JP2010204601A

JP2010204601A - 液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法

Info

Publication number: JP2010204601A
Application number: JP2009053049A
Authority: JP
Inventors: Takeshi Kato; 剛加藤; Takashi Goto; 任後藤; Sadaji Komori; 貞治小森
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2009-03-06
Filing date: 2009-03-06
Publication date: 2010-09-16

Abstract

【課題】メディア上に描画されるドット面積に基づいてノズルの吐出量を良好に補正可能な、液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法を提供する。
【解決手段】複数回の液滴の吐出動作に基づいて一つのドットを構成する液滴吐出ヘッド５と、液滴吐出ヘッド５から複数のドットが配されるドット受け部と、液滴吐出ヘッド５とドット受け部とを相対移動させる相対移動手段と、ドット受け部に配されたドットの各々の面積を測定する測定部と、測定部の測定結果に基づいて複数のノズル間における液滴の吐出量のばらつきを補正する補正手段と、ドット受け部にドットを配する場合において複数のドットの各々を構成する各吐出動作による液滴の各々の着弾位置が、一回目の前記吐出動作による液滴の着弾径の１％以内のずれとなるように相対移動手段を制御する制御部１１と、を備えた液滴吐出装置ＩＪである。
【選択図】図１

Description

本発明は、液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法に関するものである。

インクジェットプリンター（液滴吐出装置）のインクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）は、微小なインク滴をドット状に吐出することが可能であり、インク滴の大きさやピッチの均一性の面で極めて精度が高い。この技術は、各種製品、例えば電気光学装置等の製造分野への応用がなされている。例えば、液晶装置のカラーフィルター層や有機ＥＬ表示装置の発光部等の膜を形成する場合に応用することができる。

インクジェット方式でカラーフィルター層を形成する場合、各ノズルからのインク量のばらつきが表示ムラとして現れる。その解決方法として、基板に描画した被着色媒体の着色部分の色濃度を測定して補正する技術がある（例えば、特許文献１参照）。

特開平１０−２６０３０６号公報

しかしながら、上記特許文献１の技術では、吸光度の測定誤差により正確な補正を行うことが難しかった。そこで、例えばインクジェットプリンター用紙等のメディア（ドット受け部）に配した各ドットの面積を測定し、ドット面積に基づいて各ノズルの吐出量を補正することが考えられる。
ところで、一般に、上記メディアに配される各ドットは、カラーフィルター層を形成する場合と同様、インクジェットヘッドを基板上に走査させた状態で吐出される複数のインク滴によって構成される。この場合、メディア上に配されるドットの形状がばらつくことで安定したドット面積が測定することができず、信頼性の高い吐出量の補正を行うことができなくなってしまう。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、メディア上に描画されるドット面積に基づいてノズルの吐出量を良好に補正可能な、液滴吐出装置、液滴吐出方法、及びカラーフィルターの製造方法を提供することを目的としている。

本発明者は上記課題を解決するために鋭意研究の結果、メディアに描画したドット面積は一般的にインクの表面張力、インク及びメディア間の接触角によって決定する。各ドットを構成する液滴の吐出条件を管理することによりドット面積を安定化できるとの知見を得た。そして、この知見に基づいて本発明を完成させた。本発明の液滴吐出装置は、液滴を吐出する複数のノズルを有し、各々の前記ノズルにおける複数回の前記液滴の吐出動作に基づいて一つのドットを構成する液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッドから前記複数のドットが配されるドット受け部と、前記液滴吐出ヘッドと前記ドット受け部とを相対移動させる相対移動手段と、前記ドット受け部に配された前記ドットの各々の面積を測定する測定部と、前記測定部の測定結果に基づいて前記複数のノズル間における前記液滴の吐出量のばらつきを補正する補正手段と、前記ドット受け部に前記ドットを配する場合において前記複数のドットの各々を構成する各吐出動作による前記液滴の各々の着弾位置が、一回目の前記吐出動作による前記液滴の着弾径の１％以内のずれとなるように前記相対移動手段を制御する制御部と、を備えることを特徴とする。

本発明の液滴吐出装置によれば、ドットを構成する各液滴の着弾位置のずれが一回目の吐出動作時の液滴の着弾径の１％以内に抑えられるので、ドット受け部に配置される各ドットを略真円状とすることができる。よって、測定部により各ドットの面積を精度良く測定することができ、補正手段により複数のノズル間における液滴の吐出量のばらつきを良好に補正できる。したがって、例えば基板上に配される各ドットによってムラの無い均一な膜を形成することができる。

