JP2009178616A - 液滴吐出装置とその駆動方法、液状体配置方法、カラーフィルタの製造方法 - Google Patents

液滴吐出装置とその駆動方法、液状体配置方法、カラーフィルタの製造方法 Download PDF

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Goji Ito
剛司 伊藤
Sadaji Komori
貞治 小森
Takashi Hiruma
敬 蛭間
Satoru Kataue
悟 片上
Takahiro Imai
隆浩 今井
Toru Igarashi
透 五十嵐
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Abstract

【課題】ムラなく液状体を吐出することができる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】本発明の液滴吐出装置は、吐出ヘッド11の複数のノズル21のそれぞれに
対応して設けられた圧電素子16と、各々が複数の圧電素子16に対して駆動信号COM
を出力可能である複数のD/Aコンバータ31と、を有しており、吐出ヘッド11から液
状体を吐出させるに際して、吐出ヘッド11で吐出に使用される最小のノズル数をnとし
たとき、それぞれのD/Aコンバータ31に対して割り当てられる圧電素子16の数がn
個以上となる範囲で最大数のD/Aコンバータ31を使用し、かつ使用されるD/Aコン
バータ31に対して略均等に圧電素子16を割り当てることを特徴とする。
【選択図】図4

Description

本発明は、液滴吐出装置とその駆動方法、液状体配置方法、カラーフィルタの製造方法
に関するものである。
近年、液滴吐出法を用いた成膜技術が注目されている。例えば、特許文献1には、液滴
吐出法を用いた液晶表示装置のカラーフィルタの製造方法が開示されている。この製造方
法では、基板に対して走査する複数のノズルから色材を含む液状体(液滴)を吐出させて
液状体を配置(描画)し、さらに配置された液状体を乾燥等により固化させて画素に対応
した着色膜を形成するようにしている。
特開2003−159787号公報
しかしながら、前記したカラーフィルタの製造方法には以下の改善すべき課題がある。
図10から図12は、かかる課題についての説明図である。
図10には、カラーフィルタの製造に用いられる液状体の吐出装置(液滴吐出装置)に
備えられた吐出ヘッド11と、吐出ヘッド11により液状体を配置される複数の区画領域
50A(機種1)、50B(機種2)とが示されている。吐出ヘッド11には、一方向に
配列された複数のノズル21が形成されており、上位装置から入力される吐出制御データ
に従って各ノズル21から液状体を吐出する。
図10に示すように、カラーフィルタのようなパターン化された区画領域50A、50
Bに対して液状体を吐出する場合、隣接する区画領域50Aの間に液状体を配置しない領
域が存在する。そのため、吐出ヘッド11の全てのノズル21が同時に使用されることは
ない。また、区画領域50A、50Bのように機種ごとにピッチが異なっていると、これ
らの区画領域50A、50Bに対応させるために吐出ヘッド11の吐出パターンを異なら
せることになる。
また、図11に示すように、大型の基板P上を吐出ヘッド11で複数回走査して液状体
を配置する場合、走査ごとに使用されるノズル21が異なることになる。さらに、基板P
の端部の領域P7に液状体を配置する場合には、図示のように吐出ヘッド11の左側1/
3程度の部分のみを使用して液状体の配置が行われる。
このように、液滴吐出装置により基板上の所定位置に液状体を配置する場合、基板上の
パターンや基板と吐出ヘッドとの相対位置によって、吐出ヘッド11のノズル使用率(D
uty)が異なることとなる。
さらに本発明者らが、吐出ヘッド11にこのような動作をさせる場合の吐出量について
詳細な調査を行ったところ、吐出ヘッド11のDutyと吐出量との間には明確な相関が
あり、Dutyが大きくなると、同一駆動信号を用いて吐出動作を行っても1ノズルあた
りの吐出量が増加することが判明した。
このような吐出量のバラツキが生じると、基板上における液状体の配置量(吐出量)の
バラツキが生じ、得られるカラーフィルタにスジ状の濃淡ムラが発生してしまうおそれが
ある。このようなスジ状の濃淡ムラは視認されやすく、カラーフィルタを介して表示され
る画像の画質を低下させてしまう。
図12は、Dutyが大きい(ノズル使用率が高い)ときと、Dutyが小さい(ノズ
ル使用率が低い)ときの駆動信号の波形を示す説明図である。図12に破線の曲線で示す
「Duty小」の波形は、ほぼ台形状であるが、実線の曲線で示す「Duty大」の波形
では、駆動信号の最大電位が「Duty小」の波形より高くなっており(オーバーシュー
ト)、最小電位は「Duty小」の波形より低くなっている(アンダーシュート)。
ノズル21からの吐出量は、駆動信号の波形の積分値(面積)に依存するため、図12
に示すような電位変動が生じると、その分だけ吐出量が多くなる。これが、ノズル使用率
が高くなったときに液状体の吐出量が多くなってしまう原因であると考えられる。
本発明は上記課題を解決するためになされたもので、ムラなく液状体を吐出することが
できる液滴吐出装置とその駆動方法を提供することを目的との一つとする。
また本発明は、液状体の配置ムラを抑制することができる液状体配置方法及びカラーフ
ィルタの製造方法を提供することを目的の一つとする。
本発明は、上記課題を解決するために、複数のノズルを有する吐出ヘッドと、前記吐出
ヘッドを駆動制御する制御部とを備えた液滴吐出装置であって、複数の前記ノズルのそれ
ぞれに対応して設けられた駆動素子と、各々が複数の前記駆動素子に対して駆動信号を出
力可能である複数の駆動信号出力部と、を有しており、前記制御部は、前記吐出ヘッドか
ら液状体を吐出させるに際して、前記吐出ヘッドで吐出に使用される最小のノズル数をn
としたとき、それぞれの前記駆動信号出力部に対して割り当てられる前記駆動素子の数が
n個以上となる範囲で最大数の前記駆動信号出力部を使用し、かつ使用される前記駆動信
号出力部に対して略均等に前記駆動素子を割り当てることを特徴とする。
図12に示した駆動信号のオーバーシュートやアンダーシュートは、駆動素子に駆動信
号を供給するD/Aコンバータ等の駆動信号出力部の負荷が、Dutyによって大きく異
なるためであると考えられる。特に、駆動信号出力部の負荷が大きくなると、オーバーシ
ュートやアンダーシュートが大きくなる傾向にあり、吐出量のバラツキが大きくなる。
そこで本発明では、上記のように、任意に選択して動作可能な複数の駆動信号出力部を
備えた構成とした。これにより、吐出動作において駆動される複数の駆動素子を、複数の
駆動信号出力部に割り振って駆動することができるので、駆動信号出力部の負荷を減少さ
せることができ、高負荷状態で生じるオーバーシュートやアンダーシュートを効果的に防
止できる。
また制御部において、吐出に係るノズルの駆動素子を駆動するために最大数の駆動信号
出力部を使用するようにして駆動信号出力部の負荷を可能な限り小さくすることとした。
さらに、吐出に係る複数の駆動素子を、使用される複数の駆動信号出力部に略均等に割り
当てることで、複数の駆動信号出力部同士で負荷に差が生じないようにした。
以上により、本発明の液滴吐出装置は、駆動信号の波形が変形するのを効果的に防止す
ることができる。したがって、ノズルからの液状体の吐出量を常にほぼ一定に保つことが
でき、ムラなく液状体を吐出することができる。
また本発明の液滴吐出装置は、複数のノズルを有する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドを
駆動制御する制御部とを備えた液滴吐出装置であって、複数の前記ノズルのそれぞれに対
応して設けられた駆動素子と、各々が複数の前記駆動素子に対して駆動信号を出力可能で
ある複数の駆動信号出力部と、を有しており、前記制御部は、前記吐出ヘッドから液状体
を吐出させるに際して、前記吐出ヘッドにおいて吐出に使用される最大のノズル数がN、
前記駆動信号出力部の数がXである場合に、吐出動作で使用される前記ノズルの数がM個
であるときに使用される前記駆動信号出力部の数Yを、ほぼM/(N/X)個に設定し、
かつ使用される前記駆動信号出力部に対して略均等に前記駆動素子を割り当てることを特
徴とする。
この構成では、最大のノズル数Nに対してすべての駆動信号出力部を用いた場合に1つ
の駆動信号出力部に対して割り当てられるノズル数N/Xを基準とし、使用されるノズル
の数がN個よりも少ない場合にも、1つの駆動信号出力部当たりに極力N/X個のノズル
(駆動素子)を割り当てるようにした。なお、使用される駆動信号出力部の数YをほぼM
/(N/X)個としたのは、使用されるノズル数や駆動信号出力部によっては上記の式が
割り切れない場合があるためである。式が割り切れない場合には、小数点以下を四捨五入
して得られる自然数をYに設定する。
このような構成とすることで、吐出動作に使用されるノズル数Mが変動した場合にも、
1つの駆動信号出力部当たりの負荷が、最大のノズル数Nについて吐出動作を行う場合と
ほぼ同等になるため、吐出量が変動しにくくなる。
前記駆動素子をスイッチングするとともに前記駆動信号出力部から出力される前記駆動
信号を前記駆動素子に入力する素子駆動部と、前記素子駆動部と接続され、複数の前記駆
動素子に対して複数の前記駆動信号出力部のいずれか1つを選択的に接続する駆動信号選
択部と、複数の前記駆動信号出力部を選択的に動作させる出力選択部と、を有することが
好ましい。
この構成によれば、外部から吐出制御に係るデータを供給するのみで、吐出動作に使用
する駆動信号出力部を適切に選択し、均一に液状体を吐出する液滴吐出装置となる。
前記吐出ヘッドにおいて吐出に使用される最大のノズル数Nと前記駆動信号出力部の数
Xとが、X≧N/nなる関係である場合に、吐出動作で使用される前記ノズルの数がM個
であるときに使用される前記駆動信号出力部の数YがほぼM/n個であり、使用される前
記駆動信号出力部のそれぞれに対して割り当てられる前記駆動素子の数がほぼM/Y個で
あることが好ましい。
