JP2010204601A - 液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法 - Google Patents

液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2010204601A
JP2010204601A JP2009053049A JP2009053049A JP2010204601A JP 2010204601 A JP2010204601 A JP 2010204601A JP 2009053049 A JP2009053049 A JP 2009053049A JP 2009053049 A JP2009053049 A JP 2009053049A JP 2010204601 A JP2010204601 A JP 2010204601A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
droplet discharge
dot
dots
droplet
discharge head
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2009053049A
Other languages
English (en)
Inventor
Takeshi Kato
剛 加藤
Takashi Goto
任 後藤
Sadaji Komori
貞治 小森
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2009053049A priority Critical patent/JP2010204601A/ja
Publication of JP2010204601A publication Critical patent/JP2010204601A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Optical Filters (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

【課題】メディア上に描画されるドット面積に基づいてノズルの吐出量を良好に補正可能な、液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法を提供する。
【解決手段】複数回の液滴の吐出動作に基づいて一つのドットを構成する液滴吐出ヘッド5と、液滴吐出ヘッド5から複数のドットが配されるドット受け部と、液滴吐出ヘッド5とドット受け部とを相対移動させる相対移動手段と、ドット受け部に配されたドットの各々の面積を測定する測定部と、測定部の測定結果に基づいて複数のノズル間における液滴の吐出量のばらつきを補正する補正手段と、ドット受け部にドットを配する場合において複数のドットの各々を構成する各吐出動作による液滴の各々の着弾位置が、一回目の前記吐出動作による液滴の着弾径の1%以内のずれとなるように相対移動手段を制御する制御部11と、を備えた液滴吐出装置IJである。
【選択図】図1