本発明の液滴吐出方法は、液滴を吐出する複数のノズルを有し、各々の前記複数のノズルの各々から前記液滴を複数回吐出して一つのドットを構成する液滴吐出ヘッドを用いて基板上に前記複数のドットを配する液滴吐出方法であって、前記液滴吐出ヘッドから前記基板上に前記複数のドットを配するに先立ち、前記液滴吐出ヘッドとドット受け部とを相対移動させつつ、前記液滴吐出ヘッドから前記複数のドットを前記ドット受け部に配する配置工程と、前記ドット受け部に配置された前記ドットの各々の面積を測定する測定工程と、前記測定結果に基づいて前記複数のノズル間における前記液滴の吐出量のばらつきを補正する補正工程と、を有し、前記配置工程において、前記複数のドットの各々を構成する複数の前記液滴の各々の着弾位置が、一回目の吐出動作時の前記液滴の着弾径の１％以内のずれとなるように、前記ドット受け部と前記液滴吐出ヘッドとを相対移動させることを特徴とする。

本発明の液滴吐出方法によれば、ドットを構成する各液滴の着弾位置のずれが一回目の吐出動作時の液滴の着弾径の１％以内に抑えられるので、ドット受け部に配置される各ドットを略真円状とすることができる。よって、各ドットの面積を精度良く測定することができ、複数のノズル間における液滴の吐出量のばらつきを良好に補正できる。したがって、基板上に配置される各ドットによってムラの無い均一な膜を形成することができる。

本発明のカラーフィルターの製造方法によれば、上記液滴吐出装置、或いは上記液滴吐出方法を用いて、基材上に設けられた所定領域に前記ドットを配置してカラーフィルターを形成することを特徴とする。

本発明のカラーフィルターの製造方法によれば、液滴吐出ヘッドによって配置された各ドットは均一な膜を構成するため、スジムラの無い高品質なカラーフィルターを製造することができる。

液滴吐出装置の概略構成図である。液滴吐出ヘッドの概略構成図である。ノズル検査部の概略構成を示す斜視図である。ドットを構成する５つの液滴の着弾位置を示す図である。カラーフィルター基板上にカラーフィルターを形成する方法の説明図である。

以下、図面を参照して本発明の一実施形態について説明する。以下の説明においては、図１中に示されたＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材について説明する。ＸＹＺ直交座標系は、Ｘ軸及びＹ軸がワークステージ２に対して平行となるよう設定され、Ｚ軸がワークステージ２に対して直交する方向に設定されている。図１中のＸＹＺ座標系は、実際にはＸＹ平面が水平面に平行な面に設定され、Ｚ軸が鉛直上方向に設定される。

図１は、本実施形態に係る液滴吐出装置ＩＪの概略構成図である。液滴吐出装置ＩＪは、例えばインクジェット方式によりカラーフィルター基板の所定領域上にカラーフィルター材料の液滴を吐出してカラーフィルター層を形成する装置であり、本実施形態の液滴吐出方法を行うものでもある。

液滴吐出装置ＩＪは、装置架台１、ワークステージ２、ステージ移動装置３、キャリッジ４、液滴吐出ヘッド５、キャリッジ移動装置６、チューブ７、第１タンク８、第２タンク９、第３タンク１０及び制御装置１１を備えている。

装置架台１は、ワークステージ２及びステージ移動装置３の支持台である。ワークステージ２は、装置架台１上においてステージ移動装置３によってＸ軸方向に移動可能に設置されており、上流側の搬送装置（図示せず）から搬送されるカラーフィルター基板（基材）Ｐを、真空吸着機構によりＸＹ平面上に保持する。ステージ移動装置３は、ボールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構を備え、制御装置１１から入力される、ワークステージ２のＸ座標を示すステージ位置制御信号に基づいて、ワークステージ２をＸ軸方向に移動させる。

