TW202144194A - 油墨塗佈裝置、其控制裝置及噴墨頭檢查方法 - Google Patents

油墨塗佈裝置、其控制裝置及噴墨頭檢查方法 Download PDF

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Abstract

[課題]提供一種能夠抑制噴嘴的良否的檢查時間延長之油墨塗佈裝置。 [解決手段]移動機構將基板配置於與噴墨頭的噴嘴相對向之位置,並使噴墨頭和基板中的一個相對於另一個移動。攝像裝置拍攝基板的油墨滴落面。控制裝置進行一邊使噴墨頭相對於基板相對移動一邊從複數個噴嘴中的一些噴嘴吐出油墨之描畫處理。且進行如下檢查用吐出處理:選擇預定在描畫處理中吐出油墨之噴嘴或吐出了油墨之噴嘴中的至少一部分作為檢查對象的噴嘴,並從檢查對象的噴嘴吐出油墨而使油墨滴落於基板的一部分區域。獲取用攝像裝置拍攝了藉由檢查用吐出處理滴落有油墨之區域之圖像,並根據所獲取之圖像來判定有無噴嘴的動作不良。

Description

油墨塗佈裝置、其控制裝置及噴墨頭檢查方法
本發明係關於一種使用了噴墨頭之油墨塗佈裝置、其控制裝置及噴墨頭檢查方法。 本申請案係主張基於2020年5月20日申請之日本專利申請第2020-088087號的優先權。該日本申請案的全部內容係藉由參閱而援用於本說明書中。
已知有從具備複數個噴嘴之噴墨頭的各噴嘴朝向基板吐出油墨而在基板上形成由油墨構成之圖案之技術。在下述專利文獻1中揭示有一種檢測噴墨頭的噴嘴的不良之方法。
在專利文獻1中所揭示之方法中,對描畫對象物設定描畫檢查圖案之檢查區域和形成實際描畫圖案之實際描畫區域。從複數個噴嘴全部都吐出液滴來在檢查區域形成檢查圖案。藉由進行該檢查圖案的圖像識別來檢測出噴嘴不良。 [先前技術文獻]
[專利文獻1]日本特開2003-251243號公報
[發明所欲解決之問題]
有時在一個噴墨頭中例如設置有1000個左右的噴嘴。當如此設置有複數個噴嘴時,為了按每個噴嘴進行圖像識別來判定從複數個噴嘴分別吐出油墨而形成之檢查圖案的良否,需要與描畫處理的時間相比無法忽略的時間。若在基板上分別形成檢查圖案來進行圖像識別,則每一片基板的處理時間會延長。
本發明的目的在於提供一種能夠抑制噴嘴的良否的檢查時間延長之油墨塗佈裝置、其控制裝置及噴墨頭檢查方法。 [解決問題之技術手段]
依本發明的一觀點,提供一種油墨塗佈裝置,係具有: 噴墨頭,係設置有吐出油墨之複數個噴嘴; 移動機構,係將基板配置於與前述噴墨頭的噴嘴相對向之位置,並使前述噴墨頭和前述基板中的一個相對於另一個移動; 攝像裝置,係拍攝前述基板的油墨滴落面;及 控制裝置,係控制前述噴墨頭及前述移動機構,並分析由前述攝像裝置拍攝之圖像, 前述控制裝置進行: 描畫處理,一邊使前述噴墨頭相對於前述基板相對移動一邊從前述複數個噴嘴中的一些噴嘴吐出油墨; 檢查用吐出處理,選擇預定在前述描畫處理中吐出油墨之噴嘴或在前述描畫處理中吐出了油墨之噴嘴中的至少一部分作為檢查對象的噴嘴,並從檢查對象的噴嘴吐出油墨,從未成為檢查對象之噴嘴不吐出油墨,而使油墨滴落於前述基板的一部分區域;及 判定處理,獲取由前述攝像裝置拍攝了在前述檢查用吐出處理中滴落有油墨之區域之圖像,並根據所獲取之圖像來判定有無噴嘴的動作不良。
依本發明的另一觀點,提供一種用於上述油墨塗佈裝置之控制裝置。
依本發明的又一觀點,提供一種噴墨頭檢查方法,其中 一邊使噴墨頭相對於基板相對移動一邊從前述噴墨頭的複數個噴嘴中的一部分噴嘴吐出油墨來描畫由油墨構成之圖案, 在描畫前述圖案之前、前述描畫的中途及描畫之後中的至少一個時期,選擇預定在前述圖案的描畫中吐出油墨之噴嘴或吐出了油墨之噴嘴中的至少一部分作為檢查對象的噴嘴,並從檢查對象的噴嘴吐出油墨,從未成為檢查對象之噴嘴不吐出油墨,來在前述基板的一部分區域形成檢查圖案, 獲取前述檢查圖案的圖像,並根據所獲取之圖像來判定有無噴嘴的動作不良。 [發明之效果]
藉由從所有噴嘴中選擇檢查對象的噴嘴,並對檢查對象的噴嘴進行檢查,能夠抑制檢查時間延長。
參閱圖1A至圖4的圖式對本發明的一實施例進行說明。
圖1A係基於本實施例之油墨塗佈裝置的概略前視圖。在基台10上,藉由移動機構11支撐有可動工作台12。定義x軸及y軸朝向水平方向且z軸朝向鉛直上方之xyz正交座標系統。移動機構11被控制裝置50控制而使可動工作台12沿x方向及y方向這兩個方向移動。作為移動機構11,例如能夠使用包括X方向移動機構11X和Y方向移動機構11Y之XY載台。X方向移動機構11X使Y方向移動機構11Y相對於基台10沿x方向移動,Y方向移動機構11Y使可動工作台12相對於基台10沿y方向移動。
