JP2011011146A - 液滴吐出方法及びカラーフィルター製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】各描画領域における液状体の吐出量の調節をより容易にする。
【解決手段】複数のノズルを基板に対して相対移動させながらノズル毎に設けた駆動素子の駆動により、ノズルから基板に液状体を吐出する。ノズルの吐出特性に応じてノズルに設けられた駆動素子に、駆動素子を駆動する複数の駆動波形のうちの一つを設定する設定工程と、設定した駆動波形で駆動素子を駆動して、ノズルから液状体を基板に吐出させる走査工程とを有する。設定工程では、走査工程において同一のタイミングで駆動する駆動素子の数が、複数の駆動波形の間で互いに同一の数となるように設定する。
【選択図】図６

Description

本発明は、液滴吐出方法及びカラーフィルター製造方法に関するものである。

近年、液滴吐出ヘッドによってインクを吐出するインクジェット方式を用いてカラーフィルタを製造することが提案されている（例えば、特許文献１参照）。この製造方法では、基板に対して相対的に移動する液滴吐出ヘッドに設けられた複数のノズルから色材を含む液状体（液滴）を吐出させて液状体を配置（描画）し、さらに配置された液状体を乾燥などによって固化させて画素に対応した着色膜を形成している。

ところで、インクジェット法を用いた製造方法では、複数のノズルからの液状体の吐出量にわずかながらのバラツキが生じる。そして、液状体の吐出量のバラツキを有する状態で描画すると、カラーフィルタに筋状の濃淡ムラが生ずる場合がある。このような筋ムラは視認されやすいため、カラーフィルタを介して表示される画像の画質が低下する。そこで、液滴吐出ヘッドに供給する駆動信号（駆動波形）を調節することによって各ノズルから吐出される液状体の吐出量を均一にして各ノズル間の吐出量のバラツキを低減する補正が行われている（例えば、特許文献１参照）。

具体的には、例えば駆動電圧（吐出電圧）を異ならせた複数の駆動信号を設定し、これら複数の駆動信号から各ノズルの吐出特性に応じた駆動信号を選択して設定している。

特開平１１−２４８９２７号公報

しかしながら、上述したような従来技術には、以下のような問題が存在する。
各駆動信号において液滴を吐出するノズルの数が異なると、例えば駆動電圧が変化する箇所で円滑な電圧変化が行われずに波形にオーバーシュートやアンダーシュートが生じる、いわゆる電気的なクロストークの影響で、当初設定した補正量が確保できないという問題が生じ、上述した筋状の濃淡ムラの問題が解消できない。

本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、各描画領域における液状体の吐出量の調節をより容易にした液滴吐出方法及びカラーフィルター製造方法を提供することを目的とする。

上記の目的を達成するために本発明は、以下の構成を採用している。
本発明の液滴吐出方法は、複数のノズルを基板に対して相対移動させながら前記ノズル毎に設けた駆動素子の駆動により、前記ノズルから前記基板に液状体を吐出する液滴吐出方法であって、前記ノズルの吐出特性に応じて当該ノズルに設けられた前記駆動素子に、該駆動素子を駆動する複数の駆動波形のうちの一つを設定する設定工程と、設定した駆動波形で前記駆動素子を駆動して、前記ノズルから前記液状体を前記基板に吐出させる走査工程とを有し、前記設定工程では、前記走査工程において同一のタイミングで駆動する前記駆動素子の数が、前記複数の駆動波形の間で互いに同一の数となるように設定することを特徴とするものである。
従って、本発明の液滴吐出方法では、同じタイミングで液状体を吐出するノズルの数、すなわち同じタイミングで駆動する駆動素子の数が、複数の駆動波形の間で互いに同一であることから、駆動する駆動素子の数が異なることで生じる電気的なクロストークの悪影響を除去することができる。そのため、本発明では、ノズル毎の吐出量の差を適切に補正することが可能になり、複数のノズルからの吐出量を均一化することができる。その結果、本発明では、ノズルの配列方向に生じる筋状の濃淡ムラの発生をより確実に抑制できる。
なお、例えば駆動波形の種類がノズルの数の約数にならない場合等、同一のタイミングで駆動する駆動素子の数を、複数の駆動波形の間で互いに同一の数とできない場合には、略同一の数としてもよい。この場合には、駆動する駆動素子の数が異なることで生じる電気的なクロストークの悪影響を最小限に抑えることが可能になる。

