WO2007132726A1

WO2007132726A1 - カラーフィルタ製造方法およびその装置

Info

Publication number: WO2007132726A1
Application number: PCT/JP2007/059652
Authority: WO
Inventors: Shigeru Higashino; Toshio Yasuda; Shinya Izumida; Junichi Uehara; Takashi Iwade
Original assignee: Toray Engineering Co., Ltd.
Priority date: 2006-05-12
Filing date: 2007-05-10
Publication date: 2007-11-22
Also published as: CN101443682A; TW200906631A; CN101443682B; KR101214286B1; JPWO2007132726A1; KR20090010120A

Abstract

【課題】　吐出不良を迅速に検出するとともに、どのインクジェットノズルの吐出異常かを特定する。【解決手段】　ガラス基板２上に、ＬＣＤパネル画面に相当するブラックマトリックスとブラックマトリックスで囲まれ、かつ着色材料を塗布された画素で構成されるカラーフィルタＣＦが形成され、さらに、前記ガラス基板２の、前記ＬＣＤパネルに相当するブラックマトリックスの外側の所定位置にテストパターンTPが形成されている。

Description

明細書

カラーフィルタ製造方法およびその装置

技術分野

[0001] 本発明は、インクジェットノズルを用いてガラス基板上にカラーフィルタを製造する方法およびその装置に関する。

背景技術

[0002] 従来から、インクジェットノズルを用いてガラス基板上にカラーフィルタを製造する方法が提案されてレ、る（特許文献 1参照)。

[0003] 具体的には、透明基板上に透明な着色材受容層を少なくとも設け、異なった色の画素間となるべき領域を撥着色材性を持った非着色領域とし、同一色となるべき画素同士が隣り合う箇所では、該同一色となるべき複数の画素部分を画素間領域も含めて切れ目なく着色材付与することで着色してカラーフィルタを製造するようにしてレヽる。

[0004] また、インクジェットヘッドから吐出されるインク滴の量を重量で検出し、検出結果に応じた印加電圧をインクジェットヘッドの駆動素子に与えることが提案されている（特許文献 2参照)。

特許文献 1 :特開平 9一 68611号公報

特許文献 2：特開平 11 - 248926号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0005] インクジェットノズノレの使用頻度が高いので、特許文献 1の方法では、常に良好に吐出が行われる保証がなぐ吐出不良が生じると、検查工程で不良が検出されるまで製造を継続する関係上、製造される不良品の数が多くなつてしまうという問題がある。

[0006] また、検查工程には、色度異常検查を行う工程が含まれるが、ひとつの画素を複数のインクジェットノズノレで着色材付与するので、色度異常検查だけでは、どのインクジヱットノズルの異常かを即座には判断できないという問題がある。

[0007] さらに、インクジェットノズルの汚れによる吐出方向の異常、着色材の液滴が分散する異常はブラックマトリックスの汚れなど、画素以外への汚れをもたらすことになるが、その前兆を判定することができないとレ、う問題がある。

[0008] また、特許文献 2の方法では、 1滴の液滴の量が非常に微細（数ピコリットル〜数十ピコリットル)であるから、重量も微小 (数十 x g〜数百 x g)となり、正確な測定が困難である。そして、この測定を電子天秤で行う場合には、液滴が付着した測定部を毎回清浄にする必要があり、清浄のための複雑な装置が必要である。また、清浄が不完全であれば、測定が不正確になってしまう。

[0009] 本発明は、吐出不良を迅速に検出することができ、し力も、どのインクジェットノズノレの吐出異常力 ^特定することができるカラーフィルタ製造方法およびその装置を提供することを目的としている。

課題を解決するための手段

[0010] 請求項 1のカラーフィルタ製造方法は、複数個のインクジェットノズルを備えたインクジェットヘッドを複数個配列したインクジェットヘッドバーとブラックマトリックスを表面に形成したガラス基板とを相対的に移動させながら、前記インクジェットノズルで前記ブラックマトリックスの画素にカラー材料を塗布するカラーフィルタ製造方法において、前記ガラス基板にカラー材料を塗布する準備工程として、事前にテスト用基板にテストパターンを描画し、前記テストパターンのカラー材料の着弾痕の座標を検出し、前記着弾痕の座標を基に吐出データテーブルを作成し、以後の塗布工程における前記インクジェットノズルの吐出を制御する方法である。

