CN109475895A - 膜形成方法及膜形成装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种膜形成方法及膜形成装置，一边使基板相对于喷墨头相对移动，一边基于用于定义应形成膜的图案的图案数据，从喷墨头向基板吐出液滴而在所述基板形成膜。喷墨头和基板的相对移动方向与由图案数据所定义的图案的最小尺寸的方向正交。能够利用喷墨印刷技术，高精细度地形成图案中的赋予最小尺寸的边缘。

Description

膜形成方法及膜形成装置
技术领域
本发明涉及一种膜形成方法及膜形成装置。
背景技术
为了形成将触摸面板的透明导电膜进行图案化的抗蚀图案，采用光刻技术或丝网印刷技术。采用光刻技术的方法，能够形成高精细度的图案，但装置成本、废液处理成本等变高。采用丝网印刷技术的方法，在装置成本、废液处理成本方面，比采用光刻技术的方法更有利，但难以形成高精细度的图案。提出有采用喷墨印刷技术而形成抗蚀图案的技术(专利文献1)。
以往技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利第5797277号公报
发明内容
发明要解决的技术课题
要求将透明导电膜等更加高精细度地进行图案化的技术。本发明的目的在于提供一种能够使用喷墨印刷技术，高精细度地形成图案中的赋予最小尺寸的边缘的膜形成方法及膜形成装置。
用于解决技术课题的手段
根据本发明的一观点，提供一种膜形成方法，
一边使基板相对于喷墨头相对移动，一边基于用于定义应形成膜的图案的图案数据，从所述喷墨头向所述基板吐出液滴而在所述基板形成膜，其中，
所述喷墨头和所述基板的相对移动方向与由所述图案数据所定义的图案的最小尺寸的方向正交。
根据本发明的另一观点，提供一种膜形成装置，其具有：
支承部，对基板进行支承；
喷墨头，向所述基板吐出液滴；
移动机构，使被所述支承部支承的所述基板与所述喷墨头中的一个相对于另一个至少向一维方向移动；及
控制装置，控制所述喷墨头及所述移动机构，
所述控制装置中存储有用于定义应在所述基板形成膜的图案的图案数据，且控制所述喷墨头及所述移动机构，一边使所述基板相对于所述喷墨头相对移动，并且向与由所述图案数据所定义的图案的最小尺寸的方向正交的方向移动，一边基于所述图案数据，从所述喷墨头向所述基板吐出液滴而形成膜。
发明效果
能够提高应形成膜的图案中的赋予最小尺寸的一对边缘的相对位置的精度。
附图说明
图1是基于实施例的膜形成装置的示意图。
图2是表示作为应形成膜的一例，在对触摸面板的透明电极进行图案化时用作蚀刻掩模的抗蚀图案的俯视图。
图3A是表示液滴的着落目标位置及着落位置的偏差的图，图3B是表示一边使基板沿y方向移动一边形成带状膜时膜的形状的一例的图。
图4是表示应形成的抗蚀膜与喷墨头的位置关系的图。
图5是表示基于另一实施例的膜形成装置的喷墨头的配置与应形成的抗蚀膜的位置关系的图。
图6是表示基于又一实施例的膜形成装置的喷墨头的配置与应形成的抗蚀膜的位置关系的图。
图7A及图7B是表示基于又一实施例的膜形成装置的喷墨头与应形成的抗蚀膜的位置关系的图。
图8A及图8B是表示基于图7A及图7B所示的实施例的膜形成装置的喷墨头与应形成的抗蚀膜的另一位置关系的图。
图9A及图9B是表示基于又一实施例的膜形成装置的喷墨头与应形成的抗蚀膜的位置关系的图。
图10A及图10B是表示基于图9A及图9B所示的实施例的膜形成装置的喷墨头与应形成的抗蚀膜的另一位置关系的图。
图11是表示在基于又一实施例的膜形成方法中应形成膜的图案的图。