キャリッジ４は、液滴吐出ヘッド５を保持するものであり、キャリッジ移動装置６によってＹ軸方向及びＺ軸方向に移動可能に設けられている。液滴吐出ヘッド５は、図示略の複数のノズルを備えており、制御装置１１から入力される描画データや駆動制御信号に基づいて、カラーフィルター材料の液滴を吐出する。この液滴吐出ヘッド５は、カラーフィルター材料のＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）に対応して設けられており、それぞれの液滴吐出ヘッド５はキャリッジ４を介してチューブ７と連結されている。そして、Ｒ（赤）に対応する液滴吐出ヘッド５はチューブ７を介して第１タンク８からＲ（赤）用のカラーフィルター材料の供給を受け、Ｇ（緑）に対応する液滴吐出ヘッド５はチューブ７を介して第２タンク９からＧ（緑）用のカラーフィルター材料の供給を受け、また、Ｂ（青）に対応する液滴吐出ヘッド５はチューブ７を介して第３タンク１０からＢ（青）用のカラーフィルター材料の供給を受けるようになっている。

キャリッジ移動装置６は、装置架台１を跨ぐ橋梁構造をしており、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に対してボールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構を備え、制御装置１１から入力される、キャリッジ４のＹ座標及びＺ座標を示すキャリッジ位置制御信号に基づいて、キャリッジ４をＹ軸方向及びＺ軸方向に移動させる。

制御装置（制御部）１１は、ステージ移動装置３にステージ位置制御信号を出力し、キャリッジ移動装置６にキャリッジ位置制御信号を出力すると共に、液滴吐出ヘッド５の駆動回路基板３０に描画データ及び駆動制御信号を出力して、液滴吐出ヘッド５による液滴吐出動作、ワークステージ２の移動によるカラーフィルター基板Ｐの位置決め動作、キャリッジ４の移動による液滴吐出ヘッド５の位置決め動作の同期制御を行うことにより、カラーフィルター基板Ｐ上の所定の位置にカラーフィルター材料の液滴を吐出する。

図２は液滴吐出ヘッド５の概略構成図である。図２（ａ）は液滴吐出ヘッド５をワークステージ２側から見た平面図、図２（ｂ）は液滴吐出ヘッド５の部分斜視図、図２（ｃ）は液滴吐出ヘッド５の１ノズル分の部分断面図である。

図２（ａ）に示すように、液滴吐出ヘッド５は、Ｙ軸方向に配列された複数（例えば１８０個）のノズルＮ_１〜Ｎ_１８０を備えている。ノズルＮ_１〜Ｎ_１８０によってノズル列ＮＡが形成されている。図２（ａ）では１列分のノズルを示したが、液滴吐出ヘッド５に設けるノズル数及びノズル列数は任意に変更可能であり、Ｙ軸方向に配列した１列分ノズルをＸ軸方向に複数列設けても良い。また、キャリッジ４内に配置する液滴吐出ヘッド５の数も任意に変更可能である。さらに、キャリッジ４をサブキャリッジ単位で複数設ける構成としても良い。

図２（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド５は、チューブ７と連結される材料供給孔２０ａが設けられた振動板２０と、ノズルＮ_１〜Ｎ_１８０が設けられたノズルプレート２１と、振動板２０とノズルプレート２１との間に設けられた液溜まり２２と、複数の隔壁２３と、複数のキャビティ（液室）２４とを備えている。振動板２０上には、各ノズルＮ１〜Ｎ１８０に対応して圧電体素子（駆動素子）ＰＺ_１〜ＰＺ_１８０が配置されている。圧電体素子ＰＺ_１〜ＰＺ_１８０は、例えばピエゾ素子である。

リザーバ２２には、材料供給孔２０ａを介して供給される液状のカラーフィルター材料（機能液）が充填されるようになっている。キャビティ２４は、振動板２０と、ノズルプレート２１と、１対の隔壁２３とによって囲まれるようにして形成されおり、各ノズルＮ_１〜Ｎ_１８０に１対１に対応して設けられている。また、各キャビティ２４には、一対の隔壁２３の間に設けられた供給口２４ａを介して、リザーバ２２からカラーフィルター材料が導入されるようになっている。

ここで、以下、圧電体素子ＰＺ_１〜ＰＺ_１８０を総称して圧電体素子ＰＺ、ノズルＮ_１〜Ｎ_１８０を総称してノズルＮと称す。図２（ｃ）に示すように、圧電体素子ＰＺは、圧電材料２５を一対の電極２６で挟持したものであり、一対の電極２６に駆動信号を印加すると圧電材料２５が収縮するよう構成されたものである。そして、このような圧電体素子ＰＺが配置されている振動板２０は、圧電体素子ＰＺと一体になって同時に外側（キャビティ２４の反対側）へ撓曲するようになっており、これによってキャビティ２４の容積が増大するようになっている。

