JP2008093516A - 液状体吐出方法、カラーフィルタの製造方法、有機ｅｌ表示装置の製造方法、液状体吐出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】高精度に液状体を配置することができる液状体吐出方法、および当該液状体吐出方法を用いたカラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ表示装置の製造方法、液状体吐出装置を提供すること。
【解決手段】吐出手段と基板とを相対的に走査し、前記基板に液状体を吐出する液状体吐出方法であって、前記吐出手段は、所定ピッチの走査軌跡を描くノズル群を複数有し、前記複数のノズル群のうち、第１のノズル群に含まれる第１ノズルと第２のノズル群に含まれる第２ノズルとが少なくとも前記走査方向において重なるように、前記第１のノズル群と前記第２のノズル群とが配置されてなり、前記第１ノズルと前記第２ノズルが重なる領域では、前記第１ノズルの選択比率と、前記第２ノズルの選択比率とを設定する選択比率設定工程と、前記選択比率設定工程に基づき、前記基板に液状体を吐出する工程とを有する。
【選択図】図８

Description

本発明は、液状体吐出方法と、それを用いたカラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ表示装置の製造方法、液状体吐出装置に関する。

近年、液滴吐出法を用いた成膜技術が注目されており、例えば、特許文献１には、液滴吐出法を用いた液晶表示装置のカラーフィルタの製造方法が示されている。この製造方法では、基板に対して走査する液滴吐出ヘッド（以下、ヘッドとする）の微細ノズルから色材を含む液滴（液状体）を吐出させて、当該基板上の区画領域内に液状体を配置（描画）し、さらに配置された液状体を乾燥等により固化させて画素に対応した着色膜を形成するようになっている。

特開２００３−１５９７８７号公報

しかしながら、ノズルの吐出量特性は個体毎にわずかながらばらつきを有しており、このようなばらつきが液状体の配置ムラを生じさせる要因となる。

本発明は、上述の課題を解決するためになされたもので、高精度に液状体を配置することができる液状体吐出方法、および当該液状体吐出方法を用いたカラーフィルタの製造方法、有機ＥＬ表示装置の製造方法、液状体吐出装置を提供することを目的としている。

本発明は、吐出手段と基板とを相対的に走査し、前記基板に液状体を吐出する液状体吐出方法であって、前記吐出手段は、所定ピッチの走査軌跡を描くノズル群を複数有し、前記複数のノズル群のうち、第１のノズル群に含まれる第１ノズルと第２のノズル群に含まれる第２ノズルとが少なくとも前記走査方向において重なるように、前記第１のノズル群と前記第２のノズル群とが配置されてなり、前記第１ノズルと前記第２ノズルが重なる領域では、前記第１ノズルの選択比率と、前記第２ノズルの選択比率とを設定する選択比率設定工程と、前記選択比率設定工程に基づき、前記基板に液状体を吐出する工程とを有することを特徴とする。

この発明の液状体配置方法によれば、重なり合う複数のノズル群それぞれの使用状態を変化させることになり、一様に吐出量が増加することが無くなる。また、吐出した液状体が混ざり合うことで吐出量が平均化されムラとなり難くなる。

また好ましくは、前記液状体吐出方法において、前記第１ノズルと前記第２ノズルを含むグループを複数有し、前記選択比率設定工程では、前記複数のグループ毎に前記第１ノズルの選択比率と前記第２ノズルの選択比率を設定することを特徴とする。

また好ましくは、前記液状体吐出方法において、前記選択比率設定工程では、前記複数のグループ毎に前記第１ノズルの選択比率と前記第２ノズルの選択比率を段階的に変化するように設定することを特徴とする。

