JP2010274177A

JP2010274177A - 液滴吐出方法及び液滴吐出装置

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Publication number: JP2010274177A
Application number: JP2009127582A
Authority: JP
Inventors: Ryotaro Matsuyama; 良太郎松山
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2009-05-27
Filing date: 2009-05-27
Publication date: 2010-12-09
Anticipated expiration: 2029-05-27
Also published as: US8728570B2; TW201103648A; US20100302294A1; CN101898452B; KR101719558B1; KR20100128241A; TWI541077B; JP5423148B2; CN101898452A

Abstract

【課題】各描画領域における液状体の吐出量の調節をより容易にした液滴吐出方法及び液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】液滴吐出ヘッドをマザー基板に対して相対的に移動させながら液状体を吐出する走査工程を備え、走査工程は、複数のノズルＮを同一の描画領域５４に対向するノズルＮごとにグループ分けして複数のノズルグループＮＧＡ〜ＮＧＤを形成するグループ分け工程と、ノズルグループＮＧＡ〜ＮＧＤを構成するノズルＮから吐出される液状体の吐出量の平均値が複数のノズルグループＮＧＡ〜ＮＧＤ間で略均等になるようにノズルＮから吐出される液状体の吐出量を補正する補正工程と、を有する。
【選択図】図７

Description

本発明は、液滴吐出方法及び液滴吐出装置に関する。

近年、液滴吐出ヘッドによってインクを吐出するインクジェット方式を用いてカラーフィルタを製造することが提案されている（例えば、特許文献１参照）。この製造方法では、基板に対して相対的に移動する液滴吐出ヘッドに設けられた複数のノズルから色材を含む液状体（液滴）を吐出させて液状体を配置（描画）し、さらに配置された液状体を乾燥などによって固化させて画素に対応した着色膜を形成している。

ところで、インクジェット法を用いた製造方法では、複数のノズルからの液状体の吐出量にわずかながらのバラツキが生じる。そして、液状体の吐出量のバラツキを有する状態で描画すると、カラーフィルタに筋状の濃淡ムラが生ずる場合がある。このような筋ムラは視認されやすいため、カラーフィルタを介して表示される画像の画質が低下する。そこで、液滴吐出ヘッドに供給する駆動信号を調節することによって各ノズルから吐出される液状体の吐出量を均一にして各ノズル間の吐出量のバラツキを低減する補正が行われている。

特開平１１−２４８９２７号公報

しかしながら、上記従来の液滴吐出方法においても、以下の課題が残されている。すなわち、液滴吐出ヘッドに供給する駆動信号では、各ノズルから吐出される液状体の吐出量を段階的に調節している。そのため、例えば液状体の吐出量を４段階で調節する場合には、各ノズルから吐出される液状体の吐出量のバラツキを調節前のバラツキの１／４以下にすることができない。そのため、各ノズルから吐出される液状体の吐出量を完全に均一にすることは困難である。したがって、依然として筋状の濃淡ムラが発生するという問題がある。

本発明は、上記従来の問題に鑑みてなされてもので、各描画領域における液状体の吐出量の調節をより容易にした液滴吐出方法及び液滴吐出装置を提供することを目的とする。

本発明は、前記課題を解決するために以下の構成を採用した。すなわち、本発明にかかる液滴吐出方法は、複数のノズルが形成された液滴吐出ヘッドを基板に対して相対的に移動させながら前記ノズルから前記基板に区画された複数の描画領域に液状体を吐出する液滴吐出方法であって、前記液滴吐出ヘッドを前記基板に対して相対的に移動させながら前記液状体を吐出する走査工程を備え、前記走査工程は、複数の前記ノズルを同一の前記描画領域に対向する前記ノズルごとにグループ分けして複数のノズルグループを形成するグループ分け工程と、前記ノズルグループを構成する前記ノズルから吐出される前記液状体の吐出量の平均値が複数の前記ノズルグループ間で略均等になるように前記ノズルから吐出される前記液状体の吐出量を補正する補正工程と、を有することを特徴とする。

