CN107650520B - 功能液排出装置和功能液排出位置调整方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供具有设置了多个排出功能液的喷头的滑架的功能液排出装置，其能够提高功能液的排出位置的精度。功能液排出装置(1)扫描工件(W)并将功能液排出到该工件(W)上进行描绘，其包括：设置有多个对工件(W)排出功能液的喷头(24)并具有使该喷头(24)在θ轴方向上旋转的旋转机构的滑架(23)；拍摄工件(W)的摄像部；和对每个喷头(24)控制旋转机构和排出时刻的控制部(150)。控制部(150)使功能液从相对于装置(1)对位并固定后的滑架(23)的喷头(24)排出到工件(W)上，基于该功能液的拍摄结果，控制该喷头的旋转机构和排出时刻，进行该喷头的θ轴方向的对位和扫描方向的功能液的排出位置的调整。

Description

功能液排出装置和功能液排出位置调整方法

技术领域

本发明涉及对工件排出功能液进行描绘的功能液排出装置和该功能液排出装置的功能液排出位置调整方法。

背景技术

当前，作为使用功能液对工件进行图案化的装置，已知有使该功能液作为液滴进行排出的喷墨方式的功能液排出装置。功能液排出装置在制造例如有机EL装置、滤色片、液晶显示装置、等离子体显示器(PDP装置)、电子放出装置(FED装置、SED装置)等的电光学装置(平板显示器：FPD)时等被广泛使用。

在功能液排出装置中，要求功能液的排出位置的正确性。但是，当前，没有排出功能液的排出头的安装位置的调整机构，排出头的安装位置即从排出头排出功能液的排出位置由该排出头的机械加工精度决定。因此，存在从排出头排出的功能液的排出位置即着落位置的精度不够的情况。

为了提高功能液的液滴的着落精度，在专利文献1中，在具有支承多个功能液排出头的单一的滑架的功能液排出装置中，功能液排出头经由能够使该功能液排出头在滑架的面方向上移动的位置调整装置被固定于滑架。

另外，在专利文献2中，在多个滑架各自具有多个功能液排出头的功能液排出装置中，为了简单地校正着落误差，采用以下的结构。即，利用对准用排出图案数据，从功能液排出头排出功能液，在工件上的检查区域描绘在副扫描方向上连续的功能液的液滴的点线，分别拍摄与各滑架对应的点线，识别与设计基准的着落误差。接着，基于着落误差的识别结果来校正各滑架的相对位置。

此外，在功能液排出装置中，如专利文献2那样，通过在各滑架设置多个功能液排出头，搭载多个滑架，从而容易进行功能液排出头的维护。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005-246130号公报

专利文献2：日本特开2006-44059号公报

发明要解决的技术问题

如上所述，需要提高功能液的液滴的着落精度，但是，在专利文献1记载的方法中，不进行滑架的对准，所以功能液排出头的安装位置的调整幅度变大。因此，需要增大该安装位置的调整单元。另外，在滑架上设置有多个功能液排出头，但功能液排出头间的空间受到限制。因此，在专利文献1记载的方法中无法将上述调整单元搭载在滑架上，所以实际上难以调整功能液的着落位置。

另外，在专利文献2记载的方法中，在各滑架内不进行功能液排出头的对准，因此，存在功能液的着落位置的精度不够的情况。

发明内容

本发明是基于上述问题而完成的，其目的在于，在具有设置有多个对工件排出功能液的功能液排出头(喷头)的滑架的功能液排出装置中，提高功能液的排出位置/着落位置的精度。

用于解决问题的技术方案

为了实现上述的目的，本发明提供一种功能液排出装置，其扫描工件并将功能液排出到该工件上进行描绘，该功能液排出装置的特征在于，包括：滑架，其具有用于设置多个喷头的安装面，并且对每个喷头设置有至少对上述喷头在该安装面的垂线的周向上的倾斜度进行调整的调整机构，其中上述喷头经由多个排出口对上述工件排出上述功能液；至少拍摄上述工件上的液滴的摄像部；和对于每个上述喷头控制上述调整机构和排出时刻的控制部，该控制部使上述功能液从相对于上述工件对位并固定后的滑架的上述喷头排出到上述工件上，基于该功能液的用上述摄像部拍摄的拍摄结果，控制该喷头的旋转机构和排出时刻，进行该喷头在上述垂线的周向上的倾斜度和上述工件的扫描方向上的上述功能液的排出位置的调整。

根据本发明，对于每个喷头进行排出位置调整，因此液滴的排出位置的精度非常高。另外，在滑架对位后，进行喷头的排出位置调整，因此喷头的调整幅度小，所以该调整用的机构是小型的，能够将该调整用的机构安装在滑架23上。因此，能够可靠地进行精度高的排出位置调整。

上述控制部可以基于经由上述喷头的多个排出口排出的上述工件上的功能液组的用上述摄像部拍摄的拍摄结果，计算该功能液组的倾斜度，基于该倾斜度调整该喷头在上述垂线的周向上的倾斜度。

上述控制部可以基于上述工件上的规定标记的用上述摄像部拍摄的拍摄结果来决定基准线，上述功能液组的倾斜度是相对于上述基准线的倾斜度。

上述控制部可以基于从上述基准线至上述功能液组的距离来控制上述喷头的排出时刻。

上述控制部可以对于每个上述工件进行上述滑架的对位以及上述喷头在上述垂线的周向上的倾斜度和上述扫描方向上的上述功能液的排出位置的调整。

上述控制部可以每隔规定时间或在规定时刻进行上述滑架的对位，对于每个上述工件进行上述喷头的在上述垂线的周向上的倾斜度和上述扫描方向上的上述功能液的排出位置的调整。

上述功能液排出装置还包括进行上述滑架的移动和/或旋转的对位机构，上述控制部还控制上述对位机构，使上述功能液从上述滑架的多个上述喷头排出到上述工件上，基于该功能液的用上述摄像部拍摄的拍摄结果来控制上述对位机构，进行该滑架的对位。