Description

本発明は、液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法に関するものである。
インクジェットプリンター(液滴吐出装置)のインクジェットヘッド(液滴吐出ヘッド)は、微小なインク滴をドット状に吐出することが可能であり、インク滴の大きさやピッチの均一性の面で極めて精度が高い。この技術は、各種製品、例えば電気光学装置等の製造分野への応用がなされている。例えば、液晶装置のカラーフィルター層や有機EL表示装置の発光部等の膜を形成する場合に応用することができる。
インクジェット方式でカラーフィルター層を形成する場合、各ノズルからのインク量のばらつきが表示ムラとして現れる。その解決方法として、基板に描画した被着色媒体の着色部分の色濃度を測定して補正する技術がある(例えば、特許文献1参照)。
特開平10−260306号公報
しかしながら、上記特許文献1の技術では、吸光度の測定誤差により正確な補正を行うことが難しかった。そこで、例えばインクジェットプリンター用紙等のメディア(ドット受け部)に配した各ドットの面積を測定し、ドット面積に基づいて各ノズルの吐出量を補正することが考えられる。
ところで、一般に、上記メディアに配される各ドットは、カラーフィルター層を形成する場合と同様、インクジェットヘッドを基板上に走査させた状態で吐出される複数のインク滴によって構成される。この場合、メディア上に配されるドットの形状がばらつくことで安定したドット面積が測定することができず、信頼性の高い吐出量の補正を行うことができなくなってしまう。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、メディア上に描画されるドット面積に基づいてノズルの吐出量を良好に補正可能な、液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法を提供することを目的としている。
本発明者は上記課題を解決するために鋭意研究の結果、メディアに描画したドット面積は一般的にインクの表面張力、インク及びメディア間の接触角によって決定する。各ドットを構成する液滴の吐出条件を管理することによりドット面積を安定化できるとの知見を得た。そして、この知見に基づいて本発明を完成させた。本発明の液滴吐出装置は、液滴を吐出する複数のノズルを有し、各々の前記ノズルにおける複数回の前記液滴の吐出動作に基づいて一つのドットを構成する液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドから前記複数のドットが配されるドット受け部と、前記液滴吐出ヘッドと前記ドット受け部とを相対移動させる相対移動手段と、前記ドット受け部に配された前記ドットの各々の面積を測定する測定部と、前記測定部の測定結果に基づいて前記複数のノズル間における前記液滴の吐出量のばらつきを補正する補正手段と、前記ドット受け部に前記ドットを配する場合において前記複数のドットの各々を構成する各吐出動作による前記液滴の各々の着弾位置が、一回目の前記吐出動作による前記液滴の着弾径の1%以内のずれとなるように前記相対移動手段を制御する制御部と、を備えることを特徴とする。
本発明の液滴吐出装置によれば、ドットを構成する各液滴の着弾位置のずれが一回目の吐出動作時の液滴の着弾径の1%以内に抑えられるので、ドット受け部に配置される各ドットを略真円状とすることができる。よって、測定部により各ドットの面積を精度良く測定することができ、補正手段により複数のノズル間における液滴の吐出量のばらつきを良好に補正できる。したがって、例えば基板上に配される各ドットによってムラの無い均一な膜を形成することができる。
本発明の液滴吐出方法は、液滴を吐出する複数のノズルを有し、各々の前記複数のノズルの各々から前記液滴を複数回吐出して一つのドットを構成する液滴吐出ヘッドを用いて基板上に前記複数のドットを配する液滴吐出方法であって、前記液滴吐出ヘッドから前記基板上に前記複数のドットを配するに先立ち、前記液滴吐出ヘッドとドット受け部とを相対移動させつつ、前記液滴吐出ヘッドから前記複数のドットを前記ドット受け部に配する配置工程と、前記ドット受け部に配置された前記ドットの各々の面積を測定する測定工程と、前記測定結果に基づいて前記複数のノズル間における前記液滴の吐出量のばらつきを補正する補正工程と、を有し、前記配置工程において、前記複数のドットの各々を構成する複数の前記液滴の各々の着弾位置が、一回目の吐出動作時の前記液滴の着弾径の1%以内のずれとなるように、前記ドット受け部と前記液滴吐出ヘッドとを相対移動させることを特徴とする。
本発明の液滴吐出方法によれば、ドットを構成する各液滴の着弾位置のずれが一回目の吐出動作時の液滴の着弾径の1%以内に抑えられるので、ドット受け部に配置される各ドットを略真円状とすることができる。よって、各ドットの面積を精度良く測定することができ、複数のノズル間における液滴の吐出量のばらつきを良好に補正できる。したがって、基板上に配置される各ドットによってムラの無い均一な膜を形成することができる。
本発明のカラーフィルターの製造方法によれば、上記液滴吐出装置、或いは上記液滴吐出方法を用いて、基材上に設けられた所定領域に前記ドットを配置してカラーフィルターを形成することを特徴とする。
