに臨むリニアセンサとを複数設け、これら複数のリニアセンサの出力のずれに基づいて、各ノズルの吐出タイミングを補正することで、ヘッドユニットおよび/またはワークの相対的な移動に伴う吐出位置のずれが生じた場合でも、リニアセンサを利用することによって、特別な機構を設けることなく簡易な構成で解消することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る有機EL装置の断面図である。
【図2】実施形態に係る、R,G,B画素の配列を示す説明図である。
【図3】実施形態に係る液滴吐出装置の平面視模式図である。
【図4】実施形態に係るワークと、当該ワーク上に形成されたリニアスケールの一例を示す平面図である。
【図5】実施形態に係る液滴吐出装置の制御構成を示す制御ブロック図である。
【図6】実施形態に係るリニアスケールと画素の配列の一例を示す平面図である。
【図7】実施形態に係るリニアスケールと画素の配列の一例を示す斜視図である。
【図8】実施形態に係るマーク位置と、そのマーク位置を検出したときのノズルの吐出/非吐出とを関連づけた対応テーブルの一例を示す図である。
【図9】第2実施形態に係る描画領域のキャビティ部と、これを区画するバンク部と、当該バンク部を検出するリニアセンサとを示す斜視図である。
【図10】第2実施形態に係る非描画領域に形成された検出用バンク部と、当該検出用バンク部を検出するリニアセンサとを示す斜視図である。
【図11】第3実施形態に係る有機EL表示装置の製造方法におけるプラズマ処理工程(親水化処理)の断面図である。
【図12】第3実施形態に係るリニアスケールと画素の配列の一例を示す平面図である。
【図13】第3実施形態に係るリニアスケールと画素の配列の一例を示す平面図である。
【図14】第3実施形態に係るマーク位置と、そのマーク位置を検出したときの各ノズルの吐出/非吐出とを関連づけた対応テーブルの一例を示す図である。
【図15】第3実施形態に係るリニアスケールと画素の配列の一例を示す平面図である。
【図16】第3実施形態に係るリニアスケールと画素の配列の一例を示す平面図である。
【図17】第4実施形態に係るワークと、当該ワーク上に形成されたリニアスケールの一例を示す平面図である。
【図18】第4実施形態に係るリニアスケールと画素の配列の一例を示す平面図である。
【図19】第5実施形態に係るワークと、当該ワーク上に形成されたリニアスケールの一例を示す平面図である。
【図20】第5実施形態に係る、ワークの搬送ずれを示す平面図である。
【図21】第5実施形態に係る各ノズルの吐出タイミングの補正処理を示すフローチャートである。
【符号の説明】
1 液滴吐出装置
3 描画装置
4 ヘッド機能回復装置
5 機能液滴吐出ヘッド
5a ノズル
6 ノズル列
15 ヘッドユニット
50 リニアエンコーダ
51 リニアセンサ
52 リニアスケール
52a マーク列
61 キャビティ部(画素)
62 バンク部
350 対応テーブル
701 有機EL装置
702 有機EL素子
M マーク
M1 基準マーク
W ワーク(基板)
W1 描画領域
W2 非描画領域
Claims (15)
- 機能液滴吐出ヘッドに配列されたノズル列から機能液を選択的に吐出することによりワーク上に描画を行う液滴吐出装置において、
前記機能液滴吐出ヘッドをキャリッジに搭載したヘッドユニットと、
前記ヘッドユニットおよび/または前記ワークを、相対的に移動させる移動機構と、
前記ヘッドユニットと前記ワークとの相対的な移動位置を検出するリニアエンコーダと、
前記リニアエンコーダの検出結果に基づき、前記ノズル列からの機能液の吐出を駆動制御する駆動制御手段と、を備え、
前記リニアエンコーダは、前記ワークの一方の側端部と平行する方向またはこれと直交する方向のいずれかにおいて、平行してマーキングされた複数のマーク列から成るリニアスケールと、当該複数のマーク列に臨む複数のリニアセンサと、によって構成され、
前記駆動制御手段は、前記複数のリニアセンサの出力のずれに基づいて、各ノズルの吐出タイミングを補正することを特徴とする液滴吐出装置。 - 前記複数のマーク列のうち、少なくとも2つのマーク列が、前記ワークの両側端部の近傍にそれぞれ配置されていることを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出装置。
- 前記複数のリニアセンサの出力のずれが所定量を超えたとき、エラー報知を行うエラー報知手段を更に備えたことを特徴とする請求項1または2に記載の液滴吐出装置。
- 前記ワーク上には、少なくとも1以上の描画領域と、これを区画する非描画領域とが配置されており、
前記リニアスケールは、前記非描画領域に形成されていることを特徴とする請求項1、2または3に記載の液滴吐出装置。 - 前記描画領域は、前記ワーク上にマトリクス状に配置されており、
前記リニアスケールは、前記リニアセンサの検出方向に対して垂直方向に配列された各描画領域列の検出開始位置を示す基準マークを有し、当該基準マークは、他のマークとは異なる形態でマーキングされていることを特徴とする請求項4に記載の液滴吐出装置。 - 前記マーク列の各描画領域に対応するマーク数は、当該描画領域への機能液の吐出回数に等しいことを特徴とする請求項4または5に記載の液滴吐出装置。
- 前記描画領域は、前記機能液が吐出されると共に画素を構成する複数のキャビティ部と、これを区画するバンク部とを有しており、
前記リニアセンサは、前記複数のマーク列に代えて前記バンク部を検出することを特徴とする請求項4、5または6に記載の液滴吐出装置。 - 前記非描画領域は、前記描画領域のバンク部と同材質であって、且つ前記複数のマーク列として利用可能な複数の検出用バンク部を有しており、
前記複数のリニアセンサは、前記複数の検出用バンク部を検出することを特徴とする請求項7に記載の液滴吐出装置。 - 前記描画領域は、複数種類の機能液が吐出されることによって描画が行われ、
前記リニアエンコーダは、少なくとも前記機能液の種類数分の2倍のスケール数から成るリニアスケールを、各リニアスケールに対応した前記リニアセンサによって検出することを特徴とする請求項1ないし8のいずれか1に記載の液滴吐出装置。 - 前記ヘッドユニットには、前記機能液滴吐出ヘッドを介して複数のノズル列が配列され、当該ノズル列間の距離をlとしたとき、前記リニアスケールのマーク列は、l/n(nは1以上の整数)のマーク間隔を有しており、
前記マーク列のマーク位置と、そのマーク位置を検出したときの各ノズル列の機能液の吐出/非吐出と、を対応づけた対応テーブルを更に備え、
前記駆動制御手段は、前記対応テーブルを参照して各ノズル列からの機能液の吐出を駆動制御することを特徴とする請求項1ないし9のいずれか1に記載の液滴吐出装置。 - 前記ヘッドユニットには、前記機能液滴吐出ヘッドを介して複数のノズル列が配列され、いずれか1つのノズル列を基準ノズル列としたとき、前記リニアエンコーダは、少なくとも前記機能液の種類数分の2倍のスケール数から成るリニアスケールを、各リニアスケールに対応した前記リニアセンサによって検出し、
