JP2012130841A - 塗布方法および塗布装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】長手方向Xに張力を受けて所定高さHRで保持されると共に、短手方向Yに位置決めされた基材Fが画像表示領域S単位で供給され、最初に供給される所定数の画像表示領域Sの形状の歪みが検出され、検出された画像表示領域Sの形状の歪みに基づいて、画像表示領域Sに配設されている複数の凹部Pのそれぞれに対してインクを吐出するノズルを決定するマッピングデータDmが作成され、画像表示領域Sが吸着固定された後に、インクを吐出する複数のノズル13が基材Fの側部近傍のホームポジションHPから短手方向Yに移動されながら、当該複数のノズル13の中の前記マッピングデータDmに基づいて選択されたノズルから、複数の凹部Pのそれぞれにインクが吐出される。
【選択図】図7
Description
前記基材をその長手方向に所定の張力を掛けて所定の高さで保持すると共に、当該長手方向に垂直な短手方向に位置決めする第1の保持工程と、
前記位置決めされた基材を前記所定の高さに位置する面で受け止める第2の保持工程と、
前記複数のノズルを前記保持された基材から外れた、当該基材の側部近傍の待機位置で待機させる待機工程と、
前記短手方向および前記所定の高さに保持された前記基材を、前記矩形領域の単位で供給する基材供給工程と、
前記供給された矩形領域の基材を吸着固定する矩形領域固定工程と、
前記矩形領域の、前記長手方向におけるX位置誤差と、前記短手方向におけるY位置誤差とを求めるアライメント情報算出工程と、
最初に供給される所定数の矩形領域の形状の歪みを検出する歪み検出工程と、
前記検出された、矩形領域の形状の歪みに基づいて、前記複数の凹部のそれぞれに対してインクを吐出するノズルを決定するマッピングデータを作成するマッピングデータ作成工程と、
前記X位置誤差に基づき、前記矩形領域に対する前記複数のノズルのX方向の位置を補正する工程と、
前記複数のノズルの前記矩形領域に対する位置が補正された後に、前記複数のノズルを前記待機位置から前記短手方向に平行な第1の塗布スキャン方向に移動させながら、当該複数のノズルの中の前記マッピングデータに基づいて選択されたノズルから、前記吸着固定された矩形領域に配設されている複数の凹部のそれぞれにインクを吐出させるインク吐出工程とを備える。
L・Wu≧Lsx ・・・・ (1)
図6、図7、図8、図9、図10、図11および図12を参照して、本発明の実施例に係る塗布方法および塗布装置について説明する。本実施例における塗布ユニット2Gとインクジェットヘッドバー5と制御器2Cとのそれぞれを、塗布ユニット2Ga(図6)、インクジェットヘッドバー5a(図6)、制御器2Caとして以下に説明する。同様に、塗布装置2も塗布装置2aとして識別する。なお、塗布装置2aと制御器2Caについては、図1を援用する。
0≦θ≦1° ・・・・(2)
0≦△X≦Wu ・・・・(3)
ステップS86において図11(d)に示すように、これらの近似直線Lpgが、D(Af)方向あるいはD(Yf)方向に対してなす傾きSθ1〜Sθ4を、画像表示領域Sの四辺それぞれについて算出する。これらの傾きSθ1〜Sθ4を、画像表示領域Sの姿勢誤差Sθと総称する。なお、画像表示領域Sの形状に歪みが無い場合は、上記近似直線LpgはD(Af)方向あるいはD(Yf)方向に対して平行であり、傾きSθ1〜Sθ4は0度である。
ΔAyn=(画像表示領域Sの長さ(理想値)Lsx・1/2)・cosSAn ・・・(7)
ΔAxn=(画像表示領域Sの幅(理想値)Lsy・1/2)・sinSAn ・・・(8)
△Mx=Lsy・Sinθ ・・・・(5)
0≦△Mx≦Lsy・Sinθ ・・・・(6)
D≦V・Ti/K ・・・・(4)
2 塗布装置
3 巻取部
4 塗布ガントリ
5、5a インクジェットヘッドバー
6 カメラガントリ
7 エリアカメラ
8 吸着プレート
9 スキャンカメラ
10、10a、10b、10c ヘッドユニット
11、11a、11b、11c ヘッドモジュール
12 塗布ヘッド
13 ノズル
20 樹脂フィルム
D1 ヘッドモジュールシフト距離
D2 ヘッドユニット離間距離
HP ホームポジション
IAa アライメント情報
Ex X位置誤差
Ey Y位置誤差
Eθ 平行誤差
Em 補正塗布スキャン方向
R1、R3 リール
S、S1、S2、S3 画像表示領域
Wr1、Wr3 ロール
Wm ヘッドモジュール塗布幅
Wu ヘッドユニット塗布幅
Claims (39)
- 矩形シート状の基材の長手方向に所定間隔で連続して形成されている複数の矩形領域に格子状に配設されている複数の凹部のそれぞれに複数のノズルを用いてインクジェット方式により所定の色調のインクを塗布する塗布方法であって、
