KR101830138B1 - 도포 방법 및 도포 장치 - Google Patents
도포 방법 및 도포 장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR101830138B1 KR101830138B1 KR1020137018819A KR20137018819A KR101830138B1 KR 101830138 B1 KR101830138 B1 KR 101830138B1 KR 1020137018819 A KR1020137018819 A KR 1020137018819A KR 20137018819 A KR20137018819 A KR 20137018819A KR 101830138 B1 KR101830138 B1 KR 101830138B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- rectangular area
- image display
- display area
- shape
- ink
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/21—Ink jet for multi-colour printing
- B41J2/2132—Print quality control characterised by dot disposition, e.g. for reducing white stripes or banding
- B41J2/2135—Alignment of dots
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
- B05D1/26—Processes for applying liquids or other fluent materials performed by applying the liquid or other fluent material from an outlet device in contact with, or almost in contact with, the surface
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D7/00—Processes, other than flocking, specially adapted for applying liquids or other fluent materials to particular surfaces or for applying particular liquids or other fluent materials
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
- G02B5/201—Filters in the form of arrays
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Coating Apparatus (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Wood Science & Technology (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Abstract
복수의 오목부가 형성된 가요성(可撓性)을 가지는 기재(基材)를 보다 저공정 수로 또한 간단한 구성으로 위치 결정하여, 오목부의 각각에 잉크젯(inkjet) 방식에 의하여 잉크를 도포할 수 있는 도포 방법 및 도포 장치를 제공한다.
구체적으로는, 긴쪽 방향 X에 장력을 받아 소정 높이 HR에서 보지(保持)되는 것과 함께, 짧은 쪽 방향 Y로 위치 결정된 기재(F)가 흡착 플레이트(8) 상에 화상 표시 영역(S) 단위에서 공급되어 고정되고, 흡착 고정된 화상 표시 영역(S)의 형상의 일그러짐이 검출되며, 검출된 화상 표시 영역(S)의 형상의 일그러짐에 기초하여, 당해(當該) 화상 표시 영역(S)에 배설(配設)되어 있는 복수의 오목부(P)의 각각에 대하여 잉크를 토출하는 노즐을 결정하는 매핑 데이터(mapping data)(Dm)가 작성되고, 복수의 노즐(13)이 기재(F)의 측부 근방(近傍)의 홈 포지션(HP)으로부터 짧은 쪽 방향 Y로 이동되면서, 당해 복수의 노즐(13) 중의 상기 매핑 데이터(Dm)에 기초하여 선택된 노즐로부터, 화상 표시 영역(S)의 복수의 오목부(P)의 각각에 잉크가 토출된다.
구체적으로는, 긴쪽 방향 X에 장력을 받아 소정 높이 HR에서 보지(保持)되는 것과 함께, 짧은 쪽 방향 Y로 위치 결정된 기재(F)가 흡착 플레이트(8) 상에 화상 표시 영역(S) 단위에서 공급되어 고정되고, 흡착 고정된 화상 표시 영역(S)의 형상의 일그러짐이 검출되며, 검출된 화상 표시 영역(S)의 형상의 일그러짐에 기초하여, 당해(當該) 화상 표시 영역(S)에 배설(配設)되어 있는 복수의 오목부(P)의 각각에 대하여 잉크를 토출하는 노즐을 결정하는 매핑 데이터(mapping data)(Dm)가 작성되고, 복수의 노즐(13)이 기재(F)의 측부 근방(近傍)의 홈 포지션(HP)으로부터 짧은 쪽 방향 Y로 이동되면서, 당해 복수의 노즐(13) 중의 상기 매핑 데이터(Dm)에 기초하여 선택된 노즐로부터, 화상 표시 영역(S)의 복수의 오목부(P)의 각각에 잉크가 토출된다.
Description
본 발명은, 가요성(可撓性)을 가지는 장척상(長尺狀)의 기재(基材) 상(上)에 격자상(格子狀)으로 배열된 복수의 오목부의 각각에 잉크젯(inkjet) 방식에 의하여 잉크를 도포하는 방법 및 그 장치에 관한 것이다.
화상 표시 기기에 사용되는 컬러 필터에 화소 요소를 형성하는 색소를 도포하는 방법의 하나로서, 종래로부터 잉크젯법이 제안되고 있다. 구체적으로는, 매트릭스상(狀)으로 차광부가 형성된 유리 등으로 작성된 기판 상에 형성된 복수의 구획의 각각에, 도포 헤드의 노즐로부터 잉크를 토출하여 도포하고, 잉크층이 형성된다(특허 문헌 1 참조).
도 13에, 잉크젯 방식을 이용한, 컬러 필터의 화소 요소 형성에 이용되는 도포 장치의 일례를 도시한다. 도포 장치(100)는, 기대(機臺)(101), 흡착 테이블(103)(보지(保持) 스테이지), 도포 갠트리(gantry)(104), 및 카메라 갠트리(106)를 포함한다. 흡착 테이블(103), 도포 갠트리(104), 및 카메라 갠트리(106)는 기대(101) 상에 배치되어 있다. 보지 스테이지인 흡착 테이블(103)은, 컬러 필터 기판인 유리 기판(102)을 흡착 보지한다. 동 도면에 있어서, X축 및 Y축은, 흡착 테이블(103)에 의하여 보지된 유리 기판(102)의 상면(上面)과 평행한 평면을 규정하도록 설정된 서로 직교하는 축이고, Z축은 동 평면과 직교하는 축이다. 흡착 테이블(103)은, 도시하지 않는 구동 기구 및 가이드 기구에 의하여 Z축 둘레에 회전되어, 유리 기판(102)을 소정의 위치에 위치 결정한다. 본 예에 있어서는, 유리 기판(102)은 직사각형상으로 형성되는 것과 함께 그 장변(長邊) 및 단변(短邊)이 각각 X축 및 Y축에 평행한 X 방향 및 Y 방향에 평행으로 위치 결정된다.
도포 갠트리(104)는, 도포 헤드 바(105)를 보지하는 것이고, 유리 기판(102)의 소정 위치에 잉크를 도포하기 위하여, 도시하지 않는 구동 기구 및 가이드 기구에 의하여, X 방향으로 구동된다. 덧붙여, 도포 헤드 바(105)는, 유리 기판(102)에 대한 상대 위치를 조정하기 위하여, 도시하지 않는 구동 기구, 가이드 기구에 의하여 Z축에 평행한 Z 방향으로도 Y 방향으로도 구동된다.
카메라 갠트리(106)는, 얼라인먼트 카메라(alignment camera)(107 및 108)와 스캔 카메라(109)를 보지하는 것이다. 얼라인먼트 카메라(107 및 108)는, 유리 기판(102)의 위치 맞춤을 위하여, 유리 기판(102)의 마크(도시하지 않음)의 검출에 이용된다. 스캔 카메라(109)는, 유리 기판(102)에 공급된 잉크를 검출하기 위한 계측에 이용된다. 카메라 갠트리(106)는, 유리 기판(102)의 위치 맞춤이나, 토출된 잉크의 검출을 위하여, 도시하지 않는 구동 기구 및 가이드 기구에 의하여 X 방향으로 구동된다. 얼라인먼트 카메라(107 및 108)와 스캔 카메라(109)는, 도시하지 않는 구동 기구 및 가이드 기구에 의하여 Y 방향으로도 구동된다.
얼라인먼트 카메라(107 및 108)에 의한, 유리 기판(102)의 마크 검출 결과에 기초하여, 흡착 테이블(103)을 Z축 둘레에 회전시키고, 및/또는 Y 방향으로 이동하여, 유리 기판(102)의 위치 맞춤을 행한다. 유리 기판(102)의 X축 방향의 위치의 오차는, 잉크의 토출 타이밍을 조정하는 것에 의하여 수정한다.
근년의 화상 표시 기기, 특히 휴대용의 화상 표시 기기에 대한 내충격성(耐衝擊性)의 향상, 경량화, 및 박형화(薄型化) 등의 요구에 응하려면, 상술의 유리 기판으로는 곤란하다. 나아가, 전자 페이퍼로 대표되는 가요성을 가지는 것과 함께 경량의 화상 표시 기기에 대한 요구에는, 대응 불가라고 말하지 않을 수 없다.
이와 같은 요구에 대해서는, 유리 기판 대신에 가요성을 가지는 수지 필름 등을, 화상 표시 기기의 기재로서 사용하는 것이 생각된다. 유리 기판의 개개를 각각 1매의 수지 필름으로 바꾸어 놓으면, 내충격성, 경량화, 및 박형화의 요구에 대해서는 매우 유효하다. 그렇지만, 수지 필름은 그 가요성 때문에, 1매씩 개별로 반송(搬送)하거나 위치 결정하거나 하는 등의 취급이 매우 곤란하다. 또한, 이와 같은 수지 필름은, 그 소정의 영역에, 화상 표시기에 있어서 화소로 되는 오목부가 복수 개 형성되어 있지만, 이들의 오목부를 형성할 때에 수지 필름에 걸리는 압력이나 열 등에 의하여, 오목부가 형성되는 영역의 형상이 일그러지는 일이 있다.
본 발명에 있어서는, 상술의 문제에 감안하여, 가요성을 가지는 화상 표시 기기의 제조에 있어서, 가요성 기재를 보다 간단한 구성으로 위치 결정하여, 기재에 형성된 복수의 오목부의 각각에 잉크젯 방식에 의하여 정도(精度) 좋게 잉크를 도포할 수 있는 도포 방법 및 도포 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 도포 방법은, 직사각형 시트상(狀)의 기재의 긴쪽 방향으로 소정 간격으로 연속하여 형성되어 있는 복수의 직사각형 영역에 격자상으로 배설(配設, 배치 설치되는 것)되어 있는 복수의 오목부의 각각에 복수의 노즐을 이용하여 잉크젯 방식에 의하여 잉크를 도포하는 도포 방법이고,
복수의 릴에 의하여, 상기 기재를 그 긴쪽 방향으로 소정의 장력(張力)을 걸어 소정의 높이에서 보지하는 것과 함께, 당해 긴쪽 방향에 수직인 짧은 쪽 방향으로 위치 결정하는 제1의 보지 공정과,
플레이트에 의하여, 상기 위치 결정된 기재를 상기 소정의 높이에 위치하는 면으로 받아들이는 제2의 보지 공정과,
상기 복수의 노즐을 상기 보지된 기재로부터 빠진, 당해 기재의 측부 근방(近傍)의 대기 위치에서 대기시키는 대기 공정과,
상기 짧은 쪽 방향 및 상기 소정의 높이에 보지된 상기 기재를, 상기 직사각형 영역의 단위에서 공급하는 제1의 기재 공급 공정과,
상기 공급된 기재의 직사각형 영역을 흡착 고정하는 제1의 직사각형 영역 고정 공정과,
상기 흡착 고정된 직사각형 영역의 형상의 일그러짐을 검출하는 일그러짐 검출 공정과,
상기 검출된, 직사각형 영역의 형상의 일그러짐에 기초하여, 당해 직사각형 영역의 복수의 오목부의 각각에 대하여 잉크를 토출하는 노즐을 결정하는 매핑 데이터(mapping data)를 작성하는 매핑 데이터 작성 공정과,
상기 직사각형 영역의, 상기 긴쪽 방향에 있어서의 X 위치 오차와, 상기 짧은 쪽 방향에 있어서의 Y 위치 오차를 구하는 얼라인먼트 정보 산출 공정과,
상기 X 위치 오차에 기초하여, 상기 직사각형 영역에 대한 상기 복수의 노즐의 X 방향의 위치를 보정하는 공정과,
상기 복수의 노즐의 상기 직사각형 영역에 대한 위치가 보정된 후에, 상기 복수의 노즐을 상기 대기 위치로부터 상기 짧은 쪽 방향에 평행한 제1의 도포 스캔 방향으로 이동시키면서, 당해 복수의 노즐 중의 상기 매핑 데이터에 기초하여 선택된 노즐로부터, 상기 흡착 고정된 직사각형 영역에 배설되어 있는 복수의 오목부의 각각에 잉크를 토출시키는 잉크 토출 공정을 구비한다.
또한, 상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 도포 장치는, 직사각형 시트상의 기재의 긴쪽 방향으로 소정 간격으로 연속하여 형성되어 있는 복수의 직사각형 영역에 격자상으로 배설되어 있는 복수의 오목부의 각각에 복수의 노즐을 이용하여 잉크젯 방식에 의하여 잉크를 도포하는 도포 장치이고,
상기 기재를 그 긴쪽 방향으로 소정의 장력을 걸어 소정의 높이에서 보지하는 것과 함께, 당해 긴쪽 방향에 수직인 짧은 쪽 방향으로 위치 결정하는 제1의 보지 수단으로서의 복수의 릴과,
상기 위치 결정된 기재를 상기 소정의 높이에 위치하는 면으로 받아들이는 제2의 보지 수단으로서의 플레이트와,
상기 복수의 노즐을 상기 보지된 기재로부터 빠진, 당해 기재의 측부 근방의 대기 위치에서 대기시키는 대기 수단과,
상기 짧은 쪽 방향 및 상기 소정의 높이에 보지된 상기 기재를, 상기 직사각형 영역의 단위에서 공급하는 기재 공급 수단과,
상기 공급된 직사각형 영역의 기재를 흡착 고정하는 제1의 직사각형 영역 고정 수단과,
상기 흡착 고정된 직사각형 영역의 형상의 일그러짐을 검출하는 일그러짐 검출 수단과,
상기 검출된, 직사각형 영역의 형상의 일그러짐에 기초하여, 당해 직사각형 영역의 복수의 오목부의 각각에 대하여 잉크를 토출하는 노즐을 결정하는 매핑 데이터를 작성하는 매핑 데이터 작성 수단과,
상기 직사각형 영역의, 상기 긴쪽 방향에 있어서의 X 위치 오차와, 상기 짧은 쪽 방향에 있어서의 Y 위치 오차를 구하는 얼라인먼트 정보 산출 수단과,
상기 X 위치 오차에 기초하여, 상기 직사각형 영역에 대한 상기 복수의 노즐의 X 방향의 위치를 보정하는 X 위치 보정 수단과,
상기 복수의 노즐의 상기 직사각형 영역에 대한 위치가 보정된 후에, 상기 복수의 노즐을 상기 대기 위치로부터 상기 짧은 쪽 방향에 평행한 제1의 도포 스캔 방향으로 이동시키면서, 당해 복수의 노즐 중의 상기 매핑 데이터에 기초하여 선택된 노즐로부터, 상기 흡착 고정된 직사각형 영역에 배설되어 있는 복수의 오목부의 각각에 잉크를 토출시키는 잉크 토출 수단을 구비한다.
본 발명의 도포 방법 및 도포 장치에 의하면, 가요성을 가지는 장척상의 기재에 격자상으로 배열된 복수의 오목부에 신속하게 또한 정도 좋게 잉크를 도포할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시의 형태에 관련되는 도포 장치와 수지 필름을 도시하는 모식도이다.
도 2는 도 1에 도시한 도포 스테이션과 수지 필름을 도시하는 평면도이다.
도 3은 도 2에 도시한 수지 필름에 있어서의 반송 단위의 설명도이다.
도 4는 도 2에 도시한 잉크젯 헤드 바의 잉크 도포면을 나타내는 모식도이다.
도 5는 도 4에 도시한 헤드 모듈에 있어서의 노즐의 배열을 나타내는 모식도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 관련되는 도포 유닛의 수지 필름에 대한 도포 동작을 도시하는 평면도이다.
