WO2020039952A1 - 描画装置および描画方法 - Google Patents
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Abstract
Description
<全体構成>
第1実施形態に係る描画装置1について図1A、および図1Bを参照し説明する。図1Aは、第1実施形態に係る描画装置1の概略構成を示す平面図である。図1Bは、第1実施形態に係る描画装置1の概略構成を示す側面図である。なお、図1Aでは、制御装置9など一部の構成が省略されている。
次に、第1実施形態に係る描画装置1の描画手順について図3A~図15Bを参照し説明する。図3A~図15Bは、第1実施形態に係る描画装置1の描画手順を示す模式図(その1~その13)である。
次に、第1実施形態に係る描画処理について図16を参照し説明する。図16は、第1実施形態に係る描画処理を説明するフローチャートである。なお、ここでは、1枚の基板Sが搬入され、描画が行われた後に搬出されるまでの処理について説明する。
従来、基板を搬送しながら描画を行う比較例に係る描画装置は、例えば、基板を載置台に載置し、載置台を移動させて描画を行っている。
次に、第2実施形態に係る描画装置1について図17A、および図17Bを参照し説明する。図17Aは、第2実施形態に係る描画装置1の概略構成を示す平面図である。図17Bは、第2実施形態に係る描画装置1の概略構成を示す側面図である。図17Aでは、制御装置9など一部の構成が省略されている。ここでは、第1実施形態とは異なる箇所を中心に説明する。なお、第1実施形態と同じ構成については、第1実施形態と同じ符号を付し、詳しい説明は省略する。
次に、第2実施形態に係る描画装置1の重量計測手順について図19A~図19Dを参照し説明する。図19Aは、第2実施形態に係る描画装置1の重量計測手順を示す模式図(その1)である。図19Bは、第2実施形態に係る描画装置1の重量計測手順を示す模式図(その2)である。図19Cは、第2実施形態に係る描画装置1の重量計測手順を示す模式図(その3)である。図19Dは、第2実施形態に係る描画装置1の重量計測手順を示す模式図(その4)である。
次に、第2実施形態に係る重量計測処理について図20を参照し説明する。図20は、第2実施形態に係る重量計測処理を説明するフローチャートである。
描画装置1は、第2ソータ51など(支持部の一例)と、駆動部53(移動部の一例)と、描画部32と、計測部101とを備える。第2ソータ51などは、基板S(ワークの一例)を下方から支持する。駆動部53は、第2ソータ51などを水平方向に沿って移動させる。描画部32は、液滴を吐出して基板Sに描画を行う。計測部101は、基板Sが搬送される描画エリアA(エリアの一例)から幅方向(支持部の移動方向に直交する水平方向)に離間した位置に設けられ、描画部32から吐出される液滴の重量を計測する。
変形例に係る描画装置1は、1回の描画によって基板Sへの描画を完了してもよい。また、変形例に係る描画装置1は、3回以上の描画によって基板Sへの描画を完了してもよい。また、変形例に係る描画装置1は、例えば、2回目の描画を、描画ステージ3から搬出ステージ4に搬送する際に行ってもよい。
2 搬入ステージ
3 描画ステージ
4 搬出ステージ
5 移動装置
6 エア調整装置
7 描画状態検出装置
8 フラッシング部
9 制御装置
20 第1浮上部
21 第2浮上部(調整部、第3調整部)
22 付着物検出装置
30 第1浮上部(調整部、第1調整部)
31 第2浮上部(調整部、第2調整部)
31a 溝
32 描画部
40 浮上部(調整部)
50 第1ソータ(支持部)
51 第2ソータ(支持部)
52 第3ソータ(支持部)
53 駆動部(移動部、調整移動部)
100 重量計測装置
101 計測部
102 風防部(遮蔽部)
103 バス部
104 天秤部
105 吸引部
Claims (17)
- ワークを下方から支持する複数の支持部と、
前記支持部を水平方向に沿って移動させる移動部と、
