JP5606258B2 - 塗布方法および塗布装置 - Google Patents

Description

本発明は、可撓性を有する長尺状の基材上に格子状に配列された複数の凹部のそれぞれにインクジェット方式によりインクを塗布する方法およびその装置に関する。

画像表示機器に使用されるカラーフィルタに画素要素を形成する色素を塗布する方法の一つとして、従来からインクジェット法が提案されている。具体的には、マトリクス状に遮光部が形成されたガラス等で作成された基板上に形成された複数の区画のそれぞれに、塗布ヘッドのノズルからインクを吐出して塗布し、インク層が形成される（特許文献１参照）。

図１０に、インクジェット方式を用いた、カラーフィルタの画素要素形成に用いられる塗布装置の一例を示す。塗布装置１００は、機台１０１、吸着テーブル１０３（保持ステージ）、塗布ガントリ１０４、およびカメラガントリ１０６を含む。吸着テーブル１０３、塗布ガントリ１０４、およびカメラガントリ１０６は機台１０１上に配置されている。保持ステージである吸着テーブル１０３は、カラーフィルタ基板であるガラス基板１０２を吸着保持する。同図において、Ｘ軸およびＹ軸は、吸着テーブル１０３により保持されたガラス基板１０２の上面と平行な平面を規定すべく設定された互いに直交する軸であり、Ｚ軸は同平面と直交する軸である。吸着テーブル１０３は、図示しない駆動機構およびガイド機構によってＺ軸周りに回転されて、ガラス基板１０２を所定の位置に位置決めする。本例においては、ガラス基板１０２は矩形状に形成されると共にその長辺および短辺がそれぞれＸ軸およびＹ軸に平行なＸ方向およびＹ方向に平行に位置決めされる。

塗布ガントリ１０４は、塗布ヘッドバー１０５を保持するものであり、ガラス基板１０２の所定位置にインクを塗布するため、図示しない駆動機構およびガイド機構によって、Ｘ方向に駆動される。なお、塗布ヘッドバー１０５は、ガラス基板１０２に対する相対位置を調整するため、図示しない駆動機構、ガイド機構によってＺ軸に平行なＺ方向にもＹ方向にも駆動される。

カメラガントリ１０６は、アラインメントカメラ１０７および１０８とスキャンカメラ１０９を保持するものである。アラインメントカメラ１０７および１０８は、ガラス基板１０２の位置合わせのために、ガラス基板１０２のマーク（図示せず）の検出に用いられる。スキャンカメラ１０９は、ガラス基板１０２に供給されたインクを検出するための計測に用いられる。カメラガントリ１０６は、ガラス基板１０２の位置合わせや、吐出されたインクの検出のため、図示しない駆動機構およびガイド機構によってＸ方向に駆動される。アラインメントカメラ１０７および１０８とスキャンカメラ１０９は、図示しない駆動機構およびガイド機構によってＹ方向にも駆動される。

アラインメントカメラ１０７および１０８による、ガラス基板１０２のマーク検出結果に基づいて、吸着テーブル１０３をＺ軸周りに回転させ、および／またはＹ方向に移動して、ガラス基板１０２の位置合わせを行う。ガラス基板１０２のＸ軸方向の位置の誤差は、インクの吐出タイミングを調整することにより修正する。

特開２００２−２７３８６８号公報

近年の画像表示機器、特に携帯用の画像表示機器に対する耐衝撃性の向上、軽量化、および薄型化等の要求に応えるには、上述のガラス基板では困難である。さらに、電子ペーパーに代表される可撓性を有すると共に軽量の画像表示機器に対する要求には、対応不可と言わざるを得ない。

このような要求に対しては、ガラス基板の代わりに可撓性を有する樹脂フィルム等を、画像表示機器の基材として使用することが考えられる。ガラス基板の個々をそれぞれ１枚の樹脂フィルムに置き換えれば、耐衝撃性、軽量化、および薄型化の要求に対しては非常に有効である。しかしながら、樹脂フィルムはその可撓性のために、１枚ずつ個別に搬送したり位置決めしたりするなどの取り扱いが非常に困難である。

本発明においては、上述の問題に鑑みて、可撓性を有する画像表示機器の製造において、可撓性基材をより簡単な構成で位置決めして、基材に形成された複数の凹部のそれぞれにインクジェット方式によりインクを塗布できる塗布方法および塗布装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明の塗布方法は、矩形シート状の基材の長手方向に所定間隔で連続して形成されている複数の矩形領域に格子状に配設されている複数の凹部のそれぞれに複数のノズルを用いてインクジェット方式により所定の色調のインクを塗布する塗布方法であって、
複数のリールが前記基材をその長手方向に所定の張力を掛けて所定の高さで保持すると共に、当該長手方向に垂直な短手方向に位置決めする第１の保持工程と、
吸着プレートが前記位置決めされた基材を前記所定の高さに位置する面で受け止める第２の保持工程と、
前記複数のノズルを前記保持された基材から外れた、当該基材の側部近傍の待機位置で待機させる待機工程と、
前記短手方向および前記所定の高さに保持された前記基材を、前記矩形領域の単位で供給する基材供給工程と、
前記供給された矩形領域の基材を吸着固定する矩形領域固定工程と、
前記矩形領域の、前記長手方向におけるＸ位置誤差と、前記短手方向におけるＹ位置誤差と、前記長手方向に対する平行誤差とを求めるアライメント情報算出工程と、
前記Ｘ位置誤差に基づき、前記矩形領域に対する前記複数のノズルのＸ方向の位置を補正する工程と、
前記平行誤差に基づき、前記矩形領域に対する前記複数のノズルの配列方向の傾きを補正する工程と、
前記複数のノズルの前記矩形領域に対する位置および配列方向の傾きが補正された後に、前記複数のノズルを前記待機位置から前記短手方向に平行な第１の塗布スキャン方向に移動させながら、当該複数のノズルの中の任意のノズルから、前記吸着固定された矩形領域に配設されている複数の凹部のそれぞれにインクを吐出させるインク吐出工程とを備える。

本発明の塗布方法および塗布装置によると、可撓性を有する長尺状の基材に格子状に配列された複数の凹部に迅速に且つ精度良くインクを塗布できる。

本発明の実施の形態に係る塗布装置と樹脂フィルムとを示す模式図である。 図１に示した塗布ユニットと樹脂フィルムとを示す平面図である。 図２に示した樹脂フィルムにおける搬送単位の説明図である。 図２に示したインクジェットヘッドバーのインク塗布面を表す模式図である。 図４に示したヘッドモジュールにおけるノズルの配列を表す模式図である。 本発明の実施例１に係る塗布ユニットの樹脂フィルムに対する塗布動作を示す平面図である。 図６に示した塗布装置の動作を表すフローチャートである。 本発明の実施例２に係る塗布ユニットの樹脂フィルムに対する塗布動作を示す平面図である。 図８に示した塗布装置の動作を表すフローチャートである。 従来の塗布装置の斜視図である。

まず、図１、図２、図３、図４、および図５を参照して、本発明の実施の形態に係る塗布方法および塗布装置について説明する。そして、図６および図７を参照して、本発明の実施例１に係る塗布方法および塗布装置について説明し、図８および図９を参照して、本発明の実施例２に係る塗布方法および塗布装置について説明する。