图12A及图12B是表示基于图11所示的实施例的膜形成装置的喷墨头与应形成的抗蚀膜的位置关系的图。
图13A及图13B是表示基于图12A及图12B所示的实施例的膜形成装置的喷墨头与应形成的抗蚀膜的另一位置关系的图。
图14A及图14B是表示基于又一实施例的膜形成装置的喷墨头与应形成的抗蚀膜的位置关系的图。
图15A是表示基于图14A及图14B所示的实施例的膜形成装置的喷墨头与应形成的抗蚀膜的另一位置关系的图。
图16A是基于又一实施例的膜形成装置的示意图，图16B是表示形成于柔性基板的膜的图案的一例的图。
图17是由基于又一实施例的膜形成装置的控制装置执行的步骤的流程图。
具体实施方式
参考图1～图4，对基于实施例的膜形成方法及膜形成装置进行说明。
图1中示出基于实施例的膜形成装置的示意图。在基台20经由移动机构21而支承有支承部23。在支承部23的上表面(支承面)支承基板50。移动机构21能够通过使支承部23沿与支承面平行的二维方向移动来使基板50向二维方向移动。通常，支承部23的支承面保持水平。定义将与支承面平行的两个方向设为x轴、y轴的xyz直角坐标系。
在被支承部23支承的基板50的上方配置有喷墨头25。喷墨头25通过门型框架24被基台20支承。喷墨头25包含多个头块26。多个头块26安装于共用的支承构件28。在头块26的每一个中设置有多个喷嘴孔。从喷嘴孔向基板50吐出膜材料的液滴。
使附着于基板50的液态膜材料固化，而形成膜。作为膜材料，能够使用光固化性树脂、热固化性树脂等。在喷墨头25的侧方配置有使附着于基板50的膜材料固化的光源或热源。
控制装置30控制基于移动机构21的支承部23的移动及来自喷墨头25的喷嘴孔的膜材料的吐出。控制装置30包含存储装置31，且存储装置31中储存有应形成膜的图案数据。控制装置30基于图案数据控制移动机构21及喷墨头25，由此能够在基板50形成所希望的图案的膜。
从输入装置35向控制装置30输入各种命令或数据。输入装置35例如使用键盘、指示器件、USB端口、通信装置等。向输出装置36输出与膜形成装置的动作相关的各种信息。输出装置36中，例如使用液晶显示器、扬声器、USB端口、通信装置等。
在图2中，作为应形成膜的一例，示出对触摸面板的透明电极进行图案化时用作蚀刻掩模的抗蚀膜53。透明电极通过将抗蚀膜53作为蚀刻掩模进行蚀刻来形成包括ITO等的透明导电膜。在图2中，对涂布有抗蚀剂的区域标注有点图案。
多个垫部51被配置成矩阵状，连接部52沿列方向将多个垫部51连接。在图1中所定义的xyz直角坐标系中，行方向与x方向对应，且列方向与y方向对应。在x方向上相邻的垫部51的间隔G成为图案的最小尺寸。该最小尺寸的方向为x方向，其大小例如为30μm左右。
若用于形成图案中的赋予最小尺寸的一对边缘54的液滴的着落位置向x方向偏离，则在x方向上相邻的垫部51连结。若原本应分开的两个垫部51连结，则触摸面板无法正常工作。然而，即使液滴的着落位置向y方向偏离，在x方向上分开的两个垫部51也不会连结。从而，优选使形成图案中的赋予最小尺寸的一对边缘54的液滴的在x方向上的位置精度比在y方向上的位置精度高。
接着，参考图3A及图3B，对在x方向及y方向上的液滴的着落位置精度进行说明。
图3A中示出液滴的着落目标位置及着落位置的偏差。以实线表示着落目标位置55，且以虚线表示发生偏差的多个着落位置。在膜材料的涂布时，一边使基板50(图1)沿y方向移动，一边从喷墨头25的规定喷嘴孔吐出膜材料的液滴。作为液滴的着落位置发生偏差的主要原因，认为如下：从喷嘴孔向吐出方向的偏差、基板50的移动速度的偏差、从喷嘴孔的吐出时机的偏差、液滴的吐出速度的偏差等。