上述控制部可以基于从上述喷头的多个排出口排出的上述工件上的功能液组的用上述摄像部拍摄的拍摄结果，计算该功能液组的倾斜度，基于该计算出的倾斜度的平均值进行该滑架的对位。

上述摄像部可以拍摄从上述喷头的上述排出口排出的在上述工件的有效区域外的上述功能液。

上述调整机构可以具有：第一对位机构，其施加使上述喷头在与上述安装面平行的第一方向上移动的力；第二对位机构，其施加使上述喷头在与上述安装面平行且与上述第一方向正交的第二方向上移动并且使上述喷头以上述安装面的垂线为旋转轴顺时针和逆时针旋转的力；和第三对位机构，其至少抑制由来自上述第二对位机构的力引起的上述喷头向上述第二方向的移动和上述喷头的顺时针或逆时针的旋转。

上述第三对位机构可以施加使上述喷头向上述第二方向移动并且使上述喷头以上述安装面的垂线为旋转轴逆时针或顺时针旋转的力。

上述滑架可以具有用于安装上述喷头且被固定于该滑架的基座，该基座在上述第二方向的正侧的端面中的规定部分，具有沿上述第二方向凹陷的内窄形状的第一凹部，在上述第二方向的正侧的端面中的从与上述第一凹部相对的部分在上述第一方向上分离了的部分，具有沿上述第二方向凹陷的内窄形状的第二凹部，上述第一对位机构具有：从上述第一方向的正侧，与上述基座的上述第一方向的正侧的端面抵接的第一抵接销；和从上述第一方向的负侧，与上述基座的上述第一方向的负侧的端面中的与上述第一抵接销相对的部分抵接的第二抵接销，上述第二对位机构具有：与上述基座的上述第一凹部抵接的第一楔形件；和与上述基座的上述第二凹部抵接的第二楔形件，上述第三对位机构具有：从上述第二方向的正侧，与上述基座的上述第二方向的正侧的端面中的与上述第二凹部相对的部分抵接的第三抵接销；和从上述第二方向的负侧，与上述基座的上述第二方向的负侧的端面中的与上述第一凹部相对的部分抵接的第四抵接销。

与上述第一楔形件抵接的上述第一凹部中的上述基座的中央侧的面和与上述第二楔形件抵接的上述第二凹部中的上述基座的中央侧的面，可以与上述第一方向和上述第二方向均不平行。

本发明的另一方面提供一种扫描工件并将功能液排出到该工件上进行描绘的功能液排出装置的液滴排出位置调整方法，其特征在于，包括：滑架对位步骤，使在安装面设置有多个对上述工件排出上述功能液的喷头的滑架相对于上述工件进行对位并固定；拍摄步骤，使上述功能液从对位并固定后的上述滑架上的上述喷头排出到上述工件上，用摄像部拍摄该功能液；和排出位置调整步骤，基于上述摄像部的拍摄结果，控制在上述滑架上对于每个上述喷头设置的调整机构，来调整该喷头在上述安装面的垂线的周向上的倾斜度，并且控制上述喷头的排出时刻，进行该喷头的扫描方向上的上述功能液的排出位置的调整。

发明的效果

根据本发明，在具备设置有多个对工件排出功能液的喷头的滑架的功能液排出装置中，能够提高功能液的排出位置/着落位置的精度。

附图说明

图1是表示本实施方式的功能液排出装置的一个例子的结构的概略示意剖视图。

图2是图1的功能液排出装置的示意俯视图。

图3是表示图1的功能液排出装置所具有的滑架的结构的概略示意俯视图。

图4是图1的功能液排出装置所具有的载置台在载置有工件的状态下的示意俯视图。

图5是图4的工件的部分A的局部放大图。

图6是用于说明喷头的排出位置调整方法的图。

图7是用于说明喷头的排出位置调整方法的图。

图8是表示喷头的θ轴方向的对位的具体例的图。

图9是表示从θ轴方向的对位后的喷头排出了液滴的情况下的情形的图。

图10是表示从描绘时刻数据的校正后的喷头排出了液滴的情况下的情形的图。

图11是说明喷头的调整机构的另一例的图。

附图标记

1…功能液排出装置

150…控制部

22…滑架转动机构

23…滑架

24…喷头

24a…排出口

25…按压部

26…销

27…滑架基准标记

31…排出检查摄像机

60…基座

61…第一凹部

62…第二凹部

70_X1、70_X2…抵接销

72_Y1、72_Y2…抵接销

71_θ1、71_θ1…楔形件。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。此外，本发明不限于以下所示的实施方式。

首先，参照图1～图5说明本发明的实施方式的功能液排出装置的结构。图1是表示本实施方式的功能液排出装置的一个例子的结构的概略示意剖视图。图2是图1的功能液排出装置的示意俯视图。图3是表示图1的功能液排出装置所具有滑架的结构的概略示意俯视图。图4是图1的功能液排出装置所具有的载置台在载置有工件的状态下的示意俯视图。图5是图4的工件的部分A的局部放大图。

