TWI530326B - 液滴噴出裝置之控制方法、液滴噴出裝置 - Google Patents

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Description

液滴噴出裝置之控制方法、液滴噴出裝置
本發明係關於一種液滴噴出裝置之控制方法、及液滴噴出裝置，詳細而言係關於一種液滴噴出頭之待機時之控制者。
例如，作為圖像之描畫或各種成膜機構，眾所周知有向基材等之表面噴出液狀體(功能液)之液滴的液滴噴出裝置。液滴噴出裝置一般根據其噴出對象將複數個功能液切換而噴出。根據功能液之種類，其黏度等特性有所不同，因此為獲得最佳噴出特性而根據功能液之種類對液滴噴出頭進行適當控制(例如參照專利文獻1)。
如此之液滴噴出裝置於未噴出液滴之待機時，為防止噴出頭內之功能液之黏度增加，而使噴出頭之振動板以較液滴噴出時更微小之振幅進行微振動。上述微振動之頻率例如為數十kHz左右。
若於噴出頭之待機時進行微振動，則可抑制噴出頭內之功能液之黏度增加，但另一方面，藉由功能液之運動，噴出頭之溫度會上升至微振動時之飽和溫度。而且，若噴出頭自待機狀態轉移至描畫狀態，則噴出頭會因功能液之連續供給而被冷卻，並收斂至噴出時之飽和溫度。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2003-21714號公報
然而，先前之液滴噴出裝置在使用複數個功能液中之任一功能液時，均於待機時對噴出頭賦予同樣之微振動。因此，存在如下問題：藉由以黏度等為代表之特性不同之功能液，而存在微振動時之飽和溫度與噴出時之飽和溫度之差變得明顯之情形，從而噴出特性不穩定。
本發明之若干態樣均係鑒於上述情況而完成者，提供一種液滴噴出裝置之控制方法，其於將特性不同之複數種功能液切換而噴出時，無論噴出哪一種功能液，均能以特定之噴出特性穩定地噴出功能液。
又，提供一種能以特定之噴出特性穩定地將特性不同之複數種功能液噴出的液滴噴出裝置。
為解決上述問題，本發明之若干態樣提供如下之液滴噴出裝置之控制方法、及液滴噴出裝置。
即，本發明之液滴噴出裝置之控制方法之特徵在於：該液滴噴出裝置至少包含：液滴噴出頭，其係包含噴出功能液之液滴之複數個噴嘴、與上述噴嘴之各個對應而設置之複數個驅動元件、及藉由上述驅動元件而振動且使上述功能液自上述噴嘴噴出之振動板；及沖洗部，其係於該液滴噴出頭之待機時使上述振動板微振動；且該控制方法包含：選擇步驟，根據上述功能液之資訊，而自用於使上述振動板微振動之複數個微振動控制程式中選擇特定之微振動控制程式；以及微振動步驟，依據所選擇之上述微振動控制程式，於上述液滴噴出頭之待機時使上述振動板微振動。
上述功能液之資訊宜包含上述功能液之黏度資訊。
上述振動板之微振動控制宜對施加至上述驅動元件之控制電流之波形、頻率、或電壓進行控制。
上述振動板之微振動控制宜以上述功能液之描畫時之飽和溫度與上述振動板微振動時之上述功能液之飽和溫度的溫度差變小之方式進行控制。
又，本發明之液滴噴出裝置之特徵在於至少包含：液滴噴出頭，其係包含噴出功能液之液滴之複數個噴嘴、與上述噴嘴之各個對應而設置之複數個驅動元件、及藉由上述驅動元件而振動且使上述功能液自上述噴嘴噴出之振動板；沖洗部，其係於該液滴噴出頭之待機時使上述振動板微振動；及控制部，其係控制上述液滴噴出頭；且上述控制部係根據上述功能液之資訊，而自複數個微振動控制程式中選擇特定之微振動控制程式，並依據所選擇之上述微振動控制程式使上述振動板微振動。
