CN110355019B - 利用喷墨头的药液供应方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种药液供应方法，其利用包括中心部分与分别具有第一部分及第二部分的周边部分的喷墨头，可以从中心部分以第一药液供应量将药液供应到基板上，从第一部分以第二药液供应量将药液供应到基板上，从第二部分以第三药液供应量将药液供应到基板上。可以将喷墨头在基板的上部移动相当于周边部分的长度的量。可以从中心部分以第一药液供应量将药液供应到基板上，从第一部分以第二药液供应量将药液供应到基板上，从第二部分以第三药液供应量将药液供应到基板上。本发明的药液供应方法能够有效防止在所述基板的邻接的区域的边界因所述药液而可能发生的界面湍动现象，能够在所述基板上均匀地形成所需的薄膜。

Description

利用喷墨头的药液供应方法
本申请享有2018年4月9日向韩国特许厅申请的韩国专利申请第10-2018-0041082号的优先权。
技术领域
本发明的实施例涉及利用喷墨头的药液供应方法。更具体来讲，本发明的实施例涉及能够将药液向所需区域上供应两次以上的利用喷墨头的药液供应方法。
背景技术
制造液晶显示装置、有机发光装置等显示装置时大体执行在基板上形成取向膜、滤色片或有机发光层之类的薄膜的工序。通常可以利用包括多个喷嘴的喷墨头在所述基板上形成这种薄膜。
现有的喷墨头具有第一部分与第二部分共两个部分，其中从所述第一部分向基板的预定的区域上以约50％的药液供应量供应药液。在所述基板上将所述喷墨头移动相当于所述第一部分的长度的量后，从所述第二部分以约50％的药液供应量再次供应所述药液以在所述基板的预定的区域上形成薄膜。该情况下，与所述预定的区域邻接的邻接区域之间的边界可能会被所述喷墨头的第一部分及第二部分供应过量的药液。如上，邻接的区域之间的边界被供应过量药液的情况下，由于所述药液而发生界面湍动(也称作马朗戈尼效应(Marangoni effect))，从而发生形成于所述基板的预定的区域上的所述薄膜不均匀的问题。
发明内容
技术问题
本发明的目的是提供能够向预定的区域将药液以不同的药液供应量供应两次以上，并且能够防止邻接的区域之间的边界由于所述药液而发生的界面湍动的药液供应方法。
技术方案
为达成本发明的上述目的，根据本发明的方面，提供一种利用包括中心部分与分别具有第一部分及第二部分的多个周边部分的喷墨头的药液供应方法。根据所述药液供应方法，可从所述中心部分以第一药液供应量将药液供应到基板上，可从所述第一部分以第二药液供应量将所述药液供应到所述基板上，可从所述第二部分以第三药液供应量将所述药液供应到所述基板上。可以将所述喷墨头在所述基板的上部移动相当于所述周边部分的长度的量。可从所述中心部分以所述第一药液供应量将所述药液供应到所述基板上，可从所述第一部分以所述第二药液供应量将所述药液供应到所述基板上，可从所述第二部分以所述第三药液供应量将所述药液供应到所述基板上。
根据例示性实施例，所述中心部分供应的第一药液供应量实质上可等于所述第一部分供应的第二药液供应量及所述第二部分供应的第三药液供应量之和。
根据例示性实施例，所述中心部分供应的第一药液供应量实质上可大于所述第一部分供应的第二药液供应量及所述第二部分供应的第三药液供应量。
根据例示性实施例，所述第一部分供应的第二药液供应量实质上可小于所述第二部分供应的第三药液供应量。
根据例示性实施例，所述第一部分供应的第二药液供应量实质上可大于所述第二部分供应的第三药液供应量。
根据部分例示性实施例，所述多个周边部分分别还可以包括第三部分且可从所述第三部分以第四药液供应量将所述药液供应到所述基板上。
根据部分例示性实施例，所述中心部分供应的第一药液供应量实质上可等于所述第一部分供应的第二药液供应量、所述第二部分供应的第三药液供应量及所述第三部分供应的第四药液供应量之和。
根据部分例示性实施例，所述中心部分供应的第一药液供应量实质上可大于所述第一部分供应的第二药液供应量、所述第二部分供应的第三药液供应量及所述第三部分供应的第四药液供应量。
根据部分例示性实施例，所述第一部分供应的第二药液供应量实质上可大于所述第二部分供应的第三药液供应量，所述第二部分供应的第三药液供应量实质上可大于所述第三部分供应的第四药液供应量。
根据部分例示性实施例，所述第一部分供应的第二药液供应量实质上可小于所述第二部分供应的第三药液供应量，所述第二部分供应的第三药液供应量实质上可小于所述第三部分供应的第四药液供应量。
技术效果
