JP5475957B2 - 塗布装置 - Google Patents
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Description
1)1つのインクジェットノズルからの1回に吐出する量を大にする
か、或いは
2)画素に対応するインクジェットノズルの数を増やす(=高密度に配列する)
という2つの選択肢がある。
カラーフィルタの画素の縦横寸法が百ミクロン単位と小さなもので、さらにマトリクス状の遮光部の隔壁の高さも数μm程度と低いので、着色材料が1つの画素から隣接する画素に溢れ出てしまい、色違いの区画が隣接していれば「混色」の原因に、また同じ色であっても乾燥工程後の着色剤充填部の厚みに差が発生して、カラーフィルタの部分的な「透過光量の差」となって品位低下に、或いは不良品と判定される低レベルの着色材料の塗布にとなってしまい、実用的でない。
これによって、ノズル数の多い大きな幅の1つのインクジェットヘッドを走査方向に直角な方向に同じ傾き角斜を持たせた場合と比べると、同じ塗布幅の実現するに当りインクジェットヘッドの走査方向の寸法を小さくすることができ、結果として同じ塗布に必要な走査距離で比較すると装置の総走査距離が短く、製造時間を短縮できるとしている。
直線的にインクジェットヘッドを繋ぐ、或いは隣接する一組のインクジェットヘッドを走査方向にずらしてその端部を重ね合うように並列に配置して一つの長尺ノズル列とする。
これによって、1つの画素に複数のインクジェットヘッドのノズルから着色材料の吐出・充填を行なうので、インクジェット個体のノズルからの吐出量のバラツキが低減され、色ムラや筋ムラの発生が抑えることができるとしている。
こうした影響を特許文献2の方法で避けるには、多くの長尺ノズル列を準備し、それらを何重にも並列配置して、1つの画素に多くのインクジェットヘッドから着色材料を吐出・充填させることが必要になり、それをカラーフィルタに用いる原色の数だけ備えるのは経済的、実用的ではない。
本発明は、これをカラーフィルタの目標仕様とし、その仕様を満足して色ムラや筋ムラのない画素への着色材料の吐出・充填が可能である塗布装置・方法を実現することを目的としている。
複数の吐出ノズルを有した塗布ヘッドにより、塗布対象物に前記吐出ノズルによって塗布材を微量の液滴として塗布する装置であって、制御装置の制御により
前記塗布ヘッドが対象物と相対移動し、対象物に塗布材を供給して、前記塗布ヘッドの有効幅以上の領域を塗布する工程において、
塗布領域の一部を塗布ヘッドの走査方向に直角な方向の移動により、端部を重複走査する重ね塗りとし、
重複部分では、吐出を行う吐出ノズルの位置を分散させながら、前記塗布ヘッドの端に向け、一画素に対する塗布材の充填量に段階的な傾斜を設け、
少なくとも1往復以上の塗布ヘッドの走査により対象物全有効域に塗布材を均一に塗布することを特徴とする構成としている。
また、前記重複する領域の幅が、少なくとも塗布ヘッドの全吐出ノズルの両端に位置する相対吐出量の低い吐出ノズルの塗布領域の幅、及び/或いは少なくとも3画素以上である構成としている。
図1は本発明に係るカラーフィルタ製造装置を示す斜視図、図2は本発明に係るカラーフィルタ製造装置の要部を示す平面図、図3はインクジェットヘッドの配列の一例を示す平面概略図、図4はインクジェットノズルの配列を説明する平面図である。
吸着ステージ3はまた、図示しないステージ回転駆動手段によりθ方向に回動駆動可能とされる。
さらに、その列の他端にあるインクジェットノズル52から、隣接する列の端のインクジェットノズル52が、ピッチPで配置されるという位置関係を示している。
つまり個々の列をなすインクジェットヘッド51のインクジェットノズル52の間においても、また塗布幅を確保する為に走査方向に直角な向きに直線的に隣接する2つの端のインクジェットヘッド51の間においても、全てがピッチPで配置される。
これにより、有効塗布幅全体に隙間なく、必要なピッチPの配置でインクジェットノズル52が存在する。
動作は特別な説明がある場合を除き、制御装置10の制御に基づき駆動制御される。
