JP6862041B2 - 膜形成方法及び膜形成装置 - Google Patents
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Description
インクジェットヘッドに対して基板を相対的に移動させながら、形成すべき膜のパターンを定義するパターンデータに基づいて、前記インクジェットヘッドから前記基板に向けて液滴を吐出させて前記基板に膜を形成する膜形成方法であって、
前記インクジェットヘッドと前記基板との相対的な移動方向は、前記パターンデータで定義された液滴を塗布するパターンの間隔の最小寸法の方向に対して直交する膜形成方法が提供される。
基板を支持する支持部と、
前記基板に向けて液滴を吐出するインクジェットヘッドと、
前記支持部に支持された前記基板と、前記インクジェットヘッドとの一方を他方に対して少なくとも1次元方向に移動させる移動機構と、
前記インクジェットヘッド及び前記移動機構を制御する制御装置と
を有し、
前記制御装置は、前記基板に形成すべき膜のパターンを定義するパターンデータを記憶しており、前記インクジェットヘッド及び前記移動機構を制御して、前記基板を前記インクジェットヘッドに対して相対的に、かつ前記パターンデータで定義された液滴を塗布するパターンの間隔の最小寸法の方向に対して直交する方向に移動させながら、前記パターンデータに基づいて、前記インクジェットヘッドから前記基板に向けて液滴を吐出させて膜を形成する膜形成装置が提供される。
21 移動機構
23 支持部
24 門型フレーム
25 インクジェットヘッド
26 ヘッドブロック
27 ノズル孔
27A ノズル孔
27x x方向に並ぶノズル孔
27y y方向に並ぶノズル孔
28 支持部材
30 制御装置
31 記憶装置
35 入力装置
36 出力装置
50 基板
51 パッド部
52 接続部
53 レジスト膜
54 最小寸法を与えるエッジ
55 着弾目標位置
56、57 帯状の膜
60 膜
61、62 エッジ
70 フレキシブル基板
71 繰り出しロール
72 巻取りロール
73 移動機構
75 膜
Claims (13)
- インクジェットヘッドに対して基板を相対的に移動させながら、形成すべき膜のパターンを定義するパターンデータに基づいて、前記インクジェットヘッドから前記基板に向けて液滴を吐出させて前記基板に膜を形成する膜形成方法であって、
前記インクジェットヘッドと前記基板との相対的な移動方向は、前記パターンデータで定義された液滴を塗布するパターンの間隔の最小寸法の方向に対して直交する膜形成方法。 - 前記インクジェットヘッドは基台に支持されており、前記膜の形成時に、前記基板を前記基台に対して移動させる請求項1に記載の膜形成方法。
- インクジェットヘッドに対して基板を相対的に移動させながら、形成すべき膜のパターンを定義するパターンデータに基づいて、前記インクジェットヘッドから前記基板に向けて液滴を吐出させて前記基板に膜を形成する膜形成方法であって、
前記インクジェットヘッドと前記基板との相対的な移動方向は、前記パターンデータで定義されたパターンの最小寸法の方向に対して直交し、
前記インクジェットヘッドは、液滴を吐出する複数のノズル孔を含み、
前記基板を前記最小寸法の方向と直交する方向に移動させながら、前記パターン中の前記最小寸法を与える一方のエッジを形成し、
その後、前記基板を前記最小寸法の方向にずらし、
その後、前記基板を前記最小寸法と直交する方向に移動させながら、前記パターン中の前記最小寸法を与える他方のエッジを形成し、
前記一方のエッジと他方のエッジを形成する液滴は、前記複数のノズル孔のうち同一のノズル孔から吐出させる膜形成方法。 - 基板を支持する支持部と、
前記基板に向けて液滴を吐出するインクジェットヘッドと、
前記支持部に支持された前記基板と、前記インクジェットヘッドとの一方を他方に対して少なくとも1次元方向に移動させる移動機構と、
前記インクジェットヘッド及び前記移動機構を制御する制御装置と
を有し、
前記制御装置は、前記基板に形成すべき膜のパターンを定義するパターンデータを記憶しており、前記インクジェットヘッド及び前記移動機構を制御して、前記基板を前記インクジェットヘッドに対して相対的に、かつ前記パターンデータで定義された液滴を塗布するパターンの間隔の最小寸法の方向に対して直交する方向に移動させながら、前記パターンデータに基づいて、前記インクジェットヘッドから前記基板に向けて液滴を吐出させて膜を形成する膜形成装置。 - 前記移動機構は前記支持部に支持された前記基板を移動させる請求項4に記載の膜形成装置。