また、本発明にかかる液滴吐出装置は、複数のノズルが形成された液滴吐出ヘッドを基板に対して相対的に移動させながら前記ノズルから前記基板に区画された複数の描画領域に液状体を吐出する液滴吐出装置であって、前記液滴吐出ヘッドを前記基板に対して相対的に移動させる移動機構と、複数の前記ノズルを同一の前記描画領域に対向する前記ノズルごとに複数のノズルグループにグループ分けし、前記ノズルグループを構成する前記ノズルから吐出される前記液状体の吐出量の平均値が複数の前記ノズルグループ間で略均等になるように前記ノズルから吐出される前記液状体の吐出量を補正する補正手段と、を備えることを特徴とする。

この発明では、ノズルグループごとで吐出量の平均値を補正することで描画領域への吐出量の制御がより容易になる。すなわち、一のノズルグループを構成するノズルにおける吐出量の平均値と他のノズルグループを構成するノズルにおける吐出量の平均値とを同等にすることによって、各描画領域に吐出された液状体の液面の高さが均等になる。このように、ノズルグループを構成する一のノズルから吐出される液状体の吐出量が多くても他のノズルから吐出される液状体の吐出量を少なくすることで、ノズルグループ全体としての吐出量の平均値を所望値とすることができる。このため、各ノズルにおける吐出量が所定量となるように補正する場合と比較して、ノズルグループ全体として吐出量の平均値をより微細に補正できる。したがって、各描画領域に吐出された液状体の液面の高さがより均等になり、筋状の濃淡ムラの発生をより確実に抑制できる。

また、本発明にかかる液滴吐出方法は、前記補正工程では、前記ノズルそれぞれの吐出量を段階的に補正すすることとしてもよい。
また、本発明にかかる液滴吐出装置は、前記補正手段は、前記ノズルそれぞれの吐出量を段階的に補正することしてもよい。
この発明では、各ノズルから吐出される液状体の吐出量を段階的に補正することによって各ノズルグループにおけるノズルから吐出される液状体の吐出量の平均値が所定量となるように補正する。そのため、段階的に補正することによって各ノズルから吐出される液状体の吐出量を微細に補正できなくても、ノズルグループ全体としての吐出量の平均値を微細に補正できる。

本発明の一実施形態における液滴吐出装置を示す斜視図である。液滴吐出ヘッドの構成を示す図である。駆動信号の波形を示す図である。駆動信号の波形と液状体の吐出量との関係を説明する図である。カラーフィルタ及びカラーフィルタ基板を示す概略平面図である。カラーフィルタ層の配置を示す平面図である。液滴吐出方法を説明する説明図である。液滴吐出方法を説明する概略平面図である。

以下、本発明における液滴吐出方法及び液滴吐出装置の一実施形態を、図面に基づいて説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするために縮尺を適宜変更している。

［液滴吐出装置］
まず、本実施形態における液滴吐出装置について説明する。
液滴吐出装置１は、図１に示すように、例えばインクジェット方式により後述するマザー基板（基板）５１の所定領域に液状体を吐出して後述するカラーフィルタ層５５を形成する装置である。そして、液滴吐出装置１は、装置架台１１と、ワークステージ１２と、ステージ移動装置（移動機構）１３と、キャリッジ１４と、液滴吐出ヘッド１５と、キャリッジ移動装置（移動機構）１６と、チューブ１７と、第１から第３タンク１８〜２０と、制御装置２１と、を備えている。