本発明は、吐出手段と基板とを相対的に走査し、前記基板に液状体を吐出する液状体吐出方法であって、前記吐出手段は、所定ピッチの走査軌跡を描くノズル群を複数有し、前記複数のノズル群のうち、第１のノズル群に含まれる第１ノズルと第２のノズル群に含まれる第２ノズルとが少なくとも前記走査方向において重なるように、前記第１のノズル群と前記第２のノズル群とが配置されてなり、所定の吐出位置において、前記第１ノズルと前記第２ノズルのいずれか一つを選択し吐出する工程を有することを特徴とする。

この発明の液状体吐出方法によれば、重なり合う複数のノズル群それぞれの使用状態を変化させることになり、一様に吐出量が増加することが無くなる。また、吐出した液状体が混ざり合うことで吐出量が平均化されムラとなり難くなる。

本発明のカラーフィルタの製造方法は、前記液状体吐出方法を用いて、前記基板上に設定された複数の所定領域のそれぞれに、色材を含む前記液状体を配置するステップと、配置された前記液状体を固化して、前記複数の所定領域をそれぞれ画素の対応領域とする着色部を形成するステップと、を有する。
この発明のカラーフィルタの製造方法によれば、上記の液状体吐出方法を用いて着色部を形成しているので、高品質なカラーフィルタを簡易な処理で製造することができる。

本発明の有機ＥＬ表示装置の製造方法は、前記液状体吐出方法を用いて、前記基板上に設定された複数の所定領域のそれぞれに、有機ＥＬ材料を含む前記液状体を配置するステップと、配置された前記液状体を固化して前記複数の所定領域をそれぞれ画素の対応領域とする発光素子を形成するステップと、を有する。
この発明の有機ＥＬ表示装置の製造方法によれば、上記の液状体配置方法を用いて発光素子を形成しているので、高品質な有機ＥＬ表示装置を簡易な処理で製造することができる。

本発明は、吐出手段と基板とを相対的に走査し、前記基板に液状体を吐出する液状体吐出装置であって、前記吐出手段は、所定ピッチの走査軌跡を描くノズル群を複数有し、前記複数のノズル群のうち、第１のノズル群に含まれる第１ノズルと第２のノズル群に含まれる第２ノズルとが少なくとも前記走査方向において重なるように、前記第１のノズル群と前記第２のノズル群とが配置されてなり、前記第１ノズルから吐出される液状体の吐出密度を設定する第１吐出密度設定手段と、前記第２ノズルから吐出される液状体の吐出密度を設定する第２吐出密度設定手段と、を有することを特徴とする。

本発明は、吐出手段と基板とを相対的に走査し、前記基板に液状体を吐出する液状体吐出装置であって、前記吐出手段は、所定ピッチの走査軌跡を描くノズル群を複数有し、前記複数のノズル群のうち、第１のノズル群に含まれる第１ノズルと第２のノズル群に含まれる第２ノズルとが少なくとも前記走査方向において重なるように、前記第１のノズル群と前記第２のノズル群とが配置されてなり、吐出に使用するノズルを前記第１ノズルと前記第２ノズルより選択する使用ノズル選択手段を有することを特徴とする。

以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
なお、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。また、以下の説明で参照する図では、図示の便宜上、部材ないし部分の縦横の縮尺を実際のものとは異なるように表す場合がある。

（第１実施形態）
（カラーフィルタの構成）
まずは、図１および図２を参照して、本発明に係るカラーフィルタの構成について説明する。図１はカラーフィルタの構成を示す平面図である。図２は、カラーフィルタの構造を示す断面図である。

図１、図２に示すカラーフィルタ１はカラー用表示パネルに用いられるものであり、表示パネルにおけるＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各色の画素に対応して形成された着色部２と、着色部２の間の領域に形成された遮光部３とを有している。尚、本実施形態の着色部２は、いわゆるストライプ型の画素構造に対応する配列ないし形状を有しているが、このような画素構造以外のもの、例えば、Ｒ，Ｇ，Ｂ以外の色要素を含むものやデルタ型構造のものに対応した構成とすることもできる。