また、上記の液滴吐出方法では、前記走査工程で複数のタイミングで前記ノズルから前記液状体を吐出させる際に、同一の前記駆動波形で駆動する前記駆動素子の数が前記複数のタイミングの間で互いに同一の数に設定する構成も好適に採用できる。
これにより、本発明では、吐出ヘッドと基板とを相対移動させながら、複数のタイミングで液状体を吐出する場合でも、吐出した液状体の吐出量を均一化することができ、上記相対移動方向で筋状の濃淡ムラが発生することをより確実に抑制できる。

また、上記の液滴吐出方法では、前記走査工程を複数回行う際に、前記設定工程では、各走査工程毎に同一のタイミングで駆動する前記駆動素子の数が、前記複数の駆動波形の間で互いに同一の数となるように設定する手順を採用することが好適である。
これにより、本発明では、走査工程間で使用するノズルを変更する場合でも、各走査工程でノズル毎の吐出量の差を適切に補正することが可能になる。

また、上記の液滴吐出方法においては、前記設定工程では、前記複数のノズルのうち、前記走査工程で前記液状体を吐出する前記ノズルについてのみ、前記駆動素子を駆動する複数の駆動波形のうちの一つを設定する手順を好適に採用できる。
これにより、本発明では、全てのノズルについて駆動波形を設定する手間を省くことが可能になり、生産性を向上させることができる。

そして、本発明のカラーフィルター製造方法は、先に記載の液滴吐出方法を用いることを特徴とするものである。
これにより、本発明では、筋状の濃淡むらが生じることを防止して画質の低下が抑制された高品質のカラーフィルターを製造することができる。

本発明の一実施形態における液滴吐出装置を示す斜視図である。 液滴吐出ヘッドの構成を示す図である。 駆動信号の波形を示す図である。 カラーフィルタ及びカラーフィルタ基板を示す概略平面図である。 カラーフィルタ層の配置を示す平面図である。 ノズルと平均吐出量との関係を示す図である。 液滴吐出方法を説明する概略平面図である。

以下、本発明の液滴吐出方法及びカラーフィルター製造方法の実施の形態を、図１ないし図７を参照して説明する。
なお、以下の実施の実施形態は、本発明の一態様を示すものであり、この発明を限定するものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。また、以下の図面においては、各構成をわかりやすくするために、実際の構造と各構造における縮尺や数等を異ならせている。

［液滴吐出装置］
まず、本実施形態における液滴吐出装置について説明する。
液滴吐出装置１は、図１に示すように、例えばインクジェット方式により後述するマザー基板（基板）５１の所定領域に液状体を吐出して後述するカラーフィルタ層５５を形成する装置である。そして、液滴吐出装置１は、装置架台１１と、ワークステージ１２と、ステージ移動装置１３と、キャリッジ１４と、液滴吐出ヘッド１５と、キャリッジ移動装置１６と、チューブ１７と、第１から第３タンク１８〜２０と、制御装置２１と、を備えている。

装置架台１１は、ワークステージ１２及びステージ移動装置１３の支持台である。ワークステージ１２は、装置架台１１上においてステージ移動装置１３によって主走査方向（相対移動方向）であるＸ方向に移動可能に設置されており、上流側の搬送装置（図示略）から搬送されるマザー基板５１を真空吸着機構によってＸＹ平面上に保持する。
ステージ移動装置１３は、リニアガイド及びボールネジなどの直動機構を備えており、制御装置２１から入力されるワークステージ１２の移動先のＸ座標を示すステージ位置制御信号に基づいて、ワークステージ１２をＸ方向に移動させる。
キャリッジ１４は、液滴吐出ヘッド１５を保持しており、キャリッジ移動装置１６によって副走査方向であるＹ方向及びＺ方向に移動可能に設けられている。

液滴吐出ヘッド１５は、液状体のＲ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）に対応して設けられており、それぞれキャリッジ１４を介してチューブ１７と連結されている。
そして、Ｒ（赤）に対応する液滴吐出ヘッド１５には、チューブ１７を介して第１タンク１８からＲ（赤）用の液状体が供給され、Ｇ（緑）に対応する液滴吐出ヘッド１５には、チューブ１７を介して第２タンク１９からＧ（緑）用の液状体が供給され、Ｂ（青）に対応する液滴吐出ヘッド１５には、チューブ１７を介して第３タンク２０からＢ（青）用の液状体が供給される。