在可動工作台12的上表面(保持面)上保持作為油墨塗佈對象之基板20。基板20例如藉由真空吸盤固定於可動工作台12。移動機構11使保持於可動工作台12之基板20沿與xy面平行之方向移動。在可動工作台12的上方,例如藉由門型的支撐構件13支撐有油墨吐出單元30及攝像裝置40。油墨吐出單元30及攝像裝置40被支撐為能夠相對於基台10進行升降。油墨吐出單元30具有與基板20相對向之複數個噴嘴。各噴嘴將光固化性(例如紫外線固化性)的油墨液滴化並朝向基板20的表面吐出。油墨的吐出藉由控制裝置50來控制。
攝像裝置40拍攝基板20的上表面(塗佈油墨之表面)。藉由攝像裝置40來拍攝基板20的上表面中位於攝像裝置40的視界角的範圍內之區域。
在圖1A中,示出了相對於基台10使油墨吐出單元30及攝像裝置40靜止並使基板20沿x方向及y方向移動之構成,但亦可以與其相反地採用相對於基台10使基板20靜止並使油墨吐出單元30及攝像裝置40移動之構成。使油墨吐出單元30及攝像裝置40靜止並使基板20移動之構成及使基板20靜止並使油墨吐出單元30及攝像裝置40移動之構成均可以說是相對於基板20使油墨吐出單元30及攝像裝置40相對移動之構成。
控制裝置50包括記憶部51及控制部52。在記憶部51中記憶有指定應塗佈油墨之位置之資訊(以下,稱為塗佈圖案資料)。例如,塗佈圖案資料指定與基板20的表面上的複數個位置分別建立有對應關係之複數個像素中應使油墨滴落之像素。在本說明書中,有時將與塗佈圖案資料的複數個像素分別對應之基板上的位置簡稱為“像素”。
控制部52藉由根據該塗佈圖案資料控制移動機構11及油墨吐出單元30而使油墨滴落於基板20的表面的既定位置。藉此,在基板20的表面上形成由油墨構成之點或膜。“點”係指滴落於一個像素上之油墨不與滴落於其他像素上之油墨連續而獨立之圖案。相對於此,“膜”係指滴落於複數個像素上之油墨相連而連續之圖案。
圖1B係表示可動工作台12、油墨吐出單元30及攝像裝置40的俯視下之位置關係之圖。在可動工作台12的保持面上保持有基板20。在基板20的上方支撐有油墨吐出單元30及攝像裝置40。油墨吐出單元30包括噴墨頭31及固化用光源33。在噴墨頭31的與基板20相對向之面上設置有複數個噴嘴32。複數個噴嘴32在x方向上以等間隔排列。該間隔例如為相當於600dpi的解析度之尺寸。另外,複數個噴嘴32無需配置於與x方向平行之一條直線上,可以配置於從與x方向平行之基準線沿y方向規則地偏離之位置。例如,可以配置成交錯狀。
固化用光源33在y方向上分別配置於噴墨頭31的兩側,作為使附著於基板20之油墨固化之固化裝置發揮作用。移動機構11藉由被控制裝置50控制而使可動工作台12沿x方向及y方向移動。再者,控制裝置50控制來自噴墨頭31的各噴嘴32之油墨的吐出。
藉由一邊使基板20沿y方向移動(換言之,一邊使噴墨頭31相對於基板20沿y方向相對移動)一邊從噴墨頭31吐出油墨,能夠在x方向上例如將油墨以600dpi的解析度塗佈於基板20。附著於基板20上之油墨藉由從位於基板20的移動方向的下游側之固化用光源33放射之光而被固化。將一邊使基板20沿y方向移動一邊從噴墨頭31向基板20滴落油墨之動作稱為“掃描動作”。
可以藉由一次掃描動作,使噴墨頭31沿y方向往復至少一次。此時,藉由在往程和返程中使噴墨頭31相對於基板20沿x方向偏移噴嘴32的間距的1/2,能夠使油墨以1200dpi的解析度滴落於基板20上。藉由將噴墨頭31的偏離量設為噴嘴32的間距的1/4而使噴墨頭31往復兩次,能夠使油墨以2400dpi的解析度滴落於基板20上。如此,即使在為了提高解析度而使噴墨頭31沿y軸的正向及負向移動複數次之情況下,亦將複數次移動統稱為一次掃描動作。
若一次掃描動作結束,則控制裝置50使可動工作台12沿x方向移動。換言之,使噴墨頭31相對於基板20沿x方向相對移動。將該動作稱為“位移動作”。藉由重複掃描動作和位移動作,能夠將油墨塗佈於基板20的整個區域。噴墨頭31相對於基板20之沿x方向之相對移動量設為與位於x方向的兩端之兩個噴嘴32之間的距離大致相等即可。另外,當在油墨的吐出中不使用兩端附近的一部分噴嘴32時,設為與實際使用之噴嘴32之中位於兩端之噴嘴32之間的距離大致相等即可。
接著,參閱圖2~圖4對油墨的塗佈(描畫)及噴墨頭的檢查的流程進行說明。