根据本发明的例示性实施例，所述喷墨头的两个以上的周边部分能够以不同的药液供应量向所述基板的预定的区域上供应所述药液。由于能够将所述药液向所述基板的区域上供应两次以上，因此能够有效防止在所述基板的邻接的区域的边界因所述药液而可能发生的界面湍动现象。从而能够在所述基板上均匀地形成所需的薄膜。
但本发明的效果不限于上述效果，可在不超出本发明的思想领域的范围内进行多种扩张。
附图说明
图1是用于说明本发明的例示性实施例的利用喷墨头的药液供应方法的简要示意图；
图2是用于说明本发明的部分例示性实施例的利用喷墨头的药液供应方法的简要示意图；
图3是用于说明本发明的另一例示性实施例的利用喷墨头的药液供应方法的简要示意图。
具体实施方式
以下说明本发明的例示性实施例，但本发明可实施多种变更，可以具有多种形态，说明书对例示的实施例进行详细说明。但这并非旨在将本发明限定于特定的公开形态，应该理解为包括本发明的思想及技术范围内的所有变更、等同物及替代物。在说明各附图时对类似的构成要素使用类似的附图标记。第一、第二等用语可用于说明多种构成要素，但所述构成要素不得受限于所述用语。所述用语只是用于使一个构成要素与其他构成要素相区分。本申请中使用的用语只是用于说明特定实施例，而并非限定本发明。单数的表现形式在文中无其他明确说明的情况下还包括复数的表现形式。应该将本申请中所述的“包括”或“构成”等用语理解为存在说明书上记载的特征、数字、步骤、动作、构成要素、部件或其组合，而不应理解为预先排除存在或附加一个或多个其他特征或数字、步骤、动作、构成要素、部件或其组合的可能性。
若无另行定义，包括技术用语或科学用语在内的此处使用的所有用语均表示与本发明所属技术领域的普通技术人员通常理解相同的意思。通常使用的词典中定义过的用语应解释为与相关技术的文章脉络的意思相一致的意思，本申请中没有明确定义的情况下不得解释为理想或过度形式性的意思。
以下参见附图对本发明的例示性实施例的利用喷墨头的药液供应方法进行具体说明。
例示性实施例的药液供应方法可用于在用于制造液晶显示装置、有机发光显示装置等显示装置的工序中形成取向膜、滤色片、有机发光层等预定的薄膜。所述药液供应方法可利用能够向基板上供应所需的药液的喷墨头执行。
在例示性实施例中，所述喷墨头可具有能够向所述基板上喷射所述药液的多个喷嘴。所述喷墨头的多个喷嘴实质上可以隔着预定的距离排列。例如，所述多个喷嘴实质上可以排列成线结构。所述喷墨头可包括对应于所述多个喷嘴的多个压电元件。能够利用这种压电元件的工作通过所述喷嘴向所述基板上供应所述药液。可控制施加于所述压电元件的电压，因此可分别独立地调节从所述相应喷嘴向所述基板上供应的药液的供应量。换而言之，可对所述喷墨头的多个喷嘴分别进行控制以调节从所述喷墨头向所述基板上供应的所述药液的供应量。
在部分例示性实施例中，所述药液供应方法可利用包括多个喷墨头的喷墨头单元执行。例如，所述喷墨头单元可具有三个喷墨头。
根据例示性实施例，所述喷墨头可包括中心部分及多个周边部分。该情况下，所述多个周边部分可位于所述中心部分的两侧。所述中心部分的长度与所述多个周边部分的长度实质上可相同。例如，所述喷墨头可具有长度相同的三个部分。并且，所述中心部分及所述多个周边部分可包括相同数量的喷嘴。
根据例示性实施例，所述多个周边部分可分别具有两个以上的部分。例如，所述喷墨头的周边部分可包括与所述中心部分接触的第一部分至第N部分(其中，N是2以上的整数)。该情况下，所述周边部分的第一部分至第N部分实质上可具有相同的长度。并且，所述第一部分至所述第N部分可包括相同数量的喷嘴。
在例示性实施例的药液供应方法中，所述喷墨头的中心部分可向所述基板上以第一药液供应量供应所述药液。所述喷墨头的所述周边部分的第一部分可以以第二药液供应量将所述药液供应到所述基板上，所述周边部分的第二部分可以以第三药液供应量将所述药液供应到所述基板上。如上，所述周边部分的第N部分可以以第N+1药液供应量将所述药液供应到所述基板上。该情况下，所述第一药液供应量可大于所述第二药液供应量及所述第三药液供应量。例如，所述第一药液供应量实质上可等于所述第二药液供应量及所述第三药液供应量之和。并且，所述第二药液供应量可大于所述第三药液供应量。选择性地，所述第二药液供应量可小于所述第三药液供应量。
在部分例示性实施例中，所述喷墨头的周边部分可分别包括第一部分、第二部分及第三部分。所述第一部分可以以第二药液供应量将所述药液供应到所述基板上，所述第二部分可以以第三药液供应量将所述药液供应到所述基板上，所述第三部分可以以第四药液供应量将所述药液供应到所述基板上。该情况下，所述第二药液供应量可大于所述第三药液供应量，所述第三药液供应量可大于所述第四药液供应量。可选地，所述第二药液供应量可小于所述第三药液供应量，所述第三药液供应量可小于所述第四药液供应量。并且，所述中心部分的所述第一药液供应量可大于所述第二药液供应量、所述第三药液供应量及所述第四药液供应量。例如，所述中心部分的第一药液供应量实质上可等于所述第二药液供应量、所述第三药液供应量及所述第四药液供应量之和。换而言之，所述周边部分包括所述第一部分至第N部分的情况下所述第一药液供应量实质上可等于第二药液供应量至第N+1药液供应量之和。