したがって、キャビティ２４内に増大した容積分に相当するカラーフィルター材料が、液溜まり２２から供給口２４ａを介して流入する。また、このような状態から圧電体素子ＰＺへの駆動信号の印加を停止すると、圧電体素子ＰＺと振動板２０はともに元の形状に戻り、キャビティ２４も元の容積に戻ることから、キャビティ２４内のカラーフィルター材料の圧力が上昇し、ノズルＮからカラーフィルター基板Ｐに向けてカラーフィルター材料の液滴Ｌが吐出される。
また、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド５は、一度の吐出動作に基づく液滴Ｌの吐出量が微小であるため、複数回（例えば、５回）の液滴Ｌの吐出動作に基づいて一つのドット（液溜り）を構成するようになっている。

ところで、一般に、液滴吐出ヘッド５には各ノズルＮ間において液滴Ｌの吐出量のバラツキが生じている。そこで、液滴吐出装置ＩＪは、液滴吐出ヘッド５によるカラーフィルター基板Ｐへの吐出動作に先立ち、液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮにおける液滴Ｌの吐出状況を検出し、ノズルＮ間のバラツキを調整するようにしている。

具体的に本実施形態では、図１に示されるように、キャリッジ４の移動領域におけるワークステージ２の外側の領域にノズル検査部５０を備えている。ノズル検査部５０は、図３に示すように液滴吐出ヘッド５から複数のドットが配置されるためのメディア（ドット受け部）５１と、メディア５１に配置されたドットの各々の面積を測定する測定部５２と、を備えている。なお、ノズル検査部５０の測定部５２は、制御装置１１と電気的に接続されている。

メディア５１は例えばインクジェットプリンター用紙等から構成されている。メディア５１は巻き取り機構（相対移動手段）５１ａにより巻取り可能とされている。巻き取り機構５１ａは駆動ローラと従動ローラとを含み、制御装置１１の指令に基づいてメディア５１を巻き取り可能となっている。測定部５２はＣＣＤカメラ等から構成されるものである。
このような構成に基づいて、液滴吐出装置ＩＪは、ノズル検査終了後、液滴吐出後のインクジェットプリンター用紙を巻き取ることで他のノズル検査を続けて行うことが可能となっている。

液滴吐出装置ＩＪは、ノズル検査部５０を用いる際、キャリッジ移動装置６によりキャリッジ４を移動させ、液滴吐出ヘッド５とメディア５１とを対向させる。そして、液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮからメディア５１上にドットを配置する。測定部５２は、メディア５１上の各ドットの面積を測定し、このデータを制御部１１に送信する。これにより、制御装置１１は巻き取り機構５１ａを駆動することで、液滴吐出ヘッド５とメディア５１とが相対的に移動可能とされている。

また、制御装置１１は、測定部５２による各ドットの測定面積に基づいて、例えば各ノズルＮ間における液滴Ｌの吐出量のバラツキを補正するように各圧電体素子ＰＺに印加する駆動信号の電圧を変化させる補正回路部（補正手段）５５を含んでいる。補正回路部５５は、上記測定部５２による測定結果に基づき、ドットの面積が相対的に大きい（液滴Ｌの吐出量が相対的に多い）ノズルＮに対応する圧電体素子ＰＺに印加する駆動信号の電圧を低くする、或いは、ドットの面積が相対的に小さい（液滴Ｌの吐出量が相対的に少ない）ノズルＮに対応する圧電体素子ＰＺに印加する駆動信号の電圧を高くすることでノズルＮ間における吐出量のバラツキを補正する。
このように液滴吐出装置ＩＪは、上記測定部５２により測定した各ドットの面積に関するデータに基づいて複数のノズルＮ間における液滴Ｌの吐出量のばらつきを補正するようになっている。

ところで、本実施形態では、後述のように液滴吐出ヘッド５とカラーフィルター基板Ｐとを相対移動させつつ、ノズルＮからカラーフィルター基板Ｐに向けてカラーフィルター材料の液滴Ｌを吐出するようにしている。そのため、液滴吐出ヘッド５の各ノズルＮからメディア５１上に各ドットを配置する場合にも、カラーフィルター製造時と同様に、メディア５１と液滴吐出ヘッド５とを相対移動させた状態で液滴の吐出動作を行うようにしている。具体的に本実施形態では、メディア５１を図１で示されるＸ方向に移動させた状態（巻き取り動作を行った状態）で各ノズルＮから液滴Ｌを５回ずつ吐出することで１つのドットを形成する。