本発明のカラーフィルターの製造方法によれば、液滴吐出ヘッドによって配置された各ドットは均一な膜を構成するため、スジムラの無い高品質なカラーフィルターを製造することができる。
液滴吐出装置の概略構成図である。 液滴吐出ヘッドの概略構成図である。 ノズル検査部の概略構成を示す斜視図である。 ドットを構成する5つの液滴の着弾位置を示す図である。 カラーフィルター基板上にカラーフィルターを形成する方法の説明図である。
以下、図面を参照して本発明の一実施形態について説明する。以下の説明においては、図1中に示されたXYZ直交座標系を設定し、このXYZ直交座標系を参照しつつ各部材について説明する。XYZ直交座標系は、X軸及びY軸がワークステージ2に対して平行となるよう設定され、Z軸がワークステージ2に対して直交する方向に設定されている。図1中のXYZ座標系は、実際にはXY平面が水平面に平行な面に設定され、Z軸が鉛直上方向に設定される。
図1は、本実施形態に係る液滴吐出装置IJの概略構成図である。液滴吐出装置IJは、例えばインクジェット方式によりカラーフィルター基板の所定領域上にカラーフィルター材料の液滴を吐出してカラーフィルター層を形成する装置であり、本実施形態の液滴吐出方法を行うものでもある。
液滴吐出装置IJは、装置架台1、ワークステージ2、ステージ移動装置3、キャリッジ4、液滴吐出ヘッド5、キャリッジ移動装置6、チューブ7、第1タンク8、第2タンク9、第3タンク10及び制御装置11を備えている。
装置架台1は、ワークステージ2及びステージ移動装置3の支持台である。ワークステージ2は、装置架台1上においてステージ移動装置3によってX軸方向に移動可能に設置されており、上流側の搬送装置(図示せず)から搬送されるカラーフィルター基板(基材)Pを、真空吸着機構によりXY平面上に保持する。ステージ移動装置3は、ボールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構を備え、制御装置11から入力される、ワークステージ2のX座標を示すステージ位置制御信号に基づいて、ワークステージ2をX軸方向に移動させる。
キャリッジ4は、液滴吐出ヘッド5を保持するものであり、キャリッジ移動装置6によってY軸方向及びZ軸方向に移動可能に設けられている。液滴吐出ヘッド5は、図示略の複数のノズルを備えており、制御装置11から入力される描画データや駆動制御信号に基づいて、カラーフィルター材料の液滴を吐出する。この液滴吐出ヘッド5は、カラーフィルター材料のR(赤)、G(緑)、B(青)に対応して設けられており、それぞれの液滴吐出ヘッド5はキャリッジ4を介してチューブ7と連結されている。そして、R(赤)に対応する液滴吐出ヘッド5はチューブ7を介して第1タンク8からR(赤)用のカラーフィルター材料の供給を受け、G(緑)に対応する液滴吐出ヘッド5はチューブ7を介して第2タンク9からG(緑)用のカラーフィルター材料の供給を受け、また、B(青)に対応する液滴吐出ヘッド5はチューブ7を介して第3タンク10からB(青)用のカラーフィルター材料の供給を受けるようになっている。
キャリッジ移動装置6は、装置架台1を跨ぐ橋梁構造をしており、Y軸方向及びZ軸方向に対してボールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構を備え、制御装置11から入力される、キャリッジ4のY座標及びZ座標を示すキャリッジ位置制御信号に基づいて、キャリッジ4をY軸方向及びZ軸方向に移動させる。
制御装置(制御部)11は、ステージ移動装置3にステージ位置制御信号を出力し、キャリッジ移動装置6にキャリッジ位置制御信号を出力すると共に、液滴吐出ヘッド5の駆動回路基板30に描画データ及び駆動制御信号を出力して、液滴吐出ヘッド5による液滴吐出動作、ワークステージ2の移動によるカラーフィルター基板Pの位置決め動作、キャリッジ4の移動による液滴吐出ヘッド5の位置決め動作の同期制御を行うことにより、カラーフィルター基板P上の所定の位置にカラーフィルター材料の液滴を吐出する。
図2は液滴吐出ヘッド5の概略構成図である。図2(a)は液滴吐出ヘッド5をワークステージ2側から見た平面図、図2(b)は液滴吐出ヘッド5の部分斜視図、図2(c)は液滴吐出ヘッド5の1ノズル分の部分断面図である。
図2(a)に示すように、液滴吐出ヘッド5は、Y軸方向に配列された複数(例えば180個)のノズルN〜N180を備えている。ノズルN〜N180によってノズル列NAが形成されている。図2(a)では1列分のノズルを示したが、液滴吐出ヘッド5に設けるノズル数及びノズル列数は任意に変更可能であり、Y軸方向に配列した1列分ノズルをX軸方向に複数列設けても良い。また、キャリッジ4内に配置する液滴吐出ヘッド5の数も任意に変更可能である。さらに、キャリッジ4をサブキャリッジ単位で複数設ける構成としても良い。
図2(b)に示すように、液滴吐出ヘッド5は、チューブ7と連結される材料供給孔20aが設けられた振動板20と、ノズルN〜N180が設けられたノズルプレート21と、振動板20とノズルプレート21との間に設けられた液溜まり22と、複数の隔壁23と、複数のキャビティ(液室)24とを備えている。振動板20上には、各ノズルN1〜N180に対応して圧電体素子(駆動素子)PZ〜PZ180が配置されている。圧電体素子PZ〜PZ180は、例えばピエゾ素子である。
