JP2011067765A - 塗布方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】インクを塗布する個々の塗布対象(画素要素)の上方を、予め吐出量が測定された複数のノズルが用意された塗布ヘッドバー5を移動させ、そのノズルのうちから所定の塗布量になるように選択されたノズルからインクを吐出して塗布を行う。従って、どの画素もインクの塗布量が規定の値に極めて近いインクを塗布することができる。
【選択図】図4
Description
平面上に格子状の画素が設けられた塗布対象物上を予め個々の吐出量が測定されたノズルを有する塗布ヘッドを複数有するヘッドモジュールを通過させながら画素毎にインクを塗布する塗布方法であって、
前記画素を通過する前記ノズルを特定する工程と、
前記特定されたノズルから前記画素に塗布する吐出量の和が所定の値、もしくは所定範囲内の値になるように前記ノズルを選択する工程と、
前記選択されたノズルで前記画素にインクを塗布する工程を有する塗布方法を提供する。
図1は、本願発明の一実施形態に係る塗布装置としてのカラーフィルタ製造装置の外観を示す斜視図である。このカラーフィルタ製造装置は、機台30上に吸着テーブル3(保持ステージ)、塗布ガントリー4、カメラガントリー6が配置されている。保持ステージである吸着テーブル3は、カラーフィルタ基板であるガラス基板2を吸着保持するものである。このガラス基板2を所定の位置に位置決めするため、図示しない駆動機構、ガイド機構によって、XY平面上でZ軸周りに回転駆動されるとともに、副走査方向(Y方向)に駆動される。
次に、本発明の塗布装置に用いられるヘッドモジュールの構成について説明する。図2は、本願発明に係る塗布装置のヘッドバーに組み込まれた複数のヘッドモジュール11の配列状態を模式的に示す平面配置図であり、図3は、このヘッドモジュール11における塗布ヘッド12の配列状態を模式的に示す平面配置図である。
図5は、ヘッドモジュール11、塗布ヘッド12とノズル13および塗布される画素40を模式的に示す図である。ヘッドモジュールは5つの塗布ヘッド12から構成されている場合を示す。なお、図5で示したのはヘッドモジュールの一部である。図5では、塗布対象物である2画素分の範囲のノズルだけを示す。画素は赤R41、緑G42、青B43の3つの領域で1つの画素を構成する。もちろん、より多くの領域で画素を構成してもよい。なお、画素を構成する色の異なる領域を「画素要素」と呼ぶ。なお、本明細書を通じて画素要素に塗布するとは、画素に塗布すると同義として扱う。
本実施の形態では、画素要素毎に塗布するインク量は所定値でありながら、使用するノズルを画素要素毎に変更する塗布方法について説明を行う。カラーフィルタにおいて、塗布ムラが生じるのは、塗布ヘッドのノズル毎の微妙なインク吐出量の違いから、画素毎のインク塗布量が違うことが原因である。カラーフィルタ全体として塗布ムラをなくすには、全ての画素毎に塗布するインクの総量を所定の範囲内に抑えなければならない。
本実施の形態では、ノズルの他の選択の仕方について説明を行う。本実施の形態では、1つの塗布ヘッドのノズルの吐出量の平均値に基づいてノズルをクラス分けし、クラス毎にノズルを選択することで、画素要素への塗布の総量を所定の値にする。
本実施の形態では、塗布処理毎にノズルの吐出量を修正して塗布プログラムを修正する塗布方法について説明する。カラーフィルタの塗布ムラの発生を防止するには、画素毎のインクの塗布量を所定値にしなければならない。本発明では、全ての画素に対するインクの塗布量が、所定値に対して許容される誤差内にはいるように、ノズルを選択した。そして、その元情報になるのは、図7若しくは図14で示した個々のノズルのノズル吐出量データである。
2 ガラス基板(塗布対象物)
3 吸着テーブル(保持ステージ)
4 塗布ガントリー
5 塗布ヘッドバー
6 カメラガントリー
7,8 アラインメントカメラ
9 スキャンカメラ(計測手段)
10 塗布ヘッドユニット
11 ヘッドモジュール
12 塗布ヘッド
13 ノズル
16、17、18、19 ノズル群
30 機台
40 画素
41、46、47 画素要素(赤)
42 画素要素(緑)
43 画素要素(青)
60 インクタンク
100 制御部
102、104 Y方向駆動モータ
103、105 X方向駆動モータ
Claims (7)
- 平面上に格子状の画素が設けられた塗布対象物上を予め個々の吐出量が測定されたノズルを有する塗布ヘッドを複数有するヘッドモジュールを通過させながら画素毎にインクを塗布する塗布方法であって、
前記画素を通過する前記ノズルを特定する工程と、
前記特定されたノズルから前記画素に塗布する吐出量の和が所定の値、もしくは所定範囲内の値になるように前記ノズルを選択する工程と、
前記選択されたノズルで前記画素にインクを塗布する工程を有する塗布方法。 - 前記ノズルを選択する工程において、
前記ノズルは、前記塗布ヘッド中の全ノズルからの吐出量の平均値から所定の範囲内の吐出量を有する前記特定されたノズルから、前記画素に塗布する吐出量の和が所定の値、もしくは所定範囲内の値になるように選択される請求項1に記載された塗布方法。 - 前記ノズルを選択する工程において、
前記ノズルは、前記塗布ヘッド中の全ノズルからの吐出量の平均値から所定の範囲毎にクラス分けされた吐出量の前記特定されたノズルを組み合わせて、前記画素に塗布する吐出量の和が所定の値、もしくは所定範囲内の値になるように選択される請求項1に記載された塗布方法。 - 前記ノズルを選択する工程において、
前記クラス分けは、前記塗布ヘッド中の全ノズルからの吐出量の平均値から所定の範囲内でクラス分けされた吐出量の前記特定されたノズルを組み合わせる請求項3に記載された塗布方法。 - 前記ノズルを選択する工程は、
さらに前記吐出量が前記所定の範囲外となるノズルを前記組み合わせから外す請求項4に記載された塗布方法。 - 前記ノズルを選択する工程において、
前記ノズルは、前記ヘッドモジュールの塗布方向に隣接する画素同士では異なる組み合わせであり、かつ前記画素に塗布する吐出量の和が所定の値、もしくは所定範囲内の値になるように前記特定されたノズルから選択される請求項1に記載された塗布方法。 - 前記塗布対象物以外の領域で全ノズルによる試し塗布を行う工程と、
前記試し塗布によって、前記全ノズルからのインク吐出量を確認する工程をさらに有し、
前記ノズルを選択する工程は、
前記特定されたノズルの中でインクの吐出しない、もしくは所定位置に着弾していないノズル以外の前記ノズルから前記画素に塗布する吐出量の和が所定の値、もしくは所定範囲内の値になるように前記ノズルを選択する工程である請求項1乃至6の何れか1の請求項に記載された塗布方法。
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