液滴吐出ヘッド１５は、図２（ａ）に示すように、Ｙ方向で等間隔に配列された複数（例えば１８０）のノズルＮ１〜Ｎ１８０（以下、総称してノズルＮと称することもある）を備えている。これらノズルＮ１〜Ｎ１８０によってノズル列ＮＡが形成される。
なお、液滴吐出ヘッド１５は、ノズル列ＮＡを１列のみ備えているが、複数列備えていてもよく、ノズル列ＮＡを構成するノズルＮの数は、１８０に限られない。また、キャリッジ１４内に配置される液滴吐出ヘッド１５の数は、任意に変更可能である。さらに、キャリッジ１４は、サブキャリッジ単位で複数設けられてもよい。
ここで、複数のノズルＮ１〜Ｎ１８０のうち両端のノズル（例えばノズルＮ１〜Ｎ９、ノズルＮ１７１〜Ｎ１８０）については、液状体の吐出量のバラツキが大きいことから、液状体の吐出に使用しない場合があってもよい。

液滴吐出ヘッド１５は、図２（ｂ）に示すように、チューブ１７に連結される材料供給孔３１ａが設けられた振動板３１と、ノズルＮ１〜Ｎ１８０が設けられたノズルプレート３２と、振動板３１及びノズルプレート３２の間に設けられたリザーバ３３と、複数の隔壁３４と、複数の液溜部３５と、を備えている。
振動板３１上には、各ノズルＮ１〜Ｎ１８０に対応して駆動素子ＰＺ１〜ＰＺＮ（以下、総称して駆動素子ＰＺと称することもある）が配置されている。駆動素子ＰＺは、例えばピエゾ素子等の圧電素子である。

リザーバ３３には、材料供給孔３１ａを介して供給される液状体が充填されるようになっている。
液溜部３５は、振動板３１と、ノズルプレート３２と、一対の隔壁３４とによって囲まれることによって形成されている。また、液溜部３５は、各ノズルＮ１〜Ｎ１８０に１対１で対応して形成されている。さらに、各液溜部３５には、一対の隔壁３４間に設けられた供給口３５ａを介して、リザーバ３３から液状体が導入されるようになっている。

駆動素子ＰＺは、図２（ｃ）に示すように、圧電材料３６と圧電材料を挟持する一対の電極３７とを備えている。そして、駆動素子ＰＺは、一対の電極３７間に駆動信号を印加することで圧電材料３６を収縮させ、圧電材料３６の収縮によって振動板３１を駆動素子ＰＺと共に同時に外側（液溜部３５の反対側）へ撓曲させて液溜部３５の容積を増大させる構成となっている。
したがって、液溜部３５内に増大した容積分に相当する液状体がリザーバ３３から供給口３５ａを介して流入する。また、このような状態から駆動素子ＰＺへの駆動信号の印加を停止すると、駆動素子ＰＺ及び振動板３１は、元の形状に戻り、液溜部３５も元の容積に戻る。これにより、液溜部３５内の液状体の圧力が上昇し、ノズルＮ１からマザー基板５１に向けて液状体の液滴Ｌが吐出される。

キャリッジ移動装置１６は、図１に示すように、装置架台１１を跨ぐ橋梁構造をなしており、Ｙ方向及びＺ方向に沿ってリニアガイド及びボールネジなどの直動機構を備え、制御装置２１から入力されるキャリッジ１４の移動先のＹ座標及びＺ座標を示すキャリッジ位置制御信号に基づいてキャリッジ１４をＹ方向及びＺ方向に移動させる。

チューブ１７は、第１から第３タンク１８〜２０とキャリッジ１４とを連結する液状体の供給用チューブである。
第１タンク１８は、Ｒ（赤）用の液状体を貯蔵すると共にチューブ１７を介してＲ（赤）に対応する液滴吐出ヘッド１５に液状体を供給する。第２タンク１９は、Ｇ（緑）用の液状体を貯蔵すると共にチューブ１７を介してＧ（緑）に対応する液滴吐出ヘッド１５に液状体を供給する。第３タンク２０は、Ｂ（青）用の液状体を貯蔵すると共にチューブ１７を介してＢ（青）に対応する液滴吐出ヘッド１５に液状体を供給する。