まず基板搬送ロボット9は、可動支持台93を駆動してガラス基板Kを吸着ステージ3の真上に搬送する。並行して機台2の吸着ステージ3の載置面31では、リフトピン孔33からリフトピン34を上昇し、基板搬送ロボット9は、可動支持台93を徐々に降下させ、ガラス基板Kをリフトピン34の先端部に載せる。ガラス基板Kをリフトピン34に載せた後、基板搬送ロボット9は、可動支持台93を待避させる。
吸着ステージ3は、ガラス基板Kを支承したリフトピン34を降下させ、ガラス基板Kが降下して載置面31に到達したとほぼ同時に、吸引ポンプによって真空吸着孔32に負圧を発生させ、ガラス基板Kを載置面31上に負圧により吸着保持する。
ガラス基板Kの吸着ステージへの吸着が終えた後、第1リニアモータ43によってアラインメントカメラ7をアラインメントマークM1の上方に移動する。
アラインメントカメラ7はアラインメントマークM1を撮像し、得られた画像データを制御装置10に送り、送られた画像データを画像処理してアライメントマークM1のそれぞれの座標を算出し、ガラス基板Kの機台2上のXY平面における角度のズレと、ガラス基板Kの原点位置を算出補正する。
ガラス基板Kの角度のズレは図示しないステージ回転駆動手段を駆動制御することにより、ガラス基板Kの角度ズレの修正を行う。
第1リニアモータ43は、塗布ガントリー4を移動させてインク吐出部5が、ガラス基板Kにおける上流側の塗布開始位置に合わせる。続いて、サーボモータ機構44は、インクジェットノズル52の吐出口とガラス基板Kの表面との隙間が0.25mm〜1.0mm程度の微少間隔となるように、インク吐出部5を降下させる。
〔着色材料塗布(ステップS4)〕
本発明に係るカラーフィルタ製造装置1のガラス基板Kにおける全画素gsに対して、目的色の着色材料を塗布する一連の動作は、図8Aに示す大きな矢のように上流から下流への往動の走査による塗布、隣接塗布区画へ移るY軸方向移動、そして図8Bに示す大きな矢のように下流から上流に向かう復動の走査による塗布により、インクジェットヘッド51から着色材料をガラス基板Kに吐出・充填して塗布動作を終了する。
以下にさらに詳しく説明する。
第1リニアモータ43の駆動により、塗布ガントリー4を往動させる。これによりインク吐出部5は、図8Aの矢に示すように、インクジェットノズル52の吐出口とガラス基板Kの表面とが微少間隔を保ち移動する。制御装置10は、塗布目的とする画素gsに、所定の色の着色材料を所定タイミングで所定量の着色材料を吐出するように、インク吐出部5に指令を送る。これによって、ガラス基板KのブラックマトリクスBMにおける各画素gsに、適正量の着色材料が塗布される(図6BのステップS42,S43参照)。
第1リニアモータ43の駆動により、塗布ガントリー4がガラス基板K上を所定の塗布有効領域の終端、或いは塗布ガントリー4の移動端まで移動して停止する。
その後、第2リニアモータ45の駆動によりインク吐出部5をY方向に移動させる。
第1リニアモータ43の駆動により、塗布ガントリー4を復動させる(ステップS41)。これによりインク吐出部5は、図8Bの矢に示すように下流から上流に、往動時と同じようにインクジェットノズル52の吐出口とガラス基板Kの表面とが微少間隔を保ち移動する。
こうして上流から下流への1回の往復走査ですべての画素へ、着色材料を所定量充填することができる。
その後、第2リニアモータ45の駆動により、インク吐出部5を初期位置まで戻して終了する(ステップS45参照)。
重複部分で前記塗布ヘッドの端に向け、吐出ノズルの吐出量に段階的な傾斜を設け、
少なくとも1往復以上の塗布ヘッドの走査により対象物全有効域に塗布材を均一に塗布することができる。
1800dpiのインクジェットノズル52の配列ピッチPは、14.11μmとなるが、この14.11μmというピッチの値は、現状の基本的なインクジェット方式によるインクジェットノズル52を構成する部材寸法・機構上等の制約から1つのインクジェットヘッド51で実現することが困難である。そこで、この14.11μmのピッチを、5つ(段)のインクジェットヘッド51で実現する。