このような構成とすることで、使用する駆動信号出力部の数Yと、それぞれの駆動信号
出力部に対して割り当てられる駆動素子の数とが適切に設定され、ムラなく液状体を吐出
することができる液滴吐出装置となる。
なお、「ほぼM/n」とは、M/nが自然数にならない(割り切れない)場合に、使用
される駆動信号出力部の数Yとして、M/nを四捨五入して得られるX以下の自然数を設
定することを意味する。
また、「ほぼM/Y」とは、M/Yが自然数にならない(割り切れない)場合に、M/
Yを切り上げて得られる自然数、又は切り下げて得られる自然数を、駆動信号出力部に割
り当てるノズル数として設定することを意味する。
前記吐出ヘッドにおいて吐出に使用される最大のノズル数Nと前記駆動信号出力部の数
Xとが、X<N/nなる関係である場合に、吐出動作で使用される前記ノズルの数がM個
であるときに使用される前記駆動信号出力部の数Yが、M/n≧XのときにX個である一
方、M/n<XのときにほぼM/n個であり、使用される前記駆動信号出力部のそれぞれ
に対して割り当てられる前記駆動素子の数がほぼM/Y個であることが好ましい。
この構成は、設定可能なYの範囲が、駆動信号出力部の数Xに制限される場合である。
この場合にも、上記構成を採用することで、使用する駆動信号出力部の数Yと、それぞれ
の駆動信号出力部に対して割り当てられる駆動素子の数とが適切に設定され、ムラなく液
状体を吐出することができる液滴吐出装置となる。
なお、「ほぼM/n」とは、M/nが自然数にならない(割り切れない)場合に、使用
される駆動信号出力部の数Yとして、M/nを四捨五入して得られるX以下の自然数を設
定することを意味する。
また、「ほぼM/Y」とは、M/Yが自然数にならない(割り切れない)場合に、M/
Yを切り上げて得られる自然数、又は切り下げて得られる自然数を、駆動信号出力部に割
り当てるノズル数として設定することを意味する。
前記N/nが自然数であることが好ましい。このような構成とすることで、複数の駆動
信号出力部のそれぞれに対してn個の駆動素子を均等に割り振ることができるので、Du
tyが変化したときの駆動信号出力部の負荷の変動を抑えることができ、ノズルからの吐
出量が変動しにくい液滴吐出装置となる。
前記駆動信号出力部をN個備えることが好ましい。このような構成とすれば、1個の駆
動素子を1個の駆動信号出力部で駆動することができるため、駆動信号出力部の負荷を最
低限に抑えることができるとともに、Dutyが変化しても駆動信号出力部の負荷が変動
しない構成とすることができる。したがって、常に一定の吐出量で液状体を吐出できる液
滴吐出装置となる。
複数の前記駆動信号出力部が、同一波形の前記駆動信号を出力することが好ましい。こ
のような構成とすることで、比較的簡素な回路構成を用いつつ、液状体の吐出量の均一化
を達成した液滴吐出装置を提供することができる。
前記出力選択部が、複数の前記駆動信号出力部に対して、複数の異なる波形の前記駆動
信号を供給可能である構成とすることもできる。このような構成とすれば、ノズル使用率
とは別個の現象として生じるノズルごとの吐出量のバラツキを補正することが可能になる
。したがって、液状体の吐出量の均一性をさらに高めた液滴吐出装置とすることができる
次に,本発明の液滴吐出装置の駆動方法は、複数のノズルを有する吐出ヘッドと、前記
吐出ヘッドの複数の前記ノズルのそれぞれに対応して設けられた駆動素子と、各々が複数
の前記駆動素子に対して駆動信号を出力可能である複数の駆動信号出力部と、を備えた液
滴吐出装置の駆動方法であって、前記吐出ヘッドから液状体を吐出させるに際して、前記
吐出ヘッドで吐出に使用される最小のノズル数をnとしたとき、それぞれの前記駆動信号
出力部に対して割り当てられる前記駆動素子の数がn個以上となる範囲で最大数の前記駆
動信号出力部を使用し、かつ使用される前記駆動信号出力部に対して略均等に前記駆動素
子を割り当てることを特徴とする。
この駆動方法によれば、駆動信号の波形が変形するのを効果的に防止することができ、
ノズルからの液状体の吐出量を常にほぼ一定に保つことができ、ムラなく液状体を吐出す
ることができる。
また本発明の液滴吐出装置の駆動方法は、複数のノズルを有する吐出ヘッドと、複数の
前記ノズルのそれぞれに対応して設けられた駆動素子と、各々が複数の前記駆動素子に対
して駆動信号を出力可能である複数の駆動信号出力部と、を備えた液滴吐出装置の駆動方
法であって、前記吐出ヘッドから液状体を吐出させるに際して、前記吐出ヘッドにおいて
吐出に使用される最大のノズル数がN、前記駆動信号出力部の数がXである場合に、吐出
動作で使用される前記ノズルの数がM個であるときに使用される前記駆動信号出力部の数
Yを、ほぼM/(N/X)個に設定し、かつ使用される前記駆動信号出力部に対して略均
等に前記駆動素子を割り当てることを特徴とする。
この駆動方法によれば、吐出動作で使用されるノズル数Mが変動した場合にも、1つの
駆動信号出力部当たりに割り当てられるノズル数が、N/Xの近傍の値になるため、駆動
信号出力部に対する負荷が最大のノズル数Nについて吐出動作を行う場合とほぼ同等にな
る。これにより、駆動信号の波形が変形するのを効果的に防止でき、ノズルからの液状体
の吐出量をほぼ一定に保つことができる。
また、本発明の液滴吐出装置の駆動方法は、複数のノズルを有する吐出ヘッドと、複数
の前記ノズルのそれぞれに対応して設けられた駆動素子と、各々が複数の前記駆動素子に
対して駆動信号を出力可能である複数の駆動信号出力部と、を備えた液滴吐出装置の駆動
方法であって、上位装置から入力されるビットマップデータに基づいて、前記吐出ヘッド
における吐出タイミングごとの吐出データを算出する第1ステップと、複数の前記吐出デ
ータから最大使用ノズル数Nと最小使用ノズル数nとを取得する第2ステップと、前記最
大使用ノズル数Nと最小使用ノズル数nとに基づいて吐出動作に使用する前記駆動信号出
力部の数Yを算出する第3ステップと、使用される前記駆動信号出力部のそれぞれに対し
て、吐出に係る前記駆動素子を略均等に割り当る第4ステップと、を有することを特徴と
する。
この駆動方法によっても、駆動信号の波形が変形するのを効果的に防止することができ
、ノズルからの液状体の吐出量を常にほぼ一定に保つことができ、ムラなく液状体を吐出
することができる。
前記最大使用ノズル数Nと前記駆動信号出力部の数Xとが、X≧N/nなる関係である
場合に、前記第3ステップにおいて、前記吐出動作で使用される前記ノズルの数がM個で
あるときに使用される前記駆動信号出力部の数YをほぼM/n個に設定し、前記第4ステ
ップにおいて、使用される前記駆動信号出力部のそれぞれに対して割り当てられる前記駆
動素子の数をほぼM/Y個に設定することが好ましい。
このような駆動方法とすることで、使用する駆動信号出力部の数Yと、それぞれの駆動
信号出力部に対して割り当てられる駆動素子の数とを適切に設定することができ、ムラな
く液状体を吐出することができる。
なお、「ほぼM/n」とは、M/nが自然数にならない(割り切れない)場合に、使用
される駆動信号出力部の数Yとして、M/nを四捨五入して得られるX以下の自然数を設
定することを意味する。
また、「ほぼM/Y」とは、M/Yが自然数にならない(割り切れない)場合に、M/
Yを切り上げて得られる自然数、又は切り下げて得られる自然数を、駆動信号出力部に割
り当てるノズル数として設定することを意味する。
前記吐出ヘッドにおいて吐出に使用される最大のノズル数Nと前記駆動信号出力部の数
Xとが、X<N/nなる関係である場合に、前記第3ステップにおいて、吐出動作で使用
される前記ノズルの数がM個であるときに使用される前記駆動信号出力部の数Yを、M/
n≧XのときにはX個に設定する一方、M/n<XのときにはほぼM/n個に設定し、前
記第4ステップにおいて、使用される前記駆動信号出力部のそれぞれに対して割り当てら
れる前記駆動素子の数をほぼM/Y個に設定することが好ましい。
この駆動方法は、設定可能なYの範囲が、駆動信号出力部の数Xに制限される場合に好
適な駆動方法である。この場合にも上記駆動方法を採用することで、使用する駆動信号出
力部の数Yと、それぞれの駆動信号出力部に対して割り当てられる駆動素子の数とが適切
に設定され、ムラなく液状体を吐出することができる。
なお、「ほぼM/n」とは、M/nが自然数にならない(割り切れない)場合に、使用
される駆動信号出力部の数Yとして、M/nを四捨五入して得られるX以下の自然数を設
定することを意味する。
また、「ほぼM/Y」とは、M/Yが自然数にならない(割り切れない)場合に、M/
Yを切り上げて得られる自然数、又は切り下げて得られる自然数を、駆動信号出力部に割
り当てるノズル数として設定することを意味する。
複数の前記駆動信号出力部から、同一波形の前記駆動信号を出力することが好ましい。
この駆動方法によれば、簡便な回路制御により液状体の吐出量を制御することができる。
次に、本発明の液状体配置方法は、先に記載の液滴吐出装置を用いて、基板上の所定位
置に液状体を配置することを特徴とする。この配置方法によれば、基板上にムラなく液状
体を配置することができ、高品質のパターンを基板上に形成することができる。
次に、本発明のカラーフィルタの製造方法は、先に記載の液滴吐出装置を用いて、基板
上の所定位置に色材を含む液状体を配置することを特徴とする。この製造方法によれば、
スジ状のムラの形成が抑制された高品質のカラーフィルタを製造することができる。
(第1の実施形態)
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
なお、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であり、本発明の技術範囲は
これらの形態に限定されるものではない。また、以下で参照する図面では、部材ないし部
分の縮尺を異ならせて表示する場合がある。
(液滴吐出装置)
図1は、液滴吐出装置の要部構成を示す斜視図である。図2は、ヘッドユニットにおけ
る吐出ヘッドの配置を示す平面図である。図3は、ノズルの走査軌跡と吐出対象物との関
係を示す平面図である。
図1に示す液滴吐出装置200は、直線的に設けられた1対のガイドレール201と、