[0011] 請求項 2のカラーフィルタ製造方法は、複数個のインクジェットノズルを備えたインクジェットヘッドを複数個配列したインクジェットヘッドバーとブラックマトリックスを表面に形成したガラス基板とを相対的に移動させながら、前記インクジェットノズルで前記ブラックマトリックスの画素にカラー材料を塗布するカラーフィルタ製造方法において、複数回に分けて前記ガラス基板にカラー材料を塗布するようにし、最初の往路の塗布終了後に前記ガラス基板の余剰領域にテストパターンを描画し、復路塗布を行つている間に前記テストパターンのカラー材料の着弾痕の形状を検査する方法である。

[0012] 本明細書において「余剰領域」とは、ガラス基板のうち、カラーフィルタが形成される領域を除く領域を意味し、カラーフィルタが形成される領域が表示領域に対応し、余剰領域が非表示領域に対応してレ、る。

[0013] 請求項 3のカラーフィルタ製造方法は、複数個のインクジェットノズルを備えたインクジェットヘッドを複数個配列したインクジェットヘッドバーとブラックマトリックスを表面に形成したガラス基板とを相対的に移動させながら、前記インクジェットノズルで前記ブラックマトリックスの画素にカラー材料を塗布するカラーフィルタ製造方法において、前記インクジェットノズノレで、前記ガラス基板の余剰領域に前記カラー材料を塗布することにより、テストパターンを描画し、前記テストパターンのカラー材料の着弾痕の座標を検査し、前記テストパターンのカラー材料の着弾痕の座標の検查結果を基に各インクジェットノズルの吐出制御を行う方法である。

[0014] 請求項 4のカラーフィルタ製造方法は、前記テストパターンのカラー材料の着弾痕を千鳥配置に設定することによりテストパターンを描画する方法である。

[0015] 請求項 5のカラーフィルタ製造装置は、複数個のインクジェットノズルを備えたインクジェットヘッドを複数個配列したインクジェットヘッドバーを支持する支持部材と、ブラックマトリックスを表面に形成したガラス基板を吸着保持する吸着テーブルと、インクジェットヘッドバーとガラス基板とを、所定の間隙を保持した状態で相対的に移動させる移動手段と、前記インクジェットノズルの吐出動作を制御して前記ブラックマトリツタスの画素にカラー材料を塗布する吐出制御手段とを含むカラーフィルタ製造装置において、

前記インクジェットノズルで前記ガラス基板にテストパターンを描画するテストパターン描画手段と、前記テストパターンのカラー材料の着弾痕の位置を検査する検査手段と、検査結果を基に着弾痕の座標を演算する演算手段と、演算結果を記憶する記憶手段とを含むものである。

[0016] 請求項 6のカラーフィルタ製造装置は、複数個のインクジェットノズルを備えたインクジェットヘッドを複数個配列したインクジェットヘッドバーを支持する支持部材と、ブラックマトリックスを表面に形成したガラス基板を吸着保持する吸着テーブルと、インクジェットヘッドバーとガラス基板とを、所定の間隙を保持した状態で相対的に移動させる移動手段と、前記インクジェットノズルの吐出動作を制御して前記ブラックマトリツタスの画素にカラー材料を塗布する吐出制御手段とを含むカラーフィルタ製造装置において、

前記インクジェットノズルで前記ガラス基板にテストパターンを描画するテストパターン描画手段と、前記テストパターンのカラー材料の着弾痕の形状を検査する検査手段と、検査結果を基に吐出量の変化を演算する演算手段と、演算結果を記憶する記憶手段とを含むものである。

[0017] 請求項 7のカラーフィルタ製造装置は、前記検查手段として、前記テストパターンのカラー材料の着弾痕の形状を基準形状と比較することにより検査を行うものを採用するものである。

[0018] 請求項 8のカラーフィルタ製造装置は、前記検查手段として、塗布方向と直交する方向に走查するラインスキャンカメラを含むものを採用するものである。

[0019] 請求項 9のカラーフィルタ製造装置は、前記検查手段として、塗布方向と直交する方向に間欠移動し、停止時に撮像するエリアカメラを含むものを採用するものである発明の効果

[0020] 請求項 1のカラーフィルタ製造方法は、テストパターンを事前にテスト用基板上に描画するので、テストパターンのカラー材料の着弾痕の座標を検查することで、どのインクジェットノズルに吐出異常が発生しているかを判定することができる。この結果、インクジェットノズルに吐出異常が発生している場合であっても、不良品が製造されることを防止すること力できる。

[0021] 請求項 2のカラーフィルタ製造方法は、テストパターンをガラス基板上に描画するので、テストパターンのカラー材料の着弾痕の形状を検查することで、どのインクジェットノズノレに吐出異常が発生しているかを迅速に判定することができる。この結果、インクジェットノズルに吐出異常が発生していると判定されるまでの間に製造される不良品の数を 1に減少させることができる。

