TW201420208A

TW201420208A - 基板製造方法及基板製造裝置

Info

Publication number: TW201420208A
Application number: TW102126456A
Authority: TW
Inventors: Yuji Okamoto
Original assignee: Sumitomo Heavy Industries
Priority date: 2012-11-26
Filing date: 2013-07-24
Publication date: 2014-06-01
Also published as: KR20140067895A; CN103832103A; JP2014104385A

Abstract

本發明提供一種基板製造方法及基板製造裝置，該基板製造方法不易在薄膜的表面產生段差。本發明之基板製造方法，使從複數個噴嘴孔吐出薄膜材料的液滴之噴嘴單元相向於基板，使噴嘴單元相對於基板相對移動之同時使薄膜材料的液滴彈著於基板，從而在基板的表面形成沿將要形成之複數個圖案的邊緣之複數個邊緣圖案。使噴嘴單元相對於基板向第1方向相對移動之同時使薄膜材料的液滴彈著於被邊緣圖案包圍之區域，從而在固實區域(solid area)形成薄膜。在固實區域形成薄膜之製程中，以薄膜的邊緣在未通過固實區域的內部之條件下形成薄膜，該薄膜的邊緣是在使噴嘴單元相對於基板朝一個方向相對移動之期間形成的。

Description

基板製造方法及基板製造裝置

本發明係有關一種基板製造方法及基板製造裝置，其對基板塗布液態的薄膜材料之後，藉由使薄膜材料固化來形成預定形狀的薄膜。

已知有從噴嘴頭吐出包含薄膜圖案形成用的材料之液滴而在基板的表面形成薄膜圖案之技術(例如專利文獻1)。

在該種薄膜形成技術中，例如，對基板使用印刷基板，對薄膜材料使用焊罩。印刷基板包含基材及配線，在指定的位置焊接有電子組件等。焊罩使焊接電子組件等之導體部份露出，並覆蓋無需焊接的部份。與在整面塗布焊罩之後，使用光刻蝕技術形成開口之方法相比，能夠實現製造成本的下降。

已知有藉由形成沿薄膜圖案的邊緣之邊緣帶之後，在被邊緣帶包圍之內部區域填充液態的薄膜材料來形成薄膜之方法(例如專利文獻2)。該方法中，在形成邊緣帶之前，在基板表面進行疏液化處理。形成邊緣帶之後，在內部區域填充薄膜材料之前，在基板表面實施親液化處理。完成向內部區域的薄膜材料的填充之後，使薄膜材料乾燥或固化。

(先前技術文獻) (專利文獻)

專利文獻1：日本特開2004-104104號公報

專利文獻2：日本特開2006-212476號公報

從噴嘴頭朝向基板吐出薄膜材料的液滴之方法中，使噴嘴頭及基板的一方相對於另一方移動之同時從噴嘴頭吐出薄膜材料的液滴。將使噴嘴頭或基板移動之同時吐出薄膜材料的液滴之處理稱為“掃描”。當噴嘴頭的尺寸小於基板的尺寸時，為了在基板的整個區域形成薄膜，進行複數次的掃描。在某一次掃描中形成之薄膜和在下一次掃描中形成之薄膜不會平滑地連接，存在沿雙方的邊界，在薄膜的表面形成段差之情況。

完成向內部區域的薄膜材料的填充之後，進行乾燥或固化之方法中，必須確保用於進行乾燥或固化的時間。在乾燥或固化的中途階段中，由於填充於內部區域之薄膜材料為液態，因此不便於基板的操作。

本發明的目的在於提供一種不易在薄膜的表面產生段差之基板製造方法及基板製造裝置。

依本發明的一觀點，提供一種基板製造方法，係使從複數個噴嘴孔吐出薄膜材料的液滴之噴嘴單元相向於基板，使得前述噴嘴單元相對於前述基板相對移動的同時，使薄膜材料的液滴彈著到被將要形成於前述基板的表面之複數個圖案的邊緣包圍之固實區域(solid area)，藉此來形成薄膜；其特徵為：是以於使前述噴嘴單元相對於前述基板朝一個方向相對移動之期間所形成的部分的邊緣、沒有通過前述固實區域的內部之條件，來形成前述薄膜。