制御装置２１は、液滴吐出ヘッド１５の走査を制御する走査制御部４１と、各ノズルＮからの液状体の吐出を制御する吐出制御部（補正手段）４２と、を備えている。
走査制御部４１は、ワークステージ１２の移動によるマザー基板５１の位置決め動作と、キャリッジ１４の移動による液滴吐出ヘッド１５の位置決め動作とを制御する。また、走査制御部４１は、ステージ移動装置１３にステージ位置制御信号を出力してマザー基板５１の位置決め動作を行い、キャリッジ移動装置１６にキャリッジ位置制御信号を出力して液滴吐出ヘッド１５の位置決め動作を行う。

吐出制御部４２は、液滴吐出ヘッド１５に描画データ及び駆動信号を出力し、各ノズルＮから液状体を吐出させる。ここで、各ノズルＮに対応する駆動素子ＰＺに対して同一の駆動信号を供給して液状体を吐出させると、各ノズルＮから吐出される液状体の吐出量には、バラツキが発生する。
そこで、吐出制御部４２は、各ノズルＮに対応する各駆動素子ＰＺに複数（ここでは５種）の駆動信号を供給し、各ノズルＮからの吐出量を５段階で補正・制御する。

具体的には、吐出制御部４２は、図３に示すような駆動波形を有する駆動信号における電圧成分によって各ノズルＮからの液状体の吐出量を補正している。
そして、吐出量は、最大電位ＶＨと最小電位ＶＬとの差ＶＳに応じて大きくなることから、吐出制御部４２は、例えば最大電位ＶＨを補正電圧１〜５として、大きい値から順次小さくなるように異ならせた５種類の駆動波形の駆動信号を設定し、各ノズルＮの吐出量に応じて補正する駆動信号を選択して割り当てて、各ノズルＮからの吐出量を補正する。これの詳細については、後述する。

［カラーフィルター］
次に、以上のような構成の液滴吐出装置１を用いて製造されるカラーフィルターについて説明する。
カラーフィルター５０は、図４（ａ）及び図４（ｂ）に示すように、ガラス、プラスチックなどで形成された大面積のマザー基板５１に複数のパネル領域ＣＡが設けられたカラーフィルター基板５２をパネル領域ＣＡごとに分割することによって製造される。
パネル領域ＣＡは、マトリクス状に配置されており、バンク５３によって区画された複数の描画領域５４を有する。描画領域５４は、マトリクス状に配置されており、内部にカラーフィルター層５５が形成されている。

カラーフィルター層５５の配列は、一方向で同色となっており、これと直交する方向でＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の順で繰り返されている。すなわち、カラーフィルター層５５の配列は、一方向で直線状に設けられた同色のカラーフィルター層５５がこれと直交する方向で交互に配列された、ストライプ型となっている。
なお、カラーフィルター層５５の配置は、図５（ａ）に示すようなストライプ型に限らず、図５（ｂ）に示すようなモザイク型や図５（ｃ）に示すようなデルタ型など、他の配置であってもよい。

［液滴吐出方法］
次に、以上のような構成の液滴吐出装置１を用いた液滴吐出方法について説明する。本実施形態では、液滴吐出方法を用いてカラーフィルターを製造する。
本実施形態では、マザー基板５１に対して液状体を吐出する前に、実際に液状体を吐出するノズルＮに対応する各駆動素子ＰＺに対して、上述した５種類の駆動信号のうちの一つを選択して設定する。

図６（ａ）には、予め求められた各ノズルＮにおける平均吐出量（ｐｌ）が示されている。なお、ここでは、理解を容易にするために、便宜上ノズルＮの数を３０個としている。そして、図６（ｂ）に示すように、これらノズルＮについて、例えば吐出量が少ない順序でソートを行う。ここで、従来では全ノズルを対象としてソートを行っていたが、本実施形態では、走査工程で、あるタイミングで同時に液状体をマザー基板５１に対して吐出するノズルＮ（ここでは、Ｎｏ．１、４、７、１０、１３、１６、１９、２２、２５、２８の１０個）を対象としてソートを行う。