ガイドレール201の内部に設けられたエアスライダとリニアモータ(いずれも図示せず
)により主走査方向に移動する主走査移動台203と、ガイドレール201の上方におい
てガイドレール201に直交するように直線的に設けられた1対のガイドレール202と
、ガイドレール202の内部に設けられたエアスライダとリニアモータ(いずれも図示せ
ず)により副走査方向に沿って移動する副走査移動台204と、を備えている。
主走査移動台203上に、吐出対象物としての基板Pが載置されるステージ205が設
けられている。ステージ205は基板Pを吸着固定する手段を備えている。ステージ20
5はまた、回転機構207によって基板P内の基準軸を主走査方向、副走査方向に正確に
合わせることができるようになっている。
副走査移動台204は、回転機構208を介して吊り下げ式に取り付けられたキャリッ
ジ209を備えている。キャリッジ209は、吐出ヘッド11,12(図2参照)を備え
るヘッドユニット10と、吐出ヘッド11,12に液状体を供給する液状体供給機構(図
示せず)と、吐出ヘッド11,12を駆動制御する制御回路基板30(図4参照)とを備
えている。
図2に示すように、ヘッドユニット10は、液状体(液滴)をノズル21から吐出する
複数の吐出ヘッド11,12を備えている。本実施形態に係るヘッドユニット10は、表
示パネルのカラーフィルタ形成用に構成されており、吐出ヘッド11,12は、それぞれ
赤(R)、緑(G)、青(B)の各色要素に対応する液状体を吐出する3個ずつが用意さ
れている。吐出ヘッド11と吐出ヘッド12とは互いに副走査方向(図示左右方向)に位
置をずらして配置されており、互いの吐出可能範囲を補完するように配置されている。
吐出ヘッド11,12は、それぞれ複数(本実施形態では60個)のノズル21からな
るノズル列21A、21Bを有している。各ノズル列21A、21Bにおいて、ノズル2
1は、所定のピッチ(例えば180dpi)でライン状に形成されている。ノズル列21
A、21B内でのノズル21の配列方向は副走査方向に一致している。また、ノズル列2
1Aに属するノズル21と、ノズル列21Bに属するノズル21とは、配列方向において
互いに半ピッチずれた位置に配置されている(千鳥配列)。
吐出ヘッド11,12内には、各ノズル21に連通する液室(キャビティ)が各ノズル
21に対応して設けられている。各キャビティには、可動壁(振動板)を介して圧電素子
16(図4参照)が設けられている。そして、圧電素子16に電気信号(以下、駆動信号
とする)を供給してキャビティ内の液圧を制御することにより、ノズル21から液状体の
液滴を吐出させるようになっている。
ここで、液滴吐出装置200の動作例として、カラーフィルタ製造を行う際の動作につ
いて説明する。吐出ヘッド11,12を基板Pに対して主走査方向に走査させると、ノズ
ル21は、図3に示すように、基板Pに対して連続した所定ピッチ(例えば360dpi
)の走査軌跡を描く。この際、ノズル列21A,21Bの両端の数個分(本実施形態では
3個)のノズルは、その特性の特異性に鑑みて使用しないダミーノズル21d(黒丸で表
示)とされている。主走査方向から見て、吐出ヘッド11のダミーノズル21dにかかる
走査領域は吐出ヘッド12のノズル21の走査領域と重なり、吐出ヘッド12のダミーノ
ズル21dの走査領域は吐出ヘッド11のノズル21の走査領域と重なるように配置され
ている。すなわち、吐出ヘッド11,12は、互いの不使用領域(ダミーノズル21dの
走査領域)を補完し合うように配置されている。
カラーフィルタ形成に供される基板Pには、各画素領域に対応する区画領域50を規定
するバンク51が、感光性樹脂等を用いてあらかじめ形成されている。図3に示すように
、各ノズル21の走査軌跡は、必ずしも区画領域50とは一致しない。したがって、区画
領域50への液状体の配置は、区画領域50上を通過するノズル21のみから液状体を吐
出することにより行われる。
図3において、A1〜A5は吐出ヘッド11のノズル列21Aに属するノズル21のノ
ズル番号であり、B1〜B5は吐出ヘッド11のノズル列21Bに属するノズル21のノ
ズル番号である。C49〜C54、D49〜D54は、それぞれ吐出ヘッド12のノズル
列21A、ノズル列21Bに属するノズル21のノズル番号である。これらのノズル番号
は、各ノズル列21A,21Bにおけるノズル21の配列順のみを示すものであって他意
はない。
本実施形態では、ダミーノズル21dを除くと1ノズル列あたり54個のノズル21が
設けられている。したがって、吐出ヘッド11のノズル列21Aはノズル番号A1〜A5
4のノズル21からなり、ノズル列21Bはノズル番号B1〜B54のノズル21からな
る。また、吐出ヘッド12のノズル列21Aはノズル番号C1〜C54のノズル21から
なり、ノズル列21Bはノズル番号D1〜D54のノズル21からなる。
図3に示す例では、ノズル番号D53,C54,D54,A1,B1のノズル21が、
走査中のそれぞれ適切な期間において、同一の区画領域50に対して液状体を吐出する。
一方、ノズル番号C50,C53,A2,A5のノズル21は、走査軌跡がバンク51上
に位置するため、走査中の全期間において液状体を吐出しない。このようなノズル21ご
との吐出/非吐出の制御は、対応する圧電素子16に対する駆動信号供給のスイッチング
によって行われる。
なお、液滴吐出装置の構成は上述の態様に限定されるものではない。例えば、ノズル列
21A,21Bの配列方向を副走査方向に対して傾けて配置すると、傾けた角度に応じて
ノズル21の走査軌跡のピッチがノズル列21A,21B内におけるノズル21間のピッ
チより狭くなる。これにより、区画領域50のピッチや区画領域50内に配置すべき液状
体の量に合わせた適切な液状体配置が可能になる。
また、ヘッドユニット10における吐出ヘッド11,12の数やその配置構成なども適
宜変更することができる。また、吐出ヘッド11,12の駆動方式として、例えば、キャ
ビティに加熱素子を備えたいわゆるサーマル方式などを採用することもできる。
次に、図4、図5を参照して、本発明に係る液滴吐出装置の電気的構成および動作につ
いて説明する。
図4は、ヘッド駆動に係る液滴吐出装置の電気的構成を示す図である。図5は、駆動信
号および制御信号のタイミング図である。
図4に示すように、吐出ヘッド11(12)には、ノズル列21A(21B)のノズル
21(図2参照)ごとに設けられた圧電素子16と、各圧電素子16への駆動信号COM
の供給/非供給の切り替えを行うスイッチング回路(素子駆動部)17と、各圧電素子1
6への供給に係る駆動信号の供給ライン(以下、COMライン(COM1〜COM4)と
する)を選択する駆動信号選択回路(駆動信号選択部)18と、を備えている。
ノズル列21A(21B)において、圧電素子16の一方の電極(セグメント電極16
s)は、スイッチング回路17を構成する各スイッチング素子(図示略)と接続されてい
る。圧電素子16の他方の電極(コモン電極16c)は、グランドライン(GND)に接
続された共通電極である。圧電素子16のセグメント電極16sは、スイッチング回路1
7を介して駆動信号選択回路18と接続されている。
吐出ヘッド11(12)は、制御回路基板30と電気的に接続されている。
制御回路基板30は、それぞれ独立した駆動信号COMを生成するとともに出力する複
数のD/Aコンバータ(DAC)31を備えている。本実施形態の場合、D/Aコンバー
タ31は、X個(Xは2以上の整数)設けられており、図4では、各D/Aコンバータ3
1を識別可能とするために、添字(1)〜(X)を付してD/Aコンバータ31(1)〜
31(X)と表示している。
また制御回路基板30には、D/Aコンバータ31が生成する駆動信号COMのスルー
レートデータ(波形データ)の格納メモリを備えるとともに、D/Aコンバータ31(1
)〜31(X)に対して選択的に波形データを出力するDAC選択回路(出力選択部)3
2と、外部から受信される吐出制御データを格納するデータメモリ33と、が設けられて
いる。
データメモリ33は、スイッチング回路17、駆動信号選択回路18、及びDAC選択
回路32と接続されている。DAC選択回路32は、X個のD/Aコンバータ31(1)
〜31(X)と接続されている。X個のD/Aコンバータ31(1)〜31(X)は、そ
れぞれから延びるCOMライン(COM1〜COMX)を介して駆動信号選択回路18と
接続されている。
上記構成の吐出ヘッド11(12)、及び制御回路基板30において、データメモリ3
3には、ヘッド11(12)の走査位置に応じて周期的に設定される吐出タイミング毎に
、各圧電素子16への駆動信号COMの供給/非供給(ON/OFF)の切り替えを規定
する吐出データSIAと、各圧電素子16への駆動信号の供給を行うCOMライン(CO
M1〜COMX)の選択を規定する駆動信号選択データSIBと、選択的に駆動されるD
/Aコンバータ31(1)〜31(X)の番号ないし位置を規定するDAC選択信号DN
とが格納される。
吐出データSIAは1ノズルあたり1ビット(0,1)のデータである。駆動信号選択
データSIBは、D/Aコンバータ31の個数に応じて設定され、例えばD/Aコンバー
タ31の設置数が65〜128個である場合には、1ノズルあたり7ビット(0〜127
)のデータとされる。DAC選択信号DNは、D/Aコンバータ31の設置数に応じて設
定され、上記の場合には7ビット(0〜127)のデータとされる。なお、これらのデー
タ構造については適宜変更が可能である。
そして、スイッチング回路17、駆動信号選択回路18、DAC選択回路32には、ク
ロック信号CLKや各吐出タイミングに対応したラッチ信号LATが入力され、これらの
制御信号に同期して、データメモリ33から各データを取り込むようになっている。
上述の構成において、各吐出タイミングに係る駆動制御は次のように行われる。
図5に示すタイミングt1〜t2の期間において、データメモリ33から、吐出データ
SIA、駆動信号選択データSIB、DAC選択信号DNが、それぞれシリアル信号化さ
れて、スイッチング回路17、駆動信号選択回路18、DAC選択回路32に送信される
次いで、タイミングt2において、ラッチ信号LATの入力により各回路にデータがラ
ッチされ、各回路においてデータに基づいた所定の処理がなされる。