圖2係表示藉由油墨的吐出而形成於基板20之圖案及噴墨頭31相對於基板20之相對移動的軌跡之圖。在圖2中,用帶箭頭之摺線示出噴墨頭31相對於基板20之相對移動的軌跡。
在以下說明之例子中,如圖2所示,藉由進行4次掃描動作來在基板20上形成油墨的實際描畫圖案。所形成之實際描畫圖案由複數個點22構成。亦即,滴落於一個像素上之油墨不與滴落於其他像素上之油墨連續而獨立。如此的由複數個點22構成之實際描畫圖案例如用作電阻膜式觸控面板的兩片導電膜之間的短路防止用的點間隔物。在圖2所示之例子中,在一片基板20上並接有4片觸控面板。作為一例,在一片基板20上形成點22的分布相同之4個實際描畫圖案。4個實際描畫圖案配置成2行2列的矩陣狀。
在基板20的邊緣附近設置有不用作觸控面板之空白區域。在該空白區域的一部分確保有檢查區域25。將能夠藉由一次掃描動作塗佈油墨之基板20上的區域稱為掃程(pass)區域21。定義沿x方向無間隙地排列之複數個掃程區域21(在本實施例中為4個掃程區域21)。掃程區域21分別具有在y方向上較長的長方形的形狀。檢查區域25沿著基板20的與x方向平行的一個邊緣而配置,並與所有掃程區域21局部重疊。
對複數個掃程區域21以x軸的正向順序進行掃描動作。在第1個及第3個掃描動作中,使噴墨頭31相對於基板20沿y軸的正向移動,在第2個及第4個掃描動作中,使噴墨頭31相對於基板20沿y軸的負向移動。
在掃描動作中,根據記憶於記憶部51(圖1A)中之塗佈圖案資料,在既定的時點從既定的噴嘴32吐出油墨,藉此能夠描畫以塗佈圖案資料定義之實際描畫圖案。再者,在檢查區域25形成由複數個點23構成之檢查圖案24。關於檢查圖案24的形成方法,稍後進行說明。
圖3係表示藉由油墨的吐出而形成於基板20之圖案及攝像裝置40相對於基板20之相對移動的軌跡之圖。在圖3中,用帶箭頭之直線示出攝像裝置40相對於基板20之相對移動的軌跡。
藉由使攝像裝置40相對於基板20沿著檢查區域25沿x方向移動,能夠獲取檢查圖案24的圖像。構成檢查圖案24之複數個點23的y方向的偏差寬度小於攝像裝置40的視界角內的區域的y方向的尺寸。
圖4係表示進行油墨的塗佈及噴墨頭的檢查之流程之流程圖。圖4所示之各步驟的處理藉由控制裝置50控制移動機構11、噴墨頭31、攝像裝置40來執行。
在進行最初的掃描動作之前,選擇預定在最初的掃描動作中吐出油墨之噴嘴32作為檢查對象的噴嘴32(步驟S01)。檢查對象的噴嘴32的選擇能夠根據存儲於記憶部51(圖1A)中之塗佈圖案資料來進行。
接著,一邊使噴墨頭31相對於基板20沿y軸的正方向相對移動一邊從複數個檢查對象的所有噴嘴32吐出油墨來在檢查區域25形成由複數個點23構成之檢查圖案24(圖2)(步驟S02)。將形成檢查圖案24之處理稱為檢查用吐出處理。檢查圖案24預先被設定為使從複數個檢查對象的噴嘴32分別吐出之油墨在基板20上不相互連續而成為獨立之點23。
檢查用吐出處理之後進行第1次掃描動作而在掃程區域21形成點圖案。另外,檢查用吐出處理中之噴墨頭31相對於基板20沿y軸的正方向之移動和掃描動作中之噴墨頭31相對於基板20沿y軸的正方向之移動不中斷地連續進行。
當對所有掃程區域21之油墨的塗佈未結束時(步驟S04),進行使噴墨頭31相對於基板20沿x方向移動之位移動作(步驟S05)。然後,進行沿y軸的負方向之掃描動作而在掃程區域21形成點圖案(步驟S06)。接著,選擇在緊跟前的掃描動作(第2次掃描動作)中吐出了油墨之噴嘴32作為檢查對象的噴嘴32(步驟S07)。
掃描動作之後,從檢查對象的所有噴嘴32向與對應於從第2次掃描動作之掃程區域21重疊之檢查區域25吐出油墨而形成檢查圖案24(圖2)(步驟S08)。當對所有掃程區域21之油墨的塗佈未結束時(步驟S09),進行沿x方向之位移動作(步驟S10)。然後,重複從步驟S01開始之處理。將重複掃描動作和位移動作來在基板20的上表面形成由油墨構成之實際描畫圖案之處理稱為“描畫處理”。
當在步驟S04或步驟S09中判定為已完成對所有掃程區域21之油墨的塗佈時,使攝像裝置40相對於基板20相對移動而獲取檢查圖案24的圖像(步驟S11)。然後,進行根據所獲取之圖像判定有無噴嘴32的動作不良之判定處理(步驟S12)。
例如,控制裝置50藉由進行圖像分析來計測檢查圖案24的各點23的中心位置、平面形狀及大小。若該等計測結果在允許範圍內,則形成了該點23之噴嘴32的動作正常。若噴嘴32的動作正常,則藉由該噴嘴32形成之點23的平面形狀成為大致圓形。點23的平面形狀的評價例如根據從幾何學上正確的圓形之偏離量來進行。其中,“偏離量”例如能夠定義為用同心的兩個圓周夾住評價對象的圖形的外周線時同心的兩個圓周的間隔最小時的兩個圓周的半徑之差。將該兩個圓的中心的位置定義為點23的中心位置即可。將點23的大小例如定義為兩個圓周的直徑的平均值即可。
