JP5832779B2 - 液滴塗布装置及び液滴塗布方法 - Google Patents
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Description
塗布液の液滴を吐出する複数のノズルが並ぶノズル列を有するインクジェット式の塗布ヘッドと、
前記ステージと前記塗布ヘッドとを前記ステージ上の前記塗布対象物の前記塗布面に沿って前記ノズル列に交差する第1の方向に相対移動させる移動装置と、
前記塗布面上における前記液滴の塗布位置を示す情報を含む塗布パターンを設定するパターン設定部と、
前記パターン設定部により設定された前記塗布パターンに基づいて前記塗布ヘッド及び前記移動装置を制御し、前記ステージ上の前記塗布対象物の前記塗布面に液滴を塗布する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記パターン設定部により設定された前記塗布パターンが前記複数のノズルの中で近接して位置するノズルから液滴を同時に吐出させる塗布パターンであったとき、当該近接して位置するノズル同士において、前記パターン設定部により設定された前記塗布パターンでの前記第1の方向における塗布位置のピッチの範囲内のずれ量で、当該塗布パターンにより定められた前記塗布位置に対して前記液滴の実際の塗布位置を前記第1の方向にずらすように前記ノズルからの液滴の吐出を制御する。
前記塗布パターンが前記複数のノズルの中で近接して位置するノズルから液滴を同時に吐出させる塗布パターンであったとき、当該近接して位置するノズル同士において、前記塗布パターンでの前記第1の方向における塗布位置のピッチの範囲内のずれ量で、当該塗布パターンにより定められた前記塗布位置に対して前記液滴の実際の塗布位置を前記第1の方向にずらすように前記ノズルからの液滴の吐出を制御する。
第1の実施形態について図1ないし図5を参照して説明する。
本発明の第2の実施形態について図6ないし図8を参照して説明する。
位置検出器8dからの位置信号は、信号線(電線)を通じて各駆動制御部15a及び15bに伝えられる。信号が信号線を伝わる速度は一定であるため、信号線の長さが違えばそれぞれの駆動制御部15a及び15bまで伝わる時間に差が生じる。
各駆動制御部15a及び15bは、プリント基板にIC(集積回路)、抵抗器、コンデンサーなどの電子部品を実装して構成されているが、これらの電子部品やプリント基板には個体差があり、同じ計算処理(ステージ2の移動位置の算出処理)を行う場合でも各駆動制御部15a及び15bの間で処理時間に差が生じる。
本発明に係る前述の実施形態は例示であり、発明の範囲はそれらに限定されない。前述の実施形態は種々変更可能であり、例えば、前述の実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素が削除されても良く、さらに、異なる実施形態に係る構成要素が適宜組み合わされても良い。
2 ステージ
3 ステージ移動装置(移動装置)
4 塗布ヘッド
8a 制御部
8b パターン設定部
8c パターン変換部
8d 位置検出器
15 駆動制御部
15a 駆動制御部
15b 駆動制御部
W 塗布対象物
Wa 塗布面
Claims (9)
- 塗布面を有する塗布対象物を支持するステージと、
塗布液の液滴を吐出する複数のノズルが並ぶノズル列を有するインクジェット式の塗布ヘッドと、
前記ステージと前記塗布ヘッドとを前記ステージ上の前記塗布対象物の前記塗布面に沿って前記ノズル列に交差する第1の方向に相対移動させる移動装置と、
前記塗布面上における前記液滴の塗布位置を示す情報を含む塗布パターンを設定するパターン設定部と、
前記パターン設定部により設定された前記塗布パターンに基づいて前記塗布ヘッド及び前記移動装置を制御し、前記ステージ上の前記塗布対象物の前記塗布面に液滴を塗布する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記パターン設定部により設定された前記塗布パターンが前記複数のノズルの中で近接して位置するノズルから液滴を同時に吐出させる塗布パターンであったとき、当該近接して位置するノズル同士において、前記パターン設定部により設定された前記塗布パターンでの前記第1の方向における塗布位置のピッチの範囲内のずれ量で、当該塗布パターンにより定められた前記塗布位置に対して前記液滴の実際の塗布位置を前記第1の方向にずらすように前記ノズルからの液滴の吐出を制御することを特徴とする液滴塗布装置。 - 前記近接して位置するノズル同士において、前記パターン設定部により設定された前記塗布パターンでの前記第1の方向における塗布位置のピッチの範囲内のずれ量で、当該塗布パターンにより定められた前記塗布位置を前記第1の方向にずらし、当該塗布パターンを変換するパターン変換部を備え、