リザーバ22には、材料供給孔20aを介して供給される液状のカラーフィルター材料(機能液)が充填されるようになっている。キャビティ24は、振動板20と、ノズルプレート21と、1対の隔壁23とによって囲まれるようにして形成されおり、各ノズルN〜N180に1対1に対応して設けられている。また、各キャビティ24には、一対の隔壁23の間に設けられた供給口24aを介して、リザーバ22からカラーフィルター材料が導入されるようになっている。
ここで、以下、圧電体素子PZ〜PZ180を総称して圧電体素子PZ、ノズルN〜N180を総称してノズルNと称す。図2(c)に示すように、圧電体素子PZは、圧電材料25を一対の電極26で挟持したものであり、一対の電極26に駆動信号を印加すると圧電材料25が収縮するよう構成されたものである。そして、このような圧電体素子PZが配置されている振動板20は、圧電体素子PZと一体になって同時に外側(キャビティ24の反対側)へ撓曲するようになっており、これによってキャビティ24の容積が増大するようになっている。
したがって、キャビティ24内に増大した容積分に相当するカラーフィルター材料が、液溜まり22から供給口24aを介して流入する。また、このような状態から圧電体素子PZへの駆動信号の印加を停止すると、圧電体素子PZと振動板20はともに元の形状に戻り、キャビティ24も元の容積に戻ることから、キャビティ24内のカラーフィルター材料の圧力が上昇し、ノズルNからカラーフィルター基板Pに向けてカラーフィルター材料の液滴Lが吐出される。
また、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド5は、一度の吐出動作に基づく液滴Lの吐出量が微小であるため、複数回(例えば、5回)の液滴Lの吐出動作に基づいて一つのドット(液溜り)を構成するようになっている。
ところで、一般に、液滴吐出ヘッド5には各ノズルN間において液滴Lの吐出量のバラツキが生じている。そこで、液滴吐出装置IJは、液滴吐出ヘッド5によるカラーフィルター基板Pへの吐出動作に先立ち、液滴吐出ヘッド5の各ノズルNにおける液滴Lの吐出状況を検出し、ノズルN間のバラツキを調整するようにしている。
具体的に本実施形態では、図1に示されるように、キャリッジ4の移動領域におけるワークステージ2の外側の領域にノズル検査部50を備えている。ノズル検査部50は、図3に示すように液滴吐出ヘッド5から複数のドットが配置されるためのメディア(ドット受け部)51と、メディア51に配置されたドットの各々の面積を測定する測定部52と、を備えている。なお、ノズル検査部50の測定部52は、制御装置11と電気的に接続されている。
メディア51は例えばインクジェットプリンター用紙等から構成されている。メディア51は巻き取り機構(相対移動手段)51aにより巻取り可能とされている。巻き取り機構51aは駆動ローラと従動ローラとを含み、制御装置11の指令に基づいてメディア51を巻き取り可能となっている。測定部52はCCDカメラ等から構成されるものである。
このような構成に基づいて、液滴吐出装置IJは、ノズル検査終了後、液滴吐出後のインクジェットプリンター用紙を巻き取ることで他のノズル検査を続けて行うことが可能となっている。
液滴吐出装置IJは、ノズル検査部50を用いる際、キャリッジ移動装置6によりキャリッジ4を移動させ、液滴吐出ヘッド5とメディア51とを対向させる。そして、液滴吐出ヘッド5の各ノズルNからメディア51上にドットを配置する。測定部52は、メディア51上の各ドットの面積を測定し、このデータを制御部11に送信する。これにより、制御装置11は巻き取り機構51aを駆動することで、液滴吐出ヘッド5とメディア51とが相対的に移動可能とされている。
また、制御装置11は、測定部52による各ドットの測定面積に基づいて、例えば各ノズルN間における液滴Lの吐出量のバラツキを補正するように各圧電体素子PZに印加する駆動信号の電圧を変化させる補正回路部(補正手段)55を含んでいる。補正回路部55は、上記測定部52による測定結果に基づき、ドットの面積が相対的に大きい(液滴Lの吐出量が相対的に多い)ノズルNに対応する圧電体素子PZに印加する駆動信号の電圧を低くする、或いは、ドットの面積が相対的に小さい(液滴Lの吐出量が相対的に少ない)ノズルNに対応する圧電体素子PZに印加する駆動信号の電圧を高くすることでノズルN間における吐出量のバラツキを補正する。
このように液滴吐出装置IJは、上記測定部52により測定した各ドットの面積に関するデータに基づいて複数のノズルN間における液滴Lの吐出量のばらつきを補正するようになっている。
ところで、本実施形態では、後述のように液滴吐出ヘッド5とカラーフィルター基板Pとを相対移動させつつ、ノズルNからカラーフィルター基板Pに向けてカラーフィルター材料の液滴Lを吐出するようにしている。そのため、液滴吐出ヘッド5の各ノズルNからメディア51上に各ドットを配置する場合にも、カラーフィルター製造時と同様に、メディア51と液滴吐出ヘッド5とを相対移動させた状態で液滴の吐出動作を行うようにしている。具体的に本実施形態では、メディア51を図1で示されるX方向に移動させた状態(巻き取り動作を行った状態)で各ノズルNから液滴Lを5回ずつ吐出することで1つのドットを形成する。