[0022] また、複数のカラーフィルタについて、テストパターンを順次検査することによって、インクジェットノズルの吐出方向の異常を早期に検出することができ、不良品の発生を未然に防止することができる。

[0023] 請求項 3のカラーフィルタ製造方法は、テストパターンをガラス基板上に描画するので、テストパターンの着弾痕の座標を検査することで、どのインクジェットノズルに吐出異常が発生しているかを迅速に判定することができる。この結果、インクジェットノズルに吐出異常が発生していると判定されるまでの間に製造される不良品の数を減少させること力 Sできる。

[0024] また、複数のカラーフィルタについて、テストパターンを順次検查することによって、インクジェットノズルの吐出方向の異常を早期に検出することができ、不良品の発生を未然に防止することができる。

[0025] 請求項 4のカラーフィルタ製造方法は、隣り合うカラー材料同士の間隔を大きくすることができ、ひいては、検查精度を高めることができる。

[0026] 請求項 5のカラーフィルタ製造装置は、テストパターン描画手段によってテストバターンをガラス基板上に描画するので、検查手段によってテストパターンのカラー材料の着弾痕の位置を検査し、検査結果を基に、演算手段によって着弾痕の座標を演算することで、どのインクジェットノズノレに吐出異常が発生してレ、るかを迅速に判定すること力 Sできる。この結果、インクジェットノズルに吐出異常が発生していると判定されるまでの間に製造される不良品の数を減少させることができる。そして、演算結果を記憶手段に記憶しておくことができる。

[0027] また、複数のカラーフィルタについて、検査手段によってテストパターンのカラー材料の着弾痕の位置を順次検査することによって、インクジェットノズルの吐出方向の異常を早期に検出することができ、不良品の発生を未然に防止することができる。

[0028] 請求項 6のカラーフィルタ製造装置は、テストパターン描画手段によってテストパターンをガラス基板上に描画するので、検査手段によってテストパターンのカラー材料の着弾痕の形状を検査し、検査結果を基に、演算手段によって着弾痕の形状の変化を演算することで、どのインクジェットノズルに吐出異常が発生してレ、るかを迅速に判定することができる。この結果、インクジェットノズノレに吐出異常が発生していると判定されるまでの間に製造される不良品の数を減少させることができる。そして、演算結果を記憶手段に記憶しておくことができる。

[0029] また、複数のカラーフィルタについて、検查手段によってテストパターンのカラー材料の着弾痕の形状を順次検查することによって、インクジェットノズルの吐出方向の異常を早期に検出することができ、不良品の発生を未然に防止することができる。

[0030] 請求項 7のカラーフィルタ製造装置は、テストパターンのカラー材料の着弾痕の形状の検査精度を高めることができる。

[0031] 請求項 8のカラーフィルタ製造装置は、ラインスキャンカメラによってテストパターンのカラー材料の着弾痕を検查することができる。

[0032] 請求項 9のカラーフィルタ製造装置は、エリアカメラによってテストパターンのカラー材料の着弾痕を検查することができる。

発明を実施するための最良の形態

[0033] 以下、添付図面を参照して、本願発明のカラーフィルタ製造方法およびその装置およびカラーフィルタ用基板の実施の形態を詳細に説明する。

[0034] 図 1は本願発明のカラーフィルタ製造装置の一実施形態を示す斜視図である。

[0035] このカラーフィルタ製造装置は、機台 1上に吸着テーブル 3、塗布ガントリー 4、カメラガントリー 6などを支承してレ、る。

[0036] 吸着テーブル 3は、ガラス基板 2を吸着保持するものであり、このガラス基板 2の位置決めを達成するために、図示しない駆動機構、ガイド機構によって、 Θ方向に回転駆動されるとともに、 Y方向に駆動される。

[0037] 塗布ガントリー 4は、インクジヱットヘッドバー 5を保持するものであり、ガラス基板 2にカラー材料を塗布するために、図示しない駆動機構、ガイド機構によって、 X方向に駆動される。また、ガラス基板 2に対する相対位置を調整するために、図示しない駆動機構、ガイド機構によって、インクジェットヘッドバー 5は、 Z方向、 Y方向に駆動される。