装置架台１１は、ワークステージ１２及びステージ移動装置１３の支持台である。ワークステージ１２は、装置架台１１上においてステージ移動装置１３によって主走査方向であるＸ方向に移動可能に設置されており、上流側の搬送装置（図示略）から搬送されるマザー基板５１を真空吸着機構によってＸＹ平面上に保持する。
ステージ移動装置１３は、リニアガイド及びボールネジなどの直動機構を備えており、制御装置から入力されるワークステージ１２の移動先のＸ座標を示すステージ位置制御信号に基づいて、ワークステージ１２をＸ方向に移動させる。
キャリッジ１４は、液滴吐出ヘッド１５を保持しており、キャリッジ移動装置１６によって副走査方向であるＹ方向及びＺ方向に移動可能に設けられている。

液滴吐出ヘッド１５は、液状体のＲ（赤）、Ｇ（緑）及びＢ（青）に対応して設けられており、それぞれキャリッジ１４を介してチューブ１７と連結されている。
そして、Ｒ（赤）に対応する液滴吐出ヘッド１５には、チューブ１７を介して第１タンク１８からＲ（赤）用の液状体が供給され、Ｇ（緑）に対応する液滴吐出ヘッド１５には、チューブ１７を介して第２タンク１９からＧ（緑）用の液状体が供給され、Ｂ（青）に対応する液滴吐出ヘッド１５には、チューブ１７を介して第３タンク２０からＢ（青）用の液状体が供給される。

液滴吐出ヘッド１５は、図２（ａ）に示すように、Ｙ方向で等間隔に配列された複数（例えば１８０）のノズルＮ_１〜Ｎ_１８０（以下、総称してノズルＮと称することもある）を備えている。これらノズルＮ_１〜Ｎ_１８０によってノズル列ＮＡが形成される。
なお、液滴吐出ヘッド１５は、ノズル列ＮＡを１列のみ備えているが、複数列備えていてもよく、ノズル列ＮＡを構成するノズルＮの数は、１８０に限られない。また、キャリッジ１４内に配置される液滴吐出ヘッド１５の数は、任意に変更可能である。さらに、キャリッジ１４は、サブキャリッジ単位で複数設けられてもよい。
ここで、複数のノズルＮ_１〜Ｎ_１８０のうち両端のノズル（例えばノズルＮ_１〜Ｎ_９、ノズルＮ_１７１〜Ｎ_１８０）については、液状体の吐出量のバラツキが大きいことから、液状体の吐出に使用しない場合があってもよい。

液滴吐出ヘッド１５は、図２（ｂ）に示すように、チューブ１７に連結される材料供給孔３１ａが設けられた振動板３１と、ノズルＮ_１〜Ｎ_１８０が設けられたノズルプレート３２と、振動板３１及びノズルプレート３２の間に設けられたリザーバ３３と、複数の隔壁３４と、複数の液溜部３５と、を備えている。
振動板３１上には、各ノズルＮ_１〜Ｎ_１８０に対応して駆動素子ＰＺ_１〜ＰＺ_Ｎ（以下、総称して駆動素子ＰＺと称することもある）が配置されている。駆動素子ＰＺは、例えばピエゾ素子である。

リザーバ３３には、材料供給孔３１ａを介して供給される液状体が充填されるようになっている。
液溜部３５は、振動板３１と、ノズルプレート３２と、一対の隔壁３４とによって囲まれることによって形成されている。また、液溜部３５は、各ノズルＮ_１〜Ｎ_１８０に１対１で対応して形成されている。さらに、各液溜部３５には、一対の隔壁３４間に設けられた供給口３５ａを介して、リザーバ３３から液状体が導入されるようになっている。

駆動素子ＰＺは、図２（ｃ）に示すように、圧電材料３６と圧電材料を挟持する一対の電極３７とを備えている。そして、駆動素子ＰＺは、一対の電極３７間に駆動信号を印加することで圧電材料３６を収縮させ、圧電材料３６の収縮によって振動板３１を駆動素子ＰＺと共に同時に外側（液溜部３５の反対側）へ撓曲させて液溜部３５の容積を増大させる構成となっている。
したがって、液溜部３５内に増大した容積分に相当する液状体がリザーバ３３から供給口３５ａを介して流入する。また、このような状態から駆動素子ＰＺへの駆動信号の印加を停止すると、駆動素子ＰＺ及び振動板３１は、元の形状に戻り、液溜部３５も元の容積に戻る。これにより、液溜部３５内の液状体の圧力が上昇し、ノズルＮ_１からマザー基板５１に向けて液状体の液滴Ｌが吐出される。

