KR102652755B1 - 액적 토출 방법 및 장치 - Google Patents

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Abstract

예시적인 실시예들에 따른 액적 토출 방법은 잉크젯 헤드를 사용하는 것으로써, 상기 잉크젯 헤드를 중심 부분 및 상기 중심 부분 양측에서의 주변 부분들로 구획하고, 상기 주변 부분들 각각을 상기 중심 부분에 인접하는 인접 부분 및 단부 쪽의 단부 부분을 포함하는 두 개 이상의 부분들로 구획할 수 있다. 이에, 상기 중심 부분에서는 제1 토출량으로 액적을 토출하고, 상기 인접 부분 및 단부 부분에서는 제1 토출량보다는 적으면서 서로 다른 제2 토출량 및 제3 토출량으로 액적을 토출하고, 상기 주변 부분의 길이만큼으로 상기 잉크젯 헤드를 이동시킨 후 상기 중심 부분에서는 상기 제1 토출량으로 액적을 토출하고, 상기 인접 부분에서는 상기 제2 토출량으로 액적을 토출하고, 상기 단부 부분에서는 상기 제3 토출량으로 액적을 토출할 수 있다.

Description

액적 토출 방법 및 장치{Method and Apparatus for Ejecting Droplet}
본 발명은 액적 토출 방법 및 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는 일정 영역에 두 번 이상 액적을 토출하는 액적 토출 방법 및 방법에 관한 것이다.
액정 표시 소자, 유기 EL 소자 등과 같은 표시 장치의 제조에서는 기판 상에 배향막, 컬러 필터 등과 같은 박막을 형성하는 공정을 수행한다.
박막은 주로 복수개의 노즐을 구비하는 잉크젯 헤드를 사용하여 형성할 수 있다.
이에, 종래에는 잉크젯 헤드를 두 개의 부분, 즉 제1 부분과 제2 부분으로 구획하여 기판의 일정 영역 상에 잉크젯 헤드의 제1 부분으로부터 약 50% 토출량으로 액적을 토출하고, 그리고 잉크젯 헤드를 제1 부분의 길이만큼으로 이동시켜 약 50%의 액적이 토출된 일정 영역 상에 잉크젯 헤드의 제2 부분을 위치시킨 후, 잉크젯 헤드의 제2 부분으로부터 약 50% 토출량으로 액적을 토출하여 기판의 일정 영역 상에 원하는 두께를 갖는 박막을 형성하고 있다. 이때, 일정 영역과 인접하는 인접 영역에는 잉크젯 헤드의 제1 부분으로부터 약 50% 토출량으로 액적의 토출이 이루어질 수 있다.
그러나 언급한 일정 영역과 인접 영역이 경계하는 부분에서는 액적에 의한 계면교란(marangoni effect)이 일어나고, 그 결과 원하는 두께를 균일하게 갖는 박막을 형성하는데 애로 사항이 있다.
본 발명의 일 과제는 일정 영역에 두 번 이상의 액적을 토출하여도 경계 부분에서 액적에 의해 발생하는 계면교란의 최소할 수 있는 액적 토출 방법 및 장치를 제공하는데 있다.
상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 액적 토출 방법은 잉크젯 헤드를 사용하는 것으로써, 상기 잉크젯 헤드를 중심 부분 및 상기 중심 부분 양측에서의 주변 부분들로 구획하고, 상기 주변 부분들 각각을 상기 중심 부분에 인접하는 인접 부분 및 단부 쪽의 단부 부분을 포함하는 두 개 이상의 부분들로 구획할 수 있다. 이에, 상기 중심 부분에서는 제1 토출량으로 액적을 토출하고, 상기 인접 부분 및 단부 부분에서는 제1 토출량보다는 적으면서 서로 다른 제2 토출량 및 제3 토출량으로 액적을 토출하고, 상기 주변 부분의 길이만큼으로 상기 잉크젯 헤드를 이동시킨 후 상기 중심 부분에서는 상기 제1 토출량으로 액적을 토출하고, 상기 인접 부분에서는 상기 제2 토출량으로 액적을 토출하고, 상기 단부 부분에서는 상기 제3 토출량으로 액적을 토출할 수 있다.
예시적인 실시들에 있어서, 상기 주변 부분에서의 액적 토출량은 상기 중심 부분에서의 액적 토출량과 동일할 수 있다.
예시적인 실시들에 있어서, 상기 주변 부분에서의 액적 토출량은 상기 인접 부분으로부터 상기 단부 부분으로 갈수록 적어질 수 있다.
예시적인 실시들에 있어서, 상기 주변 부분에서의 액적 토출량은 상기 인접 부분으로부터 상기 단부 부분으로 갈수록 많아질 수 있다.
예시적인 실시들에 있어서, 상기 중심 부분 및 상기 주변 부분은 동일한 길이를 갖도록 구획할 수 있다.