도 7은 도 6에 도시한 도포 장치의 동작을 나타내는 플로 차트이다.
도 8은 도 7에 있어서의 서브루틴 #800, #700 및 #100의 상세한 처리를 도시하는 플로 차트이다.
도 9는 도 7에 있어서의 서브루틴 #300, #400, #500, 및 #600의 상세한 처리를 도시하는 플로 차트이다.
도 10은 도 7에 있어서의 서브루틴 #800의, 화상 표시 영역의 일그러짐 검출 동작을 나타내는 모식도이다.
도 11은 도 7에 있어서의 서브루틴 #800의, 화상 표시 영역의 일그러짐 검출 동작을 나타내는 모식도이다.
도 12는 화상 표시 영역의 일그러짐 검출 동작의 다른 예를 나타내는 모식도이다.
도 13은 종래의 도포 장치의 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시한 도포 스테이션과 수지 필름을 도시하는 평면도이다.
도 3은 도 2에 도시한 수지 필름에 있어서의 반송 단위의 설명도이다.
도 4는 도 2에 도시한 잉크젯 헤드 바의 잉크 도포면을 나타내는 모식도이다.
도 5는 도 4에 도시한 헤드 모듈에 있어서의 노즐의 배열을 나타내는 모식도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 관련되는 도포 유닛의 수지 필름에 대한 도포 동작을 도시하는 평면도이다.
도 7은 도 6에 도시한 도포 장치의 동작을 나타내는 플로 차트이다.
도 8은 도 7에 있어서의 서브루틴 #800, #700 및 #100의 상세한 처리를 도시하는 플로 차트이다.
도 9는 도 7에 있어서의 서브루틴 #300, #400, #500, 및 #600의 상세한 처리를 도시하는 플로 차트이다.
도 10은 도 7에 있어서의 서브루틴 #800의, 화상 표시 영역의 일그러짐 검출 동작을 나타내는 모식도이다.
도 11은 도 7에 있어서의 서브루틴 #800의, 화상 표시 영역의 일그러짐 검출 동작을 나타내는 모식도이다.
도 12는 화상 표시 영역의 일그러짐 검출 동작의 다른 예를 나타내는 모식도이다.
도 13은 종래의 도포 장치의 사시도이다.
우선, 도 1, 도 2, 도 3, 도 4, 도 5, 및 도 7을 참조하여, 본 발명의 실시의 형태에 관련되는 도포 방법 및 도포 장치에 관하여 설명한다. 그리고 도 6, 도 7, 도 8, 도 9, 도 10, 도 11 및 도 12를 참조하여, 본 발명의 실시예에 관련되는 도포 방법 및 도포 장치에 관하여 설명한다.
도 1에 도시하는 바와 같이, 본 발명의 실시의 형태에 관련되는 도포 장치(2)의 상류 측에는 권출부(卷出部)(1)가 설치되는 것과 함께, 하류 측에는 권취부(卷取部)(3)가 설치되어 있다. 본 실시의 형태에 있어서 도포 장치(2)는, 일그러짐 검출 장치(21)와 도포 장치(22)를 포함하지만, 일그러짐 검출 장치(21)와 도포 장치(22)를 일체(一體)로 하여도 무방하다. 권출부(1), 도포 장치(2), 및 권취부(3)는, 각각이 축(Ax)을 따라 배치되어 있다. 수지 필름(F)은, 권출부(1)에 있어서 롤(Wr1)의 상태로 보지되는 것과 함께, 권취부(3)에 의하여 감기어, 롤(Wr3)의 상태로 보지된다. 덧붙여, 수지 필름(F)은 권출부(1)의 릴(R1)로 가이드되어, 축(Ax)에 평행한 X 방향으로 방출된다. 덧붙여, X 방향은 수지 필름(F)의 긴쪽 방향이기도 하다. 권취부(3)는 도포 장치(2)로부터 방출된 수지 필름(F)을 릴(R3)로 가이드하면서 감는다. 본 발명에 있어서는, 화상 표시기의 기재, 즉 잉크가 도포되는 대상물은 유리 기판 대신에 가요성을 가지는 장척의 직사각형의 시트상의 수지 필름(F)이 이용된다.
도 2에 도시하는 바와 같이, 수지 필름(F)은, 종래의 유리 기판의 1매를 대신하는 것이 아니고, 복수 매의 유리 기판이 연속하여 장척상으로 구성된 것에 대응하고 있다. 이것에 의하여, 그 가요성 때문에 개개로는 취급이 곤란한 수지 필름(F)을 보다 용이하게 취급하는 것과 함께, 복수 매의 유리 기판에 상당하는 영역에 신속하게, 연속적으로, 또한 정확하게 잉크를 도포하는 것을 도모하고 있다.
수지 필름(F)에는, 잉크가 도포되는 것에 의하여, 화상 표시기에 있어서의 화소로 되어야 할 오목부(P)(도 2)가 미리 격자상의 패턴으로 형성되어 있다. 오목부(P)를 화소 요소(P)라고 부른다. 본 실시의 형태에서는, 수지 필름(F)으로서, 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate)로 이루어지는, 두께가 약 100μm의 시트상의 필름이 사용되지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 오목부(P)는, 수지 필름(F)에 엠보스(emboss) 가공 등에 의하여 형성된다.
도 1로 되돌아와서, 권출부(1), 도포 장치(2), 및 권취부(3)는, 각각, 자신의 동작을 제어하는 제어기(1C), 제어기(2C), 및 제어기(3C)를 포함한다. 본 실시의 형태에 있어서, 일그러짐 검출 장치(21)는 제어기(2C1)를 포함하고, 도포 장치(22)는 제어기(2C2)를 포함한다. 제어기(2C1)와 제어기(2C2)를, 제어기(2C)로 총칭한다. 제어기(1C)와 제어기(2C)는 라인(L1)으로 서로 접속되고, 제어기(2C)와 제어기(3C)는 라인(L2)으로 서로 접속되어 있다. 제어기(1C)는 자신의 동작 상태를 나타내는 제어 신호(Sc12)를 라인(L1)을 통하여 제어기(2C)에 송신하고, 제어기(3C)는 자신의 동작 상태를 나타내는 제어 신호(Sc32)를 라인(L2)을 통하여 제어기(2C)에 송신한다. 제어기(2C)는, 수신한 제어 신호(Sc12) 및 제어 신호(Sc32)에 기초하여, 전체로서의 도포 동작을 결정하여, 라인(L1)을 통하여 제어기(1C)에 대한 제어 신호(Sc21)를 송신하고, 라인(L2)을 통하여 제어기(3C)에 대한 제어 신호(Sc23)를 송신한다. 제어기(2C1)는 제어기(2C2)에 대하여 제어 신호(Sc212)를 송신하고, 제어기(2C2)는 제어기(2C1)에 대하여 제어 신호(Sc221)를 송신한다. 이와 같이 하여, 도포 동작이 제어된다. 나중에 도 7, 도 8 및 도 9를 참조하여, 실시예에 있어서의 제어기(2C)에 의한 도포 동작 제어에 관하여 상술(詳述)한다.
수지 필름(F)은 바닥(FL)으로부터 릴(R1 및 R3)의 외주(外周) 상단(上端) 높이 HR에서, 그 긴쪽 방향(X 방향)으로 소정의 장력이 걸린 상태로, 릴(R1) 및 릴(R3)에 의하여 보지되는 것과 함께, X 방향으로 소정 매수의 화상 표시기에 상당하는 분만큼 간헐 이동하면서 반송되어, 도포 장치(2)에 공급된다. 이와 같이 1회의 간헐 이동 동작에 의하여 반송되는 수지 필름(F)의 영역을 반송 단위(Ut)라고 부른다.
도 3을 참조하여, 반송 단위(Ut)에 관하여 간단하게 설명한다. 수지 필름(F)은 중심축(Af)을 따라 연재(延在, 어떠한 방향을 향하여 연장되도록 존재함)하는 장척의 시트이고, 중심축(Af)이 상술의 축(Ax)과 평행이 되도록 배치된다. 도 3(a)에는, 반송 단위(Ut)에 1매분의 화상 표시기에 상당하는 화상 표시 영역(S)이 형성되어 있는 예가 도시되어 있다. 화상 표시 영역(S)의 형상은, 제조되는 화상 표시기의 형상의 상사형(相似形)인 것이 바람직하다. 본 실시의 형태에 있어서는, 화상 표시 영역(S)은 직사각형상이다. 화상 표시 영역(S)은, 중심축(Af)에 평행한 방향(도 3에 도시하는 D(Af) 방향)으로 길이 Lsx만큼 연재하고, 중심축(Af)에 수직인 방향(도 3에 도시하는 D(Yf) 방향)으로 길이 Lsy만큼 연재하고 있다. 덧붙여, 수지 필름(F)에 준하여, 길이 Lsx 및 길이 Lsy를 각각 화상 표시 영역(S)의 길이 및 폭이라고 부른다.
화상 표시 영역(S)에는, 화소 요소인 오목부(P)가 격자상의 패턴으로 형성되어 있다. 오목부(P)는 상술한 대로, 엠보스 가공 등에 의하여 형성되지만, 이 가공 시에 수지 필름(F)에 걸리는 압력이나 열 등에 의하여, 직사각형상의 화상 표시 영역(S)의 형상이, 예를 들어 평행사변형상으로 일그러지는 일이 있다.
도 3(b)에는, 반송 단위(Ut)에 복수 매의 화상 표시 영역(S1 … Sn)(n은 2 이상의 정수)이 형성되어 있는 예가 도시되어 있다. 본 예에 있어서는, 9(3×3)매의 화상 표시 영역(S1 ~ Sn)이 규칙 바르게 배열되어 있다. 화상 표시 영역(S, 및 S1 ~ Sn)은, 각각 종래의 유리 기판의 1매에 상당한다. 화상 표시 영역(S1 ~ Sn(n=9))은, 도 3(a)의 화상 표시 영역(S)이, 오목부(P)를 가지지 않는 부분에 의하여 n(n=9)개로 분할된 것과 동등하다. 이와 같은 경우도, 오목부(P)를 형성하는 가공 시에 수지 필름(F)에 걸리는 압력이나 열 등에 의하여, 화상 표시 영역(S1 ~ Sn) 각각의 형상이, 예를 들어 평행사변형상으로 일그러지는 일이 있다.
도 1에 도시하는 바와 같이, 도포 장치(2)에 있어서는, 수지 필름(F)은, 바닥(FL)으로부터 높이 HR이 되도록 설치된 흡착 플레이트(8)의 상면에 가이드된다. 이것에 의하여, 수지 필름(F)은, 권출부(1), 도포 장치(2), 및 권취부(3)의 사이에서, 거의 높이 HR의 위치에서 장력이 걸린 상태로 보지 또한 반송된다. 도포 장치(2)의 일그러짐 검출 장치(21)와 도포 장치(22)는 각각, 도 1에 있어서, 흡착 플레이트(8)보다 하부(下部)에 위치하는 도포 베이스(2B1), 도포 베이스(2B2)와, 흡착 플레이트(8)를 포함하고 도포 베이스(2B1, 2B2)보다 상부(上部)에 위치하는 도포 스테이션(2G)으로 대별된다. 도포 스테이션(2G)은, 화상 표시 영역(S)의 형상을 검사하는 일그러짐 검출 유닛(2G1)과, 화상 표시 영역(S)에 잉크를 도포하는 도포 유닛(2G2)을 포함하지만, 이것에 관해서는 나중에 상술한다.
이와 같이, 수지 필름(F)은, 그 짧은 쪽(축(Ax)에 수직인) 방향인 Y(폭) 방향 및 X(길이) 방향에 관하여 릴(R1) 및 릴(R3)에 의하여 대체로 위치 결정(가이드)되고, Z(높이) 방향에 관해서는 릴(R1), 흡착 플레이트(8), 및 릴(R3)에 의하여 위치 결정(가이드)되어 있다.
소정의 매수의 화상 표시기에 상당하는 수지 필름(F)의 반송 단위(Ut)가 흡착 플레이트(8) 상에 공급(재치(載置, 물건의 위에 다른 것을 올리는 것))된다. 그리고 흡착 플레이트(8)는 수지 필름(F)을 흡착 고정한다. 흡착 고정된 수지 필름(F)에 대하여, 복수의 잉크젯 노즐(13)(도 5)을 구비하는 잉크젯 헤드 바(5)가 상대 이동하면서, 상기 잉크젯 노즐(13)에 의하여, 화소 요소인 복수의 오목부(P)로부터 임의로 선택되는 오목부(P)에 대하여, 잉크가 도포된다. 도포 장치(2)(주로, 일그러짐 검출 유닛(2G1) 및 도포 유닛(2G2))의 구성 및 그 동작에 관하여, 도 2 및 도 6을 참조하여 나중에 상술한다.
바람직하게는, 잉크가 도포된 수지 필름(F)은, 도포 장치(2)와 권취부(3)와의 사이에 설치된 장치(도시하지 않음)에 있어서, 건조 및 검사 등의 처리가 행하여진다. 그 후, 수지 필름(F)은 권취부(3)에 있어서, 롤상(狀)으로 감긴다.
도 2를 참조하여, 우선, 도포 유닛(2G2)의 구성에 관하여 설명한다. 수지 필름(F)에는 연속하는 3개의 반송 단위(Ut1, Ut2, 및 Ut3)가 형성되어 있다. 그리고 반송 단위(Ut1, Ut2, 및 Ut3)의 각각에는, 1매의 화상 표시기에 상당하는 화상 표시 영역(S1, S2, 및 S3)이 형성되어 있다. 상술과 같이, 본 예에 있어서는 화상 표시 영역(S)은, 종래의 유리 기판의 1매에 상당하지만, 복수의 유리 기판에 상당하도록 구성하여도 무방하다.
도포 유닛(2G2)은, 프런트 프레임(front frame)(FRf), 백 프레임(back frame)(FRb), 도포 갠트리(4), 도포용 카메라 갠트리(6a)(이후, 카메라 갠트리(6a)로 한다), 및 흡착 플레이트(8)(보지 스테이지)를 포함한다. 프런트 프레임(FRf) 및 백 프레임(FRb)은, 축(Ax)(X 방향)에 수직인 Y 방향에 평행으로 연재하도록 도포 장치(2)의 베이스(도시하지 않음)에 고정되어 있다. 덧붙여, 프런트 프레임(FRf)은 상류(권출부(1)) 측에, 백 프레임(FRb)은 하류(권취부(3)) 측에 배치되어 있다. 즉, 프런트 프레임(FRf) 및 백 프레임(FRb)은, X 방향, Y 방향, 및 Z 방향에 관하여 고정되어 있다.
도포 갠트리(4)는, 프런트 프레임(FRf) 및 백 프레임 (FRb)에 대하여, Y 방향으로 슬라이드 가능하게 장착되는 것과 함께, 도시되어 있지 않는 구동 수단에 의하여 Y 방향으로 고정도(高精度)로 슬라이드된다. 도포 갠트리(4)에는, 잉크를 수지 필름(F)에 대하여 도포하는 잉크젯 헤드 바(5)가 보지되어 있다. 잉크젯 헤드 바(5)는, 축(Ax)에 평행한 축(A5)을 따라 소정 길이 L만큼 연재한다. 잉크젯 헤드 바(5)의 연재 길이 L은, 화상 표시 영역(S)의 길이 Lsx보다 길게 설정되어 있다. 또한, 잉크젯 헤드 바(5)는, 도시되어 있지 않는 구동 수단에 의하여, 축(A5) 상의 임의의 점(바람직하게는, 중심)을 통하는 Z축(도시하지 않음)을 중심으로 하여 임의의 각도 θ만큼 회전 가능하게 보지되어 있다. 나아가, 잉크젯 헤드 바(5)는, 그 회전축이 X 방향으로 소정의 거리 △X만큼, 좌우로 이동 가능하게 보지되어 있다.
