TWI771005B

TWI771005B - 油墨塗佈裝置、其控制裝置及油墨塗佈方法

Info

Publication number: TWI771005B
Application number: TW110117727A
Authority: TW
Inventors: 村野賢一; 圷史
Original assignee: 日商住友重機械工業股份有限公司
Priority date: 2020-05-19
Filing date: 2021-05-17
Publication date: 2022-07-11
Also published as: CN113682052B; JP2021181054A; CN113682052A; TW202145848A

Abstract

[課題] 提供一種能夠利用更簡單的方法來形成點圖案和膜圖案之油墨塗佈裝置。 [解決手段] 移動機構將基板配置於與噴墨頭的噴嘴相對向之位置，並使噴墨頭和基板中的一個相對於另一個移動。控制裝置一邊使噴墨頭相對於基板相對移動一邊從噴墨頭的噴嘴吐出油墨來形成由滴落於基板上之油墨不與滴落於周圍之油墨連續之獨立之複數個點構成之點圖案，並且使油墨滴落於形成膜圖案之區域的邊緣及內部的複數個部位來形成複數個點。然後，一邊使噴墨頭相對於基板相對移動一邊從噴墨頭的噴嘴吐出油墨而使油墨滴落於形成膜圖案之區域的油墨未塗佈部位，從而形成膜圖案。

Description

油墨塗佈裝置、其控制裝置及油墨塗佈方法

本發明係關於一種油墨塗佈裝置、其控制裝置及油墨塗佈方法。本申請案係主張基於2020年5月19日申請之日本專利申請第2020-087476號的優先權。該日本申請案的全部內容係藉由參閱而援用於本說明書中。

電阻膜式觸控面板中使用用以防止兩片導電膜的短路之點間隔物(dot spacer)。點間隔物由在面內有規則地分布之複數個點構成。在與配置點間隔物之層相同之層中配置用以保護複數個引出配線之絕緣性的保護膜(亦被稱為外塗層(overcoat)。)。點間隔物和外塗層通常藉由絲網印刷來形成。

當藉由絲網印刷來形成構成點間隔物之微小的點和覆蓋寬區域之外塗層時，在形成點時和形成外塗層時使用網眼尺寸不同之絲網版。又，在形成點時和形成外塗層時，刮墨器(squeegee)角度、餘隙(clearance)、壓入量(壓力)等刮墨條件亦不同。因此，難以藉由絲網印刷來同時形成點間隔物和外塗層。

另外，在下述專利文獻1中揭示有使用噴墨印表機來形成點間隔物之技術。但是，沒有示出關於形成外塗層之任何技術。 [先前技術文獻]

[專利文獻1] 日本特開2004-139162號公報

[發明所欲解決之問題]

為了藉由絲網印刷來形成如點間隔物那樣的由複數個點構成之點圖案和如外塗層那樣的膜圖案，必須準備點圖案用的絲網版和膜圖案用的絲網版這兩種。又，必須使用這兩種絲網版，在不同之刮墨條件下執行兩次印刷製程。

本發明的目的在於提供一種能夠利用更簡單的方法來形成點圖案和膜圖案之油墨塗佈裝置、其控制裝置及油墨塗佈方法。 [解決問題之技術手段]

依本發明的一觀點，提供一種油墨塗佈裝置，係具有：噴墨頭，係設置有吐出油墨之複數個噴嘴；移動機構，係將基板配置於與前述噴墨頭的噴嘴相對向之位置，並使前述噴墨頭和前述基板中的一個相對於另一個移動；及控制裝置，係控制前述噴墨頭及前述移動機構，前述控制裝置執行：第1流程，一邊使前述噴墨頭相對於前述基板相對移動一邊從前述噴墨頭的噴嘴吐出油墨來形成由滴落於前述基板上之油墨不與滴落於周圍之油墨連續之獨立之複數個點構成之點圖案，並且使油墨滴落於形成膜圖案之區域的邊緣及內部的複數個部位來形成複數個點；及第2流程，在執行前述第1流程之後，一邊使前述噴墨頭相對於前述基板相對移動一邊從前述噴墨頭的噴嘴吐出油墨而使油墨滴落於形成前述膜圖案之區域的油墨未塗佈部位，從而形成前述膜圖案。

依本發明的另一觀點，提供一種上述油墨塗佈裝置的控制裝置。

依本發明的又一觀點，提供一種油墨塗佈方法，其中，使設置有吐出油墨之複數個噴嘴之噴墨頭與基板相對向，一邊使其相對於前述基板相對移動一邊從前述噴墨頭的噴嘴吐出油墨，藉此形成由從前述噴墨頭的一個噴嘴吐出並滴落於前述基板上之油墨不與滴落於周圍的油墨連續而獨立之複數個點構成之點圖案，並且使油墨滴落於形成膜圖案之區域的邊緣及內部的複數個部位來形成複數個點，然後，一邊使前述噴墨頭在與前述基板相對向之狀態下相對於前述基板相對移動一邊從前述噴墨頭的噴嘴吐出油墨，藉此使油墨滴落於形成前述膜圖案之區域的油墨未塗佈部位來形成前述膜圖案。 [發明之效果]