前記基材をその長手方向に所定の張力を掛けて所定の高さで保持すると共に、当該長手方向に垂直な短手方向に位置決めする第1の保持工程と、
前記位置決めされた基材を前記所定の高さに位置する面で受け止める第2の保持工程と、
前記複数のノズルを前記保持された基材から外れた、当該基材の側部近傍の待機位置で待機させる待機工程と、
前記短手方向および前記所定の高さに保持された前記基材を、前記矩形領域の単位で供給する基材供給工程と、
前記供給された矩形領域の基材を吸着固定する矩形領域固定工程と、
前記矩形領域の、前記長手方向におけるX位置誤差と、前記短手方向におけるY位置誤差とを求めるアライメント情報算出工程と、
最初に供給される所定数の矩形領域の形状の歪みを検出する歪み検出工程と、
前記検出された、矩形領域の形状の歪みに基づいて、前記複数の凹部のそれぞれに対してインクを吐出するノズルを決定するマッピングデータを作成するマッピングデータ作成工程と、
前記X位置誤差に基づき、前記矩形領域に対する前記複数のノズルのX方向の位置を補正する工程と、
前記複数のノズルの前記矩形領域に対する位置が補正された後に、前記複数のノズルを前記待機位置から前記短手方向に平行な第1の塗布スキャン方向に移動させながら、当該複数のノズルの中の前記マッピングデータに基づいて選択されたノズルから、前記吸着固定された矩形領域に配設されている複数の凹部のそれぞれにインクを吐出させるインク吐出工程とを備える塗布方法。 - 前記歪み検出工程においては、
前記矩形領域の輪郭の形状を算出することによって、矩形領域の形状の歪みを検出する、請求項1に記載の塗布方法。 - 前記歪み検出工程においては、
矩形領域の四隅の角度を求め、
前記四隅の角度に基づき、矩形領域の輪郭の形状を算出する、請求項2に記載の塗布方法。 - 前記歪み検出工程においては、
矩形領域を複数のサブ領域に分割し、
前記複数のサブ領域それぞれの四隅の角度を求め、
前記四隅の角度に基づき、前記複数のサブ領域それぞれの輪郭の形状を算出し、
前記複数のサブ領域の輪郭の形状に基づき、矩形領域の輪郭の形状を算出する、請求項2に記載の塗布方法。 - 前記歪み検出工程においては、
前記四隅の角度に基づき、矩形領域の各頂点の、前記長手方向におけるX方向ずれ量と、前記短手方向におけるY方向ずれ量とを求め、
前記X方向ずれ量及び前記Y方向ずれ量に基づき、矩形領域の輪郭の形状を算出する、請求項3に記載の塗布方法。 - 前記歪み検出工程においては、
前記サブ領域それぞれの四隅の角度に基づき、当該サブ領域の各頂点の、前記長手方向におけるX方向ずれ量と、前記短手方向におけるY方向ずれ量とを求め、
前記X方向ずれ量及び前記Y方向ずれ量に基づき、当該サブ領域の輪郭の形状を算出する、請求項4に記載の塗布方法。 - 前記歪み検出工程においては、さらに、
矩形領域の、基材の中心軸に平行な方向に対する姿勢誤差を求める、請求項1に記載の塗布方法。 - 前記歪み検出工程においては、
矩形領域の端部に位置する所定数の凹部の重心を求め、
前記所定数の重心の近似直線が、基材の中心軸に平行な方向に対してなす傾きを、矩形領域の四辺それぞれについて求め、
前記傾きに基づき、矩形領域の姿勢誤差を求める、請求項7に記載の塗布方法。 - 前記マッピングデータ作成工程においては、前記所定数の矩形領域の形状の歪みの平均値に基づいて、前記マッピングデータを作成する、請求項1に記載の塗布方法。
- 前記検出された、矩形領域の形状の歪みが許容範囲内であるか否かを判断する工程をさらに備える、請求項1に記載の塗布方法。
- 前記検出された、矩形領域の姿勢誤差が許容範囲内であるか否かを判断する工程をさらに備える、請求項7に記載の塗布方法。
- 前記検出された、前記所定数の矩形領域の形状の歪みのパターンのばらつきが許容範囲内であるか否かを判断する工程をさらに備える、請求項1に記載の塗布方法。
- 前記アライメント情報算出工程においては、さらに、前記矩形領域の、前記長手方向に対する平行誤差を求め、
前記平行誤差に基づき、前記矩形領域に対する前記複数のノズルの配列方向の傾きを補正する工程をさらに備える、請求項1に記載の塗布方法。 - 前記Y位置誤差に基づいた、前記矩形領域に対する前記複数のノズルのY方向の位置の補正は、前記インク吐出工程において行われることを特徴とする、請求項1に記載の塗布方法。
- 前記アライメント情報算出工程においては、さらに、前記平行誤差に基づき、前記矩形領域に対する前記複数のノズルの配列方向の傾きを算出し、前記短手方向に対して前記算出された傾きだけ補正して第2の塗布スキャン方向を求め、
前記インク吐出工程においては、前記複数のノズルを前記第2の塗布スキャン方向に移動させながらインクを塗布させることを特徴とする、請求項13に記載の塗布方法。 - 前記インク吐出工程を行う前に、前記矩形領域に対してテストパターンを塗布する工程をさらに備える、請求項1に記載の塗布方法。
- 前記塗布されたテストパターンを撮影する工程と、