这些偏差的主要原因中，从喷嘴孔向吐出方向的偏差成为在x方向及y方向这两方向上的位置的偏差的主要原因。其他3个偏差的主要原因成为在y方向上的位置的偏差的主要原因，但不会成为在x方向上的位置的偏差的主要原因。因此，在x方向上的偏差的最大宽度Dx比在y方向上的偏差的最大宽度Dy小。
图3B中示出一边使基板50(图1)沿y方向移动，一边形成了带状膜时膜的形状的一例。喷墨头25中设置有沿x方向以等间隔排列的多个喷嘴孔27。液滴的着落位置在x方向上的偏差比在y方向上的偏差小，因此在y方向上较长的带状膜56的两侧的边具有比在x方向上较长的带状膜57的两侧的边高的直线度，且膜56的宽度的偏差(x方向的位置的偏差)比膜57的宽度偏差(y方向的位置的偏差)小。
接着，参考图4，对用于形成触摸面板用透明电极的抗蚀膜的形成方法进行说明。
图4中示出应形成的抗蚀膜53与喷墨头25的位置关系。以抗蚀膜53的最小尺寸的方向与x方向一致的方式作成图案数据。通过抗蚀膜53的一对边缘54赋予最小尺寸。基于该图案数据，控制装置30(图1)控制移动机构21并一边使基板50(图1)沿y方向移动，一边从喷墨头25的各喷嘴孔27吐出膜材料的液滴。当无法通过基板50向y方向移动(以下，称为扫描)一次而在基板50的整个区域形成抗蚀膜53全体时，使基板50向x方向偏离而进行第2次以后的扫描，由此能够形成抗蚀膜53全体。
接着，对图1～图4中所示的实施例的优异效果进行说明。
使基板50向与应形成膜的图案的最小尺寸的方向(x方向)正交的方向(y方向)移动的同时形成膜时的边缘54(图4)的方向与基板50的移动方向之间的关系，和图3B的膜56的边缘的方向与基板的移动方向之间的关系相同。因此，如参考图3A及图3B进行说明，能够减少图案中的赋予最小尺寸的一对边缘54(图4)的x方向的位置的偏差，并且能够提高边缘54的直线度。由此，能够抑制在x方向上相邻的两个垫部51隔着最小尺寸的部分相互连续的情况。
进而，在上述实施例中，如图1所示，一边使喷墨头25相对于基台20而静止，且使支承部23沿y方向移动，一边形成膜。若使喷墨头25相对于基台20移动，则因喷墨头25的移动而导致在其姿势中产生略微变动。喷墨头25的姿势变动会使液滴的吐出方向发生变动，因此成为着落位置的位置精度的偏差的主要原因。上述实施例中，在膜形成时使喷墨头25相对于基台20静止，因此能够减少因喷墨头25的姿势的变动导致的着落位置的偏差。
上述实施例中，使用喷墨印刷技术而形成了抗蚀膜，但还能够形成其他膜。并且，上述实施例中，通过涂布有抗蚀剂的区域的间隙而赋予最小尺寸，但也可以通过涂布有抗蚀剂的区域而赋予最小尺寸。例如，还能够形成如包括抗蚀剂的细线的宽度成为最小尺寸的膜。在该情况下，通过应用基于实施例的方法，能够抑制在细线中产生断线。
上述实施例中，使喷墨头25静止，且在膜形成时使基板50移动，但相反地，也可以使基板50静止，且使喷墨头25移动。另外，在该情况下，有时产生因喷墨头25的姿势的变动导致的着落位置的偏差，但可得到如下效果，即抑制沿与应形成膜的图案的最小尺寸的方向(x方向)正交的方向(y方向)，使基板50与喷墨头25相对移动而引起的位置的偏差。
接着，参考图5对另一实施例进行说明。以下，对与图1～图4所示的实施例不同之处进行说明，并省略对共用结构进行说明。
图5中示出基于本实施例的膜形成装置的喷墨头25的配置与应形成的抗蚀膜53的位置关系。抗蚀膜53的图案与图2、图4所示的实施例中的抗蚀膜53的图案相同。在本实施例中，喷墨头25中设置有沿与抗蚀膜53的最小尺寸的方向(x方向)正交的方向(y方向)排列的多个喷嘴孔27y。除此以外，与图4所示的实施例相同，设置有沿x方向以等间隔排列的多个喷嘴孔27x。沿y方向排列的多个喷嘴孔27y排列成两列，且各列的多个喷嘴孔27y配置于x坐标相同的位置。