無需經過使用複數個絲網版之複數個印刷製程，便能夠形成點圖案和膜圖案。又，藉由在形成膜圖案之區域的邊緣及內部預先形成複數個點，然後使油墨滴落於油墨未塗佈部位，能夠在形成膜圖案之區域無遺漏地塗佈油墨。

參閱圖1A~圖6D對基於一實施例之油墨塗佈裝置進行說明。

圖1A係基於本實施例之油墨塗佈裝置的概略前視圖。在基台10上，藉由移動機構11支撐有可動工作台12。定義x軸及y軸朝向水平方向且z軸朝向鉛直上方之xyz正交座標系統。移動機構11被控制裝置50控制而使可動工作台12沿x方向及y方向這兩個方向移動。作為移動機構11，例如能夠使用包括X方向移動機構11X和Y方向移動機構11Y之XY載台。X方向移動機構11X使Y方向移動機構11Y相對於基台10沿x方向移動，Y方向移動機構11Y使可動工作台12相對於基台10沿y方向移動。

在可動工作台12的上表面(保持面)上保持作為油墨塗佈對象之基板20。基板20例如藉由真空卡盤固定於可動工作台12。移動機構11使保持於可動工作台12之基板20沿與xy面平行之方向移動。在可動工作台12的上方，例如藉由門型的支撐構件13支撐有油墨吐出單元30及攝像裝置40。油墨吐出單元30及攝像裝置40被支撐為能夠相對於基台10進行升降。油墨吐出單元30具有與基板20相對向之複數個噴嘴。各噴嘴將光固化性(例如紫外線固化性)的油墨液滴化並朝向基板20的表面吐出。油墨的吐出藉由控制裝置50來控制。

攝像裝置40拍攝基板20的上表面(塗佈油墨之表面)。藉由攝像裝置40來拍攝基板20的上表面中位於攝像裝置40的視界角的範圍內之區域。

在圖1A中，示出了相對於基台10使油墨吐出單元30及攝像裝置40靜止並使基板20沿x方向及y方向移動之構成，但亦可以與其相反地採用相對於基台10使基板20靜止並使油墨吐出單元30及攝像裝置40移動之構成。使油墨吐出單元30及攝像裝置40靜止並使基板20移動之構成及使基板20靜止並使油墨吐出單元30及攝像裝置40移動之構成均可以說是相對於基板20使油墨吐出單元30及攝像裝置40相對移動之構成。

控制裝置50包括記憶部51及控制部52。在記憶部51中記憶有指定應塗佈油墨之位置之資訊(以下，稱為描畫圖案資料。)。例如，描畫圖案資料指定與基板20的表面上的複數個位置分別建立有對應關係之複數個像素中應使油墨滴落之像素。在本說明書中，有時將與描畫圖案資料的複數個像素分別對應之基板上的位置簡稱為“像素”。

控制部52藉由根據該描畫圖案資料控制移動機構11及油墨吐出單元30而使油墨滴落於基板20的表面的既定位置。藉此，在基板20的表面上形成由油墨構成之點圖案或膜圖案。在本說明書中，將點之中滴落於一個像素上之油墨不與滴落於其他像素上之油墨連續而獨立者稱為“獨立之點”。

圖1B係表示可動工作台12、油墨吐出單元30及攝像裝置40的俯視下之位置關係之圖。在可動工作台12的保持面上保持有基板20。在基板20的上方支撐有油墨吐出單元30及攝像裝置40。油墨吐出單元30包括噴墨頭31及固化用光源33。在噴墨頭31的與基板20相對向之面上設置有複數個噴嘴32。複數個噴嘴32在x方向上以等間隔排列。該間隔例如為相當於600dpi的解析度之尺寸。另外，複數個噴嘴32無需配置於與x方向平行之一條直線上，可以配置於從與x方向平行之基準線沿y方向有規則地偏離之位置。例如，可以配置成交錯狀。

固化用光源33在y方向上分別配置於噴墨頭31的兩側，將用以使塗佈於基板20之油墨固化之光照射到基板20。例如，油墨係紫外線固化型者，固化用光源33將紫外線照射到基板20。固化用光源33作為使塗佈於基板20之油墨固化之固化裝置發揮作用。

