JP6689540B2 - 膜形成装置及び膜形成方法 - Google Patents
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Description
基板に膜材料を塗布して膜を形成する膜形成部と、
前記膜形成部に配置された前記基板の表面を撮像する撮像装置と、
前記膜形成部を制御する制御部と
を有し、
前記制御部は、
形成すべき膜の平面形状を定義するパターンデータを記憶しており、
前記パターンデータに基づいて膜を形成する前に、膜を形成するために膜材料を塗布する領域の内側の一部に、形成すべき膜と同一の材料からなる評価パターンを、前記膜形成部に形成させ、
前記評価パターンを前記撮像装置で撮像した画像を取得し、
取得した前記画像に基づき、前記評価パターンの周囲の滲みの幅が許容範囲に納まっているか否かという判定条件に従って、前記基板の表面状態の良否を判定し、判定結果に基づいて異なる処理を実行する膜形成装置が提供される。
基板の表面の、あるパターンを有する膜を形成すべき領域の内部に、インクジェットヘッドから前記膜の膜材料を吐出させて評価パターンを形成し、
前記基板に形成された前記評価パターンに基づいて、前記基板の表面状態の良否を判定し、
判定結果が良である場合には、前記基板の表面に前記パターンを有する前記膜を形成し、
判定結果が不良である場合には、前記基板の表面の洗浄を行った後、前記基板の表面に前記パターンを有する前記膜を形成する膜形成方法が提供される。
21 移動機構
23 ステージ(支持部)
24 門型フレーム
26 インクジェットヘッド
27 撮像装置
30 制御装置
31 記憶装置
35 入力装置
36 出力装置
50 基板
50a ガラス基板
50b 透明導電膜
51 パッド部
52 接続部
53 レジスト膜
53a レジスト膜の目標とする形状
53b 滲み
54 盛り上がり
55 評価パターン
56 正常なドットパターン
57 大きなドットパターン
58 滲んだドットパターン
58a 滲んだドットパターンの本体
58b 滲み
59 歪んだドットパターン
Claims (8)
- 基板に膜材料を塗布して膜を形成する膜形成部と、
前記膜形成部に配置された前記基板の表面を撮像する撮像装置と、
前記膜形成部を制御する制御部と
を有し、
前記制御部は、
形成すべき膜の平面形状を定義するパターンデータを記憶しており、
前記パターンデータに基づいて膜を形成する前に、膜を形成するために膜材料を塗布する領域の内側の一部に、形成すべき膜と同一の材料からなる評価パターンを、前記膜形成部に形成させ、
前記評価パターンを前記撮像装置で撮像した画像を取得し、
取得した前記画像に基づき、前記評価パターンの周囲の滲みの幅が許容範囲に納まっているか否かという判定条件に従って、前記基板の表面状態の良否を判定し、判定結果に基づいて異なる処理を実行する膜形成装置。 - 基板に膜材料を塗布して膜を形成する膜形成部と、
前記膜形成部に配置された前記基板の表面を撮像する撮像装置と、
前記膜形成部を制御する制御部と
を有し、
前記制御部は、
形成すべき膜の平面形状を定義するパターンデータを記憶しており、
前記パターンデータに基づいて膜を形成する前に、膜を形成するために膜材料を塗布する領域の内側の一部に、形成すべき膜と同一の材料からなる評価パターンを、前記膜形成部に形成させ、
前記評価パターンを前記撮像装置で撮像した画像を取得し、
取得した前記画像に基づいて前記基板の表面状態の良否を判定し、前記基板の表面状態を良と判定した場合、前記評価パターンを形成した前記基板に前記パターンデータに基づいて膜を形成する処理を実行し、不良と判定した場合、他の処理を実行する膜形成装置。 - 前記制御部は、前記基板の表面状態の良否の判定において、前記評価パターンの大きさが許容範囲に納まっているか否か、前記評価パターンの周囲の滲みの幅が許容範囲に納まっているか否か、及び平面形状の歪みが許容範囲に納まっているか否かの少なくとも1つの判定条件に基づいて良否の判定を行う請求項2に記載の膜形成装置。