此外，以下，令工件的主扫描方向为X轴方向，与主扫描方向正交的副扫描方向为Y轴方向，与X轴方向和Y轴方向正交的铅垂方向为Z轴方向，绕Z轴方向的转动方向为θ方向。

如图1和图2所示，功能液排出装置1包括：在主扫描方向(X轴方向)上延伸，使工件W在主扫描方向上移动的X轴台10；和以跨X轴台10的方式架设，在副扫描方向(Y轴方向)延伸的一对Y轴台11、11。在X轴台10的上表面，一对X轴导轨12、12在X轴方向上延伸设置，在各X轴导轨12设置有X轴线性电动机(未图示)。在各Y轴台11的上表面，Y轴导轨13在Y轴方向上延伸设置，在该Y轴导轨13设置有Y轴线性电动机(未图示)。

在一对Y轴台11、11设置有滑架单元20和摄像单元30。在X轴台10上设置有工件载置台40。在X轴台10的外侧(Y轴负方向侧)，在一对Y轴台11、11之间设置有维护单元50。

滑架单元20在Y轴台11上设置有多个例如10个。各滑架单元20包括滑架板21、滑架转动机构22、滑架23和喷头24。

滑架板21由金属制的板形成，安装于Y轴导轨13，通过设置在该Y轴导轨13的Y轴线性电动机在Y轴方向上自由移动。此外，也能够使多个滑架板21作为一体在Y轴方向上移动。

在滑架板21的下表面的中央设置有滑架转动机构22，在该滑架转动机构22的下端部可拆卸地安装有滑架23。滑架23通过滑架转动机构22在θ方向上自由转动。

如图3所示，在滑架23的下表面的安装面23a设置有多个喷头24。为了容易说明本实施方式，喷头24仅显示6个，但是实际上设置有例如12个。6个喷头24以从Y方向观看时相互不重叠地连续，从X方向观看时各喷头24的端部与相邻于该喷头24的喷头24的端部重叠的方式，设置成俯视时为台阶状。

另外，喷头24在各自的下表面即喷嘴面形成有多个(本例中为10个)排出口24a，经由该排出口24a排出功能液。排出口24a沿Y轴方向连续地设置。

并且，对于各喷头24的Y轴方向负侧的端部中的X轴方向负侧的侧面，设置有按压部25。另外，对于各喷头24的Y轴方向正侧的端面设置有销26。通过使按压部25的按压量变化，能够以销26为中心使喷头24在θ轴方向上旋转，也就是，能够调整滑架23的安装面23a的垂线的周向上的倾斜度。即，对在滑架23的安装面23a的垂线的周向上的各喷头24的倾斜度进行调整的本发明的“调整机构”，由按压部25和销26构成。

在各喷头24的与按压部25相对的部分，即各喷头24的Y轴方向负侧的端部中的X轴方向正侧的侧面，可以设置对该端部向X轴方向负侧施力的具有弹性部件的施力部。此外，按压部25例如能够由压电元件构成。另外，销26可以是可转动地支承喷头24的支承部件。

而且，在滑架23的下表面设置有用于该滑架的定位的滑架基准标记27。

返回图1和图2的说明。

摄像单元30具有作为摄像部的排出检查摄像机31。排出检查摄像机31相对于滑架23配置在X轴正方向侧。

排出检查摄像机31拍摄工件W，具体来讲，拍摄检查排出到工件W上的液滴的着落点和工件W上的后述的基准标记。排出检查摄像机31例如是线性传感器。排出检查摄像机31由一对Y轴台11、11中的设置在X轴正方向侧的Y轴台11的侧面的基座32支承。而且，在排出检查摄像机31的正下方，在引导工件载置台40时，排出检查摄像机31能够拍摄着落在工件载置台40上的工件W的液滴形成的图案。

此外，可以在基座32设置使排出检查摄像机31移动的移动机构，使排出检查摄像机31在Y轴方向上自由移动。

工件载置台40例如是真空吸附载置台，吸附并载置工件W。工件载置台40由设置在该工件载置台40的下表面侧的载置台转动机构41以在θ方向上可转动的方式支承。此外，在Y轴台11的X轴负方向侧即工件载置台40的上方，设置有拍摄工件载置台40上的工件W的对准标记的工件对准摄像机(未图示)。而且，基于由工件对准摄像机拍摄的图像，通过载置台转动机构41，校正载置于工件载置台40的工件W的θ方向的位置。

此外，可以不设置工件对准摄像机而使用排出检查摄像机31来校正工件W的θ方向的位置。

工件载置台40和载置台转动机构41由设置在载置台转动机构41的下表面侧的X轴滑动件42支承。X轴滑动件42安装在X轴导轨12，通过设置在该X轴导轨12的X轴线性电动机在X轴方向上自由移动。而且，工件载置台40(工件W)也通过X轴滑动件42沿X轴导轨12在X轴方向上自由移动。

载置在工件载置台40上的工件W例如是G8.5玻璃基板。工件W如图4所示，被指定有排出描绘用的功能液的6个有效区域W1，各有效区域W1的周围成为至少描绘时不被排出功能液的虚设区域W2。另外，在工件W设置有用于该工件W的θ方向的位置调整的对准标记W3。

并且，在工件W的X方向正侧即Y方向负侧的有效区域W1的周围的虚设区域W2，如图5所示，形成有2个用于滑架23的喷头24的排出位置调整的基准标记W4。具体来讲，基准标记W4在该有效区域W1中的X轴方向正侧的端部的周围的虚设区域W2形成有2个，另外，2个基准标记W4设置成在Y轴方向排列并且在其间夹着该有效区域W1。基准标记W4的利用方法在后文述说。