前記撮影されたテストパターンを検査する工程と、
前記撮影されたテストパターンの検査結果をフィードバックする工程と、
前記検査結果を判断する工程とを備える、請求項16に記載の塗布方法。 - 前記マッピングデータは、矩形領域に塗布されたテストパターンの検査結果に基づいて更新されることを特徴とする、請求項17に記載の塗布方法。
- 前記マッピングデータは、塗布スキャンが行われる矩形領域の1つ前の矩形領域に塗布されるテストパターンの検査結果に基づいて更新されることを特徴とする、請求項17に記載の塗布方法。
- 矩形シート状の基材の長手方向に所定間隔で連続して形成されている複数の矩形領域に格子状に配設されている複数の凹部のそれぞれに複数のノズルを用いてインクジェット方式により所定の色調のインクを塗布する塗布装置であって、
前記基材をその長手方向に所定の張力を掛けて所定の高さで保持すると共に、当該長手方向に垂直な短手方向に位置決めする第1の保持手段と、
前記位置決めされた基材を前記所定の高さに位置する面で受け止める第2の保持手段と、
前記複数のノズルを前記保持された基材から外れた、当該基材の側部近傍の待機位置で待機させる待機手段と、
前記短手方向および前記所定の高さに保持された前記基材を、前記矩形領域の単位で供給する基材供給手段と、
前記供給された矩形領域の基材を吸着固定する矩形領域固定手段と、
前記矩形領域の、前記長手方向におけるX位置誤差と、前記短手方向におけるY位置誤差とを求めるアライメント情報算出手段と、
最初に供給される所定数の矩形領域の形状の歪みを検出する歪み検出手段と、
前記検出された、矩形領域の形状の歪みに基づいて、前記複数の凹部のそれぞれに対してインクを吐出するノズルを決定するマッピングデータを作成するマッピングデータ作成手段と、
前記X位置誤差に基づき、前記矩形領域に対する前記複数のノズルのX方向の位置を補正するX位置補正手段と、
前記複数のノズルの前記矩形領域に対する位置が補正された後に、前記複数のノズルを前記待機位置から前記短手方向に平行な第1の塗布スキャン方向に移動させながら、当該複数のノズルの中の前記マッピングデータに基づいて選択されたノズルから、前記吸着固定された矩形領域に配設されている複数の凹部のそれぞれにインクを吐出させるインク吐出手段とを備える塗布装置。 - 前記歪み検出手段は、
前記矩形領域の輪郭の形状を算出することによって、矩形領域の形状の歪みを検出する、請求項20に記載の塗布装置。 - 前記歪み検出手段は、
矩形領域の四隅の角度を求め、
前記四隅の角度に基づき、矩形領域の輪郭の形状を算出する、請求項21に記載の塗布装置。 - 前記歪み検出手段は、
矩形領域を複数のサブ領域に分割し、
前記複数のサブ領域それぞれの四隅の角度を求め、
前記四隅の角度に基づき、前記複数のサブ領域それぞれの輪郭の形状を算出し、
前記複数のサブ領域の輪郭の形状に基づき、矩形領域(S)の輪郭の形状を算出する、請求項21に記載の塗布装置。 - 前記歪み検出手段は、
前記四隅の角度に基づき、矩形領域の各頂点の、前記長手方向におけるX方向ずれ量と、前記短手方向におけるY方向ずれ量とを求め、
前記X方向ずれ量及び前記Y方向ずれ量に基づき、矩形領域の輪郭の形状を算出する、請求項22に記載の塗布装置。 - 前記歪み検出手段は、
前記サブ領域それぞれの四隅の角度に基づき、当該サブ領域の各頂点の、前記長手方向におけるX方向ずれ量と、前記短手方向におけるY方向ずれ量とを求め、
前記X方向ずれ量及び前記Y方向ずれ量に基づき、当該サブ領域の輪郭の形状を算出する、請求項23に記載の塗布装置。 - 前記歪み検出手段は、さらに、
矩形領域の、基材の中心軸に平行な方向に対する姿勢誤差を求める、請求項20に記載の塗布装置。 - 前記歪み検出手段は、
矩形領域の端部に位置する所定数の凹部の重心を求め、
前記所定数の重心の近似直線が、基材の中心軸に平行な方向に対してなす傾きを、矩形領域の四辺それぞれについて求め、
前記傾きに基づき、矩形領域の姿勢誤差を求める、請求項26に記載の塗布装置。 - 前記マッピングデータ作成手段は、前記所定数の矩形領域の形状の歪みの平均値に基づいて、前記マッピングデータを作成する、請求項20に記載の塗布装置。
- 前記検出された、矩形領域の形状の歪みが許容範囲内であるか否かを判断する手段をさらに備える、請求項20に記載の塗布装置。
- 前記検出された、矩形領域の姿勢誤差が許容範囲内であるか否かを判断する手段をさらに備える、請求項26に記載の塗布装置。
- 前記検出された、前記所定数の矩形領域の形状の歪みのパターンのばらつきが許容範囲内であるか否かを判断する手段をさらに備える、請求項20に記載の塗布装置。
- 前記アライメント情報算出手段は、さらに、前記矩形領域の、前記長手方向に対する平行誤差を求め、