各リニアスケールを構成するマーク列は、前記リニアセンサの検出方向において、対応するノズル列の前記基準ノズル列からの距離分だけオフセットした位置に配置されていることを特徴とする請求項1ないし8のいずれか1に記載の液滴吐出装置。 - 請求項1ないし11のいずれか1に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
- 請求項1ないし11のいずれか1に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
- 請求項13に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
- 請求項1ないし11のいずれか1に記載の液滴吐出装置の前記ワークとして用いられることを特徴とする基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003136481A JP4320561B2 (ja) | 2003-05-14 | 2003-05-14 | 液滴吐出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003136481A JP4320561B2 (ja) | 2003-05-14 | 2003-05-14 | 液滴吐出装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004337727A true JP2004337727A (ja) | 2004-12-02 |
JP2004337727A5 JP2004337727A5 (ja) | 2006-06-29 |
JP4320561B2 JP4320561B2 (ja) | 2009-08-26 |
Family
ID=33526436
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003136481A Expired - Fee Related JP4320561B2 (ja) | 2003-05-14 | 2003-05-14 | 液滴吐出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4320561B2 (ja) |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007132727A1 (ja) * | 2006-05-15 | 2007-11-22 | Toray Engineering Co., Ltd. | カラーフィルタ製造方法およびその装置 |
WO2007132726A1 (ja) * | 2006-05-12 | 2007-11-22 | Toray Engineering Co., Ltd. | カラーフィルタ製造方法およびその装置 |
JP2008012874A (ja) * | 2006-07-10 | 2008-01-24 | Ricoh Co Ltd | 画像形成装置 |
JP2008123993A (ja) * | 2006-10-19 | 2008-05-29 | Sharp Corp | 液滴塗布装置および液滴塗布方法 |
JP2008143031A (ja) * | 2006-12-11 | 2008-06-26 | Nisca Corp | 印刷装置 |
JP2009128830A (ja) * | 2007-11-27 | 2009-06-11 | Sharp Corp | 基板処理装置及び基板処理装置の制御方法 |
JP2010072317A (ja) * | 2008-09-18 | 2010-04-02 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタの製造装置 |
JP2010085830A (ja) * | 2008-10-01 | 2010-04-15 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタの製造装置 |
JP2012081372A (ja) * | 2010-10-06 | 2012-04-26 | Toray Eng Co Ltd | 塗布方法および塗布装置 |
JP2012130841A (ja) * | 2010-12-20 | 2012-07-12 | Toray Eng Co Ltd | 塗布方法および塗布装置 |
JP2012173504A (ja) * | 2011-02-21 | 2012-09-10 | Toray Eng Co Ltd | 塗布方法および塗布装置 |
KR20220089440A (ko) * | 2020-12-21 | 2022-06-28 | 세메스 주식회사 | 메인터넌스 유닛 및 이를 구비하는 기판 처리 장치 |
-
2003
- 2003-05-14 JP JP2003136481A patent/JP4320561B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101214286B1 (ko) * | 2006-05-12 | 2012-12-20 | 도레이 엔지니어링 가부시키가이샤 | 컬러 필터 제조 방법 및 그 장치 |
WO2007132726A1 (ja) * | 2006-05-12 | 2007-11-22 | Toray Engineering Co., Ltd. | カラーフィルタ製造方法およびその装置 |
WO2007132727A1 (ja) * | 2006-05-15 | 2007-11-22 | Toray Engineering Co., Ltd. | カラーフィルタ製造方法およびその装置 |
JP5243954B2 (ja) * | 2006-05-15 | 2013-07-24 | 東レエンジニアリング株式会社 | カラーフィルタ製造方法およびその装置 |
TWI398358B (zh) * | 2006-05-15 | 2013-06-11 | Toray Eng Co Ltd | Color filter manufacturing method and device thereof |
JP2008012874A (ja) * | 2006-07-10 | 2008-01-24 | Ricoh Co Ltd | 画像形成装置 |
JP2008123993A (ja) * | 2006-10-19 | 2008-05-29 | Sharp Corp | 液滴塗布装置および液滴塗布方法 |
JP2008143031A (ja) * | 2006-12-11 | 2008-06-26 | Nisca Corp | 印刷装置 |
JP2009128830A (ja) * | 2007-11-27 | 2009-06-11 | Sharp Corp | 基板処理装置及び基板処理装置の制御方法 |