所述喷墨头可沿着实质上垂直于所述周边部分的长度的方向以扫描方式在所述基板上供应所述药液。之后，可以将所述喷墨头在所述基板上移动相当于所述周边部分的长度的量。例如，所述中心部分的长度与所述周边部分的长度实质上相同的情况下，所述喷墨头可在所述基板上移动相当于所述喷墨头的整体长度的约1/3的量。
在例示性实施例的药液供应方法中，所述喷墨头的多个周边部分可分别具有两个以上的部分。所述中心部分与所述周边部分的两个以上的部分可以以不同的药液供应量将所述药液向所述基板的预定的区域上供应至少两次以上，因此能够防止所述基板的邻接的区域之间的边界被供应过量的药液。从而能够防止所述基板的邻接的区域之间的边界由于所述药液而发生的界面湍动，因此能够在所述基板上均匀地形成具有所需厚度的薄膜。
以下参见附图更具体地说明本发明的例示性实施例的利用喷墨头的药液供应方法。
图1是用于说明本发明的例示性实施例的利用喷墨头的药液供应方法的简要示意图。
参见图1，例示性实施例的药液供应方法可利用能够向基板100上供应药液的喷墨头200执行。所述喷墨头200可包括中心部分21及位于所述中心部分21的两侧的多个周边部分23。所述多个周边部分23可分别具有第一部分25及第二部分27。所述第一部分25可配置成与所述中心部分21相接。在例示性实施例中，所述喷墨头200的中心部分21可供应在预定的工序期间供应到所述基板100上的药液供应量的约50％。并且，所述周边部分23的第一部分25可向所述基板100上供应所述药液供应量的约33％或约17％，所述周边部分23的第二部分27可向所述基板100上供应所述药液供应量的约17％或约33％。
在例示性实施例的药液供应方法中，可以将所述喷墨头200的一侧周边部分23位于所述基板100的第一区域上部后以扫描方式驱动所述喷墨头200向所述基板100的第一区域上供应所述药液。该情况下，所述喷墨头200的中心部分21及另一侧周边部分23可位于脱离所述基板100的位置，因此可不被所述中心部分21及所述另一侧周边部分23供应所述药液。在此，所述一个周边部分23的第一部分25可向所述基板100的第一区域上供应所述药液供应量的约33％，所述一个周边部分23的第二部分27可向所述第一区域上供应所述药液供应量的约17％。
之后，可以将所述喷墨头200在所述基板100上移动相当于所述一侧周边部分23的长度的量。因此，所述喷墨头200的所述一侧周边部分23可位于所述基板100的第二区域上部，所述喷墨头200的中心部分21可位于所述基板100的第一区域上部。将所述喷墨头200的一侧周边部分23及中心部分21分别位于所述基板100的第二区域及第一区域上部后，可以以扫描方式驱动所述喷墨头200向所述基板100的第二区域及第一区域上供应所述药液。该情况下，所述喷墨头200的所述另一侧周边部分23可位于脱离所述基板100的位置，因此可不被所述另一侧周边部分23供应所述药液。
所述一侧周边部分23的第一部分25可向所述基板100的第二区域上供应所述药液供应量的约33％，所述一侧周边部分23的第二部分27可向所述第二区域上供应所述药液供应量的约17％。并且，所述中心部分21可向所述基板100的第一区域上供应所述药液供应量的约50％。从而以所述药液的累积量为基准，所述基板100的第二区域上可被供应来自所述一侧周边部分23的第二部分27的所述药液供应量的约17％及来自所述一侧周边部分23的第一部分25的所述药液供应量的约33％。并且所述基板100的第一区域上可被供应来自所述一侧周边部分23的第一部分25及所述中心部分21的所述药液供应量的约83％加上来自一侧周边部分23的第二部分27及所述中心部分21的所述整体药液供应量的约67％。
之后，可以将所述喷墨头200在所述基板100上移动相当于所述一侧周边部分23的长度的量。因此，所述喷墨头200的一侧周边部分23可位于所述基板100的第三区域上部，所述喷墨头200的中心部分21可位于所述基板100的第二区域上部，所述喷墨头200的另一侧周边部分23可位于所述基板100的第一区域上部。将所述喷墨头200的一侧周边部分23、中心部分21及另一侧周边部分23分别位于所述基板100的第三区域、第二区域及第一区域上部后，可以以扫描方式驱动所述喷墨头200向所述基板100的第三区域、第二区域及第一区域上供应所述药液。