[0038] カメラガントリー 6は、ガラス基板 2のアラインメントのためのアラインメントカメラ 7、 8、およびガラス基板 2の、インクジェットノズルからのカラー材料の着弾痕（後述するテストパターンを含む）を検出するためのスキャンカメラ 9を保持するものであり、ァラインメント、画素検出のために、図示しない駆動機構、ガイド機構によって、 X方向に駆動される。また、図示しない駆動機構、ガイド機構によって、アラインメントカメラ 7、 8、スキヤンカメラ 9を Y方向に駆動する。ここで、スキャンカメラ 9としては、ラインスキャンカメラが例示できる。ただし、スキャンカメラに代えてエリアカメラを採用することもできるが、この場合には、エリアカメラを間欠移動させ、停止時に撮像すればよい。

[0039] アラインメントカメラ 7、 8はガラス基板 2のマーク（図示せず）を検出するものであり、アラインメントカメラ 7、 8によるマーク検出結果に基づいて吸着テーブル 3を回転させ、および Zまたは Y方向に移動させることにより、ガラス基板 2のアラインメントを達成すること力 Sできる。

[0040] なお、 X、 Yは、吸着テーブル 3により吸着保持されたガラス基板 2の上面と平行な平面を規定すべく設定された互いに直交する方向を表し、 Zは、 X、 Yにより規定された平面と直交する方向を表してレ、る。

[0041] 図 2はインクジェットヘッドバー 5の構成を示す概略図である。

[0042] このインクジェットヘッドバー 5は、複数個のインクジェットヘッド 51を整列させてなるものであり、各インクジェットヘッド 51は、複数個のインクジェットノズノレ 52を整列させてなるものである。そして、複数個のインクジェットヘッド 51を整列は、全てのインクジエツトノズル 52の X方向の間隔、 Y方向の間隔がそれぞれ所定の間隔となるように設定されている。

[0043] なお、インクジェットノズノレ 52は、所定個数を単位として斜め方向に配列されているので、塗布ガントリー 4を X方向に駆動しながら、インクジェットノズノレ 52を順次動作させることによって、 Y方向に直線的に整列させた状態でカラー材料を塗布することができる。

[0044] 図 2に示すインクジェットヘッドバー 5は、赤（R)、緑（G)、青（B)のカラー材料のレヽずれかを塗布するためのものであり、特には図示していないが、他のカラー材料を塗布するためのインクジェットヘッドバーも設けられている。ただし、赤 (R)、緑 (G)、青（ B)のカラー材料用のインクジェットヘッドバー 5がー体的に並べられていてもよレ、。また、 1色のカラー材料用のインクジェットヘッドバー 5のみが設けられてもよい。

[0045] 次いで、上記の構成のカラーフィルタ製造装置の作用を説明する。

[0046] 図 3はカラー材料塗布処理およびテストパターン検查処理を説明するタイミングチヤート、図 7はテストパターン検查処理の一例を説明するフローチャート、図 8はカラーフィルタ製造処理の一例を説明するフローチャートである。なお、図 3のタイミングチヤートには、図 7のフローチャートに基づく処理は示されていない。 [0047] 先ず、テストパターン検査処理を説明する。

[0048] ステップ SP1において、図示しない搬入ロボットなどによる吸着テーブル 3へのテスト用基板の搬入が行われた後に、ステップ SP2において、図示しない外形規制手段によって、テスト用基板の概略の位置決めを達成する。そして、ステップ SP3において、吸着テーブル 3によりテスト用基板を吸着し、その後、ステップ SP4において、カメラガントリー 6を往動させ、ステップ SP5において、テスト用基板のアラインメントマークを検出し、 Y方向、 Θ方向の位置決めを行うことによって、テスト用基板のァラインメントを達成し、ステップ SP6において、カメラガントリー 6を復動させる。

[0049] 次いで、ステップ SP7において、塗布ガントリー 4を往動/復動させるとともに、塗布ガントリー 4の X座標値を出力し、ステップ SP8において、 X座標値に基づいて塗布ガントリー 4がテストパターン塗布位置に達したか否力、を判定する。そして、テストパターン塗布位置に達していない場合には、再びステップ SP7の処理を行う。

[0050] 逆に、ステップ SP8において塗布ガントリー 4がテストパターン塗布位置に達したと判定された場合には、ステップ SP9において、塗布ガントリー 4の移動を停止させ、ィンクジェットヘッドバー 5の全てのインクジェットノズル 52からカラー材料の液滴を吐出し、ステップ SP 10において、塗布ガントリー 4を復動させ、待機位置で停止させる。

[0051] 図 10はインクジェットノズル 52からの着弾痕の一例を示す図である。

[0052] 図 10には、ノズル列、ノズル番号により定まる着弾痕を示しており、 Pは Y方向の画素ピッチ（インクジェットノズル 52のピッチ）、 L1〜L5はノズル列塗布方向間隔である