図１に示すように、本発明の実施の形態に係る塗布装置２の上流側には巻出部１が設けられると共に、下流側には巻取部３が設けられている。巻出部１、塗布装置２、および巻取部３は、それぞれが軸Ａｘに沿って配置されている。樹脂フィルムＦは、巻出部１においてロールＷｒ１の状態で保持されると共に、巻取部３によって巻き取られて、ロールＷｒ３の状態で保持される。なお、樹脂フィルムＦは巻出部１のリールＲ１でガイドされて、軸Ａｘに平行なＸ方向に繰り出される。なお、Ｘ方向は、樹脂フィルムＦの長手方向でもある。巻取部３は塗布装置２から繰り出された樹脂フィルムＦをリールＲ３でガイドしながら巻き取る。本発明においては、画像表示器の基材、すなわちインクが塗布される対象物はガラス基板の代わりに可撓性を有する長尺の矩形のシート状の樹脂フィルムＦが用いられる。

図２に示すように、樹脂フィルムＦは、従来のガラス基板の１枚に取って代わるものではなく、複数枚のガラス基板が連続して長尺状に構成されたものに対応している。これにより、その可撓性ゆえに個々では取り扱いが困難な樹脂フィルムＦをより容易に取り扱うと共に、複数枚のガラス基板に相当する領域に迅速、連続的、かつ正確にインクを塗布することを図っている。

樹脂フィルムＦには、インクが塗布されることによって、画像表示器における画素となるべき凹部Ｐ（図２）が予め格子状のパターンに形成されている。凹部Ｐを画素要素Ｐと呼ぶ。本実施の形態では、樹脂フィルムＦとして、ポリエチレンテレフタレートからなる、厚さが約１００μｍのシート状のフィルムが使用されるが、これに限られるものではない。

図１に戻って、巻出部１、塗布装置２、および巻取部３は、それぞれ、自身の動作を制御する制御器１Ｃ、制御器２Ｃ、および制御器３Ｃを含む。制御器１Ｃと制御器２ＣはラインＬ１で相互に接続され、制御器２Ｃと制御器３ＣはラインＬ２で相互に接続されている。制御器１Ｃは自身の動作状態を示す制御信号Ｓｃ１２をラインＬ１を介して制御器２Ｃに送信し、制御器３Ｃは自身の動作状態を示す制御信号Ｓｃ３２をラインＬ２を介して制御器２Ｃに送信する。制御器２Ｃは、受信した制御信号Ｓｃ１２および制御信号Ｓｃ３２に基づいて、全体としての塗布動作を決定して、ラインＬ１を介して制御器１Ｃに対する制御信号Ｓｃ２１を送信し、ラインＬ２を介して制御器３Ｃに対する制御信号Ｓｃ２３を送信する。このようにして、塗布動作が制御される。後ほど図７および図９を参照して、それぞれ異なる実施例における制御器２Ｃによる塗布動作制御について詳述する。

樹脂フィルムＦは床ＦＬからリールＲ１およびＲ３の外周上端高さＨＲで、その長手方向（Ｘ方向）に所定の張力が掛かった状態で、リールＲ１およびリールＲ３によって保持されると共に、Ｘ方向に所定枚数の画像表示器に相当する分だけ間欠移動しながら搬送されて、塗布装置２に供給される。このように1回の間欠移動動作によって搬送される樹脂フィルムＦの領域を搬送単位Ｕｔと呼ぶ。

図３を参照して、搬送単位Ｕｔについて簡単に説明する。樹脂フィルムＦは中心軸Ａｆに沿って延在する長尺のシートであり、中心軸Ａｆが上述の軸Ａｘと平行になるように配置される。図３（ａ）には、搬送単位Ｕｔに１枚分の画像表示器に相当する画像表示領域Ｓが形成されている例が示されている。画像表示領域Ｓには、画素要素である凹部Ｐが格子状のパターンに形成されている。画像表示領域Ｓは、中心軸Ａｆに平行な方向（Ｘ方向）に長さＬｓｘだけ延在し、中心軸Ａｆに垂直な方向（Ｙ方向）に長さＬｓｙだけ延在している。なお、樹脂フィルムＦに準じて、長さＬｓｘおよび長さＬｓｙをそれぞれ画像表示領域Ｓの長さおよび幅と呼ぶ。

図３（ｂ）には、搬送単位Ｕｔに複数枚の画像表示領域Ｓ１・・・Ｓｎ（ｎは２以上の整数）が形成されている例が示されている。本例においては、９（３×３）枚の画像表示領域Ｓ１〜Ｓｎが規則正しく配列されている。画像表示領域Ｓ、およびＳ１〜Ｓｎは、それぞれ従来のガラス基板の１枚に相当する。画像表示領域Ｓ１〜Ｓｎ（ｎ＝９）は、図３（ａ）の画像表示領域Ｓが、凹部Ｐを有しない部分によってｎ（ｎ＝９）個に分割されたものと同等である。なお、本実施の形態においては、説明の簡便化のために、搬送単位Ｕｔには従来のガラス基板の１枚に相当する画像表示領域Ｓが形成されているものとする。なお、図２における例では、図３（ａ）に示した搬送単位Ｕｔに１枚分の画素表示に相当する画像表示領域Ｓが形成されている樹脂フィルムＦが用いられている。

図１に示すように、塗布装置２においては、樹脂フィルムＦは、床ＦＬから高さＨＲになるように設置された吸着プレート８の上面にガイドされる。これにより、樹脂フィルムＦは、巻出部１、塗布装置２、および巻取部３の間で、ほぼ高さＨＲの位置で張力が掛かった状態で保持かつ搬送される。塗布装置２は、図１において、吸着プレート８より下部に位置する塗布ベース２Ｂと、吸着プレート８を含み塗布ベース２Ｂより上部に位置する塗布ユニット２Ｇとに大別される。

このように、樹脂フィルムＦは、その短手（軸Ａｘに垂直な）方向であるＹ（幅）方向およびＸ（長さ）方向に関してリールＲ１およびリールＲ３によっておおよそ位置決め（ガイド）され、Ｚ（高さ）方向に関してはリールＲ１、吸着プレート８、およびリールＲ３によって位置決め（ガイド）されている。

所定の枚数の画像表示器に相当する樹脂フィルムＦの搬送単位Ｕｔが吸着プレート８上に供給（載置）される。そして、吸着プレート８は樹脂フィルムＦを吸着固定する。吸着固定された樹脂フィルムＦに対して、複数のインクジェットノズル１３（図５）を備えるインクジェットヘッドバー５が相対移動しながら、前記インクジェットノズル１３により、画素要素である複数の凹部Ｐから任意に選択される凹部Ｐに対して、インクが塗布される。塗布装置２（主に、塗布ユニット２Ｇ）の構成およびその動作について、図２、図６、および図８を参照して後ほど詳述する。

好ましくは、インクが塗布された樹脂フィルムＦは、塗布装置２と巻取部３との間に設けられた装置（図示せず）において、乾燥および検査等の処理が行われる。その後、樹脂フィルムＦは巻取部３において、ロール状に巻き取られる。

図２を参照して、塗布ユニット２Ｇの構成について説明する。樹脂フィルムＦには連続する３つの搬送単位Ｕｔ１、Ｕｔ２、およびＵｔ３が形成されている。そして、搬送単位Ｕｔ１、Ｕｔ２、およびＵｔ３のそれぞれには、１枚の画像表示器に相当する画像表示領域Ｓ１、Ｓ２、およびＳ３が形成されている。上述のように、本例においては画像表示領域Ｓは、従来のガラス基板の１枚に相当するが、複数のガラス基板に相当するように構成しても良い。