キャリッジ移動装置１６は、図１に示すように、装置架台１１を跨ぐ橋梁構造をなしており、Ｙ方向及びＺ方向に沿ってリニアガイド及びボールネジなどの直動機構を備え、制御装置２１から入力されるキャリッジ１４の移動先のＹ座標及びＺ座標を示すキャリッジ位置制御信号に基づいてキャリッジ１４をＹ方向及びＺ方向に移動させる。

チューブ１７は、第１から第３タンク１８〜２０とキャリッジ１４とを連結する液状体の供給用チューブである。
第１タンク１８は、Ｒ（赤）用の液状体を貯蔵すると共にチューブ１７を介してＲ（赤）に対応する液滴吐出ヘッド１５に液状体を供給する。第２タンク１９は、Ｇ（緑）用の液状体を貯蔵すると共にチューブ１７を介してＧ（緑）に対応する液滴吐出ヘッド１５に液状体を供給する。第３タンク２０は、Ｂ（青）用の液状体を貯蔵すると共にチューブ１７を介してＢ（青）に対応する液滴吐出ヘッド１５に液状体を供給する。

制御装置２１は、液滴吐出ヘッド１５の走査を制御する走査制御部４１と、各ノズルＮからの液状体の吐出を制御する吐出制御部（補正手段）４２と、を備えている。
走査制御部４１は、ワークステージ１２の移動によるマザー基板５１の位置決め動作と、キャリッジ１４の移動による液滴吐出ヘッド１５の位置決め動作とを制御する走査制御部４１と、を制御する。走査制御部４１は、ステージ移動装置１３にステージ位置制御信号を出力してマザー基板５１の位置決め動作を行い、キャリッジ移動装置１６にキャリッジ位置制御信号を出力して液滴吐出ヘッド１５の位置決め動作を行う。

吐出制御部４２は、液滴吐出ヘッド１５に描画データ及び駆動信号を出力し、各ノズルＮから液状体を吐出させる。また、吐出制御部４２は、各ノズルＮに対応する各圧電素子ＰＺに４種の駆動信号を供給し、各ノズルＮからの吐出量を４段階で制御する。ここで、各ノズルＮに対応する駆動素子ＰＺに対して同一の駆動信号を供給して液状体を吐出させると、各ノズルＮから吐出される液状体の吐出量には、バラツキが発生する。そこで、吐出制御部４２は、後述する同一の描画領域５４上に位置する複数のノズルＮごとに複数のノズルＮを複数のノズルグループＮＧ（ノズルグループＮＧＡ〜ＮＧＤ）（図７参照）にグループ分けする。そして、各ノズルグループＮＧを構成する複数のノズルＮから吐出される液状体の吐出量の平均値が所定量となるように駆動信号を選択して各圧電素子ＰＺに供給する。

具体的には、吐出制御部４２は、図３に示すような波形を有する駆動信号における電圧成分によって各ノズルＮからの液状体の吐出量を補正している。
図３における立上り期間ｔ_１では、ノズルＮに隣接する液溜部３５の容積が増大し、液状体が液溜部３５内に供給される。ここで、立上り期間ｔ_１では、液溜部３５の容積の増大によってメニスカスの位置も液溜部３５側に移動する。この移動量は、立上り期間ｔ_１が短いほど大きい。これは、立上り期間ｔ_１が短いほど勢いよくメニスカスが液溜部３５内に引き込まれるからである。そのため、図４（ａ）に示すように、メニスカスを液溜部３５側に大きく移動させ、そのまま素早く吐出動作に移れば、液状体の吐出量はメニスカスが引き込まれた分だけ少なくなる。逆に、立上り期間ｔ_１を長くして液溜部３５側へのメニスカスの移動量を小さくすると、メニスカスの引き込み量が少ない分だけ液状体の吐出量が多くなる。