[0053] 次いで、ステップ SP11において、カメラガントリー 6を往動させ、ステップ SP12において、カメラガントリー 6がテストパターン検查位置に達したか否かを判定する。そして、テストパターン検查位置に達していない場合には、再びステップ SP11の処理を行う。

[0054] 逆に、ステップ SP12においてカメラガントリー 6がテストパターン検查位置に達したと判定された場合には、ステップ SP13において、カメラガントリー 6を停止させ、ステップ SP14において、スキャンカメラ 9を Y方向に移動させてテストパターンを検出し、その後、スキャンカメラ 9を Y方向に戻す。 [0055] ステップ SP14の処理後、ステップ SP15において、カメラガントリー 6を復動させて待機位置で停止させ、ステップ SP16において、ガラス基板 2の吸着を解除して、排出し、一連の処理を終了する。

[0056] また、ステップ SP15、ステップ SP16の処理と並行して、ステップ SP17において、スキャンカメラ 9による検出信号を画像処理し、 X， Y座標を演算し、ステップ SP18において、テストパターンのインク（カラー材料)着弾痕から検出した座標位置情報を入力し、ステップ SP 19において、ガラス基板 2上の全画素の位置情報 (座標値）を入力し、ステップ SP20において、その他のパラメータを入力し、ステップ SP21において、データテーブルの演算/作成を行レ、、ステップ SP22において、演算結果を吐出データテーブルに記憶し、一連の処理を終了する。

[0057] 図 9は吐出データテーブルの一例を示す図であり、塗布走查回数、塗布方向画素番号、塗布方向画素位置、ノズル列、塗布ガントリー X座標値、全ノズルの吐出パターンが設定されている。なお、 X0は初期移動量、 Pgは X方向（塗布方向）の画素ピッチ、 Ll〜Lnはノズノレ列塗布方向間隔、 mは塗布方向の画素の番号である。

[0058] 上記のフローチャートの処理は、カラーフィルタ製造処理の前の任意のタイミングで行っておけばよい。

[0059] 次いで、カラーフィルタ製造処理を説明する。

[0060] ステップ SP1において、図示しない搬入ロボットなどによる吸着テーブル 3へのガラス基板 2の搬入が行われた後に、ステップ SP2において、図示しない外形規制手段によって、ガラス基板 2の概略の位置決めを達成する。そして、ステップ SP3において、吸着テーブル 3によりガラス基板 2を吸着し、その後、ステップ SP4において、カメラガントリー 6を往動させ、ステップ SP5において、ガラス基板 2のアラインメントマークを検出し、 Y方向、 Θ方向の位置決めを行うことによって、ガラス基板 2のアラインメントを達成し、ステップ SP6において、カメラガントリー 6を復動させる。

[0061] そして、ステップ SP7において、往路塗布か、復路塗布かを判定する。

[0062] ステップ SP7において往路塗布であると判定された場合には、ステップ SP8において、塗布ガントリー 4を往動させるとともに、塗布ガントリー 4の X座標値を出力し、逆に、ステップ SP7において復路塗布であると判定された場合には、ステップ SP9において、塗布ガントリー 4を復動させる。

[0063] そして、ステップ SP8の処理、またはステップ SP9の処理が行われた場合には、ステツプ SP10において、塗布が終端まで行われたか否力を判定する。

[0064] ステップ SP10において塗布が終端までは行われていないと判定された場合には、ステップ SP11において、塗布ガントリー 4の X座標出力信号と吐出データテーブルとを比較し、ステップ SP12において、 X座標と吐出データとがー致しているか否かを判定し、 X座標と吐出データとがー致していれば、ステップ SP13において、インクジエツトノズル 52によりカラー材料の液滴を吐出する。

[0065] そして、ステップ SP12において X座標と吐出データとがー致していないと判定された場合、またはステップ SP13の処理が行われた場合には、再びステップ SP10の判定を行う。

[0066] ステップ SP 10において塗布が終端まで行われたと判定された場合には、ステップ SP14において、往路 1回目の塗布か否かを判定し、往路 1回目の塗布であった場合には、ステップ SP15において、塗布ガントリー 4をテストパターン塗布位置に移動させ、ステップ SP16において、インクジェットヘッドバー 5によりテストパターンを形成する。具体的には、インクジェットヘッドバー 5を X方向に移動させるとともに、吐出動作を行うインクジェットノズル 52を選択することによって、千鳥状のテストパターンを形成する。

[0067] ステップ SP14において往路 1回目の塗布でないと判定された場合、またはステップ SP16の処理が行われた場合には、ステップ SP17において、所定回数の塗布が行われたか否かを判定する。