另外，藉由來自固化用光源33之光的照射，附著於基板20之油墨的僅表層部固化，而不固化至內部。在本說明書中，將油墨的僅表層部的固化稱為“臨時固化”。使油墨固化至內部之處理(實際固化處理)藉由從油墨塗佈裝置取出基板20並向塗佈於基板20的表面之油墨照射實際固化用的紫外線來進行。

移動機構11藉由被控制裝置50控制而使可動工作台12沿x方向及y方向移動。再者，控制裝置50控制來自噴墨頭31的各噴嘴32之油墨的吐出。

藉由一邊使基板20沿y方向移動(換言之，一邊使噴墨頭31相對於基板20沿y方向相對移動)一邊從噴墨頭31吐出油墨，能夠在x方向上例如將油墨以600dpi的解析度塗佈於基板20。滴落於基板20上之油墨藉由從位於基板20的移動方向的下游側之固化用光源33放射之光而被固化。將一邊使基板20沿y方向移動一邊從噴墨頭31向基板20滴落油墨之動作稱為“掃描動作”。將y方向稱為掃描方向。

可以藉由一次掃描動作，使噴墨頭31沿y方向往復至少一次。此時，藉由在往程和返程中使噴墨頭31相對於基板20沿x方向偏移噴嘴32的間距的1/2，能夠使油墨以1200dpi的解析度滴落於基板20上。藉由將噴墨頭31的偏離量設為噴嘴32的間距的1/4而使噴墨頭31往復兩次，能夠使油墨以2400dpi的解析度滴落於基板20上。如此，即使在為了提高解析度而使噴墨頭31沿y軸的正向及負向移動複數次之情況下，亦將複數次移動統稱為一次掃描動作。

若一次掃描動作結束，則控制裝置50使可動工作台12沿x方向移動。換言之，使噴墨頭31相對於基板20沿x方向相對移動。將該動作稱為“位移動作”。將x方向稱為位移方向。藉由重複掃描動作和位移動作，能夠將油墨塗佈於基板20的整個區域。噴墨頭31相對於基板20沿x方向之相對移動量設為與位於x方向的兩端之兩個噴嘴32之間的距離大致相等即可。另外，當在油墨的吐出中不使用兩端附近的一部分噴嘴32時，設為與實際使用之噴嘴32之中位於兩端之噴嘴32之間的距離大致相等即可。

若在從固化用光源33向基板20照射光之狀態下進行掃描處理，則從噴墨頭31吐出之油墨滴落於基板20上之後，立即被臨時固化。具體而言，在油墨滴落之後，油墨的滴落點移動到從固化用光源33照射之光的路徑內為止的短時間內，油墨被臨時固化。在油墨被臨時固化之前，滴落於基板20上之油墨沿基板20的面內方向擴散。該擴散程度依賴於基板20的表面的親液性的程度。在油墨被臨時固化之後，不會發生油墨沿基板20的面內方向之擴散。

當在從固化用光源33向基板20未照射光之狀態下進行掃描動作時，滴落於基板20上之油墨在掃描動作中不會被固化。因此，滴落於基板20上之油墨沿基板20的面內方向擴散，直至成為穩定狀態。在本說明書中，將一邊從固化用光源33照射光一邊進行之掃描動作稱為“有臨時固化之掃描動作”，將在從固化用光源33未照射光之狀態下進行之掃描動作稱為“無臨時固化之掃描動作”。

圖2係表示在本實施例中於基板20的表面上由油墨形成之圖案之俯視圖。在本實施例中，形成用於電阻膜式觸控面板之點間隔物。在一片基板20上拼接4片觸控面板。在與4片觸控面板分別對應之區域配置點圖案23和膜圖案26。在記憶部51(圖1A)中存儲有定義點圖案23及膜圖案26的形狀之描畫圖案資料。

點圖案23由在長方形區域內沿x方向及y方向有規則地分布之複數個獨立之點22構成。例如，當藉由有臨時固化之掃描動作而滴落之油墨的臨時固化後的俯視下之直徑大於像素間距且小於像素間距的2倍時，滴落於相互鄰接之兩個像素上之油墨是連續的。因此，滴落於相互鄰接之兩個像素上之油墨不會形成獨立之點。當與有油墨滴落之像素鄰接之任何像素上均沒有滴落油墨時，滴落於該像素上之油墨形成獨立之點。

在圖2中，示出了配置點圖案23之長方形區域的內部深處的點密度高於周緣部的點密度的例子，但複數個點22的分布態樣並不僅限於圖2所示之例子。亦存在長方形區域的內部深處的點密度低於周緣部的點密度的情況，亦存在複數個點22均勻地分布於長方形區域內之情況。

膜圖案26配置於配置有點圖案23之區域的外側。膜圖案26的俯視下之形狀為L字形，L字形的兩個直線部分分別配置成與配置有點圖案23之長方形區域的相鄰之兩邊平行。亦即，L字形的兩個直線部分配置成其中一個與x方向平行，另一個與y方向平行。膜圖案26藉由滴落於膜圖案26內部的複數個像素(例如所有像素)上之油墨相互連續而形成。