立ち上がる前の電位Ｖ_Ｍ（中間電位）は、メニスカスの移動量に影響する。図４（ｂ）に示すように、中間電位Ｖ_Ｍを充電状態の電位Ｖ_Ｈに近づけて電位差Ｖ_ＨＭを小さくすると、立上り期間ｔ_１を短くしてもメニスカスの移動がほとんど生じない。そのため、素早く吐出動作に移っても、液状体の吐出量がほとんど変化しない。一方、電位差Ｖ_ＨＭを大きくすると、メニスカスの移動量が大きくなるため、素早く吐出動作に移ると、メニスカスが引き込まれた分だけ吐出量が少なくなる。

液溜部３５側に引き込まれたメニスカスは、液溜部３５の容積変動が終了すると、元の位置に戻ろうとし、メニスカスは元の位置を基準として振動する。そのため、メニスカスが液溜部３５側に振動したタイミングで吐出動作に移ると、メニスカスが引き込まれている分だけ吐出量が少なくなる。一方、メニスカスが液溜部３５とは反対側に振動しているタイミングで吐出動作に移ると、メニスカスが外部に大きく張り出している分だけ吐出量が多くなる。したがって、図４（ｃ）に示すように、吐出量は、保持期間ｔ_２の増大に伴って増減を繰り返す周期的な変動を示す。

図３における立下り期間ｔ_３は、液状体をノズルＮから外部に押出すときの加圧力に影響する。立下り期間ｔ_３が短い場合には、加圧力が大きくなり、立下り期間ｔ_３が長い場合には、加圧力が小さくなる。図４（ｄ）に示すように、加圧力が大きい場合には、液状体は勢いよくノズルＮから飛び出すため、その分吐出量が多くなる。逆に加圧力が小さい場合には、液状体がゆっくり押出されるため、その分吐出量が少なくなる。
以上のように、メニスカスの挙動による吐出量の変動を積極的に利用し、駆動信号を制御することによって液状体の吐出量を補正できる。本実施形態では、駆動信号の各段階で中間電位Ｖ_Ｍを段階的に変更することにより、液状体の吐出量を補正する。なお、駆動信号の各段階で他の条件を段階的に変更することによって液状体の吐出量を補正してもよい。

［カラーフィルタ］
次に、以上のような構成の液滴吐出装置１を用いて製造されるカラーフィルタについて説明する。
カラーフィルタ５０は、図５（ａ）及び図５（ｂ）に示すように、ガラス、プラスチックなどで形成された大面積のマザー基板５１に複数のパネル領域ＣＡが設けられたカラーフィルタ基板５２をパネル領域ＣＡごとに分割することによって製造される。
パネル領域ＣＡは、マトリクス状に配置されており、バンク５３によって区画された複数の描画領域５４を有する。描画領域５４は、マトリクス状に配置されており、内部にカラーフィルタ層５５が形成されている。

カラーフィルタ層５５の配列は、一方向で同色となっており、これと直交する方向でＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の順で繰り返されている。すなわち、カラーフィルタ層５５の配列は、一方向で直線状に設けられた同色のカラーフィルタ層５５がこれと直交する方向で交互に配列された、ストライプ型となっている。
なお、カラーフィルタ層５５の配置は、図６（ａ）に示すようなストライプ型に限らず、図６（ｂ）に示すようなモザイク型や図６（ｃ）に示すようなデルタ型など、他の配置であってもよい。