[0068] ステップ SP17において塗布回数が所定回数に達していないと判定された場合には、ステップ 18において、塗布ガントリー 4を停止させ、インクジェットヘッドバー 5を Y 方向に移動させ、再びステップ SP7の判定を行う。なお、 Y方向の移動距離は、例えば、 1つの画素領域に塗布したいカラー材料の液滴の数により定まる距離であってもよいが、この距離に対して、 Y方向の画素ピッチの整数倍を加算した距離であってもよい。後者の場合には、インクジェットノズノレが異なる画素にインクを吐出することになるので、インクジェットノズノレ毎に着弾痕のサイズのばらつきがあっても、全体として平均ィ匕すること力 Sできる。

[0069] また、ステップ SP17において所定回数の塗布が行われたと判定された場合には、ステップ SP19において、塗布処理を終了し、ステップ SP20において、吸着テープノレ 3によるガラス基板 2の吸着を解除し、図示しない搬出ロボットなどによりガラス基板 2を搬出し、そのまま一連の処理を終了する。

[0070] 以上を要約すれば、

吸着テーブル 3へのガラス基板 2の搬入が行われた後に、外形規制手段による位置決め、およびカメラガントリー 6を往動させることによるガラス基板 2のアラインメントマーク検出、検出結果に基づく Y方向、 Θ方向の位置決めを行うことによって、ガラス基板 2のアラインメントを達成する。その後、カメラガントリー 6を復動させるとともに、吸着テーブル 3によりガラス基板 2を吸着保持する。

[0071] 次いで、塗布ガントリー 4を往動させて 1回目の往路塗布を行う。

[0072] その後、塗布ガントリー 4を余剰領域まで移動させてテストパターンを形成する。

[0073] その後、インクジェットヘッドバー 5を Y方向に僅かに移動させた状態で塗布ガントリ一 4を復動させることによって 1回目の復路塗布を行い、この間に、カメラガントリー 6 を往動させてスキャンカメラ 9によりガラス基板 2のテストパターンの検査を行レ、、その後、カメラガントリー 6を復動させる。

[0074] ここで、テストパターンの検査は、カラー材料の着弾痕の位置の検査であってもよく、カラー材料の着弾痕の形状の検査であってもよい。前者の場合には、検査された位置を基に所定の演算を行うことによって座標値を算出することができる。後者の場合には、形状を基準形状と比較することにより形状の検査を達成することができる。

[0075] その後、塗布ガントリー 4を Y方向に僅かに移動させた状態で往動させることによつて、 2回目の往路塗布を行う。

[0076] その後、塗布ガントリー 4を Y方向に僅かに移動させた状態で復動させることによつて 2回目の復路塗布を行う。

[0077] その後、ガラス基板 2の吸着保持を停止し、吸着テーブル 3から搬出する。

その後、上記の一連の処理を反復的に行うことによって、所望枚数のカラーフィルタを製造すること力 Sできる。 [0078] すなわち、一度のカラー材料の塗布を行った場合には、インクジェットノズル 52同土の間隔と等しい間隔でカラー材料が付着するので、カラー材料を連続的に塗布した状態にはならない。

[0079] しかし、上記のタイミングチャートに従う処理を行った場合には、 Y方向の位置を僅力、に変化させて塗布を行うのであるから、最終的に、図 4に示すように、ガラス基板 2 上に形成されたブラックマトリックス 21の該当する画素領域 22内にカラー材料を連続的に塗布することができる。

[0080] 図 5はガラス基板 2上に 6個のカラーフィルタ CFが形成された状態を示しており、し力、も、カラーフィルタ CFよりも外方の余剰領域に各カラー材料毎のテストパターン TP が形成されている。

[0081] 図 6はテストパターン TP形成部を拡大して示す図であり、カメラガントリー 6により検查されるものとして、 3色分のインクジェットノズノレ 52によって形成されたテストパターン TPを示している。

[0082] したがって、カラー材料同士は互いに離れているとともに千鳥状となっている。

[0083] そして、カメラガントリー 6のスキャンカメラ 9によりテストパターン TPを検査することができ、吐出不良が検出された場合には、直ちに必要な対処 (カラーフィルタの製造中断、インクジェットヘッド 51、インクジェットノズノレ 52の交換など）を行うことができ、不良品が製造されることを最小限にすることができる。また、インクジェットノズル 52の数が必要数よりも多い場合には、吐出不良が検出されたインクジェットノズル 52からのカラー材料の吐出を阻止し、余剰インクジェットノズノレ 52からのカラー材料の吐出を行わせるように、インクジェットノズルの吐出制御を行うことが好ましぐカラーフィルタの製造を中断することなぐ良品のカラーフィルタの製造を継続することができる。