DAC選択回路32は、入力されたDAC選択信号DNに基づいて、吐出動作に使用す
るD/Aコンバータ31を選択し、選択されたD/Aコンバータ31(1)〜31(X)
に対して波形データWDを出力する。
駆動信号選択回路18は、データメモリ33から入力された駆動信号選択データSIB
に基づいて、各ノズル21(圧電素子16)に対して、COMライン(COM1〜COM
X)のいずれかを割り当てる。割り当てられるCOMラインは、DAC選択信号DNに基
づいてDAC選択回路32で選択されたD/Aコンバータ31に対応するCOMラインで
ある。そして、スイッチング回路17の各圧電素子16に対応するスイッチング素子に対
して、選択されたD/Aコンバータ31から供給される駆動信号COMを出力する。
スイッチング回路17は、データメモリ33から入力された吐出データSIAに基づい
てスイッチング素子を動作させる。これにより、吐出(ON)に係る圧電素子16のセグ
メント電極16sと、駆動信号選択データSIBで指定された各COMライン(COM1
〜COMX)とが接続された状態となる。具体的には、駆動信号選択データSIBの値が
「0」であれば、対応する圧電素子16のセグメント電極16sはCOM1に接続され、
駆動信号選択データSIBの値が「1」であれば、セグメント電極16sはCOM2に接
続される。
そして、タイミングt3〜t4、t4〜t5、t5〜t6の各期間においては、タイミ
ングt2で設定された波形データWDに従い、それぞれ電位上昇、電位保持、電位降下の
一連のステップで駆動信号(COM)が生成される。すなわち、D/Aコンバータ31(
1)〜31(X)が、DAC選択回路32から入力された波形データWDに基づく駆動信
号COMを生成し、それぞれを対応するCOMライン(COM1〜COMX)に出力する
そして、COM1〜COMXのそれぞれと接続状態にある圧電素子16に対して、生成
された駆動信号COMが供給され、ノズルに連通するキャビティの容積(圧力)制御が行
われる。より詳しくは、タイミングt3〜t4における電位上昇成分により圧電素子16
が変形してキャビティを膨張させ、キャビティ内に液状体が引き込まれる。次いで、タイ
ミングt5〜t6における電位降下成分による圧電素子16の変形によりキャビティが収
縮し、キャビティ内に引き込まれていた液状体がノズル21から吐出される。
吐出ヘッド11(12)のノズル21からの液状体の吐出量は、駆動信号COMにおけ
る電位上昇、電位保持、電位降下に係る時間成分、電圧成分によって制御することができ
る。特に圧電方式のヘッドでは、電圧成分の変化に対して吐出量が良好な線形性を示すた
め、タイミングt3〜t6における電圧差を駆動電圧Vhとして規定し、これを吐出量制
御の条件として利用することが好ましい。
なお、生成する駆動信号COMは、DAC選択回路32に記憶された波形データに応じ
て変化させることができる。したがって、DAC選択回路32が保持している波形データ
を更新することで任意の波形の駆動信号COMを生成させることができる。よって、本実
施形態で示すような単純な台形波に限られるものではなく、公知の様々な形状のものを適
宜採用することができる。また、異なる駆動方式(例えばサーマル方式)を採用する場合
などにおいて、駆動信号のパルス幅(時間成分)を吐出量制御の条件として用いることも
できる。
本実施形態の液滴吐出装置200では、DAC選択信号DNにより指定したD/Aコン
バータ31のみを動作させ、選択したCOMラインのみに駆動信号COMを供給すること
が可能になっている。したがって、図5に示すタイミングt3〜t6の期間では、COM
1、COM2、COM3、COMXのいずれにも駆動信号COMが入力されているが、次
のタイミングt7〜t8の期間では、COM1、COM2にのみ駆動信号COMが入力さ
れるように駆動することもできる。また、図5の例に限られず、任意のCOMラインへの
駆動信号COMの供給/非供給を制御することが可能である。
(駆動方法)
次に、図6〜図8を参照して、液滴吐出装置200の駆動方法について説明する。
図6は、液滴吐出装置200の電気的構成を示すブロック図である。図7は、本実施形
態の駆動方法を示すフローチャートである。
図6に示すように、本実施形態の液滴吐出装置200は、吐出ヘッド11,12やステ
ージ205、副走査移動台204等を総合的に制御する制御部150を備えている。制御
部150には、制御回路基板30、ヘッド位置制御部154、及び基板位置制御部155
が接続されている。
制御部150は、上位装置から基板P上に配置される液状体(液滴)の2次元パターン
であるビットマップデータbmpを受け取り、このビットマップデータbmp及び吐出ヘ
ッド11,12のパラメータに基づいて制御回路基板30に出力する吐出制御データDa
tを生成する。制御部150は、制御部150での演算に使用されるパラメータの記憶領
域や、演算に使用するワーク領域としてのメモリと接続されていてもよい。
ヘッド位置制御部154は、吐出ヘッド11,12を支持したキャリッジ209を移動
させる副走査移動台204及び回転機構208を制御する。基板位置制御部155は、基
板Pを支持するステージ205を移動させる主走査移動台203及び回転機構207を制
御する。ヘッド位置制御部154と基板位置制御部155とによって、吐出ヘッド11,
12と基板Pとが所定位置に配置される。これにより、吐出ヘッド11,12から吐出さ
れた液状体を、基板P上の所望位置に配置可能になっている。
そして、本実施形態の駆動方法は、吐出ヘッド11,12における吐出タイミングごと
のノズル使用率に起因する吐出量のバラツキを抑え、均一な吐出量で液状体を基板P上に
配置できるようにする方法である。
図7に示すように、本実施形態の駆動方法は、吐出データSIAを算出するステップS
1と、吐出データSIAから最大使用ノズル数N及び最小使用ノズル数nを取得するステ
ップS2と、最大使用ノズル数N及び最小使用ノズル数nに基づいて吐出動作に使用する
D/Aコンバータの数Yを算出するステップS3と、使用するY個のD/Aコンバータに
対するノズル21の割り当てを決定する駆動信号選択データSIBを設定するステップS
4と、生成した吐出制御データDatを制御回路基板30に出力するステップS5とを有
する。これらのステップS1〜S5は、制御部150において実行される。
ステップS1ではまず、上位装置から制御部150にビットマップデータbmpが入力
される。
ここで図8はビットマップデータbmpの構成を示す説明図である。図8に示すように
、ビットマップデータbmpはマトリクスMTの各区画に配置されたドット群からなるデ
ータ列を含んでいる。図において、白抜きの丸が1つ1つのドットを表している。また仮
想区画領域Aは、マトリクスMTを基板P上に重ねた場合における区画領域50(図3参
照)に対応する領域を表している。
なお、図8中のL1〜L10およびR1〜R9は、説明の便宜のために付したマトリク
スMTの行および列を指す記号である。
図8に示す例では、R3、R5、R7列のドットが吐出ヘッド11のノズル列21Bに
属するノズル21(ノズル番号B2、B3、B4)にそれぞれ割り当てられており、R4
、R6、R8列のドットが吐出ヘッド11のノズル列21Aに属するノズル21(ノズル
番号A3、A4、A5)にそれぞれ割り当てられている。
マトリクスMTにおいて、行方向(副走査方向)におけるドットのピッチは、吐出ヘッ
ド11,12におけるノズル21のピッチと、主走査方向に対するノズル列21A、21
Bの傾き角度により決定される。一方、列方向(主走査方向)におけるドットのピッチは
、液状体の吐出制御周期(ラッチ周期)と走査速度により決定される。
なお、図8に示す液状体の配置は一例に過ぎず、図示の形態に限定されることなく種々
の配置形態を採用することができる。例えば、仮想区画領域A内に配置されたマトリクス
MTの各列の区画に対して、1回の走査ごとに吐出ヘッド11,12の異なるノズル21
を割り当てることもでき、異なる吐出ヘッドのノズル21を割り当ててもよい。
制御部150は、入力されたビットマップデータbmpから、吐出タイミングごとに吐
出ヘッド11,12に送信する吐出データSIAを算出する。図8に示す例では、各行ご
とに吐出に係るノズル21のパターンを算出する。
次に、ステップS2では、ステップS1で算出された吐出データSIAから、最大使用
ノズル数Nと、最小使用ノズル数nとを取得する。すなわち、図8に示した行ごとの吐出
データSIAを比較し、液状体を吐出するノズル21の数が最も多い吐出データSIAに
おける使用ノズル数を最大使用ノズル数Nとして取得し、液状体を吐出するノズル21の
数が最も少ない吐出データSIAにおける使用ノズル数を最小使用ノズル数nとして取得
する。
なお、液滴吐出動作に際して、図11に示したように、基板P上を複数回走査(スキャ
ン)することで液状体の配置を行う場合には、最大使用ノズル数N及び最小使用ノズル数
nは、1走査ごとの吐出データSIAからそれぞれ取得する。したがって、以下のステッ
プS3以降においても、1走査ごとに取得された最大使用ノズル数N及び最小使用ノズル
数nに基づいて各種データを生成することになる。
次に、ステップS3では、ステップS2で取得した1組の最大使用ノズル数N及び最小
使用ノズル数nから、吐出動作に使用するD/Aコンバータ31の数(使用DAC数)Y
を算出する。
その後、ステップS4において、ステップS3で設定された使用DAC数Yに基づいて
、使用されるD/Aコンバータ31と吐出に係るノズル21の圧電素子16とを関連づけ
る駆動信号選択データSIBを設定する。
図4に示したように、液滴吐出装置200はX個のD/Aコンバータ31(1)〜31
(X)を備えており、DAC選択信号DNを指定することで1〜X個のD/Aコンバータ
31を選択的に動作させることが可能である。そして、本発明に係る駆動方法では、駆動
するD/Aコンバータ31の数(使用DAC数)Yを設定するに際して、選択された各D
/Aコンバータ31に割り当てられる圧電素子16の数が最小使用ノズル数n以上となる
範囲で、駆動されるD/Aコンバータ31の数が最大となるように使用DAC数Yを設定
する。