所述一侧周边部分23的第一部分25可向所述第三区域上供应所述药液供应量的约33％，所述一侧周边部分23的第二部分27可向所述第三区域上供应所述药液供应量的约17％。所述中心部分21可向所述第二区域上供应所述药液供应量的约50％。所述另一侧周边部分23的第一部分25可向所述第一区域上供应所述药液供应量的约33％，所述另一侧周边部分23的第二部分27可向所述第一区域上供应所述药液供应量的约17％。从而以所述药液的累积量为基准，所述基板100的第三区域上可被供应来自所述一侧周边部分23的第一部分25的所述药液供应量的约33％及来自所述一侧周边部分23的第二部分27的所述药液供应量的约17％。所述基板100的第二区域上可被供应来自所述一侧周边部分23的第一部分25及所述中心部分21的所述药液供应量的约83％加上来自所述一侧周边部分23的第二部分27及所述中心部分21的所述药液供应量的约67％。所述基板100的第一区域上可被供应来自所述一侧周边部分23的第一部分25、所述中心部分21及从所述另一侧周边部分23的第二部分27的所述药液供应量的约100％加上所述一侧周边部分23的第二部分27、所述中心部分21及所述另一侧周边部分23的第一部分25的所述药液供应量的约100％。
之后，可以在所述基板100上部移动所述喷墨头200，可通过上述方式从所述喷墨头200的一侧周边部分23、中心部分21及另一侧周边部分23分别向所述基板100的第四区域、第三区域及第二区域供应所述药液。从而以所述药液的累积量为基准，所述基板100的第四区域上可被供应来自所述一侧周边部分23的第一部分25的所述药液供应量的约33％及来自所述一侧周边部分23的第二部分27的所述药液供应量的约17％。并且，所述基板100的第三区域上可被供应来自所述一侧周边部分23的第一部分25及所述中心部分21的所述药液供应量的约83％加上来自所述一侧周边部分23的第二部分27及所述中心部分21的所述药液供应量的约67％。尤其，所述基板100的第二区域上可被供应来自所述一侧周边部分23的第一部分25、所述中心部分21及所述另一侧周边部分23的第二部分27的所述药液供应量的约100％加上来自所述一侧周边部分23的第二部分27、所述中心部分21及所述另一侧周边部分23的第一部分25的所述药液供应量的约100％。
类似地，可从所述喷墨头200的一侧周边部分23、中心部分21及另一侧周边部分23分别向所述基板100的第五区域、第四区域及第三区域上供应所述药液。从而以所述药液的累积量为基准，所述基板100的第五区域上可被供应来自所述一侧周边部分23的第一部分25的所述药液供应量的约33％及来自所述一侧周边部分23的第二部分27的所述药液供应量的约17％。并且，所述基板100的第四区域上可被供应来自所述一侧周边部分23的第一部分25及所述中心部分21的所述药液供应量的约83％加上来自所述一侧周边部分23的第二部分27及所述中心部分21的所述药液供应量的约67％。尤其，所述基板100的第三区域上可被供应来自所述一侧周边部分23的第一部分25、所述中心部分21及所述另一侧周边部分23的第二部分27的所述药液供应量的约100％加上来自所述一侧周边部分23的第二部分27、所述中心部分21及所述另一侧周边部分23的第一部分25的所述药液供应量的约100％。
如上所述，根据例示性实施例的药液供应方法，所述喷墨头200的两个以上的周边部分23可以以不同的药液供应量向所述基板100的预定的区域上供应所述药液。由于能够将所述药液向所述基板100的预定的区域上供应两次以上，因此能够有效防止在所述基板100的邻接的区域的边界因所述药液而可能发生的界面湍动现象。从而能够在所述基板100上均匀地形成所需的薄膜。
图2是用于说明本发明的部分例示性实施例的利用喷墨头的药液供应方法的简要示意图。图2中与参见图1说明的部件相同或类似的部件用相同或类似的附图标记标出。
参见图2，喷墨头200可包括中心部分21及多个周边部分31，其中所述多个周边部分31与所述中心部分21邻近，并且可以包括第三部分37、第二部分35及第一部分33。根据部分例示性实施例的药液供应方法，所述喷墨头200的中心部分21可向基板100上供应药液供应量的约60％。所述喷墨头200的周边部分31的第一部分33可向所述基板100上供应药液供应量的约30％或约10％，周边部分31的第二部分35可向所述基板100上供应药液供应量的约20％，周边部分31的第三部分37可向所述基板100上供应药液供应量的约10％或约30％。