上記ノズル検査部５０は、メディア５１上に配置された各ドットの面積に基づいて各々のノズルＮの吐出量を検出可能となっている。しかしながら、上述のようにメディア５１と液滴吐出ヘッド５とを相対的に移動させた状態で液滴を吐出する場合においては、１つのドット６０を構成する５つの液滴６０ａ〜６０ｅの着弾位置が図４に示されるようにずれた状態となる。ドット６０を構成する液滴６０ａ〜６０ｅの着弾位置のずれが大きくなると、図４中破線で示されるようにドット６０Ａの形状が楕円状となる。このようにドット６０Ａが楕円状となると、上記測定部５２により測定されるドット面積の測定値の信頼性が低下してしまい、補正回路部５５によって行われる各ノズルＮ間の吐出量のばらつき補正における信頼性が低下する可能性がある。

そこで、本実施形態においては、制御装置１１がメディア５１へのドット６０の配置工程において複数のドット６０の各々を構成する各吐出動作による液滴６０ａ〜６０ｅの各々の着弾位置が、一回目の吐出動作による液滴６０ａの着弾径（本実施形態では、例えば略８０μｍ）の１％以内のずれｄ（本実施形態では、例えば０．５μｍ）となるように、メディア５１と液滴吐出ヘッド５との相対移動を制御している。これにより複数の液滴６０ａ〜６０ｅが表面張力によって引き寄せられることとなり、ドット６０Ｂは図４中２点鎖線で示されるような略真円状となる。

よって、測定部５２により各ドット６０の面積を精度良く測定することができ、信頼性の高いドット面積データに基づいて補正回路部５５は複数のノズルＮ間における液滴Ｌの吐出量のばらつきを良好に補正することができる。したがって、各ノズルＮからカラーフィルター基板Ｐ上に配される各ドット６０をそれぞれ均一な量の液滴から構成することができ、後述のようにムラの無い均一なカラーフィルター層を形成することができる。

図５は、液滴吐出装置ＩＪの液滴吐出ヘッド５を用いてカラーフィルター基板Ｐ上にカラーフィルターを形成する方法の説明図である。図５（ａ）は、機能液の吐出対象物であるカラーフィルター基板Ｐの概略平面図である。図５（ｂ）は、カラーフィルター基板Ｐの部分拡大平面図である。

図５（ａ）において、ガラス、プラスチック等によって形成された大面積のカラーフィルター基板Ｐの表面には複数のパネル領域ＣＡが設定されている。各パネル領域ＣＡは、互いに分離（切断）されて個々のカラーフィルター基板として提供される。各パネル領域ＣＡの内部には、図５（ｂ）に示すように、ドット状に配列された複数の画素ＰＸ（所定領域）が設けられている。画素ＰＸは各パネル領域ＣＡ内にマトリクス状に配列されており、それぞれの画素ＰＸ毎にカラーフィルター層（着色層）ＣＦが形成される。

本実施形態では、図５（ｂ）の図示上下方向（矢印Ａ１及び矢印Ａ２で示す方向）を主走査方向とし、主走査方向と直交する方向（図示左右方向）を副走査方向として、液滴吐出ヘッド５をカラーフィルター基板Ｐ上に配置する。そして、カラーフィルター基板Ｐを液滴吐出ヘッド５に対して主走査方向及び副走査方向に相対的に移動（走査）させながら、液滴吐出ヘッド５の複数のノズルＮの各々から着色材料を含む液滴Ｌを複数回（５回）吐出することで各ドットをカラーフィルター基板Ｐ上に配置し、これにより各画素ＰＸにカラーフィルター層ＣＦを形成する。

液滴吐出ヘッド５の走査は、１つのパネル領域ＣＡに関して複数回行う。例えば、主走査方向に液滴吐出ヘッド５を走査した後、副走査方向に液滴吐出ヘッド５を移動（走査）し、再度主走査方向に走査を行う。１つのパネル領域ＣＡの左端から右端まで移動（副走査）したら、再びパネル領域ＣＡの左端に戻り、既に吐出を行った位置とは若干異なる位置で主走査方向に走査を行う。そして、このような走査を複数回行うことによって、パネル領域ＣＡ内の全ての画素ＰＸに所望の膜厚のカラーフィルター層ＣＦを形成する。