［液滴吐出方法］
次に、以上のような構成の液滴吐出装置１を用いた液滴吐出方法について説明する。本実施形態では、液滴吐出方法を用いてカラーフィルタを製造する。
まず、図１に示すように、バンク５３が形成されたマザー基板５１をワークステージ１２上に載置し、マザー基板５１の上面と液滴吐出ヘッド１５とを対向させる。

そして、ステージ移動装置１３及びキャリッジ移動装置１６をマザー基板５１に対して相対的に移動（走査）させながら液滴吐出ヘッド１５の複数のノズルＮから描画領域５４に向けて液状体を吐出させる（走査工程）。ここでは、液滴吐出ヘッド１５は、マザー基板５１に対して図８に示す主走査方向である矢印Ａ１に沿って相対的に移動しながら、マザー基板５１上に区画された各描画領域５４に液状体を吐出する。

描画領域５４それぞれがマザー基板５１においてマトリクス状に配列されているため、液滴吐出ヘッド１５におけるすべてのノズルＮから同時に液状体を吐出するわけではない。そのため、複数のノズルＮには、図７に示すように、描画領域５４上に位置することによって液状体を吐出するノズルＮ（吐出ノズル）と、描画領域５４上に位置しないことによって液状体を吐出しないノズルＮ（非吐出ノズル）とが存在する。そして、吐出制御部４２は、複数のノズルＮを同一の描画領域５４上に位置するノズルＮごとにノズルグループＮＧにグループ分けする（グループ分け工程）。

また、本実施形態では、図７に示すように、各ノズルＮの吐出量にバラツキが発生している。すなわち、ノズルグループＮＧＡを構成するノズルＮから吐出される液状体の吐出量の平均値とノズルグループＮＧＢにおける吐出量の平均値とは、ほぼ同等となっているが、ノズルグループＮＧＣにおける吐出量の平均値は多く、ノズルグループＮＧＤにおける吐出量の平均値は少なくなっている。

そこで、吐出制御部４２は、ノズルグループＮＧを構成するノズルＮから吐出される液状体の吐出量の平均値が各ノズルグループＮＧにおいて所定量で均等になるように各ノズルＮに対応する駆動素子ＰＺに供給する駆動信号を選択する。すなわち、吐出制御部４２は、ノズルグループＮＧＣを構成するノズルＮに対応する駆動素子ＰＺに供給する駆動信号を４階調の中から選択し、ノズルグループＮＧＣを構成するノズルＮから吐出される液状体の吐出量の平均値を減少させる。また、吐出制御部４２は、同様にノズルグループＮＧＤを構成するノズルＮから吐出される液状体の吐出量の平均値を増大させる。

このようにして、各ノズルグループＮＧにおいてそれぞれのノズルグループＮＧを構成するノズルＮから吐出される液状体の吐出量の平均値が所定量となるように補正される。なお、吐出制御部４２は、ノズルグループＮＧを構成する複数のノズルＮの一部に対して吐出量の補正を行ってもよく、ノズルグループＮＧを構成する複数のノズルＮのすべてに対して吐出量の補正を行ってもよい。
このように、各ノズルグループＮＧにおけるノズルＮから吐出される液状体の吐出量の平均値が所定量となるように補正することで、各描画領域５４に吐出された液状体による液面の高さが均一になる。

その後、液滴吐出ヘッド１５は、副走査方向であるＹ方向で相対的に所定距離だけ移動され、再び主走査方向である矢印Ａ２に沿って相対的に移動される。このとき、吐出制御部４２は、複数のノズルＮを改めてグループ分けし、上述と同様に各ノズルＮから吐出される液状体の吐出量を補正する。ここで、各描画領域５４における液状体の液面の高さが均等になるため、筋状の濃淡ムラの発生が抑制されたカラーフィルタ層５５が形成される。