可以将所述喷墨头200的一侧周边部分31位于所述基板100的第一区域上部，可以以扫描方式驱动所述喷墨头200向所述基板100的第一区域上供应药液。该情况下，所述喷墨头200的中心部分21及另一侧周边部分31可位于脱离所述基板100的位置，因此所述基板100上可不被所述中心部分21及另一侧周边部分31供应所述药液。
所述周边部分31的第三部分37可向所述基板100的第一区域上供应所述药液供应量的约10％，所述周边部分31的第二部分35可向所述第一区域上供应所述药液供应量的约20％，所述周边部分31的第一部分33可向所述第一区域上供应所述药液供应量的约30％。
之后，可以将所述喷墨头200在所述基板100上部移动相当于所述一侧周边部分31的长度的量，从而所述一侧周边部分31可位于所述基板100的第二区域上部，所述中心部分21可位于所述基板100的第一区域上部。将所述一侧周边部分31及所述中心部分21分别位于所述第二区域及所述第一区域上部后，可向所述基板100的第二区域及第一区域上供应所述药液。其中，所述喷墨头200的另一侧周边部分31可位于脱离所述基板100的位置，因此所述基板100上可不被另一侧周边部分31供应所述药液。
所述一侧周边部分31的第三部分37可向所述基板100的第二区域上供应所述药液供应量的约10％，所述一侧周边部分31的第二部分35可向所述第二区域上供应所述药液供应量的约20％，所述一侧周边部分31的第一部分33可向所述第二区域上供应所述药液供应量的约30％。所述中心部分21可向所述基板100的第一区域上供应所述药液供应量的约60％。从而以所述药液的累积量为基准，所述基板100的第二区域上可被供应来自所述一侧周边部分31的第三部分37的所述药液供应量的约10％、来自所述一侧周边部分31的第二部分35的所述整体药液供应量的约20％及来自所述一侧周边部分31的第一部分33的所述药液供应量的约30％。并且，所述基板100的第一区域上可被供应来自所述一侧周边部分31的第三部分37及所述中心部分21的所述药液供应量的约70％加上来自所述一侧周边部分31的第二部分35及所述中心部分21的所述药液供应量的约80％加上来自所述一侧周边部分31的第一部分33及所述中心部分21的所述药液供应量的约90％。
之后，可以将所述喷墨头200在所述基板100上部移动相当于所述一侧周边部分31的长度的量，从而所述一侧周边部分31可位于所述基板100的第三区域上部，所述中心部分21可位于所述基板100的第二区域上部，所述另一侧周边部分31可位于所述基板100的第一区域上部。可从所述喷墨头200的一侧周边部分31、中心部分21及另一侧周边部分31分别向所述基板100的第三区域、第二区域及第一区域上供应所述药液。
所述一侧周边部分31的第三部分37可向所述基板100的第三区域上供应所述药液供应量的约10％，所述一侧周边部分31的第二部分35可向所述第三区域上供应所述药液供应量的约20％，所述一侧周边部分31的第一部分33可向所述第三区域上供应所述药液供应量的约30％。并且，所述中心部分21可向所述第二区域上供应所述药液供应量的约60％。尤其，所述另一侧周边部分31的第一部分33可向所述第一区域上供应所述药液供应量的约30％，所述另一侧周边部分31的第二部分35可向所述第一区域上供应所述药液供应量的约20％，所述另一侧周边部分31的第三部分37可向所述第一区域上供应所述药液供应量的约10％。从而以所述药液的累积量为基准，所述基板10的第三区域上可被供应来自所述一侧周边部分31的第三部分37的所述药液供应量的约10％、来自所述一侧周边部分31的第二部分35的所述药液供应量的约20％及来自所述一侧周边部分31的第一部分33的所述药液供应量的约30％。并且，所述基板100的第二区域上可被供应来自所述一侧周边部分31的第三部分37及所述中心部分21的所述药液供应量的约70％加上来自所述一侧周边部分31的第二部分35及所述中心部分21的所述药液供应量的约80％加上来自所述一侧周边部分31的第一部分33及所述中心部分21的所述药液供应量的约90％。尤其，所述基板100的第一区域上可被供应来自所述一侧周边部分31的第三部分37、所述中心部分21及所述另一侧周边部分31的第一部分33的所述药液供应量的约100％加上来自所述一侧周边部分31的第二部分35、所述中心部分21及所述另一侧周边部分31的第二部分35的所述药液供应量的约100％加上来自所述一侧周边部分31的第一部分33、所述中心部分21及所述另一侧周边部分31的第三部分37的所述药液供应量的约100％。