本發明之液滴噴出裝置之特徵在於包含：液滴噴出頭，其係包含噴嘴、設置於上述噴嘴之驅動元件、及藉由上述驅動元件而振動之振動板；工件台，其係載置噴出對象物；以及控制部；且上述控制部係於描畫狀態下，控制上述液滴噴出頭及工件台之位置，使功能液之液滴自上述噴嘴向上述噴出對象物噴出；並且於與上述描畫狀態不同之待機狀態下，根據上述功能液之資訊而自複數個振動控制程式中選擇特定之振動控制程式，並依據所選擇之上述振動控制程式使上述振動板振動得比上述描畫狀態下小。
又，上述資訊亦可係上述功能液之黏度、比重、比熱中之至少一者。
又，上述控制部亦可根據上述描畫狀態下之上述液滴噴出頭之溫度與上述待機狀態下之上述液滴噴出頭之溫度的溫度差，選擇上述特定之振動控制程式。
又，上述複數個振動控制程式亦可係其施加至上述驅動元件之控制電流之波形、頻率、或電壓中之至少一者不同。
又，於本發明中，所謂待機狀態亦可為與自噴嘴向噴出對象物噴出功能液之液滴之描畫狀態不同的狀態。又，所謂待機狀態亦可為將噴出對象物、例如彩色濾光片基板向工件台給料出料之狀態，亦可為調整液滴噴出頭或工件台與噴出對象物之位置關係的狀態。進而，待機狀態亦可為與進行液滴噴出頭之維護之狀態或使液滴噴出裝置停歇之狀態不同的狀態。
以下說明本發明之液滴噴出裝置之控制方法、及液滴噴出裝置之最佳形態。再者，本實施形態係為更好地理解發明之主旨而進行具體說明者，只要無特別指定則並不限定本發明。又，為使本發明之特徵容易理解，以下說明所用之圖式有時為方便起見而將作為主要部分之部分放大表示，各構成要素之尺寸比率等並不限定於與實際相同。
圖1係表示本發明之液滴噴出裝置之概略構成之立體圖。該液滴噴出裝置係藉由液滴噴出法而將功能液(以下稱為液狀體)配置於被處理基板者。所配置之液狀體例如係使固形物成分於分散介質(溶劑)中分散(溶解)而得之分散液(溶液)等。作為液狀體之具體例，可列舉：包含顏料或染料等之彩色濾光片材料、UV(ultraviolet，紫外線)墨水、包含金屬配線等導電膜圖案之形成材料即金屬粒子之膠體溶液等。
於本實施形態中，作為將如上述之液狀體(功能液)用於膜材料之液滴噴出裝置，例示於彩色濾光片基板P(噴出對象物)之特定區域上噴出彩色濾光片材料(功能液)之液滴而形成彩色濾光片層之裝置並進行說明。再者，於以下之說明中，設定圖1中所示之XYZ正交座標系，一邊參照該XYZ正交座標系一邊說明各構件。圖1中之XYZ正交座標系將X軸及Y軸設定成相對於工件台2平行，且將Z軸設定於相對於工件台2正交之方向上。圖1中之XYZ座標系實際上將XY平面設定成與水平面平行之面，且將Z軸設定於鉛垂上方向。
如圖1所示，液滴噴出裝置IJ包含：裝置台座1、工件台2、平台移動裝置3、托架4、液滴噴出頭5、托架移動裝置6、管體7、第1貯槽8、第2貯槽9、第3貯槽10、控制部11、沖洗部12、維護部13、及記憶部(微振動控制台)15。