將能夠藉由一次掃描動作塗佈油墨之區域稱為掃程(pass)區域21。複數個掃程區域21沿x方向排列配置。在圖2中，一片基板20的應塗佈油墨之區域被4個掃程區域21覆蓋。另外，所需要之掃程區域21的個數根據基板20的大小及噴墨頭31的大小而變動。

圖3係表示藉由基於本實施例之油墨塗佈裝置的控制裝置50(圖1A)的控制進行之油墨塗佈方法的流程之流程圖。圖4係油墨塗佈的中途階段的基板20的俯視圖。圖5係完成油墨塗佈之時點的基板20的俯視圖。

首先，藉由重複複數次有臨時固化之掃描動作和位移動作來形成構成點圖案23之所有的獨立之點22(圖4)，並且使油墨滴落於形成膜圖案26(圖2)之區域的邊緣及內部的複數個部位來形成複數個點27(圖4)。在該階段，複數個點27為獨立之點。關於複數個點27的配置，稍後參閱圖6A~圖6D進行詳細說明。

然後，藉由進一步重複複數次有臨時固化之掃描動作和位移動作而使油墨滴落於膜圖案26(圖5)的邊緣及內部的油墨未塗佈部位(步驟S02)。藉此，如圖5所示，油墨塗佈於應形成膜圖案26之區域的邊緣及內部的整個區域。

接著，參閱圖6A~圖6D對在步驟S01及步驟S02(圖3)中塗佈油墨之順序的一例進行說明。圖6A~圖6D係示意地表示形成膜圖案26之區域的複數個像素60及滴落於像素60上之油墨的擴散區域之圖。在圖6A~圖6D中，示出了膜圖案26由以5行5列配置之25個像素構成之例子。在圖6A~圖6D中，對已經附著有油墨之區域標註了陰影線。

在步驟S01(圖3)中，如圖6A所示，使油墨滴落於複數個像素60之中在x方向上隔一個且在y方向上隔一個之像素60上而形成點27。從一個噴嘴32吐出之油墨的液滴沿面內方向擴散，直至被臨時固化。被臨時固化之點27的直徑為像素間距以上且小於像素間距的2倍。因此，複數個點27分別成為不與其他點27連續之獨立之點。

在步驟S02(圖3)中，使油墨滴落於形成膜圖案26之區域的邊緣及內部的油墨未塗佈部位而形成膜圖案26。具體而言，執行3次使噴墨頭31沿y軸的正向或負向的單方向之移動。在噴墨頭31的第一次的沿單方向之移動中，如圖6B所示，使油墨滴落於沿y方向排列之兩個點27之間的像素60上。此時滴落之油墨向區域28a擴散，與已形成於基板20上之點27連續。藉此，油墨塗佈於在y方向上延伸之帶狀區域29a(在圖6C中標註了陰影線之區域)。

在噴墨頭31的第2次的沿單方向之移動中，如圖6C所示，使油墨滴落於沿x方向排列之兩個點27(圖6A)之間的像素60上。此時滴落之油墨向區域28b擴散，與滴落於在x方向上相鄰之像素60上並被臨時固化之油墨連續。藉此，油墨塗佈於格子狀區域29b(在圖6D中標註了陰影線之區域)。

在噴墨頭31的第3次的沿單方向之移動中，如圖6D所示，使油墨滴落於未滴落有油墨之像素60上。此時滴落之油墨向區域28c擴散，與滴落於周圍的像素60上之油墨連續。如此，藉由滴落於形成膜圖案26之區域的邊緣及內部之油墨相互連續來形成膜圖案26。

接著，對圖1A~圖6D所示之實施例的優異之效果進行說明。在上述實施例中，藉由對基板20重複複數次掃描動作來形成了點圖案23(圖2)和膜圖案26(圖2)這兩個。因此，與使用兩種絲網版在不同之刮墨條件下進行兩次絲網印刷來形成點圖案和膜圖案之方法相比，能夠以少的製程數形成點圖案23和膜圖案26這兩個。

接著，與基於圖7A~圖7D所示之比較例之油墨塗佈方法做比較來對上述實施例的優異之效果進行說明。圖7A~圖7D係表示利用基於比較例之油墨塗佈方法塗佈油墨時之中途階段的油墨塗佈區域之示意圖。在比較例中，使油墨按順序滴落於沿著在y方向上延伸之直線而連續之5個像素60a~60e上。

如圖7A所示，滴落於一個像素60a上之油墨向圓形區域70a擴散。如圖7B所示，滴落於像素60b上之油墨向區域70b擴散，並被吸引到塗佈有已滴落於像素60a上之油墨之區域71。因此，區域70b以像素60b為基準而偏在於像素60a側。