例如，头块26的每一个中设置有排列成一列的多个喷嘴孔27。两个头块26以喷嘴孔27的排列方向与y方向平行的姿势配置。由此，可实现两列份的喷嘴孔27y。通过以喷嘴孔27的排列方向与x方向平行的姿势配置多个头块26，可实现多个喷嘴孔27x。
两列喷嘴孔27y的x方向的间隔与抗蚀膜53的最小尺寸对应。在此，“对应”不是指喷嘴孔27y的x方向的间隔与最小尺寸相等，而是指通过从一列的喷嘴孔27y吐出的液滴而形成膜的边缘与通过从另一列的喷嘴孔27y吐出的液滴而形成膜的边缘的间隔变得与最小尺寸相等。
控制装置30(图1)控制喷墨头25及移动机构21(图1)，且通过从多个喷嘴孔27y的一部分喷嘴孔27y吐出的液滴形成抗蚀膜53中的赋予最小尺寸的一对边缘54。除了边缘54以外的部分通过从喷嘴孔27x吐出的液滴而形成。
图5所示的实施例中，即使多个喷嘴孔27y中的一个发生故障，也能够使用同一列内的另一喷嘴孔27y而形成赋予最小尺寸的边缘54。由此，能够减少边缘形成用头块26的更换频率。
图5所示的实施例中，将沿y方向排列的多个喷嘴孔27y构成为两列，但也可以构成为一列。在该情况下，通过第1次扫描而形成一个边缘54，且通过第2次扫描而形成另一个边缘54即可。
接着，参考图6对又一实施例进行说明。以下，对与图1～图4所示的实施例不同之处进行说明，并省略对共用的结构进行说明。
图6中示出基于本实施例的膜形成装置的喷墨头25的配置与应形成的抗蚀膜53的位置关系。喷墨头25具有沿与最小尺寸的方向(x方向)平行的方向排列的多个喷嘴孔27。将吐出液滴的喷嘴孔27的间距设为第1间距P1，所述液滴用于形成抗蚀膜53的图案中的赋予最小尺寸的一对边缘54。多个喷嘴孔27的列包含以比第1间距P1短的第2间距P2排列的部分和确保有第1间距P1的部分。在以第1间距P1排列的两个喷嘴孔27之间未配置有其他喷嘴孔。
例如，以第2间距P2排列的喷嘴孔27设置于多个头块26的每一个。以一个头块26的端(图6中的右端)的喷嘴孔27与另一个头块26的端(图6中的左端)的喷嘴孔27的间距成为第1间距P1的方式对两个头块26进行定位。
控制装置30(图1)以通过从确保有第1间距P1的两个喷嘴孔27吐出的液滴形成抗蚀膜53内的赋予最小尺寸的一对边缘54的方式控制喷墨头25及移动机构21(图1)。
图6所示的实施例中，在赋予最小尺寸的边缘54之间未配置有喷嘴孔27。因此，能够防止因喷嘴孔27的误操作等而导致液滴着落于边缘54之间。由此，能够抑制产生抗蚀膜53的应隔离的部位连续的不良情况。
接着，参考图7A～图8B对又一实施例进行说明。以下，对与图1～图4所示的实施例不同之处进行说明，并省略对共用的结构进行说明。
图7A中示出基于本实施例的膜形成装置的喷墨头25与应形成的抗蚀膜53的位置关系。抗蚀膜53的用虚线表示的区域表示还未涂布有抗蚀剂的区域。两个头块26沿y方向排列而配置。头块26的每一个中设置有沿x方向以等间隔排列的多个喷嘴孔27。一个头块26相对于另一个头块26，向x方向偏离相当于喷嘴孔27的间距的一半的距离而被固定。因此，就喷墨头25整体而言，喷嘴孔27的x方向的间距以一个头块26的喷嘴孔27的间距的一半的距离而被夹持。
如图7B所示，一边使基板50(图1)沿与最小尺寸的方向(x方向)正交的方向(y方向)移动，一边形成抗蚀膜53。在图7B中，在涂布有抗蚀剂的区域标注有点图案。抗蚀膜53中的赋予最小尺寸的一个边缘54通过从一个头块26的一个喷嘴孔27吐出的液滴而形成。