カラーフィルタ１は、ガラスの透光性の基板４を備えており、基板４上にはクロム等の遮光性材料で遮光部３がパターン形成され、さらに遮光部３上には感光性樹脂等を用いてバンク５がパターン形成されている。着色部２は、バンク５で区画された区画領域６内に形成されており、また着色部２の形成面側には、表面を平滑化するためのオーバーコート層７が樹脂等で形成されている。尚、複数の区画領域６は、全て同じ形状、大きさで形成されている。

（液状体吐出装置の機械的構成）
次に、図３、図４を参照して、本発明の液状体配置方法に用いる液状体吐出装置の機械的構成について説明する。
図３は、液状体吐出装置の要部構成を示す斜視図である。図４は、ヘッドユニットにおけるヘッドの配置構成を示す平面図である。

図３に示す液状体吐出装置２００は、直線的に設けられた１対のガイドレール２０１と、ガイドレール２０１の内部に設けられたエアスライダとリニアモータ（図示せず）により主走査方向に移動する主走査移動台２０３を備えている。また、ガイドレール２０１の上方においてガイドレール２０１に直交するように直線的に設けられた１対のガイドレール２０２と、ガイドレール２０２の内部に設けられたエアスライダとリニアモータ（図示せず）により副走査方向に沿って移動する副走査移動台２０４を備えている。

主走査移動台２０３上には、吐出対象物となる基板Ｐを載置するためのステージ２０５が設けられている。ステージ２０５は基板Ｐを吸着固定できる構成となっており、また、回転機構２０７によって基板Ｐ内の基準軸を主走査方向、副走査方向に正確に合わせることができるようになっている。

副走査移動台２０４は、回転機構２０８を介して吊り下げ式に取り付けられたキャリッジ２０９を備えている。また、キャリッジ２０９は、複数のヘッド１１，１２（図４参照）を備えるヘッドユニット１０と、ヘッド１１，１２に液状体を供給するための液状体供給機構（図示せず）と、ヘッド１１，１２の電気的な駆動制御を行うための制御回路基板２１１（図５参照）とを備えている。

図４に示すように、ヘッドユニット１０は、Ｒ，Ｇ，Ｂに対応した液状体をノズル２０から吐出するヘッド１１，１２を備えており、ヘッド１１，１２における複数のノズル２０はノズル列２１Ａ，２１Ｂを構成している。ノズル列２１Ａ，２１Ｂは、それぞれ所定のピッチ（例えば１８０ＤＰＩ）のライン配列をなしており、さらに合わせて千鳥配列をなす関係となっている。また、ノズル列２１Ａ，２１Ｂの配列の方向は副走査方向に一致するようにされている。

ヘッド１１，１２内におけるノズル２０に連通する液室（キャビティ）は、圧電素子１６（図５参照）の駆動によって容量が可変するように構成されている。そして、圧電素子１６から電気信号（駆動信号）を供給してキャビティ内の液圧を制御することにより、ノズル２０から液滴（液状体）を吐出させることが可能となっている。

ヘッド１１とヘッド１２とは互いに副走査方向に位置をずらして配置され、それぞれのノズル列２１Ａ，２１Ｂが、互いに吐出可能範囲を補完して連続した所定ピッチ（例えば３６０ＤＰＩ）の走査軌跡を描くように構成されている。また、ノズル列２１Ａ，２１Ｂの端部数個分のノズル２０は、ヘッド１１，１２間で互いに重なり合って走査軌跡を描くようになっている。

かくして、主走査移動台２０３の移動によりノズル列２１Ａ，２１Ｂを基板Ｐに対して主走査方向に走査させると共に、ノズル２０毎の吐出のＯＮ／ＯＦＦ制御（以下、吐出制御とする）を行うことにより、基板Ｐ上におけるノズル２０の走査軌跡に沿った位置に液滴（液状体）を配置することができる。