再次返回图1和图2的说明。

维护单元50进行喷头24的维护，消除该喷头24的排出不良。

在以上的功能液排出装置1设置有控制部150。控制部150例如是计算机，具有数据存储部(未图示)。数据存储部存储有用于控制例如排出到工件W的液滴，对该工件W描绘规定的图案的描绘数据(位图数据)等。另外，控制部150具有程序存储部(未图示)。程序存储部存储有控制功能液排出装置1中的各种处理的程序和控制驱动系统的动作的程序等。

此外，上述数据和上述程序记录在例如计算机可读取的硬盘(HD)、软盘(FD)、光盘(CD)、磁盘(MO)、存储器卡等的计算机可读取的存储介质中，可以从该存储介质安装到控制部150。

接着，简单说明使用如上所述结构的功能液排出装置1进行的对工件W的描绘处理。在以下的说明中，将X轴台10上的比Y轴台11靠X轴负方向侧的区域称为搬入搬出区域A1，将一对Y轴台11、11间的区域称为处理区域A2，将比Y轴台11靠X轴正方向侧的区域称为待机区域A3。

首先，在搬入搬出区域A1配置工件载置台40，通过搬送机构(未图示)将搬入功能液排出装置1的工件W载置于该工件载置台40。接在，通过工件对准摄像机拍摄工件载置台40上的工件W的对准标记W3。接着，基于该拍摄的图像，通过载置台转动机构41对载置在工件载置台40的工件W的θ方向的位置进行校正，进行工件W的对位(步骤S1)。

之后，通过X轴滑动件42，使工件载置台40从搬入搬出区域A1移动到处理区域A2。在处理区域A2中，首先，对工件W描绘用于进行喷头24的排出位置的调整的图案(位置调整图案)。接着，在进行了基于该位置调整图案的喷头24的排出位置调整后，通过X轴滑动件42使工件W移动到待机区域A3侧，开始对工件W进行基于描绘数据的描绘。接着，使工件W在X轴方向上往复运动，并且使滑架单元20在Y轴方向上适当移动，将基于描绘数据的规定的图案描绘到工件W(步骤S2)。对喷头24的排出位置调整方法在后文述说。

之后，使工件载置台40从待机区域A3移动到搬入搬出区域A1。当工件载置台40向搬入搬出区域A1移动时，描绘处理结束了的工件W从功能液排出装置1被搬出(步骤S3)。

接着，下一个工件W被搬入到功能液排出装置1，反复上述的步骤S1～S3。

在如上所述进行描绘的功能液排出装置1中，进行滑架23的对位和喷头24的排出位置调整。特别是，在功能液排出装置1中，在滑架23的对位后，进行喷头24的排出位置调整。关于上述对位和排出位置调整进行以下说明。

滑架23的对位如以下的方式进行。即，在工件载置台40设置有拍摄滑架23的滑架对准摄像机(未图示)，功能液排出装置1用滑架对准摄像机拍摄滑架23的下表面的滑架基准标记27。接着，功能液排出装置1基于拍摄结果控制滑架转动机构22，使滑架23旋转，对滑架23的θ方向的位置进行校正，进行滑架23对工件载置台40即工件W的对位，之后将滑架23固定。该对位例如能够在功能液排出装置1的上升或滑架23的交换时进行，另外，可以每隔24小时等规定间隔进行，也可以在开始作业时等进行。此外，该对位对每个滑架23进行。

图6和图7是用于说明喷头24的排出位置调整方法的图。

在喷头24的排出位置调整时，首先，功能液排出装置1如图6所示，使功能液的液滴从如上所述地对位后的滑架23的喷头24排出到工件W的虚设区域W2，形成对位用的液滴图案。

具体来讲，功能液排出装置1使功能液从对位固定后的滑架23的全部喷头24的全部排出口24a排出，按每个喷头24，在工件W的虚设区域W2形成作为对位图案的液滴组/功能液组E。此外，对位用的描绘数据是如果排出口24a均在所期望的位置则从该排出口24a排出的全部的液滴呈直线状排列的数据，但是，由于排出口24a相对于滑架23的角度在每个该排出口24a不同，因此如图所示从排出口24a实际排出的图案并不成为直线状。

接着，功能液排出装置1用排出检查摄像机31拍摄形成在工件W上的对位用的液滴图案。此时，用排出检查摄像机31也拍摄工件W上的基准标记W4。

接着，功能液排出装置1基于排出检查摄像机31的拍摄结果，控制对于各喷头24设置的按压部25，进行滑架23的安装面23a的垂线的周向上的各喷头24的倾斜度的调整，也就是各喷头24的θ轴方向的对位。另外，功能液排出装置1基于上述拍摄结果，调整各喷头24起的在主扫描方向即X轴方向上的功能液的排出位置。

更具体来讲，功能液排出装置1(的控制部150)基于拍摄结果，对于每个喷头24，如图7所示制作代表从该喷头24排出的液滴组E的线段L。该线段L的制作能够使用基于最小二乘法进行的直线近似。另外，功能液排出装置1基于拍摄结果制作基准标记W4间的线段(以下，基准线)L₀。接着，功能液排出装置1对每个液滴组E即每个喷头24计算代表各液滴组E的线段L与基准线段L₀的角度。另外，功能液排出装置1对每个液滴组E计算从代表该液滴组E的线段L至基准线段L₀的距离d。该距离d是例如构成该液滴组E的液滴中的销26(图3参照)侧的液滴E1至基准线段L₀的距离，另外，可以为从代表液滴组E的线段L中的最接近上述液滴E1的部分至上述基准线段L₀的距离。