如圖7C所示，滴落於像素60c上之油墨被吸引到已塗佈有油墨之區域71，並向區域70c擴散。同樣地，如圖7D所示，滴落於像素60d上之油墨被吸引到已塗佈有油墨之區域71，並向區域70d擴散。若區域70d的偏在程度變大，則發生區域70d不包含像素60d的中心之狀態。

在該狀態下，若使油墨滴落於與像素60d鄰接之像素60e上，則該油墨向圓形區域70e擴散，但不會與已塗佈有油墨之區域70d連續。如此，當僅在與使油墨滴落之像素的單側鄰接之像素上已滴落有油墨時，新滴落之油墨會偏在於從作為目標之像素的中心偏離之位置。若該偏在變大，則如圖7D所示，可能發生在像素60d的至少一部分區域未塗佈有油墨之狀態。

相對於此，在本實施例中，在步驟S01(圖3)中，由滴落於配置膜圖案26之區域的內部之油墨形成之點27(圖4、圖6A)為獨立之點，因此不會從要滴落之像素60的中心向任一側偏在。再者，關注圖6B~圖6D所示之噴墨頭31沿單方向之移動時使油墨滴落之像素60，在x方向的兩側的像素60或y方向的兩側的像素60上已滴落有油墨。因此，新滴落之油墨不會在x方向及y方向上被吸引到其中一側。藉此，能夠防止產生未塗佈有油墨之像素，並能夠在應形成膜圖案26之區域無遺漏地塗佈油墨。

接著，參閱圖8~圖11C對基於另一實施例之油墨塗佈裝置進行說明。以下，關於與圖1A~圖6D所示之實施例共同之構成，省略說明。

圖8係表示藉由基於本實施例之油墨塗佈裝置的控制裝置50(圖1A)的控制進行之油墨塗佈方法的流程之流程圖。圖9係油墨塗佈的中途階段的基板20的俯視圖。圖10係完成油墨塗佈之時點的基板20的俯視圖。圖11A~圖11C係形成膜圖案26(圖2)之中途階段的基板20及膜圖案26的剖面圖。

首先，與圖3所示之實施例同樣地，藉由重複複數次有臨時固化之掃描動作和位移動作來形成構成點圖案23之所有點22(圖4)，並且在配置膜圖案26(圖2)之區域的邊緣及內部形成複數個點27(圖4)(步驟S01)。藉此，如圖11A所示，在基板20的表面上形成獨立之複數個點27。

然後，藉由重複有臨時固化之掃描動作和位移動作而使在步驟S01中形成於膜圖案26的邊緣之複數個獨立之點27連續，藉此形成由油墨構成之堤部80(圖9)(步驟S11)。該堤部80沿著配置膜圖案26(圖2)之區域的邊緣連續圍繞配置膜圖案26之區域。

在形成堤部80之後，藉由重複複數次無臨時固化之掃描動作和位移動作來在被堤部80包圍之應形成膜圖案26(圖2)之區域塗佈油墨(步驟S12)。藉此，如圖10所示，應形成膜圖案26(圖2)之區域的內部被液狀油墨的膜81覆蓋。在圖10中，對形成有液狀油墨的膜81之區域標註了陰影線。塗佈於基板20之油墨不被臨時固化，而沿基板20的面內方向擴散。因此，如圖11B所示，液狀油墨的膜81的上表面變得大致平坦。此時，堤部80防止液狀油墨向配置膜圖案26之區域的外側流出。

在形成液狀油墨的膜81(圖10、圖11B)之後，向液狀油墨的膜81照射紫外線85(圖1C)而使液狀油墨的膜81固化(步驟S13)。藉此，形成由點27及固化之油墨的膜82構成之膜圖案26(圖11C)。紫外線的照射藉由在不從噴墨頭31吐出油墨而從固化用光源33向基板20照射光之狀態下，使油墨吐出單元30相對於基板20相對移動來進行。

接著，對圖8~圖11C所示之實施例的優異之效果進行說明。在本實施例中，與圖1A~圖6D所示之實施例同樣地，亦能夠以少的製程數形成點圖案23和膜圖案26這兩個。

再者，在本實施例中，在步驟S12(圖8)中藉由進行無臨時固化之掃描動作來塗佈油墨，因此膜圖案26的表面平坦化。藉此，能夠形成外觀良好的膜圖案26。

接著，與圖12A及圖12B所示之比較例做比較來對本實施例的優異之效果進行說明。圖12A係利用基於比較例之方法形成之膜圖案26的一部分的俯視圖，圖12B係沿圖12A的一點鏈線12B-12B之剖面圖。在比較例中，在步驟S01(圖8)中，在配置膜圖案26之區域的內部不形成獨立之點27(圖4)，而僅在邊緣形成獨立之點27。然後，在步驟S11(圖8)中，形成堤部80(圖9)。在該階段，在被堤部80包圍之內部的區域未形成有點。在步驟S12(圖8)中，藉由進行無臨時固化之掃描動作來在被堤部80包圍之區域塗佈油墨。