尚、液状体吐出装置の構成は上述の態様に限定されるものではない。例えば、ノズル列２１Ａ，２１Ｂの配列方向を副走査方向から傾けて、ノズル２０の走査軌跡のピッチがノズル列２１Ａ，２１Ｂ内におけるノズル２０間のピッチに対して狭くなるように構成することもできる。また、ヘッドユニット１０におけるヘッド１１，１２の数やその配置構成なども適宜変更することができる。また、ヘッド１１，１２の駆動方式として、例えば、キャビティに加熱素子を備えたいわゆるサーマル方式などを採用することもできる。

（吐出制御方法）
次に、図５、図６を参照して液状体吐出装置における吐出制御方法について説明する。
図５は、液状体吐出装置の電気的構成を示す図である。図６は、ドットパターンとノズルの位置との関係を示す図である。

図５において、液状体吐出装置２００は、装置全体の統括制御を行う制御コンピュータ２１０と、ヘッド１１，１２の電気的な駆動制御を行うための制御回路基板２１１とを備えている。制御回路基板２１１は、フレキシブルケーブル２１２を介して各ヘッド１１，１２と電気的に接続されている。また、ヘッド１１，１２は、ノズル２０（図２参照）毎に設けられた圧電素子１６に対応して、シフトレジスタ（ＳＬ）５０、ラッチ回路（ＬＡＴ）５１、レベルシフタ（ＬＳ）５２、スイッチ（ＳＷ）５３を備えている。

液状体吐出装置２００における吐出制御は次のように行われる。すなわち、まず制御コンピュータ２１０が基板Ｐ（図１参照）における液滴（液状体）の配置パターンをデータ化したドットパターンデータ（詳しくは後述する）を制御回路基板２１１に伝送する。そして、制御回路基板２１１は、ドットパターンデータをデコードしてノズル２０毎のＯＮ／ＯＦＦ（吐出／非吐出）情報であるノズルデータを生成する。ノズルデータは、シリアル信号（ＳＩ）化されて、クロック信号（ＣＫ）に同期して各シフトレジスタ５０に伝送される。

シフトレジスタ５０に伝送されたノズルデータは、ラッチ信号（ＬＡＴ）がラッチ回路５１に入力されるタイミングでラッチされ、さらにレベルシフタ５２でスイッチ５３用のゲート信号に変換される。すなわち、ノズルデータが「ＯＮ」の場合にはスイッチ５３が開いて圧電素子１６に駆動信号（ＣＯＭ）が供給され、ノズルデータが「ＯＦＦ」の場合にはスイッチ５３が閉じられて圧電素子１６に駆動信号（ＣＯＭ）は供給されないことになる。そして、「ＯＮ」に対応するノズル２０からは液状体が液滴化されて吐出され、吐出された液滴（液状体）が基板Ｐに配置される。

上述したように、液状体吐出装置２００の吐出制御はドットパターン（データ）に基づいて行われる。このドットパターンは、図６に示すように、主走査方向、副走査方向の成分を有するマトリクスＭＴにおいて、液滴（液状体）の吐出（配置）位置となる区画にドットＤを配したものとして表すことができる。ドットＤは、単に吐出の有無を示すだけでなく、階調性を有するものとすることも可能であり、例えば、階調性に応じて液滴の量（吐出量）や吐出タイミングを変化させることもできる。

ここで、マトリクスＭＴの主走査方向のピッチ：ｐ１は、液滴（液状体）の吐出制御周期（ラッチ周期）と走査速度によって決められるようになっている。また、マトリクスＭＴの副走査方向のピッチ：ｐ２は、１走査におけるノズル２０の走査軌跡のピッチ：ｐ０の自然数分の１倍に設定することが可能である。本実施形態では、ｐ２がｐ０の３分の１に設定されており、３回に分けられた各走査間で、ノズル２０の副走査方向における位置を互いにずらすことにより、マトリクスＭＴの全てのドットＤをノズル２０に対応させて液滴（液状体）を吐出するようになっている。