裝置台座1係工件台2及平台移動裝置3之支持台。工件台2係設置為於裝置台座1上可藉由平台移動裝置3而在X軸方向上移動，並藉由真空吸附機構將自上游側之搬送裝置(未圖示)搬送之彩色濾光片基板P(噴出對象物)保持於XY平面上。平台移動裝置3包含滾珠螺桿或線性導軌等軸承機構，基於自控制部11輸入之表示工件台2之X座標的平台位置控制信號而使工件台2在X軸方向上移動。
托架4係保持液滴噴出頭5者，且設置為可藉由托架移動裝置6而在Y軸方向及Z軸方向上移動。液滴噴出頭5如後所述包含複數個噴嘴，基於自控制部11輸入之描畫資料或驅動控制信號噴出彩色濾光片材料之液滴。
該液滴噴出頭5係與彩色濾光片材料之R(紅)、G(綠)、B(藍)對應而設置，且各個液滴噴出頭5經由托架4而與管體7連結。而且，與R(紅)對應之液滴噴出頭5經由管體7而自第1貯槽8接受R(紅)用之彩色濾光片材料之供給，與G(綠)對應之液滴噴出頭5經由管體7而自第2貯槽9接受供給之G(綠)用之彩色濾光片材料之供給，又，與B(藍)對應之液滴噴出頭5經由管體7而自第3貯槽10接受B(藍)用之彩色濾光片材料之供給。
圖2係液滴噴出頭5之概略構成圖。圖2(a)係自工件台2側觀察液滴噴出頭5之俯視圖，圖2(b)係液滴噴出頭5之部分立體圖，圖2(c)係液滴噴出頭5之一個噴嘴之部分剖面圖。
如圖2(a)所示，液滴噴出頭5包含沿Y軸方向排列之複數個(例如180個)噴嘴N。藉由複數個噴嘴N而形成有噴嘴列NA。圖2(a)中表示1列噴嘴，但設置於液滴噴出頭5之噴嘴數及噴嘴列數可任意變更，亦可將沿Y軸方向排列之1列噴嘴沿X軸方向設置複數列。又，配置於托架4內之液滴噴出頭5之數量亦可任意變更。進而，亦可成為將托架4以子托架為單位而設置複數個之構成。
如圖2(b)所示，液滴噴出頭5包含：設置有與管體7連結之材料供給孔20a的振動板20、設置有噴嘴N之噴嘴板(噴出面)21、設置於振動板20與噴嘴板21之間的儲液槽(儲液部)22、複數個隔離壁23、及複數個空腔(液室)24。噴嘴板21例如係包含SUS(steel use stainless，不鏽鋼)者。於振動板20上與各噴嘴N對應而配置有壓電元件(驅動元件)PZ。壓電元件PZ例如係壓電(piezo)元件。
於儲液槽22中填充有經由材料供給孔20a而供給之例如液狀之彩色濾光片材料(液狀體)。再者，該液狀體根據作為噴出對象之彩色濾光片基板(靶材)之種類，將例如黏度等特性不同之複數種液狀體切換而噴出。
空腔24係由振動板20、噴嘴板21、一對隔離壁23包圍而形成，且係與各噴嘴N一對一而對應而設置。又，根據彩色濾光片基板(靶材)之種類切換複數種彩色濾光片材料(液狀體)，並自儲液槽22而經由設置於一對隔離壁23之間之供給口24a導入至各空腔24中。
如圖2(c)所示，壓電元件PZ係利用一對電極26而挾持有壓電材料25者，且構成為：若將驅動信號施加至一對電極26則壓電材料25收縮。而且，配置有上述壓電元件PZ之振動板20與壓電元件PZ成為一體並同時向外側(空腔24之相反側)撓曲，藉此，空腔24之容積增大。
因此，與空腔24內所增大之容積相當之彩色濾光片材料自儲液部22經由供給口24a而流入。又，若自該種狀態起停止向壓電元件PZ施加驅動信號，則壓電元件PZ及振動板20均回復成原形狀，空腔24亦回復至原容積，因此，空腔24內之彩色濾光片材料之壓力將上升，並自噴嘴N朝彩色濾光片基板P(噴出對象物)噴出彩色濾光片材料之液滴L。