依本發明的另一觀點，提供一種基板製造裝置，其具有：載物台，包含保持將要形成薄膜之基板之保持面；噴嘴單元，相向於前述載物台，並包含朝向保持於前述載物台之基板吐出薄膜材料的液滴之複數個噴嘴孔；移動機構，使前述載物台及前述噴嘴單元中的其中一方相對於另一方，朝與前述保持面平行的第1方向移動；及控制裝置，記憶有定義將要形成於前述基板之薄膜的平面形狀之圖像資料，並根據前述圖像資料控制前述移動機構及前述噴嘴單元，前述圖像資料，定義形成於複數個印刷配線板被拼接之拼接基板(multiple printed panel)之薄膜的平面形狀，在與前述第1方向正交之第2方向上，配列有前述複數個噴嘴孔之區域的尺寸，比前述複數個印刷配線板的任何尺寸更長。

依本發明的另一其他觀點，提供一種基板製造裝置，具有：載物台，包含保持將要形成薄膜之基板之保持面；噴嘴單元，相向於前述載物台，並包含朝向保持於前述載物台之基板吐出薄膜材料的液滴之複數個噴嘴孔；移動機構，使前述載物台及前述噴嘴單元中的其中一方相對於另一方，朝與前述保持面平行的第1方向移動；及控制裝置，控制前述噴嘴單元及前述移動機構，並且包含對定義將要使薄膜材料彈著之複數個塗布區域之圖像資料進行記憶之記憶部；前述複數個噴嘴孔配列在與前述第1方向交叉之第2方向上；前述控制裝置，係藉由使前述噴嘴單元相對於前述載物台朝前述第1方向移動並同時根據前述圖像資料從前述噴嘴孔吐出薄膜材料的液滴，來形成薄膜，據此控制前述移動機構及前述噴嘴單元時，在從前述第2方向上位於兩端之端部噴嘴孔所吐出之薄膜材料的彈著地點的軌跡通過前述複數個塗布區域中的一部份塗布區域的內部之情況下，控制前述噴嘴孔，使得前述薄膜材料的液滴不彈著於前述軌跡通過內部之前述塗布區域中而使前述薄膜材料的液滴彈著於在前述軌跡未通過內部之前述塗布區域中。

依本發明的另一其他觀點，提供一種基板製造裝置，其具有：載物台，包含保持將要形成薄膜之基板之保持面；複數個吸引孔，開口在前述保持面，且吸引搭載於前述保持面之基板；噴嘴單元，相向於前述載物台，並包含朝向保持於前述載物台之基板吐出薄膜材料的液滴之複數個噴嘴孔；及移動機構，使前述載物台及前述噴嘴單元中的其中一方相對於另一方，朝與前述保持面平行的第1方向移動；前述噴嘴孔配列在與前述第1方向交叉之第2方向上；配列前述噴嘴孔之區域的前述第2方向上的尺寸，比分佈有前述複數個吸引孔之區域的前述第2方向上的尺寸更長。

由於在使噴嘴單元相對於基板朝一個方向相對移動之期間形成之薄膜的邊緣未通過固實區域的內部，因此在薄膜的表面不易產生段差。

20‧‧‧平台

21‧‧‧移動機構

22‧‧‧載物台

23‧‧‧噴嘴單元

24‧‧‧噴嘴頭

24a‧‧‧噴嘴孔

24b‧‧‧噴嘴列

24e‧‧‧端部噴嘴孔

25‧‧‧固化用光源

26‧‧‧噴嘴夾具

27‧‧‧噴嘴模組

28‧‧‧保持面

29‧‧‧吸引孔

30‧‧‧攝像裝置

40‧‧‧控制裝置

41‧‧‧輸入裝置

42‧‧‧輸出裝置

45‧‧‧記憶部

46‧‧‧圖像資料

48‧‧‧吸引裝置

50‧‧‧基板

51‧‧‧印刷配線板

55‧‧‧薄膜圖案

55a、55b、55c‧‧‧塗布區域

56‧‧‧單位掃描區域

57‧‧‧吸引孔分佈之區域

60‧‧‧邊緣圖案

60a‧‧‧薄膜材料的顆粒

62‧‧‧薄膜

62a‧‧‧薄膜材料的顆粒

62F‧‧‧已固化之層

63‧‧‧邊界

64‧‧‧薄膜

64a‧‧‧薄膜材料的顆粒

64F‧‧‧已固化之層

65‧‧‧槽

66‧‧‧從端部噴嘴孔吐出之薄膜材料的彈著地點的軌跡

66a‧‧‧第1次操作時從端部噴嘴孔吐出之薄膜材料的彈著地點的軌跡

66b‧‧‧第2次操作時從端部噴嘴孔吐出之薄膜材料的彈著地點的軌跡

67‧‧‧固實區域(solid area)

第1圖係根據實施例1之基板製造裝置的概要圖。

第2圖A係構成噴嘴單元之噴嘴模組的立體圖，第2圖B係噴嘴頭及固化用光源的仰視圖。

第3圖係形成有薄膜圖案之基板及噴嘴單元的平面圖。

第4圖A係在實施例1的第1次掃描的前後之基板及噴嘴單元的平面圖，第4圖B係沿第4圖A的一點虛線4B-4B之剖面圖，第4圖C係邊緣圖案的剖面圖。

第5圖A係實施例1的第2次掃描的前後之基板及噴嘴單元的平面圖，第5圖B係沿第5圖A的一點虛線5B-5B之剖面圖。

第6圖係以根據比較例之方法形成之固實區域內的薄膜的剖面圖。

第7圖係根據實施例2之基板製造裝置的載物台及噴嘴單元的平面圖。

第8圖A係以根據實施例3之方法形成之薄膜圖案的平面圖，第8圖B係表示在根據比較例之基板製造方法的第1次及第2次掃描中形成薄膜之區域的平面圖。

第9圖A係在根據實施例3之基板製造方法的第1次掃描中形成之薄膜的平面圖，第9圖B係在根據實施例3之基板製造方法的第1次及第2次掃描中形成之薄膜的平面圖。

第10圖A係在實施例4的第1次掃描的前後之基板及噴嘴單元的平面圖，第10圖B係沿第10圖A的一點虛線10B-10B之剖面圖。

第11圖A係藉由根據比較例之基板製造方法的第1次掃描形成之薄膜的剖面圖，第11圖B係在第2次掃描結束的時刻之薄膜的剖面圖。

〔實施例1〕

第1圖中示出根據實施例1之基板製造裝置的概要圖。載物台22藉由移動機構21被支承於平台20上。在載物台22的上表面(保持面)保持有印刷配線板等的基板50。定義將平行於載物台22的保持面的方向設為x方向及y方向，且將保持面的法線方向設為z方向之xyz直角座標系統。移動機構21使載物台22向x方向及y方向移動。

噴嘴單元23及攝像裝置30被支承於平台20的上方。噴嘴單元23及攝像裝置30與保持於載物台22之基板50相向。攝像裝置30攝像形成於基板50的表面之配線圖案、定位標誌、及形成於基板50之薄膜圖案等。攝像所獲得之圖像資料輸入到控制裝置40。噴嘴單元23從複數個噴嘴孔朝向基板50吐出光固化性(例如紫外線固化性)的薄膜材料的液滴(例如焊罩等的液滴)。所吐出之薄膜材料附著於基板50的表面。

將噴嘴單元23固定於平台20，亦可以移動載物台22來代替相對於載物台22及平台20移動噴嘴單元23。

控制裝置40控制移動機構21、噴嘴單元23及攝像裝置30。控制裝置40包含記憶定義將要形成於基板50之薄膜圖案的形狀之光柵格式的圖像資料46或其壓縮資料等之記憶部45。操作員藉由輸入裝置41對控制裝置40輸入各種指令(command)或控制中所需的數值資料。控制裝置40從輸出裝置42對操作員輸出各種資訊。

第2圖A中表示構成噴嘴單元23之噴嘴模組27的立體圖。實施例1中，噴嘴單元23由1個噴嘴模組27構成。噴嘴夾具26上安裝有複數個例如4個噴嘴頭24。各噴嘴頭24上分別形成有複數個噴嘴孔24a。噴嘴孔24a向x方向排列，4個噴嘴頭24向y方向排列且固定於噴嘴夾具26上。

噴嘴頭24之間，比兩端的噴嘴頭24更靠外側處，分別配置有固化用光源25。固化用光源25對基板50(第1圖)照射使薄膜材料固化之光，例如紫外線。

第2圖B中示出噴嘴頭24及固化用光源25的仰視圖。在噴嘴頭24的各底面(相向於基板50之表面)配置有2列的噴嘴列24b。各噴嘴列24b由在x方向上以間距(周期)8Pn排列之複數個噴嘴孔24a構成。其中一方的噴嘴列24b相對於另一方的噴嘴列24b向y方向偏離，並且，向x方向僅偏離間距4Pn。也就是說，當著眼於1個噴嘴頭24時，則噴嘴孔24a變成相對於在x方向上以間距4Pn等間隔分佈。間距4Pn例如相當於300dpi的解析度。

4個噴嘴頭24向y方向排列，且相互向x方向偏離而安裝於噴嘴夾具26(第2圖A)。第2圖B中，當以最左側的噴嘴頭24為基準時，則第2、3、4個噴嘴頭24分別向x軸的負方向上僅偏離2Pn、Pn及3Pn。因此，當著眼於4個噴嘴頭24時(作為噴嘴頭整體)，則噴嘴孔24a向x方向以間距Pn(相當於1200dpi之間距)以等間隔排列。

噴嘴頭24之間及在y方向上，在比最外側的噴嘴頭24更靠外側處分別配置有固化用光源25。當著眼於1個噴嘴頭24時，則在其兩側配置有固化用光源25。

使基板50(第1圖)向y方向移動之同時依據將要形成之薄膜圖案的圖像資料46(第1圖)，從噴嘴單元23的各噴嘴孔24a吐出薄膜材料的液滴，從而能夠在x方向上以1200dpi的解析度形成薄膜圖案。將使基板50向y方向移動之同時從噴嘴孔24a吐出薄膜材料的液滴而在基板50塗布薄膜材料之動作稱作“掃描”。進行1次掃描之後，藉由向x方向僅偏離Pn/2來進行下一次的掃描，從而能夠將x方向的解析度提高至2倍的2400dpi為止。2次的掃描能夠藉由使第1次掃描和第2次掃描的方向反轉之往復掃描來實現。y方向的解析度由基板50的移動速度和來自噴嘴孔24a的液滴的吐出周期決定。

第3圖中示出將要形成薄膜圖案55之基板50及噴嘴單元23的平面圖。基板50的表面形成有薄膜圖案55。第3圖中，在附著有薄膜材料之區域帶有陰影線。基板50為在其面內配置有複數個印刷配線板51之拼接基板。作為一例，在基板50的面內，以4行2列的行列狀配置有印刷配線板51。對應於印刷配線板51來定義薄膜圖案55。薄膜圖案55例如由焊罩形成。

藉由1次的掃描，將能夠塗布薄膜材料之區域稱為單位掃描區域56。單位掃描區域56的x方向的尺寸(寬度)以Wu表示。單位掃描區域56的寬度Wu與形成於4個噴嘴頭24之噴嘴孔24a(第2圖B)所分佈之區域的，x方向的尺寸相等。也就是說，寬度Wu與形成於噴嘴單元23之複數個噴嘴孔24a(第2圖A、第2圖B)中配置於x方向的最負側之端部噴嘴孔24e、及與配置於最正側之端部噴嘴孔24e的，x方向的間隔相等。作為一例，單位掃描區域56的寬度Wu為基板50的x方向的尺寸的約1/2。寬度Wu大於或等於與1個印刷配線板51對應之薄膜圖案55的x方向的尺寸Wp。

參閱第4圖A~第5圖B，對根據實施例1之基板製造方法進行說明。在第4圖A及第5圖A中，僅表示與第3圖所示之基板50的1張印刷配線板51對應之區域。並且，為了方便說明，在薄膜圖案55(第3圖)內示出有配置2個正方形和4個圓形的開口部之例子，但實際上配置有更微細的多數的開口部。

第4圖A中表示第1次掃描的前後之基板50及噴嘴單元23的平面圖。第4圖B中示出沿第4圖A的一點虛線4B-4B之剖面圖如第4圖A所示，在第1次掃描中，使基板50向y軸的負方向移動之同時從噴嘴頭24吐出薄膜材料的液滴。此時，在薄膜圖案55的最外周的邊緣及開口部的邊緣塗布薄膜材料。在第1次的掃描中，相對於各4個噴嘴頭24，打開位於y軸的負側(基板50的移動方向的前方側)之固化用光源25。在第4圖A中，較粗的實線表示打開狀態的固化用光源25，且以較細的實線表示關閉狀態的固化用光源25。薄膜材料的液滴彈著於基板50(第3圖)上之後立即使薄膜材料的表層部固化。

在從固化用光源25放射之光的基板表面上之光能量密度低於為固化至薄膜材料的內部而所需的光能量密度。因此，薄膜材料的內部為未固化的狀態。將僅固化薄膜材料的表層部之反應稱為“臨時固化”。單位掃描區域56的寬度Wu(第3圖)大於或等於形成於1張印刷配線板51內之薄膜圖案55的x方向的尺寸Wp(第3圖)，因此藉由第1次的掃描，在與1個印刷配線板51對應之薄膜圖案55(第3圖)的最外周的邊緣及開口部的邊緣形成由臨時固化之薄膜材料構成之線狀的邊緣圖案60。邊緣圖案60的寬度相當於例如光柵格式的圖像資料46(第1圖)的像素間距的3~5倍。也就是說，在邊緣圖案60的寬度方向上包含3~5個像素。

在第4圖C中表示邊緣圖案60的剖面圖。邊緣圖案60由複數個薄膜材料的顆粒60a構成。當形成邊緣圖案60時，從1個噴嘴頭24(第4圖A)吐出之薄膜材料藉由來自相對於該噴嘴頭24與y軸的負側鄰接而配置之固化用光源25的光照射而臨時固化。若著眼於1個噴嘴頭24，則噴嘴孔24a的x方向的間距4Pn(第2圖B)例如對應於300dpi。薄膜材料的複數個液滴彈著於以間距4Pn等間隔排列之位置。彈著後，液滴向面內方向擴散，但在相互鄰接之液滴彼此連接之前液滴被臨時固化。

若從4個噴嘴頭24的噴嘴孔24a(第2圖B)吐出液滴，則液滴分別彈著於x方向上以間隔Pn(相當於1200dpi)排列之點上。以間距Pn鄰接之2個液滴在面內方向上局部重疊。由於臨時固化之液滴上彈著下一個液滴，因此相互重疊之2個液滴不會相互混雜在一起。因此，使4個噴嘴頭24動作而形成之邊緣圖案60由堆積之複數個薄膜材料的顆粒60a構成。

薄膜材料彈著於基板50之後立即使薄膜材料臨時固化，從而能夠防止因液態的薄膜材料向面內方向擴散而引起之邊緣圖案60的解析度的下降。為了以充足的解析度形成邊緣圖案60，薄膜材料彈著於基板50之後，在0.2秒以內照射固化用光為較佳。

第5圖A中示出第2次掃描的前後之基板50及噴嘴單元23的平面圖。第5圖B中表示沿第5圖A的一點虛線5B-5B之剖面圖。第1次掃描結束之後，藉由使基板50向y軸的負方向移動來進行第2次掃描。第2次掃描中，在將要形成薄膜之區域，亦即被邊緣圖案60包圍之區域67(以下稱為“固實區域”。)上塗布薄膜塗料。形成以在第1次掃描中形成之邊緣圖案60為邊緣之薄膜 62。

如第5圖A所示，第2次掃描中，僅打開y軸的最正側(基板50的移動方向的最前方側)的固化用光源25，使其他固化用光源25為關閉狀態。

接著，對第2次掃描的順序進行詳細說明。在固實區域67內包含複數個像素。在固實區域67內的像素中，從第5圖A所示之y軸的最正側的噴嘴頭24吐出之液滴彈著之後，不被固化用的光照射，而是從第2個、第3個、第4個噴嘴頭24吐出之液滴依次彈著。因此，在液滴臨時固化之前，在固實區域67內的複數個液滴以液體狀態相互接連。複數個液滴以液體狀態直接相互接連之後，從y軸的最正側的固化用光源25向薄膜材料照射固化用光。因此，固實區域67內的薄膜62的表面變得大致平坦。由於邊緣圖案60阻擋薄膜材料，因此薄膜材料不會侵入到開口內，也不會流出至最外周的外部。

第1次掃描(第4圖A)及第2次掃描(第5圖A)在設置於4個噴嘴頭24之噴嘴孔24a(第2圖A、第2圖B)中，從在x方向上位於兩端之噴嘴孔(以下稱為“端部噴嘴孔”。)吐出之薄膜材料的液滴的彈著地點的軌跡66未通過固實區域67的內部之條件下進行。

在第6圖中示出以根據比較例之方法形成之固實區域67內的薄膜的剖面圖。根據比較例之方法中，單位掃描區域56的寬度Wu(第3圖)比與1個印刷配線板51對應之薄膜圖案55的x方向的尺寸Wp(第3圖)更窄。因此，為了在1個固實區域67的整個區域塗布薄膜材料，必須進行複數次掃描。由於進行複數次掃描，所以在某次掃描中被塗布薄膜材料之區域和在其他掃描中被塗布薄膜材料之區域的邊界63通過固實區域67內。

例如，在第6圖中，針對比邊界63更靠右側的區域進行第1次掃描之後，針對左側的區域進行第2次掃描。在第1次掃描中形成薄膜62，在第2次掃描中形成薄膜64。在薄膜62、64的表層部分別形成已固化之層62F、64F。

若進行第1次掃描，則彈著於邊界63的附近之薄膜材料向面內方向擴散至臨時固化為止。因此，與邊界63對應之部份的薄膜62的上表面傾斜，並形成斜面62S。斜面62S的前端超過邊界63而侵入在第2次掃描中被塗布薄膜材料之區域內。在進行第2次掃描時，在斜面62S上也彈著薄膜材料的液滴。通常，在基板50的表面實施有親液化處理，因此與薄膜62的表面相比，基板50的表面的親水性更高。因此，彈著於斜面62S之上之薄膜材料被靠到在第2次掃描中成為薄膜材料的塗布對象之區域。之後，若薄膜64的表層部固化，則在邊界63的位置產生槽65。

實施例1中，從端部噴嘴孔24e(第3圖)吐出之薄膜材料的彈著地點的軌跡66未通過固實區域67的內部。也就是說，在固實區域67內，不存在與以比較例之方法形成薄膜時的邊界63(第6圖)相當之邊界。因此，能夠防止槽65的產生。

在1次掃描中，確定2條軌跡66的位置。該2條軌跡66的間隔與單位掃描區域56的寬度Wu(第3圖)相等。在與配置於基板50的表面之印刷配線板51對應之薄膜圖案55的任意一個中，若x方向的尺寸Wp在寬度Wu以下，則在任何的薄膜圖案55中，均能夠防止槽65的產生。

另外，實施例1中，在第2次掃描期間中，薄膜材料附著於基板50(第5圖A、第5圖B)之同時進行臨時固化。因此，與將附著於基板50之薄膜材料以液態的狀態放置之方法相比，基板50的操作輕鬆。

〔實施例2〕

第7圖中示出根據實施例2之基板製造裝置的載物台22及噴嘴單元23的平面圖。在載物台22的保持面28形成有複數個吸引孔29。吸引裝置48例如藉由真空泵對吸引孔29內進行排氣，從而被保持於保持面28上之基板50(第1圖)被吸附於保持面28。

實施例2的噴嘴單元23由4個噴嘴模組27(第2圖A)構成。噴嘴模組27分別以噴嘴孔24a(第2圖A、第2圖B)向x方向排列之姿勢配置。另外，4個噴嘴模組27向x方向排列。噴嘴單元23所包含之噴嘴孔24a整體在x方向上以等間隔排列。與1個噴嘴模組27對應之單位掃描區域56(第3圖)的寬度為Wu時，與噴嘴單元 23對應之單位掃描區域56的寬度成為寬度Wu的4倍。

與噴嘴單元23對應之單位掃描區域56的寬度4Wu比分佈有吸引孔29之區域57的在x方向上之尺寸Wr更寬。吸引孔29以矩陣狀分佈時，區域57的平面形狀成為持有將位於最外周之吸引孔29依次連接之外周線之正方形或長方形。分佈有吸引孔29之區域57的在x方向之尺寸能夠解釋為“位於x方向的最負側之吸引孔29和位於最正側之吸引孔29的x方向的間隔”。

根據實施例2之基板製造裝置在配置於分佈吸引孔29之區域57內之基板50的整個區域，能夠在1次掃描中形成薄膜圖案。因此，能夠防止槽65(第6圖)的產生。

〔實施例3〕

參閱第8圖A~第9圖B，對根據實施例3之基板製造方法進行說明。以下，對與實施例1的差異點進行說明，並省略對相同結構的說明。

第8圖A中示出以根據實施例3之方法形成之薄膜圖案55的平面圖的一例。第8圖A中，在塗布有薄膜材料之區域帶有陰影線。薄膜圖案55包含例如不互相接連之3個塗布區域55a、55b、55c。

第8圖B中示出在根據比較例之基板製造方法的第1次及第2次掃描中形成薄膜之區域。另外，與各塗布區域55a、55b、55c的外周線對應之邊緣圖案60(第4圖A) 設為已形成之圖案。2個單位掃描區域56的邊界63通過塗布區域55b的內部。在第1次掃描中，在邊界63的一側形成薄膜62，在第2次掃描中在邊界63的另一側形成薄膜64。因此，導致在形成於塗布區域55b之薄膜的表面產生沿邊界63之槽65(第6圖)。

第9圖A中示出在根據實施例3之基板製造方法的第1次掃描中形成之薄膜62的平面圖。進行第1次掃描時，從端部噴嘴孔24e(第3圖)吐出之薄膜材料的彈著地點的軌跡66a通過1個塗布區域55b的內部。當基板50(第3圖)和噴嘴單元23(第3圖)處於該種位置關係時，控制裝置40(第1圖)將噴嘴單元23(第1圖)控制成使薄膜材料的液滴不彈著於塗布區域55b，而使薄膜材料的液滴彈著於軌跡66a未通過內部之塗布區域55c上。

如第9圖B所示，在第2次掃描進行之前，使基板50(第1圖)向x方向移動，以便從端部噴嘴孔24e(第3圖)吐出之薄膜材料的彈著地點的軌跡66b通過塗布區域55b與塗布區域55c之間。在該狀態下進行第2次掃描。在第2次掃描中，使薄膜材料的液滴彈著於塗布區域55a及55b上。

實施例3中，在1次掃描中形成之薄膜的邊緣未配置於塗布區域55a~55c的內部。也就是說，若著眼於塗布區域55a~55c中的1個塗布區域，則在1次掃描中在整個區域形成薄膜。因此，能夠防止槽65(第6圖)的產生。

〔實施例4〕

參閱第10圖A及第10圖B，對根據實施例4之基板製造方法進行說明。實施例1~實施例3中，在薄膜圖案55(第3圖)的最外周的邊緣及開口部的邊緣形成由臨時固化之薄膜材料構成之線狀的邊緣圖案60(第4圖A)，之後，在固實區域67形成薄膜62(第5圖A)。實施例4中，不形成邊緣圖案60，而是在固實區域67形成薄膜62。其他結構與根據實施例1之基板製造方法相同。

第10圖A中示出在第1次掃描的前後之基板50及噴嘴單元23的平面圖。第10圖B中示出沿第10圖A的一點虛線10B-10B之剖面圖。藉由使基板50向y軸的正方向移動，從而進行第1次掃描。在第1次掃描中，在將要形成薄膜之區域(固實區域67)塗布薄膜材料。藉此，形成薄膜62。

此時，如第10圖A所示，點亮噴嘴頭24的各自的y軸的正側(基板50的移動方向的前方側)的固化用光源25。藉此，薄膜62與第4圖C所示之邊緣圖案60相同地，由薄膜材料的複數個顆粒構成。

第11圖A中示出以根據比較例之方法的第1次掃描形成之固實區域67內的薄膜的剖面圖。根據比較例之方法中，從端部噴嘴孔吐出之薄膜材料的彈著地點的軌跡66(第10圖A)通過固實區域67(第10圖A)的內部。第10圖A中，在比邊界63更靠右側的區域，在第1次掃描中形成薄膜62。薄膜62由薄膜材料的複數個顆粒62a構成。與第6圖中示出之比較例同樣地在邊界63的位置形成斜面62S。

第11圖B中示出根據比較例之方法的在第2次掃描結束的時刻之薄膜的剖面圖。在比邊界63更靠左側的區域，在第2次掃描中形成薄膜64。薄膜64由薄膜材料的複數個顆粒64a構成。由於在基板50的表面實施有親液化處理，因此與薄膜62的表面相比基板50的表面的親液性更高。因此，彈著於斜面62S上的薄膜材料被靠到在第2次掃描中成為薄膜材料的塗布對象之區域。若薄膜64的表層部固化，則在邊界63的位置產生槽65。

實施例4中，從端部噴嘴孔24e(第3圖)吐出之薄膜材料的彈著地點的軌跡66未通過固實區域67的內部。因此，能夠防止槽65的產生。

依據以上實施例對本發明進行了說明，但本發明並不限定於此。本領域技術人員應可理解能夠進行例如各種變更、改良、組合等。