上記ノズル検査部50は、メディア51上に配置された各ドットの面積に基づいて各々のノズルNの吐出量を検出可能となっている。しかしながら、上述のようにメディア51と液滴吐出ヘッド5とを相対的に移動させた状態で液滴を吐出する場合においては、1つのドット60を構成する5つの液滴60a〜60eの着弾位置が図4に示されるようにずれた状態となる。ドット60を構成する液滴60a〜60eの着弾位置のずれが大きくなると、図4中破線で示されるようにドット60Aの形状が楕円状となる。このようにドット60Aが楕円状となると、上記測定部52により測定されるドット面積の測定値の信頼性が低下してしまい、補正回路部55によって行われる各ノズルN間の吐出量のばらつき補正における信頼性が低下する可能性がある。
そこで、本実施形態においては、制御装置11がメディア51へのドット60の配置工程において複数のドット60の各々を構成する各吐出動作による液滴60a〜60eの各々の着弾位置が、一回目の吐出動作による液滴60aの着弾径(本実施形態では、例えば略80μm)の1%以内のずれd(本実施形態では、例えば0.5μm)となるように、メディア51と液滴吐出ヘッド5との相対移動を制御している。これにより複数の液滴60a〜60eが表面張力によって引き寄せられることとなり、ドット60Bは図4中2点鎖線で示されるような略真円状となる。
よって、測定部52により各ドット60の面積を精度良く測定することができ、信頼性の高いドット面積データに基づいて補正回路部55は複数のノズルN間における液滴Lの吐出量のばらつきを良好に補正することができる。したがって、各ノズルNからカラーフィルター基板P上に配される各ドット60をそれぞれ均一な量の液滴から構成することができ、後述のようにムラの無い均一なカラーフィルター層を形成することができる。
図5は、液滴吐出装置IJの液滴吐出ヘッド5を用いてカラーフィルター基板P上にカラーフィルターを形成する方法の説明図である。図5(a)は、機能液の吐出対象物であるカラーフィルター基板Pの概略平面図である。図5(b)は、カラーフィルター基板Pの部分拡大平面図である。
図5(a)において、ガラス、プラスチック等によって形成された大面積のカラーフィルター基板Pの表面には複数のパネル領域CAが設定されている。各パネル領域CAは、互いに分離(切断)されて個々のカラーフィルター基板として提供される。各パネル領域CAの内部には、図5(b)に示すように、ドット状に配列された複数の画素PX(所定領域)が設けられている。画素PXは各パネル領域CA内にマトリクス状に配列されており、それぞれの画素PX毎にカラーフィルター層(着色層)CFが形成される。
本実施形態では、図5(b)の図示上下方向(矢印A1及び矢印A2で示す方向)を主走査方向とし、主走査方向と直交する方向(図示左右方向)を副走査方向として、液滴吐出ヘッド5をカラーフィルター基板P上に配置する。そして、カラーフィルター基板Pを液滴吐出ヘッド5に対して主走査方向及び副走査方向に相対的に移動(走査)させながら、液滴吐出ヘッド5の複数のノズルNの各々から着色材料を含む液滴Lを複数回(5回)吐出することで各ドットをカラーフィルター基板P上に配置し、これにより各画素PXにカラーフィルター層CFを形成する。
液滴吐出ヘッド5の走査は、1つのパネル領域CAに関して複数回行う。例えば、主走査方向に液滴吐出ヘッド5を走査した後、副走査方向に液滴吐出ヘッド5を移動(走査)し、再度主走査方向に走査を行う。1つのパネル領域CAの左端から右端まで移動(副走査)したら、再びパネル領域CAの左端に戻り、既に吐出を行った位置とは若干異なる位置で主走査方向に走査を行う。そして、このような走査を複数回行うことによって、パネル領域CA内の全ての画素PXに所望の膜厚のカラーフィルター層CFを形成する。
なお、図5(b)において液滴吐出ヘッド5が副走査方向に対して斜めに傾いているのは、液滴吐出ヘッド5のノズルNのピッチを画素PXのピッチに合わせるためである。ノズルNのピッチと画素PXのピッチとが所定の対応関係を満たして設定されていれば、液滴吐出ヘッド5を斜めに傾ける必要はない。
カラーフィルター層CFは、R(赤)、G(緑)、B(青)の各色をいわゆるストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列等といった適宜の配列形態で配列することによって形成される。したがって、図5(b)に示す機能液の吐出工程においては、R、G、Bのカラーフィルター材料を吐出する液滴吐出ヘッド5を、R、G、Bの3色分だけ予め用意する。そして、これらの液滴吐出ヘッド5を順次に用いて1つのカラーフィルター基板P上にR、G、Bの3色のカラーフィルター層CFの配列を形成する。
本実施形態によれば、上述のように液滴吐出ヘッド5によってカラーフィルター基板P上に配された各ドットはいずれも均一な量の液滴から構成されるため、各画素PXにスジムラの無い高品質なカラーフィルター層CFを製造することができる。
なお、上記実施形態では、ノズル間の吐出量のばらつきが調整された液滴吐出装置IJを用いてカラーフィルターを製造する方法に用いる場合について説明したが、本発明の液滴吐出装置IJはカラーフィルターの製造だけでなく、均一な膜厚を必要とされ、スジムラの形成が問題となる成膜工程においても適用可能である。
IJ…液滴吐出装置、N…ノズル、P…カラーフィルター基板、PX…画素(所定領域)、5…液滴吐出ヘッド、11…制御装置(制御部)、51…メディア(ドット受け部)、51a…巻き取り機構(相対移動手段)、52…測定部、55…補正回路部(補正手段)、60A…ドット、60B…ドット、