而且，功能液排出装置1基于上述线段L的角度的计算结果来控制按压部25，使与该线段L代表的液滴组E对应的喷头24旋转上述角度。

图8是表示喷头24的θ轴方向的对位的具体例的图。

图8中的(A)和(B)分别表示θ轴方向的对位前和后的喷头24的情形，图8中的(a)和(b)分别表示从图8中的(A)和(B)的喷头排出的液滴组E的情形。此外，图中假想线所示的L′是使线段L平行移动的结果。

从图8的(A)的θ轴方向的对位前的喷头24排出图8(a)的液滴组E时，功能液排出装置1控制按压部25，使喷头24旋转代表上述液滴组E的线段L与基准线段L₀的角度α，成为图8(B)那样的状态。由此，使从对位后的喷头24排出的液滴组E即代表该液滴组E的线段L如图8的(b)所示与基准线段L₀平行，也即是使代表上述液滴组E的线段L与基准线段L₀的角度为0°。

图9是表示从θ轴方向的对位后的喷头24排出了液滴的情况下的情形的图。此外，实际上在θ轴方向的对位后不从喷头24进行排出。

通过对各喷头24进行上述的θ轴方向的对位，如图9所示，使代表液滴组E的线段L全部与基准线段L₀平行，即对于全部的喷头24能够使从该喷头24排出的液滴组E与基准线段L₀平行。

但是，代表从对位后的喷头24排出的液滴组E的线段L至基准线段L₀的距离d，即主扫描方向的功能液的排出位置在每个喷头24不同。因此，功能液排出装置1的控制部150基于从代表液滴组E的线段L至基准线段L₀的距离d，对成为该距离d的线段L所代表的液滴组E的喷头24，校正描绘时刻数据。当距离d比规定值大时，以描绘时刻延迟的方式校正描绘时刻数据，当距离d比规定值小时，以描绘时刻提早的方式校正描绘时刻数据。由此，能够调整喷头24的主扫描方向的功能液的排出位置。

图10是表示从描绘时刻数据的校正后的喷头24排出液滴的情况下的情形的图。此外，实际上在描绘时刻数据的校正后不从喷头进行排出。

通过对各喷头24进行描绘时刻即主扫描方向的功能液的排出位置的校正，如图10所示，能够从喷头24组呈直线状地排出液滴。

也可以替代描绘时刻数据而校正描绘数据自身。

此外，任意液滴组是否与任意喷头24对应，能够由液滴组E的形成区域决定。另外，在对位图案的形成时，使每个喷头24排出的功能液的颜色不同，基于拍摄了的液滴组E的颜色，判断任意液滴组E是否与任意喷头24对应。

以上那样的喷头24的排出位置调整对每个工件进行。

如上所述，在功能液排出装置1中，对每个喷头24进行排出位置调整，因此，液滴的排出位置的精度非常高。另外，在滑架23的对位后，进行喷头24的排出位置调整，因此喷头24的调整幅度小，所以该调整用的机构小型，能够毫无问题地安装在滑架23上。

此外，关于副扫描方向，与θ轴方向和主扫描方向相比不要求高的排出位置的精度，因此，在功能液排出装置1中副扫描方向的排出位置的精度以机械的安装精度进行确保。

另外，在功能液排出装置1中，在喷头24的排出位置调整后不进行滑架23的对位，在滑架23的对位后进行喷头24的排出位置调整是因为以下的理由。即，在前者的情况下，能够通过喷头24的排出位置调整使液滴直线地着落。但是，滑架23的旋转机构的旋转中心位置精度良好而不与滑架23的中心一致，因此，在喷头24的调整后，通过旋转进行滑架23的对位时，存在对位后的液滴不成为直线的情况。

在以上的例子中，滑架23的对位以滑架23的下表面的滑架基准标记27为基准进行。

但是，关于滑架23的对位，也可以与喷头24的对位同样地拍摄排出液滴，基于拍摄结果控制滑架转动机构22，进行滑架23的θ轴方向的对位。

当进行基于该液滴的拍摄结果的滑架的对位时，滑架23的对位用的液滴和喷头24的对位用的液滴可以使用相同的液滴。该情况的对位的顺序，在喷头24的对位前首先进行滑架23的对位，之后进行喷头24的对位。

具体来讲，功能液排出装置1基于拍摄结果，对每个喷头24制作代表从该喷头24排出的液滴组E的线段L。另外，功能液排出装置1对每个液滴组E计算代表各液滴组E的线段L与线段L₀的角度。接着，功能液排出装置1计算上述计算出的线段L的角度的平均值，基于该平均值控制滑架转动机构22，使滑架23旋转。由此，能够进行滑架23的θ轴方向的对位。

此外，在基于拍摄结果进行滑架23的对位的情况下，也可以与使用滑架基准标记27进行对位的情况同样地，在功能液排出装置1的工作时等的规定的时刻或每隔规定间隔、规定时间进行，可以对每个工件W进行。

在对每个工件W进行滑架23的对位和喷头24的排出位置的调整这两者的情况下，当难以对同一工件W的同一虚设区域W2排出对位用和调整用这两者的液滴时，可以实际上不对描绘的工件W而对描绘用之外的工件W排出对位用的液滴。

此外，在基于拍摄结果仅进行喷头24的排出位置调整的情况下，以及不对每个工件W以规定的时刻等进行基于拍摄结果的滑架的对位的情况下，也可以对上述另一工件W排出用于排出位置调整或对位的液滴。

图11是说明喷头的调整机构的另一例的图。

本例中的调整机构包括基座60、抵接销70_X1、70_X2、72_Y1、72_Y2和楔形件71_θ1、71_θ2。

基座60安装有喷头24，俯视时具有矩形形状。对基部60进行的喷头24的安装，例如以喷头24的喷嘴组24ag沿着底座60的短边排列的方式进行。此外，在喷头24的两侧设置有对基部60的安装用的肋24b，该肋24b被螺钉等固定到基座60，由此喷头24被安装于基座60。