托架移動裝置6例如形成橫跨裝置台座1之橋樑結構，相對於Y軸方向及Z軸方向具有滾珠螺桿或線性導軌等軸承機構，基於自控制部11輸入之表示托架4之Y座標及Z座標的托架位置控制信號而使托架4在Y軸方向及Z軸方向上移動。
管體7係將第1貯槽8、第2貯槽9及第3貯槽10與托架4(液滴噴出頭5)連結的彩色濾光片材料之供給用管體。第1貯槽8儲存R(紅)用之彩色濾光片材料並且經由管體7而對與R(紅)對應之液滴噴出頭5供給彩色濾光片材料。第2貯槽9儲存G(綠)用之彩色濾光片材料並且經由管體7而對與G(綠)對應之液滴噴出頭5供給彩色濾光片材料。第3貯槽10儲存B(藍)用之彩色濾光片材料並且經由管體7而對與B(藍)對應之液滴噴出頭5供給彩色濾光片材料。
控制部11對平台移動裝置3輸出平台位置控制信號，對托架移動裝置6輸出托架位置控制信號，並且對液滴噴出頭5之驅動電路基板30輸出描畫資料及驅動控制信號，從而對利用液滴噴出頭5而進行之液滴噴出動作、利用工件台2之移動而進行之彩色濾光片基板P(噴出對象物)之定位動作、及利用托架4之移動而進行之液滴噴出頭5之定位動作進行同步控制，藉此，向彩色濾光片基板P(噴出對象物)上之特定位置噴出彩色濾光片材料之液滴。又，於後述之待機時，控制部11進行沖洗部12之沖洗控制、及微振動控制。再者，關於該待機時之微振動控制將於後文詳述。
關於沖洗部12，係於彩色濾光片基板P(噴出對象物)等載置於工件台2之噴出靶材之更換時(以下稱為待機時)等情況下，為液滴噴出頭5自工件台2上撤回之區域。該沖洗部12中進行如下動作：自液滴噴出頭5間斷地噴出少量液狀體(功能液)、或者對液滴噴出頭5內之液狀體賦予不會噴出液狀體(功能液)之程度的微振動。藉由該微振動而防止位於噴出頭內之液狀體之黏度增加。進行微振動時，於圖2(c)之壓電元件PZ中，將驅動信號施加至一對電極26。進行微振動時之驅動信號之振幅小於進行噴出時之驅動信號之振幅。而且，進行微振動時之藉由壓電元件PZ而經由振動板20對噴嘴N內之液狀體(功能液)施加之力亦小於進行噴出時者。藉此，進行微振動時，液狀體(功能液)不會噴出，於噴嘴N內液狀體(功能液)之彎液面進行振動。
記憶部15(微振動控制台)記憶有複數種於沖洗部12中根據不同之條件進行微振動動作之微振動控制程式。此處，根據液狀體(功能液)之種類而準備有各微振動控制程式。即，記憶有複數個微振動控制程式，以根據自液滴噴出頭5所噴出之液狀體，而使沖洗部12中之液滴噴出頭5之微振動成為最佳。而且，自控制部11輸出與所噴出之液狀體之種類(品種)對應的微振動控制程式。又，該複數種微振動控制程式亦可根據自液滴噴出頭5所噴出之液狀體(功能液)之特性而準備。所謂液狀體(功能液)之特性例如係液狀體(功能液)之黏度、比重、比熱等。進而，亦可根據液狀體(功能液)之溫度而準備複數個微振動控制程式。尤其是對噴出液狀體(功能液)時之液滴噴出頭5之溫度進行控制時，亦可根據液滴噴出頭5之溫度而準備複數個微振動控制程式。
維護部13係用以進行對於液滴噴出頭5之各種維護者。維護部13係配設於液滴噴出頭5中之靜止位置處。該靜止位置係液滴噴出頭5之保管時等液滴噴出裝置IJ處於停歇狀態時配置托架4之區域。該維護部13例如包含抵接於液滴噴出頭5之封端機構或擦拭機構。封端機構包含作為抽吸機構之抽吸泵，藉此進行自噴嘴內強制性地排出液狀體(功能液)之抽吸處理。又，擦拭機構係於利用封端機構進行抽吸處理後進行擦拭處理者，該擦拭處理係對附著於噴嘴板(噴出面)之液滴進行擦拭。再者，維護部13係由來自控制部11之控制信號而驅動。