前記制御部は、前記パターン変換部により変換された前記塗布パターンに基づいて前記ノズルからの液滴の吐出を制御することを特徴とする請求項1記載の液滴塗布装置。 - 前記近接して位置するノズルは、液滴を同時に吐出したときに互いの液滴の吐出に影響を及ぼす範囲内に位置する所定数のノズルであり、
前記制御部は、前記近接して位置するノズル同士において、前記塗布位置のピッチを前記所定数で割った値分だけ、前記液滴の実際の塗布位置を前記第1の方向にずらすように前記ノズルからの液滴の吐出を制御することを特徴とする請求項1または2記載の液滴塗布装置。 - 前記ステージと前記塗布ヘッドとの前記第1の方向の相対位置を検出する位置検出器を備え、
前記塗布ヘッドは、前記ノズル列を複数列有しており、前記ノズル列毎に前記複数のノズルからの前記液滴の吐出を制御する駆動制御部を備えており、
前記ノズル列毎の駆動制御部のうち一つの駆動制御部は主の駆動制御部であり、他の駆動制御部は従属の駆動制御部であり、
前記従属の駆動制御部は、前記主の駆動制御部により前記位置検出器の位置信号に基づいて生成された吐出タイミング信号を取得することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の液滴塗布装置。 - 塗布面を有する塗布対象物を支持するステージと、
塗布液の液滴を吐出する複数のノズルが並ぶノズル列を有するインクジェット式の塗布ヘッドと、
前記ステージと前記塗布ヘッドとを前記ステージ上の前記塗布対象物の前記塗布面に沿って前記ノズル列に交差する第1の方向に相対移動させる移動装置と、
前記塗布面上における前記液滴の塗布位置を示す情報を含む塗布パターンを設定するパターン設定部と、
前記パターン設定部により設定された前記塗布パターンに基づいて前記塗布ヘッド及び前記移動装置を制御し、前記ステージ上の前記塗布対象物の前記塗布面に液滴を塗布する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記パターン設定部により設定された前記塗布パターンが前記複数のノズルの中で近接して位置するノズルから液滴を同時に吐出させる塗布パターンであったとき、当該近接して位置するノズル同士において前記液滴の吐出タイミングをずらすように前記ノズルからの液滴の吐出を制御するものであり、
さらに、前記ステージと前記塗布ヘッドとの前記第1の方向の相対位置を検出する位置検出器を備え、
前記塗布ヘッドは、前記ノズル列を複数列有しており、前記ノズル列毎に前記複数のノズルからの前記液滴の吐出を制御する駆動制御部を備えており、
前記ノズル列毎の駆動制御部のうち一つの駆動制御部は主の駆動制御部であり、他の駆動制御部は従属の駆動制御部であり、
前記従属の駆動制御部は、前記主の駆動制御部により前記位置検出器の位置信号に基づいて生成された吐出タイミング信号を取得することを特徴とする液滴塗布装置。 - 前記制御部は、前記複数のノズル列の列間隔が、前記パターン設定部により設定された前記塗布パターンでの前記第1の方向における塗布位置のピッチを等分割した間隔の整数倍であるか否かを判別し、前記間隔の整数倍でないと判別した場合、前記列間隔を前記間
隔で割った商の端数を切上げ又は切捨て、前記列間隔が前記間隔の整数倍であると認識し、前記ノズルからの液滴の吐出を制御することを特徴とする請求項4又は5記載の液滴塗布装置。 - 複数のノズルが並ぶノズル列を有するインクジェット式の塗布ヘッドと塗布対象物とを前記塗布対象物の塗布面に沿って前記ノズル列に交差する第1の方向に相対移動させ、前記塗布面上における前記液滴の塗布位置を示す情報を含む塗布パターンに基づいて前記ノズルから前記塗布面に向けて塗布液の液滴を吐出させ、前記塗布面に前記塗布液の液滴を塗布する液滴塗布方法であって、
前記塗布パターンが前記複数のノズルの中で近接して位置するノズルから液滴を同時に吐出させる塗布パターンであったとき、当該近接して位置するノズル同士において、前記塗布パターンでの前記第1の方向における塗布位置のピッチの範囲内のずれ量で、当該塗布パターンにより定められた前記塗布位置に対して前記液滴の実際の塗布位置を前記第1の方向にずらすように前記ノズルからの液滴の吐出を制御することを特徴とする液滴塗布方法。 - 前記近接して位置するノズル同士において、前記塗布パターンでの前記第1の方向における塗布位置のピッチの範囲内のずれ量で、当該塗布パターンにより定められた前記塗布位置を前記第1の方向にずらして当該塗布パターンを変換し、変換した前記塗布パターンに基づいて前記ノズルからの液滴の吐出を制御することを特徴とする請求項7記載の液滴塗布方法。
- 前記近接して位置するノズルは、液滴を同時に吐出したときに互いの液滴の吐出に影響を及ぼす範囲内に位置する所定数のノズルであり、
前記近接して位置するノズル同士において、前記塗布位置のピッチを前記所定数で割った値分だけ、前記液滴の実際の塗布位置を前記第1の方向にずらすように前記ノズルからの液滴の吐出を制御することを特徴とする請求項7又は8記載の液滴塗布方法。
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