抵接销70_X1、70_X2构成施加使喷头24在与滑架23的安装面23a平行的第一方向(在本例中，X轴方向)上移动的力的“第一移动机构”。

楔形件71_θ1、71_θ2构成施加使喷头24在与滑架23的安装面23a平行且与上述第一方向正交的第二方向(在本例中，Y轴方向)移动，并且使喷头24以在滑架23的安装面23a的垂线为旋转轴在θ轴方向即顺时针旋转和逆时针旋转(在本例中逆时针旋转)的力的“第二移动机构”。

抵接销72_Y1、72_Y2构成至少抑制由来自楔形件71_θ1、71_θ2的力引起的喷头24向Y轴方向的移动和喷头24的顺时针的旋转的“第三定位机构”。此外，抵接销72_Y1、72_Y2施加使喷头24向Y轴方向移动并且使喷头24以滑架23的安装面23a的垂线为旋转轴向逆时针方向旋转的力。

此外，基座6在Y方向正侧的端面中的规定部分(本例中的X轴方向负侧的端部)，具有沿Y轴方向凹陷的内窄形状的第一凹部61。此处，内窄是指越往内侧去越窄。此外，底座60在Y轴方向负侧的端面中的从与第一凹部61相对的部分在第一方向上分离了的部分(本例中的X轴方向正侧的端部)，具有沿Y轴方向凹陷的内窄形状的第二凹部62。

此外，抵接销70_X1相当于从X方向正侧与基座60的X方向正侧的端面抵接的本发明的“第一抵接销”。此外，抵接销70_X2相当于从X方向负侧，与基座60的X方向负侧的端面中的与抵接销70_X1相对的部分抵接的本发明的“第二抵接销”。

另外，抵接销72_Y1相当于从Y轴方向正侧，与基座60的Y轴方向正侧的端面中的与第二凹部62相对的部分抵接的本发明的“第三抵接销”。抵接销72_Y2相当于从Y轴方向负侧，与基座60的Y轴方向负侧的端面中的与第一凹部61相对的部分抵接的本发明的“第四抵接销”。

抵接销70_X1、70_X2、72_Y1、72_Y2的与底座60的抵接面由向基座60方向凸出的曲面形成。

楔形件71_θ1相当于抵接第一凹部61的本发明的“第一楔形件”。楔形件71_θ2相当于抵接基座60的第二凹部62的本发明的“第二楔形件”。

楔形件71_θ1具有与第一凹部61对应的形状，其前端具有至少在喷头24的固定未完成时不与第一凹部61的内端抵接的形状。同样地，楔形件71_θ2具有与第二凹部62对应的形状，其前端具有至少在喷头24的固定未完成时不与第二凹部62的内端抵接的形状。

此外，楔形件71_θ1和楔形件71_θ2，例如在具有刚性的楔主体71a固定具有挠性的弯曲部71b而形成。楔主体71a俯视时具有三角形状，弯曲部71b通过将板状部件以成为大致L字形状或大致倒L字形状的方式弯曲而形成。另外，以楔主体71a位于基座60的X轴方向上的中央侧，弯曲部71b位于基座60的X轴方向上的外侧的方式，使弯曲71b相对于楔主体71a被固定。

抵接销70_X1、70_X2、抵接销72_Y1、72_Y2、楔形件71_θ1、71_θ2的与基座60相反侧的面，例如被由压电元件等构成的按压部按压。因来自该按压部的X轴方向的力，而使抵接销70_X1、70_X2移动，因来自按压部的Y轴方向的力，而使抵接销72_Y1、72_Y2、楔形件71_θ1、71_θ2移动。

上述那样的楔形件71_θ1、71_θ2抵接的基座60的第一和第二凹部61、62具有两个斜面63、64。基座60中的X轴方向中央侧的斜面63与楔主体71a抵接，与x轴方向和Y轴方向均不平行。

此外，基座60中的X轴方向外侧的斜面64形成向斜面63突出的凸部65，在将楔形件71_θ1、71_θ2插入第一或第二凹部61、62规定深度以上时，弯曲部71b弯曲。

说明使用了上述调整机构的喷头24的位置调整方法的一个例子。

(滑架23的对位)

本例的喷头24的位置调整方法中，首先，进行预固定有喷头24的滑架23的对位。滑架23的对位，例如与以上同样地基于滑架基准标记27进行。

接着，一边用未图示的摄像装置拍摄对位后的滑架的喷头24，一边进行喷头24各自的位置调整。拍摄该喷头24的摄像装置，例如可以是所述滑架对准摄像机。

(X轴方向粗定位)

首先，一边拍摄喷头24，一边使抵接销70_X1、70_X2移动，进行喷头24在X轴方向上的粗定位，使喷嘴组24ag中的Y轴方向正侧的喷嘴24a(以下喷嘴NZ1)和Y轴方向负侧的喷嘴24a(以下，喷嘴NZ2)在X轴方向上的位置，成为自规定位置起的±3μm以内。具体而言，使喷嘴NZ1的X轴方向的位置与喷嘴NZ2的X轴方向位置之差为3μm以内。

(Y轴方向粗定位)

