KR20200060808A - 약액 토출 어셈블리 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 - Google Patents

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KR20200060808A
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Abstract

예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 어셈블리는 갠트리, 잉크젯 헤드, 제1 연결부, 제2 연결부, 제1 결합부, 및 제2 결합부를 포함할 수 있다. 상기 갠트리는 제1 기둥부 및 상기 제1 기둥부와 마주하도록 배치되는 제2 기둥부로 이루어질 수 있다. 상기 잉크젯 헤드는 상기 제1 기둥부 및 상기 제2 기둥부 사이에 위치하는 기판 상에 약액을 토출할 수 있게 상기 제1 기둥부 및 상기 제2 기둥부 사이에 배치되도록 구비될 수 있다. 상기 제1 연결부는 상기 잉크젯 헤드의 일측과 상기 제1 기둥부를 연결하도록 구비될 수 있다. 상기 제2 연결부는 상기 잉크젯 헤드의 타측과 상기 제2 기둥부를 연결하도록 구비될 수 있다. 상기 제1 결합부는 상기 제1 연결부와 상기 제1 기둥부 및 상기 제2 연결부와 상기 제2 기둥부가 연결되도록 결합시킬 때 상기 제1 연결부는 상기 제1 기둥부에서 그리고 상기 제2 연결부는 상기 제2 기둥부에서 움직일 수 있게 결합시키도록 구비될 수 있다. 상기 제2 결합부는 상기 제1 연결부와 상기 제1 기둥부 및 상기 제2 연결부와 상기 제2 기둥부가 연결되도록 결합시킬 때 상기 제1 연결부는 상기 제1 기둥부에 또는 상기 제2 연결부는 상기 제2 기둥부에 고정될 수 있게 결합시키도록 구비될 수 있다.

Description

약액 토출 어셈블리 및 이를 포함하는 기판 처리 장치{Assembly for Discharging Droplet and Apparatus for Processing Substrate having the same}
본 발명은 약액 토출 어셈블리 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 갠트리에 배치되도록 구비되는 잉크젯 헤드를 사용하여 기판 상에 약액을 토출하기 위한 약액 토출 어셈블리 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
액정 디스플레이 소자, 유기 발광 디스플레이 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조에서는 기판 상에 배향막, 컬리 필터 등을 형성할 경우 기판 상에 약액을 토출할 수 있는 잉크젯 헤드를 구비하는 기판 처리 장치를 사용하고 있다.
언급한 기판 처리 장치에 있어서, 잉크젯 헤드는 갠트리에 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 즉, 잉크젯 헤드는 갠트리의 양쪽 기둥부들 사이에 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것이다. 그리고 갠트리를 이송시킴에 의해 잉크젯 헤드가 이송되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
그러나 갠트리가 양쪽 기둥부로 이루어지는 듀얼 구조를 갖기 때문에 갠트리의 이송을 정밀하게 세팅하기에는 한계가 있고, 그 결과 잉크젯 헤드의 위치도 틀어져서 잉크젯 헤드로부터 기판 상의 정확한 위치로 약액이 토출되지 못함에 따라 불량이 발생하는 문제점이 있다.
본 발명의 일 과제는 갠트리를 사용하는 잉크젯 헤드의 이송시 듀얼 구조를 갖는 기둥부들 각각이 틀어지는 위치를 보정할 수 있는 약액 토출 어셈블리를 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 과제는 갠트리를 사용하는 잉크젯 헤드의 이송시 듀얼 구조를 갖는 기둥부들 각각이 틀어지는 위치를 보정할 수 있는 기판 처리 장치를 제공하는데 있다.