[0084] また、千鳥状にすることによって、カラー材料同士の間隔を大きくすることができ、画像処理にゆとりを持たせることができるので、検查精度を高めることができる。

[0085] また、カメラガントリー 6のスキャンカメラ 9によるテストパターン TPの検查は、塗布ガントリー 4を動作させることによる塗布動作中に行われるので、テストパターン TPを検查するための時間を余分に必要とすることがなぐタクトタイムが長くなつてしまうという不都合を未然に防止することができる。 [0086] ただし、塗布前に検査を行ってもよぐこの場合には、タクトタイムが長くなつてしまう力塗布を中断でき、基板のロスを最小にすることができる。また、塗布終了後に検査を行ってもよく、この場合には、塗布の次工程での検査になるので、タクトタイムには影響を及ぼさなレ、が、基板のロス力 s;i枚以上になってしまう。

[0087] また、カメラガントリー 6のスキャンカメラ 9によるテストパターン TPの検查は、ガラス基板 2に形成されたテストパターン TPに基づいて行われるので、カラー材料の塗布力どのように行われるかを精度よく検查することができる。もちろん、どのインクジェットヘッド 51の吐出異常かを迅速に判定することができる。

[0088] また、検査が座標について行われる場合には、検查結果に基づいてインクジェットヘッド 51の吐出制御を行うことによって、カラー材料の吐出の適正化を達成することができる。

[0089] また、カラーフィルタが製造されるガラス基板毎に上記の検査が行われるので、吐出方向のずれが徐々に大きくなることなどを検出することができ、この結果、吐出方向の異常を早期に検出することができる。

[0090] また、検査がカラー材料の着弾痕の形状にっレ、て行われる場合には、検査結果に基づいてインクジェットヘッド 51の吐出制御を行うことによって、カラー材料の吐出の適正化を達成することができる。

[0091] また、カラーフィルタが製造されるガラス基板毎に上記の検査が行われるので、吐出量の変化を検出することができ、この結果、吐出量の異常を早期に検出することができる。

[0092] さらに、テストパターン TPを別途設けられた検査装置で検査することができ、スキヤンカメラ 9による検出限界を超える詳細な検查を達成することができる。

[0093] また、テストパターンを紙など、ガラス基板 2とは別のものに描画することも考えられる力この場合には、テストパターンを描画するための余分な材料が必要であるだけでなぐテストパターンを描画するための余分な時間が必要であるという問題がある。しかし、上記の実施の形態では、テストパターンを描画するための余分な材料が不要であるとともに、テストパターンを描画するための余分な時間が不要である。

[0094] 以上には、塗布ガントリー 4を吸着テーブル 2に対して X方向に移動させるようにした実施形態を説明したが、塗布ガントリー 4を固定し、吸着テーブル 3を移動させるように構成することが可能である。

図面の簡単な説明

[0095] [図 1]本願発明のカラーフィルタ製造装置の一実施形態を示す斜視図である。

[図 2]インクジェットヘッドバーの構成を概略的に示す拡大図である。

[図 3]カラー材料塗布処理およびテストパターン検查処理を説明するタイミングチヤ一トである。

[図 4]4度の塗布動作でカラー材料が塗布された状態を示す概略図である。

[図 5]ガラス基板上にカラーフィルタとテストパターンが形成された状態を示す概略図である。

[図 6]テストパターン形成部分を拡大して示す概略図である。

[図 7]テストパターン検査処理の一例を説明するフローチャートである。

[図 8]カラーフィルタ製造処理の一例を説明するフローチャートである。

[図 9]吐出データテーブルの一例を示す図である。

[図 10]インクジェットノズルからの着弾痕の一例を示す図である。

符号の説明

[0096] 2 ガラス基板

5 インクジェットヘッド/一

9 スキャンカメラ

51 インクシェットヘッド

52 インクジェットノズノレ

CF カラーフィタ

TP テストパターン

Claims

請求の範囲

[1] 複数個のインクジェットノズノレ（52)を備えたインクジェットヘッド（51)を複数個配列したインクジェットヘッドバー（5)とブラックマトリックスを表面に形成したガラス基板（2) とを相対的に移動させながら、前記インクジェットノズル（52)で前記ブラックマトリックスの画素にカラー材料を塗布するカラーフィルタ製造方法において、