なお、液滴吐出ヘッド１５は、副走査方向であるＹ方向に沿って配置されているが、ノズルＮのピッチと描画領域５４のピッチとを所定の対応関係とするためにＹ方向に対して斜めに傾けられてもよい。また、吐出量の平均値が複数のノズルグループＮＧ間で略均等としてもよい。
以上のようにして、カラーフィルタ基板５２を製造する。その後、パネル領域ＣＡごとにマザー基板５１を分割して個別のカラーフィルタ５０を製造する。

以上のように、本実施形態における液滴吐出方法及び液滴吐出装置１では、一のノズルグループＮＧを構成するノズルＮにおける吐出量の平均値を他のノズルグループＮＧを構成するノズルＮにおける吐出量の平均値と同等にすることで、液状体の吐出量を４段階で段階的に補正するような場合であっても、ノズルグループＮＧ全体として吐出量の平均値のバラツキを１／４以下にすることができる。そのため、各ノズルＮにおける吐出量を均等にする場合と比較して、ノズルグループＮＧ全体として吐出量の平均値をより微細に補正できる。したがって、各描画領域５４に吐出された液状体の液面の高さがより均等になり、筋状の濃淡ムラの発生をより確実に抑制できる。

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
例えば、吐出制御部は、各ノズルから吐出される液状体の吐出量を４段階で補正しているが、少なくとも２段階で補正できればよく、多段階で補正してもよい。
液滴吐出装置及び液滴吐出方法は、カラーフィルタにおけるカラーフィルタ層の形成に用いられているが、例えば有機ＥＬ装置における発光層を構成する各層の形成など、液状体を基板上の所定領域に吐出することによって薄膜を形成するものであれば、他の用途に用いられてもよい。
移動機構は、ステージ移動装置及びキャリッジ移動装置によって構成されているが、液滴吐出ヘッドがマザー基板に対して相対的に移動できればよく、キャリッジ移動装置がＸＹ面内で移動可能である構成など、他の構成であってもよい。

１液滴吐出装置、１３ステージ移動装置（移動機構）、１５液滴吐出ヘッド、１６キャリッジ移動装置（移動機構）、４１走査制御部（制御手段）、４２吐出制御部（補正手段）、５１マザー基板（基板）、５４描画領域、Ｎ，Ｎ_１〜Ｎ_１８０ノズル、ＮＧ、ＮＧＡ〜ＮＧＤノズルグループ

Claims

複数のノズルが形成された液滴吐出ヘッドを基板に対して相対的に移動させながら前記ノズルから前記基板に区画された複数の描画領域に液状体を吐出する液滴吐出方法であって、
前記液滴吐出ヘッドを前記基板に対して相対的に移動させながら前記液状体を吐出する走査工程を備え、
前記走査工程は、複数の前記ノズルを同一の前記描画領域に対向する前記ノズルごとにグループ分けして複数のノズルグループを形成するグループ分け工程と、前記ノズルグループを構成する前記ノズルから吐出される前記液状体の吐出量の平均値が複数の前記ノズルグループ間で略均等になるように前記ノズルから吐出される前記液状体の吐出量を補正する補正工程と、を有することを特徴とする液滴吐出方法。
前記補正工程では、前記ノズルそれぞれの吐出量を段階的に補正することを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出方法。
複数のノズルが形成された液滴吐出ヘッドを基板に対して相対的に移動させながら前記ノズルから前記基板に区画された複数の描画領域に液状体を吐出する液滴吐出装置であって、
前記液滴吐出ヘッドを前記基板に対して相対的に移動させる移動機構と、
複数の前記ノズルを同一の前記描画領域に対向する前記ノズルごとに複数のノズルグループにグループ分けし、前記ノズルグループを構成する前記ノズルから吐出される前記液状体の吐出量の平均値が複数の前記ノズルグループ間で略均等になるように前記ノズルから吐出される前記液状体の吐出量を補正する補正手段と、を備えることを特徴とする液滴吐出装置。
前記補正手段は、前記ノズルそれぞれの吐出量を段階的に補正することを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出装置。