상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 어셈블리는 갠트리, 잉크젯 헤드, 제1 연결부, 제2 연결부, 제1 결합부, 및 제2 결합부를 포함할 수 있다. 상기 갠트리는 제1 기둥부 및 상기 제1 기둥부와 마주하도록 배치되는 제2 기둥부로 이루어질 수 있다. 상기 잉크젯 헤드는 상기 제1 기둥부 및 상기 제2 기둥부 사이에 위치하는 기판 상에 약액을 토출할 수 있게 상기 제1 기둥부 및 상기 제2 기둥부 사이에 배치되도록 구비될 수 있다. 상기 제1 연결부는 상기 잉크젯 헤드의 일측과 상기 제1 기둥부를 연결하도록 구비될 수 있다. 상기 제2 연결부는 상기 잉크젯 헤드의 타측과 상기 제2 기둥부를 연결하도록 구비될 수 있다. 상기 제1 결합부는 상기 제1 연결부와 상기 제1 기둥부 및 상기 제2 연결부와 상기 제2 기둥부가 연결되도록 결합시킬 때 상기 제1 연결부는 상기 제1 기둥부에서 그리고 상기 제2 연결부는 상기 제2 기둥부에서 움직일 수 있게 결합시키도록 구비될 수 있다. 상기 제2 결합부는 상기 제1 연결부와 상기 제1 기둥부 및 상기 제2 연결부와 상기 제2 기둥부가 연결되도록 결합시킬 때 상기 제1 연결부는 상기 제1 기둥부에 또는 상기 제2 연결부는 상기 제2 기둥부에 고정될 수 있게 결합시키도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 연결부와 상기 제1 기둥부 쪽에 상기 제1 결합부만이 구비될 때 상기 제2 연결부와 상기 제2 기둥부 쪽에는 상기 제1 결합부 및 상기 제2 결합부가 함께 구비되고, 또는 상기 제2 연결부와 상기 제2 기둥부 쪽에 상기 제1 결합부만이 구비될 때 상기 제1 연결부와 상기 제1 기둥부 쪽에는 상기 제1 결합부 및 상기 제2 결합부가 함께 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 결합부 및 상기 제2 결합부가 함께 구비될 때 상기 제1 결합부는 상기 갠트리의 이송 방향을 기준으로 양단부 쪽에 배치되도록 구비되고, 상기 제2 결합부는 상기 양단부를 기준으로 중심부 쪽에 배치되도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 결합부는 텐션 기능이 추가되는 에어 베어링을 구비하는 체결 부재를 포함하고, 상기 제2 결합부는 볼트에 의해 고정되는 에어 베어링을 구비하는 체결 부재를 포함할 수 있다.
상기 본 발명의 다른 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치는 스테이지, 및 약액 토출 어셈블리를 포함할 수 있다. 상기 스테이지는 기판이 놓이도록 구비될 수 있다. 상기 약액 토출 어셈블리는 상기 스테이지에 놓이는 상기 기판 상에 약액을 토출하도록 구비될 수 있다. 상기 약액 토출 어셈블리는 갠트리, 잉크젯 헤드, 제1 연결부, 제2 연결부, 제1 결합부, 및 제2 결합부를 포함할 수 있다. 상기 갠트리는 상기 스테이지의 일측 단부와 이웃하게 배치되는 제1 기둥부 및 상기 제1 기둥부와 마주하도록 상기 스테이지의 타측 단부와 이웃하게 배치되는 제2 기둥부로 이루어질 수 있다. 상기 잉크젯 헤드는 상기 기판 상에 약액을 토출할 수 있게 상기 제1 기둥부 및 상기 제2 기둥부 사이에 배치되도록 구비될 수 있다. 상기 제1 연결부는 상기 잉크젯 헤드의 일측과 상기 제1 기둥부를 연결하도록 구비될 수 있다. 상기 제2 연결부는 상기 잉크젯 헤드의 타측과 상기 제2 기둥부를 연결하도록 구비될 수 있다. 상기 제1 결합부는 상기 제1 연결부와 상기 제1 기둥부 및 상기 제2 연결부와 상기 제2 기둥부가 연결되도록 결합시킬 때 상기 제1 연결부는 상기 제1 기둥부에서 그리고 상기 제2 연결부는 상기 제2 기둥부에서 움직일 수 있게 결합시키도록 구비될 수 있다. 