當基板20的表面的親液性低時，若在被堤部80包圍之區域塗佈液狀油墨，則油墨在基板20的表面上移動而容易局部化。其結果，在應被膜圖案26覆蓋之區域的內部產生未塗佈有油墨之區域83。

相對於此，在本實施例中，在步驟S01(圖8)中，在形成膜圖案26之區域的內部形成獨立之複數個點27。複數個點27分別與塗佈於其他部位之油墨獨立，因此不會沿面內的任一方向被吸引。在步驟S12(圖8)中塗佈油墨時，滴落於基板20上之油墨與已形成之點27中的任一個連續。因此，基板20的所滴落之油墨的局部化得到抑制。其結果，能夠在形成膜圖案26之區域無遺漏地塗佈油墨。

接著，參閱圖13對又一實施例進行說明。以下，關於與圖1A~圖6D所示之實施例共同之構成，省略說明。

圖13係表示藉由基於本實施例之油墨塗佈裝置的控制裝置50(圖1A)的控制進行之油墨塗佈方法的流程之流程圖。

基於本實施例之油墨塗佈裝置在油墨吐出單元30(圖1B)中具備表面改質裝置。表面改質裝置將足以提高基板20的表面的親液性之強度的紫外線照射到基板20。

在本實施例中，在圖3所示之實施例的步驟S01與步驟S02之間進行提高基板20的表面的親液性之表面改質處理(步驟S21)。該表面改質處理藉由不從噴墨頭31 (圖1B)吐出油墨而一邊從油墨吐出單元30(圖1B)所具備之表面改質裝置向基板20照射紫外線一邊使油墨吐出單元30相對於基板20相對移動來進行。藉由向基板20的表面照射紫外線，基板20的表面的親液性得到提高。

接著，對圖13所示之實施例的優異之效果進行說明。在本實施例中，與圖1A~圖6D所示之實施例同樣地，亦能夠以少的製程數形成點圖案23和膜圖案26這兩個。

再者，在本實施例中，在步驟S02中，在使油墨滴落於膜圖案26的邊緣及內部的油墨未塗佈部位之前，提高基板20的表面的親液性。因此，在步驟S02中，在油墨滴落於基板20上之後被臨時固化之前的期間，油墨向基板20的表面的更寬的區域擴散。因此，與不進行提高親液性之表面改質處理之情況相比，滴落於膜圖案26(圖5)的邊緣及內部並相互連續之油墨的膜的上表面的平坦性得到提高。藉此，可得到膜圖案26的外觀變良好之優異之效果。

接著，對圖13所示之實施例的變形例進行說明。在圖13所示之實施例中，在油墨吐出單元30(圖1B)中，與固化用光源33獨立地具備表面改質裝置。當固化用光源33能夠照射足以使基板20的表面改質為親液性之強度的紫外線時，可以將固化用光源33用作表面改質裝置。在該情況下，使固化用光源33具有改變紫外線的強度之功能即可，以便在使油墨臨時固化時，照射相對低強度的紫外線，在進行表面改質處理時，照射相對高強度的紫外線。

又，亦可以與油墨塗佈裝置獨立地配置表面改質裝置。在該情況下，在進行步驟S01(圖13)之後，將基板20暫且從油墨塗佈裝置中取出並搬入表面改質裝置中，進行表面改質即可。藉由將表面改質之基板20搬入油墨塗佈裝置中，接着執行步驟S02(圖13)，能夠形成點圖案23(圖2)和膜圖案26(圖2)。

接著，參閱圖14對又一實施例進行說明。以下，關於與圖8~圖11C所示之實施例共同之構成，省略說明。

圖14係表示藉由基於本實施例之油墨塗佈裝置的控制裝置50(圖1A)的控制進行之油墨塗佈方法的流程之流程圖。

基於本實施例之油墨塗佈裝置與圖13所示之實施例同樣地在油墨吐出單元30(圖1B)中具備表面改質裝置。表面改質裝置將足以提高基板20的表面的親液性之強度的紫外線照射到基板20。

在本實施例中，在圖8所示之步驟S11與步驟S12之間進行提高基板20的表面的親液性之表面改質處理(步驟S21)。該表面改質處理以與圖13所示之實施例中之表面改質處理(步驟S21)相同之流程進行即可。