즉, 잉크젯 헤드 바(5)는, X 방향(축(Ax))에 대하여 0° 이상 θ° 이하의 범위의 각도를 이룬 상태에서, X 방향으로 △X만큼 슬라이드할 수 있도록 구성되어 있다. 덧붙여, 잉크젯 헤드 바(5)는, 수지 필름(F)으로의 잉크 도포 동작이 개시할 때까지, 혹은 잉크 도포 동작 간은, 수지 필름(F)이 빠진 홈 포지션(home position)(HP)에서 대기시켜진다. 홈 포지션(HP)은, 바람직하게는, 화상 표시 영역(S)에 형성된 복수의 오목부(화소 요소)(P) 중에서 최초로 잉크가 도포되는 오목부(P)에 가까운 위치가 바람직하지만, 메인터넌스(maintenance), 플러싱(flushing) 대기, 헤드 교환, 및 청소 등의 작업성을 고려하여 결정된다. 이것에 관해서는 나중에 상술한다.
카메라 갠트리(6a)는, 도포 갠트리(4)와 마찬가지로, Y 방향으로 슬라이드 가능하게 프런트 프레임(FRf) 및 백 프레임(FRb)에 장착되어 있는 것과 함께, 도시되어 있지 않는 구동 장치에 의하여 Y 방향으로 고정도로 슬라이드된다. 카메라 갠트리(6a)는, 각각 X 방향으로 고정도로 슬라이드할 수 있는 에어리어 카메라(area camera)(7) 및 스캔 카메라(scan camera)(9a)를 보지하고 있다. 에어리어 카메라(7) 및 스캔 카메라(9a)는, 도시되어 있지 않는 구동 수단에 의하여, X 방향으로 고정도로 슬라이드된다.
에어리어 카메라(7)는, 잉크젯 헤드 바(5)를 수지 필름(F)에 대하여 위치 맞춤하기 위한, 수지 필름(F)의 마크(도시하지 않음)의 검출에 이용된다. 스캔 카메라(9a)는, 수지 필름(F)의 화상 표시 영역(S) 이외의 소정의 부분에 테스트 패턴으로서 토출된 잉크를 검출하기 위한 계측에 이용된다. 에어리어 카메라(7) 및 스캔 카메라(9a)는, 잉크젯 헤드 바(5)의 수지 필름(F)에 대한 위치 맞춤이나, 토출된 잉크의 검출을 위하여, 도시하지 않는 구동 기구 및 가이드 기구에 의하여 X 방향으로 구동된다. 에어리어 카메라(7) 및 스캔 카메라(9a)는, Y 방향으로도 구동된다. 잉크젯 헤드 바(5)에 관해서는 나중에 설명한다.
다음으로, 도 2를 참조하여, 일그러짐 검출 유닛(2G1)의 구성에 관하여 설명한다. 일그러짐 검출 유닛(2G1)은, 도포 유닛(2G2)의 상류(권출부(1)) 측에 배치되어 있다. 일그러짐 검출 유닛(2G1)과 도포 유닛(2G2)은, 각각이 구비하는 흡착 플레이트(8, 8)가 1개의 화상 표시 영역(S)(반송 단위(Ut))이 들어가는 거리만큼 이간(離間)하도록 배치되어 있다. 일그러짐 검출 유닛(2G1)은, 프런트 프레임(FRf), 백 프레임(FRb), 일그러짐 검출용 카메라 갠트리(6b)(이후, 카메라 갠트리(6b)로 한다), 및 흡착 플레이트(8)(보지 스테이지)를 포함한다. 프런트 프레임(FRf) 및 백 프레임(FRb)은, 축(Ax)(X 방향)에 수직인 Y 방향에 평행으로 연재하도록 도포 장치(2)의 베이스(도시하지 않음)에 고정되어 있다. 덧붙여, 프런트 프레임(FRf)은 상류(권출부(1)) 측에, 백 프레임(FRb)은 하류(권취부(3)) 측에 배치되어 있다. 즉, 프런트 프레임(FRf) 및 백 프레임(FRb)은, X 방향, Y 방향, 및 Z 방향에 관하여 고정되어 있다.
카메라 갠트리(6b)는, Y 방향으로 슬라이드 가능하게 프런트 프레임(FRf) 및 백 프레임(FRb)에 장착되어 있는 것과 함께, 도시되어 있지 않는 구동 장치에 의하여 Y 방향으로 고정도로 슬라이드된다. 카메라 갠트리(6b)는, 각각 X 방향으로 고정도로 슬라이드할 수 있는 검사 카메라(9b) 및 검사 카메라(9c)를 보지하고 있다. 검사 카메라(9b) 및 검사 카메라(9c)는, 도시되어 있지 않는 구동 수단에 의하여, X 방향으로 고정도로 슬라이드된다.
검사 카메라(9b) 및 검사 카메라(9c)는, 수지 필름(F)의 화상 표시 영역(S)의 일그러짐을 검출하기 위한 계측에 이용된다. 검사 카메라(9b) 및 검사 카메라(9c)는, 화상 표시 영역(S)의 일그러짐의 검출을 위하여, 도시하지 않는 구동 기구 및 가이드 기구에 의하여 X 방향 및 Y 방향으로 구동된다. 검사 카메라(9b 및 9c)는 각각 스캔 카메라 또는 에어리어 카메라를 이용할 수 있다. 덧붙여, 본 실시의 형태에 있어서, 카메라 갠트리(6b)는 2개의 검사 카메라를 보지하고 있지만, 검사 카메라는 적어도 하나 설치되어 있으면 된다.
덧붙여, 도시예에서는, 일그러짐 검출 유닛(2G1) 및 도포 유닛(2G2) 각각이 구비하는 흡착 플레이트(8, 8)간의 거리는, 1개의 화상 표시 영역(S)(반송 단위(Ut))이 들어가는 거리이다. 이들의 흡착 플레이트(8, 8)는 인접(隣接)하고 있어도 무방하고, 또한 n개(n은 임의의 자연수)의 화상 표시 영역(S)(반송 단위(Ut))이 들어가는 거리만큼 이간하고 있어도 무방하다. 이것에 관해서는 후술한다.
도 4를 참조하여, 잉크젯 헤드 바(5)에 관하여 설명한다. 본 예에 있어서는, 잉크젯 헤드 바(5)에는, 3개의 헤드 유닛(10a, 10b, 및 10c)(필요에 따라, 헤드 유닛(10)으로 총칭한다)이 X 방향으로 소정의 거리 D2만큼 이간하여 평행으로 설치되어 있다. 이후, 거리 D2를 필요에 따라 헤드 유닛 이간 거리 D2로 칭한다. 헤드 유닛(10)은, 각각 다른 색조의 잉크를 토출하는 3개의 헤드 모듈(11a, 11b, 및 11c)(필요에 따라, 헤드 모듈(11)로 총칭한다)이 설치되어 있다. 헤드 모듈(11)이 X 방향으로 잉크를 도포할 수 있는 길이를 헤드 모듈 도포 폭 Wm이라고 부른다. 덧붙여, 헤드 모듈 도포 폭 Wm에 관해서는, 나중에 도 5를 참조하여 설명한다.
헤드 모듈(11a, 11b, 및 11c)은 소정의 거리 D1씩 X 방향으로 시프트(shift)하여 배치되어 있다. 이후, 거리 D1을 필요에 따라 헤드 모듈 시프트 거리 D1으로 칭한다. 덧붙여, 헤드 모듈 시프트 거리 D1은 헤드 모듈 도포 폭 Wm에 상당하고, 헤드 유닛 이간 거리 D2는 헤드 모듈 도포 폭 Wm의 2배(2Wm)에 상당한다. 즉, 1개의 헤드 유닛(10)이 X 방향으로 잉크를 도포할 수 있는 길이를 헤드 유닛 도포 폭 Wu로 칭한다. 헤드 유닛 도포 폭 Wu는 헤드 모듈 도포 폭 Wm의 3배(3Wm)이다. 결과, 잉크젯 헤드 바(5)를 Y 방향으로 이동시키는 것에 의하여, X 방향으로 헤드 유닛 도포 폭 Wu의 3배의 길이에 걸쳐 잉크를 수지 필름(F)에 도포할 수 있다. 덧붙여, 헤드 유닛 도포 폭 Wu는 통상 90mm 정도이다.
본 예에 있어서는, 잉크젯 헤드 바(5)의 X 방향의 도포 폭은 3·Wu이다. 그렇지만, 필요에 따라, L(L은 자연수)개의 헤드 유닛(10)을 설치하는 것에 의하여, 도포 폭을 L·Wu로 할 수 있다. 잉크젯 헤드 바(5)의 X 방향의 도포 폭 L·Wu는 다음 식 (1)을 만족시킨다.
L·Wu≥Lsx …(1)
도 5를 참조하여, 헤드 모듈(11)에 관하여 설명한다. 헤드 모듈(11)은, X 방향을 장변으로 하고, Y 방향을 단변으로 하는 직사각형상의 토출면을 가지고 있다. 헤드 모듈(11)에는, X 방향을 장변으로 하고, Y 방향을 단변으로 하는 직사각형상의 토출면을 가지는 도포 헤드(12)가 복수 개(본 예에 있어서는 5), Y 방향으로 인접하여 설치되어 있다. 즉, 헤드 모듈(11)의 토출면은, 복수의 도포 헤드(12)의 토출면으로 구성되어 있다.
도포 헤드(12)의 토출면에는, X 방향으로 소정의 간격으로 배열된, 동일한 색조의 잉크를 토출하는 복수의 노즐(13)이 Y 방향으로 복수 단(본 예에 있어서는, 2단)에 걸쳐 설치되어 있다. 덧붙여, 상술과 같이, 헤드 모듈(11)은 각각 동일 색조의 잉크를 토출하기 때문에, 하나의 헤드 모듈(11)에 설치되어 있는 모든 노즐(13)은 동일 색조의 잉크를 토출할 수 있다. 수지 필름(F)의 오목부(P), 즉 화소 요소로의 도포는 하나의 헤드 모듈(11)에 설치되어 있는 노즐(13)의 모두를 사용할 필요는 없고, 하나의 화소 요소를 도포하는데 필요한 노즐 수를 자유롭게 선택할 수 있다.
그렇지만, 노즐(13)은, 완전하게 아주 같은 것을 제작하는 것은 곤란하기 때문에, 노즐마다 미묘하게 잉크의 토출량이 다르다. 이 토출량의 차는 미묘한 차이지만, 광범위의 영역을 도포한 경우는, 이 미묘한 차이가 도포 얼룩으로 되어 나타난다. 본 발명의 출원인은, 이 도포 얼룩을 해소하는 도포 방법을 일본국 특허출원 특원2009-21161호에 있어서 제안하고 있다. 동 도포법에 있어서는, 잉크젯 헤드 바(5)에 설치되어 있는 동일 색조의 잉크를 토출할 수 있는 모든 노즐(13)로부터 토출량이 소정의 값이 되도록 하는 임의의 노즐을 선택하여, 인접하는 화소 요소와의 잉크의 도포량의 차이를 충분하게 작은 차이로 하는 것에 의하여, 도포 얼룩의 해소를 도모하고 있다. 즉, 잉크젯 헤드 바(5)에 설치되어 있는 동일 색조의 노즐(13)의 전부로부터, 임의로 조합한 노즐(13)에만 잉크를 대상의 화소 요소(오목부(P))에 토출시키도록 제어하고 있다.
화상 표시 영역(S)의 형상은, 상술한 대로, 오목부(P)를 형성하는 가공 시에 수지 필름(F)에 걸리는 압력이나 열 등에 의하여, 예를 들어 평행사변형상으로 일그러지는 일이 있다. 화상 표시 영역(S)의 형상의 일그러짐은, 오목부(P)의 형상의 일그러짐 또는 위치 어긋남을 초래하기 때문에, 수지 필름(F)에 대한 잉크의 도포 불량의 원인으로 될 수 있다.
이 문제에 대하여, 본 발명에 있어서는, 공급되는 모든 화상 표시 영역(S)의 형상의 일그러짐의 검출을 행하고, 검출한 일그러짐의 데이터에 기초하여, 후술하는 매핑 데이터(Dm)를 작성하고, 상기 매핑 데이터(Dm)에 기초하여, 당해 화상 표시 영역(S)에 대한 잉크의 도포를 행한다.
상술한, 본 발명에 관련되는 도포 방법에 관하여 도 7을 참조하여 설명한다. 도포 장치(2)(제어기(2C))의 동작이 개시하면, 우선 스텝 S1에 있어서, 본 처리에 있어서의 각종 파라미터가 초기화된다.
다음으로 서브루틴 #800에 있어서, 화상 표시 영역(S)이 도포 장치(2)의 일그러짐 검출 유닛(2G1)에 공급되고, 공급된 화상 표시 영역(S)의 형상의 일그러짐의 검출을 검사 카메라(9b) 및 검사 카메라(9c)에서 행한다. 그 후 서브루틴 #700에 있어서, 검출한 일그러짐의 데이터에 기초하여, 매핑 데이터(Dm)를 수정한다. 수정 후의 매핑 데이터(Dm)는, 후술하는 서브루틴 #400A, #400B에서 당해 화상 표시 영역(S)에 대하여 도포 스캔을 행할 때에 사용한다.
다음으로 서브루틴 #100에 있어서, 당해 화상 표시 영역(S)이 도포 유닛(2G2)에 공급되고, 도포 유닛(2G2)에 대한 화상 표시 영역(S)의 위치 어긋남, 즉 화상 표시 영역(S) 단위에서의 수지 필름(F)의 위치 어긋남이 검출된다.
다음으로 서브루틴 #300에 있어서, 서브루틴 #100에서 검출한 위치 어긋남의 데이터에 기초하여, 화상 표시 영역(S) 즉 수지 필름(F)에 대하여, 도포 장치(2)의 잉크젯 헤드 바(5)의 위치 어긋남이 보정된다. 그 후 서브루틴 #400A에 있어서, 상기 매핑 데이터(Dm)에 기초하여, 당해 화상 표시 영역(S)에 대한 1회째의 도포 스캔을 행한다.
화상 표시 영역(S)에 대한 1회째의 도포 스캔이 완료한 후, 서브루틴 #500에 있어서 테스트 패턴의 도포 및 검사를 행하고, 검사 결과에 기초하여 매핑 데이터(Dm)를 갱신한다. 갱신된 매핑 데이터(Dm)는, 다음으로 공급되는 화상 표시 영역(S)에 대한 도포 스캔 시에 사용된다. 서브루틴 #500의 처리와 병행하여, 서브루틴 #400B에 있어서, 당해 화상 표시 영역(S)에 대한 2회째 이후의 도포 스캔이 행하여진다.
당해 화상 표시 영역(S)에 대한 도포 스캔이 완료하면, 서브루틴 #600에 있어서, 잉크젯 헤드 바(5)는 소정의 위치로 이동되어 대기한다. 수지 필름(F) 단위에서의 화상 표시 영역(S)에 대한 도포 스캔이 완료하고 있지 않으면, 처리는 서브루틴 #800으로 되돌아와서, 화상 표시 영역(S)에 대한 도포 스캔이 계속된다. 수지 필름(F) 단위에서의 도포 스캔이 완료되어 있으면, 처리는 종료한다.