상기 제2 결합부는 상기 제1 연결부와 상기 제1 기둥부 및 상기 제2 연결부와 상기 제2 기둥부가 연결되도록 결합시킬 때 상기 제1 연결부는 상기 제1 기둥부에 또는 상기 제2 연결부는 상기 제2 기둥부에 고정될 수 있게 결합시키도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 기판의 양측을 따라 상기 갠트리를 이송시킬 수 있도록 구비되는 이송부를 더 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 이송부는 상기 제1 기둥부가 활주하도록 구비되는 제1 레일과, 상기 제2 기둥부가 활주하도록 구비되는 제2 레일, 및 상기 제1 기둥부 및 상기 제2 기둥부에 구동력을 제공하는 구동부로 이루어질 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 구동부는 상기 제1 기둥부 및 상기 제2 기둥부가 동일한 속도로 구동되게 구동력을 제공하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 연결부와 상기 제1 기둥부 쪽에 상기 제1 결합부만이 구비될 때 상기 제2 연결부와 상기 제2 기둥부 쪽에는 상기 제1 결합부 및 상기 제2 결합부가 함께 구비되고, 또는 상기 제2 연결부와 상기 제2 기둥부 쪽에 상기 제1 결합부만이 구비될 때 상기 제1 연결부와 상기 제1 기둥부 쪽에는 상기 제1 결합부 및 상기 제2 결합부가 함께 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 결합부 및 상기 제2 결합부가 함께 구비될 때 상기 제1 결합부는 상기 갠트리의 이송 방향을 기준으로 양단부 쪽에 배치되도록 구비되고, 상기 제2 결합부는 상기 양단부를 기준으로 중심부 쪽에 배치되도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 제1 결합부는 텐션 기능이 추가되는 에어 베어링을 구비하는 체결 부재를 포함하고, 상기 제2 결합부는 볼트에 의해 고정되는 에어 베어링을 구비하는 체결 부재를 포함할 수 있다.
예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 어셈블리 및 기판 처리 장치는 갠트리를 사용하는 잉크젯 헤드의 이송시 듀얼 구조를 갖는 기둥부들 각각이 틀어지는 위치를 보정할 수 있도록 구비됨으로써 갠트리의 이송을 정밀하게 세팅할 수 있을 것이다.
이에, 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 어셈블리 및 기판 처리 장치는 갠트리의 이송을 정밀하게 세팅함으로써 잉크젯 헤드 또한 틀어짐 없이 이송시킬 수 있을 것이다.
따라서 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 어셈블리 및 기판 처리 장치는 잉크젯 헤드로부터 기판 상의 정확한 위치로 약액을 토출할 수 있기 때문에 약액 토출에 따른 불량을 최소화할 수 있고, 그 결과 평판 디스플레이 소자의 제조에 따른 공정 신뢰도의 향상을 기대할 수 있을 것이다.
다만, 본 발명의 효과는 상기 언급한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2는 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치에 구비되는 제1 결합부를 설명하기 위한 도면이다.
도 3은 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치에 구비되는 제2 결합부를 설명하기 위한 도면이다.
도 4는 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치를 사용하는 인쇄 방법을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 1을 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)는 액정 디스플레이 소자, 유기 발광 디스플레이 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조시 기판(23) 상에 배향막, 컬러 필터 등을 형성하기 위한 인쇄 공정에 적용할 수 있는 것으로써, 스테이지(25), 약액 토출 어셈블리(50) 등을 포함할 수 있다.
스테이지(25)는 기판(23)이 놓이도록 구비될 수 있다. 스테이지(25)는 약액을 토출하는 공정의 수행시 기판(23)이 고정되는 구조를 갖도록 구비될 수도 있고, 이와 달리 약액을 토출하는 공정의 수행시 기판(23)이 움직이는 구조를 갖도록 구비될 수도 있다. 만약 기판(23)이 움직이는 구조를 갖도록 구비될 경우 스테이지(25)는 스텝핑 모터, 리니어 모터 등과 같은 구동 부재와 연결될 수 있을 것이다.
약액 토출 어셈블리(50)는 배향막, 컬러 필터 등의 형성을 위한 인쇄 공정의 수행시 기판(23) 상에 약액을 토출하도록 구비될 수 있는 것으로써, 갠트리(10), 제1 연결부(15), 제2 연결부(17), 잉크젯 헤드(19), 제1 결합부(31), 제1 결합부(33) 등을 포함할 수 있다.