如图8A所示，使基板50(图1)向最小尺寸的方向(x方向)偏离。由此，成为能够对通过第1次扫描未涂布有抗蚀剂的区域涂布从喷墨头25吐出的液滴的状态。
如图8B所示，一边使基板50(图1)沿与最小尺寸的方向(x方向)正交的方向(y方向)移动，一边形成抗蚀膜53。通过该扫描，形成抗蚀膜53中的赋予最小尺寸的一对边缘54中，通过图7B的工序未形成的情况下的边缘54。此时，吐出形成边缘54的液滴的头块26与吐出通过图7B的工序形成又一边缘54的液滴的头块26相同。
若通过从不同的头块26吐出的液滴形成一对边缘54，则该位置精度会受到头块26对于支承构件28(图1)的安装精度的影响。图7A～图8B所示的实施例中，一对边缘54通过从相同的头块26吐出的液滴而形成，因此一对边缘54的相对位置精度不会受到头块26的安装位置公差的影响。由此，能够抑制一对边缘54的相对位置精度的降低。
图7A～图8B所示的例中，通过第2次扫描而形成了赋予最小尺寸的一对边缘54。当一个头块26的喷嘴孔27的间距与赋予最小尺寸的一对边缘54的间隔对应时，可以通过第1次扫描而形成一对边缘54。
接着，参考图9A～图10B对又一实施例进行说明。以下，对与图7A～图8B所示的实施例不同之处进行说明，并省略对共用的结构进行说明。
图9A中示出基于本实施例的膜形成装置的喷墨头25与应形成的抗蚀膜53的位置关系。抗蚀膜53的以虚线表示的区域表示还未涂布有抗蚀剂的区域。喷墨头25中设置有沿x方向以等间隔排列的多个喷嘴孔27。
如图9B所述，一边使基板50(图1)沿与最小尺寸的方向(x方向)正交的方向(y方向)移动，一边形成抗蚀膜53。在图9B中，在涂布有抗蚀剂的区域标注有点图案。抗蚀膜53中的赋予最小尺寸的一边缘54通过从喷墨头25的一个喷嘴孔27A吐出的液滴而形成。
如图10A所示，使基板50(图1)沿最小尺寸的方向(x方向)偏离相当于与最小尺寸对应的距离。由此，成为能够通过喷嘴孔27A吐出的液滴形成通过第1次扫描未形成的边缘54的状态。
如图10B所示，一边使基板50(图1)沿与最小尺寸的方向(x方向)正交的方向(y方向)移动，一边形成抗蚀膜53。通过该扫描，形成抗蚀膜53中的赋予最小尺寸的一对边缘54中，通过图9B的工序未形成的边缘54。吐出形成边缘54的液滴的喷嘴孔27A与吐出在图9B的工序中形成一个边缘54的液滴的喷嘴孔27A相同。
图9A～图10B所示的实施例中，边缘54的位置不会受到每一个喷嘴孔27的液滴的吐出方向的偏差的影响。因此，能够进一步减少一对边缘54的相对位置关系的偏差。
接着，参考图11～图13B对又一实施例进行说明。以下，对与图1～图4所示的实施例不同之处进行说明，并省略对共用的结构进行说明。本实施例中，移动机构21(图1)具有使基板50沿支承面的面内方向(以与支承面垂直的轴为中心的旋转方向)旋转的功能。
图11中示出应形成膜60的图案。图1～图4所示的实施例中，抗蚀膜53为最小尺寸的方向仅为x方向的1方向。在本实施例中，配置成矩阵状的多个孤立图案的行方向(x方向)的间隔G及列方向(y方向)的间隔G相等，且间隔G为图案的最小尺寸。即，最小尺寸的方向成为x方向及y方向这两方向。
图12A中示出基于本实施例的膜形成装置的喷墨头25与应形成膜60的位置关系。膜60的以虚线表示的区域表示还未涂布有膜材料的区域。喷墨头25中设置有沿x方向以等间隔排列的多个喷嘴孔27。