- さらに、前記インクジェットヘッドを支持する基台を有し、
前記移動機構は、前記基台に対して前記基板を移動させる請求項4に記載の膜形成装置。 - 前記インクジェットヘッドは、前記最小寸法の方向に対して直交する方向に並ぶ複数の第1のノズル孔を含み、
前記制御装置は、前記インクジェットヘッド及び前記移動機構を制御して、前記複数の第1のノズル孔の一部のノズル孔から吐出された液滴によって、前記パターン中の前記最小寸法を与える一対のエッジを形成する請求項4乃至6のいずれか1項に記載の膜形成装置。 - 基板を支持する支持部と、
前記基板に向けて液滴を吐出するインクジェットヘッドと、
前記支持部に支持された前記基板と、前記インクジェットヘッドとの一方を他方に対して少なくとも1次元方向に移動させる移動機構と、
前記インクジェットヘッド及び前記移動機構を制御する制御装置と
を有し、
前記制御装置は、前記基板に形成すべき膜のパターンを定義するパターンデータを記憶しており、前記インクジェットヘッド及び前記移動機構を制御して、前記基板を前記インクジェットヘッドに対して相対的に、かつ前記パターンデータで定義されたパターンの最小寸法の方向に対して直交する方向に移動させながら、前記パターンデータに基づいて、前記インクジェットヘッドから前記基板に向けて液滴を吐出させて膜を形成し、
前記インクジェットヘッドは、前記最小寸法の方向と平行な方向に並ぶ複数のノズル孔を有し、前記パターン中の前記最小寸法を与える一対のエッジを形成するための液滴を吐出するノズル孔のピッチを第1のピッチとしたとき、前記複数のノズル孔の列は、前記第
1のピッチより短い第2のピッチで並ぶ部分と、前記第1のピッチが確保された部分とを含み、
前記制御装置は、前記第1のピッチが確保された2つの前記ノズル孔から吐出させた液滴で前記パターン中の前記最小寸法を与える一対のエッジを形成する膜形成装置。 - 基板を支持する支持部と、
前記基板に向けて液滴を吐出するインクジェットヘッドと、
前記支持部に支持された前記基板と、前記インクジェットヘッドとの一方を他方に対して少なくとも1次元方向に移動させる移動機構と、
前記インクジェットヘッド及び前記移動機構を制御する制御装置と
を有し、
前記制御装置は、前記基板に形成すべき膜のパターンを定義するパターンデータを記憶しており、前記インクジェットヘッド及び前記移動機構を制御して、前記基板を前記インクジェットヘッドに対して相対的に、かつ前記パターンデータで定義されたパターンの最小寸法の方向に対して直交する方向に移動させながら、前記パターンデータに基づいて、前記インクジェットヘッドから前記基板に向けて液滴を吐出させて膜を形成し、
前記インクジェットヘッドは共通の支持部材に取り付けられた複数のヘッドブロックを含み、前記複数のヘッドブロックは液滴を吐出する複数のノズル孔を有し、
前記制御装置は、前記複数のヘッドブロックのうち同一のヘッドブロックの前記複数のノズル孔のいずれかのノズル孔から吐出された液滴によって、前記パターン中の前記最小寸法を与える一対のエッジを形成する膜形成装置。 - 基板を支持する支持部と、
前記基板に向けて液滴を吐出するインクジェットヘッドと、
前記支持部に支持された前記基板と、前記インクジェットヘッドとの一方を他方に対して少なくとも1次元方向に移動させる移動機構と、
前記インクジェットヘッド及び前記移動機構を制御する制御装置と
を有し、
前記制御装置は、前記基板に形成すべき膜のパターンを定義するパターンデータを記憶しており、前記インクジェットヘッド及び前記移動機構を制御して、前記基板を前記インクジェットヘッドに対して相対的に、かつ前記パターンデータで定義されたパターンの最小寸法の方向に対して直交する方向に移動させながら、前記パターンデータに基づいて、前記インクジェットヘッドから前記基板に向けて液滴を吐出させて膜を形成し、
前記移動機構は、前記基板を2次元方向に移動させる機能を持ち、
前記インクジェットヘッドは、液滴を吐出する複数のノズル孔を含み、
前記制御装置は、
前記基板を前記最小寸法の方向と直交する方向に移動させながら、前記パターン中の前記最小寸法を与える一方のエッジを形成し、
その後、前記基板を前記最小寸法の方向にずらし、
その後、前記基板を前記最小寸法と直交する方向に移動させながら、前記パターン中の前記最小寸法を与える他方のエッジを形成し、
前記一方のエッジと他方のエッジを形成する液滴は、前記複数のノズル孔のうち同一のノズル孔から吐出させる膜形成装置。 - 基板を支持する支持部と、