接著,對上述實施例的優異之效果進行說明。 在上述實施例中,選擇在掃描動作中實際使用之或預定使用之噴嘴32作為檢查對象的噴嘴,並由從檢查對象的噴嘴32吐出之油墨形成檢查圖案24(圖2、圖3)。因此,與從所有噴嘴32噴出油墨來形成檢查圖案之情況相比,構成檢查圖案24之點23的個數減少。藉由成為圖像分析的對象之點23的個數被削減,能夠縮短圖像分析所需要之時間。其結果,能夠縮短包括檢查之油墨塗佈處理所需要之時間。
又,在上述實施例中,構成檢查圖案24之複數個點23在y方向上全部都分佈於比攝像裝置40的視界角內的區域的y方向的尺寸窄的範圍內。因此,無需使攝像裝置40相對於基板20沿y方向移動,而藉由僅進行沿x方向之移動,便能夠拍攝檢查圖案24的所有點23。因此,能夠縮短檢查圖案24的拍攝所需要之時間。
再者,在上述實施例中,每進行一次複數個掃描動作(步驟S03、步驟S06)時,進行檢查用吐出處理(步驟S02、步驟S08)。亦即,對應於複數個掃程區域21而分別形成檢查圖案24。若與某一個掃程區域21對應之檢查圖案24的檢查結果正常,則能夠類推對該掃程區域21之油墨的塗佈處理正常進行。相反地,若與某一個掃程區域21對應之檢查圖案24的檢查結果異常,則能夠類推對該掃程區域21之油墨的塗佈處理沒有正常進行。
構成電阻膜式觸控面板的點間隔物之複數個點通常縱橫有規則地分布,其間距充分大於像素間距。亦即,在沿y方向觀察了要形成之實際描畫圖案時,很多的點22重疊,未配置有點22之像素的個數充分多於配置有點22之像素的個數。因此,在用以形成構成點間隔物之點22之一次掃描動作中使用之噴嘴32的個數充分少於設置於噴墨頭31之噴嘴32的總個數。在如此的情況下,在噴墨頭31的檢查中適用上述實施例之效果明顯。
接著,對上述實施例的變形例進行說明。 在上述實施例中,在掃描動作的執行前或執行後,每進行一次掃描動作時,選擇檢查對象的噴嘴32(步驟S01、步驟S07),但亦可以在開始油墨的塗佈處理之前,預先對複數個掃程區域21(圖2)分別選擇檢查對象的噴嘴32。
又,在上述實施例中,對於第奇數個掃描動作(步驟S03),在執行掃描動作之前執行檢查用吐出處理(步驟S02),對於第偶數個掃描動作(步驟S06),在執行掃描動作之後執行檢查用吐出處理(步驟S08)。亦可以與其相反地,對於第奇數個掃描動作,在執行掃描動作之後進行檢查用吐出處理,對於第偶數個掃描動作,在執行掃描動作之前執行檢查用吐出處理。在該情況下,檢查圖案會形成於沿圖2所示之基板20的上側邊緣之檢查區域。
在上述實施例中,使構成檢查圖案24之複數個點23(圖2)的y方向的位置具有偏差。即使將複數個點23形成於與x軸平行的一條直線上,相鄰之點23亦不連續而能夠保持獨立之狀態時,可以將構成檢查圖案24之所有點23形成於與x軸平行之一條直線上。
又,在上述實施例中,以在x方向上相鄰之兩個掃程區域21(圖2)相互相接之方式配置了複數個掃程區域21,但在x方向上未配置有點22(圖2)之區域亦可以不配置掃程區域21。例如,在圖2所示之例子中,可以隔開間隔而配置從左起第2個掃程區域21和第3個掃程區域21。
又,在上述實施例中,使在掃描動作時使噴墨頭31相對於基板20移動之方向(y方向)與複數個噴嘴32以等間距排列之方向(x方向)正交。作為其他構成,亦可以使噴墨頭31的移動方向與複數個噴嘴32的排列方向以直角以外的角度交叉。
接著,參閱圖5~圖7對基於另一實施例之油墨塗佈裝置進行說明。以下,關於與圖1~圖4所示之實施例共同之構成,省略說明。
圖5係表示藉由油墨的吐出而形成於基板20之圖案及噴墨頭31相對於基板20之相對移動的軌跡之圖。在圖5中,用帶箭頭之摺線示出噴墨頭31相對於基板20之相對移動的軌跡。
在圖1~圖4所示之實施例中,將與複數個掃程區域21分別對應之檢查圖案24(圖2)全部都形成於沿基板20的與x軸平行之一個邊緣之檢查區域25。相對於此,在圖5~圖7所示之實施例中,以分別沿基板20的與x軸平行之兩個邊緣之方式配置有兩個檢查區域25(圖5)。對於沿x軸的正向計數為第1個和第3個的掃程區域21,在沿y軸的正側(在圖5中為上側)的邊緣的檢查區域25形成檢查圖案24,對於第2個和第4個掃程區域21,在沿y軸的負側(在圖5中為下側)的邊緣的檢查區域25形成檢查圖案24。亦即,在掃描動作時之噴墨頭31的移動方向的下游側的檢查區域25形成檢查圖案24。