예시적인 실시들에 있어서, 상기 인접 부분 및 단부 쪽의 단부 부분을 포함하는 두 개 이상의 부분들로 구획되는 상기 주변 부분의 각 부분들은 서로 동일한 길이를 갖도록 이루어질 수 있다.
예시적인 실시들에 있어서, 상기 잉크젯 헤드는 상기 주변 부분의 길이 방향을 기준으로 수직한 방향을 따라 스캔 방식으로 상기 액적을 토출할 수 있다.
예시적인 실시들에 있어서, 상기 액적 토출량은 상기 잉크젯 헤드에 구비되는 복수개의 노즐들을 개별적으로 제어함에 의해 조절될 수 있다.
예시적인 실시예들에 따른 액적 토출 방법 및 장치는 잉크젯 헤드를 중심 부분 및 주변 부분들로 구획하고, 주변 부분들 각각을 인접 부분 및 단부 부분을 포함하는 두 개 이상의 부분들로 구획함과 아울러 중심 부분, 인접 부분, 및 단부 부분에서의 액적 토출량을 달리함으로써 일정 영역에 두 번 이상의 액적을 토출하여도 경계 부분에서 액적에 의해 발생하는 계면교란의 최소할 수 있을 것이다.
이에, 예시적인 실시예들에 따른 액적 토출 방법 및 장치는 경계 부분에서 액적에 의해 발생하는 계면교란의 최소할 수 있기 때문에 원하는 두께를 균일하게 갖는 박막을 용이하게 형성할 수 있을 것이다.
따라서 예시적인 실시예들에 따른 액적 토출 방법 및 장치는 원하는 두께를 균일하게 갖는 박막을 용이하게 형성할 수 있기 때문에 액정 표시 소자, 유기 EL 소자 등과 같은 표시 장치의 제조에 따른 신뢰도의 향상을 기대할 수 있을 것이다.
다만, 본 발명의 효과는 상기 언급한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 예시적인 실시예들에 따른 액적 토출 방법을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2는 예시적인 실시예들에 따른 액적 토출 방법을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 3은 예시적인 실시예들에 따른 액적 토출 방법을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
먼저, 예시적인 실시예들에 따른 액적 토출 방법에 대하여 설명하기로 한다.
예시적인 실시예들에 따른 액적 토출 방법은 평판 표시 장치의 제조시 배향막, 컬러 필터 등과 같은 박막을 형성하는데 적용하기 위한 것이다.
예시적인 실시예들에 따른 액적 토출 방법에서는 잉크젯 방식으로 기판 상에 액적을 토출하는 잉크젯 헤드를 사용할 수 있다.
예시적인 실시예들에 따른 액적 토출 방법에 사용되는 잉크젯 헤드에는 액적의 토출을 위한 복수개의 노즐들이 배치될 수 있다. 잉크젯 헤드에 배치되는 복수개의 노즐들은 일정 피치의 간격으로 일렬로 배치될 수 있다. 노즐들에는 노즐들에 대응하는 수만큼의 압전 소자가 구비될 수 있다. 이에, 압전 소자의 동작에 의해 노즐들을 통하여 기판 상으로 액적을 토출시킬 수 있는 것이다. 노즐들로부터 토출되는 액적 토출량은 압전 소자들에 인가되는 전압의 제어에 의해 각기 독립적으로 조절될 수 있다. 즉, 잉크젯 헤드로부터 토출되는 액적 토출량은 잉크젯 헤드에 구비되는 복수개의 노즐들을 개별적으로 제어함에 의해 조절될 수 있는 것이다.
예시적인 실시예들에 따른 액적 토출 방법에서는 다수개로 잉크젯 헤드로 이루어지는 잉크젯 헤드 유닛을 사용할 수도 있다. 일예로, 잉크젯 헤드 유닛은 3개의 잉크젯 헤드로 이루어질 있다.
예시적인 실시예들에 따른 액적 토출 방법에서는 잉크젯 헤드를 중심 부분 및 주변 부분들로 구획할 수 있다. 주변 부분들은 중심 부분의 양측에 위치하도록 구획할 수 있다.
그리고 중심 부분 및 주변 부분은 동일한 길이를 갖도록 구획할 수 있다. 즉, 중심 부분 및 중심 부분 양측의 주변 부분 각각이 서로 동일한 길이를 갖도록 구획할 수 있는 것이다. 다시 말해, 잉크젯 헤드는 동일한 길이로 3등분이 되도록 구획할 수 있는 것이다. 이에, 중심 부분 및 주변 부분들 각각에는 동일한 개수의 노즐들이 구비될 수 있을 것이다.