この場合、吐出データSIAにおける使用ノズル数が最大使用ノズル数Nであり、1個
のD/Aコンバータ31に対してn個の圧電素子16(ノズル21)を割り当てたときに
使用されるD/Aコンバータ31の数が、使用DAC数Yの最大値となる。したがって、
使用DAC数Yの最大値は、最大使用ノズル数Nを最小使用ノズル数nで除した値N/n
に相当する。
しかし、得られた値N/nがD/Aコンバータ31の最大数(設置数)X以下である場
合には、問題なく使用DAC数Y=N/nとすることが可能であるが、N/nがXより大
きい場合には、使用DAC数Yを設定することができない。そこで以下では、N/nとX
の大小関係を場合に分け、ステップS3、S4における動作について説明する。
(1)N/n≦Xの場合
この場合、使用DAC数Yは必ずD/Aコンバータ31の設置数X以下となる。したが
って、ある時点の吐出データSIAにおける使用ノズル数をM(n≦M≦N)とした場合
の使用DAC数Yは、(式1)Y=M/n、として設定することができる。
なお、M/nが自然数にならない場合には、M/nを四捨五入して得られる自然数(た
だしX以下)を使用DAC数Yとして設定する。
ステップS3において使用DAC数Yが決定されたならば、ステップS4に移行する。
ステップS4では、使用されるY個のD/Aコンバータ31に対して、吐出に係るノズル
21を割り当てる。すなわち、図4に示したCOMライン(COM1〜COMX)と圧電
素子16とを関連づける駆動信号選択データSIBを設定する。
このとき、使用されるそれぞれのD/Aコンバータ31に対して割り当てられるノズル
21の数が均等になるように割り当てることで、それぞれのD/Aコンバータ31への負
荷を均等に分散させることができ、均一な吐出量を得ることができる。したがって、使用
されるD/Aコンバータ31のそれぞれに対して割り当てられる割り当てノズル数mは、
(式2)m=M/Y、と設定される。
なお、M/Yが自然数にならない場合には、M/Yを切り上げ又は切り下げて得られる
自然数を割り当てノズル数mとして設定する。すなわち、M個のノズル21をY個のD/
Aコンバータ31に均等に割り当てられない場合には、1個のD/Aコンバータ31当た
りの割当数を1ずつ加減して調整する。
ここで、(1)の場合について具体例を挙げて説明する。
吐出データSIAにおいて、
最大使用ノズル数N=200、
最小使用ノズル数n=30、
D/Aコンバータの設置数X=8、である場合、
N/n=200/30=6.66…≦8(=X)、であるから、(1)の場合に該当す
る。
まず、30ノズル描画(M=30)のときは、
M/n=30/30=1であるから、使用DAC数Y=1である。また、M/Y=30
/1=30である。
したがって、1つのD/Aコンバータ31から30個のノズル21の圧電素子16に対
して駆動信号COMが供給されるように駆動信号選択データSIBを設定する。
より詳細には、吐出制御データDatに含まれるDAC選択信号DNとして、例えばD
/Aコンバータ31(1)のみを選択するデータを設定する。また、駆動信号選択データ
SIBには、吐出に係る30個のノズル21の圧電素子16に対してD/Aコンバータ3
1(1)が接続されるように、データ列中のこれらの圧電素子16に対応する位置に、C
OM1のCOMラインを選択する値を設定する。
次に、150ノズル描画(M=150)のときは、
M/n=150/30=5であるから、使用DAC数Y=5である。また、M/Y=1
50/5=30である。
したがって、5つのD/Aコンバータ31のそれぞれから30個のノズル21の圧電素
子16に対して駆動信号COMが供給されるように駆動信号選択データSIBを設定する

すなわち、DAC選択信号DNに、例えばD/Aコンバータ31(1)〜31(5)の
みを駆動するデータを設定する。また、駆動信号選択データSIBには、30個ずつの吐
出に係るノズル21の圧電素子16からなるグループごとに、それぞれD/Aコンバータ
31(1)〜31(5)に対応するCOMライン(COM1〜COM5)が接続されるよ
うに、データ列中の各圧電素子16に対応する位置に、COM1〜COM5のCOMライ
ンを選択する値を設定する。
次に、190ノズル描画(M=190)のときは、
M/n=190/30=6.33…≒6であるから、使用DAC数Y=6である。また
、M/Y=190/6=31.7…である。
この場合、M/Yが割り切れないので、6つのD/Aコンバータ31に均等にノズル2
1を割り当てることはできない。そこで、6つのD/Aコンバータ31のうち、3つのD
/Aコンバータ31が31個のノズル21の圧電素子16に対して駆動信号COMを供給
し、他の3つのD/Aコンバータ31が32個のノズル21の圧電素子16に対して駆動
信号COMを供給するように駆動信号選択データSIBを設定する。
この例では、DAC選択信号DNに、例えばD/Aコンバータ31(1)〜31(6)
のみを駆動するデータを設定する。また、駆動信号選択データSIBの設定に際しては、
吐出に係る190個のノズル21の圧電素子16を、31個の圧電素子からなる3つのグ
ループ(G1〜G3)と、32個の圧電素子16からなるグループ(G4〜G6)に便宜
的に分類する。
そして、グループG1〜G3の圧電素子16には、それぞれD/Aコンバータ31(1
)〜31(3)が駆動信号COMを供給し、グループG4〜G6の圧電素子16には、そ
れぞれD/Aコンバータ31(4)〜31(6)が駆動信号COMを供給するように設定
する。
つまり、グループG1〜G6のそれぞれに属する圧電素子16に、グループに対応する
COMライン(COM1〜COM6)が接続されるように、駆動信号選択データSIBの
データ列中の各圧電素子16に対応する位置に、COM1〜COM6のCOMラインを選
択する値を設定する。
次に、200ノズル描画(M=200)のときは、
M/n=200/30=6.66…≒7であるから、使用DAC数Y=7である。また
、M/Y=200/7=28.57…である。
この場合にも、M/Yは割り切れないので、7つのD/Aコンバータ31に割り当てら
れるノズル数がほぼ均等になるように調整する。すなわち、7つのD/Aコンバータ31
のうち、3つのD/Aコンバータ31が28個のノズル21の圧電素子16に対して駆動
信号COMを供給し、他の4つのD/Aコンバータ31が29個のノズル21の圧電素子
16に対して駆動信号COMを供給するように駆動信号選択データSIBを設定する。
なお、この場合のDAC選択信号DN及び駆動信号選択データSIBの具体的設定方法
は、190ノズル描画の場合と同様である。
(2)N/n>Xの場合
使用DAC数Yは、D/Aコンバータ31の設置数(最大数)Xを超えることができな
いため、N/nがXより大きい場合には、使用DAC数Yの最大値をN/nに設定するこ
とはできない。
この場合には、ある時点の吐出データSIAにおける使用ノズル数をMとしたときの使
用DAC数Yを、M/nとD/Aコンバータ31の設置数Xとの関係に応じて以下のよう
に設定する。
まず、M/n>Xである場合には、使用DAC数は、(式3)Y=X、とする。すなわ
ち、設置されている全てのD/Aコンバータ31を使用して吐出動作を行うように設定す
る。
一方、M/n≦Xである場合には、使用DAC数Yの最大値は制限されないので、(式
4)Y=M/n、とする。なお、M/nが割り切れない場合には、M/nを四捨五入して
得られる自然数(≦X)を使用DAC数Yとして設定する。
ステップS3において使用DAC数Yが決定されたならば、先の場合と同様に、ステッ
プS4に移行する。
ステップS4では、使用されるY個のD/Aコンバータ31に対して、吐出に係るノズ
ル21を割り当てる。すなわち、図4に示したCOMライン(COM1〜COMX)と圧
電素子16とを関連づける駆動信号選択データSIBを設定する。本例の場合にも、使用
されるD/Aコンバータ31のそれぞれに対して割り当てられる割り当てノズル数mは、
(式2)m=M/Y、と設定する。
なお、M/Yが自然数にならない場合には、M/Yを切り上げ又は切り下げて得られる
自然数を割り当てノズル数mとして設定する。すなわち、M個のノズル21をY個のD/
Aコンバータ31に均等に割り当てられない場合には、1個のD/Aコンバータ31当た
りの割当数を1ずつ加減して調整する。
ここで、(2)の場合について具体例を挙げて説明する。
吐出データSIAにおいて、
最大使用ノズル数N=200、
最小使用ノズル数n=20、
D/Aコンバータの設置数X=4、である場合、
N/n=200/20=10>4(=X)であるから、(2)の場合に該当する。
20ノズル描画(M=20)のときは、
M/n=20/20=1≦4(=X)であるから、使用DAC数Y=1である。また、
M/Y=20/1=20である。
したがって、1つのD/Aコンバータ31から20個のノズル21の圧電素子16に対
して駆動信号COMが供給されるように駆動信号選択データSIBを設定する。
より詳細には、吐出制御データDatに含まれるDAC選択信号DNとして、例えばD
/Aコンバータ31(1)のみを選択するデータを設定する。また、駆動信号選択データ
SIBには、吐出に係る20個のノズル21の圧電素子16に対してD/Aコンバータ3
1(1)が接続されるように、データ列中のこれらの圧電素子16に対応する位置に、C
OM1のCOMラインを選択する値を設定する。
次に、150ノズル描画(M=150)のときは、
M/n=150/20=7.5>4(=X)であるから、使用DAC数Y=X=4であ
る。また、M/Y=150/4=36.25である。
この場合、M/Yが割り切れないので、4つのD/Aコンバータ31に均等にノズル2
1を割り当てることはできない。そこで、4つのD/Aコンバータ31のうち、2つのD
/Aコンバータ31が36個のノズル21の圧電素子16に対して駆動信号COMを供給
し、他の2つのD/Aコンバータ31が37個のノズル21の圧電素子16に対して駆動
信号COMを供給するように駆動信号選択データSIBを設定する。
この例では、DAC選択信号DNに、例えばD/Aコンバータ31(1)〜31(4)
のみを駆動するデータを設定する。また、駆動信号選択データSIBの設定に際しては、
吐出に係る150個のノズル21の圧電素子16を、36個の圧電素子からなる2つのグ