前記基板に向けて液滴を吐出するインクジェットヘッドと、
前記支持部に支持された前記基板と、前記インクジェットヘッドとの一方を他方に対して少なくとも1次元方向に移動させる移動機構と、
前記インクジェットヘッド及び前記移動機構を制御する制御装置と
を有し、
前記制御装置は、前記基板に形成すべき膜のパターンを定義するパターンデータを記憶しており、前記インクジェットヘッド及び前記移動機構を制御して、前記基板を前記インクジェットヘッドに対して相対的に、かつ前記パターンデータで定義されたパターンの最小寸法の方向に対して直交する方向に移動させながら、前記パターンデータに基づいて、前記インクジェットヘッドから前記基板に向けて液滴を吐出させて膜を形成し、
前記移動機構は、さらに前記支持部に支持されている前記基板を面内方向に回転させる機能を有し、
前記パターンデータで定義されるパターンの最小寸法は、相互に直交する第1の方向及び第2の方向において現れ、
前記制御装置は、前記膜を形成する際に、前記インクジェットヘッド及び前記移動機構を制御して、前記基板を、前記第1の方向に移動させながら、前記パターンデータで定義されるパターン中の前記第2の方向の最小寸法を与えるエッジを形成し、その後、前記基板を90°回転させ、その後、前記基板を、前記第2の方向に移動させながら、前記パターンデータで定義されるパターン中の前記第1の方向の最小寸法を与えるエッジを形成する膜形成装置。 - 基板を支持する支持部と、
前記基板に向けて液滴を吐出するインクジェットヘッドと、
前記支持部に支持された前記基板と、前記インクジェットヘッドとの一方を他方に対して少なくとも1次元方向に移動させる移動機構と、
前記インクジェットヘッド及び前記移動機構を制御する制御装置と
を有し、
前記制御装置は、前記基板に形成すべき膜のパターンを定義するパターンデータを記憶しており、前記インクジェットヘッド及び前記移動機構を制御して、前記基板を前記インクジェットヘッドに対して相対的に、かつ前記パターンデータで定義されたパターンの最小寸法の方向に対して直交する方向に移動させながら、前記パターンデータに基づいて、前記インクジェットヘッドから前記基板に向けて液滴を吐出させて膜を形成し、
前記移動機構は、前記基板を2次元方向に移動させる機能を持ち、
前記パターンデータで定義されるパターンの最小寸法は、相互に直交する第1の方向及び第2の方向において現れ、
前記インクジェットヘッドは、前記第1の方向に並ぶ複数のノズル孔を有する第1のヘッドブロックと、前記第2の方向に並ぶ複数のノズル孔を有する第2のヘッドブロックを含み、
前記制御装置は、前記膜を形成する際に、前記インクジェットヘッド及び前記移動機構を制御して、前記基板を、前記第1の方向に移動させながら、前記パターン中の前記第2の方向の最小寸法を与えるエッジを、前記第2のヘッドブロックの前記複数のノズル孔から吐出される液滴で形成し、その後、前記基板を、前記第2の方向に移動させながら、前記パターン中の前記第1の方向の最小寸法を与えるエッジを、前記第1のヘッドブロックの前記複数のノズル孔から吐出される液滴で形成する膜形成装置。 - 基板を支持する支持部と、
前記基板に向けて液滴を吐出するインクジェットヘッドと、
前記支持部に支持された前記基板と、前記インクジェットヘッドとの一方を他方に対して少なくとも1次元方向に移動させる移動機構と、
前記インクジェットヘッド及び前記移動機構を制御する制御装置と
を有し、
前記制御装置は、前記基板に形成すべき膜のパターンを定義するパターンデータを記憶しており、前記インクジェットヘッド及び前記移動機構を制御して、前記基板を前記インクジェットヘッドに対して相対的に、かつ前記パターンデータで定義されたパターンの最小寸法の方向に対して直交する方向に移動させながら、前記パターンデータに基づいて、前記インクジェットヘッドから前記基板に向けて液滴を吐出させて膜を形成し、
さらに、入力装置と出力装置とを有し、
前記制御装置は、
膜を形成するときの前記インクジェットヘッドに対する前記基板の移動方向を記憶しており、
前記入力装置から入力された前記パターンデータで定義されるパターンの最小寸法の方向を検出し、
検出された最小寸法の方向と前記基板の移動方向とを比較し、両者が直交の関係にないとき、前記パターンデータで定義されるパターンの最小寸法の方向が最適な方向からずれていることを通知する情報を前記出力装置から出力させる膜形成装置。
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