Claims (3)

  1. 液滴を吐出する複数のノズルを有し、各々の前記ノズルにおける複数回の前記液滴の吐出動作に基づいて一つのドットを構成する液滴吐出ヘッドと、
    前記液滴吐出ヘッドから前記複数のドットが配されるドット受け部と、
    前記液滴吐出ヘッドと前記ドット受け部とを相対移動させる相対移動手段と、
    前記ドット受け部に配された前記ドットの各々の面積を測定する測定部と、
    前記測定部の測定結果に基づいて前記複数のノズル間における前記液滴の吐出量のばらつきを補正する補正手段と、
    前記ドット受け部に前記ドットを配する場合において前記複数のドットの各々を構成する各吐出動作による前記液滴の各々の着弾位置が、一回目の前記吐出動作による前記液滴の着弾径の1%以内のずれとなるように前記相対移動手段を制御する制御部と、を備えることを特徴とする液滴吐出装置。
  2. 液滴を吐出する複数のノズルを有し、各々の前記複数のノズルの各々から前記液滴を複数回吐出して一つのドットを構成する液滴吐出ヘッドを用いて基板上に前記複数のドットを配する液滴吐出方法であって、
    前記液滴吐出ヘッドから前記基板上に前記複数のドットを配するに先立ち、
    前記液滴吐出ヘッドとドット受け部とを相対移動させつつ、前記液滴吐出ヘッドから前記複数のドットを前記ドット受け部に配する配置工程と、
    前記ドット受け部に配置された前記ドットの各々の面積を測定する測定工程と、
    前記測定結果に基づいて前記複数のノズル間における前記液滴の吐出量のばらつきを補正する補正工程と、を有し、
    前記配置工程において、前記複数のドットの各々を構成する複数の前記液滴の各々の着弾位置が、一回目の吐出動作時の前記液滴の着弾径の1%以内のずれとなるように、前記ドット受け部と前記液滴吐出ヘッドとを相対移動させることを特徴とする液滴吐出方法。
  3. 請求項1に記載の液滴吐出装置、或いは請求項2に記載の液滴吐出方法を用いて、基材上に設けられた所定領域に前記ドットを配置してカラーフィルターを形成することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
JP2009053049A 2009-03-06 2009-03-06 液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法 Withdrawn JP2010204601A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009053049A JP2010204601A (ja) 2009-03-06 2009-03-06 液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009053049A JP2010204601A (ja) 2009-03-06 2009-03-06 液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2010204601A true JP2010204601A (ja) 2010-09-16