(실시예)
도 6, 도 7, 도 8, 도 9, 도 10, 도 11 및 도 12를 참조하여, 본 발명의 실시예에 관련되는 도포 방법 및 도포 장치에 관하여 설명한다. 본 실시예에 있어서의 도포 유닛(2G2)과 잉크젯 헤드 바(5)와 제어기(2C)와의 각각을, 도포 유닛(2G2a)(도 6), 잉크젯 헤드 바(5a)(도 6), 제어기(2Ca)로서 이하에 설명한다. 마찬가지로, 도포 장치(2)도 도포 장치(2a)로서 식별한다. 덧붙여, 도포 장치(2a)와 제어기(2Ca)에 관해서는, 도 1을 원용한다. 일그러짐 검출 유닛(2G1)은, 도 6에는 도시하고 있지 않지만, 도 2에 도시된 일그러짐 검출 유닛(2G1)과 같은 것을 이용한다. 일그러짐 검출 유닛(2G1)은, 도포 유닛(2G2a)의 상류(권출부(1)) 측에 배치되어 있다.
상술과 같이, 본 실시예에 있어서의 도포 유닛(2G2a)은, 잉크젯 헤드 바(5)가 잉크젯 헤드 바(5a)로 교환되어 있는 점을 제외하고, 도포 유닛(2G2)과 마찬가지로 구성되어 있다. 잉크젯 헤드 바(5a)는, 잉크젯 헤드 바(5)와 마찬가지로, X 방향(축(Ax))에 대하여 0° 이상 θ° 이하의 범위의 각도를 이룬 상태에서, X 방향으로 △X만큼 슬라이드할 수 있도록 구성되어 있다. 덧붙여, θ 및 △X는 각각 다음 식 (2) 및 (3)을 만족시킨다.
0≤θ≤1° …(2)
0≤△X≤Wu …(3)
다음으로, 도 7, 도 8, 및 도 9를 참조하여, 주로 제어기(2Ca)(도 1을 원용)의 동작을 중심으로, 본 실시예에 있어서의 도포 장치(2a)에 의한 수지 필름(F)에 대한 잉크 도포 동작에 관하여 설명한다. 상술과 같이, 수지 필름(F)은 릴(R1), 릴(R3), 및 흡착 플레이트(8)에 의하여, X 방향, Y 방향, 및 Z 방향에 관하여 가이드된 상태에서, 도포 장치(2a)에 의한 도포 동작이 개시된다. 덧붙여, 잉크젯 헤드 바(5a)는, 수지 필름(F)으로의 잉크 도포 동작이 개시할 때까지, 혹은 잉크 도포 동작의 사이는, 수지 필름(F)이 빠진 홈 포지션(HP)에서 대기시켜진다. 홈 포지션(HP)은, 바람직하게는, 화상 표시 영역(S)에 형성된 복수의 오목부(화소 요소)(P) 중에서 최초로 잉크가 도포되는 오목부(P)에 가까운 위치가 바람직하지만, 메인터넌스, 플러싱 대기, 헤드 교환, 및 청소 등의 작업성을 고려하여 결정된다.
동작이 개시하면, 우선, 스텝 S1에 있어서, 본 처리에 있어서의 각종 파라미터가 초기화된다. 구체적으로는, 롤(Wr1) 단위의 수지 필름(F)의 화상 표시 영역(S)의 매수를 나타내는 화상 표시 영역 카운터(Cs) 및 화상 표시 영역(S) 단위의 도포 스캔 동작의 횟수를 나타내는 도포 스캔 카운터(Ca)가 각각 0으로 세트되고, 화상 표시 영역(S) 단위의 최대 도포 스캔 횟수를 나타내는 화상 표시 영역 최대 도포 스캔치(Camax) 및 수지 필름(F)의 단위에서 도포되어야 하는 화상 표시 영역(S)의 매수를 나타내는 수지 필름 최대 도포 매수(Csmax)의 각각이 소정의 값으로 설정되고, 매핑 데이터(Dm)가 소정의 값(D)으로 설정된다. 도포 스캔이란, 잉크젯 헤드 바(5a)(도포 갠트리(4))가, 화상 표시 영역(S)에 대하여, Y 방향(홈 포지션(HP)과 카메라 갠트리(6a)와의 사이)으로 1회 이동하면서 잉크를 도포하는 것을 말한다. 매핑 데이터(Dm)는, 잉크젯 헤드 바(5a)가 소정의 좌표(화상 표시 영역(S)에 대한 잉크젯 헤드 바(5a)의 상대 위치)에 있을 때에, 어느 노즐(13)로부터 잉크를 토출할지를, 개개의 오목부(화소 요소)(P)에 관하여 규정하는 데이터이다. 나아가, 후술하는 화상 표시 영역(S)의(수지 필름(F)의 중심축(Af)에 평행한) D(Af) 방향에 대한 기울기인 자세 오차(Sθ)의 최대 허용값인 Sθmax가 소정의 값으로 설정된다. 나아가, 후술하는 화상 표시 영역(S)의 X 방향에 대한 기울기인 평행 오차(Eθ)의 최대 허용값인 Eθmax가 소정의 값으로 설정된다.
다음으로 도 7에 있어서의 서브루틴 #800에 있어서, 화상 표시 영역(S)이 도포 장치(2)의 일그러짐 검출 유닛(2G1)에 공급되고, 공급된 화상 표시 영역(S)의 형상의 일그러짐의 검출을 행한다. 서브루틴 #800의 상세한 처리는, 도 8의 플로 차트에 있어서의 스텝 S2 ~ S5, 스텝 S80 ~ S92 및 스텝 S54, S64로 나타내진다.
우선, 스텝 S2에 있어서, 도포 장치(2)(제어기(2C))로부터 권출부(1)(제어기(1C)) 및 권취부(3)(제어기(3C))에 대하여, 수지 필름(F)을 1매의 화상 표시 영역(S)분만큼, 일그러짐 검출 유닛(2G1)의 흡착 플레이트(8) 상에 공급하도록 요구하는 제어 신호(Sc21 및 Sc23)가 출력된다. 권출부(1) 및 권취부(3)는, 제어 신호(Sc21 및 Sc23)에 응답하여, 릴(R1 및 R3)을 X 방향으로 회전시켜, 각각 수지 필름(F)을 장력을 걸면서, 1매의 화상 표시 영역(S)을 일그러짐 검출 유닛(2G1)의 흡착 플레이트(8) 상에 공급한다. 그리고 권출부(1)(제어기(1C)) 및 권취부(3)(제어기(3C))는, 제어 신호(Sc12 및 Sc32)를 출력하여, 화상 표시 영역(S)의 공급 완료를 도포 장치(2)에 알린다.
스텝 S4에 있어서, 도포 장치(2)(제어기(2C))는, 제어 신호(Sc12 및 Sc32)에 응답하여, 권출부(1)(제어기(1C)) 및 권취부(3)(제어기(3C))에 대하여, 공급된 화상 표시 영역(S)을 흡착 플레이트(8) 상에 재치시키는 제어 신호(Sc21 및 Sc23)를 출력한다. 권출부(1)(제어기(1C)) 및 권취부(3)(제어기(3C))는, 각각, 제어 신호(Sc21 및 Sc23)에 응답하여, 화상 표시 영역(S)(반송 단위(Ut))을 흡착 플레이트(8) 상에 재치시킨 후에, 제어 신호(Sc12 및 Sc32)를 출력한다. 도포 장치(2)(제어기(2C))는, 제어 신호(Sc12 및 Sc32)에 응답하여, 흡착 플레이트(8)에 의하여 화상 표시 영역(S)을 흡착 고정시킨다.
스텝 S5에 있어서, 화상 표시 영역 카운터(Cs)에 1이 가산된다(Cs=Cs+1). 가산 후의 카운터(Cs)는, 현재 도포 장치(2)의 일그러짐 검출 유닛(2G1)에 공급되고 있는 화상 표시 영역(S)이, 수지 필름(F)에 있어서, 몇 매째의 화상 표시 영역(S)인지를 나타낸다. 즉, 상술의 스텝 S1에 있어서, 화상 표시 영역 카운터(Cs)는 0으로 설정되어 있기 때문에, 화상 표시 영역 카운터(Cs)는 1, 즉, 동작 개시 직후에는 수지 필름(F)의 1매째의 화상 표시 영역(S)이 흡착 플레이트(8) 상에 흡착 고정되어 있는 것이 나타내진다.
일그러짐 검출 유닛(2G1)에 공급된 화상 표시 영역(S)에 대하여, 이하에 설명하는 스텝 S80 ~ S92 및 스텝 S54, S64에 있어서, 화상 표시 영역(S)의 일그러짐의 검출을 행한다. 본 실시의 형태에 있어서 화상 표시 영역(S)의 일그러짐은, 화상 표시 영역(S)의 윤곽의 형상과, 화상 표시 영역(S)의 수지 필름(F) 상의 위치에 기초하여 판정한다. 매핑 데이터(Dm)의 작성에는, 화상 표시 영역(S)의 윤곽의 형상과 함께, 수지 필름(F) 상의 위치를 고려할 필요가 있기 때문이다. 화상 표시 영역(S)의 수지 필름(F) 상의 위치는, 구체적으로는 화상 표시 영역(S)의(수지 필름(F)의 중심축(Af)에 평행한) D(Af) 방향에 대한 기울기인 자세 오차(Sθ)로 판정한다.
스텝 S80 ~ S92에 있어서, 제어기(2C)는 일그러짐 검출 유닛(2G1)의 카메라 갠트리(6b) 및 검사 카메라(9b, 9c)를 기동하여, 화상 표시 영역(S)의 일그러짐, 즉 화상 표시 영역(S)의 윤곽의 형상과, 화상 표시 영역(S)의 D(Af) 방향에 대한 기울기인 자세 오차(Sθ)를 검출하기 위한 계측을 행한다. 단, 화상 표시 영역(S)의 자세 오차(Sθ)가 소정의 허용 범위 내에 들어간다면, 자세 오차(Sθ)의 검출은 행하지 않아도 무방하다.
이하, 도 8, 도 9, 도 10, 도 11 및 도 12를 참조하여, 화상 표시 영역(S)의 윤곽의 형상 및 자세 오차(Sθ)의 검출 방법에 관하여 설명한다. 도 8에 있어서의 스텝 S80 ~ S86이 자세 오차(Sθ)의 검출 공정이고, 스텝 S88 ~ S92가 화상 표시 영역(S)의 윤곽의 형상의 검출 공정이다. 상술한 대로, 스텝 S80 ~ S86은 필요에 따라 행한다.
우선, 스텝 S80에 있어서, 화상 표시 영역(S)의 사변(四邊) 각각에 관하여, 도 10(a)에 있어서 점선으로 둘러싸 도시하는 소정 수의 에어리어를, 검사 카메라(9b, 9c)를 이용하여 촬상(撮像)한다. 도 10(a)에 도시하는 예에서는, 화상 표시 영역(S)의, D(Af) 방향에 평행한 변에 n개, D(Yf) 방향에 평행한 변에 m개의 촬상 대상 에어리어를 설치하고 있고, Ar11 ~ Armn으로서 도시하고 있다. 이 촬상의 대상으로 되는 것은, 화상 표시 영역(S)과, 수지 필름(F)의 오목부(P)를 가지지 않는 부분과의 경계이다. 따라서, 촬상 대상 에어리어(Ar11 ~ Armn)는, 화상 표시 영역(S)의 사변(四邊)으로부터 1열째의 오목부(P)를 포함하도록 설정된다.
다음으로, 스텝 S82에 있어서 촬상된 오목부(P)의 화상을 처리하는 것에 의하여, 도 10(b)에 도시하는 바와 같이, 각 오목부(P)의 중심(Pg)의 좌표를 산출한다. 스텝 S84에 있어서 도 10(c)에 도시하는 바와 같이, 화상 표시 영역(S)의 동일 변 상의 오목부(P)의 중심(Pg)의 근사(近似) 직선(Lpg)을 구한다. 이 근사 직선(Lpg)을, 화상 표시 영역(S)의 사변(四邊) 각각에 관하여 구한다.
스텝 S86에 있어서 도 11(d)에 도시하는 바와 같이, 이와 같은 근사 직선(Lpg)이, D(Af) 방향 혹은 D(Yf) 방향에 대하여 이루는 기울기(Sθ1 ~ Sθ4)를, 화상 표시 영역(S)의 사변(四邊) 각각에 관하여 산출한다. 이들의 기울기(Sθ1 ~ Sθ4)를, 화상 표시 영역(S)의 자세 오차(Sθ)로 총칭한다. 덧붙여, 화상 표시 영역(S)의 형상에 일그러짐이 없는 경우는, 상기 근사 직선(Lpg)은 D(Af) 방향 혹은 D(Yf) 방향에 대하여 평행이고, 기울기(Sθ1 ~ Sθ4)는 0도이다.
스텝 S88에 있어서, 도 11(d)에 도시하는 바와 같이, 화상 표시 영역(S)의 사변(四邊) 각각의 기울기(Sθ1 ~ Sθ4)를 기초로, 화상 표시 영역(S)의 네 모서리의 각도(SA1 ~ SA4)를 산출한다. 화상 표시 영역(S)의 형상에 일그러짐이 없는 경우는, 그 네 모서리의 각도(SA1 ~ SA4)는 90도이다. 덧붙여, 스텝 S80 ~ S86의 공정에 의한 자세 오차(Sθ)의 검출을 행하지 않는 경우는, 각도(SA1 ~ SA4)는, 검사 카메라(9b, 9c)를 이용한 촬상에 의하여 직접 계측하면 된다.
그 후, 스텝 S90에 있어서, 각도(SA1 ~ SA4)를 기초로, 도 11(e)에 도시하는 바와 같이, 화상 표시 영역(S)의 정점의, 이상 위치(화상 표시 영역(S)의 형상에 일그러짐이 없는 경우의, 화상 표시 영역(S)의 정점의 위치)에 대한 Y 방향의 어긋남량(△Ay1 ~ △y4)을, 다음 식 (7)에 의하여 산출한다.
△Ayn=(화상 표시 영역(S)의 길이(이상치) Lsx·1/2)·cosSAn …(7)
화상 표시 영역(S)의 정점의, 상기 이상 위치에 대한 X 방향의 어긋남량(△Ax1 ~ △Ax4)은, 다음 식 (8)에 의하여 산출한다.
△Axn=(화상 표시 영역(S)의 폭(이상치) Lsy·1/2)·sinSAn …(8)
산출된 X 방향의 어긋남량(△Ax1 ~ △Ax4) 및 Y 방향의 어긋남량(△Ay1 ~ △y4)에 기초하여, 스텝 S92에 있어서 도 11(e)에 도시하는 바와 같이, 화상 표시 영역(S)의 윤곽(Con)의 형상을 산출한다. 후술하는 서브루틴 #700(스텝 S62)에 있어서, 산출된 화상 표시 영역(S)의 윤곽(Con)의 형상 및 화상 표시 영역(S)의 자세 오차(Sθ)에 기초하여, 매핑 데이터(Dm(Con))를 작성한다.