갠트리(10)는 상부에 잉크젯 헤드(19)가 배치되도록 지지하는 부재로써, 잉크젯 헤드(19)가 기판(23) 상부에서 기판(23)을 향하게 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 즉, 잉크젯 헤드(19)가 기판(23) 상부에 배치되어 기판(23) 상으로 약액을 토출할 수 있게 배치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것이다.
갠트리(10)는 제1 기둥부(11) 및 제2 기둥부(13)를 포함할 수 있다. 즉, 갠트리(10)는 제1 기둥부(11) 및 제2 기둥부(13)를 포함하는 듀얼 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것이다.
제1 기둥부(11)는 스테이지(25)의 일측 단부와 이웃하게 배치될 수 있다. 제1 기둥부(11)는 기판(23)과 스테이지(25)를 합한 높이보다 더 높은 구조를 가짐과 아울러 갠트리(10)에 잉크젯 헤드(19)의 배치시 스테이지(25)에 놓이는 기판(23)과도 일정 간격을 유지할 수 있는 높이를 갖도록 구비될 수 있다.
제2 기둥부(13)는 제1 기둥부(11)와 마주하는 스테이지(25)의 타측 단부와 이웃하게 배치될 수 있다. 제2 기둥부(13)의 경우에도 기판(23)과 스테이지(25)를 합한 높이보다 더 높은 구조를 가짐과 아울러 갠트리(10)에 잉크젯 헤드(19)의 배치시 스테이지(25)에 놓이는 기판(23)과도 일정 간격을 유지할 수 있는 높이를 갖도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)에서의 제1 기둥부(11) 및 제2 기둥부(13)는 기판(23)과 스테이지(25)를 합한 높이보다 더 높은 구조를 가짐과 아울러 갠트리(10)에 잉크젯 헤드(19)의 배치시 스테이지(25)에 놓이는 기판(23)과도 일정 간격을 유지할 수 있는 높이를 가질 경우 동일한 높이를 갖도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)에서의 잉크젯 헤드(19)는 언급한 바와 같이 기판(23) 상에 약액을 토출할 수 있게 갠트리(10)에 배치되도록 구비될 수 있다.
잉크젯 헤드(19)는 약액의 토출시 기판(23)과 수직한 방향이 아닌 다소 기울어진 방향인 사선으로 토출될 경우 약액의 토출에 따른 불량이 발생할 수 있기 때문에 기판(23)으로 수직하게 약액을 토출할 수 있게 갠트리(10)에 배치되도록 구비될 수 있다.
잉크젯 헤드(19)는 기판(23)을 향하는 단부에 약액을 토출할 수 있는 복수개의 노즐들이 배치되는 노즐면(21)이 구비될 수 있다. 잉크젯 헤드(19)의 노즐면(21)에는 128개 또는 256개의 노즐들이 일정 피치의 간격으로 일렬로 배치되도록 구비될 수 있다.
그리고 노즐들 각각에는 노즐들 각각에 대응하는 수만큼의 압전 소자들이 구비될 수 있다. 이에, 압전 소자의 동작에 의해 노즐들을 통하여 기판(23) 상으로 약액을 토출시킬 수 있는 것이다. 또한, 노즐들로부터 토출되는 약액의 토출량은 압전 소자들에 인가되는 전압의 제어에 의해 각기 독립적으로 조절될 수 있다.
예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)는 갠트리(10)에 잉크젯 헤드(19)의 배치시 제1 기둥부(11) 및 제2 기둥부(13) 각각에 연결되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
이에, 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)는 제1 연결부(15) 및 제2 연결부(17)를 사용하여 제1 기둥부(11) 및 제2 기둥부(13) 각각에 잉크젯 헤드(19)의 일측 및 잉크젯 헤드(19)의 타측을 연결시킬 수 있다.