なお、図５（ｂ）において液滴吐出ヘッド５が副走査方向に対して斜めに傾いているのは、液滴吐出ヘッド５のノズルＮのピッチを画素ＰＸのピッチに合わせるためである。ノズルＮのピッチと画素ＰＸのピッチとが所定の対応関係を満たして設定されていれば、液滴吐出ヘッド５を斜めに傾ける必要はない。

カラーフィルター層ＣＦは、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各色をいわゆるストライプ配列、デルタ配列、モザイク配列等といった適宜の配列形態で配列することによって形成される。したがって、図５（ｂ）に示す機能液の吐出工程においては、Ｒ、Ｇ、Ｂのカラーフィルター材料を吐出する液滴吐出ヘッド５を、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色分だけ予め用意する。そして、これらの液滴吐出ヘッド５を順次に用いて１つのカラーフィルター基板Ｐ上にＲ、Ｇ、Ｂの３色のカラーフィルター層ＣＦの配列を形成する。

本実施形態によれば、上述のように液滴吐出ヘッド５によってカラーフィルター基板Ｐ上に配された各ドットはいずれも均一な量の液滴から構成されるため、各画素ＰＸにスジムラの無い高品質なカラーフィルター層ＣＦを製造することができる。

なお、上記実施形態では、ノズル間の吐出量のばらつきが調整された液滴吐出装置ＩＪを用いてカラーフィルターを製造する方法に用いる場合について説明したが、本発明の液滴吐出装置ＩＪはカラーフィルターの製造だけでなく、均一な膜厚を必要とされ、スジムラの形成が問題となる成膜工程においても適用可能である。

ＩＪ…液滴吐出装置、Ｎ…ノズル、Ｐ…カラーフィルター基板、ＰＸ…画素（所定領域）、５…液滴吐出ヘッド、１１…制御装置（制御部）、５１…メディア（ドット受け部）、５１ａ…巻き取り機構（相対移動手段）、５２…測定部、５５…補正回路部（補正手段）、６０Ａ…ドット、６０Ｂ…ドット、

Claims

液滴を吐出する複数のノズルを有し、各々の前記ノズルにおける複数回の前記液滴の吐出動作に基づいて一つのドットを構成する液滴吐出ヘッドと、
前記液滴吐出ヘッドから前記複数のドットが配されるドット受け部と、
前記液滴吐出ヘッドと前記ドット受け部とを相対移動させる相対移動手段と、
前記ドット受け部に配された前記ドットの各々の面積を測定する測定部と、
前記測定部の測定結果に基づいて前記複数のノズル間における前記液滴の吐出量のばらつきを補正する補正手段と、
前記ドット受け部に前記ドットを配する場合において前記複数のドットの各々を構成する各吐出動作による前記液滴の各々の着弾位置が、一回目の前記吐出動作による前記液滴の着弾径の１％以内のずれとなるように前記相対移動手段を制御する制御部と、を備えることを特徴とする液滴吐出装置。
液滴を吐出する複数のノズルを有し、各々の前記複数のノズルの各々から前記液滴を複数回吐出して一つのドットを構成する液滴吐出ヘッドを用いて基板上に前記複数のドットを配する液滴吐出方法であって、
前記液滴吐出ヘッドから前記基板上に前記複数のドットを配するに先立ち、
前記液滴吐出ヘッドとドット受け部とを相対移動させつつ、前記液滴吐出ヘッドから前記複数のドットを前記ドット受け部に配する配置工程と、
前記ドット受け部に配置された前記ドットの各々の面積を測定する測定工程と、
前記測定結果に基づいて前記複数のノズル間における前記液滴の吐出量のばらつきを補正する補正工程と、を有し、
前記配置工程において、前記複数のドットの各々を構成する複数の前記液滴の各々の着弾位置が、一回目の吐出動作時の前記液滴の着弾径の１％以内のずれとなるように、前記ドット受け部と前記液滴吐出ヘッドとを相対移動させることを特徴とする液滴吐出方法。
請求項１に記載の液滴吐出装置、或いは請求項２に記載の液滴吐出方法を用いて、基材上に設けられた所定領域に前記ドットを配置してカラーフィルターを形成することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。