또한, 주변 부분들 각각은 중심 부분에 인접하는 인접 부분 및 단부 쪽의 단부 부분을 포함하는 두 개 이상의 부분들로 구획할 수 있다. 즉, 주변 부분들 각각은 인접 부분에서의 제1 부분으로부터 단부 부분까지의 제n 부분으로 구획할 수 있는 것이다. 그리고 두 개 이상의 부분들로 구획되는 주변 부분의 각 부분들은 서로 동일한 길이를 갖도록 이루어질 수 있다. 즉, 제1 부분 내지 제n 부분 각각은 서로 동일한 길이를 갖도록 구획할 수 있다. 이에, 제1 부분 내지 제n(n은 2 이상의 자연수) 부분 각각에는 동일한 개수의 노즐들이 구비될 수 있을 것이다.
예시적인 실시예들에 따른 액적 도출 방법에서의 잉크젯 헤드는 중심 부분에서는 제1 토출량으로 액적을 토출하고, 주변 부분인 인접 부분 및 단부 부분에서는 제2 토출량 및 제3 토출량으로 액적을 토출하도록 구비될 수 있다. 특히, 언급한 바와 같이 주변 부분이 제1 부분 내지 제n 부분으로 구획될 경우 제2 내지 제n+1(n은 2이상의 자연수) 토출량으로 액적을 토출하도록 구비될 수 있다.
제2 토출량 및 제3 토출량 각각은 제1 토출량보다는 적으면서 서로 다른 토출량을 갖도록 이루어질 수 있다.
특히, 액적 토출량은 인접 부분으로부터 단부 부분으로 갈수록 적어지도록 조절될 수 있다. 따라서 언급한 바와 같이 주변 부분이 제1 부분 내지 제n 부분으로 구획될 경우 중심 부분에서의 제1 토출량이 가장 많도록 조절하고, 제2 토출량으로부터 제n+1 토출량으로 갈수도록 적어지도록 조절할 수 있는 것이다.
이와 달리, 액적 토출량은 인접 부분으로부터 단부 부분으로 갈수록 많아지도록 조절될 수 있다. 따라서 언급한 바와 같이 주변 부분이 제1 부분 내지 제n 부분으로 구획될 경우 중심 부분에서의 제1 토출량이 가장 많도록 조절하고, 제2 토출량으로부터 제n+1 토출량으로 갈수도록 많아지도록 조절할 수 있는 것이다.
그리고 주변 부분에서의 액적 토출량은 중심 부분에서의 액적 토출량과 동일하도록 조절될 수 있다. 즉, 인접 부분의 제2 토출량 및 단부 부분의 제3 토출량을 합한 총량이 중심 부분의 제1 토출량과 동일하도록 조절될 수 있는 것이다. 따라서 언급한 바와 같이 주변 부분이 제1 부분 내지 제n 부분으로 구획될 경우 제2 내지 제n+1 토출량 전체를 합한 총량이 중심 부분의 제1 토출량과 도일할 것이다.
예시적인 실시예들에 따른 액적 토출 방법에서는, 먼저 기판의 일정 영역 상에 언급한 잉크젯 헤드를 사용하여 중심 부분에서는 제1 토출량으로 액적을 토출하고, 인접 부분 및 단부 부분에서는 제1 토출량보다는 적으면서 서로 다른 제2 토출량 및 제3 토출량으로 액적을 토출할 수 있다.
특히, 잉크젯 헤드를 사용한 액적의 토출은 주변 부분의 길이 방향을 기준으로 수직한 방향을 따라 스캔 방식으로 이루어질 수 있다. 즉, 잉크젯 헤드의 중심 부분 및 주변 부분들이 나열되도록 배치되는 방향(길이 방향)을 기준으로 수직한 방향을 따라 잉크젯 헤드를 스캔 구동시키면서 액적을 토출하는 것이다.
그리고 잉크젯 헤드를 주변 부분의 길이만큼 이동시킨다. 즉, 잉크젯 헤드를 언급한 길이 방향으로 이동시키는 것으로써, 잉크젯 헤드를 양쪽 주변 부분 중에서 한쪽 주변 부분의 길이만큼으로 이동시키는 것이다. 특히, 언급한 바와 같이 잉크젯 헤드가 동일한 길이로 3등분이 되도록 구획되기에 잉크젯 헤드 전체 길이를 기준으로 1/3 길이만큼으로 이동시키는 것이다.
예시적인 실시예들에 따른 액적 토출 방법에서는 일정 영역에서의 스캔 구동을 종료한 후 잉크젯 헤드를 스캔 시작점에 위치시켜서 주변 부분의 길이만큼 이동시키거나 또는 일정 영역에서의 스캔 구동을 종료한 후 잉크젯 헤드를 스캔 종착점에서 주변 부분의 길이만큼 이동시킬 수 있다. 이에, 스캔 구동을 일 방향으로 진행하거나 또는 지그재그 방향으로 진행할 수 있는 것이다.
이어서, 언급한 바와 같이 잉크젯 헤드를 이동시킨 후 다시 중심 부분에서는 제1 토출량으로 액적을 토출하고, 인접 부분 및 단부 부분에서는 제1 토출량보다는 적으면서 서로 다른 제2 토출량 및 제3 토출량으로 액적을 토출할 수 있다.