塗布ユニット２Ｇは、フロントフレームＦＲｆ、バックフレームＦＲｂ、塗布ガントリ４、カメラガントリ６、および吸着プレート８（保持ステージ）を含む。フロントフレームＦＲｆおよびバックフレームＦＲｂは、軸Ａｘ（Ｘ方向）に垂直なＹ方向に平行に延在するように塗布装置２のベース（図示せず）に固定されている。なお、フロントフレームＦＲｆは上流（巻出部１）側に、バックフレームＦＲｂは下流（巻取部３）側に配置されている。つまり、フロントフレームＦＲｆおよびバックフレームＦＲｂは、Ｘ方向、Ｙ方向、およびＺ方向に関して固定されている。

塗布ガントリ４は、フロントフレームＦＲｆおよびバックフレームＦＲｂに対して、Ｙ方向にスライド可能に取り付けられると共に、図示されていない駆動手段によってＹ方向に高精度にスライドされる。塗布ガントリ４には、インクを樹脂フィルムＦに対して塗布するインクジェットヘッドバー５が保持されている。インクジェットヘッドバー５は、軸Ａｘに平行な軸Ａ５に沿って所定長Ｌだけ延在する。インクジェットヘッドバー５の延在長Ｌは、画像表示領域Ｓの長さＬｓｘより長く設定されている。また、インクジェットヘッドバー５は、図示されていない駆動手段により、軸Ａ５上の任意の点（好ましくは、中心）を通るＺ軸（図示せず）を中心として任意の角度θだけ回転可能に保持されている。さらに、インクジェットヘッドバー５は、その回転軸がＸ方向に所定の距離△Ｘだけ、左右に移動可能に保持されている。

つまり、インクジェットヘッドバー５は、Ｘ方向（軸Ａｘ）に対して０°以上θ°以下の範囲の角度を成した状態で、Ｘ方向に△Ｘだけスライドできるように構成されている。なお、インクジェットヘッドバー５は、樹脂フィルムＦへのインク塗布動作が開始する迄、或いはインク塗布動作間は、樹脂フィルムＦを外れたホームポジションＨＰで待機させられる。ホームポジションＨＰは、好ましくは、画像表示領域Ｓに形成された複数の凹部（画素要素）Ｐの中で最初にインクが塗布される凹部Ｐに間近の位置が好ましいが、メンテナンス、フラッシング待機、ヘッド交換、および清掃などの作業性を考慮して決定される。これについては、後ほど詳述する。

カメラガントリ６は、塗布ガントリ４と同様に、Ｙ方向にスライド可能にフロントフレームＦＲｆおよびバックフレームＦＲｂに取り付けられていると共に、図示されていない駆動装置によってＹ方向に高精度にスライドされる。カメラガントリ６は、それぞれＸ方向に高精度にスライドできるアラインメントカメラ７およびスキャンカメラ９を保持している。アラインメントカメラ７およびスキャンカメラ９は、図示されていない駆動手段により、Ｘ方向に高精度にスライドされる。

アラインメントカメラ７は、インクジェットヘッドバー５を樹脂フィルムＦに対して位置合わせするための、樹脂フィルムＦのマーク（図示せず）の検出に用いられる。スキャンカメラ９は、樹脂フィルムＦの画像表示領域Ｓ以外の所定の部分にテストパターンとして吐出されたインクを検出するための計測に用いられる。アラインメントカメラ７およびスキャンカメラ９は、インクジェットヘッドバー５の樹脂フィルムＦに対する位置合わせや、吐出されたインクの検出のため、図示しない駆動機構およびガイド機構によってＸ方向に駆動される。アラインメントカメラ７およびスキャンカメラ９は、Ｙ方向にも駆動される。

図４を参照して、インクジェットヘッドバー５について説明する。本例においては、インクジェットヘッドバー５には、３つのヘッドユニット１０ａ、１０ｂ、および１０ｃ（必要に応じて、ヘッドユニット１０と総称する）がＸ方向に所定の距離Ｄ２だけ離間して平行に設けられている。以降、距離Ｄ２を必要に応じてヘッドユニット離間距離Ｄ２と称する。ヘッドユニット１０は、それぞれ異なる色調のインクを吐出する３つのヘッドモジュール１１ａ、１１ｂ、および１１ｃ（必要に応じて、ヘッドモジュール１１と総称する）が設けられている。ヘッドモジュール１１がＸ方向にインクを塗布できる長さをヘッドモジュール塗布幅Ｗｍと呼ぶ。なお、ヘッドモジュール塗布幅Ｗｍに関しては、後ほど図５を参照して説明する。

ヘッドモジュール１１ａ、１１ｂ、および１１ｃは所定の距離Ｄ１ずつＸ方向にシフトして配置されている。以降、距離Ｄ１を必要に応じてヘッドモジュールシフト距離Ｄ１と称する。なお、ヘッドモジュールシフト距離Ｄ１はヘッドモジュール塗布幅Ｗｍに相当し、ヘッドユニット離間距離Ｄ２はヘッドモジュール塗布幅Ｗｍの２倍（２Ｗｍ）に相当する。つまり、１つのヘッドユニット１０がＸ方向にインクを塗布できる長さをヘッドユニット塗布幅Ｗｕと称する。ヘッドユニット塗布幅Ｗｕはヘッドモジュール塗布幅Ｗｍの３倍（３Ｗｍ）である。結果、インクジェットヘッドバー５をＹ方向に移動させることによって、Ｘ方向にヘッドユニット塗布幅Ｗｕの３倍の長さに渡ってインクを樹脂フィルムＦに塗布することができる。なお、ヘッドユニット塗布幅Ｗｕは、通常９０ｍｍ程度である。

本例においては、インクジェットヘッドバー５のＸ方向の塗布幅は３・Ｗｕである。しかしながら、必要に応じて、Ｌ（Ｌは自然数）個のヘッドユニット１０を設けることにより、塗布幅をＬ・Ｗｕとすることができる。インクジェットヘッドバー５のＸ方向の塗布幅Ｌ・Ｗｕは次式（１）を満たす。
Ｌ・Ｗｕ≧Ｌｓｘ ・・・・ （１）

図５を参照して、ヘッドモジュール１１について説明する。ヘッドモジュール１１は、Ｘ方向を長辺とし、Ｙ方向を短辺とする矩形状の吐出面を有している。ヘッドモジュール１１には、Ｘ方向を長辺とし、Ｙ方向を短辺とする矩形状の吐出面を有する塗布ヘッド１２が複数個（本例においては５）、Ｙ方向に隣接して設けられている。つまり、ヘッドモジュール１１の吐出面は、複数の塗布ヘッド１２の吐出面で構成されている。

塗布ヘッド１２の吐出面には、Ｘ方向に所定の間隔で配列された、同一の色調のインクを吐出する複数のノズル１３がＹ方向に複数段（本例においては、２段）に渡って設けられている。なお、上述のように、ヘッドモジュール１１はそれぞれ同一色調のインクを吐出するので、１つのヘッドモジュール１１に設けられている全てのノズル１３は同一色調のインクを吐出できる。樹脂フィルムＦの凹部Ｐ、つまり画素要素への塗布は１つのヘッドモジュール１１に設けられているノズル１３の全てを使用する必要はなく、１つの画素要素を塗布するのに必要なノズル数を自由に選択できる。

しかしながら、ノズル１３は、完全に全く同じものを作製するのは困難であるため、ノズル毎に微妙にインクの吐出量が異なる。この吐出量の差は微妙な差であるが、広範囲の領域を塗布した場合は、この微妙な違いが塗布ムラとなって現れる。本発明の出願人は、この塗布ムラを解消する塗布方法を特願２００９−２２１１６１号において提案している。同塗布法においては、インクジェットヘッドバー５に設けられている同一色調のインクを吐出できる全てのノズル１３から吐出量が所定の値になるようにする任意のノズルを選択して、隣接する画素要素とのインクの塗布量の違いを十分に小さな違いにすることにより、塗布ムラの解消を図っている。つまり、インクジェットヘッドバー５に設けられている同一色調のノズル１３の全てから、任意に組み合わせたノズル１３にのみインクを対象の画素要素（凹部Ｐ）に吐出させるように制御している。