接著，對本實施例的優異之效果進行說明。在本實施例中，與圖1A~圖6D所示之實施例同樣地，亦能夠以少的製程數形成點圖案23和膜圖案26這兩個。

再者，在本實施例中，在步驟S12中形成液狀油墨的膜81(圖10、圖11B)之前，提高基板20的表面的親液性。因此，滴落於基板20上之油墨沿面內方向擴散，能夠更穩定地形成液狀油墨的膜81。

上述各實施例僅為例示，當然亦可以進行在不同實施例中所示之構成的部分置換或組合。關於基於複數個實施例的相同構成之相同之作用效果，將不對每個實施例逐次提及。再者，本發明並不僅限於上述實施例。例如，可以進行各種變更、改良、組合等，這對於當業者而言是顯而易見的。

10:基台 11:移動機構 11X:X方向移動機構 11Y:Y方向移動機構 12:可動工作台 13:支撐構件 20:可動工作台 21:掃程區域 22:點圖案的獨立之點 23:點圖案 26:膜圖案 27:膜圖案的內部的點 28a,28b,28c:滴落於基板上之油墨的擴散區域 29a,29b:塗佈有油墨之區域 30:油墨吐出單元 31:噴墨頭 32:噴嘴 33:固化用光源 40:攝像裝置 50:控制裝置 51:記憶部 52:控制部 60,60a,60b,60c,60d,60e:像素 70a,70b,70c,70d,70e:滴落於基板上之油墨的擴散區域 71:已塗佈有油墨之區域 80:圍繞膜圖案之堤部 81:液狀油墨的膜 82:固化之油墨的膜 83:未附著有油墨之區域 85:紫外線

[圖1]中，圖1A係表示基於一實施例之油墨塗佈裝置的概略前視圖，圖1B係表示油墨塗佈裝置的可動工作台、油墨吐出單元及攝像裝置的俯視下之位置關係之圖。 [圖2]係表示在本實施例中於基板的表面上由油墨形成之圖案之俯視圖。 [圖3]係表示藉由基於本實施例之油墨塗佈裝置的控制裝置的控制進行之油墨塗佈方法的流程之流程圖。 [圖4]係油墨塗佈的中途階段的基板的俯視圖。 [圖5]係完成油墨塗佈之時點的基板的俯視圖。 [圖6]中，圖6A~圖6D係表示形成膜圖案之區域的複數個像素及滴落於像素上之油墨之示意圖。 [圖7]中，圖7A~圖7D係表示利用基於比較例之油墨塗佈方法塗佈油墨時之中途階段的油墨塗佈區域之示意圖。 [圖8]係表示藉由基於另一實施例之油墨塗佈裝置的控制裝置的控制進行之油墨塗佈方法的流程之流程圖。 [圖9]係油墨塗佈的中途階段的基板的俯視圖。 [圖10]係完成油墨塗佈之時點的基板的俯視圖。 [圖11]中，圖11A~圖11C係形成膜圖案之中途階段的基板及膜圖案的剖面圖。 [圖12]中，圖12A係利用基於比較例之方法形成之膜圖案的一部分的俯視圖，圖12B係沿圖12A的一點鏈線12B-12B之剖面圖。 [圖13]係表示藉由基於又一實施例之油墨塗佈裝置的控制裝置的控制進行之油墨塗佈方法的流程之流程圖。 [圖14]係表示藉由基於又一實施例之油墨塗佈裝置的控制裝置的控制進行之油墨塗佈方法的流程之流程圖。