이와 같이, 예시적인 실시예들에 따른 액적 토출 방법에서는 잉크젯 헤드의 주변 부분들 각각을 두 개 이상의 부분들로 구획함과 아울러 토출량을 달리하여 액적을 토출하기 때문에 경계 영역에서는 한 번에 많은 토출량으로 액적이 토출되지 않도록 할 수 있다.
이에, 예시적인 실시예들에 따른 액적 토출 방법은 일정 영역에 두 번 이상의 액적을 토출하여도 경계 부분에서 액적에 의해 발생하는 계면교란의 최소할 수 있을 것이고, 그 결과 원하는 두께를 균일하게 갖는 박막을 용이하게 형성할 수 있을 것이다.
그리고 첨부한 도면들을 참조하여 예시적인 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 예시적인 실시예들에 따른 액적 토출 방법을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 1을 참조하면, 잉크젯 헤드(200)는 중심 부분(21) 및 주변 부분(23)들로 구획되고, 주변 부분(23)들 각각은 중심 부분(21)과 인접하는 제1 부분(25) 및 단부 쪽의 제2 부분(27)으로 구획된다. 잉크젯 헤드(200)는 중심 부분(21)에서는 50% 토출량으로 이루어지도록 조절하고, 제1 부분(25)에서는 33% 토출량으로 이루어지도록 조절하고, 제2 부분(27)에서는 17% 토출량으로 이루어지도록 조절한다.
그리고 기판(100)의 제1 영역에 잉크젯 헤드(200)의 일측 주변 부분(23)을 위치시킨 후 스캔 구동시켜 제1 영역에 액적을 토출시키는 공정을 수행한다. 이때, 잉크젯 헤드(200)의 중심 부분(21) 및 타측 주변 부분(23)은 기판(100) 바깥쪽에 위치하고 있기 때문에 액적이 토출되지 않도록 한다.
이에, 제1 영역 상에는 제2 부분(27)의 17% 토출량 및 제1 부분(25)의 33% 토출량으로 액적이 토출될 수 있다.
이어서, 잉크젯 헤드(200)를 일측 주변 부분(23)만큼 이동시킨다. 이에, 기판(100)의 제2 영역에는 잉크젯 헤드(200)의 일측 주변 부분(23)이 위치하고, 기판(100)의 제1 영역에는 잉크젯 헤드(200)의 중심 부분(21)이 위치할 수 있다.
이와 같이, 기판(100)의 제2 영역 및 제1 영역에 잉크젯 헤드(200)의 일측 주변 부분(23) 및 중심 부분(21)을 위치시킨 후 스캔 구동시켜 제2 영역 및 제1 영역에 액적을 토출시키는 공정을 수행한다. 이때, 잉크젯 헤드(200)의 타측 주변 부분(23)은 기판(100) 바깥쪽에 위치하고 있기 때문에 액적이 토출되지 않도록 한다.
이에, 제2 영역 상에는 제2 부분(27)의 17% 토출량 및 제1 부분(25)의 33% 토출량으로 액적이 토출될 수 있고, 제1 영역 상에는 중심 부분(21)의 50% 토출량으로 액적이 토출될 수 있다. 따라서 누적 기준으로 제2 영역에는 17% 토출량 및 33% 토출량으로 액적이 토출될 수 있고, 제1 영역에는 67% 토출량 및 83% 토출량으로 액적이 토출될 수 있다.
그리고 잉크젯 헤드(200)를 일측 주변 부분(23)만큼 이동시킨다. 이에, 기판(100)의 제3 영역에는 잉크젯 헤드(200)의 일측 주변 부분(23)이 위치하고, 기판(100)의 제2 영역에는 잉크젯 헤드(200)의 중심 부분(21)이 위치하고, 기판(100)의 제1 영역에는 잉크젯 헤드(200)의 타측 주변 부분(23)이 위치할 수 있다.
이와 같이, 기판(100)의 제3 영역, 제2 영역 및 제1 영역에 잉크젯 헤드(200)의 일측 주변 부분(23), 중심 부분(21) 및 타측 주변 부분(23)을 위치시킨 후 스캔 구동시켜 제3 영역, 제2 영역 및 제1 영역에 액적을 토출시키는 공정을 수행한다.
이에, 제3 영역 상에는 제2 부분(27)의 17% 토출량 및 제1 부분(25)의 33% 토출량으로 액적이 토출될 수 있고, 제2 영역 상에는 중심 부분(21)의 50% 토출량으로 액적이 토출될 수 있고, 제1 영역 상에는 제1 부분(25)의 33% 토출량 및 제2 부분(27)의 17% 토출량으로 액적이 토출될 수 있다. 따라서 누적 기준으로 제3 영역에는 17% 토출량 및 33% 토출량으로 액적이 토출될 수 있고, 제2 영역에는 67% 토출량 및 83% 토출량으로 액적이 토출될 수 있고, 제1 영역에는 100% 토출량으로 액적이 토출될 수 있다.