ループ(G1、G2)と、37個の圧電素子16からなるグループ(G3、G4)に便宜
的に分類する。
そして、グループG1、G2の圧電素子16には、それぞれD/Aコンバータ31(1
)、31(2)が駆動信号COMを供給し、グループG3、G4の圧電素子16には、そ
れぞれD/Aコンバータ31(3)、31(4)が駆動信号COMを供給するように設定
する。
つまり、グループG1〜G4のそれぞれに属する圧電素子16に対して、それぞれのグ
ループに対応するCOMライン(COM1〜COM4)が接続されるように、駆動信号選
択データSIBのデータ列中の各圧電素子16に対応する位置に、COM1〜COM4の
COMラインを選択する値を設定する。
次に、200ノズル描画(M=200)のときは、
M/n=200/20=10>4であるから、使用DAC数Y=X=4である。また、
M/Y=200/4=50である。
したがって、DAC選択信号DNに、例えばD/Aコンバータ31(1)〜31(4)
のみを駆動するデータを設定する。また、駆動信号選択データSIBの設定に際しては、
吐出に係る200個のノズル21の圧電素子16を、50個ずつの圧電素子からなる4つ
のグループ(G1〜G4)に便宜的に分類する。そして、グループG1〜G4の圧電素子
16に、それぞれD/Aコンバータ31(1)〜31(4)が駆動信号COMを供給する
ように駆動信号選択データSIBを設定する。
つまり、グループG1〜G4のそれぞれに属する圧電素子16に対して、それぞれのグ
ループに対応するCOMライン(COM1〜COM4)が接続されるように、駆動信号選
択データSIBのデータ列中の各圧電素子16に対応する位置に、COM1〜COM4の
COMラインを選択する値を設定する。
以上に説明した各ステップにより吐出データSIA、駆動信号選択データSIB、及び
DAC選択信号DNを設定したならば、ステップS5に移行する。ステップS5では、制
御部150において、これらのデータSIA、SIB、DNを含む吐出制御データDat
が生成される。そして、生成された吐出制御データDatが制御回路基板30に送信され
る。
その後、吐出制御データDatを受信した制御回路基板30及び吐出ヘッド11(12
)により、吐出制御データDatに基づく滴滴吐出動作がなされ、基板P上の所定位置に
所定量の液状体が配置される。
以上に説明した本実施形態の液滴吐出装置200及びその駆動方法によれば、以下の作
用効果を得ることができる。
まず、液滴吐出装置200には、任意に選択して動作させることができる複数(X個)
のD/Aコンバータ31(1)〜31(X)が備えられている。
すなわち、従来の液滴吐出装置が、1つのD/Aコンバータで生成した駆動信号を全て
のノズルの圧電素子に対して供給する構成であったのに対して、本実施形態の液滴吐出装
置200では、複数設けられたD/Aコンバータ31をDAC選択信号DNに基づいて選
択的に動作させ、これらのD/Aコンバータ31から出力される駆動信号COMを、駆動
信号選択データSIBにより規定された各圧電素子16(ノズル21)に対して供給する
ようになっている。
上記構成によれば、1個のD/Aコンバータ31が受け持つ圧電素子16の個数を減ら
し、D/Aコンバータ31の1個あたりの負荷を減らすことができる。したがって、X個
のD/Aコンバータ31を具備した液滴吐出装置200では、各D/Aコンバータ31の
負荷を1/Xにすることができる。
また、制御部150において、1個のD/Aコンバータ31が受け持つ圧電素子16の
数を最小使用ノズル数n以上としているので、吐出に使用する全体のノズル数が変わった
場合には、各々のD/Aコンバータ31が受け持つ圧電素子16の数をなるべく変動させ
ず、使用するD/Aコンバータ31の数を減らすようになっている。
したがって、液状体を吐出するノズル数が変動しても各々のD/Aコンバータ31の負
荷はほとんど変動しない。これにより、D/Aコンバータ31の負荷の程度によって駆動
信号COMの波形が変わり、吐出量が変化するのを抑制することができる。よって液滴吐
出装置200によれば、各ノズル21から吐出する液状体の量を高精度に制御することが
できる。
特に、本実施形態の液滴吐出装置200では、吐出タイミングごと(吐出データSIA
ごと)に駆動信号選択データSIBとDAC選択信号DNを更新可能であり、すべての吐
出タイミングで適切な量の液滴をノズル21から吐出させることができ、基板P上に配置
する液状体の量をきわめて高精度に制御することが可能である。
そして、本実施形態の液滴吐出装置200及びその駆動方法を適用してカラーフィルタ
を製造するならば、吐出ヘッド11,12の吐出量バラツキに起因するスジ状のムラを減
少させることができ、高品質のカラーフィルタを製造することができる。
先に具体例を挙げて説明したように、D/Aコンバータ31の設置数Xは、最大使用ノ
ズル数Nと最小使用ノズル数nとから算出される値N/n以上とすることが好ましい。こ
のような構成とすれば、使用DAC数Yを、D/Aコンバータ31の設置数Xに制限され
ることなく適切に設定することができるので、各ノズル21において均一な吐出量を容易
に得ることができる。
さらに好ましくは、D/Aコンバータ31は、N個(最大使用ノズル数)設けることが
好ましい。このような構成とすることで、1個のノズル21の圧電素子16に対して1個
のD/Aコンバータ31から駆動信号COMを供給する構成となる。したがって、D/A
コンバータ31の負荷が常に一定になるので、駆動信号COMの波形が変形することがな
くなり、常に一定量の液状体をノズル21から吐出させることができる液滴吐出装置とな
る。
(第2の実施形態)
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。
本実施形態の液滴吐出装置ないしその駆動方法は、吐出ヘッド11(12)から液状体
を吐出させるに際して、吐出ヘッド11(12)において吐出に使用される最大のノズル
数がN、D/Aコンバータ31の設置数がXである場合に、吐出動作で使用されるノズル
21の数がM個であるときに使用されるD/Aコンバータ31の数Yを、ほぼM/(N/
X)個に設定し、かつ使用されるD/Aコンバータ31に略均等に駆動素子16(ノズル
21)を割り当てることを特徴としている。
本実施形態は、第1実施形態の液滴吐出装置の駆動方法に対して、吐出動作に使用する
D/Aコンバータ31の数の決定方法が異なるのみである。したがって、第1実施形態に
おいて参照した図面を適宜参照しつつ以下に説明することとする。
具体的な動作フローとしては、図7に示した第1実施形態とほぼ同様とすることができ
る。すなわち、吐出データSIAを算出するステップS1と、吐出データSIAから最大
使用ノズル数Nを取得するステップS2と、最大使用ノズル数Nに基づいて吐出動作に使
用するD/Aコンバータの数Yを算出するステップS3と、使用するY個のD/Aコンバ
ータに対するノズル21の割り当てを決定する駆動信号選択データSIBを設定するステ
ップS4と、生成した吐出制御データDatを制御回路基板30に出力するステップS5
とを有する駆動方法とすることができる。
ただし本実施形態の場合には、第1実施形態のステップS3に対応するステップにおい
て最小使用ノズル数nを使用しないため、ステップS2における最小使用ノズル数nの取
得は不要である。
ステップS1は第1実施形態と同様であるから説明を省略する。
次に、ステップS2では、ステップS1で算出された吐出データSIAから最大使用ノ
ズル数Nを取得する。すなわち、図8に示した行ごとの吐出データSIAを比較し、液状
体を吐出するノズル21の数が最も多い吐出データSIAにおける使用ノズル数を最大使
用ノズル数Nとして取得する。
なお、液滴吐出動作に際して、図11に示したように、基板P上を複数回走査(スキャ
ン)することで液状体の配置を行う場合には、最大使用ノズル数Nは、1走査ごとの吐出
データSIAからそれぞれ取得する。したがって、以下のステップS3以降においても、
1走査ごとに取得された最大使用ノズル数Nに基づいて各種データを生成することになる
次に、ステップS3では、ステップS2で取得した最大使用ノズル数Nから、吐出動作
に使用するD/Aコンバータ31の数(使用DAC数)Yを算出する。
図4に示したように、液滴吐出装置200はX個のD/Aコンバータ31(1)〜31
(X)を備えており、DAC選択信号DNを指定することで1〜X個のD/Aコンバータ
31を選択的に動作させることが可能である。そして、本実施形態に係る駆動方法では、
駆動するD/Aコンバータ31の数(使用DAC数)Yを設定するに際して、1つのD/
Aコンバータ31当たりに割り当てられるノズル数が、N/X個となるように使用DAC
数Yを設定する。すなわち、吐出に使用されるノズル数をM(M≦N)とした場合の使用
DAC数Yは、(式5)Y=M/(N/X)として設定される。
なお、M/(N/X)が自然数とならない場合には、小数点以下を四捨五入して得られ
る自然数を使用DAC数Yとして設定する。
次に、ステップS4において、ステップS3で設定された使用DAC数Yに基づいて、
使用されるD/Aコンバータ31と吐出に係るノズル21の圧電素子16とを関連づける
駆動信号選択データSIBを設定する。
このとき、使用されるそれぞれのD/Aコンバータ31に対して割り当てられるノズル
21の数が均等になるように割り当てることで、それぞれのD/Aコンバータ31への負
荷を均等に分散させることができ、均一な吐出量を得ることができる。したがって、使用
されるD/Aコンバータ31のそれぞれに対して割り当てられる割り当てノズル数mは、
(式6)m=M/Yと設定される。
なお、式5のM/(N/X)が自然数である場合には、式6はm=M/Y=M/(M/
(N/X))=N/Xとなり、最大使用ノズル数Nを設置されたX個のD/Aコンバータ
31に均等に割り振った場合の1D/Aコンバータ31当たりのノズル数に一致する。
一方、式5のM/(N/X)が自然数にならない場合には、小数点以下を四捨五入して
使用DAC数Yを設定するので、1D/Aコンバータ31当たりに割り当てられるノズル
数はN/Xよりも多く又は少なくなる。またこの場合に、M/Yが自然数にならないとき