そして、走査工程で液状体を吐出する１０個のノズルＮに対して、吐出量が少ないノズルから、大きな値の補正電圧１〜５を有する駆動波形の駆動信号を、各ノズルに対応する駆動素子ＰＺに対して設定する（設定工程）。このとき、吐出制御部４２は、５種類の駆動信号について、各駆動信号を設定するノズルＮ（すなわち駆動素子ＰＺ）の数が同一の数となるように、ここでは２つずつのノズルＮ（すなわち駆動素子ＰＺ）に対して同じ駆動信号を設定する。これにより、図６（ｃ）に示すように、特定のノズルＮについてのみ駆動信号が設定される。

また、図４で示したパネル領域ＣＡのように、走査方向で描画領域５４が離間しており、所定の間隔をあけたタイミングで液状体を吐出する場合には、各タイミングで駆動素子ＰＺが駆動するノズルＮの数を、各駆動信号のそれぞれで同じ数（ここでは２個）にするとともに、いずれのタイミングにおいても各駆動信号が設定されるノズルの数を同一とする。

さらに、走査工程を複数回行う場合に、走査工程間で液状体を吐出するノズルＮの組み合わせが異なる場合には、各走査工程で各駆動信号を設定するノズルＮ（すなわち駆動素子ＰＺ）の数が同一の数となるように駆動信号を設定する。

これは、一般的に同時に吐出するノズルが多い場合には、多くの液状体が吐出されることから駆動素子ＰＺの負荷が大きくなり、駆動波形に沿った円滑な挙動が困難になる。一方、同時に吐出するノズルが少ない場合には、吐出される液状体が少ないことから駆動素子ＰＺの負荷が大きくなく、駆動波形に沿った円滑な挙動が可能になる。そのため、各駆動信号において設定されるノズルの数が異なる場合には、補正電圧値と補正吐出量との相関関係が一定でなくなり、吐出量を高精度に補正することが困難になる。

そのため、本実施形態では、各タイミングで駆動素子ＰＺが駆動するノズルＮの数を、各駆動信号のそれぞれで同じ数にすることにより、駆動波形に沿った円滑な挙動が困難な場合でも、補正電圧値と補正吐出量との相関関係を、各駆動信号において設定されるノズルの数に応じて一定にすることができる。従って、この一定の相関関係に基づいて補正電圧値を設定することにより、適切な補正吐出量を設定することができる。

このように、液状体を吐出するノズルＮに対応する駆動素子ＰＺに駆動信号を設定したら、走査工程に移行する。
まず、図１に示すように、バンク５３が形成されたマザー基板５１をワークステージ１２上に載置し、マザー基板５１の上面と液滴吐出ヘッド１５とを対向させる。

そして、ステージ移動装置１３及びキャリッジ移動装置１６をマザー基板５１に対して相対的に移動（走査）させながら液滴吐出ヘッド１５の上述した複数のノズルＮから描画領域５４に向けて液状体を吐出させる（走査工程）。ここでは、液滴吐出ヘッド１５は、マザー基板５１に対して図７に示す主走査方向である矢印Ａ１に沿って相対的に移動しながら、マザー基板５１上に区画された各描画領域５４に液状体を吐出する。
このとき、各ノズルＮからは、設定された補正電圧を有する駆動波形の駆動信号に応じた一定の吐出量で液状体が吐出される。

その後、液滴吐出ヘッド１５は、副走査方向であるＹ方向で相対的に所定距離だけ移動され、再び主走査方向である矢印Ａ２に沿って相対的に移動される（走査工程）。このとき、吐出制御部４２は、この走査工程で吐出するノズルＮの組み合わせに応じた駆動信号で駆動素子ＰＺを駆動して、この駆動素子ＰＺに対応するノズルＮから液状体を吐出させる。

なお、液滴吐出ヘッド１５は、副走査方向であるＹ方向に沿って配置されているが、ノズルＮのピッチと描画領域５４のピッチとを所定の対応関係とするためにＹ方向に対して斜めに傾けられてもよい。また、吐出量の平均値が複数のノズルグループＮＧ間で略均等としてもよい。
以上のようにして、カラーフィルター基板５２を製造する。その後、パネル領域ＣＡごとにマザー基板５１を分割して個別のカラーフィルター５０を製造する。