제1 연결부(15)는 제1 기둥부(11)와 잉크젯 헤드(19)의 일측이 연결되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 특히, 제1 연결부(15)는 일측은 제1 기둥부(11)의 상부면에 위치하도록 구비되면서 타측은 잉크젯 헤드(19)의 일측과 결합되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
제2 연결부(17)는 제2 기둥부(13)와 잉크젯 헤드(19)의 타측이 연결되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 특히, 제2 연결부(17)는 일측은 제2 기둥부(13)의 상부면에 위치하도록 구비되면서 타측은 잉크젯 헤드(19)의 타측과 결합되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)는 제1 연결부(15)와 제1 기둥부(11) 및 제2 연결부(17)와 제2 기둥부(13)를 결합 구조를 갖도록 연결할 수 있다. 따라서 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)는 언급한 제1 결합부(31) 및 제1 결합부(33)를 구비할 수 있는 것이다.
제1 결합부(31)는 제1 연결부(15)와 제1 기둥부(11)가 연결되도록 결합시킬 때 제1 연결부(15)가 제1 기둥부(11)에서 움직일 수 있게 결합되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 아울러, 제1 결합부(31)는 제2 연결부(17)와 제2 기둥부(13)가 연결되도록 결합시킬 때 제2 연결부(17)가 제2 기둥부(13)에서 움직일 수 있게 결합되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
도 2는 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치에 구비되는 제1 결합부를 설명하기 위한 도면이다.
도 2를 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)에서의 제1 결합부(31)는 언급한 바와 같이 움직일 수 있는 구조를 갖도록 구비될 수 있기 때문에 텐션 기능이 추가되는 에어 베어링을 구비하는 체결 부재로 이루어질 수 있다. 언급한 텐션 기능은 판스프링(34) 등과 같은 부재에 의해 부여될 수 있는 것으로써, 에어 베어링을 구비하는 체결 부재와 연결되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
다시 도 1을 참조하면, 제1 결합부(33)는 제1 연결부(15)와 제1 기둥부(11)가 연결되도록 결합시킬 때 제1 연결부(15)가 제1 기둥부(11)에 고정될 수 있게 결합되는 구조를 갖도록 구비될 수 있거나 또는 제2 연결부(17)와 제2 기둥부(13)가 연결되도록 결합시킬 때 제2 연결부(17)가 제2 기둥부(13)에서 고정될 수 있게 결합되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
도 3은 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치에 구비되는 제2 결합부를 설명하기 위한 도면이다.
도 3을 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)에서의 제1 결합부(33)는 언급한 바와 같이 고정될 수 있는 구조를 갖도록 구비될 수 있기 때문에 볼트(43)에 의해 고정되는 에어 베어링을 구비하는 체결 부재로 이루어질 수 있다.
다시 도 1을 참조하면, 제1 연결부(15)와 제1 기둥부(11) 쪽에 제1 결합부(31)만이 배치되도록 구비될 경우에는 제2 연결부(17)와 제2 기둥부(13) 쪽에는 제1 결합부(31) 및 제1 결합부(33)가 함께 배치되도록 구비될 수 있을 것이다.
이와 달리, 제2 연결부(17)와 제2 기둥부(13) 쪽에 제1 결합부(31)만이 배치되도록 구비될 경우에는 제1 연결부(15)와 제1 기둥부(11) 쪽에는 제1 결합부(31) 및 제1 결합부(33)가 함께 배치되도록 구비될 수 있을 것이다.
즉, 제1 연결부(15)와 제1 기둥부(11) 또는 제2 연결부(17)와 제2 기둥부(13) 중에서 어느 한쪽에는 제1 결합부(31)만이 구비될 수 있는 것이고 나머지 한쪽에는 제1 결합부(31) 및 제1 결합부(33)가 함께 구비될 수 있는 것이다.
그리고 제1 결합부(31) 및 제1 결합부(33)가 함께 배치되도록 구비될 경우 제1 결합부(31)는 갠트리(10)의 이송 방향을 기준으로 양단부 쪽에 배치되도록 구비될 수 있을 것이고, 제1 결합부(33)는 양단부를 기준으로 중심부 쪽에 배치되도록 구비될 수 있을 것이다.
도 4는 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치를 사용하는 인쇄 방법을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 4를 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)를 사용하는 인쇄 공정의 수행시 갠트리(10)의 이송에 따라 잉크젯 헤드(19)의 위치가 다소 틀어져도 제1 결합부(31)와 제1 결합부(33)에 의해 제1 기둥부(11) 및/또는 제2 기둥부(13)의 위치를 보정할 수 있다.