尚、図中において互いに隣接するドットｄ１，ｄ２，ｄ３は、それぞれ第１走査、第２走査、第３走査に係るものである。これらは互いに同じノズルに対応させることも可能であるが、ノズル間における特性（例えば吐出量）のばらつきを空間的に分散させるため、走査間でヘッドを大きく副走査方向に移動させて、互いに異なるノズル２０に対応させるようにすることが好ましい。複数の走査間におけるノズル２０（ヘッド）の位置のずらし方（走査方法）には多様な方法があり、ノズル間やヘッド間の特性ばらつきの分散やサイクルタイムなどに鑑みて適切なものを採用することができる。また、本実施形態では採用していないが、複数の走査間でノズル２０の副走査方向における位置を互いに重ねるような走査方法とすることで、一の列（主走査方向の並び）内におけるドットＤを複数のノズル２０に分けて対応させることも可能である。

（カラーフィルタの製造方法）
次に、図７を参照して、本発明に係るカラーフィルタの製造方法（液状体の配置方法）について説明する。
図７は、液状体配置を行う際の基板の状態を示す平面図である。

カラーフィルタ１（図１，２参照）の着色部２（図１，２参照）の形成は、Ｒ，Ｇ，Ｂにそれぞれ対応する色材を含む液状体を用意し、液状体吐出装置２００（図３参照）を用いて当該液状体を基板上に配置することで行われる。図７に示すように、液状体を配置するための基板Ｐには、それぞれカラーフィルタ１の個体に対応した領域である４つの個体領域８が設定されており、バンク５によって個体領域８毎に区画領域６の群が形成されている。尚、本実施形態では、区画領域６の長辺方向を副走査方向、短辺方向を主走査方向として基板Ｐをステージ２０５（図３参照）上に載置するが、この設定は逆にすることも可能である。

ここで、液状体はバンク５で区画された所定領域としての区画領域６に対して配置されるが、液状体が区画領域６に合わせて正確にパターニングされるように、区画領域６内における基板Ｐの露出面に親液化処理を、バンク５の表面に撥液化処理をあらかじめ施しておくことが好ましい。このような処理は、例えば、酸素やフッ化炭素のプラズマ処理により行うことができる。尚、バンク５の形成は、液状体のパターニングを高精度に行うための好ましい実施形態であり、所定領域を設定するためにこのような物理的な区画が必ずしも必要というわけではない。

基板Ｐを載置したら、次に区画領域６に対して液滴（液状体）を吐出し、さらに、区画領域６内に配置された液状体を乾燥等により固化させて、着色部２（図１，２参照）を形成する。

（液状体吐出方法）
次に図８〜図１０を参照して、液状体吐出の具体的な方法について説明する。
図８は、第１走査における液状体の配置位置とノズルの走査軌跡との関係を示す図である。図９は、第２走査における液状体の配置位置とノズルの走査軌跡との関係を示す図である。図１０は、第３走査における液状体の配置位置とノズルの走査軌跡との関係を示す図である。

液状体吐出装置２００（図５参照）は、制御コンピュータ２１０に所定のドットパターンデータを読み込ませることにより、本発明の液状体吐出装置として機能し、以下に説明するように液状体の吐出を行う。尚、以下では、煩雑さをなくすため、ある色（例えばＲ）に対応した液状体の吐出に着目して説明を行う。

図８〜図１０において、ノズル２０は、ヘッド１１に属するａ群（本発明の第１のノズル群）とヘッド１２に属するｂ群（本発明の第２のノズル群）とに分類されており、それぞれのノズルがどの群に属するかを枠内にａ，ｂの記号で図示している。また、区画領域６内に配置される液滴（液状体）がどの群のノズルから吐出されるものであるかを、枠内にａ，ｂの記号で図示している。