使用圖1及圖3說明上述構成之本發明之液滴噴出裝置之作用、及本發明之液滴噴出裝置之控制方法。
圖3係階段性地表示本發明之液滴噴出裝置之控制方法的流程圖。
使用本發明之液滴噴出裝置IJ，例如向彩色濾光片基板(靶材)P噴出液狀體(功能液)而形成膜(彩色濾光片層)時，首先輸入使液滴噴出裝置IJ噴出之功能液之種類(品種)(S1：輸入步驟)。
作為所輸入之功能液之種類之資訊，例如可列舉：功能液之黏度、比重、比熱等。將包含該等資訊之功能液之種類(品種)作為供給至液滴噴出頭5並自液滴噴出頭5噴出之功能液而輸入至液滴噴出裝置IJ。
其次，液滴噴出裝置IJ之控制部11例如參照記憶部(微振動控制台)15。而且，基於輸入步驟S1中所輸入之功能液之種類之資訊，選出對應之微振動控制程式(S2：選擇步驟)。該微振動控制程式例如只要僅儲存液滴噴出裝置IJ中所使用(噴出)之功能液之種類(品種)的數量即可。
又，當輸入功能液之物性(黏度、比重、比熱等)時，亦可生成並輸出最佳之微振動控制程式。
而且，於彩色濾光片基板(靶材)P之更換等時，液滴噴出裝置IJ之液滴噴出頭5成為待機狀態而移動至沖洗部12，液滴噴出頭5預備向下一個彩色濾光片基板P(噴出對象物)噴出功能液，並噴出(沖洗)少量功能液。而且，為防止功能液之黏度上升，控制部11依據在選擇步驟S2中所選擇之微振動控制程式，使液滴噴出頭5之振動板20(參照圖2)微振動(S3：微振動步驟)。
如此之微振動控制程式包含根據所噴出之功能液之特性(例如黏度)而產生可抑制待機時之黏度增加的微振動之波形(微振動波形)之資訊。而且，該微振動波形使用藉由待機時之微振動而噴出頭升溫時之飽和溫度(待機飽和溫度)、與噴出頭自待機狀態轉移至描畫狀態時藉由功能液之連續供給等而噴出頭被冷卻時之飽和溫度(描畫飽和溫度)的差變小之波形。
圖4係表示藉由選擇並使用與功能液之特性對應之最佳微振動控制程式，使待機飽和溫度與描畫飽和溫度之差變小之情況的圖表。
於圖4(a)所示之先前例中，表示於待機時對液滴噴出頭施加未考慮功能液之特性之單一(同樣)之微振動時的液滴噴出頭之溫度變化。另一方面，於圖4(b)所示之本發明之實施例中，表示於待機時選擇並使用考慮到功能液之特性之微振動控制程式對液滴噴出頭施加微振動時的液滴噴出頭之溫度變化。
圖4之各圖表表示將待機狀態與描畫狀態重複數次之情形，圖表縱軸表示以描畫飽和溫度為基準之相對於待機飽和溫度的溫度差。又，圖表橫軸表示將待機狀態與描畫狀態重複數次時之經過時間(相對時間)。
圖表線中之區間Pr表示利用液滴噴出頭進行液滴之噴出、即描畫時之溫度變化，區間St表示液滴噴出頭之待機時之微振動時之溫度變化。
根據圖4(a)，未考慮功能液之種類、即特性(例如黏度)，而對於任何功能液均使液滴噴出頭產生同樣之微振動時，微振動時之升溫(區間St)變大。其結果，自待機時轉移至描畫時，描畫時之溫度變化(區間Pr)變得明顯。如此之描畫時之較大之溫度變化會對噴出特性造成影響，產生由於噴出量之變動等而導致的描畫不均等。