如图12B所示，一边使基板50(图1)沿与一最小尺寸的方向(x方向)正交的方向(y方向)移动，一边形成膜60的一部分。在图12B中，在涂布有膜材料的区域标注有点图案。对包含x方向的赋予最小尺寸的一对边缘61的区域涂布膜材料。在包含y方向的赋予最小尺寸的一对边缘62的区域未涂布膜材料。
如图13A所示，控制装置30(图1)控制移动机构21，并使基板50旋转90°。由此，已形成的边缘61赋予y方向的最小尺寸，且未形成的边缘62赋予x方向的最小尺寸。
如图13B所示，一边使基板50(图1)沿与在未形成的边缘62赋予的最小尺寸的方向(x方向)正交的方向(y方向)移动，一边形成膜60。通过该扫描，将膜材料涂布于包含膜60的图案中的赋予最小尺寸的一对边缘62的区域。
在图11～图13B中示出的实施例中，赋予相互正交的方向的最小尺寸的边缘均在同时沿与最小尺寸的方向正交的方向对基板进行扫描时形成。因此，在任意边缘中，也能够提高直线度，并且提高一对边缘的相对位置精度。
接着，参考图14A～图15A对又一实施例进行说明。以下，对与图11～图13B所示的实施例不同之处进行说明，并省略对共用的结构进行说明。
图14A中示出基于本实施例的膜形成装置的喷墨头25与应形成膜60的位置关系。膜60的以虚线表示的区域表示还未涂布有膜材料的区域。喷墨头25包含设置有沿x方向以等间隔排列的多个喷嘴孔27的头块26和设置有沿y方向以等间隔排列的多个喷嘴孔27的另一个头块26。
如图14B所示，一边使基板50(图1)沿与一最小尺寸的方向(x方向)正交的方向(y方向)移动，一边形成膜60的一部分。在图14B中，对涂布有膜材料的区域标注有点图案。对包含x方向的赋予最小尺寸的一对边缘61的区域涂布从具有沿x方向排列的喷嘴孔27的头块26吐出的膜材料。
如图15A所示，一边使基板50(图1)沿与另一最小尺寸的方向(y方向)正交的方向(x方向)移动，一边对在图14B的工序中未涂布膜材料的区域涂布膜材料，并完成了膜60。在图15A中，对涂布有膜材料的区域标注有点图案。通过该扫描，形成y方向的赋予最小尺寸的一对边缘62。
在本实施例中，也与图11～图13B所示的实施例相同，赋予相互正交的方向的最小尺寸的边缘均在同时沿与最小尺寸的方向正交的方向对基板进行扫描时形成。因此，在任意边缘中，都能够提高直线度，并且提高一对边缘的相对位置精度。
接着，参考图16A及图16B对又一实施例进行说明。以下，对与图1～图4所示的实施例不同之处进行说明，并省略对共用的结构进行说明。
图16A中示出基于本实施例的膜形成装置的示意图。从输送辊71向卷取辊72传送柔性基板70。控制装置30控制移动机构73，由此使输送辊71及卷取辊72旋转。在从输送辊71输送而卷取于卷取辊72之间的柔性基板70的上方配置有喷墨头25。喷墨头25的结构与图1～图4所示的实施例的喷墨头25的结构相同。
柔性基板70的传送方向与图1～图4的实施例中的基板50的扫描方向(y方向)对应，且柔性基板70的宽度方向与图1～图4的实施例中的x方向对应。一边向y方向传送柔性基板70，一边从喷墨头25吐出膜材料的液滴，由此能够在柔性基板70形成膜。
图16B中示出形成于柔性基板70的膜75的图案的一例。将膜75的图案的最小尺寸的方向设为宽度方向(x方向)。控制装置30(图16A)控制柔性基板70的传送速度及来自喷墨头25的膜材料的吐出。
在本实施例中，也与图1～图4所示的实施例相同，喷墨头25与柔性基板70的相对移动方向与应形成膜的图案的最小尺寸的方向正交。因此，可得到与图1～图4所示的实施例相同的效果。
接着，参考图17对又一实施例进行说明。以下，对与图1～图4所示的实施例不同之处进行说明，并省略对共用的结构进行说明。