이에, 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)는 갠트리(10)를 사용하는 잉크젯 헤드(19)의 이송시 듀얼 구조를 갖는 기둥부들 각각이 틀어지는 위치를 보정할 수 있도록 구비됨으로써 갠트리(10)의 이송을 정밀하게 세팅할 수 있고, 그 결과 잉크젯 헤드(19)를 정확한 위치를 따라 이송시킬 수 있을 것이다.
다시 도 1을 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 기판 처리 장치(100)는 갠트리(10)를 이송시킬 수 있는 이송부(26)를 더 포함할 수 있다.
이송부(26)는 기판(23)의 양측을 따라 갠트리(10)를 이송시킬 수 있도록 구비될 수 있다. 이에, 이송부(26)는 제1 기둥부(11)가 활주하도록 구비되는 제1 레일(27), 제2 기둥부(13)가 활주하도록 구비되는 제2 레일, 그리고 제1 기둥부(11) 및 제2 기둥부(13)에 구동력을 제공하는 구동부(도시되지 않음)로 이루어질 수 있다. 또한, 구동부는 제1 기둥부(11) 및 제2 기둥부(13)가 동일한 속도로 구동되게 구동력을 제공하도록 구비될 수 있다.
따라서 이송부(26)는 제1 기둥부(11) 및 제2 기둥부(13)에 구동력을 제공함에 의해 잉크젯 헤드(19)를 이송시킬 수 있는 것이다.
예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 어셈블리 및 기판 처리 장치는 디스플레이 소자의 제조에서의 기판 상에 약액을 토출하는 인쇄 공정에 적용할 수 있을 것이다.
따라서 예시적인 실시예들에 따른 약액 토출 어셈블리 및 기판 처리 장치는 스마트폰의 제조 뿐만 아니라 데스크탑 PC, 태블릿 PC, 스마트 TV 등과 같은 다양한 디스플레이 소자의 제조에도 충분하게 적용할 수 있을 것이다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 갠트리 11 : 제1 기둥부
13 : 제2 기둥부 15 : 제1 연결부
17 : 제2 연결부 19 : 잉크젯 헤드
21 : 노즐면 23 : 기판
25 : 스테이지 26 : 이송부
27 : 제1 레일 29 : 제2 레일
31 : 제1 결합부 33 : 제2 결합부
34 : 판스프링 43 : 볼트
50 : 약액 토출 어셈블리
100 : 기판 처리 장치

Claims (11)

  1. 제1 기둥부 및 상기 제1 기둥부와 마주하도록 배치되는 제2 기둥부로 이루어지는 갠트리;
    상기 제1 기둥부 및 상기 제2 기둥부 사이에 위치하는 기판 상에 약액을 토출할 수 있게 상기 제1 기둥부 및 상기 제2 기둥부 사이에 배치되도록 구비되는 잉크젯 헤드;
    상기 잉크젯 헤드의 일측과 상기 제1 기둥부를 연결하도록 구비되는 제1 연결부;
    상기 잉크젯 헤드의 타측과 상기 제2 기둥부를 연결하도록 구비되는 제2 연결부;
    상기 제1 연결부와 상기 제1 기둥부 및 상기 제2 연결부와 상기 제2 기둥부가 연결되도록 결합시킬 때 상기 제1 연결부는 상기 제1 기둥부에서 그리고 상기 제2 연결부는 상기 제2 기둥부에서 움직일 수 있게 결합시키도록 구비되는 제1 결합부; 및
    상기 제1 연결부와 상기 제1 기둥부 및 상기 제2 연결부와 상기 제2 기둥부가 연결되도록 결합시킬 때 상기 제1 연결부는 상기 제1 기둥부에 또는 상기 제2 연결부는 상기 제2 기둥부에 고정될 수 있게 결합시키도록 구비되는 제2 결합부를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 어셈블리.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 연결부와 상기 제1 기둥부 쪽에 상기 제1 결합부만이 구비될 때 상기 제2 연결부와 상기 제2 기둥부 쪽에는 상기 제1 결합부 및 상기 제2 결합부가 함께 구비되고, 또는 상기 제2 연결부와 상기 제2 기둥부 쪽에 상기 제1 결합부만이 구비될 때 상기 제1 연결부와 상기 제1 기둥부 쪽에는 상기 제1 결합부 및 상기 제2 결합부가 함께 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 어셈블리.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 제1 결합부 및 상기 제2 결합부가 함께 구비될 때 상기 제1 결합부는 상기 갠트리의 이송 방향을 기준으로 양단부 쪽에 배치되도록 구비되고, 상기 제2 결합부는 상기 양단부를 기준으로 중심부 쪽에 배치되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 약액 토출 어셈블리.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 결합부는 텐션 기능이 추가되는 에어 베어링을 구비하는 체결 부재를 포함하고, 상기 제2 결합부는 볼트에 의해 고정되는 에어 베어링을 구비하는 체결 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 토출 어셈블리.
