JP5244758B2 - 溶液の塗布装置及び塗布方法 - Google Patents
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Description
所定方向に沿って配置された複数のノズルを有し、この複数のノズルから一定のタイミングでドット状の上記溶液を上記基板に塗布する塗布ヘッドと、
上記基板と上記塗布ヘッドとを相対的に移動させる駆動手段と、
この駆動手段による上記基板と上記塗布ヘッドとの相対的移動の際、上記各ノズルから吐出されて上記基板上に塗布されるドット状の溶液の各列がそれぞれ、上記基板上面の隣接する、上記凹凸パターンの延長方向に延びる2つ以上の上記凸部に跨るように、上記凹凸パターンの上記延長方向に対して上記相対的移動方向を所定角度ずらすように制御する制御手段と
を具備したことを特徴とする溶液の塗布装置にある。
上記基板と上記塗布ヘッドとを相対的に移動させる工程と、
上記基板と上記塗布ヘッドとの相対的移動の際、上記各ノズルから一定のタイミングで吐出されて上記基板上に塗布されるドット状の溶液の各列がそれぞれ、上記基板上面の隣接する、上記凹凸パターンの延長方向に延びる2つ以上の上記凸部に跨るように、上記凹凸パターンの上記延長方向に対して上記相対的移動方向を所定角度ずらす工程と
を具備したことを特徴とする溶液の塗布方法にある。
Claims (6)
- 上面に凹部と凸部が規則的に形成された凹凸パターンを有する基板の上記凹部と凸部に溶液をインクジェット方式で吐出して塗布する溶液の塗布装置であって、
所定方向に沿って配置された複数のノズルを有し、この複数のノズルから一定のタイミングでドット状の上記溶液を上記基板に塗布する塗布ヘッドと、
上記基板と上記塗布ヘッドとを相対的に移動させる駆動手段と、
この駆動手段による上記基板と上記塗布ヘッドとの相対的移動の際、上記各ノズルから吐出されて上記基板上に塗布されるドット状の溶液の各列がそれぞれ、上記基板上面の隣接する、上記凹凸パターンの延長方向に延びる2つ以上の上記凸部に跨るように、上記凹凸パターンの上記延長方向に対して上記相対的移動方向を所定角度ずらすように制御する制御手段と
を具備したことを特徴とする溶液の塗布装置。 - 上記駆動手段は、上記基板を保持するとともに、この基板を水平方向及びこの水平方向に対して直交する軸線を中心とする回転方向に駆動可能な載置テーブルを有し、
上記制御手段は、上記駆動手段によって上記基板を回転させることで、上記凹凸パターンの上記延長方向に対して上記相対的移動方向を所定角度ずらすことを特徴とする請求項1記載の溶液の塗布装置。 - 上記駆動手段による上記基板と上記塗布ヘッドとの相対的移動を複数回行なうとともに、それぞれの相対的移動の際に、上記相対的移動方向と上記凹凸パターンの上記延長方向との角度のずれを変えることを特徴とする請求項1または請求項2記載の溶液の塗布装置。
- 上記駆動手段により、上記基板は上記複数のノズルの配置方向に対して直交する方向に相対的移動させられることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の溶液の塗布装置。
- 上記凹凸パターンの上記延長方向は、上記基板の長手方向と幅方向に対して傾斜して形成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の溶液の塗布装置。
- 上面に凹部と凸部が規則的に形成された凹凸パターンを有する基板の上記凹部と凸部に溶液を塗布ヘッドの複数のノズルからインクジェット方式で吐出させて塗布する溶液の塗布方法であって、
上記基板と上記塗布ヘッドとを相対的に移動させる工程と、
上記基板と上記塗布ヘッドとの相対的移動の際、上記各ノズルから一定のタイミングで吐出されて上記基板上に塗布されるドット状の溶液の各列がそれぞれ、上記基板上面の隣接する、上記凹凸パターンの延長方向に延びる2つ以上の上記凸部に跨るように、上記凹凸パターンの上記延長方向に対して上記相対的移動方向を所定角度ずらす工程と
を具備したことを特徴とする溶液の塗布方法。
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