图17中示出由基于本实施例的膜形成装置的控制装置30执行的步骤的流程图。首先，将从输入装置35(图1)输入的图案数据储存于存储装置31(图1)(步骤S1)。检测由所输入的图案数据进行定义的图案的最小尺寸的方向(步骤S2)。对最小尺寸的方向与膜形成时的基板的移动方向进行比较(步骤S3)。将膜形成时的基板的移动方向预先存储在控制装置30。
当两者为正交的关系时，执行膜形成(步骤S4)。当两者不是正交的关系时，控制装置30向输出装置36(图1)输出通知图案数据的最小尺寸的方向从最佳方向偏离的情况的信息(步骤S5)。
操作人员看到从输出装置36输出的信息而能够知道图案数据的最小尺寸的方向从最佳方向偏离的情况。操作人员以使最小尺寸的方向旋转的方式对图案数据进行修正。从输入装置35再次输入已进行修正的图案数据。由此，能够抑制赋予最小尺寸的图案中的边缘的相对位置精度的降低。
可以对输出到输出装置的信息输出由现有的图案数据进行定义的图案的最小尺寸的方向。并且，当最小尺寸的方向与膜形成时的基板的移动方向不是正交的关系时，可以以两者成为正交的关系的方式自动修正图案数据。
上述各实施例为例示，当然能够进行不同实施例所示的结构的局部替换或组合。关于基于与多个实施例共用的结构的相同的效果，并未在每一实施例逐一提及。进而，本发明并不限定于上述实施例。例如，能够进行各种变更、改良、组合等，对于本领域技术人员而言是显而易见的。
符号说明
20-基台，21-移动机构，23-支承部，24-门型框架，25-喷墨头，26-头块，27-喷嘴孔，27A-喷嘴孔，27x-沿x方向排列的喷嘴孔，27y-沿y方向排列的喷嘴孔，28-支承构件，30-控制装置，31-存储装置，35-输入装置，36-输出装置，50-基板，51-垫部，52-连接部，53-抗蚀膜，54-赋予最小尺寸的边缘，55-着落目标位置，56、57-带状膜，60-膜，61、62-边缘，70-柔性基板，71-输送辊，72-卷取辊，73-移动机构，75-膜。

Claims (13)

1.一种膜形成方法，一边使基板相对于喷墨头相对移动，一边基于用于定义应形成膜的图案的图案数据，从所述喷墨头向所述基板吐出液滴而在所述基板形成膜，其中，
所述喷墨头和所述基板的相对移动方向与所述图案的最小尺寸的方向正交。
2.根据权利要求1所述的膜形成方法，其中，
所述喷墨头被基台支承，且形成所述膜时，使所述基板相对于所述基台移动。
3.根据权利要求1或2所述的膜形成方法，其中，
所述喷墨头包含吐出液滴的多个喷嘴孔，
一边使所述基板沿与所述最小尺寸的方向正交的方向移动，一边形成所述图案中的赋予所述最小尺寸的一个边缘，
之后，使所述基板向所述最小尺寸的方向偏离，
之后，一边使所述基板沿与所述最小尺寸的方向正交的方向移动，一边形成所述图案中的赋予所述最小尺寸的另一个边缘，
形成所述一个边缘和另一个边缘的液滴从多个所述喷嘴孔中的同一喷嘴孔吐出。
4.一种膜形成装置，其具有：
支承部，对基板进行支承；
喷墨头，向所述基板吐出液滴；
移动机构，使被所述支承部支承的所述基板与所述喷墨头中的一个相对于另一个至少向一维方向移动；及
控制装置，控制所述喷墨头及所述移动机构，
所述控制装置中存储有用于定义应在所述基板形成膜的图案的图案数据，且控制所述喷墨头及所述移动机构，一边使所述基板相对于所述喷墨头相对移动，并且向与所述图案的最小尺寸的方向正交的方向移动，一边基于所述图案数据，从所述喷墨头向所述基板吐出液滴而形成膜。
5.根据权利要求4所述的膜形成装置，其中，
所述移动机构使被所述支承部支承的所述基板移动。
6.根据权利要求4所述的膜形成装置，其还具有支承所述喷墨头的基台，