は、M/Yを切り上げ又は切り下げて得られる自然数を、割り当てノズル数mとして設定
する。すなわち、M個のノズル21をY個のD/Aコンバータ31に均等に割り当てられ
ない場合には、1個のD/Aコンバータ31当たりの割当数を1ずつ加減して調整する。
ここで、本実施形態について具体例を挙げて説明する。
以下の具体例では、
吐出データSIAにおいて、
最大使用ノズル数N=200、
最小使用ノズル数n=100、
D/Aコンバータの設置数X=8、であるとする。
(a)100ノズル描画(M=100)のとき
本実施形態の駆動方法では、M/(N/X)=100/(200/8)=4であるから
使用DAC数Y=4である。また、割り当てノズル数m=M/Y=100/4=25であ
る。
したがって、8個のD/Aコンバータ31のうち、4個のD/Aコンバータ31を使用
し、1つのD/Aコンバータ31から25個のノズル21の圧電素子16に対して駆動信
号COMが供給されるように駆動信号選択データSIBを設定する。
より詳細には、DAC選択信号DNに、例えばD/Aコンバータ31(1)〜31(4
)のみを駆動するデータを設定する。また、駆動信号選択データSIBには、25個ずつ
の吐出に係るノズル21の圧電素子16からなるグループごとに、それぞれD/Aコンバ
ータ31(1)〜31(4)に対応するCOMライン(COM1〜COM4)が接続され
るように、データ列中の各圧電素子16に対応する位置に、COM1〜COM4のCOM
ラインを選択する値を設定する。
(b)150ノズル描画(M=150)のとき
本実施形態の駆動方法では、M/(N/X)=150/(200/8)=6であるから
使用DAC数Y=6である。また、割り当てノズル数m=M/Y=150/6=25であ
る。
したがって、8個のD/Aコンバータ31のうち、6個のD/Aコンバータ31を使用
し、1つのD/Aコンバータ31から25個のノズル21の圧電素子16に対して駆動信
号COMが供給されるように駆動信号選択データSIBを設定する。すなわち、DAC選
択信号DNに、例えばD/Aコンバータ31(1)〜31(6)のみを駆動するデータを
設定する。また、駆動信号選択データSIBには、25個ずつの吐出に係るノズル21の
圧電素子16からなるグループごとに、それぞれD/Aコンバータ31(1)〜31(6
)に対応するCOMライン(COM1〜COM6)が接続されるように、データ列中の各
圧電素子16に対応する位置に、COM1〜COM6のCOMラインを選択する値を設定
する。
(c)190ノズル描画(M=190)のとき
本実施形態の駆動方法では、M/(N/X)=190/(200/8)=7.6である
から使用DAC数Y=8である。また、割り当てノズル数m=M/Y=190/8=23
.75である。
したがって、8個のD/Aコンバータ31のすべてを使用し、1つのD/Aコンバータ
31から23個又は24個のノズル21の圧電素子16に対して駆動信号COMが供給さ
れるように駆動信号選択データSIBを設定する。すなわち、DAC選択信号DNに、D
/Aコンバータ31(1)〜31(8)のみを駆動するデータを設定する。また、駆動信
号選択データSIBには、23個又は24個ずつの吐出に係るノズル21の圧電素子16
からなるグループごとに、それぞれD/Aコンバータ31(1)〜31(8)に対応する
COMライン(COM1〜COM8)が接続されるように、データ列中の各圧電素子16
に対応する位置に、COM1〜COM8のCOMラインを選択する値を設定する。
(d)200ノズル描画(M=200)のとき
本実施形態の駆動方法では、M/(N/X)=200/(200/8)=8であるから
使用DAC数Y=8である。また、割り当てノズル数m=M/Y=200/8=25であ
る。
したがって、8個のD/Aコンバータ31のすべてを使用し、1つのD/Aコンバータ
31から25個のノズル21の圧電素子16に対して駆動信号COMが供給されるように
駆動信号選択データSIBを設定する。すなわち、DAC選択信号DNに、D/Aコンバ
ータ31(1)〜31(8)のみを駆動するデータを設定する。また、駆動信号選択デー
タSIBには、25個ずつの吐出に係るノズル21の圧電素子16からなるグループごと
に、それぞれD/Aコンバータ31(1)〜31(8)に対応するCOMライン(COM
1〜COM8)が接続されるように、データ列中の各圧電素子16に対応する位置に、C
OM1〜COM8のCOMラインを選択する値を設定する。
以上に説明した本実施形態に係る駆動方法は、最小使用ノズル数nが大きい場合のよう
に、第1実施形態の駆動方法では最適な駆動方法とならない場合に特に有効である。以下
、上記具体例に第1実施形態の駆動方法を採用した場合を示して比較しつつ説明する。
上述した具体例では、吐出データSIAにおいて、最大使用ノズル数N=200、最小
使用ノズル数n=100、D/Aコンバータの設置数X=8、である。したがって、第1
実施形態の駆動方法では、N/n=200/100=2≦8(=X)であるから(1)の
場合に該当する。
まず、100ノズル描画のときは、使用DAC数Y=M/n=1であり、割り当てノズ
ル数m=M/Y=100である。したがって、1個のD/Aコンバータ31を用いて10
0個のノズル21の圧電素子16に駆動信号COMを供給することになる。
150ノズル描画のときは、Y=M/n=150/100=1.5≒2であり、割り当
てノズル数m=M/Y=150/2=75である。したがって、2個のD/Aコンバータ
31を用い、それぞれのD/Aコンバータ31は75個ずつのノズル21の圧電素子16
に駆動信号COMを供給する。
190ノズル描画のときは、Y=M/n=190/100=1.9≒2であり、割り当
てノズル数m=M/Y=190/2=95である。したがって、2個のD/Aコンバータ
31を用い、それぞれのD/Aコンバータ31は95個ずつのノズル21の圧電素子16
に駆動信号COMを供給する。
200ノズル描画のときは、Y=M/n=200/100=2であり、割り当てノズル
数m=M/Y=100である。したがって、2個のD/Aコンバータ31を用い、それぞ
れのD/Aコンバータ31は100個ずつのノズル21の圧電素子16に駆動信号COM
を供給する。
このように、本実施形態の具体例において設定した条件を第1実施形態の駆動方法に適
用すると、8個あるD/Aコンバータ31のうち1個又は2個のD/Aコンバータ31し
か使用されないこととなり、D/Aコンバータ31を有効に使用することができない。ま
た、1つのD/Aコンバータ31に割り当てられるノズル数が、条件によって75〜10
0個の間で変動しており、駆動波形の変動が生じやすいと考えられる。
これに対して本実施形態では、100ノズル描画で4個、200ノズル描画で8個のD
/Aコンバータ31を使用するので、設置されたすべてのD/Aコンバータ31を有効に
使用しつつ液滴の吐出を行うことができる。また、各条件において1つのD/Aコンバー
タ31に割り当てられるノズル数は23〜25個であり、条件間でのノズル数の変動が小
さい。したがって、駆動波形の変動による吐出量のバラツキが生じにくい駆動方法となる
(有機EL装置の製造方法)
続いて、上記液滴吐出装置を有機EL装置の製造に適用する場合について説明する。
図9は、有機EL装置110の断面構成図である。有機EL装置110は、素子基板1
11と、素子基板111上に形成された駆動回路部112と、駆動回路部112上に形成
された発光素子部113と、駆動回路部112及び発光素子113を封止するための封止
基板114とを備えている。封止基板114によって封止された封止空間115には、不
活性ガスが充填されている。
発光素子部113は、バンク120で区画された複数の区画領域119を有しており、
この区画領域119内には発光素子125が形成されている。発光素子125は、駆動回
路部112の出力端子であるセグメント電極(陽極)121と、共通電極(陰極)124
との間に、正孔輸送層122、有機EL材料層123が積層されて構成されている。また
、バンク120と駆動回路部112との間には、階調要素間の干渉を防ぐための遮光膜1
26が、金属クロムやクロム酸化物等で形成されている。
正孔輸送層122は、有機EL材料層123に正孔を注入するための機能層であり、ポ
リチオフェン誘導体のドーピング体(PEDOT)などの高分子導電体で形成されている
。有機EL材料層123は、蛍光あるいは燐光を発光することが可能な周知の有機EL材
料、例えば、ポリフルオレン誘導体、(ポリ)パラフェニレンビニレン誘導体、ポリフェ
ニレン誘導体等で形成されている。
正孔輸送層122、有機EL材料層123は、上記実施形態で説明した液滴吐出装置を
用い、所定領域としての区画領域119に対応する機能性材料(PEDOT/有機EL材
料)を含む液状体を配置して製造することができる。
これにより、本実施形態では、スジ状の(1次元的な)ムラの発生が抑えられた高い表
示品質を有する有機EL装置110を製造することが可能になる。
以上、図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記
実施形態に限定されるものではない。上述した実施形態において示した各構成部材の諸形
状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等
に基づき種々変更可能である。
上記実施形態では、DAC選択回路32に対して、駆動するD/Aコンバータ31を選
択するためのDAC選択信号DNのみを入力する構成とし、各D/Aコンバータ31から
同一波形の駆動信号COMが出力される構成とした。しかし、本発明に係る液滴吐出装置
は、上記構成に限定されず、複数のD/Aコンバータ31が互いに異なる波形の駆動信号
COMを出力する構成とすることも可能である。
D/Aコンバータ31から出力される駆動信号COMの波形を変更させるには、DAC
選択回路32に複数の波形データを記憶しておき、外部からの信号入力により任意の波形
データを選択可能に構成すればよい。この場合例えば、DAC選択回路32に4種類の波
形データWD1〜WD4を記憶した構成とすることができる。そして、データメモリ33
からDAC選択回路32に送信されるDAC選択信号DNを、駆動させるD/Aコンバー