この実施形態では、３回の走査に分けて区画領域６内に２４個の液滴が配置される。まず第１走査では、図８に示すように液滴を配置（吐出）する。このとき、バンク５に掛かるノズルからは液滴の吐出は行われず（仮想的な液滴の配置位置を仮想線で図示）、また、ａ群のノズル２０（本発明の第１ノズル）とｂ群のノズル２０（本発明の第２ノズル）とで重複した走査軌跡を描くようになっているオーバーラップ範囲では、区画領域６内の所定位置（図示された液滴位置）について、いずれか一方の群から選択されたノズル２０から液滴が吐出され、当該液滴が区画領域６内に配置される。

オーバーラップ範囲におけるａ群、ｂ群のノズル２０の選択は、図示のようになっている。すなわち、一の走査軌跡を描くａ群、ｂ群のノズル２０の組み合わせを一つのグループと表現すると、副走査方向に並んだグループ間でその選択比率が異なるようになっている。さらに、当該選択比率は、図の左方におけるグループでａ群のノズル２０の選択比率が高く、図の右方におけるグループでｂ群のノズル２０の選択比率が高くなるように、グループの並び順に段階的に変化するようになっている。

オーバーラップ範囲は、図の左方側におけるａ群（ヘッド１１）のノズル２０による描画範囲と、図の右方側におけるｂ群（ヘッド１２）のノズル２０による描画範囲との境界にあたる。このため、ａ群、ｂ群間でノズル２０の吐出特性に差がある場合、使用されるノズル２０の切り替わり範囲となるオーバーラップ範囲において吐出特性の急峻な変化が生じることになる。このような箇所に掛かる描画領域では、液状体の配置量が基板面内で急激に変化することになるため、スジ状のムラが顕著に視認されることになる。

上述の実施形態は、このような問題に鑑み、オーバーラップ範囲においてａ群、ｂ群の両方のノズル２０を選択することで、副走査方向における吐出特性の急峻な変化を緩和するように、さらに、ａ群、ｂ群の選択比率を段階的に変える構成とすることで吐出特性が徐々に変化するようにしたものである。尚、上述したようなａ群、ｂ群の選択比率は、本実施形態ではドットパターンデータとして設定されるものであり、カラーフィルタ製造に先立って行うことができる。

第１走査が終了したら、ノズル２０（ヘッド１１，１２）と基板Ｐとを副走査方向に相対的に移動させ、第２走査により、図９に示すように液滴を配置（吐出）する。さらに同様に、第３走査により、図１０に示すように液滴を配置（吐出）する。第２、第３走査においても、第１走査と同様に、オーバーラップ範囲におけるノズル２０の選択が行われる。

（変形例）
次に、図１１〜図１３を参照して、上述の実施形態との相違点を中心に変形例の説明を行う。
図１１は、第１走査における液状体の配置位置とノズルの走査軌跡との関係を示す図である。図１２は、第２走査における液状体の配置位置とノズルの走査軌跡との関係を示す図である。図１３は、第３走査における液状体の配置位置とノズルの走査軌跡との関係を示す図である。

この変形例では、図１１〜図１３に示すように、オーバーラップ範囲において、ａ群，ｂ群の選択比率がグループ間で等しくなるように設定されている（但し、オーバーラップ範囲に掛かる両端のグループを除く）。このように、ａ群、ｂ群の選択比率は、適宜変更することが可能である。
（第２実施形態）
次に、図１４を参照して、本発明の第５実施形態について、第１実施形態との相違点を中心に説明する。
図１４は、有機ＥＬ表示装置の要部構成を示す断面図である。

図１４に示すように、有機ＥＬ表示装置１００は、素子基板１１１と、素子基板１１１上に形成された駆動回路部１１２と、駆動回路部１１２上に形成された発光素子部１１３と、駆動回路部１１２および発光素子部１１３を封止するための封止基板１１４と、を備えている。封止基板１１４によって封止された封止空間１１５には、不活性ガスが充填されている。