以上のように、本実施形態では、走査工程において同一のタイミングで駆動する駆動素子ＰＺの数が、複数の駆動信号（駆動波形）の間で互いに同一の数となるように設定しているため、補正電圧値と補正吐出量との相関関係を、各駆動信号において設定されるノズルの数に応じて一定にすることができ、適切な補正吐出量を設定することができる。そのため、本実施形態では、各描画領域５４における液状体の液面の高さを均等にできるため、筋状の濃淡ムラの発生が抑制されたカラーフィルター層５５を形成することができる。

また、本実施形態では、走査工程で複数のタイミングでノズルＮから液状体を吐出させる際に、同一の駆動信号で駆動する駆動素子ＰＺの数が複数のタイミングの間で互いに同一の数に設定しているため、走査方向に筋状の濃淡ムラが発生することをより確実に抑制することができる。

さらに、本実施形態では、走査工程を複数回行う際に、各走査工程毎に同一のタイミングで駆動する駆動素子ＰＺの数が、複数の駆動波形の間で互いに同一の数となるように設定しているため、走査工程間で使用するノズルを変更する場合でも、各走査工程でノズル毎の吐出量の差を適切に補正することが可能になり、筋状の濃淡ムラの発生が抑制されたカラーフィルター層５５を形成することができる。

また、本実施形態では、走査工程で液状体を吐出するノズルＮについてのみ、駆動素子を駆動する複数の駆動波形のうちの一つを選択して設定しているため、全てのノズルＮについて駆動波形を設定する手間を省くことが可能になり、生産性を向上させることができる。

以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。

例えば、上記液滴吐出方法は、カラーフィルターにおけるカラーフィルター層の形成に用いられているが、例えば有機ＥＬ装置における発光層を構成する各層の形成など、液状体を基板上の所定領域に吐出することによって薄膜を形成するものであれば、他の用途に用いられてもよい。
移動機構は、ステージ移動装置及びキャリッジ移動装置によって構成されているが、液滴吐出ヘッドがマザー基板に対して相対的に移動できればよく、キャリッジ移動装置がＸＹ面内で移動可能である構成など、他の構成であってもよい。

１…液滴吐出装置、 ５０…カラーフィルター、 ５１…マザー基板（基板）、 Ｌ…液滴、 Ｎ…ノズル、 ＰＺ…駆動素子

Claims (5)

1. 複数のノズルを基板に対して相対移動させながら前記ノズル毎に設けた駆動素子の駆動により、前記ノズルから前記基板に液状体を吐出する液滴吐出方法であって、
   前記ノズルの吐出特性に応じて当該ノズルに設けられた前記駆動素子に、該駆動素子を駆動する複数の駆動波形のうちの一つを設定する設定工程と、
   設定した駆動波形で前記駆動素子を駆動して、前記ノズルから前記液状体を前記基板に吐出させる走査工程とを有し、
   前記設定工程では、前記走査工程において同一のタイミングで駆動する前記駆動素子の数が、前記複数の駆動波形の間で互いに同一の数となるように設定することを特徴とする液滴吐出方法。
2. 請求項１記載の液滴吐出方法において、
   前記走査工程で複数のタイミングで前記ノズルから前記液状体を吐出させる際に、同一の前記駆動波形で駆動する前記駆動素子の数が前記複数のタイミングの間で互いに同一の数に設定することを特徴とする液滴吐出方法。
3. 請求項１または２記載の液滴吐出方法において、
   前記走査工程を複数回行う際に、前記設定工程では、各走査工程毎に同一のタイミングで駆動する前記駆動素子の数が、前記複数の駆動波形の間で互いに同一の数となるように設定することを特徴とする液滴吐出方法。
4. 請求項１から３のいずれか一項に記載の液滴吐出方法において、
   前記設定工程では、前記複数のノズルのうち、前記走査工程で前記液状体を吐出する前記ノズルについてのみ、前記駆動素子を駆動する複数の駆動波形のうちの一つを設定することを特徴とする液滴吐出方法。
5. 請求項１から４のいずれか一項に記載の液滴吐出方法を用いることを特徴とするカラーフィルター製造方法。

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