另一方面，根據圖4(b)，根據功能液之種類、即特性(例如黏度)而選擇並使用最佳之微振動控制程式，藉此可將微振動時之升溫(區間St)抑制為較小。其結果，自待機時轉移至描畫時，描畫時之溫度變化(區間Pr)亦必然變小，描畫時之噴出特性穩定。
如此之微振動控制程式如圖4(c)所示，理想而言，只要係進行使待機飽和溫度與描畫飽和溫度之差消除的液滴噴出頭之微振動控制者即可。
再者，作為利用微振動控制程式而進行之液滴噴出頭之微振動控制方法，例如可列舉：對待機時施加至液滴噴出頭之控制電流之波形(脈衝波形)、頻率、電壓值等進行控制。微振動控制程式只要係根據所噴出之功能液之種類而選擇使待機時之液滴噴出頭產生微振動的控制電流之波形(脈衝波形)、頻率、電壓值者即可。
如上述，本發明之液滴噴出裝置之控制方法如下：根據液滴噴出裝置而預先輸入功能液之種類、即特性(例如黏度)，根據功能液之種類而自微振動控制台選擇使待機飽和溫度與描畫飽和溫度之差變得最小之微振動控制程式，於待機時基於所選擇之微振動控制程式進行液滴噴出頭之微振動。藉此，自待機時轉移至描畫時，描畫時之液滴噴出頭之溫度變化變小，可使描畫時之噴出特性穩定而獲得優異之描畫特性。
[實施例]
作為本發明之驗證，確認於改變使液滴噴出頭產生微振動之控制電流之波形(驅動波形)時，液滴噴出頭之微振動時之溫度是否變化。
例如，對液滴噴出頭施加圖5(a)所示之驅動波形之微振動控制電流、及圖5(b)所示之驅動波形之微振動控制電流，將各情形之液滴噴出頭之溫度(相對值)示於圖5(c)。根據圖5所示之結果，脈衝寬度比圖5(a)更長之圖5(b)之驅動波形中，微振動時之液滴噴出頭之溫度大幅提高。
由此確認：藉由使微振動控制電流之脈衝波形最佳化，可降低微振動時之液滴噴出頭之溫度(飽和溫度)，從而縮小其與描畫飽和溫度之差。
作為本發明之驗證，確認於改變使液滴噴出頭產生微振動之控制電流之波形(驅動波形)時，液滴噴出頭之微振動時之溫度是否變化。
例如，對液滴噴出頭施加圖5(a)所示之驅動波形之微振動控制電流、及圖5(b)所示之驅動波形之微振動控制電流，將各情形之液滴噴出頭之溫度(相對值)示於圖5(c)。根據圖5所示之結果，脈衝寬度比圖5(a)更長之圖5(b)之驅動波形中，微振動時之液滴噴出頭之溫度大幅提高。
由此可確認：藉由使微振動控制電流之脈衝波形最佳化，可降低微振動時(待機時)之液滴噴出頭之溫度(飽和溫度)，從而縮小其與描畫飽和溫度之差。
1．．．裝置台座
2．．．工件台
3．．．平台移動裝置
4．．．托架
5．．．液滴噴出頭
6．．．托架移動裝置
7．．．管體
8．．．第1貯槽
9．．．第2貯槽
10．．．第3貯槽
11．．．控制裝置(控制部)
12．．．沖洗部
13．．．維護部
15．．．記憶部(微振動控制台)
20．．．振動板
21．．．噴嘴板(噴出面)
IJ．．．液滴噴出裝置
L．．．功能液
P．．．彩色濾光片基板
X、Y、Z．．．軸
圖1係表示本發明之液滴噴出裝置之一例之立體圖；
圖2(a)-(c)係表示液滴噴出頭之主要部分構成圖；
圖3係表示本發明之液滴噴出裝置之控制方法之流程圖；
圖4(a)-(c)係表示形成彩色濾光片時之噴出之情況之說明圖；及
圖5(a)-(c)係表示本發明之驗證例之圖表。
1．．．裝置台座
2．．．工件台
3．．．平台移動裝置
4．．．托架
5．．．液滴噴出頭