発光素子部１１３は、バンク１２０で区画された複数の区画領域１１９を有しており、この区画領域１１９内には発光素子１２５が形成されている。発光素子１２５は、駆動回路部１１２の出力端子であるセグメント電極（陽極）１２１と、共通電極（陰極）１２４との間に、正孔輸送層１２２、有機ＥＬ材料層１２３が積層されて構成されている。また、バンク１２０と駆動回路部１１２との間には、階調要素間の干渉を防ぐための遮光膜１２６が、クロムやその酸化物等で形成されている。

正孔輸送層１２２は、有機ＥＬ材料層１２３に正孔を注入するための機能層であり、ポリチオフェン誘導体のドーピング体（ＰＥＤＯＴ）などの高分子導電体で形成されている。有機ＥＬ材料層１２３は、蛍光あるいは燐光を発光することが可能な公知の有機ＥＬ材料、例えば、ポリフルオレン誘導体、（ポリ）パラフェニレンビニレン誘導体、ポリフェニレン誘導体などで形成されている。正孔輸送層１２２、有機ＥＬ材料層１２３は、第１実施形態で説明した液状体配置方法を用い、区画領域１１９に対応する機能性材料（ＰＥＤＯＴ／有機ＥＬ材料）を含む液状体を配置して製造されたものである。

本発明は上述の実施形態に限定されない。
例えば、上述の液状体配置方法を用いた別の例として、例えば、プラズマディスプレイ装置における蛍光膜の形成、あるいは、電気回路における導電配線や抵抗素子の形成などが挙げられる。
また、上述の実施形態では、各ノズル列における端部３ノズルについて、オーバーラップ範囲を設ける態様としていたが、このような態様に限られるものではない。例えば、ノズル列の全ノズルについてオーバーラップ範囲を設定するような態様とすることもできる。
また、実施形態の各構成はこれらを適宜組み合わせたり、省略したり、図示しない他の構成と組み合わせたりすることができる。

カラーフィルタの構成を示す平面図。 カラーフィルタの構造を示す断面図。 液状体吐出装置の要部構成を示す斜視図。 ヘッドユニットにおけるヘッドの配置構成を示す平面図。 液状体吐出装置の電気的構成を示す図。 ドットパターンとノズルの位置との関係を示す図。 液状体配置を行う際の基板の状態を示す平面図。 第１走査における液状体の配置位置とノズルの走査軌跡との関係を示す図。 第２走査における液状体の配置位置とノズルの走査軌跡との関係を示す図。 第３走査における液状体の配置位置とノズルの走査軌跡との関係を示す図。 第１走査における液状体の配置位置とノズルの走査軌跡との関係を示す図。 第２走査における液状体の配置位置とノズルの走査軌跡との関係を示す図。 第３走査における液状体の配置位置とノズルの走査軌跡との関係を示す図。 有機ＥＬ表示装置の要部構成を示す断面図。

符号の説明

１…カラーフィルタ、２…着色部、４…基板、５…バンク、６…区画領域、２０…ノズル、１００…有機ＥＬ表示装置、１１９…区画領域、１２０…バンク、１２２…正孔輸送層、１２３…有機ＥＬ材料層、１２５…発光素子、２００…液状体吐出装置。

Claims (10)