덧붙여, 화상 표시 영역(S)의 형상의 일그러짐의 검출 방법은 상기에 한정되지 않는다. 예를 들어, 화상 표시 영역(S)에 복수의 서브 영역을 설정하고, 개개의 서브 영역의 윤곽의 형상에 기초하여 화상 표시 영역(S)의 형상을 산출하면, 보다 높은 정도로 화상 표시 영역(S)의 형상의 일그러짐을 검출할 수 있다. 이와 같은 서브 영역은, 화상 표시 영역(S)의 각 변을 등분하여 설정하는 것이 바람직하다.
도 12에 도시하는 예에서는, 화상 표시 영역(S)에 12개의 서브 영역(SD1 ~ SD12)을 설정하고 있다. 도 12(a)에 도시하는 것은, 화상 표시 영역(S)의 형상에 일그러짐이 없는 경우의 서브 영역(SD1 ~ SD12)이다. 개개의 서브 영역(SD1 ~ SD12)의 윤곽의 형상의 산출은, 상술의 스텝 S80 ~ S92에서 설명한 화상 표시 영역(S)의 윤곽(Con)의 형상의 산출 방법을 원용하여 행할 수 있다. 즉, 서브 영역(SD1 ~ SD12)에 관하여 그 네 모서리의 각도(SDA1 ~ SDA4)를 산출하여 서브 영역(SD1 ~ SD12) 각각의 윤곽의 형상을 산출하고, 그들 서브 영역(SD1 ~ SD12)의 윤곽의 형상에 기초하여 화상 표시 영역(S)의 형상을 산출할 수 있다. 이와 같이 하면, 도 12(b)에 도시하는 바와 같은, 화상 표시 영역(S)이 평행사변형상 이외의 형상으로 일그러지고 있는 경우여도, 화상 표시 영역(S)의 윤곽의 형상을 산출할 수 있다. 화상 표시 영역(S)이 평행사변형상 이외의 형상으로 일그러지고 있는 경우는, 당해 화상 표시 영역(S) 내의 오목부(P)의 일그러짐은 균등하지 않다고 생각되지만, 이와 같은 경우여도, 매핑 데이터(Dm(Con))를 정도 좋게 작성할 수 있다.
스텝 S54에 있어서, 스텝 S80 ~ S92에서 구한 화상 표시 영역(S)의 형상의 일그러짐이 허용 범위 내(매핑 데이터(Dm(Con))의 작성이 가능)인지 여부를 판단한다. 이 판단은, 스텝 S88에서 구한 화상 표시 영역(S)의 네 모서리의 각도(SA1 ~ SA4), 및 필요에 따라, 스텝 S86에서 구한 화상 표시 영역(S)의 자세 오차(Sθ)인 기울기(Sθ1 ~ Sθ4)를, 미리 설정된 역치와 비교하는 것에 의하여 행한다. 상술한 대로, 각도(SA1 ~ SA4)는 화상 표시 영역(S)의 윤곽의 형상에 의하여 결정되는 수치이고, 자세 오차(Sθ)는 화상 표시 영역(S)의 수지 필름(F) 상의 위치에 의하여 결정되는 수치이다.
스텝 S54에 있어서 No(매핑 데이터(Dm(Con))의 작성이 불가능)라고 판단되는 경우는, 처리는 스텝 S64로 진행하여, 에러 처리(라인 정지, 메인터넌스 등)를 행한다.
스텝 S54에 있어서 Yes(매핑 데이터(Dm(Con))의 작성이 가능)라고 판단되는 경우는, 처리는 서브루틴 #700(스텝 S62)으로 진행하여, 산출된 화상 표시 영역(S)의 윤곽(Con)의 형상 및 화상 표시 영역(S)의 자세 오차(Sθ)에 기초하여, 매핑 데이터(Dm(Con))를 작성한다.
상술한 대로, 도 7에 있어서의 서브루틴 #700에 있어서, 매핑 데이터(Dm(Con))를 작성한다. 서브루틴 #700의 상세한 처리는, 도 8의 플로 차트에 있어서의 스텝 S62로 나타내진다.
스텝 S62에 있어서, 서브루틴 #800에서 산출된 화상 표시 영역(S)의 윤곽(Con)의 형상 및 화상 표시 영역(S)의 자세 오차(Sθ)에 기초하여, 매핑 데이터(Dm(Con))를 작성한다. 구체적으로는, 매핑 데이터(Dm)의 초기값 D 혹은 가장 가까운 매핑 데이터(Dm)를, 화상 표시 영역(S)의 윤곽(Con)의 형상 및 화상 표시 영역(S)의 자세 오차(Sθ)를 이용하여 수정하는 것에 의하여, 매핑 데이터(Dm(Con))를 작성한다. 일반적으로, 서로 이웃하는 화상 표시 영역(S)에 관하여, 화상 표시 영역(S)의 형상의 일그러짐의 격차는 비교적 작고, 재현성도 높기 때문에, 연속하는 화상 표시 영역(S)에서의 매핑 데이터(Dm(Con)) 작성을 함에 있어서의 보정량은 작다. 작성된 매핑 데이터(Dm(Con))는, 서브루틴 #800에서 일그러짐이 검출된 당해 화상 표시 영역(S)에 대하여 도포 스캔을 행하는 때에 사용된다.
다음으로 도 7에 있어서의 서브루틴 #100에 있어서, 당해 화상 표시 영역(S)이 도포 유닛(2G2)에 공급되고, 도포 유닛(2G2)에 대한 화상 표시 영역(S)의 위치 어긋남, 즉 화상 표시 영역(S) 단위에서의 수지 필름(F)의 위치 어긋남이 검출된다. 서브루틴 #100의 상세한 처리는, 도 8의 플로 차트에 있어서의 스텝 S76 ~ S78 및 스텝 S6 ~ S8로 나타내진다.
우선, 스텝 S76에 있어서, 도포 장치(2)(제어기(2C))로부터 권출부(1)(제어기(1C)) 및 권취부(3)(제어기(3C))에 대하여, 수지 필름(F)을 1매의 화상 표시 영역(S)분만큼, 도포 유닛(2G2)의 흡착 플레이트(8) 상에 공급하도록 요구하는 제어 신호(Sc21 및 Sc23)가 출력된다. 권출부(1) 및 권취부(3)는, 제어 신호(Sc21 및 Sc23)에 응답하여, 릴(R1 및 R3)을 X 방향으로 회전시켜, 각각 수지 필름(F)을 장력을 걸면서, 1매의 화상 표시 영역(S)을 도포 유닛(2G2)의 흡착 플레이트(8) 상에 공급한다. 그리고 권출부(1)(제어기(1C)) 및 권취부(3)(제어기(3C))는, 제어 신호(Sc12 및 Sc32)를 출력하여, 화상 표시 영역(S)의 공급 완료를 도포 장치(2)에 알린다.
스텝 S78에 있어서, 도포 장치(2)(제어기(2C))는, 제어 신호(Sc12 및 Sc32)에 응답하여, 권출부(1)(제어기(1C)) 및 권취부(3)(제어기(3C))에 대하여, 공급된 화상 표시 영역(S)을 도포 유닛(2G2)의 흡착 플레이트(8) 상에 재치시키는 제어 신호(Sc21 및 Sc23)를 출력한다. 권출부(1)(제어기(1C)) 및 권취부(3)(제어기(3C))는, 각각, 제어 신호(Sc21 및 Sc23)에 응답하여, 화상 표시 영역(S)(반송 단위(Ut))을 도포 유닛(2G2)의 흡착 플레이트(8) 상에 재치시킨 후에, 제어 신호(Sc12 및 Sc32)를 출력한다. 도포 장치(2)(제어기(2C))는, 제어 신호(Sc12 및 Sc32)에 응답하여, 흡착 플레이트(8)에 의하여 화상 표시 영역(S)을 흡착 고정시킨다.
본 실시예에 있어서는, 화상 표시 영역(S)의 형상의 일그러짐의 검출을 일그러짐 검출 유닛(2G1)에서 행하고, 당해 화상 표시 영역(S)에 대한 잉크의 도포를 도포 유닛(2G2)에서 행하는 것에 의하여, 보다 신속한 또한 효율적인 잉크 도포를 가능하게 하고 있다. 잉크 도포의 정도의 관점으로부터는, 일그러짐 검출 유닛(2G1)과 도포 유닛(2G2)과의 사이의 거리는 가까운 편이 바람직하다. 단, 양 유닛의 사이에 거리를 두면, 불량이 검출되었을 때의 에러 처리(라인 정지 등)를 행하기 위한 시간에 여유가 생긴다. 즉, 본 실시예에 있어서의 스텝 S76의 처리는 버퍼 공정의 기능을 가진다.
그렇지만, 카메라 갠트리의 이동 속도나 매핑 데이터를 작성하는 연산 속도가 충분하게 빠르면, 일그러짐 검출 유닛(2G1)과 도포 유닛(2G2)을 일체로 구성하여, 화상 표시 영역(S)의 형상의 일그러짐의 검출 및 당해 화상 표시 영역(S)에 대한 도포 스캔을, 동일한 유닛(갠트리)에 있어서 행하는 것도 가능하다. 이와 같이 구성하면, 잉크 도포의 정도가 한층 향상한다.
스텝 S6에 있어서, 제어기(2C)는 도포 유닛(2G2)의 카메라 갠트리(6a) 및 에어리어 카메라(7)를 기동하여, 수지 필름(F)(화상 표시 영역(S))의 소정의 영역에 설치되어 있는 마크(도시하지 않음)를 검출한다.
스텝 S8에 있어서, 스텝 S6에서 얻어진 검출 결과에 기초하여, 화상 표시 영역(S)의 얼라인먼트 정보(IAa)를 생성한다. 얼라인먼트 정보(IAa)는, X 위치 오차(Ex), Y 위치 오차(Ey), 평행 오차(Eθ), 및 보정 도포 스캔 방향 Em을 포함한다. X 위치 오차(Ex)는 화상 표시 영역(S)의 X 방향에 있어서의 위치 어긋남량이고, Y 위치 오차(Ey)는 화상 표시 영역(S)의 Y 방향에 있어서의 위치 어긋남량이며, 평행 오차(Eθ)는 화상 표시 영역(S)의 X(축(Ax)) 방향에 대한 기울기(비평행도)이고, 보정 도포 스캔 방향 Em은 잉크젯 헤드 바(5a)(헤드 모듈(11))가 이동되어 도포 스캔이 실행되는 방향이다. 평행 오차(Eθ) 및 보정 도포 스캔 방향 Em의 의미에 관해서는 나중에 설명한다.
다음으로 도 7에 있어서의 서브루틴 #300에 있어서, 서브루틴 #100에서 검출한 위치 어긋남의 데이터에 기초하여, 화상 표시 영역(S)에 대하여, 잉크젯 헤드 바(5a)의 위치 어긋남이 보정된다. 서브루틴 #300의 상세한 처리는, 도 9의 플로 차트에 있어서의 스텝 S10 ~ S14 및 스텝 S70 ~ S74로 나타내진다.
잉크젯 헤드 바(5a)의 위치 어긋남 보정 처리의 설명에 앞서, 스텝 S8에 있어서 구한 평행 오차(Eθ)의 의미에 관하여 간단하게 설명한다. 화상 표시 영역(S)이 도포 유닛(2G2)의 흡착 플레이트(8) 상에 바르게 위치 결정되어 있는 경우에는, X 위치 오차(Ex), Y 위치 오차(Ey), 및 평행 오차(Eθ)는 제로이고, 수지 필름(F)의 연재 중심축(Af)은 축(Ax)과 일치한다. 이 경우는, 화상 표시 영역(S)의 형상의 일그러짐에 대응할 수 있으면 화상 표시 영역(S)에 대한 도포 스캔은 문제 없이 행하여지기 때문에, 스텝 S62에 있어서 작성된 매핑 데이터(Dm(Con))를 사용하여 도포 스캔을 행하면 된다. 그렇지만, 화상 표시 영역(S)이 바르게 위치 결정되어 있지 않는 경우에는, 도포 개시의 전에 잉크젯 헤드 바(5a)의 자세, 위치, 및 잉크의 토출 개시 위치를 보정할 필요가 있다. 구체적으로는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 평행 오차(Eθ)가 0의 경우는, X 위치 오차(Ex)에 기초하여 도포 갠트리(4)를 X 방향으로 이동시키고, Y 위치 오차(Ey)에 기초하여 잉크젯 헤드 바(5a)의 잉크 도포 개시 타이밍(위치)을 수정하면 대응할 수 있다.
한편, 평행 오차(Eθ)가 제로가 아닌 경우, 잉크젯 헤드 바의 축(A5)이 화상 표시 영역(S)에 설치된 복수의 오목부(P)의 중심축(Af)(X) 방향의 배열에 대하여, 평행 오차(Eθ)만큼 기울어 있다. 즉, 축(A5) 방향으로 배열된 복수의 노즐(13)(헤드 모듈(11))이, 화상 표시 영역(S)(복수의 오목부(P))에 대하여 평행으로 대향하고 있지 않는 것을 의미한다. 따라서, 평행 오차(Eθ)가 0인 경우와 같이, X 위치 오차(Ex)에 기초하여 도포 갠트리(4)를 X 방향으로 이동시켜, Y 위치 오차(Ey)에 기초하여 잉크젯 헤드 바(5a)의 잉크 도포 개시 타이밍(위치)을 수정하여도 대응할 수 없다.
따라서, 본 실시예에 있어서는, 잉크젯 헤드 바(5a)를 평행 오차(Eθ)분만큼 회전시켜, 기운 화상 표시 영역(S)의 중심축(Af) 방향으로 늘어선 화소 요소(화상 표시 영역(S))에 대하여 평행으로 위치시킨 상태에서, 잉크젯 헤드 바(5a)의 화상 표시 영역(S)에 대한 X 위치, 잉크젯 헤드 바(5a)의 잉크 도포 개시 타이밍의 수정을 가능하게 하는 것을 의도하고 있다.
스텝 S10에 있어서, X 위치 보정이 행하여진다. 구체적으로는, X 위치 오차(Ex)에 기초하여, 잉크젯 헤드 바(5a)의 X 방향의 위치가 보정된다.
스텝 S70에 있어서, 평행 오차(Eθ)를 참조하여, 화상 표시 영역(S)의 X 방향에 대한 기울기가, 허용 범위 내인지 여부가 판단된다. Yes라고 판단되는 경우는, 후술하는 스텝 S12에 있어서 행하여지는 잉크젯 헤드 바(5a)의 θ 보정은 불필요하다고 판단되기 때문에, 스텝 S14로 진행하여 도포 스캔의 준비를 행한다. 이 경우, 후술하는 도포 스캔 시의 M 보정도 불필요하다.
스텝 S70에 있어서 No라고 판단되는 경우는, 스텝 S72로 진행하여, 평행 오차(Eθ)가 최대 허용값인 Eθmax 이하인(평행 오차 Eθ≤Eθmax)지 여부가 판단된다. Yes라고 판단되는 경우는, 스텝 S12로 진행하여 잉크젯 헤드 바(5a)의 θ 보정을 행한다. No라고 판단되는 경우는, 스텝 S74로 진행하여 에러 처리(수지 필름(F)의 위치를 사람 손에 의하여 수정하는 등)를 행한다. 평행 오차(Eθ)의 최대 허용값인 Eθmax는, 잉크젯 헤드 바(5a)의 가동 범위 등을 고려하여 결정된다.