계속해서, 잉크젯 헤드(200)를 이동시켜 제4 영역, 제3 영역 및 제2 영역에 액적을 토출시키는 공정을 수행하고, 그리고 잉크젯 헤드(200)를 이동시켜 제5 영역, 제4 영역 및 제3 영역에 액적을 토출시키는 공정을 수행한다.
이에, 누적 기준으로 제4 영역에는 17% 토출량 및 33% 토출량으로 액적이 토출될 수 있고, 제3 영역에는 67% 토출량 및 83% 토출량으로 액적이 토출될 수 있고, 제2 영역에는 100% 토출량으로 액적이 토출될 수 있고, 그리고 제5 영역에는 17% 토출량 및 33% 토출량으로 액적이 토출될 수 있고, 제4 영역에는 67% 토출량 및 83% 토출량으로 액적이 토출될 수 있고, 제3 영역에는 100% 토출량으로 액적이 토출될 수 있다.
이와 같이, 예시적인 실시예들에 따른 액적 토출 방법은 잉크젯 헤드(200)의 주변 부분(23)들 각각을 두 개 이상의 부분들로 구획함과 아울러 토출량을 달리하여 액적을 토출하기 때문에 일정 영역에 두 번 이상의 액적을 토출하여도 경계 부분에서 액적에 의해 발생하는 계면교란의 최소할 수 있을 것이다.
도 2는 예시적인 실시예들에 따른 액적 토출 방법을 설명하기 위한 개략적인 도면이다. 그리고 도 2의 액적 토출 방법에 사용되는 잉크젯 헤드는 주변 부분들에 대한 구성 및 액적 토출량을 달리하는 것을 제외하고는 도 1에서의 잉크젯 헤드와 동일한 구성을 갖기 때문에 동일 부재에 대해서는 동일 부호를 사용하고, 그 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 2를 참조하면, 잉크젯 헤드(200)는 중심 부분(21) 및 주변 부분(31)들로 구획되고, 주변 부분(31)들 각각은 중심 부분(21)과 인접하는 인접 부분으로부터 단부 부분으로 제3 부분(37), 제2 부분(35) 및 제1 부분(33)으로 구획된다. 잉크젯 헤드(200)는 중심 부분(21)에서는 60% 토출량으로 이루어지도록 조절하고, 제1 부분(33)에서는 30% 토출량으로 이루어지도록 조절하고, 제2 부분(35)에서는 20% 토출량으로 이루어지도록 조절하고, 제3 부분(37)에서는 10%의 토출량으로 이루어지도록 조절한다.
그리고 기판(100)의 제1 영역에 잉크젯 헤드(200)의 일측 주변 부분(31)을 위치시킨 후 스캔 구동시켜 제1 영역에 액적을 토출시키는 공정을 수행한다. 이때, 잉크젯 헤드(200)의 중심 부분(21) 및 타측 주변 부분(31)은 기판(100) 바깥쪽에 위치하고 있기 때문에 액적이 토출되지 않도록 한다.
이에, 제1 영역 상에는 제3 부분(37)의 10% 토출량, 제2 부분(35)의 20% 토출량 및 제1 부분(33)의 30% 토출량으로 액적이 토출될 수 있다.
이어서, 잉크젯 헤드(200)를 일측 주변 부분(31)만큼 이동시킨다. 이에, 기판(100)의 제2 영역에는 잉크젯 헤드(200)의 일측 주변 부분(31)이 위치하고, 기판(100)의 제1 영역에는 잉크젯 헤드(200)의 중심 부분(21)이 위치할 수 있다.
이와 같이, 기판(100)의 제2 영역 및 제1 영역에 잉크젯 헤드(200)의 일측 주변 부분(31) 및 중심 부분(21)을 위치시킨 후 스캔 구동시켜 제2 영역 및 제1 영역에 액적을 토출시키는 공정을 수행한다. 이때, 잉크젯 헤드(200)의 타측 주변 부분(31)은 기판(100) 바깥쪽에 위치하고 있기 때문에 액적이 토출되지 않도록 한다.
이에, 제2 영역 상에는 제3 부분(37)의 10% 토출량, 제2 부분(35)의 20% 토출량 및 제1 부분(33)의 30% 토출량으로 액적이 토출될 수 있고, 제1 영역 상에는 중심 부분(21)의 50% 토출량으로 액적이 토출될 수 있다. 따라서 누적 기준으로 제2 영역에는 10% 토출량, 20% 토출량 및 30% 토출량으로 액적이 토출될 수 있고, 제1 영역에는 70% 토출량, 80% 토출량 및 90% 토출량으로 액적이 토출될 수 있다.