圖6係表示藉由油墨的吐出而形成於基板20之圖案及攝像裝置40相對於基板20之相對移動的軌跡之圖。在圖6中,用帶箭頭之摺線示出攝像裝置40相對於基板20之相對移動的軌跡。
在圖1~圖4所示之實施例中,檢查圖案24的所有點23分佈於沿基板20的與x軸平行之一個邊緣之檢查區域25,因此僅藉由使攝像裝置40(圖3)與x軸平行地移動,便能夠拍攝所有點23。相對於此,在圖5~圖7所示之實施例中,兩個檢查區域25(圖6)分別沿著基板20的與x軸平行之兩個邊緣而配置。因此,必須使攝像裝置40(圖6)沿著沿基板20的與x軸平行之一個邊緣之檢查區域25和沿另一個邊緣之檢查區域25分別移動。因此,在拍攝一個檢查區域25之後且拍攝另一個檢查區域25之前,需要使攝像裝置40相對於基板20沿y方向相對移動。
圖7係表示進行基於本實施例之油墨的塗佈及噴墨頭的檢查之流程之流程圖。在圖1~圖4所示之實施例中,以檢查對象的噴嘴32的選擇(步驟S01)、檢查用吐出處理(步驟S02)及掃描動作(步驟S03)的順序執行。相對於此,在圖5~圖7所示之實施例中,如圖7所示,以掃描動作(步驟S03)、檢查對象的噴嘴32的選擇(步驟S01)及檢查用吐出處理(步驟S02)的順序執行。亦即,在掃描動作之後執行檢查用吐出處理。
接著,對圖5~圖7所示之實施例的優異之效果進行說明。 在本實施例中,與圖1~圖4所示之實施例同樣地,亦能夠縮短包括有無噴嘴32的動作不良的檢查之油墨塗佈處理所需要之時間。再者,在本實施例中,在進行一次掃描動作之後,使用在該掃描動作中吐出了油墨之噴嘴32來形成檢查圖案24(圖5)。因此,即使在掃描動作的開始時點正常動作,但在掃描動作的中途發生了不良之情況下,亦能夠檢測出噴嘴32的動作不良。
接著,參閱圖8及圖9對基於又一實施例之油墨塗佈裝置進行說明。以下,關於與圖1~圖4所示之實施例共同之構成,省略說明。
圖8係表示藉由油墨的吐出而形成於基板20之圖案及噴墨頭31相對於基板20之相對移動的軌跡之圖。在圖8中,用帶箭頭之摺線示出噴墨頭31相對於基板20之相對移動的軌跡。
在圖1~圖4所示之實施例中,對於複數個掃程區域21,分別在與掃程區域21重疊之檢查區域25形成檢查圖案24(圖2)。相對於此,在本實施例中,在檢查區域25中的與在最初的掃描動作中塗佈油墨之掃程區域21(在圖8中為最左側的掃程區域21)重疊之範圍形成檢查圖案24,在與其他掃程區域21重疊之範圍不形成檢查圖案。該檢查圖案24藉由選擇預定在所有掃描動作中的至少一個掃描動作中吐出油墨之噴嘴32作為檢查對象的噴嘴32並從檢查對象的噴嘴32吐出油墨來形成。亦即,對應於複數個掃描動作全部而形成一個檢查圖案24。
圖9係表示進行基於本實施例之油墨的塗佈及噴墨頭的檢查之流程之流程圖。首先,選擇預定在所有掃描動作中的至少一個掃描動作中吐出油墨之噴嘴32作為檢查對象的噴嘴32(步驟S21)。對檢查對象的噴嘴32執行檢查用吐出處理(步驟S22)。具體而言,在圖8的最左側的掃程區域21與檢查區域25重疊之區域形成檢查圖案24。
在形成檢查圖案24之後,藉由重複掃描動作和位移動作來進行在所有掃程區域21塗佈油墨之描畫處理(步驟S23)。若描畫處理結束,則用攝像裝置40拍攝檢查圖案24,並獲取檢查圖案24的圖像(步驟S24)。然後,根據所獲取之圖像來判定有無動作不良的噴嘴32(步驟S25)。
接著,對圖8~圖9所示之實施例的優異之效果進行說明。 在圖1~圖4所示之實施例中,每次進行掃描動作時形成檢查圖案24(圖2),並進行檢查圖案24的圖像分析。當在複數個掃描動作中從同一個噴嘴32吐出油墨時,該噴嘴32在複數個檢查圖案24分別形成點23(圖2)。對分別包含於複數個檢查圖案24中之該點23進行圖像分析。亦即,對一個噴嘴32進行複數次檢查。
相對於此,在圖8~圖9所示之實施例中,對於在複數個掃描動作中吐出了油墨之噴嘴32,在一個檢查圖案24形成一個點23。因此,對在對基板20之油墨的塗佈中吐出了油墨之複數個噴嘴32各進行一次檢查,而不會對一個噴嘴32進行複數次檢查。藉此,能夠縮短檢查時間。
接著,對圖8~圖9所示之實施例的變形例進行說明。 在圖8~圖9所示之實施例中,對所有掃描動作進行一次檢查用吐出處理(步驟S22)。相對於此,亦可以對所有掃描動作中的一部分複數個掃描動作進行一次檢查用吐出處理。例如,在圖8所示之例子中,可以對第1個和第2個掃描動作進行一次檢查用吐出處理,對第3個和第4個掃描動作進行一次檢查用吐出處理。在該情況下,在對應於第1個掃描動作之掃程區域21與檢查區域25的重複區域及對應於第3個掃描動作之掃程區域21與檢查區域25的重複區域形成檢查圖案24即可。