스텝 S12에 있어서, θ 보정이 행하여진다. 구체적으로는, 평행 오차(Eθ)에 기초하여, 잉크젯 헤드 바(5a)가 θ 회전된다. 결과, 잉크젯 헤드 바(5a)의 노즐(13)의 열은, 화상 표시 영역(S)의 화소 요소(오목부(P))의 X 방향 배열에 대하여 평행으로 대향한다.
스텝 S14에 있어서, 도포 갠트리(4)(잉크젯 헤드 바(5a))가 홈 포지션(HP)으로부터 본래의 도포 개시 위치까지 이동된다. 즉, 상술의 스텝 S10 및 S12에 있어서, 잉크젯 헤드 바(5a)가 홈 포지션(HP)에서 X 위치 보정 및 θ 보정된 후에, 잉크젯 헤드 바(5a)는 홈 포지션(HP)으로부터 도포 개시 위치로 이동한다. 즉, 도포 개시 위치에 도달한 시점에서는, 잉크젯 헤드 바(5a)의 X 위치 보정 및 θ 보정은 불필요하다.
또한, X 위치 보정 및 θ 보정에 시간이 걸리는 경우여도, 잉크젯 헤드 바(5a)는 홈 포지션(HP) 상에 있기 때문에, 도포 직전까지 플러싱을 행할 수 있고, 잉크 마름에 의한 노즐 막힘을 방지할 수 있다. 덧붙여, 양 스텝에 있어서의 처리의 차례는 전후(前後)하여도 무방하고, 동시여도 무방하다.
다음으로 도 7에 있어서의 서브루틴 #400A에 있어서, 상기 매핑 데이터(Dm(Con))에 기초하여, 당해 화상 표시 영역(S)에 대한 1회째의 도포 스캔을 행한다. 서브루틴 #400A의 상세한 처리는, 도 9의 플로 차트에 있어서의 스텝 S16 ~ S20으로 나타내진다. 서브루틴 #400A의 처리와 서브루틴 #400B(화상 표시 영역(S)에 대한 2회째 이후의 도포 스캔)의 처리는 동일하고, 도 9에 있어서는, 서브루틴 #400으로서 나타내진다.
스텝 S16에 있어서, 스텝 S10 및 S12에 있어서 수정된 자세 및 위치에서, 잉크젯 헤드 바(5a)에 의한 화상 표시 영역(S)에 대한 도포 스캔이 개시된다. 덧붙여, Y 위치 오차(Ey)에 기초하여, 화상 표시 영역(S)에 대한 잉크의 토출 개시 타이밍이 보정된다. 도포 스캔 시에 잉크젯 헤드 바(5a)가 이동되는 방향에 관해서는 후술한다.
X 위치 보정 및 θ 보정을 행한 후의 잉크젯 헤드 바(5a)를, 축(Ax)(도포 장치(2))에 대하여 수직(백 프레임(FRb) 및 프런트 프레임(FRf)에 대하여 평행)으로 이동시키면, 잉크젯 헤드 바(5a)는, 수지 필름(F)의 중심축(Af)에 대하여, π는 아닌 (π-θ)의 각도로 교차(경사(傾斜))하여 이동한다. 화상 표시 영역(S)에 대한 잉크젯 헤드 바(5a)(노즐(13))의 위치 관계를, 중심축(Af)이 축(Ax)에 평행으로 공급되었을 때와 같은 상태로서 도포 스캔하기 위해서는, 잉크젯 헤드 바(5a)를 수지 필름(F)의 중심축(Af)에 평행으로 대향하면서, 중심축(Af)에 대하여 π로 교차하여 이동할 필요가 있다. 축(Ax)에 대하여 θ만큼 경사한, 중심축(Af)(수지 필름(F))에 대하여, π로 교차하는 도포 스캔 방향을 보정 도포 스캔 방향 Em이라고 부른다.
도 6에 도시하는 바와 같이, 보정 도포 스캔 방향 Em은, 중심축(Af)(수지 필름(F))에 대하여 수직(π), 축(Ax)(도포 장치(2), X 방향)에 대하여 θ로 교차한다. 따라서, 축(Ax)에 대하여 수직인 방향 M에 대하여 θ로 교차한다. 동 도면에 있어서, 보정 도포 스캔 방향 Em을 빗변으로 하고, 방향 M을 높이로 하고, 축(Ax)(X 방향)에 평행한 밑변으로 이루어지는 직각 삼각형이 성립한다. 빗변의 길이를 화상 표시 영역(S)의 폭 Lsy로 하면, 밑변의 길이 △Mx는 다음 식 (5)으로 나타내진다.
△Mx=Lsy·Sinθ …(5)
화상 표시 영역(S)의 중심축(Af)에 평행한 양 단부(端部)에 위치하는 대응하는 오목부(P)는, 축(Ax)에 관하여 △Mx=Lsy·Sinθ만큼 어긋나 있다. 따라서, 잉크젯 헤드 바(5a)를 Y 방향(축(Ax)에 수직)으로 이동시키는 것과 동시에 Sinθ만큼 X 방향(축(Ax)에 평행)으로 이동시키면, 잉크젯 헤드 바(5a)는 중심축(Af)에 평행으로 대향하면서, 중심축(Af)에 대하여 π로 교차하여 도포 스캔할 수 있다. 즉, 보정 도포 스캔 방향 Em은 θ의 함수이다.
따라서, 본 실시예에 있어서는, 잉크젯 헤드 바(5a)는 X 방향(축(Ax)에 평행)으로 △Mx만큼 슬라이드할 수 있는 것과 함께, 한층 더 △Mx만큼 슬라이드할 수 있다. 덧붙여, △Mx는 다음 식 (6)을 만족시킨다.
0≤△Mx≤Lsy·Sinθ …(6)
이와 같이 하여, 본 실시예에 있어서는, 잉크젯 헤드 바(5a)를 수지 필름(F)의 중심축(Af)에 평행으로 대향하면서, 중심축(Af)에 대하여 π로 교차하여 도포 스캔할 수 있다. 즉, 화상 표시 영역(S)에 대한 잉크젯 헤드 바(5a)(노즐(13))의 위치 관계가, 중심축(Af)이 축(Ax)에 평행으로 공급되었을 때와 같은 상태로 도포 스캔할 수 있다.
잉크젯 헤드 바(5a)가 화상 표시 영역(S)에 있어서의 카메라 갠트리(6a) 측(홈 포지션(HP)의 반대 측)에 도달한 시점에서, 1회의 도포 스캔 동작이 완료한다. 스텝 S17에 있어서, 도포 스캔 카운터(Ca)에 1이 가산된다(Ca=Ca+1). 가산 후의 카운터(Ca)는, 현재 도포 장치(2)에 공급되고 있는 화상 표시 영역(S)에 대하여, 이미 완료되어 있는 도포 스캔 동작의 횟수를 나타낸다.
스텝 S18에 있어서, 카운터(Ca)를 참조하여, 직전에 완료한 도포 스캔 동작이, 당해 화상 표시 영역(S)에 대한 1회째의 도포 스캔인(카운터(Ca)=1)지 여부가 판단된다. Yes라고 판단되는 경우는, 이하에 설명하는 스텝 S28 ~ S40에 있어서, 테스트 패턴의 도포, 검사, 및 검사 결과에 기초하여 매핑 데이터(Dm)의 갱신 등이 행하여지는 것과 함께, 처리는 스텝 S16으로 되돌아오고, 화상 표시 영역(S)의 화소 요소에 대한 도포 스캔이 계속된다. No라고 판단되는 경우는, 스텝 S20에 있어서, 카운터(Ca)를 참조하여, 화상 표시 영역(S)에 대한 도포 스캔이 완료하였는지 여부가 판단된다.
스텝 S20에 있어서 No라고 판단되는 경우는, 처리는 스텝 S16으로 되돌아오고, 화상 표시 영역(S)의 화소 요소에 대한 도포 스캔이 계속된다. 그리고 화상 표시 영역(S)의 도포 스캔이 완료한 시점(Ca=Camax)에서, Yes라고 판단되어, 처리는 다음의 스텝 S22로 진행한다. 스텝 S22 이후의 처리에 관해서는 후술한다.
화상 표시 영역(S)에 대한 1회째의 도포 스캔이 완료한 후, 도 7에 있어서의 서브루틴 #500에 있어서 테스트 패턴의 도포 및 검사를 행하고, 검사 결과에 기초하여 매핑 데이터(Dm)를 갱신한다. 서브루틴 #500의 상세한 처리는, 도 9의 플로 차트에 있어서의 스텝 S28 ~ S40으로 나타내진다.
상술의 스텝 S18에 있어서, 직전에 완료한 도포 스캔 동작이, 당해 화상 표시 영역(S)에 대한 1회째의 도포 스캔(Ca=1)이라고 판단된 경우에 행하여지는 스텝 S28 ~ S40의 처리에 관하여 설명한다. 우선, 스텝 S28에 있어서, 화상 표시 영역(S)에 있어서의 카메라 갠트리(6a) 측(홈 포지션(HP)의 반대 측)에 도달한 잉크젯 헤드 바(5a)의 모든 노즐(13)이, 수지 필름(F)의 화상 표시 영역(S) 이외의 소정의 부분에 대하여, 소정의 테스트 패턴으로 잉크를 토출한다. 덧붙여, 테스트 패턴을 도포하는 개소는, 수지 필름(F)에 있어서의, 화상 표시 영역(S) 이외의 부분이면 되고, 카메라 갠트리(6a) 측의 부분에는 한정되지 않는다.
다음으로, 스텝 S30에 있어서, 스텝 S28에서 형성된 테스트 패턴을, 스캔 카메라(9a)(카메라 갠트리(6a))로 촬영한다. 이 테스트 패턴의 촬영과, 화상 표시 영역(S)에 대한 2회째 이후의 도포 스캔(스텝 S16)은, 동시에 행할 수 있다.
스텝 S32에 있어서, 촬영된 테스트 패턴의 데이터를 화상 처리하여 검사한다. 구체적으로는, 테스트 패턴의 화상으로부터, 노즐마다의 토출 위치와 토출량을 구한다. 스텝 S34에 있어서, 검사 결과를 도포 장치(2)의 제어기(2C)에 피드백한다.
스텝 S36에 있어서, 제어기(2C) 내에 격납(格納)된 매핑 소프트웨어(mapping software)가, 화상 처리된 데이터(노즐마다의 토출 위치와 토출량)가 소정의 패턴을 만족시키는지 여부에 기초하여, 이상이 있는 노즐을 특정하는 것과 함께, 검사 결과가 허용 범위 내인지 여부를 판단한다. 판단의 결과는, 도포 장치(2)가 행하는 도포 공정을, 그 전 공정 및 후속 공정과 아울러 통괄하는 컴퓨터에 송신된다. No라고 판단되는 경우는, 처리는 스텝 S40으로 진행하여, 에러 처리(라인 정지, 메인터넌스 등)를 행한다. 아울러, 현재 도포 스캔을 행하고 있는 화상 표시 영역(S)도 불량일 가능성이 높은 취지를, 상기 컴퓨터에 송신한다.
스텝 S36에 있어서 Yes라고 판단되는 경우는, 스텝 S38에 있어서 매핑 데이터(Dm)의 갱신(리매핑(remapping))이 행하여진다. 구체적으로는, 스텝 S36에서 구한, 이상이 있는 노즐을 특정하는 정보에 기초하여, 매핑 데이터(Dm)를 갱신하고(개개의 오목부(화소 요소)(P)에 관하여, 잉크젯 헤드 바(5a)가 소정의 좌표에 위치하였을 때에, 어느 노즐(13)로부터 잉크를 토출할지의 규정을 수정한다), 갱신 후의 매핑 데이터를 Dm(Cs)로 한다. 후술하는 바와 같이, 이 매핑 데이터(Dm(Cs))는, ((Cs+1)매째의 화상 표시 영역(S)에 대하여 검출한 윤곽(Con)의 형상 및 자세 오차(Sθ)를 이용하여 수정한 다음) (Cs+1)매째의 화상 표시 영역(S)에 대한 도포 스캔에 사용된다.
이와 같이, 본 실시예에 있어서는, 화상 표시 영역(S)이 도포 장치(2)에 공급될 때마다 테스트 패턴의 도포 및 검사를 행하고, 그 검사 결과에 기초하여 매핑 데이터(Dm)를 갱신하여, 다음으로 공급되는 화상 표시 영역(S)의 도포 스캔에 반영한다. 도포 처리를 연속하여 행하면, 잉크의 건조나 이물 발생에 의하여 노즐로부터의 잉크 토출량이 감소하거나, 노즐이 막히거나 할 가능성이 있고, 그 경우, 사용된 노즐로부터, 예정된 양의 잉크가 토출되지 않는다. 본 실시예에 있어서는, 직전의 화상 표시 영역(S)에 대한 각 노즐로부터의 잉크 토출 위치와 토출량을 카메라로 확인하고, 매핑 데이터(Dm)에 반영시키는 것으로, 사용하는 노즐의 선택과, 토출 좌표를 변경하기 때문에, 연속하여 화상 표시 영역(S)을 도포하여도, 도포 얼룩이 없는 컬러 필터 또는 다른 표시 패널을 제조할 수 있다.
당해 화상 표시 영역(S)에 대한 도포 스캔이 완료하면, 도 7에 있어서의 서브루틴 #600에 있어서 잉크젯 헤드 바(5a)는 소정의 위치로 이동되어 대기한다. 서브루틴 #600의 상세한 처리는, 도 9의 플로 차트에 있어서의 스텝 S22 ~ S26으로 나타내진다. 수지 필름(F) 단위에서의 화상 표시 영역(S)에 대한 도포 스캔이 완료하고 있지 않으면, 처리는 서브루틴 #100으로 되돌아와, 화상 표시 영역(S)에 대한 도포 스캔이 계속된다. 수지 필름(F) 단위에서의 도포 스캔이 완료되어 있으면, 처리는 종료한다.
스텝 S20에 있어서 Yes라고 판단되는 경우(화상 표시 영역(S)의 도포 스캔이 완료(Ca=Camax)한 경우)는, 처리는 다음의 스텝 S22로 진행한다. 스텝 S22에 있어서, 도포 갠트리(4)는 홈 포지션(HP)으로 되돌아오고, 스텝 S24에서 대기 모드로 들어간다. 홈 포지션(HP)에 있어서는, 플러싱이나, 블리딩(bleeding) 및 클리닝 등의 노즐 막힘 방지 처리가 적시(適時) 행하여진다. 덧붙여, 홈 포지션(HP)은, 수지 필름(F)으로부터 이반(離反)한 위치에 있기 때문에, 플러싱이나, 블리딩 및 클리닝 때의 잉크에 의하여, 수지 필름(F)이 부주의하게 오염되는 것이 방지된다. 나아가 스텝 S25에 있어서, 화상 표시 영역(S) 단위의 도포 스캔 동작의 횟수를 나타내는 도포 스캔 카운터(Ca)가 초기화된다(Ca=0).
스텝 S26에서, 수지 필름(F)의 단위에서 도포 스캔을 완료하고 있는(Cs=Csmax)지 여부, 즉, 도포 스캔되어 있지 않는 화상 표시 영역(S)이 남아 있는지 여부가 판단된다. No의 경우, 처리는 스텝 S2로 되돌아오고 상술의 처리를 반복한다. 상술한 바와 같이, Cs매째의 화상 표시 영역(S)에 대한 도포 스캔 시에는, (Cs-1)매째의 화상 표시 영역(S)에 대하여 행한 테스트 패턴 검사에 기초하여 갱신된 매핑 데이터(Dm(CS-1))가 사용된다. 스텝 S26에 있어서, 본 화상 표시 영역(S)에 있어서 Yes(수지 필름(F)의 단위에서 도포 스캔을 완료하고 있다(Cs=Csmax))고 판단된 시점에서 도포 처리가 종료한다.