タ31の番号情報と、選択したD/Aコンバータ31に対して出力する波形データの番号
情報(2ビット)とを含むデータとすればよい。
上記のように、複数のD/Aコンバータ31から異なる波形の駆動信号COMを出力可
能に構成すれば、ノズル21ごとに吐出量を微調整することができ、ノズル列21A、2
1B全体で均一な吐出量を得ることができ、基板P上に配置される液状体の量をさらに高
精度に制御することができる。
本発明に係る液滴吐出装置の要部構成を示す図。 吐出ヘッドの配置を示す図。 ノズルの走査軌跡と吐出対象物との関係を示す図。 ヘッド駆動に係る液滴吐出装置の電気的構成を示す図。 駆動信号及び制御信号のタイミング図。 本発明に係る液滴吐出装置の電気的構成を示す図。 本発明に係る液滴吐出装置の駆動方法を示すフローチャート。 ビットマップデータの構成を示す説明図。 有機EL装置の断面構成を示す図。 従来の液状体配置方法の説明図。 従来の液状体配置方法の説明図。 駆動信号の波形についての説明図。
符号の説明
10 ヘッドユニット、11,12 吐出ヘッド、16 圧電素子(駆動素子)、17
スイッチング回路(素子駆動部)、18 駆動信号選択回路(駆動信号選択部)、21
ノズル、21d ダミーノズル、21A,21B ノズル列、30 制御回路基板、3
1 D/Aコンバータ(駆動信号出力部)、32 DAC選択回路(出力選択部)、33
データメモリ、150 制御部、200 液滴吐出装置、201 ガイドレール、20
3 主走査移動台、204 副走査移動台、205 ステージ、207,208 回転機
構、209 キャリッジ、COM 駆動信号、DN DAC選択信号、SIA 吐出デー
タ、SIB 駆動信号選択データ

Claims (17)

  1. 複数のノズルを有する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドを駆動制御する制御部とを備えた
    液滴吐出装置であって、
    複数の前記ノズルのそれぞれに対応して設けられた駆動素子と、各々が複数の前記駆動
    素子に対して駆動信号を出力可能である複数の駆動信号出力部と、を有しており、
    前記制御部は、前記吐出ヘッドから液状体を吐出させるに際して、前記吐出ヘッドで吐
    出に使用される最小のノズル数をnとしたとき、それぞれの前記駆動信号出力部に対して
    割り当てられる前記駆動素子の数がn個以上となる範囲で最大数の前記駆動信号出力部を
    使用し、かつ使用される前記駆動信号出力部に対して略均等に前記駆動素子を割り当てる
    ことを特徴とする液滴吐出装置。
  2. 複数のノズルを有する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドを駆動制御する制御部とを備えた
    液滴吐出装置であって、
    複数の前記ノズルのそれぞれに対応して設けられた駆動素子と、各々が複数の前記駆動
    素子に対して駆動信号を出力可能である複数の駆動信号出力部と、を有しており、
    前記制御部は、前記吐出ヘッドから液状体を吐出させるに際して、前記吐出ヘッドにお
    いて吐出に使用される最大のノズル数がN、前記駆動信号出力部の数がXである場合に、
    吐出動作で使用される前記ノズルの数がM個であるときに使用される前記駆動信号出力
    部の数Yを、ほぼM/(N/X)個に設定し、かつ使用される前記駆動信号出力部に対し
    て略均等に前記駆動素子を割り当てることを特徴とする液滴吐出装置。
  3. 前記駆動素子をスイッチングするとともに前記駆動信号出力部から出力される前記駆動
    信号を前記駆動素子に入力する素子駆動部と、
    前記素子駆動部と接続され、複数の前記駆動素子に対して複数の前記駆動信号出力部の
    いずれか1つを選択的に接続する駆動信号選択部と、
    複数の前記駆動信号出力部を選択的に動作させる出力選択部と、
    を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の液滴吐出装置。
  4. 前記吐出ヘッドにおいて吐出に使用される最大のノズル数Nと前記駆動信号出力部の数
    Xとが、X≧N/nなる関係である場合に、
    吐出動作で使用される前記ノズルの数がM個であるときに使用される前記駆動信号出力
    部の数YがほぼM/n個であり、
    使用される前記駆動信号出力部のそれぞれに対して割り当てられる前記駆動素子の数が
    ほぼM/Y個であることを特徴とする請求項1又は3に記載の液滴吐出装置。
  5. 前記吐出ヘッドにおいて吐出に使用される最大のノズル数Nと前記駆動信号出力部の数
    Xとが、X<N/nなる関係である場合に、
    吐出動作で使用される前記ノズルの数がM個であるときに使用される前記駆動信号出力
    部の数Yが、M/n≧XのときにX個である一方、M/n<XのときにほぼM/n個であ
    り、
    使用される前記駆動信号出力部のそれぞれに対して割り当てられる前記駆動素子の数が
    ほぼM/Y個であることを特徴とする請求項1又は3に記載の液滴吐出装置。
  6. 前記N/nが自然数であることを特徴とする請求項4又は5に記載の液滴吐出装置。
  7. 前記駆動信号出力部をN個備えることを特徴とする請求項4から6のいずれか1項に記
    載の液滴吐出装置。
  8. 複数の前記駆動信号出力部が、同一波形の前記駆動信号を出力することを特徴とする請
    求項1から7のいずれか1項に記載の液滴吐出装置。
  9. 前記出力選択部が、複数の前記駆動信号出力部に対して、複数の異なる波形の前記駆動
    信号を供給可能であることを特徴とする請求項3から8のいずれか1項に記載の液滴吐出
    装置。
  10. 複数のノズルを有する吐出ヘッドと、複数の前記ノズルのそれぞれに対応して設けられ
    た駆動素子と、各々が複数の前記駆動素子に対して駆動信号を出力可能である複数の駆動
    信号出力部と、を備えた液滴吐出装置の駆動方法であって、
    前記吐出ヘッドから液状体を吐出させるに際して、前記吐出ヘッドで吐出に使用される
    最小のノズル数をnとしたとき、それぞれの前記駆動信号出力部に対して割り当てられる
    前記駆動素子の数がn個以上となる範囲で最大数の前記駆動信号出力部を使用し、かつ使
    用される前記駆動信号出力部に対して略均等に前記駆動素子を割り当てることを特徴とす
    る液滴吐出装置の駆動方法。
  11. 複数のノズルを有する吐出ヘッドと、複数の前記ノズルのそれぞれに対応して設けられ
    た駆動素子と、各々が複数の前記駆動素子に対して駆動信号を出力可能である複数の駆動
    信号出力部と、を備えた液滴吐出装置の駆動方法であって、
    前記吐出ヘッドから液状体を吐出させるに際して、前記吐出ヘッドにおいて吐出に使用
    される最大のノズル数がN、前記駆動信号出力部の数がXである場合に、
    吐出動作で使用される前記ノズルの数がM個であるときに使用される前記駆動信号出力
    部の数Yを、ほぼM/(N/X)個に設定し、かつ使用される前記駆動信号出力部に対し
    て略均等に前記駆動素子を割り当てることを特徴とする液滴吐出装置の駆動方法。
  12. 複数のノズルを有する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドの複数の前記ノズルのそれぞれに
    対応して設けられた駆動素子と、各々が複数の前記駆動素子に対して駆動信号を出力可能
    である複数の駆動信号出力部と、を備えた液滴吐出装置の駆動方法であって、
    上位装置から入力されるビットマップデータに基づいて、前記吐出ヘッドにおける吐出
    タイミングごとの吐出データを算出する第1ステップと、
    複数の前記吐出データから最大使用ノズル数Nと最小使用ノズル数nとを取得する第2
    ステップと、
    前記最大使用ノズル数Nと最小使用ノズル数nとに基づいて吐出動作に使用する前記駆
    動信号出力部の数Yを算出する第3ステップと、
    使用される前記駆動信号出力部のそれぞれに対して、吐出に係る前記駆動素子を略均等
    に割り当る第4ステップと、
    を有することを特徴とする液滴吐出装置の駆動方法。
  13. 前記最大使用ノズル数Nと前記駆動信号出力部の数Xとが、X≧N/nなる関係である
    場合に、
    前記第3ステップにおいて、前記吐出動作で使用される前記ノズルの数がM個であると
    きに使用される前記駆動信号出力部の数YをほぼM/n個に設定し、
    前記第4ステップにおいて、使用される前記駆動信号出力部のそれぞれに対して割り当
    てられる前記駆動素子の数をほぼM/Y個に設定することを特徴とする請求項12に記載
    の液滴吐出装置の駆動方法。
  14. 前記吐出ヘッドにおいて吐出に使用される最大のノズル数Nと前記駆動信号出力部の数
    Xとが、X<N/nなる関係である場合に、
    前記第3ステップにおいて、吐出動作で使用される前記ノズルの数がM個であるときに
    使用される前記駆動信号出力部の数Yを、M/n≧XのときにはX個に設定する一方、M
    /n<XのときにはほぼM/n個に設定し、
    前記第4ステップにおいて、使用される前記駆動信号出力部のそれぞれに対して割り当
    てられる前記駆動素子の数をほぼM/Y個に設定することを特徴とする請求項12に記載
    の液滴吐出装置の駆動方法。
  15. 複数の前記駆動信号出力部から、同一波形の前記駆動信号を出力することを特徴とする
    請求項10から14のいずれか1項に記載の液滴吐出装置の駆動方法。
  16. 請求項1から9のいずれか1項に記載の液滴吐出装置を用いて、基板上の所定位置に液
    状体を配置することを特徴とする液状体配置方法。
  17. 請求項1から9のいずれか1項に記載の液滴吐出装置を用いて、基板上の所定位置に色
    材を含む液状体を配置することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
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