  5. 기판이 놓이는 스테이지; 및
    상기 스테이지에 놓이는 상기 기판 상에 약액을 토출하도록 구비되는 약액 토출 어셈블리를 포함하고,
    상기 약액 토출 어셈블리는 상기 스테이지의 일측 단부와 이웃하게 배치되는 제1 기둥부 및 상기 제1 기둥부와 마주하도록 상기 스테이지의 타측 단부와 이웃하게 배치되는 제2 기둥부로 이루어지는 갠트리, 상기 기판 상에 약액을 토출할 수 있게 상기 제1 기둥부 및 상기 제2 기둥부 사이에 배치되도록 구비되는 잉크젯 헤드, 상기 잉크젯 헤드의 일측과 상기 제1 기둥부를 연결하도록 구비되는 제1 연결부, 상기 잉크젯 헤드의 타측과 상기 제2 기둥부를 연결하도록 구비되는 제2 연결부, 상기 제1 연결부와 상기 제1 기둥부 및 상기 제2 연결부와 상기 제2 기둥부가 연결되도록 결합시킬 때 상기 제1 연결부는 상기 제1 기둥부에서 그리고 상기 제2 연결부는 상기 제2 기둥부에서 움직일 수 있게 결합시키도록 구비되는 제1 결합부, 및 상기 제1 연결부와 상기 제1 기둥부 및 상기 제2 연결부와 상기 제2 기둥부가 연결되도록 결합시킬 때 상기 제1 연결부는 상기 제1 기둥부에 또는 상기 제2 연결부는 상기 제2 기둥부에 고정될 수 있게 결합시키도록 구비되는 제2 결합부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 기판의 양측을 따라 상기 갠트리를 이송시킬 수 있도록 구비되는 이송부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 이송부는 상기 제1 기둥부가 활주하도록 구비되는 제1 레일과, 상기 제2 기둥부가 활주하도록 구비되는 제2 레일, 및 상기 제1 기둥부 및 상기 제2 기둥부에 구동력을 제공하는 구동부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 구동부는 상기 제1 기둥부 및 상기 제2 기둥부가 동일한 속도로 구동되게 구동력을 제공하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  9. 제5 항에 있어서,
    상기 제1 연결부와 상기 제1 기둥부 쪽에 상기 제1 결합부만이 구비될 때 상기 제2 연결부와 상기 제2 기둥부 쪽에는 상기 제1 결합부 및 상기 제2 결합부가 함께 구비되고, 또는 상기 제2 연결부와 상기 제2 기둥부 쪽에 상기 제1 결합부만이 구비될 때 상기 제1 연결부와 상기 제1 기둥부 쪽에는 상기 제1 결합부 및 상기 제2 결합부가 함께 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 제1 결합부 및 상기 제2 결합부가 함께 구비될 때 상기 제1 결합부는 상기 갠트리의 이송 방향을 기준으로 양단부 쪽에 배치되도록 구비되고, 상기 제2 결합부는 상기 양단부를 기준으로 중심부 쪽에 배치되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
  11. 제5 항에 있어서,
    상기 제1 결합부는 텐션 기능이 추가되는 에어 베어링을 구비하는 체결 부재를 포함하고, 상기 제2 결합부는 볼트에 의해 고정되는 에어 베어링을 구비하는 체결 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 장치.
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