Claims

一種油墨塗佈裝置，係具有：噴墨頭，係設置有吐出油墨之複數個噴嘴；移動機構，係將基板配置於與前述噴墨頭的噴嘴相對向之位置，並使前述噴墨頭和前述基板中的一個相對於另一個移動；及控制裝置，係控制前述噴墨頭及前述移動機構，前述控制裝置執行：第1流程，一邊使前述噴墨頭相對於前述基板相對移動一邊從前述噴墨頭的噴嘴吐出油墨來形成由滴落於前述基板上之油墨不與滴落於周圍之油墨連續之獨立之複數個點構成之點圖案，並且使油墨滴落於形成膜圖案之區域的邊緣及內部的複數個部位來形成複數個點；及第2流程，在執行前述第1流程之後，一邊使前述噴墨頭相對於前述基板相對移動一邊從前述噴墨頭的噴嘴吐出油墨而使油墨滴落於形成前述膜圖案之區域的油墨未塗佈部位，從而形成前述膜圖案，從前述噴墨頭吐出之油墨為光固化性油墨，前述油墨塗佈裝置進一步具備固化用光源，前述固化用光源將使滴落於前述基板上之油墨固化之光照射到前述基板，前述控制裝置在前述第1流程中，係在形成前述點圖案的複數個點及形成前述膜圖案之區域的邊緣及內部的複數個點之中途或形成之後，使光從前述固化用光源照射到滴落於前述基板上之油墨。
如請求項1所述之油墨塗佈裝置，其中前述控制裝置在執行前述第1流程之後且執行前述第2流程之前，一邊使前述噴墨頭相對於前述基板相對移動一邊從前述噴墨頭的噴嘴吐出油墨而使油墨滴落於形成前述膜圖案之區域的邊緣的油墨未塗佈部位，並從前述固化用光源向滴落之油墨照射光，藉此形成連續圍繞形成前述膜圖案之區域之堤部，在前述第2流程中，在使油墨滴落於形成前述膜圖案之區域的油墨未塗佈部位之期間，不從前述固化用光源向前述基板照射光而在形成前述膜圖案之區域的整個區域塗佈油墨來形成液狀油墨的膜之後，使光從前述固化用光源照射到前述液狀油墨的膜。
如請求項1所述之油墨塗佈裝置，其中前述油墨塗佈裝置進一步具備表面改質裝置，前述表面改質裝置提高前述基板的表面的親液性，前述控制裝置在執行前述第1流程之後且執行前述第2流程之前，藉由前述表面改質裝置進行前述基板的表面改質。
一種控制裝置，其係對噴墨頭和移動機構進行控制的控制裝置，前述噴墨頭，係設置有吐出油墨之複數個噴嘴；前述移動機構，係將基板配置於與前述噴墨頭的噴嘴相對向之位置，並使前述噴墨頭和前述基板中的一個相對於另一個移動，前述控制裝置執行：第1流程，一邊使前述噴墨頭相對於前述基板相對移動一邊從前述噴墨頭的噴嘴吐出油墨來形成由滴落於前述基板上之油墨不與滴落於周圍之油墨連續之獨立之複數個點構成之點圖案，並且使油墨滴落於形成膜圖案之區域的邊緣及內部的複數個部位來形成複數個點；及第2流程，在執行前述第1流程之後，一邊使前述噴墨頭相對於前述基板相對移動一邊從前述噴墨頭的噴嘴吐出油墨而使油墨滴落於形成前述膜圖案之區域的油墨未塗佈部位，從而形成前述膜圖案，從前述噴墨頭吐出之油墨為光固化性油墨，前述控制裝置進一步具備固化用光源，前述固化用光源將使滴落於前述基板上之油墨固化之光照射到前述基板，在前述第1流程中，係在形成前述點圖案的複數個點及形成前述膜圖案之區域的邊緣及內部的複數個點之中途或形成之後，使光從前述固化用光源照射到滴落於前述基板上之油墨。
如請求項4所述之控制裝置，其中在執行前述第1流程之後且執行前述第2流程之前，一邊使前述噴墨頭相對於前述基板相對移動一邊從前述噴墨頭的噴嘴吐出油墨而使油墨滴落於形成前述膜圖案之區域的邊緣的油墨未塗佈部位，並從前述固化用光源向滴落之油墨照射光，藉此形成連續圍繞形成前述膜圖案之區域之堤部，在前述第2流程中，在使油墨滴落於形成前述膜圖案之區域的油墨未塗佈部位之期間，不從前述固化用光源向前述基板照射光而在形成前述膜圖案之區域的整個區域塗佈油墨來形成液狀油墨的膜之後，使光從前述固化用光源照射到前述液狀油墨的膜。
如請求項4所述之控制裝置，其中前述控制裝置進一步具備表面改質裝置，前述表面改質裝置提高前述基板的表面的親液性，在執行前述第1流程之後且執行前述第2流程之前，藉由前述表面改質裝置進行前述基板的表面改質。
一種油墨塗佈方法，其中使設置有將油墨液滴化而吐出之複數個噴嘴之噴墨頭與基板相對向，一邊使其相對於前述基板相對移動一邊從前述噴墨頭的噴嘴吐出油墨，藉此形成由從前述噴墨頭的一個噴嘴吐出並滴落於前述基板上之油墨不與滴落於周圍的油墨連續而獨立之複數個點構成之點圖案，並且使油墨滴落於形成膜圖案之區域的邊緣及內部的複數個部位來形成複數個點，然後，一邊使前述噴墨頭在與前述基板相對向之狀態下相對於前述基板相對移動一邊從前述噴墨頭的噴嘴吐出油墨，藉此使油墨滴落於形成前述膜圖案之區域的油墨未塗佈部位來形成前述膜圖案，從前述噴墨頭吐出之油墨為光固化性油墨，進一步使用固化用光源將使滴落於前述基板上之油墨固化之光照射到前述基板，在形成前述複數個點的過程中，係在形成前述點圖案的複數個點及形成前述膜圖案之區域的邊緣及內部的複數個點之中途或形成之後，使光從前述固化用光源照射到滴落於前述基板上之油墨。