- 前記膜形成部は、
前記基板を支持する支持部と、
前記支持部に支持された前記基板に向けて膜材料を吐出するインクジェットヘッドと、
前記支持部に支持された前記基板と前記インクジェットヘッドとの一方を他方に対して移動させる移動機構と
を有し、
前記制御部は、前記インクジェットヘッド及び前記移動機構を制御する請求項1乃至3のいずれか1項に記載の膜形成装置。 - 基板に膜材料を塗布して膜を形成する膜形成部と、
前記膜形成部に配置された前記基板の表面を撮像する撮像装置と、
前記膜形成部を制御する制御部と、
前記制御部からの指令により情報を出力する出力部と
を有し、
前記制御部は、
形成すべき膜の平面形状を定義するパターンデータを記憶しており、
前記パターンデータに基づいて膜を形成する前に、膜を形成するために膜材料を塗布する領域の内側の一部に、形成すべき膜と同一の材料からなる評価パターンを、前記膜形成部に形成させ、
前記評価パターンを前記撮像装置で撮像した画像を取得し、
取得した前記画像に基づいて前記基板の表面状態の良否を判定し、
前記基板の表面状態を不良と判定した場合、前記出力部に前記基板の表面状態が不良であることを知らせる情報を出力し、
前記基板の表面状態を良と判定した場合、前記基板に前記パターンデータに基づいて前記膜を形成する膜形成装置。 - 基板に膜材料を塗布して膜を形成する膜形成部と、
前記膜形成部に配置された前記基板の表面を撮像する撮像装置と、
前記膜形成部を制御する制御部と
を有し、
前記制御部は、
形成すべき膜の平面形状を定義するパターンデータを記憶しており、
前記パターンデータに基づいて膜を形成する前に、膜を形成するために膜材料を塗布する領域の内側の一部に、形成すべき膜と同一の材料からなる評価パターンを、前記膜形成部に形成させ、
前記評価パターンを前記撮像装置で撮像した画像を取得し、
取得した前記画像に基づいて前記基板の表面状態の良否を判定し、判定結果に基づいて異なる処理を実行し、
前記評価パターンが形成されている箇所に、前記膜を形成するための液滴を重ねて塗布する膜形成装置。 - 基板に膜材料を塗布して膜を形成する膜形成部と、
前記膜形成部に配置された前記基板の表面を撮像する撮像装置と、
前記膜形成部を制御する制御部と
を有し、
前記制御部は、
形成すべき膜の平面形状を定義するパターンデータを記憶しており、
前記パターンデータに基づいて膜を形成する前に、膜を形成するために膜材料を塗布する領域の内側の一部に、形成すべき膜と同一の材料からなる評価パターンを、前記膜形成部に形成させ、
前記評価パターンを前記撮像装置で撮像した画像を取得し、
取得した前記画像に基づいて前記基板の表面状態の良否を判定し、判定結果に基づいて異なる処理を実行し、
前記パターンデータに基づいて前記膜を形成するときに、前記パターンデータから前記評価パターンを形成した箇所を除去して得られる修正パターンデータに基づいて、前記膜を形成する膜形成装置。 - 基板の表面の、あるパターンを有する膜を形成すべき領域の内部に、インクジェットヘッドから前記膜の膜材料を吐出させて評価パターンを形成し、
前記基板に形成された前記評価パターンに基づいて、前記基板の表面状態の良否を判定し、
判定結果が良である場合には、前記基板の表面に前記パターンを有する前記膜を形成し、
判定結果が不良である場合には、前記基板の表面の洗浄を行った後、前記基板の表面に
前記パターンを有する前記膜を形成する膜形成方法。
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