JP4538002B2 - 溶液の塗布装置及び塗布方法 - Google Patents
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Description
所定方向に沿って配置された複数のノズルを有し、このノズルから上記溶液を上記基板にドット状にして滴下塗布する塗布ヘッドと、
上記基板と上記塗布ヘッドとを上記複数のノズルの配置方向に対して直交する方向に相対的に移動させる駆動手段と、
この駆動手段による上記基板と上記塗布ヘッドとの相対移動の際、上記ノズルからのドット状の溶液が上記凹部と凸部の両方の部分に塗布されるとともに、上記塗布ヘッドの1つのノズルから吐出されて上記基板上に塗布されるドット状の溶液の列が、上記基板の上記相対移動方向前方側の一辺に沿って隣接されて配置される2つ以上の凸部に跨るように上記凹凸パターンの凹部と凸部の配置方向を上記ノズルの配置方向に対して所定角度ずらすよう制御する制御手段と
を具備したことを特徴とする溶液の塗布装置にある。
所定方向に沿って配置された複数のノズルを有し、このノズルから上記溶液を上記基板にドット状にして滴下塗布する塗布ヘッドと、
上記基板と上記塗布ヘッドとを上記複数のノズルの配置方向に対して直交する方向に相対的に移動させる駆動手段と、
上記塗布ヘッドと上記駆動手段とを制御して上記基板に液滴の塗布パターンを形成する制御手段とを有し、
上記制御手段は、上記塗布パターンにおける液滴の配列方向を、上記ノズルからのドット状の溶液が上記凹部と凸部の両方の部分に塗布されるとともに、上記塗布ヘッドの1つのノズルから吐出されて上記基板上に塗布されるドット状の溶液の列が、上記基板の上記相対移動方向前方側の一辺に沿って隣接されて配置される2つ以上の凸部に跨るように上記凹凸パターンの凹部と凸部の配置方向を上記ノズルの配置方向に対して所定角度ずらすよう制御することを特徴とする溶液の塗布装置にある。
上記基板と上記塗布ヘッドとを上記複数のノズルの配置方向に対して直交する方向に相対的に移動させる工程と、
上記基板と上記塗布ヘッドとの相対移動の際、上記ノズルからのドット状の溶液が上記凹部と凸部の両方の部分に塗布されるとともに、上記塗布ヘッドの1つのノズルから吐出されて上記基板上に塗布されるドット状の溶液の列が、上記基板の上記相対移動方向前方側の一辺に沿って隣接されて配置される2つ以上の凸部に跨るように上記凹凸パターンの凹部と凸部の配置方向を上記ノズルの配置方向に対して所定角度ずらすよう制御手段によって制御する工程と
を具備したことを特徴とする溶液の塗布方法にある。
Claims (6)
- 上面に凹部と凸部が各辺に沿って規則的に形成された凹凸パターンを有する液晶表示装置に用いられる基板の上記上面に溶液を塗布する溶液の塗布装置であって、
所定方向に沿って配置された複数のノズルを有し、このノズルから上記溶液を上記基板にドット状にして滴下塗布する塗布ヘッドと、
上記基板と上記塗布ヘッドとを上記複数のノズルの配置方向に対して直交する方向に相対的に移動させる駆動手段と、
この駆動手段による上記基板と上記塗布ヘッドとの相対移動の際、上記ノズルからのドット状の溶液が上記凹部と凸部の両方の部分に塗布されるとともに、上記塗布ヘッドの1つのノズルから吐出されて上記基板上に塗布されるドット状の溶液の列が、上記基板の上記相対移動方向前方側の一辺に沿って隣接されて配置される2つ以上の凸部に跨るように上記凹凸パターンの凹部と凸部の配置方向を上記ノズルの配置方向に対して所定角度ずらすよう制御する制御手段と
を具備したことを特徴とする溶液の塗布装置。 - 上記駆動手段は、上記基板を保持するとともに、この基板を水平方向及びこの水平方向に対して直交する軸線を中心とする回転方向に駆動可能な載置テーブルを有し、
上記制御手段は、上記載置テーブルを上記軸線を中心にして水平方向に所定の角度で回転させて駆動することを特徴とする請求項1記載の溶液の塗布装置。 - 上記駆動手段による上記基板と上記塗布ヘッドとの相対的移動を複数回行なうとともに、それぞれの相対的移動の際に、上記制御手段によって上記相対的移動方向と上記凹凸パターンの凹部と凸部の配置方向との角度のずれを変えることを特徴とする請求項1記載の溶液の塗布装置。
- 上面に凹部と凸部が各辺に沿って規則的に形成された凹凸パターンを有する液晶表示装置に用いられる基板の上記上面に溶液を塗布する溶液の塗布装置であって、
所定方向に沿って配置された複数のノズルを有し、このノズルから上記溶液を上記基板にドット状にして滴下塗布する塗布ヘッドと、
上記基板と上記塗布ヘッドとを上記複数のノズルの配置方向に対して直交する方向に相対的に移動させる駆動手段と、
上記塗布ヘッドと上記駆動手段とを制御して上記基板に液滴の塗布パターンを形成する制御手段とを有し、
上記制御手段は、上記塗布パターンにおける液滴の配列方向を、上記ノズルからのドット状の溶液が上記凹部と凸部の両方の部分に塗布されるとともに、上記塗布ヘッドの1つのノズルから吐出されて上記基板上に塗布されるドット状の溶液の列が、上記基板の上記相対移動方向前方側の一辺に沿って隣接されて配置される2つ以上の凸部に跨るように上記凹凸パターンの凹部と凸部の配置方向を上記ノズルの配置方向に対して所定角度ずらすよう制御することを特徴とする溶液の塗布装置。 - 上面に凹部と凸部が各辺に沿って規則的に形成された凹凸パターンを有する液晶表示装置に用いられる基板の上記上面に溶液を塗布する溶液の塗布方法であって、
上記基板と上記塗布ヘッドとを上記複数のノズルの配置方向に対して直交する方向に相対的に移動させる工程と、
上記基板と上記塗布ヘッドとの相対移動の際、上記ノズルからのドット状の溶液が上記凹部と凸部の両方の部分に塗布されるとともに、上記塗布ヘッドの1つのノズルから吐出されて上記基板上に塗布されるドット状の溶液の列が、上記基板の上記相対移動方向前方側の一辺に沿って隣接されて配置される2つ以上の凸部に跨るように上記凹凸パターンの凹部と凸部の配置方向を上記ノズルの配置方向に対して所定角度ずらすよう制御手段によって制御する工程と
を具備したことを特徴とする溶液の塗布方法。 - 上記基板を直線方向に移動させるとともに、上記塗布ヘッドを基板の移動方向と交差する方向に移動させることで、上記基板と上記塗布ヘッドとの相対的移動方向を上記凹凸パターンの凹部と凸部の配置方向に対して所定角度ずらすことを特徴とする請求項5記載の溶液の塗布方法。
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