그리고 잉크젯 헤드(200)를 일측 주변 부분(31)만큼 이동시킨다. 이에, 기판(100)의 제3 영역에는 잉크젯 헤드(200)의 일측 주변 부분(31)이 위치하고, 기판(100)의 제2 영역에는 잉크젯 헤드(200)의 중심 부분(21)이 위치하고, 기판(100)의 제1 영역에는 잉크젯 헤드(200)의 타측 주변 부분(31)이 위치할 수 있다.
이와 같이, 기판(100)의 제3 영역, 제2 영역 및 제1 영역에 잉크젯 헤드(200)의 일측 주변 부분(31), 중심 부분(21) 및 타측 주변 부분(31)을 위치시킨 후 스캔 구동시켜 제3 영역, 제2 영역 및 제1 영역에 액적을 토출시키는 공정을 수행한다.
이에, 제3 영역 상에는 제3 부분(37)의 10% 토출량, 제2 부분(35)의 20% 토출량 및 제1 부분(33)의 30% 토출량으로 액적이 토출될 수 있고, 제2 영역 상에는 중심 부분(21)의 50% 토출량으로 액적이 토출될 수 있고, 제1 영역 상에는 제1 부분(33)의 30% 토출량, 제2 부분(35)의 20% 토출량 및 제3 부분(37)의 10% 토출량으로 액적이 토출될 수 있다. 따라서 누적 기준으로 제3 영역에는 10% 토출량, 20% 토출량 및 30% 토출량으로 액적이 토출될 수 있고, 제2 영역에는 70% 토출량, 80% 토출량 및 90% 토출량으로 액적이 토출될 수 있고, 제1 영역에는 100% 토출량으로 액적이 토출될 수 있다.
계속해서, 잉크젯 헤드(200)를 이동시켜 제4 영역, 제3 영역 및 제2 영역에 액적을 토출시키는 공정을 수행하고, 그리고 잉크젯 헤드(200)를 이동시켜 제5 영역, 제4 영역 및 제3 영역에 액적을 토출시키는 공정을 수행한다.
이에, 누적 기준으로 제4 영역에는 10% 토출량, 20% 토출량 및 30% 토출량으로 액적이 토출될 수 있고, 제3 영역에는 70% 토출량, 80% 토출량 및 90% 토출량으로 액적이 토출될 수 있고, 제2 영역에는 100% 토출량으로 액적이 토출될 수 있고, 그리고 제5 영역에는 10% 토출량, 20% 토출량 및 30% 토출량으로 액적이 토출될 수 있고, 제4 영역에는 70% 토출량, 80% 토출량 및 90% 토출량으로 액적이 토출될 수 있고, 제3 영역에는 100% 토출량으로 액적이 토출될 수 있다.
이와 같이, 예시적인 실시예들에 따른 액적 토출 방법은 잉크젯 헤드(200)의 주변 부분(31)들 각각을 두 개 이상의 부분들로 구획함과 아울러 토출량을 달리하여 액적을 토출하기 때문에 일정 영역에 두 번 이상의 액적을 토출하여도 경계 부분에서 액적에 의해 발생하는 계면교란의 최소할 수 있을 것이다.
도 3은 예시적인 실시예들에 따른 액적 토출 방법을 설명하기 위한 개략적인 도면이다. 그리고 도 3에서 액적 토출 방법에 사용되는 잉크젯 헤드는 주변 부분들에서의 액적 토출량을 달리하는 것을 제외하고는 도 1에서의 잉크젯 헤드와 동일한 구성을 갖기 때문에 동일 부재에 대해서는 동일 부호를 사용하고, 그 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 3을 참조하면, 잉크젯 헤드(200)는 중심 부분(21)에서는 50% 토출량으로 이루어지도록 조절하고, 제1 부분(43)에서는 17% 토출량으로 이루어지도록 조절하고, 제2 부분(45)에서는 33% 토출량으로 이루어지도록 조절한다.
그리고 기판(100)의 제1 영역에 잉크젯 헤드(200)의 일측 주변 부분(41)을 위치시킨 후 스캔 구동시켜 제1 영역에 액적을 토출시키는 공정을 수행한다. 이때, 잉크젯 헤드(200)의 중심 부분(21) 및 타측 주변 부분(41)은 기판(100) 바깥쪽에 위치하고 있기 때문에 액적이 토출되지 않도록 한다.
이에, 제1 영역 상에는 제2 부분(45)의 33% 토출량 및 제1 부분(43)의 17% 토출량으로 액적이 토출될 수 있다.
이어서, 잉크젯 헤드(200)를 일측 주변 부분(41)만큼 이동시킨다. 이에, 기판(100)의 제2 영역에는 잉크젯 헤드(200)의 일측 주변 부분(41)이 위치하고, 기판(100)의 제1 영역에는 잉크젯 헤드(200)의 중심 부분(21)이 위치할 수 있다.