接着，通过使楔形件71_θ1、71_θ2移动，进行喷头24的Y轴方向的粗定位，使喷嘴NZ1和喷嘴NZ2的Y轴方向上的位置成为自规定位置起的±3μm以内。对于Y轴方向上的规定位置的基准，例如可以使用在滑架23的规定位置形成的标记、或已经对位了的喷头24的喷嘴24a。此外，此时，使喷嘴NZ1的位置成为比喷嘴NZ2的位置靠X轴方向负侧。

(抵接销72_Y1、72_Y2的移动)

然后，一边拍摄喷头24，一边使抵接销72_Y1、72_Y2移动而与基座60抵接。此时也进行喷头24的Y轴方向的粗定位，使喷嘴NZ1和喷嘴NZ2的Y轴方向上的位置成为自规定位置起的±3μm以内，喷嘴NZ1的位置成为比喷嘴NZ2的位置靠X轴方向负侧的位置。通过使抵接销72_Y1、72_Y2与基部60抵接，在楔形件71_θ1、71_θ2被向内侧压入时，不使基座60在Y轴方向移动或不使底座60顺时针旋转。

(X轴方向高精度定位)

然后，一边拍摄喷头24，一边使抵接销70_X1、70_X2移动，进行喷头24的X轴方向上的高精度定位，使喷嘴NZ1和喷嘴NZ2的X轴方向上的位置成为自规定位置起的±1μm以内。

(θ轴方向粗定位)

然后，一边拍摄喷头24，一边使楔形件71_θ1、71_θ2移动，通过施加于斜面63的力，使喷头24逆时针旋转，进行喷头24的θ轴方向的粗定位，使喷嘴NZ1和喷嘴NZ2的Y轴方向上的位置成为自规定位置起的±1μm以内。

(Y轴方向高精度定位)

然后，一边拍摄喷头24，一边使抵接销72_Y1、72_Y2移动，进行喷头24的Y轴方向的高精度定位，使喷嘴NZ1和喷嘴NZ2的Y轴方向上的位置成为自规定位置起的±0.5μm以内。

(θ轴方向高精度定位)

然后，一边拍摄喷头24，一边使楔形件71_θ1、71_θ2移动，通过施加于斜面63的力，使喷头24逆时针旋转，进行喷头24的θ轴方向的高精度定位，使喷嘴NZ1和喷嘴NZ2的Y轴方向上的位置成为自规定位置起的±0.5μm以内。

由此，基于喷头24本身的拍摄结果的喷头24的调整完成，但在该状态下从喷头24排出的液滴组也有可能与Y轴方向不平行，而有可能需要进一步的θ轴方向的对位。在该情况下，使功能液的液滴从喷头24排出到工件W的虚设区域W2，形成进一步对位用的液滴图案。

接着，功能液喷出装置1通过排出检查摄像机31拍摄形成在工件W上的对位用的液滴图案。然后，基于拍摄结果，进行喷头24的θ轴方向上的进一步的对位。例如，如果需要使喷头24进一步逆时针旋转，则使楔形件71_θ1、71_θ2移动到第一和第二凹部61、62的内侧。此外，如果需要使喷头24顺时针旋转θ1°，则首先解除该抵接销72_Y1、72_Y2与基座60的抵接，使楔形件71_θ1、71_θ2移动到内侧，使其顺时针旋转θ2°(θ2>θ1)。然后，在抵接销72_Y1、72_Y2与基座60再次抵接后，使楔形件71_θ1、71_θ2移动到内侧，使其顺时针旋转θ3°(＝θ2-θ1)。

基于该液滴的拍摄结果的喷头24的θ轴方向上的进一步的对位，例如，预先存储楔形件71_θ1、71_θ2的压入量与基部60即喷头24的旋转角的关系，基于该存储的信息和上述拍摄结果，能够自动进行。

通过使用图11的调整机构，能够更高精度地进行喷头24的θ轴方向上的对位。

另外，在以上说明中，使用图11的调整机构调整所述喷头24的情况下，首先，基于喷头24本身的拍摄结果进行了调整，但也可以不进行基于喷头24本身的拍摄结果的调整，而仅进行来自喷头24的液滴的拍摄结果的调整。

基座60、楔主体71a、弯曲部71b、抵接销70_X1、70_X2、抵接销72_Y1、72_Y2，例如使用不锈钢材料或镍材料形成。基部60中的与楔主体71a和弯曲部71b、抵接销70_X1、70_X2、抵接销72_Y1、72_Y2的抵接面，或楔主体71a、挠曲部71b、抵接销70_X1、70_X2、抵接销72_Y1、72_Y2中的与底座60的抵接面，优选进行特氟隆(登录商标)涂层处理或氮化涂层处理等表面处理。这是为了使基座60的滑动时不产生颗粒。

如上所述构成的功能液排出装置1能够应用于日本特开2016-77966号公报记载的形成有机发光二极管的有机EL层的基板处理系统。具体来讲，能够在该基板处理系统的涂布装置中应用功能液排出装置1。

本发明在对基板上涂布功能液的技术中是有用的。

Claims (12)

1.一种功能液排出装置，其扫描工件并将功能液排出到该工件上进行描绘，该功能液排出装置的特征在于，包括：

滑架，其具有用于设置多个喷头的安装面，并且对每个喷头设置有至少对所述喷头在该安装面的垂线的周向上的倾斜度进行调整的调整机构，其中所述喷头经由多个排出口对所述工件排出所述功能液；