본 실시예에 있어서, 오목부(P)는 격자상의 패턴으로 형성되어 있지만, 오목부(P)의 형상이나 배치는 이것에 한정하지 않고, 소정의 형상의 오목부가 소정의 패턴으로 균등하게 배열되어 있는 것에 적용할 수 있는 것은 말할 것도 없다. 그와 같은 예로서는, 육각형의 오목부가 허니콤상(狀)으로 배치되어 있는 것을 들 수 있다.
상술과 같이, 본 실시예에 있어서는, 홈 포지션(HP) 상에서 플러싱을 행하면서 수지 필름(F)의 경사에 대한 잉크젯 헤드 바(5a)의 X 위치 보정 및 θ 보정이 행하여진다. 그 후, 잉크젯 헤드 바(5a)는 도포 개시 위치로 이동하여, 곧 도포 스캔이 개시되기 때문에, X 위치 보정 및 θ 보정과 도포 스캔 개시와의 사이에 노즐(13)의 막힘의 발생을 방지할 수 있다. 이 의미로부터, 홈 포지션(HP)과 도포 개시 위치의 거리는, 클리닝 사이클에 요하는 시간을 고려하여 결정된다.
즉, 잉크젯 헤드 바(5a)(도포 갠트리(4))의 이동 속도를 V로 하여, 홈 포지션(HP)과 도포 개시 위치와의 거리를 D로 하고, 플러싱 인터벌을 Ti로 하면, 다음 식 (4)가 성립한다.
D≤V·Ti/K …(4)
덧붙여, 플러싱 인터벌 Ti는, 노즐(13)이 막히지 않는 범위 내에서 임의로 설정 가능하고, K는 자연수이다. K=1의 경우는, 잉크젯 헤드 바(5a)는 홈 포지션(HP)으로부터 도포 개시 위치로 이동하는 사이에 플러싱을 행하는 일은 없다. K≥2의 경우, (K-1)이 잉크젯 헤드 바(5a)가 홈 포지션(HP)으로부터 도포 개시 위치로 이동하는 사이에 플러싱을 행하는 횟수를 의미한다. 이동 중의 플러싱은, 트레이(tray) 등의 위에서 행하도록 설정된다.
또한, 본 실시예에 있어서는, Cs매째의 화상 표시 영역(S)에 대한 도포 스캔 시에는, (Cs-1)매째의 화상 표시 영역(S)에 대하여 행한 테스트 패턴 검사에 기초하여 갱신된 매핑 데이터(Dm(Cs-1))가 사용된다. 그렇지만, 카메라 갠트리(6a)의 이동 속도나 테스트 패턴의 데이터를 화상 처리하는 연산 속도가 충분하게 빠르면, Cs매째의 화상 표시 영역(S)에 대하여 행한 테스트 패턴 검사에 기초하여 갱신된 매핑 데이터(Dm(Cs))를 사용하여, 당해 Cs매째의 화상 표시 영역(S)에 대한 도포 스캔을 행하는 것이 가능하다.
나아가, Cs매째의 화상 표시 영역(S)에 대하여 행한 테스트 패턴 검사에 기초하여 갱신된 매핑 데이터(Dm(Cs))를, 그 후 공급되는 복수 매의 화상 표시 영역(S)에 대한 도포 스캔에 사용하는 것도 가능하다. 이와 같은 매핑 데이터(Dm)의 적용은, 도포 스캔이 개시된 당초에 공급되는 복수 매의 화상 표시 영역(S)에 대하여 그때마다 테스트 패턴 검사를 행하고, 그 검사 결과의 격차가 작은(소정의 범위 내이다) 경우에 행하는 것이 바람직하다.
덧붙여, 본 발명에 있어서는, 종래의 개개의 유리 기판과는 달리, 복수의 화상 표시 영역(S)이 연속적으로 형성된 시트상의 수지 필름(F)에 잉크젯 인쇄가 행하여진다. 그 때문에, 개개의 유리 기판의 위치 및 자세의 보정이 행하여지는 대신에, 수지 필름(F)의 기울기에 따라 화상 표시 영역(S)에 대한 도포 장치 측의 위치 및 자세의 보정이 행하여진다. 또한, 수지 필름(F)의 화상 표시 영역(S)에 형성되는 오목부(P)는, 유리 기판 상에 형성되는 구획과는 달리, 형성 시의 가공에 의하여 화상 표시 영역(S)의 형상이 일그러지는 경우가 있다. 이와 같은 화상 표시 영역(S)의 일그러짐으로의 대응은, 공급되는 화상 표시 영역(S)에 대하여 그 형상의 일그러짐의 검출을 그때마다 행하고, 검출한 일그러짐의 데이터에 기초하여 매핑 데이터(Dm)를 작성하는 것에 의하여 행한다.
나아가, 서로 이웃하는 화상 표시 영역(S)에 관하여, 화상 표시 영역(S)의 일그러짐 및 수지 필름(F)의 기울기의 격차는, 개개의 유리 기판의 위치 및 자세의 격차에 비하여 작고, 재현성도 높다. 따라서, 연속하는 화상 표시 영역(S)에서의 도포 장치 측의 보정량은 작기 때문에, 보정에 요하는 공정 수도 작고, 연속하는 화상 표시 영역(S)에 대하여 고속으로 잉크의 도포를 행할 수 있는 것과 함께, 하나 전의 화상 표시 영역(S)에 도포된 테스트 패턴에 기초하여 작성된 매핑 데이터(Dm)를, 현 화상 표시 영역(S)에 적응하는 것에 의하여, 보다 신속한 또한 효율적인 잉크 도포를 가능하게 하고 있다.
본 발명의 도포 방법은, 가요성을 가지는 화상 표시기의 제조 이외에, 종래의 화상 표시기의 제조, 나노 잉크를 이용한 배선 패턴의 형성, 유기 TFT(Thin Film Transistor) 용액을 이용한 TFT의 형성 등에 적용할 수 있다.
본 발명은, 가요성을 가지는 장척상의 기재에 형성된 복수의 오목부에 잉크를 도포하는 방법에 널리 이용할 수 있다.
1: 권출부
2: 도포 장치
21: 일그러짐 검출 장치
22: 도포 장치
2G1: 일그러짐 검출 유닛
2G2: 도포 유닛
3: 권취부
4: 도포 갠트리
5, 5a: 잉크젯 헤드 바
6a, 6b: 카메라 갠트리
7: 에어리어 카메라
8: 흡착 플레이트
9a: 스캔 카메라
9b, 9c: 검사 카메라
10, 10a, 10b, 10c: 헤드 유닛
11, 11a, 11b, 11c: 헤드 모듈
12: 도포 헤드
13: 노즐
F: 수지 필름
D1: 헤드 모듈 시프트 거리
D2: 헤드 유닛 이간 거리
HP: 홈 포지션
IAa: 얼라인먼트 정보
Ex: X 위치 오차
Ey: Y 위치 오차
Eθ: 평행 오차
Em: 보정 도포 스캔 방향
R1, R3: 릴
S, S1, S2, S3, S4: 화상 표시 영역
Wr1, Wr3: 롤
Wm: 헤드 모듈 도포 폭
Wu: 헤드 유닛 도포 폭
2: 도포 장치
21: 일그러짐 검출 장치
22: 도포 장치
2G1: 일그러짐 검출 유닛
2G2: 도포 유닛
3: 권취부
4: 도포 갠트리
5, 5a: 잉크젯 헤드 바
6a, 6b: 카메라 갠트리
7: 에어리어 카메라
8: 흡착 플레이트
9a: 스캔 카메라
9b, 9c: 검사 카메라
10, 10a, 10b, 10c: 헤드 유닛
11, 11a, 11b, 11c: 헤드 모듈
12: 도포 헤드
13: 노즐
F: 수지 필름
D1: 헤드 모듈 시프트 거리
D2: 헤드 유닛 이간 거리
HP: 홈 포지션
IAa: 얼라인먼트 정보
Ex: X 위치 오차
Ey: Y 위치 오차
Eθ: 평행 오차
Em: 보정 도포 스캔 방향
R1, R3: 릴
S, S1, S2, S3, S4: 화상 표시 영역
Wr1, Wr3: 롤
Wm: 헤드 모듈 도포 폭
Wu: 헤드 유닛 도포 폭
Claims (23)
- 직사각형 시트상(狀)의 기재(基材)의 긴쪽 방향으로 소정 간격으로 연속하여 형성되어 있는 복수의 직사각형 영역에 격자상(格子狀)으로 배설(配設)되어 있는 복수의 오목부의 각각에 복수의 노즐을 이용하여 잉크젯(inkjet) 방식에 의하여 잉크를 도포하는 도포 방법이고,
복수의 릴에 의하여, 상기 기재를 그 긴쪽 방향으로 소정의 장력(張力)을 걸어 소정의 높이로 보지(保持)하는 것과 함께, 당해 긴쪽 방향에 수직인 짧은 쪽 방향으로 위치 결정하는 제1의 보지 공정과,
플레이트에 의하여, 상기 위치 결정된 기재를 상기 소정의 높이에 위치하는 면으로 받아들이는 제2의 보지 공정과,
상기 복수의 노즐을 상기 보지된 기재로부터 빠진, 당해 기재의 측부 근방(近傍)의 대기 위치에서 대기시키는 대기 공정과,
상기 짧은 쪽 방향 및 상기 소정의 높이에 보지된 상기 기재를, 상기 직사각형 영역의 단위에서 공급하는 제1의 기재 공급 공정과,
상기 공급된 기재의 직사각형 영역을 흡착 고정하는 제1의 직사각형 영역 고정 공정과,
상기 흡착 고정된 직사각형 영역의 형상의 일그러짐을 검출하는 일그러짐 검출 공정과,
상기 검출된, 직사각형 영역의 형상의 일그러짐에 기초하여, 당해 직사각형 영역의 복수의 오목부의 각각에 대하여 잉크를 토출하는 노즐을 결정하는 매핑 데이터(mapping data)를 작성하는 매핑 데이터 작성 공정과,
상기 직사각형 영역의, 상기 긴쪽 방향에 있어서의 X 위치 오차와, 상기 짧은 쪽 방향에 있어서의 Y 위치 오차를 구하는 얼라인먼트(alignment) 정보 산출 공정과,
상기 X 위치 오차에 기초하여, 상기 직사각형 영역에 대한 상기 복수의 노즐의 X 방향의 위치를 보정하는 공정과,
상기 복수의 노즐의 상기 직사각형 영역에 대한 위치가 보정된 후에, 상기 복수의 노즐을 상기 대기 위치로부터 상기 짧은 쪽 방향에 평행한 제1의 도포 스캔 방향으로 이동시키면서, 당해 복수의 노즐 중의 상기 매핑 데이터에 기초하여 선택된 노즐로부터, 상기 흡착 고정된 직사각형 영역에 배설되어 있는 복수의 오목부의 각각에 잉크를 토출시키는 잉크 토출 공정을 구비하는 도포 방법. - 제1항에 있어서,
상기 일그러짐 검출 공정에 있어서는,
상기 직사각형 영역의 윤곽의 형상을 산출하는 것에 의하여, 직사각형 영역의 형상의 일그러짐을 검출하는, 도포 방법. - 제2항에 있어서,
상기 일그러짐 검출 공정에 있어서는,
직사각형 영역의 네 모서리의 각도를 구하고,
상기 네 모서리의 각도에 기초하여, 직사각형 영역의 윤곽의 형상을 산출하는, 도포 방법. - 제2항에 있어서,
상기 일그러짐 검출 공정에 있어서는,
직사각형 영역을 복수의 서브 영역으로 분할하고,
상기 복수의 서브 영역 각각의 네 모서리의 각도를 구하며,
상기 네 모서리의 각도에 기초하여, 상기 복수의 서브 영역 각각의 윤곽의 형상을 산출하고,
상기 복수의 서브 영역의 윤곽의 형상에 기초하여, 직사각형 영역의 윤곽의 형상을 산출하는, 도포 방법. - 제3항에 있어서,
상기 일그러짐 검출 공정에 있어서는,
상기 네 모서리의 각도에 기초하여, 직사각형 영역의 각 정점의, 상기 긴쪽 방향에 있어서의 X 방향 어긋남량과, 상기 짧은 쪽 방향에 있어서의 Y 방향 어긋남량을 구하고,
상기 X 방향 어긋남량 및 상기 Y 방향 어긋남량에 기초하여, 직사각형 영역의 윤곽의 형상을 산출하는, 도포 방법. - 제4항에 있어서,
상기 일그러짐 검출 공정에 있어서는,
상기 서브 영역 각각의 네 모서리의 각도에 기초하여, 당해 서브 영역의 각 정점의, 상기 긴쪽 방향에 있어서의 X 방향 어긋남량과, 상기 짧은 쪽 방향에 있어서의 Y 방향 어긋남량을 구하고,
상기 X 방향 어긋남량 및 상기 Y 방향 어긋남량에 기초하여, 당해 서브 영역의 윤곽의 형상을 산출하는, 도포 방법. - 제1항에 있어서,
상기 일그러짐 검출 공정에 있어서는, 나아가,
직사각형 영역의, 기재의 중심축에 평행한 방향에 대한 자세 오차를 구하는, 도포 방법. - 제7항에 있어서,
상기 일그러짐 검출 공정에 있어서는,
직사각형 영역의 단부(端部)에 위치하는 소정 수의 오목부의 중심을 구하고,
상기 소정 수의 중심의 근사(近似) 직선이, 기재의 중심축에 평행한 방향에 대하여 이루는 기울기를, 직사각형 영역의 사변(四邊) 각각에 관하여 구하고,
상기 기울기에 기초하여, 직사각형 영역의 자세 오차를 구하는, 도포 방법. - 제1항에 있어서,
상기 매핑 데이터 작성 공정과, 상기 얼라인먼트 정보 산출 공정과의 사이에,
상기 기재를, 상기 직사각형 영역의 단위에서 보지하는 버퍼 공정을 더 구비하는, 도포 방법. - 제1항에 있어서,
상기 일그러짐 검출 공정과, 상기 매핑 데이터 작성 공정은, 공급되는 모든 직사각형 영역에 대하여 행하여지는 것을 특징으로 하는, 도포 방법. - 직사각형 시트상의 기재의 긴쪽 방향으로 소정 간격으로 연속하여 형성되어 있는 복수의 직사각형 영역에 격자상으로 배설되어 있는 복수의 오목부의 각각에 복수의 노즐을 이용하여 잉크젯 방식에 의하여 잉크를 도포하는 도포 장치이고,
상기 기재를 그 긴쪽 방향으로 소정의 장력을 걸어 소정의 높이에서 보지하는 것과 함께, 당해 긴쪽 방향에 수직인 짧은 쪽 방향으로 위치 결정하는 제1의 보지 수단으로서의 복수의 릴과,
상기 위치 결정된 기재를 상기 소정의 높이에 위치하는 면으로 받아들이는 제2의 보지 수단으로서의 플레이트와,
상기 복수의 노즐을 상기 보지된 기재로부터 빠진, 당해 기재의 측부 근방의 대기 위치에서 대기시키는 대기 수단과,
상기 짧은 쪽 방향 및 상기 소정의 높이에 보지된 상기 기재를, 상기 직사각형 영역의 단위에서 공급하는 기재 공급 수단과,
상기 공급된 직사각형 영역의 기재를 흡착 고정하는 제1의 직사각형 영역 고정 수단과,
상기 흡착 고정된 직사각형 영역의 형상의 일그러짐을 검출하는 일그러짐 검출 수단과,
상기 검출된, 직사각형 영역의 형상의 일그러짐에 기초하여 당해 직사각형 영역의 복수의 오목부의 각각에 대하여 잉크를 토출하는 노즐을 결정하는 매핑 데이터를 작성하는 매핑 데이터 작성 수단과,
상기 직사각형 영역의, 상기 긴쪽 방향에 있어서의 X 위치 오차와, 상기 짧은 쪽 방향에 있어서의 Y 위치 오차를 구하는 얼라인먼트 정보 산출 수단과,
상기 X 위치 오차에 기초하여, 상기 직사각형 영역에 대한 상기 복수의 노즐의 X 방향의 위치를 보정하는 X 위치 보정 수단과,
상기 복수의 노즐의 상기 직사각형 영역에 대한 위치가 보정된 후에, 상기 복수의 노즐을 상기 대기 위치로부터 상기 짧은 쪽 방향에 평행한 제1의 도포 스캔 방향으로 이동시키면서, 당해 복수의 노즐 중의 상기 매핑 데이터에 기초하여 선택된 노즐로부터, 상기 흡착 고정된 직사각형 영역에 배설되어 있는 복수의 오목부의 각각에 잉크를 토출시키는 잉크 토출 수단을 구비하는 도포 장치. - 제11항에 있어서,
상기 일그러짐 검출 수단은,
상기 직사각형 영역의 윤곽의 형상을 산출하는 것에 의하여, 직사각형 영역의 형상의 일그러짐을 검출하는, 도포 장치. - 제12항에 있어서,
상기 일그러짐 검출 수단은,
직사각형 영역의 네 모서리의 각도를 구하고,
상기 네 모서리의 각도에 기초하여, 직사각형 영역의 윤곽의 형상을 산출하는, 도포 장치. - 제12항에 있어서,
상기 일그러짐 검출 수단은,
직사각형 영역을 복수의 서브 영역으로 분할하고,
상기 복수의 서브 영역 각각의 네 모서리의 각도를 구하며,
상기 네 모서리의 각도에 기초하여, 상기 복수의 서브 영역 각각의 윤곽의 형상을 산출하고,
상기 복수의 서브 영역의 윤곽의 형상에 기초하여, 직사각형 영역의 윤곽의 형상을 산출하는, 도포 장치. - 제13항에 있어서,
상기 일그러짐 검출 수단은,
상기 네 모서리의 각도에 기초하여, 직사각형 영역의 각 정점의, 상기 긴쪽 방향에 있어서의 X 방향 어긋남량과, 상기 짧은 쪽 방향에 있어서의 Y 방향 어긋남량을 구하고,
상기 X 방향 어긋남량 및 상기 Y 방향 어긋남량에 기초하여, 직사각형 영역의 윤곽의 형상을 산출하는, 도포 장치. - 제14항에 있어서,
상기 일그러짐 검출 수단은,
상기 서브 영역 각각의 네 모서리의 각도에 기초하여, 당해 서브 영역의 각 정점의, 상기 긴쪽 방향에 있어서의 X 방향 어긋남량과, 상기 짧은 쪽 방향에 있어서의 Y 방향 어긋남량을 구하고,
상기 X 방향 어긋남량 및 상기 Y 방향 어긋남량에 기초하여, 당해 서브 영역의 윤곽의 형상을 산출하는, 도포 장치. - 제11항에 있어서,