上述のように、インクの吐出量を均一にして、画素要素毎のインク塗布量を均一にしても、画素要素毎の乾燥条件の相違が、画素要素間での色ムラに繋がる乾燥ムラを招くことがある。本発明の出願人は、さらに、この画素要素間の乾燥ムラを防止する塗布方法を、特開２００９−１６９４１５号公報に提案している。同塗布方法においては、ヘッドモジュールをＸ方向に塗布幅Ｗｍより短い距離の移動を行わせて、１度ヘッドモジュールが通過した場所を、再度ヘッドモジュールが通過するラップ部をヘッドモジュールの端部で塗布した部分に設けることにより、ラップ部の形成がヘッドモジュール端部で塗布した領域の乾燥環境をヘッドモジュール中央部で塗布した領域の乾燥環境に近づけることにより、乾燥ムラの低減を図っている。

実施例１および実施例２においては、樹脂フィルムＦの中心軸Ａｆが、巻出部１、塗布装置２、および巻取部３の共通の軸Ａｘに対して、平行ではなく、θ°だけ傾いている場合の、インクジェットヘッドバー５の塗布スキャン方法が異なる点を除いて、同様に構成され同様に制御される。この違いは、塗布ユニット２Ｇの、主にインクジェットヘッドバー５の機構および制御器２Ｃの制御方法の違いによって実現される。よって、実施例１および実施例２における塗布ユニット２Ｇとインクジェットヘッドバー５と制御器２Ｃとのそれぞれを、塗布ユニット２Ｇａ（図６）および２Ｇｂ（図８）とし、インクジェットヘッドバー５ａ（図６）および５ｂ（図８）とし、制御器２Ｃａおよび２Ｃｂとして識別して以下に説明する。同様に、塗布装置２も塗布装置２ａおよび２ｂとして識別する。なお、塗布装置２ａおよび２ｂと制御器２Ｃａおよび２Ｃｂについては、図１を援用する。

（実施例１）
図６および図７を参照して、本発明の実施例１に係る塗布方法および塗布装置について説明する。上述のように、本実施例における塗布ユニット２Ｇａは、インクジェットヘッドバー５がインクジェットヘッドバー５ａに交換されている点を除いて、塗布ユニット２Ｇと同様に構成されている。インクジェットヘッドバー５ａは、インクジェットヘッドバー５と同様に、Ｘ方向（軸Ａｘ）に対して０°以上θ°以下の範囲の角度を成した状態で、Ｘ方向に△Ｘだけスライドできるように構成されている。なお、θおよび△Ｘはそれぞれ次式（２）および（３）を満たす。
０≦θ≦１° ・・・・（２）
０≦△Ｘ≦Ｗｕ ・・・・（３）

次に、図７を参照して、主に制御器２Ｃａ（図１を援用）の動作を中心に、本実施例における塗布装置２ａによる樹脂フィルムＦに対するインク塗布動作について説明する。なお、実施例１および実施例２において共通の動作については、実施の形態における構成要素の動作として述べる。

上述のように、樹脂フィルムＦはリールＲ１、リールＲ３、および吸着プレート８によって、Ｘ方向、Ｙ方向、およびＺ方向に関してガイドされた状態で、塗布装置２による塗布動作が開始される。なお、インクジェットヘッドバー５ａは、樹脂フィルムＦへのインク塗布動作が開始する迄、或いはインク塗布動作の合間は、樹脂フィルムＦを外れたホームポジションＨＰで待機させられる。ホームポジションＨＰは、好ましくは、画像表示領域Ｓに形成された複数の凹部（画素要素）Ｐの中で最初にインクが塗布される凹部Ｐに間近の位置が好ましいが、メンテナンス、フラッシング待機、ヘッド交換、および清掃などの作業性を考慮して決定される。

動作が開始すると、まず、ステップＳ１において、本処理における各種パラメータが初期化される。具体的には、ロールＷｒ１単位の樹脂フィルムＦの画像表示領域Ｓの枚数を示す画像表示領域カウンタＣｓ及び画像表示領域Ｓ単位の塗布スキャン動作の回数を示す塗布スキャンカウンタＣａがそれぞれ０にセットされ、画像表示領域Ｓ単位の最大塗布スキャン回数を示す画像表示領域最大塗布スキャン値Ｃａｍａｘ及び樹脂フィルムＦの単位で塗布されるべき画像表示領域Ｓの枚数を示す樹脂フィルム最大塗布枚数Ｃｓｍａｘのそれぞれが所定の値に設定され、マッピングデータＤｍが所定の値Ｄに設定される。塗布スキャンとは、インクジェットヘッドバー５ａ（塗布ガントリ４）が、画像表示領域Ｓに対して、Ｙ方向（ホームポジションＨＰとカメラガントリ６との間）に１回移動しながらインクを塗布することを言う。マッピングデータＤｍは、インクジェットヘッドバー５ａが所定の座標（画像表示領域Ｓに対するインクジェットヘッドバー５ａの相対位置）にある時に、どのノズル１３からインクを吐出するかを、個々の凹部（画素要素）Ｐについて規定するデータである。

次に、ステップＳ２において、塗布装置２（制御器２Ｃ）から巻出部１（制御器１Ｃ）および巻取部３（制御器３Ｃ）に対して、樹脂フィルムＦを１枚の画像表示領域Ｓ分だけ、吸着プレート８（塗布ユニット２Ｇ）上に供給するように要求する制御信号Ｓｃ２１およびＳｃ２３が出力される。巻出部１および巻取部３は、制御信号Ｓｃ２１およびＳｃ２３に応答して、リールＲ１およびＲ３をＸ方向に回転させて、それぞれ樹脂フィルムＦを張力を掛けながら、１枚の画像表示領域Ｓを吸着プレート８上に供給する。そして、巻出部１（制御器１Ｃ）および巻取部３（制御器３Ｃ）は、制御信号Ｓｃ１２およびＳｃ３２を出力して、画像表示領域Ｓの供給完了を塗布装置２に知らせる。

ステップＳ４において、塗布装置２（制御器２Ｃ）は、制御信号Ｓｃ１２およびＳｃ３２に応答して、巻出部１（制御器１Ｃ）および巻取部３（制御器３Ｃ）に対して、供給された画像表示領域Ｓを吸着プレート８上に載置させる制御信号Ｓｃ２１およびＳｃ２３を出力する。巻出部１（制御器１Ｃ）および巻取部３（制御器３Ｃ）は、それぞれ、制御信号Ｓｃ２１およびＳｃ２３に応答して、画像表示領域Ｓ（搬送単位Ｕｔ）を吸着プレート８上に載置させた後に、制御信号Ｓｃ１２およびＳｃ３２を出力する。塗布装置２（制御器２Ｃ）は、制御信号Ｓｃ１２およびＳｃ３２に応答して、吸着プレート８により画像表示領域Ｓを吸着固定させる。

ステップＳ５において、画像表示領域カウンタＣｓに１が加算される（Ｃｓ＝Ｃｓ＋１）。加算後のカウンタＣｓは、現在塗布装置２に供給されている画像表示領域Ｓが、樹脂フィルムＦにおいて、何枚目の画像表示領域Ｓであるかを表す。つまり、上述のステップＳ１において、画像表示領域カウンタＣｓは０に設定されているので、画像表示領域カウンタＣｓは１、つまり、動作開始直後には樹脂フィルムＦの１枚目の画像表示領域Ｓが吸着プレート８上に吸着固定されてことが示される。

ステップＳ６において、制御器２Ｃは塗布ユニット２Ｇのカメラガントリ６およびアラインメントカメラ７を起動して、樹脂フィルムＦ（画像表示領域Ｓ）の所定の領域に設けられているマーク（図示せず）を検出する。

ステップＳ８ａにおいて、ステップＳ６で得られた検出結果に基づいて、画像表示領域Ｓのアライメント情報ＩＡａを生成する。アライメント情報ＩＡａは、Ｘ位置誤差Ｅｘ、Ｙ位置誤差Ｅｙ、および平行誤差Ｅθを含む。Ｘ位置誤差Ｅｘは画像表示領域ＳのＸ方向における位置ずれ量であり、Ｙ位置誤差Ｅｙは画像表示領域ＳのＹ方向における位置ずれ量であり、平行誤差Ｅθは画像表示領域ＳのＸ（軸Ａｘ）方向に対する傾き（非平行度）である。

平行誤差Ｅθの意味について簡単に説明する。画像表示領域Ｓが吸着プレート８上に正しく位置決めされている場合には、Ｘ位置誤差Ｅｘ、Ｙ位置誤差Ｅｙ、および平行誤差Ｅθはゼロであり、樹脂フィルムＦの延在中心軸Ａｆは軸Ａｘと一致する。しかしながら、画像表示領域Ｓが正しく位置決めされていない場合には、塗布開始の前にインクジェットヘッドバー５ａの姿勢、位置、およびインクの吐出開始位置を補正する必要がある。具体的には、図２に示すように、平行誤差Ｅθが０の場合は、Ｘ位置誤差Ｅｘに基づいて塗布ガントリ４をＸ方向に移動させ、Ｙ位置誤差Ｅｙに基づいてインクジェットヘッドバー５ａのインク塗布開始タイミング（位置）を修正すれば対応できる。

一方、平行誤差Ｅθがゼロでない場合、インクジェットヘッドバーの軸Ａ５が画像表示領域Ｓに設けられた複数の凹部Ｐの中心軸Ａｆ（Ｘ方向）の配列に対して、平行誤差Ｅθだけ傾いている。つまり、軸Ａ５方向に配列された複数のノズル１３（ヘッドモジュール１１）が、画像表示領域Ｓ（複数の凹部Ｐ）に対して平行に対向していないことを意味する。よって、平行誤差Ｅθが０の場合のように、Ｘ位置誤差Ｅｘに基づいて塗布ガントリ４をＸ方向に移動させ、Ｙ位置誤差Ｅｙに基づいてインクジェットヘッドバー５ａのインク塗布開始タイミング（位置）を修正しても対応できない。

よって、本実施例においては、インクジェットヘッドバー５ａを平行誤差Ｅθ分だけ回転させて、傾いた画像表示領域Ｓの中心軸Ａｆ方向に並んだ画素要素（画像表示領域Ｓ）に対して平行に位置させた状態で、インクジェットヘッドバー５ａの画像表示領域Ｓに対するＸ位置、インクジェットヘッドバー５ａのインク塗布開始タイミングの修正を可能にすることを意図している。

ステップＳ１０において、Ｘ位置補正が行われる。具体的には、Ｘ位置誤差Ｅｘに基づいて、インクジェットヘッドバー５ａのＸ方向の位置が補正される。

ステップＳ１２において、θ補正が行われる。具体的には、平行誤差Ｅθに基づいて、インクジェットヘッドバー５ａがθ回転される。結果、インクジェットヘッドバー５ａのノズル１３の列は、画像表示領域Ｓの画素要素のＸ方向配列に対して平行に対向する。

ステップＳ１４において、塗布ガントリ４（インクジェットヘッドバー５ａ）がホームポジションＨＰから本来の塗布開始位置まで移動される。つまり、上述のステップＳ１０およびＳ１２において、インクジェットヘッドバー５ａがホームポジションＨＰでＸ位置補正およびθ補正された後に、インクジェットヘッドバー５ａはホームポジションＨＰより塗布開始位置に移動する。つまり、塗布開始位置に到達した時点では、インクジェットヘッドバー５ａのＸ位置補正およびθ補正は不要である。

また、Ｘ位置補正及びθ補正に時間が掛かる場合でも、インクジェットヘッドバー５ａはホームポジションＨＰ上にあるので、塗布直前までフラッシングを行うことができ、インク乾きによるノズル詰まりを防止できる。なお、両ステップにおける処理の順番は前後しても良いし、同時であってもよい。

ステップＳ１６ａにおいて、ステップＳ１０およびＳ１２において修正された姿勢および位置で、インクジェットヘッドバー５ａによる画像表示領域Ｓに対する塗布スキャンが開始される。なお、Ｙ位置誤差Ｅｙに基づいて、画像表示領域Ｓに対するインクの吐出開始タイミングが補正される。そして、軸Ａｘに対して垂直（バックフレームＦＲｂおよびフロントフレームＦＲｆに対して平行）な塗布スキャン方向Ｍに沿って、インクジェットヘッドバー５ａ（ヘッドモジュール１１）が移動されて塗布スキャンが実行される。

インクジェットヘッドバー５ａが画像表示領域Ｓにおけるカメラガントリ６側（ホームポジションＨＰの反対側）に到達した時点で、１回の塗布スキャン動作が完了する。ステップＳ１７において、塗布スキャンカウンタＣａに１が加算される（Ｃａ＝Ｃａ＋１）。加算後のカウンタＣａは、現在塗布装置２に供給されている画像表示領域Ｓに対して、既に完了している塗布スキャン動作の回数を表す。

ステップＳ１８において、カウンタＣａを参照して、直前に完了した塗布スキャン動作が、当該画像表示領域Ｓに対する１回目の塗布スキャンである（カウンタＣａ＝１）か否かが判断される。Ｙｅｓと判断される場合は、以下に説明するステップＳ２８〜Ｓ４０において、テストパターンの塗布、検査、及び検査結果に基づいてマッピングデータの更新等が行われると共に、処理はステップＳ１６ａに戻って、画像表示領域Ｓの画素要素に対する塗布スキャンが継続される。Ｎｏと判断される場合は、ステップＳ２０において、カウンタＣａを参照して、画像表示領域Ｓに対する塗布スキャンが完了したか否かが判断される。

ステップＳ２０においてＮｏと判断される場合は、処理はステップＳ１６ａに戻って、画像表示領域Ｓの画素要素に対する塗布スキャンが継続される。そして、画像表示領域Ｓの塗布スキャンが完了した時点（Ｃａ＝Ｃａｍａｘ）で、Ｙｅｓと判断されて、処理は次のステップＳ２２に進む。ステップＳ２２以降の処理については後述する。

上述のステップＳ１８において、直前に完了した塗布スキャン動作が、当該画像表示領域Ｓに対する１回目の塗布スキャンである（Ｃａ＝１）と判断された場合に行われるステップＳ２８〜Ｓ４０の処理について説明する。まず、ステップＳ２８において、画像表示領域Ｓにおけるカメラガントリ６側（ホームポジションＨＰの反対側）に到達したインクジェットヘッドバー５ａの全てのノズル１３が、樹脂フィルムＦの画像表示領域Ｓ以外の所定の部分に対して、所定のテストパターンにインクを吐出する。なお、テストパターンを塗布する箇所は、樹脂フィルムＦにおける、画像表示領域Ｓ以外の部分であればよく、カメラガントリ６側の部分には限られない。

次に、ステップＳ３０において、ステップＳ２８で形成されたテストパターンを、スキャンカメラ９（カメラガントリ６）で撮影する。このテストパターンの撮影と、画像表示領域Ｓに対する２回目以降の塗布スキャン（ステップＳ１６ａ）とは、同時に行うことができる。

ステップＳ３２において、撮影されたテストパターンのデータを画像処理して検査する。具体的には、テストパターンの画像から、ノズル毎の吐出位置と吐出量とを求める。ステップＳ３４において、検査結果を、塗布装置２の制御器２Ｃにフィードバックする。

ステップＳ３６において、制御器２Ｃ内に格納されたマッピングソフトが、画像処理されたデータ（ノズル毎の吐出位置と吐出量）が所定のパターンを満たしているか否かに基づいて、異常があるノズルを特定すると共に、検査結果が許容範囲内であるか否かを判断する。判断の結果は、塗布装置２が行う塗布工程を、その前工程及び後工程と併せて統括するコンピュータに送信される。Ｎｏと判断される場合は、処理はステップＳ４０に進んで、エラー処理（ライン停止、メンテナンス等）を行う。併せて、現在塗布スキャンを行っている画像表示領域Ｓも不良である可能性が高い旨を、上記コンピュータに送信する。

ステップＳ３６においてＹｅｓと判断される場合は、ステップＳ３８においてマッピングデータの更新（リマッピング）が行われる。具体的には、ステップＳ３６で求めた、異常があるノズルを特定する情報に基づいて、マッピングデータＤｍを更新し（個々の凹部（画素要素）Ｐについて、インクジェットヘッドバー５ａが所定の座標に位置した時に、どのノズル１３からインクを吐出するかの規定を修正する）、更新後のマッピングデータをＤｍ（Ｃｓ）とする。後述するように、このマッピングデータＤｍ（Ｃｓ）は、（Ｃｓ＋１）枚目の画像表示領域Ｓに対する塗布スキャンに使用される。

このように、本実施例においては、画像表示領域Ｓが塗布装置２に供給される度にテストパターンの塗布及び検査を行い、その検査結果に基づいてマッピングデータＤｍを更新して、次に供給される画像表示領域Ｓの塗布スキャンに反映する。塗布処理を連続して行うと、インクの乾燥や異物発生によってノズルからのインク吐出量が減少したり、ノズルが詰まったりする可能性があり、その場合、使用されたノズルから、予定された量のインクが吐出されない。本実施例においては、直前の画像表示領域Ｓに対する各ノズルからのインク吐出位置と吐出量をカメラで確認し、マッピングデータＤｍに反映させることで、使用するノズルの選択と、吐出座標を変更するので、連続して画像表示領域Ｓを塗布しても、塗布ムラのないカラーフィルタを製造することができる。

ステップＳ２０においてＹｅｓと判断される場合（画像表示領域Ｓの塗布スキャンが完了（Ｃａ＝Ｃａｍａｘ）した場合）は、処理は次のステップＳ２２に進む。ステップＳ２２において、塗布ガントリ４はホームポジションＨＰに戻り、ステップＳ２４で待機モードに入る。ホームポジションＨＰにおいては、フラッシングや、ブリーディングおよびクリーニングなどのノズル詰まり防止処理が適時行われる。なお、ホームポジションＨＰは、樹脂フィルムＦから離反した位置にあるので、フラッシングや、ブリーディングおよびクリーニングの際のインクによって、樹脂フィルムＦが不用意に汚染されることが防止される。さらにステップＳ２５において、画像表示領域Ｓ単位の塗布スキャン動作の回数を示す塗布スキャンカウンタＣａが初期化される（Ｃａ＝０）。

ステップＳ２６で、樹脂フィルムＦの単位で塗布スキャンを完了している（Ｃｓ＝Ｃｓｍａｘ）か否か、つまり、塗布スキャンされていない画像表示領域Ｓが残っているか否かが判断される。Ｎｏの場合、処理はステップＳ２に戻り上述の処理を繰り返す。上述したように、Ｃｓ枚目の画像表示領域Ｓに対する塗布スキャン時には、（Ｃｓ−１）枚目の画像表示領域Ｓに対して行ったテストパターン検査に基づいて更新されたマッピングデータＤｍ（Ｃｓ−１）が使用される。ステップＳ２６において、本画像表示領域ＳにおいてＹｅｓ（樹脂フィルムＦの単位で塗布スキャンを完了している（Ｃｓ＝Ｃｓｍａｘ））と判断された時点で塗布処理が終了する。

本実施例において、凹部Ｐは格子状のパターンに形成されているが、凹部Ｐの形状や配置はこれに限らず、所定の形状の凹部が所定のパターンで均等に配列されているものに適用できることは言うまでもない。そのような例としては、六角形の凹部がハニカム状に配置されているものを挙げることができる。

上述のように、本実施例においては、ホームポジションＨＰ上でフラッシングを行いながら樹脂フィルムＦの傾斜に対するインクジェットヘッドバー５のＸ位置補正およびθ補正が行われる。その後、インクジェットヘッドバー５は塗布開始位置に移動して、即塗布スキャンが開始されるので、Ｘ位置補正およびθ補正と塗布スキャン開始との間にノズル１３の詰まりの発生を防止できる。この意味より、ホームポジションＨＰと塗布開始位置との距離は、クリーニングサイクルに要する時間を考慮して決定される。

つまり、インクジェットヘッドバー５（塗布ガントリ４）の移動速度をＶとして、ホームポジションＨＰと塗布開始位置との距離をＤとし、フラッシングインターバルをＴｉとすると、次式（４）が成立する。
Ｄ≦Ｖ・Ｔｉ／Ｋ ・・・・（４）

なお、フラッシングインターバルＴｉは、ノズル１３が詰まらない範囲内で任意に設定可能であり、Ｋは自然数である。Ｋ＝１の場合は、インクジェットヘッドバー５はホームポジションＨＰから塗布開始位置に移動する間にフラッシングを行うことはない。Ｋ≧２の場合、（Ｋ−１）がインクジェットヘッドバー５がホームポジションＨＰから塗布開始位置に移動する間にフラッシングを行う回数を意味する。移動中のフラッシングは、トレイ等の上で行うように設定される。

また、本実施例においては、Ｃｓ枚目の画像表示領域Ｓに対する塗布スキャン時には、（Ｃｓ−１）枚目の画像表示領域Ｓに対して行ったテストパターン検査に基づいて更新されたマッピングデータＤｍ（Ｃｓ−１）が使用される。しかしながら、カメラガントリ６の移動速度やテストパターンのデータを画像処理する演算速度が十分に速ければ、Ｃｓ枚目の画像表示領域Ｓに対して行ったテストパターン検査に基づいて更新されたマッピングデータＤｍ（Ｃｓ）を使用して、当該Ｃｓ枚目の画像表示領域Ｓに対する塗布スキャンを行うことが可能である。

さらに、Ｃｓ枚目の画像表示領域Ｓに対して行ったテストパターン検査に基づいて更新されたマッピングデータＤｍ（Ｃｓ）を、その後供給される複数枚の画像表示領域Ｓに対する塗布スキャンに使用することも可能である。このようなマッピングデータＤｍの適用は、最初に供給される複数枚の画像表示領域Ｓに対してその都度テストパターン検査を行い、その検査結果のばらつきが小さい（所定の範囲内である）場合に行うことが望ましい。

なお、本発明においては、従来の個々のガラス基板とは異なり、複数の画像表示領域Ｓが連続的に形成されたシート状の樹脂フィルムＦにインクジェット印刷が行われる。そのために、個々のガラス基板の位置及び姿勢の補正が行われる代わりに、樹脂フィルムＦの傾きに応じて画像表示領域Ｓに対する塗布装置側の位置及び姿勢の補正が行われる。隣り合う画像表示領域Ｓに関して、樹脂フィルムＦの傾きのばらつきは、個々のガラス基板の位置及び姿勢のばらつきに比べて小さく、再現性も高い。よって、連続する画像表示領域Ｓでの塗布装置側の補正量は小さいので、補正に要する工数も小さく、連続する画像表示領域Ｓに対して高速にインクの塗布を行うことができるとともに、１つ前の画像表示領域Ｓに塗布されたテストパターンに基づいて作成されたマッピングデータＤｍを、現画像表示領域Ｓに適応することにより、より迅速且つ効率的なインク塗布を可能としている。

（実施例２）
次に、図８および図９を参照して、本発明の実施例２に係る塗布方法および塗布装置について説明する。上述のように、本実施例と実施例１との実質上の違いはインクジェットヘッドバー５の塗布スキャン方法（方向）である。具体的には、実施例１においては、軸Ａｘに対する樹脂フィルムＦ（中心軸Ａｆ）の傾きθを打ち消すように、インクジェットヘッドバー５ａ（ヘッドモジュール１１、ノズル１３）は回転（θ補正）されて、中心軸Ａｆ方向に配列された凹部Ｐに対して平行に対向される。その状態で、インクジェットヘッドバー５ａ（塗布ガントリ４）はＹ方向（塗布スキャン方向Ｍ）に移動しながら、凹部Ｐに対して塗布スキャンする。つまり、インクジェットヘッドバー５ａは、中心軸Ａｆに対して、πではなく（π−θ）の角度で交差（傾斜）して塗布スキャン方向Ｍに移動する。

これに対して、本実施例においては、インクジェットヘッドバー５ｂが中心軸Ａｆに対して平行に対向すると共に、中心軸Ａｆに対してπで交差して塗布スキャンできるように考案されたものである。軸Ａｘ（塗布装置２）に対してθだけ傾斜した、樹脂フィルムＦの中心軸Ａｆ（樹脂フィルムＦ）に対して、πで交差する塗布スキャン方向を補正塗布スキャン方向Ｅｍと呼ぶ。

図８に示すように、補正塗布スキャン方向Ｅｍは、中心軸Ａｆ（樹脂フィルムＦ）に対して垂直（π）、軸Ａｘ（塗布装置２、Ｘ方向）に対してθで交差する。よって、塗布スキャン方向Ｍに対してθで交差する。同図において、補正塗布スキャン方向Ｅｍを斜辺とし、塗布スキャン方向Ｍを隣辺とし、軸Ａｘ（Ｘ方向）に平行な底辺から成る直角三角形が成立する。斜辺の長さを画像表示領域Ｓの幅Ｌｓｙとすると、底辺の長さ△Ｍｘは次式（５）で表される。
△Ｍｘ＝Ｌｓｙ・Ｓｉｎθ ・・・・（５）

画像表示領域Ｓの中心軸Ａｆに平行な両端部に位置する対応する凹部Ｐは、軸Ａｘに関して△Ｍｘ＝Ｌｓｙ・Ｓｉｎθだけずれている。よって、インクジェットヘッドバー５ｂをＹ方向（軸Ａｘに垂直）に移動させるのと同時にＳｉｎθだけＸ方向（軸Ａｘに平行）に移動させれば、インクジェットヘッドバー５ｂは中心軸Ａｆに平行に対向しながら、中心軸Ａｆに対してπで交差して塗布スキャンできる。つまり、補正塗布スキャン方向Ｅｍはθの関数である。

よって、本実施例においては、インクジェットヘッドバー５ｂはインクジェットヘッドバー５ａと同様にＸ方向（軸Ａｘに平行）に△Ｘだけスライドできると共に、さらに△Ｍｘだけスライドできる。なお、△Ｍｘは次式（６）を満たす。
０≦△Ｍｘ≦Ｌｓｙ・Ｓｉｎθ ・・・・（６）

以下に、図９を参照して、本実施例における動作について説明する。図９に示すフローチャートは、上述の図７に示したフローチャートにおいて、ステップＳ８ａ及びステップＳ１６ａがそれぞれステップＳ８ｂ及びステップＳ１６ｂに置き換えられている。ステップＳ８ｂにおいては、アライメント情報ＩＡａ（Ｓ８ａ）の代わりにアライメント情報ＩＡｂが算出される。アライメント情報ＩＡｂは、アライメント情報ＩＡａに補正塗布スキャン方向Ｅｍが追加されている。つまり、アライメント情報ＩＡｂは、Ｘ位置誤差Ｅｘ、Ｙ位置誤差Ｅｙ、平行誤差Ｅθ、および補正塗布スキャン方向Ｅｍが算出される。

ステップＳ１６ｂにおいては、ステップＳ１６ａにおけるのと同様に、ステップＳ１０、Ｓ１２、およびＳ１４において修正された姿勢および位置で、インクジェットヘッドバー５ｂの画像表示領域Ｓに対する塗布スキャンが開始される。但し、軸Ａｘに対して垂直な塗布スキャン方向Ｍに対して、ｓｉｎθで補正された補正塗布スキャン方向Ｅｍに沿って、インクジェットヘッドバー５ｂ（ヘッドモジュール１１）が移動されて塗布スキャンが実行される。つまり、△Ｍｘは、塗布スキャン動作中にインクジェットヘッドバー５ｂがＸ方向に移動される量である。

このようにして、本実施例においては、実施例１における特徴に加えて、インクジェットヘッドバー５ｂを樹脂フィルムＦの中心軸Ａｆに平行に対向しながら、中心軸Ａｆに対してπで交差して塗布スキャンできる。つまり、画像表示領域Ｓに対するインクジェットヘッドバー５ｂ（ノズル１３）の位置関係が、実施例１において、中心軸Ａｆが軸Ａｘに平行に供給された時と同じ状態で塗布スキャンできる。

本発明の塗布方法は、可撓性を有する画像表示器の製造以外に、従来の画像表示器の製造、ナノインクを用いた配線パターンの形成、有機ＴＦＴ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）用液を用いたＴＦＴの形成等に適用できる。

本発明は、可撓性を有する長尺状の基材に形成された複数の凹部にインクを塗布する方法に広く利用することができる。

１ 巻出部
２ 塗布装置
３ 巻取部
４ 塗布ガントリ
５、５ａ、５ｂ インクジェットヘッドバー
６ カメラガントリ
７ アラインメントカメラ
８ 吸着プレート
９ スキャンカメラ
１０、１０ａ、１０ｂ、１０ｃ ヘッドユニット
１１、１１ａ、１１ｂ、１１ｃ ヘッドモジュール
１２ 塗布ヘッド
１３ ノズル
Ｆ 樹脂フィルム
Ｄ１ ヘッドモジュールシフト距離
Ｄ２ ヘッドユニット離間距離
ＨＰ ホームポジション
ＩＡａ、ＩＡｂ アライメント情報
Ｅｘ Ｘ位置誤差
Ｅｙ Ｙ位置誤差
Ｅθ 平行誤差
Ｅｍ 補正塗布スキャン方向
Ｒ１、Ｒ３ リール
Ｓ、Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３ 画像表示領域
Ｗｒ１、Ｗｒ３ ロール
Ｗｍ ヘッドモジュール塗布幅
Ｗｕ ヘッドユニット塗布幅

Claims (22)

1. 矩形シート状の基材の長手方向に所定間隔で連続して形成されている複数の矩形領域に格子状に配設されている複数の凹部のそれぞれに複数のノズルを用いてインクジェット方式により所定の色調のインクを塗布する塗布方法であって、
   複数のリールが前記基材をその長手方向に所定の張力を掛けて所定の高さで保持すると共に、当該長手方向に垂直な短手方向に位置決めする第１の保持工程と、
   吸着プレートが前記位置決めされた基材を前記所定の高さに位置する面で受け止める第２の保持工程と、
   前記複数のノズルを前記保持された基材から外れた、当該基材の側部近傍の待機位置で待機させる待機工程と、
   前記短手方向および前記所定の高さに保持された前記基材を、前記矩形領域の単位で供給する基材供給工程と、
   前記供給された矩形領域の基材を吸着固定する矩形領域固定工程と、
   前記矩形領域の、前記長手方向におけるＸ位置誤差と、前記短手方向におけるＹ位置誤差と、前記長手方向に対する平行誤差とを求めるアライメント情報算出工程と、
   前記Ｘ位置誤差に基づき、前記矩形領域に対する前記複数のノズルのＸ方向の位置を補正する工程と、
   前記平行誤差に基づき、前記矩形領域に対する前記複数のノズルの配列方向の傾きを補正する工程と、
   前記複数のノズルの前記矩形領域に対する位置および配列方向の傾きが補正された後に、前記複数のノズルを前記待機位置から前記短手方向に平行な第１の塗布スキャン方向に移動させながら、当該複数のノズルの中の任意のノズルから、前記吸着固定された矩形領域に配設されている複数の凹部のそれぞれにインクを吐出させるインク吐出工程とを備える塗布方法。
2. 前記Ｙ位置誤差に基づいた、前記矩形領域に対する前記複数のノズルのＹ方向の位置の補正は、前記インク吐出工程において行われることを特徴とする、請求項１に記載の塗布方法。
3. 前記アライメント情報算出工程においては、さらに、前記平行誤差に基づき、前記矩形領域に対する前記複数のノズルの配列方向の傾きを算出し、前記短手方向に対して前記算出された傾きだけ補正して第２の塗布スキャン方向を求め、
   前記インク吐出工程においては、前記複数のノズルを前記第２の塗布スキャン方向に移動させながらインクを塗布させることを特徴とする、請求項１に記載の塗布方法。
4. 前記インク吐出工程を行う前に、前記矩形領域に対してテストパターンを塗布する工程をさらに備える、請求項１に記載の塗布方法。
5. 前記テストパターンを塗布する工程の後に、当該塗布されたテストパターンを撮影する工程をさらに備える、請求項４に記載の塗布方法。
6. 前記塗布されたテストパターンを撮影する工程と、前記矩形領域に対する、２回目以降の前記インク吐出工程とを同時に行うことを特徴とする、請求項５に記載の塗布方法。
7. 前記撮影されたテストパターンを検査する工程と、
   前記撮影されたテストパターンの検査結果をフィードバックする工程と、
   前記検査結果を判断する工程とを備える、請求項５に記載の塗布方法。
8. 前記検査結果に基づいて、前記複数の凹部のそれぞれに対してインクを吐出するノズルを決定するマッピングデータを生成するマッピング工程をさらに備える、請求項７に記載の塗布方法。
9. 前記インク吐出工程は、前記マッピングデータに基づいて行われることを特徴とする、請求項８に記載の塗布方法。
10. 前記マッピングデータは、画像表示領域に塗布されたテストパターンの検査結果に基づいて更新されることを特徴とする、請求項９に記載の塗布方法。
11. 前記マッピングデータは、塗布スキャンが行われる画像表示領域の１つ前の画像表示領域に塗布されるテストパターンの検査結果に基づいて更新されることを特徴とする、請求項９に記載の塗布方法。
12. 前記判断結果に基づき、エラー処理を行う工程をさらに備える、請求項７に記載の塗布方法。
13. 矩形シート状の基材の長手方向に所定間隔で連続して形成されている複数の矩形領域に格子状に配設されている複数の凹部のそれぞれに複数のノズルを用いてインクジェット方式により所定の色調のインクを塗布する塗布装置であって、
    前記基材をその長手方向に所定の張力を掛けて所定の高さで保持すると共に、当該長手方向に垂直な短手方向に位置決めする複数のリールと、
    前記位置決めされた基材を前記所定の高さに位置する面で受け止める吸着プレートと、
    前記複数のノズルを前記保持された基材から外れた、当該基材の側部近傍の待機位置で待機させる待機手段と、
    前記短手方向および前記所定の高さに保持された前記基材を、前記矩形領域の単位で供給する基材供給手段と、
    前記供給された矩形領域の基材を吸着固定する矩形領域固定手段と、
    前記矩形領域の、前記長手方向におけるＸ位置誤差と、前記短手方向におけるＹ位置誤差と、前記長手方向に対する平行誤差とを求めるアライメント情報算出手段と、
    前記Ｘ位置誤差に基づき、前記矩形領域に対する前記複数のノズルのＸ方向の位置を補正するＸ位置補正手段と、
    前記平行誤差に基づき、前記矩形領域に対する前記複数のノズルの配列方向の傾きを補正するθ補正手段と、
    前記複数のノズルの前記矩形領域に対する位置および配列方向の傾きが補正された後に、前記複数のノズルを前記待機位置から前記短手方向に平行な第１の塗布スキャン方向に移動させながら、当該複数のノズルの中の任意のノズルから、前記吸着固定された矩形領域に配設されている複数の凹部のそれぞれにインクを吐出させるインク吐出手段とを備える塗布装置。
14. 前記Ｙ位置誤差に基づいた、前記矩形領域に対する前記複数のノズルのＹ方向の位置の補正は、前記インク吐出手段によって行われることを特徴とする、請求項１３に記載の塗布装置。
15. 前記アライメント情報算出手段は、さらに、前記平行誤差に基づき、前記矩形領域に対する前記複数のノズルの配列方向の傾きを算出すると共に前記短手方向に対して前記算出された傾きだけ補正して第２の塗布スキャン方向を求め、
    前記インク吐出手段は、前記複数のノズルを前記第２の塗布スキャン方向に移動させながらインクを塗布させることを特徴とする、請求項１３に記載の塗布装置。
16. 前記インク吐出手段は、前記凹部へのインク塗布を行う前に、前記矩形領域に対してテストパターンを塗布することを特徴とする、請求項１３に記載の塗布装置。
17. 前記塗布されたテストパターンを撮影するテストパターン撮影手段をさらに備える、請求項１６に記載の塗布装置。
18. 前記撮影されたテストパターンを検査する手段と、
    前記撮影されたテストパターンの検査結果をフィードバックする手段と、
    前記検査結果を判断する手段とを備える、請求項１７に記載の塗布装置。
19. 前記検査結果に基づいて、前記複数の凹部のそれぞれに対してインクを吐出するノズルを決定するマッピングデータを生成するマッピング手段をさらに備える、請求項１８に記載の塗布装置。
20. 前記インク吐出手段は、前記マッピングデータに基づいて、前記複数のノズルの中の任意のノズルから、前記複数の凹部のそれぞれにインクを吐出させることを特徴とする、請求項１９に記載の塗布装置。
21. 前記マッピングデータは、画像表示領域に塗布されたテストパターンの検査結果に基づいて更新されることを特徴とする、請求項２０に記載の塗布装置。
22. 前記マッピングデータは、塗布スキャンが行われる画像表示領域の１つ前の画像表示領域に塗布されるテストパターンの検査結果に基づいて更新されることを特徴とする、請求項２０に記載の塗布装置。