前記平行誤差に基づき、前記矩形領域に対する前記複数のノズルの配列方向の傾きを補正するθ補正手段をさらに備える、請求項20に記載の塗布装置。 - 前記Y位置誤差に基づいた、前記矩形領域に対する前記複数のノズルのY方向の位置の補正は、前記インク吐出手段によって行われることを特徴とする、請求項20に記載の塗布装置。
- 前記アライメント情報算出手段は、さらに、前記平行誤差に基づき、前記矩形領域に対する前記複数のノズルの配列方向の傾きを算出すると共に前記短手方向に対して前記算出された傾きだけ補正して第2の塗布スキャン方向を求め、
前記インク吐出手段は、前記複数のノズルを前記第2の塗布スキャン方向に移動させながらインクを塗布させることを特徴とする、請求項32に記載の塗布装置。 - 前記インク吐出手段は、前記凹部へのインク塗布を行う前に、前記矩形領域に対してテストパターンを塗布することを特徴とする、請求項20に記載の塗布装置。
- 前記塗布されたテストパターンを撮影するテストパターン撮影手段をさらに備える、請求項35に記載の塗布装置。
- 前記撮影されたテストパターンを検査する手段と、
前記撮影されたテストパターンの検査結果をフィードバックする手段と、
前記検査結果を判断する手段とを備える、請求項36に記載の塗布装置。 - 前記マッピングデータは、矩形領域に塗布されたテストパターンの検査結果に基づいて更新されることを特徴とする、請求項37に記載の塗布装置。
- 前記マッピングデータは、塗布スキャンが行われる矩形領域の1つ前の矩形領域に塗布されるテストパターンの検査結果に基づいて更新されることを特徴とする、請求項37に記載の塗布装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012173504A (ja) * | 2011-02-21 | 2012-09-10 | Toray Eng Co Ltd | 塗布方法および塗布装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004337727A (ja) * | 2003-05-14 | 2004-12-02 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器および基板 |
JP2006088091A (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Seiko Epson Corp | 液状体の描画方法、液状体の描画装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電気光学装置の駆動方法及び電子機器 |
JP2006128273A (ja) * | 2004-10-27 | 2006-05-18 | Seiko Epson Corp | パターン形成システム、パターン形成方法および電子機器 |
JP5606258B2 (ja) * | 2010-10-06 | 2014-10-15 | 東レエンジニアリング株式会社 | 塗布方法および塗布装置 |
-
2010
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004337727A (ja) * | 2003-05-14 | 2004-12-02 | Seiko Epson Corp | 液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器および基板 |
JP2006088091A (ja) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Seiko Epson Corp | 液状体の描画方法、液状体の描画装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電気光学装置の駆動方法及び電子機器 |
JP2006128273A (ja) * | 2004-10-27 | 2006-05-18 | Seiko Epson Corp | パターン形成システム、パターン形成方法および電子機器 |
JP5606258B2 (ja) * | 2010-10-06 | 2014-10-15 | 東レエンジニアリング株式会社 | 塗布方法および塗布装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012173504A (ja) * | 2011-02-21 | 2012-09-10 | Toray Eng Co Ltd | 塗布方法および塗布装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5697967B2 (ja) | 2015-04-08 |
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