이와 같이, 기판(100)의 제2 영역 및 제1 영역에 잉크젯 헤드(200)의 일측 주변 부분(41) 및 중심 부분(21)을 위치시킨 후 스캔 구동시켜 제2 영역 및 제1 영역에 액적을 토출시키는 공정을 수행한다. 이때, 잉크젯 헤드(200)의 타측 주변 부분(41)은 기판(100) 바깥쪽에 위치하고 있기 때문에 액적이 토출되지 않도록 한다.
이에, 제2 영역 상에는 제2 부분(45)의 33% 토출량 및 제1 부분(43)의 17% 토출량으로 액적이 토출될 수 있고, 제1 영역 상에는 중심 부분(21)의 50% 토출량으로 액적이 토출될 수 있다. 따라서 누적 기준으로 제2 영역에는 33% 토출량 및 17% 토출량으로 액적이 토출될 수 있고, 제1 영역에는 83% 토출량 및 67% 토출량으로 액적이 토출될 수 있다.
그리고 잉크젯 헤드(200)를 일측 주변 부분(41)만큼 이동시킨다. 이에, 기판(100)의 제3 영역에는 잉크젯 헤드(200)의 일측 주변 부분(41)이 위치하고, 기판(100)의 제2 영역에는 잉크젯 헤드(200)의 중심 부분(21)이 위치하고, 기판(100)의 제1 영역에는 잉크젯 헤드(200)의 타측 주변 부분(41)이 위치할 수 있다.
이와 같이, 기판(100)의 제3 영역, 제2 영역 및 제1 영역에 잉크젯 헤드(200)의 일측 주변 부분(41), 중심 부분(21) 및 타측 주변 부분(41)을 위치시킨 후 스캔 구동시켜 제3 영역, 제2 영역 및 제1 영역에 액적을 토출시키는 공정을 수행한다.
이에, 제3 영역 상에는 제2 부분(45)의 33% 토출량 및 제1 부분(43)의 17% 토출량으로 액적이 토출될 수 있고, 제2 영역 상에는 중심 부분(21)의 50% 토출량으로 액적이 토출될 수 있고, 제1 영역 상에는 제1 부분(43)의 17% 토출량 및 제2 부분(45)의 33% 토출량으로 액적이 토출될 수 있다. 따라서 누적 기준으로 제3 영역에는 33% 토출량 및 17% 토출량으로 액적이 토출될 수 있고, 제2 영역에는 83% 토출량 및 67% 토출량으로 액적이 토출될 수 있고, 제1 영역에는 100% 토출량으로 액적이 토출될 수 있다.
계속해서, 잉크젯 헤드(200)를 이동시켜 제4 영역, 제3 영역 및 제2 영역에 액적을 토출시키는 공정을 수행하고, 그리고 잉크젯 헤드(200)를 이동시켜 제5 영역, 제4 영역 및 제3 영역에 액적을 토출시키는 공정을 수행한다.
이에, 누적 기준으로 제4 영역에는 33% 토출량 및 17% 토출량으로 액적이 토출될 수 있고, 제3 영역에는 83% 토출량 및 67% 토출량으로 액적이 토출될 수 있고, 제2 영역에는 100% 토출량으로 액적이 토출될 수 있고, 그리고 제5 영역에는 33% 토출량 및 17% 토출량으로 액적이 토출될 수 있고, 제4 영역에는 83% 토출량 및 67% 토출량으로 액적이 토출될 수 있고, 제3 영역에는 100% 토출량으로 액적이 토출될 수 있다.
이와 같이, 예시적인 실시예들에 따른 액적 토출 방법은 잉크젯 헤드(200)의 주변 부분(41)들 각각을 두 개 이상의 부분들로 구획함과 아울러 토출량을 달리하여 액적을 토출하기 때문에 일정 영역에 두 번 이상의 액적을 토출하여도 경계 부분에서 액적에 의해 발생하는 계면교란의 최소할 수 있을 것이다.