之后，可以在所述基板100上部移动所述喷墨头200后，通过上述方式向所述基板100的第四区域、第三区域及第二区域上供应所述药液。从而以所述药液的累积量为基准，所述基板100的第四区域上可被供应来自所述一侧周边部分31的第三部分37的所述药液供应量的约10％，来自所述一侧周边部分31的第二部分35的所述药液供应量的约20％，来自所述一侧周边部分31的第一部分33的所述药液供应量的约30％。并且，所述基板100的第三区域上可被供应来自所述一侧周边部分31的第三部分37及所述中心部分21的所述药液供应量的约70％加上来自所述一侧周边部分31的第二部分35及所述中心部分21的所述药液供应量的约80％加上来自所述一侧周边部分31的第一部分33及所述中心部分21的所述药液供应量的约90％。另外，所述基板100的第二区域上可被供应来自所述一侧周边部分31的第三部分37、所述中心部分21及所述另一侧周边部分31的第一部分33的所述药液供应量的约100％加上来自所述一侧周边部分31的第二部分35、所述中心部分21及所述另一侧周边部分31的第二部分35的所述药液供应量的约100％加上来自所述一侧周边部分31的第一部分33、所述中心部分21及所述另一侧周边部分31的第三部分37的所述药液供应量的约100％。
可在所述基板100上移动所述喷墨头200，之后可通过上述方式将所述药液供应到所述基板100的第五区域、第四区域及第三区域上。其结果，所述基板100的第五区域上可被供应来自所述一侧周边部分31的第三部分37的所述药液供应量的约10％加上来自所述一侧周边部分31的第二部分35的所述药液供应量的约20％加上来自所述一侧周边部分31的第一部分33的所述药液供应量的约30％。并且，所述基板100的第四区域上可被供应来自所述一侧周边部分31的第三部分37及所述中心部分21的所述药液供应量的约70％加上来自所述一侧周边部分31的第二部分35及所述中心部分21的所述药液供应量的约80％加上来自所述一侧周边部分31的第一部分33及所述中心部分21的所述药液供应量的约90％。尤其，所述基板100的第三区域上可被供应来自所述一侧周边部分31的第三部分37、所述中心部分21及所述另一侧周边部分31的第一部分33的所述药液供应量的约100％加上来自所述一侧周边部分31的第二部分35、所述中心部分21及所述另一侧周边部分31的第二部分35的所述药液供应量的约100％加上来自所述一侧周边部分31的第一部分33、所述中心部分21及所述另一侧周边部分31的第三部分37的所述药液供应量的约100％。
在例示性实施例的药液供应方法中，所述喷墨头200的三个以上的周边部分31可分别以不同的供应量向所述基板100上供应所述药液。由于能够将所述药液向所述基板100的区域上供应三次以上，因此能够有效防止在所述基板100的邻接的区域的边界因所述药液而可能发生的界面湍动现象。从而能够在所述基板100上更均匀地形成所需的薄膜。
图3是用于说明本发明的另一例示性实施例的利用喷墨头的药液供应方法的简要示意图。图3中与参见图1及图2说明的部件相同或类似的部件用相同或类似的附图标记标出。
参见图3，喷墨头200可包括中心部分21及多个周边部分41，其中所述中心部分21可向基板100上供应药液供应量的约50％，各周边部分41的第一部分43可向所述基板100上供应所述药液供应量的约17％或约33％，各周边部分41的第二部分45可向所述基板100上供应所述药液供应量的约33％或约17％。
将所述喷墨头200的一侧周边部分41位于所述基板100的第一区域上部后，可从所述一侧周边部分41向所述第一区域上供应药液。该情况下，所述喷墨头200的中心部分21及另一侧周边部分41可位于脱离所述基板100的位置，因此所述基板100上可不被所述中心部分21及另一侧周边部分41供应所述药液。所述一侧周边部分41的第二部分45可向所述基板100的第一区域上供应所述药液供应量的约33％，所述一侧周边部分41的第一部分43可向所述第一区域上供应所述药液供应量的约17％。
可以将所述喷墨头200在所述基板100上部移动相当于所述一侧周边部分41的长度的量。从而喷墨头200的一侧周边部分41可位于所述基板100的第二区域上部，所述喷墨头200的中心部分21可位于所述基板100的第一区域上部。可以以扫描方式驱动所述喷墨头200向所述基板100的第二区域及第一区域上供应所述药液。该情况下，所述喷墨头200的另一侧周边部分41可位于脱离所述基板100的位置，因此所述基板100上可不被所述另一侧周边部分41供应所述药液。