JP2010072317A (ja) * | 2008-09-18 | 2010-04-02 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタの製造装置 |
JP2010085830A (ja) * | 2008-10-01 | 2010-04-15 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタの製造装置 |
JP2012081372A (ja) * | 2010-10-06 | 2012-04-26 | Toray Eng Co Ltd | 塗布方法および塗布装置 |
JP2012130841A (ja) * | 2010-12-20 | 2012-07-12 | Toray Eng Co Ltd | 塗布方法および塗布装置 |
JP2012173504A (ja) * | 2011-02-21 | 2012-09-10 | Toray Eng Co Ltd | 塗布方法および塗布装置 |
KR20220089440A (ko) * | 2020-12-21 | 2022-06-28 | 세메스 주식회사 | 메인터넌스 유닛 및 이를 구비하는 기판 처리 장치 |
KR102510910B1 (ko) | 2020-12-21 | 2023-03-15 | 세메스 주식회사 | 메인터넌스 유닛 및 이를 구비하는 기판 처리 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4320561B2 (ja) | 2009-08-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100766988B1 (ko) | 워크, 전기 광학 장치 및 전자 기기 | |
JP4093167B2 (ja) | 液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器 | |
JP4289391B2 (ja) | 液状体の描画方法、カラーフィルタの製造方法、有機el素子の製造方法 | |
US20060119629A1 (en) | Liquid droplet ejection device, liquid droplet ejection method, manufacturing method of electro-optical device, electro-optical device and electronic equipment | |
JP3966034B2 (ja) | 吐出パターンデータ生成方法および吐出パターンデータ生成装置 | |
JP4691975B2 (ja) | ワークギャップ調整方法、ワークギャップ調整装置、液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法 | |
JP2008145625A (ja) | 描画システム、液状体の描画方法、カラーフィルタの製造方法、有機el素子の製造方法 | |
JP4320560B2 (ja) | 液滴吐出装置 | |
JP4320561B2 (ja) | 液滴吐出装置 | |
JP2005014216A (ja) | ドットずれ検出方法およびドットずれ検出装置 | |
JP2008142654A (ja) | 画素観察システム、描画システム、液状体の描画方法、カラーフィルタの製造方法、有機el素子の製造方法 | |
WO2007132705A1 (ja) | 液滴吐出描画装置 | |
TWI541077B (zh) | 液滴噴出方法及液滴噴出裝置 | |
JP2004141758A (ja) | 液滴吐出装置のドット位置補正方法、アライメントマスク、液滴吐出方法、電気光学装置およびその製造方法、並びに電子機器 | |
TW200413175A (en) | Liquid droplet ejection apparatus and inspection apparatus for its inspecting drawing accuracy, workpiece and inspection apparatus for inspecting processing accuracy of its processing apparatus, and electro-optic device, and manufacturing method thereof | |
JP4539316B2 (ja) | ヘッド位置補正方法およびヘッド位置補正装置、並びに液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法 | |
JP3918601B2 (ja) | 描画システム | |
JP2007055067A (ja) | 印画装置 | |
JP2005044525A (ja) | 電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器 | |
JP2011131156A (ja) | 描画データ補正装置の描画データ補正方法、描画データ補正装置およびこれを備えた液滴吐出装置 | |
JP2006021104A (ja) | 液滴吐出装置 | |
KR100974656B1 (ko) | 데이터 처리 방법 및 이를 구현하는 프로그램이 기록된 기록 매체 | |
JP4352758B2 (ja) | 液滴吐出装置 | |
JP2004111074A (ja) | 有機el表示装置の製造装置と、その製造方法 | |
JP2013077430A (ja) | インクジェット装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060511 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060511 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090219 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090303 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090326 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090507 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090520 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120612 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130612 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |