JP2021137690A - インク塗布装置、インク塗布装置の制御装置、及びインク塗布方法 - Google Patents
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Abstract
Description
基板に向かってインクを液滴化して吐出して前記基板にインクを着弾させる複数のノズルが設けられたインクジェットヘッドと、
前記インクジェットヘッドと前記基板との一方を他方に対して移動させる移動機構と、
前記インクジェットヘッド及び前記移動機構を制御して、前記基板の表面上の複数の位置にそれぞれ対応付けられた複数の画素のうち、インクを着弾させるべき画素に対応する位置にインクを着弾させる制御装置と
を有し、
前記制御装置は、
動作不良のノズルを記憶しており、
インクを着弾させるべき孤立した1つの画素で定義される孤立パターンと、インクを着弾させるべき連続した複数の画素で定義される連続パターンとを、インクによって前記基板に形成するときに、
動作不良のノズルに前記孤立パターンの画素が割り当てられないように、かつ
前記連続パターンの形状を定義する複数の画素の少なくとも1つが、動作不良のノズルに割り当てられているとき、動作不良のノズルに割り当てられている画素を一方向に挟む2つの画素には、動作不良のノズルが割り当てられないように、各画素にノズルを割り当てて、各画素に対応する位置に、割り当てられたノズルからインクを吐出させて前記孤立パターン及び前記連続パターンを形成するインク塗布装置が提供される。
基板に向かってインクを液滴化して吐出する複数のノズルが設けられたインクジェットヘッド、及び前記インクジェットヘッドと前記基板との一方を他方に対して移動させる移動機構とを制御して、前記基板の表面上の複数の位置にそれぞれ対応付けられた複数の画素のうち、インクを着弾させるべき画素に対応する位置にインクを着弾させる制御装置であって、
動作不良のノズルを記憶する機能を備えており、
インクを着弾させるべき孤立した1つの画素で定義される孤立パターンと、インクを着弾させるべき連続した複数の画素で定義される連続パターンとを、インクによって前記基板に形成するときに、
動作不良のノズルに前記孤立パターンの画素が割り当てられないように、かつ
前記連続パターンの形状を定義する複数の画素の少なくとも1つが、動作不良のノズルに割り当てられているとき、動作不良のノズルに割り当てられている画素を一方向に挟む2つの画素には、動作不良のノズルが割り当てられないように、各画素にノズルを割り当てて、各画素に対応する位置に、割り当てられたノズルからインクを吐出させて前記孤立パターン及び前記連続パターンを形成する制御装置が提供される。
基板に向かってインクを液滴化して吐出する複数のノズルが設けられたインクジェットヘッドと、前記基板との一方を他方に対して移動させながら、前記基板に孤立パターンと連続パターンとを形成するインク塗布方法であって、
前記基板の表面上の複数の位置にそれぞれ複数の画素が対応付けられており、
前記孤立パターンは、孤立した1つの画素で定義されており、
前記連続パターンは、連続した複数の画素で定義されており、
動作不良のノズルに前記孤立パターンの画素が割り当てられないように、かつ
前記連続パターンの形状を定義する複数の画素の少なくとも1つが、動作不良のノズルに割り当てられているとき、動作不良のノズルに割り当てられている画素を一方向に挟む2つの画素には、動作不良のノズルが割り当てられないように、各画素にノズルを割り当てて、各画素に対応する位置に、当該画素に割り当てられたノズルからインクを着弾させて前記孤立パターン及び前記連続パターンを形成するインク塗布方法が提供される。
本実施例では、孤立パターン21に対応する画素61(図5A)が動作不良のノズル32dに割り当てられている場合には、動作不良のノズル32dに割り当てられないように割当関係を変更する(図6)。これにより、孤立パターン21を正常に形成することができる。
上記実施例では、1つのインクジェットヘッド31に設けられている複数のノズル32のうち1つのノズルが動作不良である場合について説明したが、複数のノズル32が動作不良である場合にも上記実施例を適用することが可能である。
シフト動作におけるシフト量を規定のシフト量に固定した場合、すなわちインクジェットヘッド31(i)とインクジェットヘッド31(i+1)との相対的な位置関係を固定した場合には、孤立パターン21に対応する画素61を含む画素列が、動作不良のノズル32dに割り当てられないという条件を満たす割当関係を見出すことができない場合がある。本実施例では、シフト動作におけるシフト量を可変にしているため、孤立パターン21に対応する画素61を含む画素列が、動作不良のノズル32dに割り当てられないことという条件を満たす割当関係を見出すことが可能になる。
本実施例では、複数の画素列を、それぞれ複数の正常なノズル32のみに割り当てるため、孤立パターン21(図2)及び連続パターン22(図2)を正常に形成することができる。また、図1A〜図7Bに示した実施例では、動作不良のノズル32d(図5A)の個数が増加すると、動作不良のノズル32dに、孤立パターン21に対応する画素61(図5A、図5B、図6)を含む画素列が割り当てられないという条件を満たすことができない場合が生じ得る。このような場合でも図9A及び図9Bに示した実施例では、動作不良のノズル32dに孤立パターン21に対応する画素61(図5A、図5B、図6)を含む画素列が割り当てられないという条件を満たして割り当てを行うことができる。
1層目のスキャン動作で形成すべき孤立パターン21に対応する画素61の代替画素61aとして、1層目のスキャン動作でインクの塗布対象となる画素60から選択すると、本来の画素61と代替画素61aとのピッチは、ノズルピッチPNと等しくなる。これに対して本実施例では、本来の画素61と代替画素61aとのピッチが、ノズルピッチPNの1/2になる。ノズルピッチPNの1/2が孤立パターン21の位置ずれの許容範囲内であれば、本実施例を適用することが可能である。
11 移動機構
11X X方向移動機構
11Y Y方向移動機構
12 可動テーブル
13 支持部材
20 基板
21 孤立パターン
22 連続パターン
22a 1層目のスキャン動作で形成される連続パターン
22b 2層目のスキャン動作で形成される連続パターン
22d インク不足領域
30 インク吐出ユニット
31 インクジェットヘッド
32、32A、32B ノズル
32d 動作不良のノズル
33 硬化用光源
34A、34B、34C 有効ノズル列
50 制御装置
51 記憶部
52 制御部
60 画素
61 孤立パターンに対応する画素
61a 代替画素
Claims (11)
- 基板に向かってインクを液滴化して吐出し、前記基板にインクを着弾させる複数のノズルが設けられたインクジェットヘッドと、
前記インクジェットヘッドと前記基板との一方を他方に対して移動させる移動機構と、
前記インクジェットヘッド及び前記移動機構を制御して、前記基板の表面上の複数の位置にそれぞれ対応付けられた複数の画素のうち、インクを着弾させるべき画素に対応する位置にインクを着弾させる制御装置と
を有し、
前記制御装置は、
動作不良のノズルを記憶しており、
インクを着弾させるべき孤立した1つの画素で定義される孤立パターンと、インクを着弾させるべき連続した複数の画素で定義される連続パターンとを、インクによって前記基板に形成するときに、
動作不良のノズルに前記孤立パターンの画素が割り当てられないように、かつ
前記連続パターンの形状を定義する複数の画素の少なくとも1つが、動作不良のノズルに割り当てられているとき、動作不良のノズルに割り当てられている画素を一方向に挟む2つの画素には、動作不良のノズルが割り当てられないように、各画素にノズルを割り当てて、各画素に対応する位置に、割り当てられたノズルからインクを吐出させて前記孤立パターン及び前記連続パターンを形成するインク塗布装置。 - 前記複数の画素は行列状に配置されており、
前記複数のノズルは、前記複数の画素の行方向に対応する方向に均一なノズルピッチで配置されており、
前記制御装置は、
前記インクジェットヘッド及び前記基板の一方を他方に対して前記複数の画素の列方向に移動させながらインクを着弾させる複数のスキャン動作、及び前記インクジェットヘッド及び前記基板の一方を他方に対して前記行方向にシフトさせるシフト動作を行い、
複数の画素列が、それぞれ前記複数のノズルに割り当てられたとき、前記孤立パターンに対応する画素を含む画素列が動作不良のノズルに割り当てられた場合には、前記複数の画素列と前記複数のノズルとの割当関係を変更する請求項1に記載のインク塗布装置。 - 前記行方向に関する画素のピッチは、前記ノズルピッチより狭く、
前記制御装置は、
前記複数のスキャン動作のそれぞれにおいて、前記複数の画素列をそれぞれ前記複数のノズルに割り当て、
あるスキャン動作において、前記連続パターン内の画素列が動作不良のノズルに割り当てられているとき、動作不良のノズルに割り当てられている画素列に隣接する画素列は、他のスキャン動作において動作不良のノズルに割り当てられないように、前記複数のノズルを前記複数の画素列に割り当てる請求項2に記載のインク塗布装置。 - 前記制御装置は、
前記複数のノズルで構成されたノズル列を動作不良のノズルの位置で分割して得られる複数の有効ノズル列のうち、正常なノズルの個数が最も多い有効ノズル列に含まれる複数の正常なノズル以外の複数のノズルには、前記複数の画素列を割り当てないという条件で、前記複数の画素列をそれぞれ前記複数のノズルに割り当てる機能を持つ請求項2または3に記載のインク塗布装置。 - 基板に向かってインクを液滴化して吐出する複数のノズルが設けられたインクジェットヘッド、及び前記インクジェットヘッドと前記基板との一方を他方に対して移動させる移動機構とを制御して、前記基板の表面上の複数の位置にそれぞれ対応付けられた複数の画素のうち、インクを着弾させるべき画素に対応する位置にインクを着弾させる制御装置であって、
動作不良のノズルを記憶する機能を備えており、
インクを着弾させるべき孤立した1つの画素で定義される孤立パターンと、インクを着弾させるべき連続した複数の画素で定義される連続パターンとを、インクによって前記基板に形成するときに、
動作不良のノズルに前記孤立パターンの画素が割り当てられないように、かつ
前記連続パターンの形状を定義する複数の画素の少なくとも1つが、動作不良のノズルに割り当てられているとき、動作不良のノズルに割り当てられている画素を一方向に挟む2つの画素には、動作不良のノズルが割り当てられないように、各画素にノズルを割り当てて、各画素に対応する位置に、割り当てられたノズルからインクを吐出させて前記孤立パターン及び前記連続パターンを形成する制御装置。 - 前記複数の画素は行列状に配置されており、
前記複数のノズルは、前記複数の画素の行方向に対応する方向に均一なノズルピッチで配置されており、
さらに、
前記インクジェットヘッド及び前記基板の一方を他方に対して前記複数の画素の列方向に移動させながらインクを着弾させる複数のスキャン動作、及び前記インクジェットヘッド及び前記基板の一方を他方に対して前記行方向にシフトさせるシフト動作を行う機能と、
複数の画素列に、それぞれ前記複数のノズルが割り当てられたとき、前記孤立パターンに対応する画素を含む画素列が動作不良のノズルに割り当てられた場合には、前記複数の画素列と前記複数のノズルとの割当関係を変更する機能を備えた請求項5に記載の制御装置。 - 前記行方向に関する画素のピッチは、前記ノズルピッチより狭く、
前記複数のスキャン動作のそれぞれにおいて、前記複数の画素列をそれぞれ前記複数のノズルに割り当て、
あるスキャン動作において、前記連続パターン内の画素列が動作不良のノズルに割り当てられているとき、動作不良のノズルに割り当てられている画素列に隣接する画素列は、他のスキャン動作において動作不良のノズルに割り当てられないように、前記複数のノズルに前記複数の画素列を割り当てる機能を備えた請求項6に記載の制御装置。 - 前記複数のノズルで構成されたノズル列を動作不良のノズルの位置で分割して得られる複数の有効ノズル列のうち、正常なノズルの個数が最も多い有効ノズル列に含まれる複数の正常なノズル以外のノズルには、前記複数の画素列のいずれも割り当てないという条件で、前記複数の画素列をそれぞれ前記複数のノズルに割り当てる機能を、さらに備えた請求項6または7に記載の制御装置。
- 基板に向かってインクを液滴化して吐出する複数のノズルが設けられたインクジェットヘッドと、前記基板との一方を他方に対して移動させながら、前記基板に孤立パターンと連続パターンとを形成するインク塗布方法であって、
前記基板の表面上の複数の位置にそれぞれ複数の画素が対応付けられており、
前記孤立パターンは、孤立した1つの画素で定義されており、
前記連続パターンは、連続した複数の画素で定義されており、
動作不良のノズルに前記孤立パターンの画素が割り当てられないように、かつ
前記連続パターンの形状を定義する複数の画素の少なくとも1つが、動作不良のノズルに割り当てられているとき、動作不良のノズルに割り当てられている画素を一方向に挟む2つの画素には、動作不良のノズルが割り当てられないように、各画素にノズルを割り当てて、各画素に対応する位置に、当該画素に割り当てられたノズルからインクを着弾させて前記孤立パターン及び前記連続パターンを形成するインク塗布方法。 - 前記複数の画素は行列状に配置されており、
前記複数のノズルは、前記複数の画素の行方向に対応する方向に均一なノズルピッチで配置されており、
前記孤立パターン及び前記連続パターンを形成するときに、前記インクジェットヘッド及び前記基板の一方を他方に対して前記複数の画素の列方向に移動させながらインクを着弾させるスキャン動作と、前記インクジェットヘッド及び前記基板の一方を他方に対して前記行方向にシフトさせるシフト動作とを繰り返し、
複数の画素列が、それぞれ前記複数のノズルに割り当てられたとき、前記孤立パターンに対応する画素を含む画素列が動作不良のノズルに割り当てられた場合には、前記複数の画素列と前記複数のノズルとの割当関係を変更する請求項9に記載のインク塗布方法。 - 前記行方向に関する画素のピッチは、前記ノズルピッチより狭く、
スキャン動作のそれぞれにおいて、前記複数の画素列をそれぞれ前記複数のノズルに割り当て、
あるスキャン動作において、前記連続パターン内の画素列が動作不良のノズルに割り当てられているとき、動作不良のノズルに割り当てられている画素列に隣接する画素列は、他のスキャン動作において動作不良のノズルに割り当てられないように、前記複数のノズルを前記複数の画素列に割り当てる請求項10に記載のインク塗布方法。
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