Family

ID=42966110

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009053049A Withdrawn JP2010204601A (ja) 2009-03-06 2009-03-06 液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2010204601A (ja)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001232775A (ja) * 2000-02-18 2001-08-28 Copyer Co Ltd インクジェット画像形成装置
JP2008142654A (ja) * 2006-12-12 2008-06-26 Seiko Epson Corp 画素観察システム、描画システム、液状体の描画方法、カラーフィルタの製造方法、有機el素子の製造方法
JP2008264608A (ja) * 2007-04-16 2008-11-06 Shibaura Mechatronics Corp 液滴塗布装置及び液滴塗布方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001232775A (ja) * 2000-02-18 2001-08-28 Copyer Co Ltd インクジェット画像形成装置
JP2008142654A (ja) * 2006-12-12 2008-06-26 Seiko Epson Corp 画素観察システム、描画システム、液状体の描画方法、カラーフィルタの製造方法、有機el素子の製造方法
JP2008264608A (ja) * 2007-04-16 2008-11-06 Shibaura Mechatronics Corp 液滴塗布装置及び液滴塗布方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4442620B2 (ja) 着弾ドット測定方法および着弾ドット測定装置、並びに液滴吐出装置および電気光学装置の製造方法
JP2007256449A (ja) 液滴噴射検査装置、液滴噴射装置及び塗布体の製造方法
JP2004337725A (ja) 液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器および基板
JP5423148B2 (ja) 液滴吐出方法及び液滴吐出装置
JP2006159116A (ja) ワークギャップ調整方法、ワークギャップ調整装置、液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器
JP4702287B2 (ja) 液滴吐出装置、機能膜形成方法、液晶配向膜形成装置及び液晶表示装置の液晶配向膜形成方法
JP4725114B2 (ja) パターン形成装置及び方法
JP2004337726A (ja) 液滴吐出装置、電気光学装置の製造方法、電気光学装置、電子機器および基板
JP2010204411A (ja) 液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法
JP2005238787A (ja) インク吐出量測定方法と、これを用いたインク吐出量制御方法及びインクジェット装置
JP2010210853A (ja) 液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法
JP2010204601A (ja) 液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法
JP2010204408A (ja) 液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法
JP5152041B2 (ja) 液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法
JP2014008481A (ja) 液滴吐出方法
JP5272806B2 (ja) 液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法
JP2010266636A (ja) カラーフィルタ基板の製造方法及びカラーフィルタの製造方法並びにカラーフィルタ基板
JP2011011146A (ja) 液滴吐出方法及びカラーフィルター製造方法
JP5915234B2 (ja) 液滴吐出装置
JP5444849B2 (ja) 液滴吐出方法及び液滴吐出装置
JP2010210740A (ja) 液滴吐出方法及びカラーフィルターの製造方法
JP5326693B2 (ja) 液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法
JP2007125514A (ja) 液滴吐出量測定方法、液滴吐出量測定用治具、液滴吐出量調整方法、液滴吐出量測定装置、描画装置、デバイス及び電気光学装置並びに電子機器
JP2010197546A (ja) 液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法
JP2010204413A (ja) 液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20120120

A977 Report on retrieval

Effective date: 20121122

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20121204

A761 Written withdrawal of application

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761

Effective date: 20130129