前記ガラス基板（2)にカラー材料を塗布する準備工程として、事前にテスト用基板にテストパターン (TP)を描画し、前記テストパターン (TP)のカラー材料の着弾痕の座標を検出し、前記着弾痕の座標を基に吐出データテーブルを作成し、以後の塗布ェ程における前記インクジェットノズル（52)の吐出を制御することを特徴とするカラーフィルタ製造方法。

[2] 複数個のインクジェットノズノレ（52)を備えたインクジェットヘッド（51)を複数個配列したインクジェットヘッドバー（5)とブラックマトリックスを表面に形成したガラス基板（2) とを相対的に移動させながら、前記インクジェットノズル（52)で前記ブラックマトリックスの画素にカラー材料を塗布するカラーフィルタ製造方法において、

複数回に分けて前記ガラス基板（2)にカラー材料を塗布するようにし、最初の往路の塗布終了後に前記ガラス基板（2)の余剰領域にテストパターン (TP)を描画し、復路塗布を行っている間に前記テストパターン (TP)のカラー材料の着弾痕の形状を検查することを特徴とするカラーフィルタ製造方法。

[3] 複数個のインクジェットノズノレ（52)を備えたインクジェットヘッド（51)を複数個配列したインクジェットヘッドバー（5)とブラックマトリックスを表面に形成したガラス基板（2) とを相対的に移動させながら、前記インクジェットノズル（52)で前記ブラックマトリックスの画素にカラー材料を塗布するカラーフィルタ製造方法において、

前記インクジェットノズル（52)で、前記ガラス基板（2)の余剰領域に前記カラー材料を塗布することにより、テストパターン (TP)を描画し、前記テストパターン (TP)のカラ一材料の着弾痕の座標を検査し、前記テストパターン (TP)のカラー材料の着弾痕の座標の検査結果を基に各インクジェットノズル（52)の吐出制御を行うことを特徴とするカラーフィルタ製造方法。

[4] 前記テストパターン (TP)のカラー材料の着弾痕を千鳥配置に設定することによりテストパターン (TP)を描画する請求項 2に記載のカラーフィルタ製造方法。

[5] 複数個のインクジェットノズノレ（52)を備えたインクジェットヘッド（51)を複数個配列したインクジェットヘッドバー（5)を支持する支持部材と、ブラックマトリックスを表面に形成したガラス基板（2)を吸着保持する吸着テーブル（3)と、インクジェットヘッドバー（ 5)とガラス基板（2)とを、所定の間隙を保持した状態で相対的に移動させる移動手段と、前記インクジェットノズノレ（52)の吐出動作を制御して前記ブラックマトリックスの画素にカラー材料を塗布する吐出制御手段とを含むカラーフィルタ製造装置において、前記インクジェットノズノレ（52)で前記ガラス基板（2)にテストパターン (TP)を描画するテストパターン描画手段と、前記テストパターン (TP)のカラー材料の着弾痕の位置を検査する検査手段（9)と、検査結果を基に着弾痕の座標を演算する演算手段と、演算結果を記憶する記憶手段とを含むことを特徴とするカラーフィルタ製造装置。

[6] 複数個のインクジェットノズノレ（52)を備えたインクジェットヘッド（51)を複数個配列したインクジェットヘッドバー（5)を支持する支持部材と、ブラックマトリックスを表面に形成したガラス基板（2)を吸着保持する吸着テーブル（3)と、インクジェットヘッドバー（ 5)とガラス基板（2)とを、所定の間隙を保持した状態で相対的に移動させる移動手段と、前記インクジェットノズノレ（52)の吐出動作を制御して前記ブラックマトリックスの画素にカラー材料を塗布する吐出制御手段とを含むカラーフィルタ製造装置において、前記インクジェットノズノレ（52)で前記ガラス基板（2)にテストパターン (TP)を描画するテストパターン描画手段と、前記テストパターン (TP)のカラー材料の着弾痕の形状を検査する検査手段 (9)と、検査結果を基に吐出量の変化を演算する演算手段と、演算結果を記憶する記憶手段とを含むことを特徴とするカラーフィルタ製造装置。

[7] 前記検査手段（9)は、前記テストパターン (TP)のカラー材料の着弾痕の形状を基準形状と比較することにより検查を行うものである請求項 6に記載のカラーフィルタ製造装置。

[8] 前記検査手段（9)は、塗布方向と直交する方向に走査するラインスキャンカメラを含んでいる請求項 5または請求項 6に記載のカラーフィルタ製造装置。前記検査手段（9)は、塗布方向と直交する方向に間欠移動し、停止時に撮像するェリアカメラを含んでいる請求項 5または請求項 6に記載のカラーフィルタ製造装置。