その5つのインクジェットヘッド51のそれぞれのインクジェットノズル52をピッチ14.11μmづつずらした配置として1つの列を構成している。
さらに、その列相互の端のインクジェットノズル52の配列も間隔14.11μmとして連続した配列としてインク吐出部5の塗布幅と配列密度を確保する。
1)5つおきに計7個。 これをA群
2)1)に加え1)のノズルから1つ飛ばしたノズルで計14個。 これをB群
3)2)の選択の反転したノズル選択。 計20個。 これをC群
4)1)の選択の反転したノズル選択。 計27個。 これをD群
として、
往動(X方向の上流から下流への1回の走査)ではインクジェットヘッドの配列の終端で重複塗布する位置の画素に対しては端からA群、B群、C群、D群のインクジェットノズルを選択して着色材料を吐出させる制御を実行し、その他の画素に対しては所定の量(1500pl)を吐出させて、塗布ガントリー4の移動によりインク吐出部5をX方向に上流から下流に走査し、印字指令が与えられたインクジェットノズル52からの吐出・充填が行なわれて塗布すべき領域の端まで移動させる(図8A)。
そして、復動(X方向の下流から上流への走査)では、重複部分の4つの画素では塗布すべき所定の量(1500pl)の着色材料へ、段階的に傾斜を設けた吐出・充填量を補完し、その他の画素には所定の量(1500pl)を吐出する。補完する吐出・充填量は、具体的には、往路でA、B,C,D群のノズル選択により塗布されたそれぞれの画素に、A群で塗布された画素にはD群の、B群で塗布された画素にはC群の、C群で塗布された画素にはB群の、D群で塗布された画素にA群のノズル選択となるよう、制御指令を受けた対応するインクジェットノズル52からの着色材料の吐出・充填を行なう。重複塗布を行なう4つの画素は、こうして往復走査によって塗布すべき所定の量(1500pl)の着色材料を補完して塗布され、有効領域全体が図8Bのように均一に塗布される。
図8では、1つの色の塗布された状態を示しているが、他の色の画素も同じように着色材料が塗布される。
一部の画素gsへの着色材料の充填を段階的に吐出量を傾斜を設け、前記の一部の画素gsを重複した1往復以上の走査によってその段階的な傾斜を設けた画素への充填量を補完することに加え、段階的な傾斜を受けた吐出量を、1つの画素範囲で分散した位置から選択したインクジェットノズルにより吐出・充填すること、により隣接する多数のインクジェットノズルで同時に吐出した場合、吐出した端部近傍のインクジェットノズルに発生する吐出量が他より相対的に低いという悪影響を回避し、塗布ヘッドの塗布幅以上の幅の塗布領域に均一に着色材料を塗布することができる。
カラーフィルタの評価尺度である「色度」の許容値を有効領域全体において1000分の3以内の目標が達成され、
カラーフィルタの有効領域全体で色ムラのない、インク吐出部の走査方向にも筋ムラのない均一な塗布を実現することができる。
4 塗布ガントリー
5 インク吐出部
51 インクジェットヘッド
52 インクジェットノズル
gs 画素(被塗布箇所)
K ガラス基板(基板)
X 方向(スキャン方向)
Y 方向(スキャン直交方向)
Claims (1)
- 複数の吐出ノズルを有した塗布ヘッドにより、塗布対象物に前記吐出ノズルによって塗布材を微量の液滴として塗布する装置であって、制御装置の制御により
前記塗布ヘッドが対象物と相対移動し、対象物に塗布材を供給して、前記塗布ヘッドの有効幅以上の領域を塗布する工程において、
塗布領域の一部を塗布ヘッドの走査方向に直角な方向の移動により、端部を重複走査する重ね塗りとし、
重複部分では、吐出を行う吐出ノズルの位置を分散させながら、前記塗布ヘッドの端に向け、一画素に対する塗布材の充填量に段階的な傾斜を設け、
少なくとも1往復以上の塗布ヘッドの走査により対象物全有効域に塗布材を均一に塗布し、前記重複する領域の幅が、少なくとも塗布ヘッドの全吐出ノズルの両端に位置する相対吐出量の低い吐出ノズルの塗布領域の幅、及び/或いは少なくとも3画素以上であることを特徴とする塗布装置。
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