所述一侧周边部分41的第二部分45可向所述基板100的第二区域上供应所述药液供应量的约33％，所述一侧周边部分41的第一部分43可向所述第二区域上供应所述药液供应量的约17％。并且，所述中心部分21可向所述第一区域上供应所述药液供应量的约50％。其结果，以所述药液的累积量为基准，所述基板100的第二区域上可被供应来自所述一侧周边部分41的第二部分45的所述药液供应量的约33％加上来自一侧周边部分41的第一部分43的一侧周边部分41的所述药液供应量的约17％。并且，所述基板100的第一区域上可被供应来自所述一侧周边部分41的第二部分45及所述中心部分21的所述药液供应量的约83％加上来自所述一侧周边部分41的第一部分43及所述中心部分21的所述药液供应量的约67％。
可以将所述喷墨头200在所述基板100上移动相当于所述一侧周边部分41的长度的量，从而所述一侧周边部分41可位于所述基板100的第三区域上部，所述中心部分21可位于所述基板100的第二区域上部，所述另一侧周边部分41可位于所述基板100的第一区域上部。将所述一侧周边部分41、中心部分21及另一侧周边部分41分别位于所述基板100的第三区域、第二区域及第一区域上部后，可向所述第三区域、所述第二区域及所述第一区域上供应所述药液。
所述一侧周边部分41的第二部分45可向所述基板100的第三区域上供应所述药液供应量的约33％，所述一侧周边部分41的第一部分43可向所述第三区域上供应所述药液供应量的约17％。所述中心部分21可向所述基板100的第二区域上供应所述药液供应量的约50％。所述另一侧周边部分41的第一部分43可向所述基板100的第一区域上供应所述药液供应量的约17％，所述另一侧周边部分41的第二部分45可向所述第一区域上的所述药液供应量的约33％。其结果，以所述药液的累积量为基准，所述基板100的第三区域上可被供应来自所述一侧周边部分41的第二部分45的所述药液供应量的约33％加上来自所述一侧周边部分41的第一部分43的所述药液供应量的约17％。所述基板100的第二区域上可被供应来自所述一侧周边部分41的第二部分45及所述中心部分21的所述药液供应量的约83％加上来自所述一侧周边部分41的第一部分43及所述中心部分21的所述药液供应量的约67％。所述基板100的第一区域上可被供应来自所述一侧周边部分41的第二部分45、所述中心部分21及所述另一侧周边部分41的第一部分43的所述药液供应量的约100％加上来自所述一侧周边部分41的第一部分43、所述中心部分21及所述另一侧周边部分41的第二部分45的所述药液供应量的约100％。
在所述基板10上部移动所述喷墨头200后，可向所述基板100的第四区域、第三区域及第二区域供应所述药液。其结果，以所述药液的累积量为基准，所述基板100的第四区域上可被供应来自所述一侧周边部分41的第二部分45的所述药液供应量的约33％加上来自所述一侧周边部分41的第一部分43的所述药液供应量的约17％。所述基板100的第三区域上可被供应来自所述一侧周边部分41的第二部分45及所述中心部分21的所述药液供应量的约83％加上来自所述一侧周边部分41的第一部分43及所述中心部分21的所述药液供应量的约67％。所述基板100的第二区域上可被供应来自所述一侧周边部分41的第二部分45、所述中心部分21及所述另一侧周边部分41的第一部分43的所述药液供应量的约100％加上来自所述一侧周边部分41的第一部分43、所述中心部分21及所述另一侧周边部分41的第二部分45的所述药液供应量的约100％。
在所述基板10上部移动所述喷墨头200后，可向所述基板100的第五区域、第四区域及第三区域上供应所述药液。其结果，以所述药液的累积量为基准，所述基板100的第五区域上可被供应来自所述一侧周边部分41的第二部分45的所述药液供应量的约33％加上来自所述一侧周边部分41的第一部分43的所述药液供应量的17％。所述基板100的第四区域上可被供应来自所述一侧周边部分41的第二部分45及所述中心部分21的所述药液供应量的约83％加上来自所述一侧周边部分41的第一部分43及所述中心部分21的所述药液供应量的67％。所述基板100的第三区域上可被供应来自所述一侧周边部分41的第二部分45、所述中心部分21及所述另一侧周边部分41的第一部分43的所述药液供应量的约100％加上来自所述一侧周边部分41的第一部分43、所述中心部分21及所述另一侧周边部分41的第二部分45的所述药液供应量的约100％。
根据另一例示性实施例的药液供应方法，所述喷墨头200的两个以上的周边部分41可以将所述药液分别以不同的供应量向基板100的区域上供应两次以上。能够有效防止在所述基板100的邻接的区域的边界因所述药液而可能发生的界面湍动现象，因此能够在所述基板100上均匀地形成所需的薄膜。
本发明的例示性实施例的药液供应方法可有效地用于在基板上形成液晶显示装置、有机发光显示装置等显示装置的取向膜、滤色片或有机发光层之类的薄膜的工序。