所述移动机构使所述基板相对于所述基台移动。
7.根据权利要求4至6中任一项所述的膜形成装置，其中，
所述喷墨头包含沿与所述图案的最小尺寸的方向正交的方向排列的多个第1喷嘴孔，
所述控制装置控制所述喷墨头及所述移动机构，且通过从多个所述第1喷嘴孔的一部分第1喷嘴孔吐出的液滴而形成所述图案中的赋予最小尺寸的一对边缘。
8.根据权利要求4至7中任一项所述的膜形成装置，其中，
所述喷墨头具有沿与所述图案的最小尺寸的方向平行的方向排列的多个第2喷嘴孔，将吐出用于形成所述图案中的赋予最小尺寸的一对边缘的液滴的第2喷嘴孔的间距设为第1间距时，多个所述第2喷嘴孔的列包含以比所述第1间距短的第2间距排列的部分和确保有所述第1间距的部分，
所述控制装置通过从确保有所述第1间距的两个所述第2喷嘴孔吐出的液滴形成所述图案中的赋予最小尺寸的一对边缘。
9.根据权利要求4至6中任一项所述的膜形成装置，其中，
所述喷墨头包含安装在共用的支承构件的多个头块，多个所述头块具有吐出液滴的多个喷嘴孔，
所述控制装置通过从多个所述头块中的同一头块的多个所述喷嘴孔中的任一个喷嘴孔吐出的液滴，形成所述图案中的赋予最小尺寸的一对边缘。
10.根据权利要求4至6中任一项所述的膜形成装置，其中，
所述移动机构具有使所述基板沿二维方向移动的功能，
所述喷墨头包含吐出液滴的多个喷嘴孔，
所述控制装置一边使所述基板沿与所述图案的最小尺寸的方向正交的方向移动，一边形成所述图案中的赋予最小尺寸的一个边缘，
之后，使所述基板向所述图案的最小尺寸的方向偏离，
之后，一边使所述基板沿与所述图案的最小尺寸的方向正交的方向移动，一边形成所述图案中的赋予最小尺寸的另一个边缘，
形成赋予所述图案的最小尺寸的一个边缘和另一个边缘的液滴从多个所述喷嘴孔中的同一喷嘴孔吐出。
11.根据权利要求4至10中任一项所述的膜形成装置，其中，
所述移动机构还具有使被所述支承部支承的所述基板沿面内方向旋转的功能，
所述图案的最小尺寸显现在相互正交的第1方向及第2方向上，
在形成所述膜时，所述控制装置控制所述喷墨头及所述移动机构，且一边使所述基板沿所述第1方向移动，一边形成所述图案中的所述第2方向上的赋予最小尺寸的边缘，之后，使所述基板旋转90°，之后，一边使所述基板沿所述第2方向移动，一边形成所述图案中的所述第1方向上的赋予最小尺寸的边缘。
12.根据权利要求4至6中任一项所述的膜形成装置，其中，
所述移动机构具有使所述基板沿二维方向移动的功能，
所述图案的最小尺寸显现在相互正交的第1方向及第2方向上，
所述喷墨头包含具有沿所述第1方向排列的多个第1喷嘴孔的第1头块和具有沿所述第2方向排列的多个第2喷嘴孔的第2头块，
在形成所述膜时，所述控制装置控制所述喷墨头及所述移动机构，且一边使所述基板沿所述第1方向移动，一边通过从所述第2头块的多个所述第2喷嘴孔吐出的液滴形成所述图案中的所述第2方向上的赋予最小尺寸的边缘，之后，一边使所述基板沿所述第2方向移动，一边通过从所述第1头块的多个所述第1喷嘴孔吐出的液滴形成所述图案中的所述第1方向上的赋予最小尺寸的边缘。
13.根据权利要求4至12中任一项所述的膜形成装置，其还具有输入装置和输出装置，
所述控制装置中存储有所述基板相对于形成膜时的所述喷墨头的移动方向，
检测出从所述输入装置输入的所述图案的最小尺寸的方向，
对所检测出的最小尺寸的方向和所述基板的移动方向进行比较，两者不处于正交关系时，使所述输出装置输出通知所述图案的最小尺寸的方向从最佳方向偏离的情况的信息。
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