接著,參閱圖10及圖11對基於又一實施例之油墨塗佈裝置進行說明。以下,關於與圖8~圖9所示之實施例共同之構成,省略說明。
圖10係表示藉由油墨的吐出而形成於基板20之圖案及噴墨頭31相對於基板20之相對移動的軌跡之圖。在圖10中,用帶箭頭之摺線示出噴墨頭31相對於基板20之相對移動的軌跡。
在圖8~圖9所示之實施例中,在對應於最初執行之掃描動作之掃程區域21(在圖8中為左端的掃程區域21)與檢查區域25的重複區域形成檢查圖案24(圖8)。相對於此,在本實施例中,在對應於最後執行之掃描動作之掃程區域21(在圖10中為右端的掃程區域21)與檢查區域25的重複區域形成檢查圖案24(圖8)。
圖11係表示進行基於本實施例之油墨的塗佈及噴墨頭的檢查之流程之流程圖。在圖8~圖9所示之實施例中,如圖9所示,在進行檢查用吐出處理(步驟S22)之後,重複掃描動作和位移動作(步驟S23)。相對於此,在本實施例中,如圖11所示,在重複進行掃描動作和位移動作(步驟S23)之後,進行檢查對象的噴嘴32的選擇(步驟S21)及檢查用吐出處理(步驟S22)。另外,檢查對象的噴嘴32的選擇亦可以在重複掃描動作和位移動作(步驟S23)之前預先進行。
接著,對圖10~圖11所示之實施例的優異之效果進行說明。 在圖10~圖11所示之實施例中,與圖8~圖9所示之實施例同樣地,亦能夠縮短檢查時間。再者,在本實施例中,在所有掃描動作結束之後進行檢查用吐出處理(步驟S22)。因此,當在任一掃描動作的中途噴嘴32發生了異常時,能夠檢測出該異常。若在檢查圖案24(圖10)的檢查(步驟S25)中沒有發現異常,則能夠類推對該基板20進行之油墨塗佈處理正常。
接著,參閱圖12對基於又一實施例之油墨塗佈裝置進行說明。以下,關於與圖1~圖4所示之實施例共同之構成,省略說明。
圖12係表示藉由油墨的吐出而形成於基板20之圖案及噴墨頭31相對於基板20之相對移動的軌跡之圖。在圖12中,用帶箭頭之摺線示出噴墨頭31相對於基板20之相對移動的軌跡。
在圖1~圖4所示之實施例中,在基板20上形成僅由複數個點22(圖2)構成之實際描畫圖案。亦即,在基板20的上表面上,滴落於一個像素上之油墨不與滴落於其他像素上之油墨連續而獨立。相對於此,在本實施例中,除了形成複數個點22以外,還形成油墨的膜26。膜26藉由分別滴落於複數個像素上之油墨相互連續而形成。為了形成膜26,通常在掃描動作時從通過配置膜26之區域之所有噴嘴32吐出油墨。
當將複數個點22和膜26形成於一片基板20時,若將吐出用以形成膜26之油墨之噴嘴32包含於檢查對象中,則檢查對象的噴嘴32的個數明顯增多。在本實施例中,將為了形成點22而吐出了油墨或預定吐出油墨之噴嘴32作為檢查對象,而不將僅為了形成膜26而吐出了油墨之噴嘴32作為檢查對象。因此,在沿y方向觀察時僅配置有膜26而未配置有點22之區域27不形成檢查圖案24的點23。
接著,對本實施例的優異之效果進行說明。 若將為了形成膜26而吐出了油墨之噴嘴32作為檢查對象,則檢查對象的噴嘴32的個數變得過多。因此,有時無法得到與檢查所有噴嘴32之方法相比縮短檢查時間之顯著的效果。在圖12所示之實施例中,將不進行用以形成點22之油墨的吐出而僅為了形成膜26而吐出了油墨之噴嘴32從檢查對象中除外。因此,能夠抑制檢查對象的噴嘴32的個數變得過多。其結果,可得到縮短檢查時間之充分的效果。
另外,膜26係滴落於某一區域內的像素上之油墨相互連續而形成。因此,即使一個噴嘴32的動作不良,來自不良的噴嘴32之油墨預定滴落之像素亦會藉由從其他正常的噴嘴32吐出之油墨的擴散而被填補。因此,在形成膜26時,有時一個或少數噴嘴32的動作不良是允許的。因此,即使不進行吐出用以形成膜26之油墨之噴嘴32的檢查,亦可以保證膜26的一定程度的品質。
接著,對圖12所示之實施例的變形例進行說明。 在圖12所示之實施例中,將吐出用以形成複數個點22之油墨作為檢查對象的噴嘴32的選擇條件,而不將吐出用以形成膜26之油墨作為檢查對象的噴嘴32的提取條件。根據膜26的形狀或尺寸,有時與形成點22之噴嘴32同樣地,最好進行形成膜26之噴嘴32中的至少一部分的檢查。例如,當形成一個像素量的寬度的帶狀膜時,將吐出形成該膜之油墨之噴嘴32包含於檢查對象中為較佳。
如此,在選擇檢查對象的噴嘴時,選擇預定在描畫處理中吐出油墨之噴嘴或在描畫處理中吐出了油墨之噴嘴中的至少一部分作為檢查對象的噴嘴即可,而非僅關注點22。在選擇檢查對象的噴嘴32時,將用以形成點22之噴嘴32必定包含於檢查對象中即可。對於不用於形成點22,而用於形成膜26之噴嘴32,根據膜26的形狀或尺寸來確定是否包含於檢查對象中即可。另外,亦可以選擇預定在描畫處理中吐出油墨之噴嘴或在描畫處理中吐出了油墨之噴嘴中的至少一部分作為檢查對象的噴嘴,並且追加選擇與描畫處理無關之噴嘴中的至少一部分作為檢查對象的噴嘴。
上述各實施例僅為例示,當然亦可以進行在不同實施例中所示之構成的部分置換或組合。關於基於複數個實施例的相同構成之相同之作用效果,將不對每個實施例逐次提及。再者,本發明並不僅限於上述實施例。例如,可以進行各種變更、改良、組合等,這對於當業者而言是顯而易見的。
10:基台 11:移動機構 11X:X方向移動機構 11Y:Y方向移動機構 12:可動工作台 13:支撐構件 20:基板 21:掃程區域 22:點 23:檢查圖案的點 24:檢查圖案 25:檢查區域 26:膜 27:僅配置有膜之區域 30:油墨吐出單元 31:噴墨頭 32:噴嘴 33:固化用光源 40:攝像裝置 50:控制裝置 51:記憶部 52:控制部
[圖1A]係表示基於一實施例之油墨塗佈裝置的概略前視圖,[圖1B]係表示可動工作台、油墨吐出單元及攝像裝置的俯視下之位置關係之圖。 [圖2]係表示藉由油墨的吐出而形成於基板之圖案及噴墨頭相對於基板之相對移動的軌跡之圖。 [圖3]係表示藉由油墨的吐出而形成於基板之圖案及攝像裝置相對於基板之相對移動的軌跡之圖。 [圖4]係表示進行油墨的塗佈及噴墨頭的檢查之流程之流程圖。 [圖5]係表示在另一實施例中藉由油墨的吐出而形成於基板之圖案、噴墨頭相對於基板之相對移動的軌跡之圖。 [圖6]係表示在圖5所示之實施例中藉由油墨的吐出而形成於基板之圖案及攝像裝置相對於基板之相對移動的軌跡之圖。 [圖7]係表示進行基於圖5~圖6所示之實施例之油墨的塗佈及噴墨頭的檢查之流程之流程圖。 [圖8]係表示在又一實施例中藉由油墨的吐出而形成於基板之圖案及噴墨頭相對於基板之相對移動的軌跡之圖。 [圖9]係表示進行基於圖8所示之實施例之油墨的塗佈及噴墨頭的檢查之流程之流程圖。 [圖10]係表示在又一實施例中藉由油墨的吐出而形成於基板之圖案及噴墨頭相對於基板之相對移動的軌跡之圖。 [圖11]係表示進行基於圖10所示之實施例之油墨的塗佈及噴墨頭的檢查之流程之流程圖。 [圖12]係表示在又一實施例中藉由油墨的吐出而形成於基板之圖案及噴墨頭相對於基板之相對移動的軌跡之圖。

Claims (19)

  1. 一種油墨塗佈裝置,係具備: 噴墨頭,係設置有吐出油墨之複數個噴嘴; 移動機構,係將基板配置於與前述噴墨頭的噴嘴相對向之位置,並使前述噴墨頭和前述基板中的一個相對於另一個移動; 攝像裝置,係拍攝前述基板的油墨滴落面;及 控制裝置,係控制前述噴墨頭及前述移動機構,並分析由前述攝像裝置拍攝之圖像, 前述控制裝置進行: 描畫處理,一邊使前述噴墨頭相對於前述基板相對移動一邊從前述複數個噴嘴中的一些噴嘴吐出油墨; 檢查用吐出處理,選擇預定在前述描畫處理中吐出油墨之噴嘴或在前述描畫處理中吐出了油墨之噴嘴中的至少一部分作為檢查對象的噴嘴,並從檢查對象的噴嘴吐出油墨,不從未成為檢查對象之噴嘴吐出油墨,而使油墨滴落於前述基板的一部分區域;及 判定處理,獲取由前述攝像裝置拍攝了在前述檢查用吐出處理中滴落有油墨之區域之圖像,並根據所獲取之圖像來判定有無噴嘴的動作不良。
  2. 如請求項1所述之油墨塗佈裝置,其中 在前述描畫處理中,由形成於前述基板之油墨構成之圖案,係包含從前述複數個噴嘴分別吐出之油墨在前述基板上獨立且不與從其他噴嘴吐出之油墨相連之複數個點, 在前述檢查用吐出處理中,前述控制裝置選擇預定用於形成前述複數個點之噴嘴或已用於形成前述複數個點之噴嘴作為檢查對象的噴嘴。
  3. 如請求項1或請求項2所述之油墨塗佈裝置,其中 前述複數個噴嘴沿第1方向排列配置, 在前述描畫處理中,前述控制裝置重複一邊使前述噴墨頭相對於前述基板沿與前述第1方向交叉之第2方向相對移動一邊吐出油墨之掃描動作,和使前述噴墨頭相對於前述基板沿前述第1方向移動之位移動作。
  4. 如請求項3所述之油墨塗佈裝置,其中 前述控制裝置在每進行一次重複之掃描動作時執行前述檢查用吐出處理,在前述檢查用吐出處理中,選擇預定在對應之掃描動作中吐出油墨之噴嘴或吐出了油墨之噴嘴作為檢查對象的噴嘴。
  5. 如請求項4所述之油墨塗佈裝置,其中 前述控制裝置在對應之掃描動作之後且進行下一個掃描動作之前執行前述檢查用吐出處理。
  6. 如請求項3所述之油墨塗佈裝置,其中 前述控制裝置對應於重複之掃描動作中的複數次掃描動作而執行一次前述檢查用吐出處理,在前述檢查用吐出處理中,選擇預定在對應之複數次掃描動作中吐出油墨之噴嘴或吐出了油墨之噴嘴作為檢查對象的噴嘴。
  7. 如請求項3所述之油墨塗佈裝置,其中 在前述檢查用吐出處理中,前述控制裝置使油墨在前述第2方向上滴落於比前述攝像裝置的視界角內的區域的尺寸窄的範圍。
  8. 如請求項1或請求項2所述之油墨塗佈裝置,其中 在前述檢查用吐出處理中,前述控制裝置使從複數個噴嘴分別吐出之油墨在前述基板上形成不相互連續而獨立之檢查圖案。
  9. 如請求項8所述之油墨塗佈裝置,其中 在前述判定處理中,前述控制裝置根據滴落於前述基板上之油墨的位置、俯視下之形狀及尺寸來判定有無噴嘴的動作不良。
  10. 一種控制裝置,其係油墨塗佈裝置的控制裝置,前述油墨塗佈裝置係具備: 噴墨頭,係設置有吐出油墨之複數個噴嘴; 移動機構,係將基板配置於與前述噴墨頭的噴嘴相對向之位置,並使前述噴墨頭和前述基板中的一個相對於另一個移動;及 攝像裝置,係拍攝前述基板的油墨滴落面,其中 前述控制裝置進行: 描畫處理,控制前述複數個噴嘴而吐出油墨, 控制前述移動機構而使前述噴墨頭相對於前述基板相對移動, 分析由前述攝像裝置拍攝之圖像, 一邊使前述噴墨頭相對於前述基板相對移動一邊從前述複數個噴嘴中的一些噴嘴吐出油墨; 檢查用吐出處理,選擇預定在前述描畫處理中吐出油墨之噴嘴或在前述描畫處理中吐出了油墨之噴嘴中的至少一部分作為檢查對象的噴嘴,並從檢查對象的噴嘴吐出油墨,不從未成為檢查對象之噴嘴吐出油墨,而使油墨滴落於前述基板的一部分區域;及 判定處理,獲取由前述攝像裝置拍攝了在前述檢查用吐出處理中滴落有油墨之區域之圖像,並根據所獲取之圖像來判定有無噴嘴的動作不良。
  11. 如請求項10所述之控制裝置,其中 在前述描畫處理中,由形成於前述基板之油墨構成之圖案,係包含從前述複數個噴嘴分別吐出之油墨在前述基板上獨立且不與從其他噴嘴吐出之油墨相連之複數個點, 在前述檢查用吐出處理中,選擇預定用於形成前述複數個點之噴嘴或已用於形成前述複數個點之噴嘴作為檢查對象的噴嘴。
  12. 如請求項10或請求項11所述之控制裝置,其中 前述複數個噴嘴沿第1方向排列配置, 在前述描畫處理中重複一邊使前述噴墨頭相對於前述基板沿與前述第1方向交叉之第2方向相對移動一邊吐出油墨之掃描動作,和使前述噴墨頭相對於前述基板沿前述第1方向移動之位移動作。
  13. 如請求項12所述之控制裝置,其中 在每進行一次重複之掃描動作時執行前述檢查用吐出處理,在前述檢查用吐出處理中,選擇預定在對應之掃描動作中吐出油墨之噴嘴或吐出了油墨之噴嘴作為檢查對象的噴嘴。
  14. 如請求項13所述之控制裝置,其中 在對應之掃描動作之後且進行下一個掃描動作之前執行前述檢查用吐出處理。
  15. 如請求項12所述之控制裝置,其中 對應於重複之掃描動作中的複數次掃描動作而執行一次前述檢查用吐出處理,在前述檢查用吐出處理中,選擇預定在對應之複數次掃描動作中吐出油墨之噴嘴或吐出了油墨之噴嘴作為檢查對象的噴嘴。
  16. 如請求項12所述之控制裝置,其中 在前述檢查用吐出處理中,使油墨在前述第2方向上滴落於比前述攝像裝置的視界角內的區域的尺寸窄的範圍。
  17. 如請求項10或請求項11所述之控制裝置,其中 在前述檢查用吐出處理中,使從複數個噴嘴分別吐出之油墨在前述基板上形成不相互連續而獨立之檢查圖案。
  18. 如請求項17所述之控制裝置,其中 在前述判定處理中,根據滴落於前述基板上之油墨的位置、俯視下之形狀及尺寸來判定有無噴嘴的動作不良。
  19. 一種噴墨頭檢查方法,其中 一邊使噴墨頭相對於基板相對移動一邊從前述噴墨頭的複數個噴嘴中的一部分噴嘴吐出油墨來描畫由油墨構成之圖案, 在描畫前述圖案之前、前述描畫的中途及描畫之後中的至少一個時期,選擇預定在前述圖案的描畫中吐出油墨之噴嘴或吐出了油墨之噴嘴中的至少一部分作為檢查對象的噴嘴,並從檢查對象的噴嘴吐出油墨,不從未成為檢查對象之噴嘴吐出油墨,來在前述基板的一部分區域形成檢查圖案, 獲取前述檢查圖案的圖像,並根據所獲取之圖像來判定有無噴嘴的動作不良。
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