以上参见本发明的例示性实施例进行了说明，但本技术领域的普通技术人员应理解可以在不超出技术方案记载的本发明的思想及领域的范围内对本发明进行多种修改及变更。

Claims (8)

1.一种药液供应方法，其利用包括中心部分与分别具有第一部分及第二部分的多个周边部分的喷墨头，其特征在于，包括：
从所述中心部分以第一药液供应量将药液供应到基板上，从所述第一部分以第二药液供应量将所述药液供应到所述基板上，从所述第二部分以第三药液供应量将所述药液供应到所述基板上的步骤；
将所述喷墨头在所述基板的上部移动相当于所述周边部分的长度的量的步骤；以及
从所述中心部分以所述第一药液供应量将所述药液供应到所述基板上，从所述第一部分以所述第二药液供应量将所述药液供应到所述基板上，从所述第二部分以所述第三药液供应量将所述药液供应到所述基板上的步骤，
所述中心部分供应的第一药液供应量等于所述第一部分供应的第二药液供应量及所述第二部分供应的第三药液供应量之和。
2.一种药液供应方法，其利用包括中心部分与分别具有第一部分及第二部分的多个周边部分的喷墨头，其特征在于，包括：
从所述中心部分以第一药液供应量将药液供应到基板上，从所述第一部分以第二药液供应量将所述药液供应到所述基板上，从所述第二部分以第三药液供应量将所述药液供应到所述基板上的步骤；
将所述喷墨头在所述基板的上部移动相当于所述周边部分的长度的量的步骤；以及
从所述中心部分以所述第一药液供应量将所述药液供应到所述基板上，从所述第一部分以所述第二药液供应量将所述药液供应到所述基板上，从所述第二部分以所述第三药液供应量将所述药液供应到所述基板上的步骤，
所述中心部分供应的第一药液供应量大于所述第一部分供应的第二药液供应量及所述第二部分供应的第三药液供应量。
3.根据权利要求2所述的药液供应方法，其特征在于：
所述第一部分供应的第二药液供应量小于所述第二部分供应的第三药液供应量。
4.根据权利要求2所述的药液供应方法，其特征在于：
所述第一部分供应的第二药液供应量大于所述第二部分供应的第三药液供应量。
5.一种药液供应方法，其利用包括中心部分与分别具有第一部分及第二部分的多个周边部分的喷墨头，其特征在于，包括：
从所述中心部分以第一药液供应量将药液供应到基板上，从所述第一部分以第二药液供应量将所述药液供应到所述基板上，从所述第二部分以第三药液供应量将所述药液供应到所述基板上的步骤；
将所述喷墨头在所述基板的上部移动相当于所述周边部分的长度的量的步骤；以及
从所述中心部分以所述第一药液供应量将所述药液供应到所述基板上，从所述第一部分以所述第二药液供应量将所述药液供应到所述基板上，从所述第二部分以所述第三药液供应量将所述药液供应到所述基板上的步骤，所述多个周边部分分别还包括第三部分，
所述药液供应方法还包括从所述第三部分以第四药液供应量将所述药液供应到所述基板上的步骤，
所述中心部分供应的第一药液供应量等于所述第一部分供应的第二药液供应量、所述第二部分供应的第三药液供应量及所述第三部分供应的第四药液供应量之和。
6.一种药液供应方法，其利用包括中心部分与分别具有第一部分及第二部分的多个周边部分的喷墨头，其特征在于，包括：
从所述中心部分以第一药液供应量将药液供应到基板上，从所述第一部分以第二药液供应量将所述药液供应到所述基板上，从所述第二部分以第三药液供应量将所述药液供应到所述基板上的步骤；
将所述喷墨头在所述基板的上部移动相当于所述周边部分的长度的量的步骤；以及
从所述中心部分以所述第一药液供应量将所述药液供应到所述基板上，从所述第一部分以所述第二药液供应量将所述药液供应到所述基板上，从所述第二部分以所述第三药液供应量将所述药液供应到所述基板上的步骤，所述多个周边部分分别还包括第三部分，
所述药液供应方法还包括从所述第三部分以第四药液供应量将所述药液供应到所述基板上的步骤，
所述中心部分供应的第一药液供应量大于所述第一部分供应的第二药液供应量、所述第二部分供应的第三药液供应量及所述第三部分供应的第四药液供应量。
7.根据权利要求6所述的药液供应方法，其特征在于：
所述第一部分供应的第二药液供应量大于所述第二部分供应的第三药液供应量，所述第二部分供应的第三药液供应量大于所述第三部分供应的第四药液供应量。
8.根据权利要求6所述的药液供应方法，其特征在于：
所述第一部分供应的第二药液供应量小于所述第二部分供应的第三药液供应量，所述第二部分供应的第三药液供应量小于所述第三部分供应的第四药液供应量。
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