1. 吐出手段と基板とを相対的に走査し、前記基板に液状体を吐出する液状体吐出方法であって、
   前記吐出手段は、所定ピッチの走査軌跡を描くノズル群を複数有し、前記複数のノズル群のうち、第１のノズル群に含まれる第１ノズルと第２のノズル群に含まれる第２ノズルとが少なくとも前記走査方向において重なるように、前記第１のノズル群と前記第２のノズル群とが配置されてなり、
   前記第１ノズルと前記第２ノズルが重なる領域では、前記第１ノズルの選択比率と、前記第２ノズルの選択比率とを設定する選択比率設定工程と、
   前記選択比率設定工程に基づき、前記基板に液状体を吐出する工程と
   を有することを特徴とする液状体吐出方法。
2. 前記第１ノズルと前記第２ノズルを含むグループを複数有し、前記選択比率設定工程では、前記複数のグループ毎に前記第１ノズルの選択比率と前記第２ノズルの選択比率を設定することを特徴とする請求項１に記載の液状体吐出方法。
3. 前記選択比率設定工程では、前記複数のグループ毎に前記第１ノズルの選択比率と前記第２ノズルの選択比率を段階的に変化するように設定することを特徴とする請求項１または２に記載の液状体吐出方法。
4. 吐出手段と基板とを相対的に走査し、前記基板に液状体を吐出する液状体吐出方法であって、
   前記吐出手段は、所定ピッチの走査軌跡を描くノズル群を複数有し、前記複数のノズル群のうち、第１のノズル群に含まれる第１ノズルと第２のノズル群に含まれる第２ノズルとが少なくとも前記走査方向において重なるように、前記第１のノズル群と前記第２のノズル群とが配置されてなり、
   所定の吐出位置において、前記第１ノズルと前記第２ノズルのいずれか一つを選択し吐出する工程
   を有することを特徴とする液状体吐出方法。
5. 前記第１ノズルと前記第２ノズルを含むグループを複数有し、前記複数のグループ毎に前記第１ノズルと前記第２ノズルのいずれかを選択することを特徴とする請求項４に記載の液状体吐出方法。
6. 前記第１ノズルと前記第２ノズルを含むグループを複数有し、前記走査中に前記複数のグループ毎に前記第１ノズルと前記第２ノズルのいずれかを段階的に選択することを特徴とする請求項４または５に記載の液状体吐出方法。
7. 請求項１ないし６のいずれか一項に記載の液状体吐出方法を用いて、前記基板上に設定された複数の所定領域のそれぞれに、色材を含む前記液状体を配置するステップと、
   配置された前記液状体を固化して、前記複数の所定領域をそれぞれ画素の対応領域とする着色部を形成するステップと、を有するカラーフィルタの製造方法。
8. 請求項１ないし６のいずれか一項に記載の液状体吐出方法を用いて、前記基板上に設定された複数の所定領域のそれぞれに、有機ＥＬ材料を含む前記液状体を配置するステップと、
   配置された前記液状体を固化して前記複数の所定領域をそれぞれ画素の対応領域とする発光素子を形成するステップと、を有する有機ＥＬ表示装置の製造方法。
9. 吐出手段と基板とを相対的に走査し、前記基板に液状体を吐出する液状体吐出装置であって、
   前記吐出手段は、所定ピッチの走査軌跡を描くノズル群を複数有し、前記複数のノズル群のうち、第１のノズル群に含まれる第１ノズルと第２のノズル群に含まれる第２ノズルとが少なくとも前記走査方向において重なるように、前記第１のノズル群と前記第２のノズル群とが配置されてなり、
   前記第１ノズルから吐出される液状体の吐出密度を設定する第１吐出密度設定手段と、
   前記第２ノズルから吐出される液状体の吐出密度を設定する第２吐出密度設定手段と、
   を有することを特徴とする液状体吐出装置。
10. 吐出手段と基板とを相対的に走査し、前記基板に液状体を吐出する液状体吐出装置であって、
    前記吐出手段は、所定ピッチの走査軌跡を描くノズル群を複数有し、前記複数のノズル群のうち、第１のノズル群に含まれる第１ノズルと第２のノズル群に含まれる第２ノズルとが少なくとも前記走査方向において重なるように、前記第１のノズル群と前記第２のノズル群とが配置されてなり、
    吐出に使用するノズルを前記第１ノズルと前記第２ノズルより選択する使用ノズル選択手段
    を有することを特徴とする液状体吐出装置。

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