예시적일 실시예들에 따른 액적 토출 방법 및 장치는 기판 상에 배향막, 컬러 필터 등과 같은 박막을 형성하는 공정에 적용할 수 있는 것으로써, 액정 표시 소자, 유기 EL 소자 등과 같은 표시 장치의 제조에 적용할 수 있을 것이다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
21 : 중심 부분
23, 31, 41 : 주변 부분
100 : 기판
200 : 잉크젯 헤드

Claims (13)

  1. 잉크젯 헤드를 사용하는 액적 토출 방법에 있어서,
    상기 잉크젯 헤드는 하나가 배치되도록 구비되고, 그리고 상기 하나의 잉크젯 헤드를 중심 부분 및 상기 중심 부분 양측에서의 주변 부분들로 구획하고, 상기 주변 부분들 각각을 상기 중심 부분에 인접하는 인접 부분 및 단부 쪽의 단부 부분을 포함하는 두 개 이상의 부분들로 구획할 때, 상기 중심 부분에서는 제1 토출량으로 액적을 토출하고, 상기 인접 부분 및 단부 부분에서는 제1 토출량보다는 적으면서 서로 다른 제2 토출량 및 제3 토출량으로 액적을 토출하는 단계;
    상기 주변 부분의 길이만큼으로 상기 잉크젯 헤드를 이동시키는 단계; 및
    상기 잉크젯 헤드를 이동시킨 후 상기 중심 부분에서는 상기 제1 토출량으로 액적을 토출하고, 상기 인접 부분에서는 상기 제2 토출량으로 액적을 토출하고, 상기 단부 부분에서는 상기 제3 토출량으로 액적을 토출하는 단계를 포함하되,
    상기 하나의 잉크젯 헤드를 사용하는 액적 토출에서는 최우선적으로 상기 잉크젯 헤드의 일측 주변 부분만을 기판의 일측 주변인 제1 영역에 위치하도록 함과 아울러 상기 잉크젯 헤드의 중심 부분 및 타측 주변 부분은 기판의 바깥쪽에 위치하도록 하여 상기 제1 영역에만 액적이 토출되도록 하는 것을 특징으로 하는 액적 토출 방법.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 주변 부분에서의 액적 토출량은 상기 중심 부분에서의 액적 토출량과 동일한 것을 특징으로 하는 액적 토출 방법.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 주변 부분에서의 액적 토출량은 상기 인접 부분으로부터 상기 단부 부분으로 갈수록 적어지는 것을 특징으로 하는 액적 토출 방법.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 주변 부분에서의 액적 토출량은 상기 인접 부분으로부터 상기 단부 부분으로 갈수록 많아지는 것을 특징으로 하는 액적 토출 방법.
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 중심 부분 및 상기 주변 부분은 동일한 길이를 갖도록 구획하는 것을 특징으로 하는 액적 토출 방법.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 인접 부분 및 단부 쪽의 단부 부분을 포함하는 두 개 이상의 부분들로 구획되는 상기 주변 부분의 각 부분들은 서로 동일한 길이를 갖도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 액적 토출 방법.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 잉크젯 헤드는 상기 주변 부분의 길이 방향을 기준으로 수직한 방향을 따라 스캔 방식으로 상기 액적을 토출하는 것을 특징으로 하는 액적 토출 방법.
  8. 제1 항에 있어서,
    상기 액적 토출량은 상기 잉크젯 헤드에 구비되는 복수개의 노즐들을 개별적으로 제어함에 의해 조절되는 것을 특징으로 하는 액적 토출 방법.
  9. 잉크젯 헤드를 구비하는 액적 토출 장치에 있어서,
    상기 잉크젯 헤드는 하나가 배치되도록 구비되고, 그리고 상기 하나의 잉크젯 헤드는 중심 부분 및 상기 중심 부분 양측에서의 주변 부분들로 구획되도록 구비됨과 아울러 상기 주변 부분들 각각은 상기 중심 부분에 인접하는 인접 부분 및 단부 쪽의 단부 부분을 포함하는 두 개 이상의 부분들로 구획되도록 구비되되,
    상기 중심 부분에서는 제1 토출량으로 액적을 토출하도록 이루어지고, 상기 인접 부분 및 단부 부분에서는 제1 토출량보다는 적으면서 서로 다른 제2 토출량 및 제3 토출량으로 액적을 토출하도록 이루어지고, 그리고
    상기 하나의 잉크젯 헤드를 사용하는 액적 토출에서는 최우선적으로 상기 잉크젯 헤드의 일측 주변 부분만을 기판의 일측 주변인 제1 영역에 위치하도록 함과 아울러 상기 잉크젯 헤드의 중심 부분 및 타측 주변 부분은 기파의 바깥쪽에 위치하도록 하여 상기 제1 영역에만 액적이 토출되도록 하는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 중심 부분과 상기 주변 부분 각각은 동일한 길이를 갖게 구획되도록 구비되되, 상기 중심 부분에서의 액적 토출량은 상기 주변 부분에서의 액적 토출량과 동일하도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
  11. 제9 항에 있어서,
    상기 인접 부분 및 단부 쪽의 단부 부분을 포함하는 두 개 이상의 부분들로 구획되는 상기 주변 부분의 각 부분들은 서로 동일한 길이를 갖도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
  12. 제9 항에 있어서,
    상기 잉크젯 헤드는 상기 주변 부분의 길이 방향을 기준으로 수직한 방향을 따라 스캔 방식으로 상기 액적을 토출하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
  13. 제9 항에 있어서,
    상기 잉크젯 헤드에서의 액적 토출량은 상기 잉크젯 헤드에 구비되는 복수개의 노즐들을 개별적으로 제어함에 의해 조절되는 것을 특징으로 하는 액적 토출 장치.
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