前記支持部に支持された前記ワークに対して下方から空気を吹き付けて前記ワークの浮上高を調整する調整部と、
前記調整部によって前記浮上高が調整され、前記支持部に支持されて移動する前記ワークに描画を行う描画部と
を備え、
前記調整部は、
前記支持部の移動方向において前記描画部よりも上流側に設けられた第1調整部と、
前記描画部の下方に設けられ、前記第1調整部よりも前記ワークの浮上高を高精度に調整する第2調整部と
を備える描画装置。 - 前記第2調整部には、
前記支持部が移動可能な溝が形成される
請求項1に記載の描画装置。 - 前記移動部は、
前記描画部によって描画が行われた前記ワークを支持する前記支持部を、前記ワークの面方向であり、前記移動方向に直交する直交方向に移動させ、
前記描画部は、
前記直交方向に移動された前記ワークに再び描画を行う
請求項1または2に記載の描画装置。 - 前記直交方向への前記支持部の移動に合わせて、前記第2調整部を前記直交方向へ移動させる調整移動部
を備える請求項3に記載の描画装置。 - 前記調整部は、
前記移動方向において、前記第1調整部よりも上流側に設けられ、前記第1調整部よりも前記ワークの浮上高を高精度に調整する第3調整部と、
前記第3調整部によって前記空気が吹き付けられた前記ワークに対して付着物の有無を検出する付着物検出装置と
を備える請求項1~4のいずれか一つに記載の描画装置。 - 前記調整部の上方に設けられ、前記描画部の描画状態を検出する描画状態検出装置
を備える請求項1~5のいずれか一つに記載の描画装置。 - 前記描画状態検出装置は、
前記描画部によって前記ワークへの描画が終了し、次のワークが前記第1調整部まで搬送される際に前記描画状態を検出する
請求項6に記載の描画装置。 - 前記調整部の上方に設けられ、前記描画部のフラッシングが行われるフラッシング部
を備える請求項1~7のいずれか一つに記載の描画装置。 - 前記描画部は、前記移動方向に直交する直交方向に沿って配置される複数のキャリッジ
を備え、
前記複数のキャリッジは、
前記直交方向における位置をそれぞれ調整可能である
請求項1~8のいずれか一つに記載の描画装置。 - 前記複数のキャリッジは、
機能液の吐出タイミングをそれぞれ調整可能である
請求項9に記載の描画装置。 - 前記ワークが搬送されるエリアから前記支持部の移動方向に直交する水平方向に離間した位置に設けられ、前記描画部から吐出される液滴の重量を計測する計測部
を備える請求項1~10のいずれか一つに記載の描画装置。 - 前記描画部は、
前記液滴を吐出する複数のヘッドを有する複数のキャリッジ
を備え、
前記計測部は、
前記キャリッジ毎に前記液滴の重量を計測する
請求項11に記載の描画装置。 - 前記計測部は、
前記ヘッドの数に対応して設けられ、吐出される前記液滴の重量を計測する複数の天秤部
を備える請求項12に記載の描画装置。 - 前記液滴の重量を計測する場合に、前記天秤部の開口を遮蔽する遮蔽部
を備える請求項13に記載の描画装置。 - 前記遮蔽部は、
重量が計測された前記液滴を吸引して排出する吸引部
を備える請求項14に記載の描画装置。 - 前記吸引部は、
前記天秤部の数に対応して複数設けられ、前記複数の天秤部から前記液滴を吸引する
請求項15に記載の描画装置。 - 複数の支持部によってワークを下方から支持する工程と、
前記支持部を水平方向に沿って移動させる工程と、
前記支持部に支持されて移動する前記ワークに描画を行う工程と、
前記支持部の移動方向において前記ワークに描画を行う箇所よりも上流側で、前記支持部に支持された前記ワークに対して下方から空気を吹き付けて前記ワークの第1浮上高調整を行う工程と
前記ワークに描画を行う箇所の下方で、前記支持部に支持された前記ワークに対して下方から空気を吹き付けて前記ワークの浮上高を調整し、前記第1浮上高調整よりも前記ワークの浮上高を高精度に調整する第2浮上高調整を行う工程と、
を有する描画方法。
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