JP2015100747A - 薄膜形成方法及び薄膜形成装置 - Google Patents
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Abstract
Description
基板の表面の薄膜形成領域の縁に、薄膜材料を液滴化して着弾させるとともに、着弾した前記薄膜材料を硬化させることにより、前記薄膜形成領域の縁に沿うエッジパターンを形成する工程と、
前記エッジパターンを形成した後、前記薄膜形成領域の内部に、前記薄膜材料の液滴を着弾させ、着弾した前記薄膜材料を硬化させることにより、薄膜を形成する工程と
を有し、
前記薄膜形成領域の形状は、二次元方向に配列した複数のピクセルからなる画像データによって定義されており、
前記エッジパターンを形成する工程において、前記薄膜形成領域の縁に沿って一列に並んでいる前記ピクセルに前記薄膜材料の液滴を着弾させる薄膜形成方法が提供される。
基板を保持するステージと、
前記ステージに保持された基板に対向し、前記基板の表面に、光硬化性の薄膜材料の液滴を吐出する複数のノズル孔を有するノズルヘッドと、
前記基板に付着した前記薄膜材料に硬化用の光を照射する光源と、
前記ノズルヘッド及び前記光源に対して前記基板を相対的に移動させる移動機構と、
二次元方向に配列した複数のピクセルのうち前記薄膜材料の液滴を着弾させるべき塗布ピクセルを特定することにより、前記基板の表面に、薄膜形成領域を定義する画像データを記憶しており、前記画像データに基づいて、前記ノズルヘッド及び前記移動機構を制御する制御装置と
を有し、
前記制御装置は、
前記薄膜形成領域の縁に沿って一列に並んでいる前記塗布ピクセルに前記薄膜材料が着弾し、前記基板に付着した前記薄膜材料が硬化されてエッジパターンが形成され、
前記エッジパターンが形成された後、前記薄膜形成領域の内部に、前記薄膜材料の液滴が着弾し、着弾した前記薄膜材料が硬化して薄膜が形成されるように、前記ノズルヘッド及び前記移動機構を制御する薄膜形成装置が提供される。
を介してステージ22が支持されている。x軸及びy軸が水平方向を向き、z軸が鉛直上方を向くxyz直交座標系を定義する。移動機構21は、制御装置50により制御されて、ステージ22をx方向及びy方向に移動させる。なお、移動機構21が、z軸に平行な方向を回転中心としてステージ22の回転方向の姿勢を変化させる機能を有してもよい。
。図9Bに示すように、基板60に付着した薄膜材料74(図9A)が硬化用光源40(図3)の下方を通過するとき、硬化用の光73が照射され、薄膜材料74が硬化される。硬化された薄膜材料は、エッジパターン75の一部を構成する。
21 移動機構
22 ステージ
30 ノズルユニット
31 ベースプレート
32 ノズルヘッド
33 ノズル孔
40 硬化用光源
50 制御装置
60 基板
61 薄膜形成領域
62 開口
63 ピクセル
63A、63C、63D 塗布ピクセル
63B 非塗布ピクセル
65、66、67、68 薄膜材料
69 薄膜
70 硬化用の光
71 エッジパターン
72、73 硬化用の光
74 薄膜材料
75 エッジパターン
76、77 薄膜
78 額縁領域
79 硬化用の光
80 土手パターン
81 液状の薄膜材料
82 薄膜
θ1、θ2 傾斜角
Claims (6)
- 基板の表面の薄膜形成領域の縁に、薄膜材料を液滴化して着弾させるとともに、着弾した前記薄膜材料を硬化させることにより、前記薄膜形成領域の縁に沿うエッジパターンを形成する工程と、
前記エッジパターンを形成した後、前記薄膜形成領域の内部に、前記薄膜材料の液滴を着弾させ、着弾した前記薄膜材料を硬化させることにより、薄膜を形成する工程と
を有し、
前記薄膜形成領域の形状は、二次元方向に配列した複数のピクセルからなる画像データによって定義されており、
前記エッジパターンを形成する工程において、前記薄膜形成領域の縁に沿って一列に並んでいる前記ピクセルに前記薄膜材料の液滴を着弾させる薄膜形成方法。 - 前記画像データは、前記薄膜材料を着弾させるべき塗布ピクセルと、着弾させない非塗布ピクセルとで構成され、
前記エッジパターンを形成する工程において、前記塗布ピクセルのうち、前記非塗布ピクセルと線で接する前記塗布ピクセルに前記薄膜材料を着弾させ、前記非塗布ピクセルと接していないか、頂点のみで接している前記塗布ピクセルには前記薄膜材料を着弾させない請求項1に記載の薄膜形成方法。 - 前記薄膜を形成する工程が、
前記エッジパターンから、前記薄膜形成領域の内部に向かって広がる額縁領域に、前記薄膜材料を着弾させるとともに、着弾した前記薄膜材料を硬化させることにより、土手パターンを形成する工程と、
前記土手パターンを形成した後、前記土手パターンよりも内側に、前記薄膜材料を着弾させて、前記土手パターンよりも内側の領域を、液状の前記薄膜材料で覆う工程と、
前記土手パターンよりも内側の液状の前記薄膜材料を硬化させる工程と
を含む請求項1または2に記載の薄膜形成方法。 - 基板を保持するステージと、
前記ステージに保持された基板に対向し、前記基板の表面に、光硬化性の薄膜材料の液滴を吐出する複数のノズル孔を有するノズルヘッドと、
前記基板に付着した前記薄膜材料に硬化用の光を照射する光源と、
前記ノズルヘッド及び前記光源に対して前記基板を相対的に移動させる移動機構と、
二次元方向に配列した複数のピクセルのうち前記薄膜材料の液滴を着弾させるべき塗布ピクセルを特定することにより、前記基板の表面に、薄膜形成領域を定義する画像データを記憶しており、前記画像データに基づいて、前記ノズルヘッド及び前記移動機構を制御する制御装置と
を有し、
前記制御装置は、
前記薄膜形成領域の縁に沿って一列に並んでいる前記塗布ピクセルに前記薄膜材料が着弾し、前記基板に付着した前記薄膜材料が硬化されてエッジパターンが形成され、
前記エッジパターンが形成された後、前記薄膜形成領域の内部に、前記薄膜材料の液滴が着弾し、着弾した前記薄膜材料が硬化して薄膜が形成されるように、前記ノズルヘッド及び前記移動機構を制御する薄膜形成装置。 - 前記制御装置は、前記エッジパターンを形成するときに、前記塗布ピクセルのうち、前記薄膜材料を着弾させない非塗布ピクセルと線で接する前記塗布ピクセルに前記薄膜材料が着弾し、前記非塗布ピクセルと接していないか、頂点のみで接している前記塗布ピクセルには前記薄膜材料が着弾しないように前記ノズルヘッド及び前記移動機構を制御する請
求項4に記載の薄膜形成装置。 - 前記制御装置は、
前記エッジパターンが形成された後、前記エッジパターンから、前記薄膜形成領域の内部に向かって広がる額縁領域に、前記薄膜材料が着弾し、着弾した前記薄膜材料が硬化することによって土手パターンが形成され、
前記土手パターンが形成された後、前記土手パターンよりも内側に、前記薄膜材料が着弾し、前記土手パターンよりも内側の領域が液状の前記薄膜材料で覆われ、
前記土手パターンよりも内側の領域の液状の前記薄膜材料が硬化するように、前記ノズルヘッド及び前記移動機構を制御する請求項4または5に記載の薄膜形成装置。
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