6．．．托架移動裝置
7．．．管體
8．．．第1貯槽
9．．．第2貯槽
10．．．第3貯槽
11．．．控制裝置(控制部)
12．．．沖洗部
13．．．維護部
15．．．記憶部(微振動控制台)
IJ．．．液滴噴出裝置
P．．．彩色濾光片基板
X、Y、Z．．．軸

Claims (8)

  1. 一種液滴噴出裝置之控制方法，其特徵在於：該液滴噴出裝置至少包含：液滴噴出頭，其係包含噴出功能液之液滴之複數個噴嘴、與上述噴嘴之各個對應而設置之複數個驅動元件、及藉由上述驅動元件而振動且使上述功能液自上述噴嘴噴出之振動板；及沖洗部，其係於該液滴噴出頭之待機時使上述振動板微振動；且該控制方法包含：選擇步驟，根據上述功能液之資訊，而自用於使上述振動板微振動之複數個微振動控制程式中選擇特定之微振動控制程式，使得上述噴嘴噴出功能液之液滴至噴出對象物進行描畫時之上述功能液之飽和溫度與上述振動板微振動時之上述功能液之飽和溫度的溫度差變小；以及微振動步驟，依據所選擇之上述微振動控制程式，於上述液滴噴出頭之待機時使上述振動板微振動。
  2. 如請求項1之液滴噴出裝置之控制方法，其中上述功能液之資訊係包含上述功能液之黏度資訊。
  3. 如請求項1或2之液滴噴出裝置之控制方法，其中上述振動板之微振動控制係對施加至上述驅動元件之控制電流之波形、頻率、或電壓進行控制。
  4. 一種液滴噴出裝置，其特徵在於至少包含：液滴噴出頭，其係包含噴出功能液之液滴之複數個噴嘴、與上述噴嘴之各個對應而設置之複數個驅動元件、 及藉由上述驅動元件而振動且使上述功能液自上述噴嘴噴出之振動板；沖洗部，其係於該液滴噴出頭之待機時使上述振動板微振動；及控制部，其係控制上述液滴噴出頭；且上述控制部係根據上述功能液之資訊，而自複數個微振動控制程式中選擇特定之微振動控制程式，使得上述噴嘴噴出功能液之液滴至噴出對象物進行描畫時之上述功能液之飽和溫度與上述振動板微振動時之上述功能液之飽和溫度的溫度差變小，並依據所選擇之上述微振動控制程式使上述振動板微振動。
  5. 一種液滴噴出裝置，其特徵在於包含：液滴噴出頭，其係包含噴嘴、設置於上述噴嘴之驅動元件、及藉由上述驅動元件而振動之振動板；工件台，其係載置噴出對象物；以及控制部；且上述控制部係於描畫狀態下，控制上述液滴噴出頭及工件台之位置，使功能液之液滴自上述噴嘴向上述噴出對象物噴出；並且於與上述描畫狀態不同之待機狀態下，根據上述功能液之資訊而自複數個振動控制程式中選擇特定之振動控制程式，使得描畫狀態時之上述功能液之飽和溫度與上述振動板微振動時之上述功能液之飽和溫度的溫度差變小，並控制上述驅動元件依據所選擇之上述振動控制程 式使上述振動板振動得比上述描畫狀態下小。
  6. 如請求項5之液滴噴出裝置，其中上述資訊係上述功能液之黏度、比重、比熱中之至少一者。
  7. 如請求項5之液滴噴出裝置，其中上述控制部根據上述描畫狀態下之上述液滴噴出頭之溫度與上述待機狀態下之上述液滴噴出頭之溫度的溫度差，選擇上述特定之振動控制程式。
  8. 如請求項5之液滴噴出裝置，其中上述複數個振動控制程式係施加至上述驅動元件之控制電流之波形、頻率、或電壓中之至少一者不同。
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