至少拍摄所述工件上的液滴的摄像部；

进行所述滑架的移动和/或旋转的对位机构；和

对于每个所述喷头控制所述调整机构和排出时刻，并控制所述对位机构的控制部，

所述控制部进行以下控制：

控制所述对位机构，使所述功能液从所述滑架的多个所述喷头排出到所述工件上，基于该功能液的用所述摄像部拍摄的拍摄结果来控制所述对位机构，进行该滑架的对位，

使所述功能液从相对于所述工件对位并固定后的滑架的所述喷头排出到所述工件上，基于该功能液的用所述摄像部拍摄的拍摄结果，控制该喷头的旋转机构和排出时刻，进行该喷头在所述垂线的周向上的倾斜度和所述工件的扫描方向上的所述功能液的排出位置的调整，

所述调整机构具有：

第一移动机构，其施加使所述喷头在与所述安装面平行的第一方向上移动的力；

第二移动机构，其施加使所述喷头在与所述安装面平行且与所述第一方向正交的第二方向上移动并且使所述喷头以所述安装面的垂线为旋转轴顺时针和逆时针旋转的力；和

定位机构，其至少抑制由来自所述第二移动机构的力引起的所述喷头向所述第二方向的移动和所述喷头的顺时针或逆时针的旋转。

2.如权利要求1所述的功能液排出装置，其特征在于：

所述控制部基于经由所述喷头的多个排出口排出的所述工件上的功能液组的用所述摄像部拍摄的拍摄结果，计算该功能液组的倾斜度，基于该倾斜度调整该喷头在所述垂线的周向上的倾斜度。

3.如权利要求2所述的功能液排出装置，其特征在于：

所述控制部基于所述工件上的规定标记的用所述摄像部拍摄的拍摄结果来决定基准线，

所述功能液组的倾斜度是相对于所述基准线的倾斜度。

4.如权利要求3所述的功能液排出装置，其特征在于：

所述控制部基于从所述基准线至所述功能液组的距离来控制所述喷头的排出时刻。

5.如权利要求1～4中任一项所述的功能液排出装置，其特征在于：

所述控制部对于每个所述工件进行所述滑架的对位以及所述喷头在所述垂线的周向上的倾斜度和所述扫描方向上的所述功能液的排出位置的调整。

6.如权利要求1～4中任一项所述的功能液排出装置，其特征在于：

所述控制部每隔规定时间或在规定时刻进行所述滑架的对位，对于每个所述工件进行所述喷头在所述垂线的周向上的倾斜度和所述扫描方向上的所述功能液的排出位置的调整。

7.如权利要求1所述的功能液排出装置，其特征在于：

所述控制部基于从所述喷头的多个排出口排出的所述工件上的功能液组的用所述摄像部拍摄的拍摄结果，计算该功能液组的倾斜度，基于该计算出的倾斜度的平均值进行该滑架的对位。

8.如权利要求1～4中任一项所述的功能液排出装置，其特征在于：

所述摄像部拍摄从所述喷头的所述排出口排出的在所述工件的有效区域外的所述功能液。

9.如权利要求1所述的功能液排出装置，其特征在于：

所述定位机构施加使所述喷头向所述第二方向移动并且使所述喷头以所述安装面的垂线为旋转轴逆时针或顺时针旋转的力。

10.如权利要求1所述的功能液排出装置，其特征在于：

所述滑架具有用于安装所述喷头且被固定于该滑架的基座，

该基座在所述第二方向的正侧的端面中的规定部分，具有沿所述第二方向凹陷的内窄形状的第一凹部，在所述第二方向的正侧的端面中的从与所述第一凹部相对的部分在所述第一方向上分离了的部分，具有沿所述第二方向凹陷的内窄形状的第二凹部，

所述第一移动机构具有：从所述第一方向的正侧，与所述基座的所述第一方向的正侧的端面抵接的第一抵接销；和从所述第一方向的负侧，与所述基座的所述第一方向的负侧的端面中的与所述第一抵接销相对的部分抵接的第二抵接销，

所述第二移动机构具有：与所述基座的所述第一凹部抵接的第一楔形件；和与所述基座的所述第二凹部抵接的第二楔形件，

所述定位机构具有：从所述第二方向的正侧，与所述基座的所述第二方向的正侧的端面中的与所述第二凹部相对的部分抵接的第三抵接销；和从所述第二方向的负侧，与所述基座的所述第二方向的负侧的端面中的与所述第一凹部相对的部分抵接的第四抵接销。

11.如权利要求10所述的功能液排出装置，其特征在于：

与所述第一楔形件抵接的所述第一凹部中的所述基座的中央侧的面和与所述第二楔形件抵接的所述第二凹部中的所述基座的中央侧的面，与所述第一方向和所述第二方向均不平行。

12.一种扫描工件并将功能液排出到该工件上进行描绘的功能液排出装置的功能液排出位置调整方法，其特征在于，包括：

滑架对位步骤，使在安装面设置有多个对所述工件排出所述功能液的喷头的滑架相对于所述工件进行对位并固定；

拍摄步骤，使所述功能液从对位并固定后的所述滑架上的所述喷头排出到所述工件上，用摄像部拍摄该功能液；和

排出位置调整步骤，基于所述摄像部的拍摄结果，控制在所述滑架上对于每个所述喷头设置的调整机构，来调整该喷头在所述安装面的垂线的周向上的倾斜度，并且控制所述喷头的排出时刻，进行该喷头的扫描方向上的所述功能液的排出位置的调整，

所述调整机构具有：

第一移动机构，其施加使所述喷头在与所述安装面平行的第一方向上移动的力；

第二移动机构，其施加使所述喷头在与所述安装面平行且与所述第一方向正交的第二方向上移动并且使所述喷头以所述安装面的垂线为旋转轴顺时针和逆时针旋转的力；和

定位机构，其至少抑制由来自所述第二移动机构的力引起的所述喷头向所述第二方向的移动和所述喷头的顺时针或逆时针的旋转。

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