상기 일그러짐 검출 수단은, 나아가,
직사각형 영역의, 기재의 중심축에 평행한 방향에 대한 자세 오차를 구하는, 도포 장치. - 제17항에 있어서,
상기 일그러짐 검출 수단은,
직사각형 영역의 단부에 위치하는 소정 수의 오목부의 중심을 구하고,
상기 소정 수의 중심의 근사 직선이, 기재의 중심축에 평행한 방향에 대하여 이루는 기울기를, 직사각형 영역의 사변(四邊) 각각에 관하여 구하며,
상기 기울기에 기초하여, 직사각형 영역의 자세 오차를 구하는, 도포 장치. - 제11항에 있어서,
상기 일그러짐 검출 수단은 공급되는 모든 직사각형 영역의 형상의 일그러짐을 검출하고, 상기 매핑 데이터 작성 수단은 공급되는 모든 직사각형 영역에 대하여 매핑 데이터를 작성하는 것을 특징으로 하는, 도포 장치. - 제11항에 있어서,
상기 기재가 공급되는 방향에 있어서 상기 제1의 직사각형 영역 고정 수단의 하류 측에 배치되고, 상기 기재의 상기 직사각형 영역을 흡착 고정하는 제2의 직사각형 영역 고정 수단을 더 구비하는, 도포 장치. - 제20항에 있어서,
상기 제1의 직사각형 영역 고정 수단과 상기 제2의 직사각형 영역 고정 수단은, 인접(隣接)하여 설치되는 것을 특징으로 하는, 도포 장치. - 제20항에 있어서,
상기 제1의 직사각형 영역 고정 수단과 상기 제2의 직사각형 영역 고정 수단은, n개의 직사각형 영역(n은 임의의 자연수)이 들어가는 거리만큼 이간(離間)하여 설치되는 것을 특징으로 하는, 도포 장치. - 제20항에 있어서,
상기 일그러짐 검출 수단은 상기 제1의 직사각형 영역 고정 수단의 상방(上方)에 설치되고, 상기 잉크 토출 수단은 상기 제2의 직사각형 영역 고정 수단의 상방에 설치되는 것을 특징으로 하는, 도포 장치.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011035219A JP5663342B2 (ja) | 2011-02-21 | 2011-02-21 | 塗布方法および塗布装置 |
JPJP-P-2011-035219 | 2011-02-21 | ||
PCT/JP2012/053207 WO2012114916A1 (ja) | 2011-02-21 | 2012-02-13 | 塗布方法および塗布装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20140037806A KR20140037806A (ko) | 2014-03-27 |
KR101830138B1 true KR101830138B1 (ko) | 2018-02-20 |
Family
ID=46720698
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020137018819A KR101830138B1 (ko) | 2011-02-21 | 2012-02-13 | 도포 방법 및 도포 장치 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5663342B2 (ko) |
KR (1) | KR101830138B1 (ko) |
CN (1) | CN103429356B (ko) |
TW (1) | TWI541073B (ko) |
WO (1) | WO2012114916A1 (ko) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20230169406A (ko) | 2012-12-27 | 2023-12-15 | 카티바, 인크. | 정밀 공차 내로 유체를 증착하기 위한 인쇄 잉크 부피 제어를 위한 기법 |
US11673155B2 (en) | 2012-12-27 | 2023-06-13 | Kateeva, Inc. | Techniques for arrayed printing of a permanent layer with improved speed and accuracy |
US11141752B2 (en) * | 2012-12-27 | 2021-10-12 | Kateeva, Inc. | Techniques for arrayed printing of a permanent layer with improved speed and accuracy |
JP6088263B2 (ja) * | 2013-01-28 | 2017-03-01 | 東レエンジニアリング株式会社 | インクジェット塗布装置 |
EP3079911B1 (en) | 2013-12-12 | 2020-07-29 | Kateeva, Inc. | Ink-based layer fabrication using halftoning to control thickness |
JP6587376B2 (ja) * | 2013-12-19 | 2019-10-09 | 東レエンジニアリング株式会社 | 配線基板の製造方法及びそれに使用されるインクジェット塗布装置 |
CN103895346B (zh) * | 2014-04-04 | 2016-03-30 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种喷墨涂布装置及喷涂方法 |
CN108515777B (zh) * | 2014-06-30 | 2020-07-14 | 科迪华公司 | 用于具有改进的速度和精度的永久层的阵列式打印技术 |
JP6752577B2 (ja) * | 2016-01-14 | 2020-09-09 | 東レエンジニアリング株式会社 | インクジェット塗布装置及びインクジェット塗布方法 |
CN107650520B (zh) * | 2016-07-25 | 2020-02-18 | 东京毅力科创株式会社 | 功能液排出装置和功能液排出位置调整方法 |
JP6862041B2 (ja) * | 2016-08-10 | 2021-04-21 | 住友重機械工業株式会社 | 膜形成方法及び膜形成装置 |
CN107584875A (zh) * | 2017-10-23 | 2018-01-16 | 惠州市美呈空间装饰设计工程有限公司 | 一种装饰用的墙纸印刷机上的纸张涂油机构 |
CN108944047B (zh) * | 2017-12-26 | 2020-01-24 | 广东聚华印刷显示技术有限公司 | 喷墨打印校正方法、装置、存储介质和计算机设备 |
CN110665769B (zh) * | 2019-11-19 | 2022-09-13 | 蓝思科技(长沙)有限公司 | 一种喷涂方法、喷涂设备及采用此喷涂方法所得喷涂产品 |
CN111530689A (zh) * | 2020-04-15 | 2020-08-14 | 河北金力新能源科技股份有限公司 | 一种识别和改善隔膜漏涂的方法和隔膜涂布系统 |
JP7495276B2 (ja) * | 2020-06-01 | 2024-06-04 | 住友重機械工業株式会社 | 印刷用データ生成装置及びインク塗布装置の制御装置 |
JP2023104710A (ja) * | 2022-01-18 | 2023-07-28 | 武蔵エンジニアリング株式会社 | 液体材料塗布方法および塗布装置 |
CN115578462B (zh) * | 2022-11-18 | 2023-03-07 | 深圳市全正科技有限公司 | 应用于显示屏光学薄膜自动对贴的机器视觉定位控制系统 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007061734A (ja) | 2005-08-31 | 2007-03-15 | Seiko Epson Corp | 描画装置及び描画方法 |
JP2008242190A (ja) | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタ基板およびその製造方法 |
JP2010017683A (ja) | 2008-07-14 | 2010-01-28 | Shibaura Mechatronics Corp | 液滴塗布装置及び液滴塗布方法 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4675505B2 (ja) * | 2001-06-21 | 2011-04-27 | 株式会社東芝 | 塗布装置、塗布方法及び表示装置の製造方法 |
JP4320561B2 (ja) * | 2003-05-14 | 2009-08-26 | セイコーエプソン株式会社 | 液滴吐出装置 |
JP2005118672A (ja) * | 2003-10-16 | 2005-05-12 | Seiko Epson Corp | 描画装置の動作評価方法および描画装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器 |
JP4161964B2 (ja) * | 2004-03-09 | 2008-10-08 | セイコーエプソン株式会社 | パターン形成方法、パターン形成システムおよび電子機器 |
JP4042737B2 (ja) * | 2004-10-27 | 2008-02-06 | セイコーエプソン株式会社 | パターン形成システム |
TWI302333B (en) * | 2005-04-28 | 2008-10-21 | Shibaura Mechatronics Corp | Apparatus for applying paste and method of applying paste |
TW200914137A (en) * | 2007-01-30 | 2009-04-01 | Toray Eng Co Ltd | Application apparatus |
JP5352073B2 (ja) * | 2007-10-12 | 2013-11-27 | 株式会社日立製作所 | インクジェットヘッド装置 |
KR101492400B1 (ko) * | 2007-12-21 | 2015-02-12 | 도레 엔지니아린구 가부시키가이샤 | 도포장치 및 도포방법 |
JP5152053B2 (ja) * | 2009-03-17 | 2013-02-27 | セイコーエプソン株式会社 | 液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法 |
JP5606258B2 (ja) * | 2010-10-06 | 2014-10-15 | 東レエンジニアリング株式会社 | 塗布方法および塗布装置 |
JP5697967B2 (ja) * | 2010-12-20 | 2015-04-08 | 東レエンジニアリング株式会社 | 塗布方法および塗布装置 |
-
2011
- 2011-02-21 JP JP2011035219A patent/JP5663342B2/ja active Active
-
2012
- 2012-02-09 TW TW101104132A patent/TWI541073B/zh not_active IP Right Cessation
- 2012-02-13 CN CN201280009595.6A patent/CN103429356B/zh active Active
- 2012-02-13 WO PCT/JP2012/053207 patent/WO2012114916A1/ja active Application Filing
- 2012-02-13 KR KR1020137018819A patent/KR101830138B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007061734A (ja) | 2005-08-31 | 2007-03-15 | Seiko Epson Corp | 描画装置及び描画方法 |
JP2008242190A (ja) | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタ基板およびその製造方法 |
JP2010017683A (ja) | 2008-07-14 | 2010-01-28 | Shibaura Mechatronics Corp | 液滴塗布装置及び液滴塗布方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5663342B2 (ja) | 2015-02-04 |
JP2012173504A (ja) | 2012-09-10 |
KR20140037806A (ko) | 2014-03-27 |
CN103429356A (zh) | 2013-12-04 |
CN103429356B (zh) | 2015-04-08 |
WO2012114916A1 (ja) | 2012-08-30 |
TW201247331A (en) | 2012-12-01 |
TWI541073B (zh) | 2016-07-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101830138B1 (ko) | 도포 방법 및 도포 장치 | |
US20050005996A1 (en) | Liquid droplet ejection apparatus, method of ejecting liquid droplet, method of manufacturing electrooptic device, electrooptic device, electronic device, and substrate | |
WO2007132726A1 (ja) | カラーフィルタ製造方法およびその装置 | |
TW201625426A (zh) | 噴墨印刷系統和處理晶圓的方法 | |
JP4940806B2 (ja) | ペースト塗布機及びペースト塗布方法 | |
JP2004141758A (ja) | 液滴吐出装置のドット位置補正方法、アライメントマスク、液滴吐出方法、電気光学装置およびその製造方法、並びに電子機器 | |
KR20090104887A (ko) | 도포장치 | |
JP6074549B2 (ja) | 記録ヘッド、記録ヘッド調整システム、及び記録ヘッド調整方法 | |
JP3905893B2 (ja) | インクジェット吐出装置、ライン型インクジェットノズルの位置調整方法、インクジェットノズルユニットの位置調整方法、及び、配向膜形成装置 | |
JP5606258B2 (ja) | 塗布方法および塗布装置 | |
KR101993026B1 (ko) | 도포 장치 및 도포 방법 | |
JP5697967B2 (ja) | 塗布方法および塗布装置 | |
JP4974617B2 (ja) | 溶液塗布装置 | |
CN109425616B (zh) | 缺陷记录系统、膜制造系统以及膜的制造方法 | |
JP5355060B2 (ja) | インクジェット塗布装置及び塗布体の製造方法 | |
KR102569247B1 (ko) | 잉크 탄착점 보정 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 시스템 | |
KR102187198B1 (ko) | 기판 인쇄 장치 및 방법 | |
JP4887076B2 (ja) | 溶液の供給装置及び供給方法 | |
JP2006021104A (ja) | 液滴吐出装置 | |
KR20070057479A (ko) | 잉크젯 패터닝 장비의 프린트 헤드 노즐 및 기판 정렬장치및 방법 | |
KR20220089440A (ko) | 메인터넌스 유닛 및 이를 구비하는 기판 처리 장치 | |
KR20230022538A (ko) | 기판 처리 장치 및 방법 | |
KR20230098987A (ko) | 노즐 검사 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 | |
JP2012130841A5 (ko) | ||
KR20220096095A (ko) | 인쇄 이미지 측정장치, 및 이를 구비한 잉크젯 프린팅 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |